JPH07181396A - Micro-sample and its manufacture - Google Patents
Micro-sample and its manufactureInfo
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- JPH07181396A JPH07181396A JP5914093A JP5914093A JPH07181396A JP H07181396 A JPH07181396 A JP H07181396A JP 5914093 A JP5914093 A JP 5914093A JP 5914093 A JP5914093 A JP 5914093A JP H07181396 A JPH07181396 A JP H07181396A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、顕微試料とその作製
方法に関するものである。さらに詳しくは、この発明
は、マイクロエレクトロニクス、生物工学、材料科学な
どの諸分野において有用な顕微試料作製方法に関するも
のものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microscopic sample and its manufacturing method. More specifically, the present invention relates to a microscopic sample preparation method useful in various fields such as microelectronics, biotechnology, and material science.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその課題】従来より、マイクロエレクト
ロニクス、生物工学、材料科学などの諸分野において
は、たとえば、細胞、ＤＮＡ等の生物試料や、金属試
料、液体試料、エマルジョン試料等の微小標本やその領
域を観察し、測定することがしばしば必要とされてい
る。そして、そのためのひとつの方法として、顕微鏡を
用いた観察や測定が行われている。2. Description of the Related Art Conventionally, in various fields such as microelectronics, biotechnology, and material science, for example, biological samples such as cells and DNA, minute samples such as metal samples, liquid samples, and emulsion samples, It is often necessary to observe and measure that area. Then, as one method for that purpose, observation and measurement using a microscope are performed.
【０００３】このような、顕微鏡を用いた観察や測定に
おいては、その対象となる標本を顕微試料として作製す
る必要があり、一般的に、標本が固体の場合には、スラ
イドガラス上に標本を載せてその上にカバーガラスを置
く方法が採用され、標本が液体の場合には、ホールスラ
イドガラスに液状の標本を入れ、その上にカバーガラス
を置く方法が採用されている。In such observation and measurement using a microscope, it is necessary to prepare a sample to be the subject as a microscopic sample. Generally, when the sample is solid, the sample is placed on a slide glass. A method of mounting and placing a cover glass on it is adopted, and when a sample is a liquid, a method of putting a liquid sample on a hole slide glass and placing a cover glass on it is adopted.
【０００４】しかしながら、このような従来の顕微試料
作製方法においては、たとえば、液状の標本をスライド
ガラス上に載置し、さらにスライドガラス上に電極を取
付けることやスライドガラスの表面処理等のスライドガ
ラスを加工することは極めて困難であった。これらの操
作や加工の途中で、液体標本がスライドカラスよりこぼ
れ落ちてしまうからであった。そのため、顕微鏡下で標
本の電気化学的、あるいは光化学的な性質等について観
察、測定することには、自ずと限界があった。However, in such a conventional method for preparing a microscopic sample, for example, a liquid sample is placed on a slide glass, electrodes are further mounted on the slide glass, and slide glass for surface treatment of the slide glass is used. Was extremely difficult to process. This is because the liquid sample spills from the slide crow during these operations and processing. Therefore, there is a limit in observing and measuring the electrochemical or photochemical properties of the sample under the microscope.
【０００５】また、たとえば、空気中の酸素や水分等で
変化する標本を扱う場合においては、顕微試料の作製中
もしくは作製後に標本が変質することがあるため、空気
中で不安定な標本を安定保存可能な顕微試料として作製
することは非常に困難であった。たとえば、標本が光化
学反応における三重項励起子をもつ場合には、その三重
項励起子は空気中の三重項酸素の影響を受けやすく、し
かもそのとき発生する一重項酸素は活性度が非常に高い
ので、結果として、顕微試料中の標本が変質することも
あった。Further, for example, when handling a sample that changes due to oxygen or water in the air, since the sample may be altered during or after the preparation of the microscopic sample, the unstable sample in the air is stabilized. It was very difficult to make a storable microscopic sample. For example, if the sample has triplet excitons in the photochemical reaction, the triplet excitons are susceptible to triplet oxygen in the air, and the singlet oxygen generated at that time has a very high activity. Therefore, as a result, the specimen in the microscopic specimen may be altered.
【０００６】このような標本に対する光化学反応を防止
する手段としては、一般的に、光学セルにアルゴンガス
を通じることにより空気を除く方法が用いられている
が、この方法を顕微試料作製方法に適用することは、標
本が微量であることから試料の揮発や散逸が避けられな
いため、実際には不可能であった。この発明は、以上の
通りの事情を踏まえてなされたものであり、従来の顕微
試料とその作製方法の欠点を解消し、顕微試料を形成す
るスライドガラスを加工することが可能であり、空気中
の酸素や水分の影響を受けることなく、標本を長期間安
定に観察や測定することのできる新しい顕微試料とその
作製方法を提供することを目的としている。As a means for preventing the photochemical reaction with respect to such a specimen, a method of removing air by passing an argon gas through an optical cell is generally used, and this method is applied to a method for preparing a microscopic sample. It was actually impossible to do because the sample is so small that volatilization and dissipation of the sample are unavoidable. The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and it is possible to solve the drawbacks of the conventional microscopic sample and its manufacturing method and process the slide glass forming the microscopic sample. It is an object of the present invention to provide a new microscopic sample capable of stably observing and measuring a specimen for a long period of time without being affected by oxygen and water in the sample, and a method for producing the same.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、エッチング部に観察標本を埋封
したカバーガラスを、標本埋封部を対向させてスライド
ガラスに密着させてなることを特徴とする顕微試料を提
供する。そして、そのための作製方法として、カバーガ
ラスをエッチングし、エッチング部に観察標本を埋封
し、標本埋封部を対向させてスライドガラス上に密着す
ることを特徴とする顕微試料作製方法を提供する。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention comprises a cover glass in which an observation specimen is embedded in an etching portion, and a cover glass is adhered to a slide glass with the specimen embedding portion facing each other. A microscopic sample characterized by the above is provided. Then, as a manufacturing method therefor, there is provided a microscopic sample manufacturing method characterized in that a cover glass is etched, an observation specimen is embedded in an etched portion, and the specimen embedding portion is opposed to and adhered to a slide glass. .
【０００８】この発明の顕微試料を作製するに際しての
カバーガラスのエッチングについては、放電加工、プラ
ズマ加工等の物理的加工や、フッ化水素酸等を用いた浸
食加工等の方法を用いることができる。たとえば、石英
ガラス製のカバーガラスのエッチングにフッ化水素酸を
用いて浸食加工する場合には、まず、カバーガラスの非
エッチング部をフッ化水素酸で侵されない材料で被覆
し、たとえば、表１に示したような、温度とフッ化水素
酸濃度に依存するエッチング速度を参照して、温度とフ
ッ化水素酸濃度により、所定の深さまでカバーガラスの
エッチングを行う。For the etching of the cover glass in producing the microscopic sample of the present invention, physical processing such as electric discharge machining or plasma machining, or erosion processing using hydrofluoric acid or the like can be used. . For example, when hydrofluoric acid is used for etching a cover glass made of quartz glass, first, the non-etched portion of the cover glass is coated with a material that is not corroded by hydrofluoric acid. With reference to the etching rate depending on the temperature and the hydrofluoric acid concentration as shown in, the cover glass is etched to a predetermined depth by the temperature and the hydrofluoric acid concentration.
【０００９】[0009]
【表１】 [Table 1]
【００１０】もちろん、カバーガラスの材質は石英ガラ
ス製に限られることはなく、超硬質ガラス製、普通硬質
ガラス製、並ガラス製等の適宜なものを用いることがで
き、材質に適合した加工手段を採用して所要のエッチン
グを行なうことができることは言うまでもない。なお、
前記の被覆材料としては、たとえば、パラフィン、ポリ
スチレン樹脂、クロロプレン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポ
リエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素樹脂、ポ
リカーボネート樹脂等を用いることができる。Of course, the material of the cover glass is not limited to quartz glass, and any suitable material such as ultra-hard glass, ordinary hard glass, or ordinary glass can be used, and a processing means suitable for the material. It goes without saying that the desired etching can be performed by adopting. In addition,
As the coating material, for example, paraffin, polystyrene resin, chloroprene resin, vinyl chloride resin, polyethylene resin, polypropylene resin, fluororesin, polycarbonate resin or the like can be used.
【００１１】エッチング後、被覆材料を剥し、エッチン
グ部に標本試料を入れ、この標本を埋封したカバーガラ
スをスライドガラスに密着させる。そのとき、接着材等
を用いて、カバーガラスとスライドガラスとを接着して
もよい。この埋封接着剤としては、塩化ビニール、エポ
キシ、ウレタン、およびシアノアクリレートの合成樹脂
接着剤、合成ゴム接着剤、または、天然ゴム接着剤、さ
らに、エマルジョン接着剤等を用いることができる。After etching, the coating material is peeled off, a specimen sample is put in the etched portion, and the cover glass in which the specimen is embedded is brought into close contact with the slide glass. At that time, the cover glass and the slide glass may be bonded to each other using an adhesive or the like. As the embedding adhesive, a synthetic resin adhesive of vinyl chloride, epoxy, urethane, and cyanoacrylate, a synthetic rubber adhesive, a natural rubber adhesive, an emulsion adhesive, or the like can be used.
【００１２】このようにして、たとえば、図１に例示し
たように、スライドガラス（１）に、所定の深さにエッ
チングしたカバーガラス（２）のエッチング部に標本
（４）を埋封して密着させ、埋封接着剤（３）によって
接着した顕微試料を得る。そして、この発明において
は、前記被覆材料の被覆パターンを変えることにより、
エッチングの形状を、たとえば、筋状、格子状、凸レン
ズ状、凹レンズ状等の溝部として形成することも可能と
なる。Thus, for example, as illustrated in FIG. 1, the specimen (4) is embedded in the etched portion of the cover glass (2) which is etched to a predetermined depth in the slide glass (1). A microscopic sample is obtained which is brought into close contact with and adhered by the embedding adhesive (3). And in this invention, by changing the coating pattern of the coating material,
It is also possible to form the etching shape as, for example, a groove portion having a stripe shape, a lattice shape, a convex lens shape, a concave lens shape, or the like.
【００１３】またさらに、この発明においては、標本が
空気中の酸素や水分等により変化する場合には、顕微試
料作製の一連の操作を窒素ガスまたはアルゴンガス等の
不活性ガスで置換したグローブボックス等の密閉された
容器内で行なうことも可能である。このような密閉され
た容器内で顕微試料を作製することにより、空気中の酸
素や水分の影響を受けることなく、長期間安定に観察ま
たは測定できる顕微試料を提供することが可能となる。Furthermore, in the present invention, when the sample changes due to oxygen or moisture in the air, a series of operations for preparing a microscopic sample is replaced with an inert gas such as nitrogen gas or argon gas. It is also possible to perform in a closed container such as. By preparing a microscopic sample in such a sealed container, it becomes possible to provide a microscopic sample that can be stably observed or measured for a long period of time without being affected by oxygen and moisture in the air.
【００１４】この発明においては、以上の構成によっ
て、細胞、ＤＮＡ等の生物試料、金属試料、液体試料、
エマルジョン試料等の各種のものからなる顕微試料を得
る。以下、実施例を示し、さらに詳しくこの顕微試料作
製方法について説明する。According to the present invention, cells, biological samples such as DNA, metal samples, liquid samples,
Obtain a microscopic sample consisting of various things such as an emulsion sample. Examples will be shown below, and the method for preparing the microscopic sample will be described in more detail.
【００１５】[0015]
【実施例】実施例１ カバーガラスのエッチング部にタックラベルを貼り、次
に加熱溶融したパラフィン中にこのカバーガラスを浸漬
し、非エッチング部を被覆した。パラフィンの冷却の後
に、エッチング部のタックラベルを剥し、このカバーグ
ラスを１０％フッ化水素酸に３０°Ｃの温度で５０分間
浸漬した。この後、水酸化カルシウム水溶液と純水で洗
浄後、パラフィンを剥し、５０μｍ深さまでエッチング
したカバーガラスを得た。 Example 1 A tack label was attached to the etched portion of the cover glass, and the cover glass was then immersed in heat-melted paraffin to cover the non-etched portion. After cooling the paraffin, the tack label on the etched portion was removed, and this cover glass was immersed in 10% hydrofluoric acid at a temperature of 30 ° C. for 50 minutes. Then, after washing with an aqueous solution of calcium hydroxide and pure water, the paraffin was peeled off to obtain a cover glass which was etched to a depth of 50 μm.
【００１６】実施例２ カバーガラスのエッチング部にタックラベルを貼り、次
に加熱溶融したパラフィン中にこのカバーガラスを浸漬
し、非エッチング部を被覆した。パラフィンの冷却の後
に、エッチング部のタックラベルを剥し、このカバーグ
ラスを１０％フッ化水素酸に３０°Ｃの温度で１００分
間浸漬した。この後、水酸化カルシウム水溶液と純水で
洗浄後、パラフィンを剥し、１００μｍ深さまでエッチ
ングしたカバーガラスを得た。 Example 2 A tack label was attached to the etched portion of the cover glass, and then the cover glass was immersed in heat-melted paraffin to cover the non-etched portion. After cooling the paraffin, the tack label on the etched portion was removed, and the cover glass was immersed in 10% hydrofluoric acid at a temperature of 30 ° C. for 100 minutes. Then, after washing with an aqueous solution of calcium hydroxide and pure water, the paraffin was peeled off to obtain a cover glass which was etched to a depth of 100 μm.
【００１７】実施例３ ガス循環精製装置付きバキュームグローブボックス（Ｍ
ＤＢ−１Ｂ＋ＭＳ−Ｈ６０Ｗ型：株式会社美和製作所
製）中に、実施例１のカバーガラス、スライドガラス、
０．００１Ｍベンゾペリレンのトルエン溶液（ベンゾペ
リレン１部とトルエン３１３６部を混合する）、およ
び、塩化ビニール・ウレタン樹脂接着剤（スコッチ接着
剤Ｎｏ．６４２５：住友スリーエム株式会社製）および
エポキシ樹脂接着剤（アラルダイト：昭和高分子株式会
社製）を入れ、アルゴンガスで置換後ガス循環精製装置
を用いて酸素濃度を０．１ｐｐｍ以下にした。次にスラ
イドガラス上に０．００１Ｍベンゾペリレンのトルエン
溶液を滴下し、その上から、実施例１で５０μｍ深さに
エッチングしたカバーガラスを載せ、０．００１Ｍベン
ソペリレンのトルエン溶液をエッチング部に埋封し、さ
らにカバーガラスの回りを塩化ビニール・ウレタン樹脂
接着剤、エポキシ樹脂接着剤の順で埋封して顕微試料を
作製した。Example 3 Vacuum glove box (M
DB-1B + MS-H60W type: manufactured by Miwa Seisakusho Co., Ltd.), the cover glass of Example 1, a slide glass,
Toluene solution of 0.001M benzoperylene (mixing 1 part of benzoperylene and 3136 parts of toluene), vinyl chloride / urethane resin adhesive (Scotch adhesive No. 6425: manufactured by Sumitomo 3M Limited) and epoxy resin adhesive (Araldite: manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd.) was put in, and after the atmosphere was replaced with argon gas, the oxygen concentration was adjusted to 0.1 ppm or less by using a gas circulation purification device. Next, a toluene solution of 0.001 M benzoperylene was dropped on a slide glass, and a cover glass etched to a depth of 50 μm in Example 1 was placed on the slide glass, and a toluene solution of 0.001 M benzoperylene was embedded in the etched portion. Then, around the cover glass, a vinyl chloride / urethane resin adhesive and an epoxy resin adhesive were embedded in that order to prepare a microscopic sample.
【００１８】この顕微試料中のベンゾペリレンの蛍光寿
命を市販の単一光子計測法で測定したところ８８ｎｓで
あった。さらに３日後の蛍光寿命も８０ｎｓであり酸素
による消光はほとんど見られなかった。実施例４ ガス循環精製装置付きバキュームグローブボックス中を
アルゴンガスで置換し、このバキュームグローブボック
スに、実施例２のカバーガラス、スライドガラス、微小
油滴標本（油相１部（亜鉛テトラフェニルポリフィリン
１部をリン酸トリ−ｎ−ブチル１８４部を混合す
る。）、水相９９部（ラウリル硫酸ナトリウム１部と水
１６６部混合する））、および、塩化ビニール・ウレタ
ン樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤を入れ、スライドガ
ラス上に微小油滴標本を、その上から、実施例２で１０
０μｍ深さにエッチングしたカバーガラスを載せて前記
油滴を埋封し、カバーガラスの周囲を塩化ビニール・ウ
レタン樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤の順で埋封し
て、顕微試料を作製した。The fluorescence lifetime of benzoperylene in this microscopic sample was 88 ns when measured by a commercially available single photon measurement method. Furthermore, the fluorescence lifetime after 3 days was 80 ns, and quenching by oxygen was hardly seen. Example 4 The inside of a vacuum glove box equipped with a gas circulation purification device was replaced with argon gas, and the cover glove, the slide glass, and the micro oil droplet sample (oil phase 1 part (zinc tetraphenylporphyrin 1 Part is mixed with 184 parts of tri-n-butyl phosphate.), 99 parts of aqueous phase (mixed with 1 part of sodium lauryl sulfate and 166 parts of water)), and vinyl chloride / urethane resin adhesive, epoxy resin adhesive , A micro oil drop sample was placed on a glass slide, and from the top, 10
A cover glass etched to a depth of 0 μm was placed to embed the oil droplets, and the periphery of the cover glass was embedded with a vinyl chloride / urethane resin adhesive and an epoxy resin adhesive in this order to prepare a microscopic sample.
【００１９】この顕微試料の油滴１個に３５５ｎｍのパ
ルスレーザーを１８．６ｍＪ／ｃｍ2 の光強度で照射し
たところ、１０００パルス後も試料の劣化が見られず、
安定して過渡吸収スペクトルが測定できた。比較例１ 空気中でホールスライドガラス上に実施例３で用いた
０．００１Ｍベンゾペリレンのトルエン溶液を滴下し、
その上から、カバーガラスを載せ、そのカバーガラスの
周囲を塩化ビニール・ウレタン樹脂接着剤で埋封して、
顕微試料を作製した。When one oil droplet of this microscopic sample was irradiated with a pulse laser of 355 nm at a light intensity of 18.6 mJ / cm 2, no deterioration of the sample was observed even after 1000 pulses.
The transient absorption spectrum could be measured stably. Comparative Example 1 A toluene solution of 0.001M benzoperylene used in Example 3 was dropped on a hole slide glass in air,
From there, cover glass is placed, and the periphery of the cover glass is embedded with vinyl chloride / urethane resin adhesive,
A microscopic sample was prepared.
【００２０】この顕微試料中のベンゾペリレンの蛍光寿
命を市販の単一光子計測法で測定したところ２１ｎｓで
あった。さらに３日後の蛍光寿命も２１ｎｓであり酸素
による消光が見られた。比較例２ 空気中で、ホールスライドガラス上に実施例４で用いた
微小油滴標本を滴下し、その上から、カバーガラスを載
せ、そのカバーガラスの周囲を塩化ビニール・ウレタン
樹脂接着剤で埋封して、顕微試料を作製した。When the fluorescence lifetime of benzoperylene in this microscopic sample was measured by a commercially available single photon measurement method, it was 21 ns. Further, the fluorescence lifetime after 3 days was 21 ns, and quenching by oxygen was observed. Comparative Example 2 The micro oil droplet sample used in Example 4 was dropped on a hole slide glass in the air, a cover glass was placed thereon, and the periphery of the cover glass was filled with a vinyl chloride / urethane resin adhesive. After sealing, a microscopic sample was prepared.
【００２１】この顕微試料の油滴一個に３５５ｎｍのパ
ルスレーザーを１８．６ｍＪ／ｃｍ 2 の光強度で照射し
たところ、４００パルスで試料の劣化が見られ、安定し
て過渡吸収スペクトルが測定できなかった。One oil droplet of this microscopic sample is filled with a 355 nm
Rus Laser 18.6mJ / cm 2With the light intensity of
At 400 pulses, deterioration of the sample was observed and
The transient absorption spectrum could not be measured.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上詳しく説明したように、この発明に
よって、エッチングされたカバーガラスのエッチング部
に標本を埋封した顕微試料を得ることができ、その結
果、標本を含んだままでスライドガラスの加工を行なう
ことが可能となり、また、顕微試料作製の操作をグロー
ブボックス等の密閉容器内で行なうことにより、空気中
の酸素や水分等で変化する標本を安定かつ精密に顕微測
定することが可能となる。As described in detail above, according to the present invention, it is possible to obtain a microscopic sample in which a specimen is embedded in an etched portion of an etched cover glass, and as a result, a slide glass is processed with the specimen included. In addition, by performing the operation of microscopic sample preparation in a closed container such as a glove box, it is possible to perform stable and precise microscopic measurement of samples that change due to oxygen and moisture in the air. Become.
【図１】この発明の顕微試料作製方法によって得られ
た、顕微試料を示した断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a microscopic sample obtained by a microscopic sample preparation method of the present invention.
１ スライドガラス ２ カバーガラス ３ 埋封接着剤 ４ 標本 1 Slide glass 2 Cover glass 3 Embedded adhesive 4 Specimen
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉村 博之 千葉県市原市桜台３−29−14 (72)発明者 内田 達也 千葉県市原市姉崎367 アレックス姉崎２ Ｃ６ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Hiroyuki Sugimura 3-29-14 Sakuradai, Ichihara, Chiba (72) Inventor Tatsuya Uchida 367 Anesaki, Ichihara, Chiba Alex Neezaki 2 C6
Claims (3)
ーガラスを、標本埋封部を対向させてスライドガラスに
密着させてなることを特徴とする顕微試料。1. A microscopic sample comprising a cover glass in which an observation specimen is embedded in an etching portion, and the slide glass is brought into close contact with the specimen embedding portion facing.
たエッチング部に観察標本を埋封し、標本埋封部を対向
させてスライドガラス上に密着することを特徴とする顕
微試料作製方法。2. A method for preparing a microscopic sample, comprising: etching a cover glass, embedding an observation specimen in the formed etching portion, and adhering the specimen embedding portion to face the slide glass.
請求項２の顕微試料作製方法。3. The method for preparing a microscopic sample according to claim 2, wherein the microscopic sample is prepared in a closed container.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05914093A JP3272451B2 (en) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | Microscopic sample and its preparation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05914093A JP3272451B2 (en) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | Microscopic sample and its preparation method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07181396A true JPH07181396A (en) | 1995-07-21 |
| JP3272451B2 JP3272451B2 (en) | 2002-04-08 |
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ID=13104723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05914093A Expired - Fee Related JP3272451B2 (en) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | Microscopic sample and its preparation method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3272451B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017522614A (en) * | 2014-07-09 | 2017-08-10 | エヌティーピー・ナノ・テク・プロジェクツ・エス．アール．エル．Ｎｔｐ Ｎａｎｏ Ｔｅｃｈ Ｐｒｏｊｅｃｔｓ Ｓ．Ｒ．Ｌ． | Laser light coupling for nanoparticle detection |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP05914093A patent/JP3272451B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017522614A (en) * | 2014-07-09 | 2017-08-10 | エヌティーピー・ナノ・テク・プロジェクツ・エス．アール．エル．Ｎｔｐ Ｎａｎｏ Ｔｅｃｈ Ｐｒｏｊｅｃｔｓ Ｓ．Ｒ．Ｌ． | Laser light coupling for nanoparticle detection |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3272451B2 (en) | 2002-04-08 |
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