JPH07176400A - 加速器の電磁石給電システム - Google Patents

加速器の電磁石給電システム

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JPH07176400A
JPH07176400A JP32195393A JP32195393A JPH07176400A JP H07176400 A JPH07176400 A JP H07176400A JP 32195393 A JP32195393 A JP 32195393A JP 32195393 A JP32195393 A JP 32195393A JP H07176400 A JPH07176400 A JP H07176400A
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JP
Japan
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electromagnet
electromagnets
exciting current
power source
current
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JP32195393A
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English (en)
Inventor
Ayumi Kosuge
あゆみ 小菅
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 加速器の周囲に電磁石の種類別にケーブルを
敷設することによるシステムの煩雑化、制御性の劣化の
問題を解決でき、電源石の種類毎に電源を独立させるこ
とによるトラッキングをとる上での高精度な電源を不要
とする電磁石給電システムを提供する。 【構成】 本発明においては、加速器を構成する励磁電
流の異なる電磁石(1,2,3)を、励磁電流の小さい
電磁石に対して、分流回路を設けて、電磁石の種類に関
係なく電磁石の配置順に直列接続するよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造用X線リソ
グラフィや医療に使われる加速器の電磁石給電システム
に関する。
【0002】
【従来の技術】加速器において、その構成機器である電
磁石は、種類(偏向電磁石、四極電磁石、六極電磁石
等)によって励磁電流値が異なるため、図3に示すよう
に、種類毎に独立の電源11,12,13を設けて励磁する
か、あるいは、図4の四極電磁石の配線例に示すよう
に、電源10側にトランジスタ20を設け、出力電流値をコ
ントロールすることにより、1台の電源で励磁電流の異
なる電磁石2,2´を励磁しているが電磁石は、種類毎
に異なるケーブルで、直列に接続するのが一般的であっ
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な方式においては、電磁石の種類別に電源と接続するた
め、加速器の周囲に電磁石の種類別にケーブルを敷設し
なくてはならないので、全体的に多量のケーブルが使用
されシステムが煩雑になるばかりでなく、制御性の劣化
につながるという問題があった。また、電磁石の種類毎
に電源が独立しているので、トラッキングをとる上で各
々非常に高精度の電源を必要としていた。そこで、本発
明の目的は、簡素・簡略化され、制御性のよい加速器シ
ステムを実現するための電磁石給電システムを提供する
ことにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の目的を
達成するために、加速器を構成する励磁電流の異なる電
磁石を、励磁電流の小さい電磁石に対して、分流回路を
設けて、電磁石の種類に関係なく、電磁石の配置順に直
列接続する事を特徴とするものである。
【0005】
【作用】このようにすると、電磁石用のケーブルは、加
速器本体の周囲に1ペアで済むので、耐ノイズ性、制御
性に優れた簡素なシステム構成にできる。また、電磁石
電源のスペースを少なくできる。
【0006】更に、加速器の運転においてビームを安定
に周回させるためには偏向電磁石と四極磁石を協調して
励磁すること(トラッキング)が非常に重要であるが、
両電磁石を同一の電源で励磁するため、確実にトラッキ
ングを実現できる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1を参照して説
明する。図1において偏向電磁石1、四極電磁石2、六
極電磁石3は、1台の電磁石用電源10に直列に接続され
る。
【0008】また、四極電磁石2及び六極電磁石3に並
列にトランジスタ20が接続される。トランジスタ20は、
遠隔操作を行うための電流コントローラ30に接続され
る。電磁石用電源の出力電源値は、偏向電磁石1の励磁
電流値IB とする。四極電磁石2及び六極電磁石3の励
磁電流値は偏向磁石の電流値IB よりも小さいため、電
流の超過分はトランジスタ20より成る分流回路に流す。
【0009】トランジスタ20を遠隔の電流コントローラ
30より制御し、四極電磁石2及び六極電磁石3には定格
通りの励磁電流値にて励磁することができる。以上の結
果に示すように、本発明によれば、1台の電磁石用電源
により、複数の種類の電磁石を定格の磁場が実現するよ
うに励磁することができ、ケーブル量を減らすことがで
きるので、耐ノイズ性、制御性に優れた、簡素な電磁石
給電システムを提供できる。また、1台の電源で直列に
通電するために、電源の精度も問う必要がなく、さら
に、パターン変更も任意かつ容易に行うことができる。
【0010】尚、上記実施例においては、接続する電磁
石を偏向、四極及び六極電磁石として説明を行ったが、
本発明の主旨はこれに限ったものでなく、スキュー電磁
石、ステアリング電磁石等の電磁石を接続するようにし
ても良い。
【0011】また、前記実施例においては、分流回路と
してトランジスタを用いることとして説明を行ったが、
本発明の主旨は、これに限ったものではなく、図2に示
すようにトランジスタに直列或いは並列に抵抗22、リア
クトル24を接続したもの、そして、トランジスタの代わ
りに可変抵抗23、可変リアクトル25を使用しても良い。
【0012】更に、四極電磁石、六極電磁石に流れる電
流値をモニタし、定格の励磁電流値にて電磁石が励磁で
きるよう分流回流に流れる電流を電流コントローラにて
フィードバック制御を行い、自動的にコントロールでき
るようにしたものも本発明の範囲内である。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、電磁石をその種類に関
係なく、配置順に直列に接続し、1台の電源にて励磁で
きるので、電源の精度に関係なく、トラッキングがと
れ、また、パターン変更が任意に容易に行えさらにケー
ブル量が少ない耐ノイズ性、制御系に優れた電磁石給電
システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す電磁石の配線図
【図2】分流回路の例を示す図
【図3】従来の電磁石の配線例を示す図
【図4】従来の電磁石の配線例を示す図
【符号の説明】
1…偏向電磁石、2…四極電磁石、3…六極電磁石、10
…電磁石電源、11…偏向電磁石用電源、12…四極電磁石
用電源、13…大極電磁石用電源、20…トランジスタ、22
…抵抗、23…可変抵抗、24…リアクトル、25…可変リア
クトル、30…電流コントローラ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 偏向電磁石、四極電磁石、六極電磁石等
    の励磁電流の異なる電磁石を備えた加速器において、励
    磁電流の小さい電磁石に対して、分流回路を設けて、電
    磁石の配置順に直列に接続し、励磁を行うことを特徴と
    する加速器の電磁石給電システム。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の加速器の電磁石給電シス
    テムにおいて、分流回路に流す電流値を遠隔制御するこ
    とを特徴とする加速器の電磁石給電システム。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の加速器の電磁石給電シ
    ステムにおいて、各電磁石の励磁電流をモニタし、フィ
    ードバック制御を行うことにより、自動的に各電磁石の
    励磁電流をコントロールすることを特徴とする加速器の
    電磁石給電システム。
JP32195393A 1993-12-21 1993-12-21 加速器の電磁石給電システム Pending JPH07176400A (ja)

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