JPH0720566U - Contact probe structure for measurement - Google Patents
Contact probe structure for measurementInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンタクトプローブを構成するプランジャー
部の先端部に形成される先鋭コンタクト部の耐摩耗性を
高めることで耐久性を向上させた測定用コンタクトプロ
ーブ構造を提供する。
【構成】 押圧方向に付勢されたプランジャー部１１を
備えてプリント基板検査機器に使用される測定用コンタ
クトプローブにおいて、前記プランジャー部１１は、少
なくとも被測定部位に当接する先鋭コンタクト部１３が
導電性燒結ダイヤモンド材１６や導電性セラミックス材
により形成され、もしくは、基材表面にダイヤモンド粒
子を電着することで形成されており、これにより先鋭コ
ンタクト部１３を耐摩耗性に富む硬質部１４とした。
(57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a contact probe structure for measurement in which durability is improved by improving wear resistance of a sharp contact portion formed at a tip end portion of a plunger portion constituting a contact probe. A measuring contact probe for use in a printed circuit board inspecting device, comprising a plunger portion 11 biased in a pressing direction, wherein the plunger portion 11 has at least a sharp contact portion 13 that abuts against a measured portion. It is formed of a conductive sintered diamond material 16 or a conductive ceramic material, or is formed by electrodeposition of diamond particles on the surface of a base material. did.
Description
【０００１】[0001]
本考案は測定用コンタクトプローブ構造に係り、さらに詳しくは、コンタクト プローブを構成しているプランジャー部の先端部に形成される先鋭コンタクト部 の耐摩耗性を高めることで耐久性を向上させることができる測定用コンタクトプ ローブ構造に関する。 The present invention relates to a contact probe structure for measurement, and more specifically, it can improve durability by improving wear resistance of a sharp contact portion formed at the tip of a plunger portion constituting a contact probe. A possible measurement contact probe structure.
【０００２】[0002]
インサーキットテスタ等のプリント基板検査機器に使用される測定用コンタク トプローブは、その一側部に被測定部位に接触させるためのプランジャー部を備 え、このプランジャー部は他側部に位置するバレル部の側に常に押圧方向に付勢 された状態のもとで保持されてその全体が構成されている。 The contact probe for measurement used in printed circuit board inspection equipment such as in-circuit tester has a plunger part for contacting the measured part on one side, and this plunger part is located on the other side. It is held on the side of the barrel under the condition that it is always urged in the pressing direction, and the entire body is constructed.
【０００３】 図５は、このような測定用コンタクトプローブにおけるプランジャー部の従来 構造の一例を示す説明図であり、図示しないバレル部に保持されたプランジャー 部１は、その先端部に針状となった先鋭コンタクト部２を備えて形成されており 、プランジャー部１の側、もしくは被測定基板３の側が昇降することで前記先鋭 コンタクト部２は被測定基板３における半田付けポイントや回路を構成している 銅パターンなどの被測定部位４に当接し、その際の入力信号がプリント基板検査 機器の側に取り込まれるようになっている。FIG. 5 is an explanatory view showing an example of a conventional structure of a plunger portion in such a measurement contact probe. The plunger portion 1 held by a barrel portion (not shown) has a needle-like shape at its tip. The sharp contact portion 2 is formed so as to move up and down on the side of the plunger portion 1 or the side of the substrate 3 to be measured. It comes into contact with the part to be measured 4 such as the copper pattern that is formed, and the input signal at that time is taken in by the printed circuit board inspection device side.
【０００４】 この場合、前記プランジャー部１の全体は、例えば工具鋼（ＳＫ）やベリリウ ム銅、ハイス（ＳＫＨ）、超硬合金などの導電性金属材を用いることで形成され ており、さらには、これらに対し熱処理やＴｉＮコーティングやメッキなどの必 要な処理を施した上で使用されていた。In this case, the entire plunger portion 1 is formed by using a conductive metal material such as tool steel (SK), beryllium copper, high-speed steel (SKH), or cemented carbide. Was used after being subjected to necessary treatment such as heat treatment or TiN coating or plating.
【０００５】[0005]
ところで、図５に示す従来タイプのプランジャー部１によっても、耐久性を別 にすれば精度の高い測定用コンタクトプローブを形成することはできる。 By the way, also with the conventional type plunger part 1 shown in FIG. 5, a contact probe for measurement with high accuracy can be formed if durability is different.
【０００６】 しかし、通常、前記プランジャー部１が先端部に備える先鋭コンタクト部２は 、被測定部位４への当接を繰り返すなかで継続使用されるため、針状突端２ａの 摩耗が進んで非鋭角的な丸みを帯びることになり、被測定部位４に当接した際に 被測定部位４に付着している絶縁性のフラックスや酸化膜を突き破ることができ なくなることから、被測定部位４との接触が不安定になる不都合があった。However, normally, the sharp contact portion 2 provided at the tip of the plunger portion 1 is continuously used while repeatedly contacting the measured portion 4, so that the needle-shaped tip 2a is worn away. Since it has an unsharp roundness, it becomes impossible to break through the insulating flux and the oxide film adhering to the measured portion 4 when it comes into contact with the measured portion 4. There was the inconvenience that the contact with was unstable.
【０００７】 また、被測定部位４にプランジャー部１を垂直方向ではなく、斜め方向から角 度を持たせて当接させる必要がある場合において、先鋭コンタクト部２の前記針 状突端２ａが摩耗して甘くなっている場合には、被測定部位４の上面を滑動して 接触ポイントの位置がずれてしまい、正確な測定ができなくなる不具合もあった 。Further, when it is necessary to contact the measured portion 4 with the plunger portion 1 at an angle from an oblique direction rather than in the vertical direction, the needle-shaped tip 2a of the sharpened contact portion 2 is worn. If it is not, the position of the contact point shifts due to sliding on the upper surface of the site to be measured 4, which causes a problem that accurate measurement cannot be performed.
【０００８】 したがって、従来タイプの測定用コンタクトプローブを用いるなかで、良品を 不良品と判定してしまう誤検査の生じる可能性をなくし、測定精度を高めていく ためには、頻繁にプランジャー部１を交換することが必要になることから、作業 的に煩雑であるばかりでなく、コスト上昇要因のひとつとなっているのが実情で あった。Therefore, in order to improve the measurement accuracy by eliminating the possibility of an erroneous inspection that determines a non-defective product as a defective product while using the conventional type contact probe for measurement, the plunger part is frequently used. Since it is necessary to replace item 1, it is not only complicated in terms of work but also one of the factors that increase costs.
【０００９】[0009]
この考案は従来技術にみられた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構 成上の特徴は、押圧方向に付勢されたプランジャー部を備えてプリント基板検査 機器に使用される測定用コンタクトプローブにおいて、前記プランジャー部は、 少なくとも被測定部位に当接する先鋭コンタクト部を耐摩耗性に富む硬質部とし たことにある。 This invention has been made in view of the above problems found in the prior art, and its structural feature is that it has a plunger portion biased in the pressing direction and is used in a printed circuit board inspection device. In the contact probe for a vehicle, at least the sharpened contact portion that comes into contact with the measured portion of the plunger portion is a hard portion having high wear resistance.
【００１０】 また、この考案におけるプランジャー部の先鋭コンタクト部の硬質部は、導電 性燒結ダイヤモンド材や導電性セラミックス材により形成したり、基材表面にダ イヤモンド粒子を電着することで形成することができる。In addition, the hard portion of the sharpened contact portion of the plunger portion in the present invention is formed by a conductive sintered diamond material or a conductive ceramic material, or by electrodepositing diamond particles on the surface of the base material. be able to.
【００１１】[0011]
このため、プランジャー部は、その先鋭コンタクト部を耐摩耗性に富む硬質部 とすることで針状突端の摩耗を抑制することができるので、プランジャー部の交 換頻度を少なくしながらも、高い精度のもとで必要な測定を円滑に遂行すること ができる。 Therefore, the sharpened contact portion of the plunger portion can be prevented from wearing the needle tip by making the sharp contact portion a hard portion with high wear resistance, so that the plunger portion can be replaced less frequently. The required measurements can be performed smoothly with high accuracy.
【００１２】[0012]
以下、図面に基づいてこの考案の実施例を説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１３】 図１〜図４は、この考案の第１〜第４実施例を各別に示す説明図であり、プリ ント基板検査機器に使用される測定用コンタクトプローブを構成しているプラン ジャー部１１は、バレル部（図示せず）の側に押圧方向へと付勢された状態のも とで進退自在に保持される導電性の杆状本体部１２と、この杆状本体部１２の先 端部に形成されて被測定部位に当接する略円錐形状を呈する導電性の先鋭コンタ クト部１３とを備え、このうち、プランジャー部１１における少なくとも先鋭コ ンタクト部１３を耐摩耗性に富む硬質部１４とすることで構成されている。FIGS. 1 to 4 are explanatory views showing first to fourth embodiments of the present invention separately, and a plunger part constituting a contact probe for measurement used in a printed board inspection device. Reference numeral 11 denotes a conductive rod-shaped main body 12 which is held in a state of being biased toward a barrel portion (not shown) in a pressing direction so as to be able to move back and forth, and a tip of the rod-shaped main body 12. And a conductive sharp contact portion 13 having a substantially conical shape which is formed at an end portion and abuts against the measured portion. It is configured by forming the part 14.
【００１４】 上記図中、図１はこの考案の第１実施例を示す説明図であり、前記プランジャ ー部１１は、導電性超硬合金などの導電性金属材からなる杆状本体部１２に対し 略截頭円錐形状を呈する導電性超硬合金などの導電性金属材からなる台座部１５ をろう付けして固着し、この台座部１５の截頭面１５ａの側に円錐形状を呈する 例えば切削工具としてのダイヤモンドチップなどで形成されている導電性燒結ダ イヤモンド材１６を適宜の導電性接着剤を用いて接合固着し、この導電性燒結ダ イヤモンド材１６からなる先鋭コンタクト部１３を耐摩耗性に富む硬質部１４と している。1 is an explanatory view showing a first embodiment of the present invention, in which the plunger portion 11 is a rod-shaped body portion 12 made of a conductive metal material such as conductive cemented carbide. On the other hand, a pedestal portion 15 made of a conductive metal material such as a conductive cemented carbide having a substantially truncated cone shape is brazed and fixed, and the pedestal portion 15 has a conical shape on the truncated surface 15a side, for example, by cutting. A conductive sintered diamond material 16 formed of a diamond tip or the like as a tool is bonded and fixed using an appropriate conductive adhesive, and the sharp contact portion 13 made of the conductive sintered diamond material 16 is wear-resistant. The hard portion 14 is rich in heat.
【００１５】 また、図２はこの考案の第２実施例を示す説明図であり、プランジャー部１１ の全体を導電性超硬合金などの導電性金属材により一体形成し、先鋭コンタクト 部１３は、その表面に微小ダイヤモンド粒子１７を電着してあたかもダイヤモン ドやすりの如くなった耐摩耗性に富む硬質部１４とすることで形成されている。 なお、この場合に用いられる微小ダイヤモンド粒子１７が非導電性のものであれ ば、先鋭コンタクト部１３の針状突端１３ａには微小ダイヤモンド粒子１７を電 着させずに露出させて導電性を確保させることになる。FIG. 2 is an explanatory view showing a second embodiment of the present invention, in which the entire plunger portion 11 is integrally formed of a conductive metal material such as conductive cemented carbide and the sharp contact portion 13 is It is formed by electrodepositing fine diamond particles 17 on the surface thereof to form the hard portion 14 having a high wear resistance as if it were a diamond file. If the fine diamond particles 17 used in this case are non-conductive, the fine diamond particles 17 are not electrodeposited on the needle-like projections 13a of the sharpened contact portion 13 but are exposed to ensure conductivity. It will be.
【００１６】 一方、図３はこの考案の第３実施例を示す説明図であり、この場合、プランジ ャー部１１の全体は、導電性セラミックス材１８により一体形成されており、し たがって、先鋭コンタクト部１３も導電性セラミックス材１８からなる耐摩耗性 に富む硬質部１４とすることで形成されることになる。On the other hand, FIG. 3 is an explanatory view showing a third embodiment of the present invention. In this case, the entire plunger portion 11 is integrally formed of the conductive ceramic material 18, and therefore, the sharp tip is used. The contact portion 13 is also formed by forming the hard portion 14 made of the conductive ceramic material 18 and having high wear resistance.
【００１７】 さらに、図４はこの考案の第４実施例を示す説明図であり、この場合、杆状本 体部１２の側は図５に示す従来タイプと同様に工具鋼（ＳＫ）やベリリウム銅、 ハイス（ＳＫＨ）、超硬合金などの導電性金属材を用いることで形成されており 、この杆状本体部１２における截頭円錐部１９を台座とすることでその截頭面１ ９ａに対し導電性セラミックス材２０をろう付け手法や導電性接着剤を用いるこ とで一体的に固着し、この導電性セラミックス材２０からなる先鋭コンタクト部 １３を耐摩耗性に富む硬質部１４とすることで形成されている。Further, FIG. 4 is an explanatory view showing a fourth embodiment of the present invention. In this case, the side of the rod-shaped main body portion 12 is the tool steel (SK) or beryllium like the conventional type shown in FIG. It is formed by using a conductive metal material such as copper, high speed steel (SKH) or cemented carbide. By using the truncated cone portion 19 of the rod-shaped main body 12 as a pedestal, the truncated surface 19a is formed. On the other hand, the conductive ceramic material 20 is integrally fixed by using a brazing method or a conductive adhesive, and the sharp contact portion 13 made of the conductive ceramic material 20 is used as the hard portion 14 having high wear resistance. Is formed by.
【００１８】 なお、図３と図４とに示す実施例において用いられている導電性セラミックス としては、例えばホウ化チタン（ＴｉＢ2 ）や炭化ホウ素（Ｂ4 Ｃ）、炭化チタ ン（ＴｉＣ）、ホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ2 ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、炭化 クロム（Ｃｒ3 Ｃ2 ）などを好適に用いることができる。The conductive ceramics used in the examples shown in FIGS. 3 and 4 include, for example, titanium boride (TiB 2 ), boron carbide (B 4 C), titanium carbide (TiC), Zirconium boride (ZrB 2 ), titanium nitride (TiN), chromium carbide (Cr 3 C 2 ) and the like can be preferably used.
【００１９】 この考案は上述したようにして構成されているので、プランジャー部１１は、 その先鋭コンタクト部１３を耐摩耗性に富む硬質部１４とすることで針状突端１ ３ａの摩耗を抑制することができるので、プランジャー部１１の交換頻度を少な くしながらも、高い精度のもとで必要な測定を円滑に遂行することができる。Since the present invention is configured as described above, the plunger portion 11 has the sharpened contact portion 13 as the hard portion 14 having high wear resistance to suppress the wear of the needle-like tip 13a. Therefore, it is possible to smoothly perform the required measurement with high accuracy while reducing the frequency of replacement of the plunger portion 11.
【００２０】 この場合、図１や図２に示す実施例のように、前記プランジャー部１１の先鋭 コンタクト部１３を導電性燒結ダイヤモンド材１６により形成することで、ある いは、先鋭コンタクト部１３の表面に微小ダイヤモンド粒子１７を電着すること で、これらを硬質部１４としている場合には、ダイヤモンド自体が極めて高い硬 度を備えていることから、針状突端１３ａの耐摩耗性を飛躍的に向上させること ができる。In this case, as in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the sharp contact portion 13 of the plunger portion 11 is formed of the conductive sintered diamond material 16, or the sharp contact portion 13 is formed. When these are used as the hard portion 14 by electrodepositing the fine diamond particles 17 on the surface of the diamond, the diamond itself has extremely high hardness, so that the wear resistance of the needle tip 13a is dramatically improved. Can be improved.
【００２１】 また、図３や図４に示す実施例のように、プランジャー部１１における先鋭コ ンタクト部１３を導電性セラミックス材１８又は２０を用いて形成し、これらを 硬質部１４としている場合には、素材コストを低く抑えるなかで、耐摩耗性を向 上させることができる。Further, as in the embodiment shown in FIGS. 3 and 4, when the sharp contact portion 13 of the plunger portion 11 is formed by using the conductive ceramic material 18 or 20 and these are used as the hard portion 14. Can improve wear resistance while keeping material costs low.
【００２２】 このようにしてプランジャー部１１における先鋭コンタクト部１３を耐摩耗性 に富む硬質部１４とすることにより、被測定部位に対し針状突端１３ａが繰り返 し当接しても、容易には針状突端１３ａが摩耗することはなく、長期にわたり鋭 角性を保持させることができるので、被測定部位に付着している絶縁性のフラッ クスや酸化膜を容易に突き破ることができるほか、プランジャー部１１を斜め方 向から角度を持たせて当接させる場合においても、先鋭コンタクト部１３の前記 針状突端１３ａが被測定部位の上面を滑動することなく常に正しい測定ポイント に接触させることができ、したがって、従来にも増して測定精度を向上させるこ とができる。In this way, by forming the sharp contact portion 13 of the plunger portion 11 into the hard portion 14 having high wear resistance, even if the needle-like projection 13a repeatedly contacts the measured portion, it can be easily contacted. The needle-shaped tip 13a does not wear, and the sharpness can be maintained for a long period of time. Therefore, it is possible to easily break through the insulating flux and oxide film adhering to the measurement site. Even when the plunger portion 11 is contacted at an angle from an oblique direction, the needle-like protruding end 13a of the sharpened contact portion 13 should always contact the correct measurement point without sliding on the upper surface of the measurement site. Therefore, it is possible to improve the measurement accuracy more than ever before.
【００２３】[0023]
以上述べたように本考案によれば、プランジャー部における先鋭コンタクト部 を耐摩耗性に富む硬質部とすることで針状突端の摩耗を抑制することができるの で、プランジャー部の交換頻度を少なくしながらも、高い精度のもとで必要な測 定を円滑に遂行することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to suppress the wear of the needle tip by making the sharp contact part of the plunger part a hard part having high wear resistance. The required measurements can be performed smoothly with high accuracy while reducing the number of measurements.
【００２４】 したがって、煩雑なプランジャー部交換作業の負担軽減を図ることができるほ か、部材コストの抑制をも実現することができる。Therefore, it is possible to reduce the burden of the complicated work of exchanging the plunger portion and also to suppress the cost of the members.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本考案の第１実施例を示す要部説明図である。FIG. 1 is an explanatory view of essential parts showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本考案の第２実施例を示す要部説明図である。FIG. 2 is a main part explanatory view showing a second embodiment of the present invention.
【図３】本考案の第３実施例を示す要部説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of main parts showing a third embodiment of the present invention.
【図４】本考案の第４実施例を示す要部説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of a main part showing a fourth embodiment of the present invention.
【図５】従来タイプの測定用コンタクトプローブを用い
ての測定状態を示す要部説明図である。FIG. 5 is an explanatory view of a main part showing a measurement state using a conventional type contact probe for measurement.
１１ プランジャー部 １２ 杆状本体部 １３ 先鋭コンタクト部 １３ａ 針状突端 １４ 硬質部 １５ 台座部 １５ａ 截頭面 １６ 導電性燒結ダイヤモンド材 １７ ダイヤモンド粒子 １８ 導電性セラミックス材 １９ 截頭円錐部 １９ａ 截頭面 ２０ 導電性セラミックス材 11 Plunger part 12 Rod-shaped main body 13 Sharpened contact part 13a Needle-like tip 14 Hard part 15 Pedestal part 15a Cut surface 16 Conductive sintered diamond material 17 Diamond particle 18 Conductive ceramic material 19 Cut frustoconical portion 19a Cut surface 20 Conductive ceramic material
Claims (4)
備えてプリント基板検査機器に使用される測定用コンタ
クトプローブにおいて、前記プランジャー部は、少なく
とも被測定部位に当接する先鋭コンタクト部を耐摩耗性
に富む硬質部としたことを特徴とする測定用コンタクト
プローブ構造。1. A measuring contact probe for use in a printed circuit board inspecting device, comprising a plunger portion biased in a pressing direction, wherein the plunger portion has at least a sharp contact portion that abuts against a measured portion. A contact probe structure for measurement, characterized in that it has a hard portion with high wear resistance.
は、導電性燒結ダイヤモンド材からなる硬質部であるこ
とを特徴とする請求項１記載の測定用コンタクトプロー
ブ構造。2. The contact probe structure for measurement according to claim 1, wherein the sharp contact portion of the plunger portion is a hard portion made of a conductive sintered diamond material.
は、少なくとも基材表面にダイヤモンド粒子を電着させ
てなる硬質部であることを特徴とする請求項１記載の測
定用コンタクトプローブ構造。3. The contact probe structure for measurement according to claim 1, wherein the sharpened contact portion of the plunger portion is a hard portion formed by electrodeposition of diamond particles on at least the surface of the base material.
は、導電性セラミックス材からなる硬質部であることを
特徴とする請求項１記載の測定用コンタクトプローブ構
造。4. The contact probe structure for measurement according to claim 1, wherein the sharpened contact portion of the plunger portion is a hard portion made of a conductive ceramic material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5500193U JPH0720566U (en) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | Contact probe structure for measurement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5500193U JPH0720566U (en) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | Contact probe structure for measurement |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0720566U true JPH0720566U (en) | 1995-04-11 |
Family
ID=12986424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5500193U Pending JPH0720566U (en) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | Contact probe structure for measurement |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720566U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024014231A1 (en) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | 株式会社日本マイクロニクス | Probe device |
| WO2024024327A1 (en) * | 2022-07-25 | 2024-02-01 | 株式会社日本マイクロニクス | Probe device |
-
1993
- 1993-09-16 JP JP5500193U patent/JPH0720566U/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024014231A1 (en) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | 株式会社日本マイクロニクス | Probe device |
| WO2024024327A1 (en) * | 2022-07-25 | 2024-02-01 | 株式会社日本マイクロニクス | Probe device |
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