JPH07174240A - Straight advancing type magnetic fluid shaft sealing device - Google Patents
Straight advancing type magnetic fluid shaft sealing deviceInfo
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- JPH07174240A JPH07174240A JP5344292A JP34429293A JPH07174240A JP H07174240 A JPH07174240 A JP H07174240A JP 5344292 A JP5344292 A JP 5344292A JP 34429293 A JP34429293 A JP 34429293A JP H07174240 A JPH07174240 A JP H07174240A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、気圧等といった環境条
件が異なる２つの領域の間に配設される運動軸を支持及
び軸封するための磁性流体軸封装置、特に往復直線移動
する直動軸を支持及び軸封するための直進型磁性流体軸
封装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic fluid shaft sealing device for supporting and shaft-sealing a motion shaft arranged between two regions having different environmental conditions such as atmospheric pressure, and more particularly, to a linearly reciprocating linear motion device. The present invention relates to a linear magnetic fluid shaft sealing device for supporting and sealing a moving shaft.
【０００２】[0002]
【従来の技術】産業界の種々の分野において、駆動対象
物を回転させたり、あるいは往復直線移動させる場合が
ある。またその場合に、駆動対象物が真空中、無塵雰囲
気中又は清潔なガス雰囲気中等といった大気と異なる環
境条件下に配置されることもある。このような駆動シス
テムにおいては、回転軸又は直動軸が軸封装置によって
支持され、しかもその軸封装置によって大気に対する気
圧の変化や無塵雰囲気等が維持される。2. Description of the Related Art In various fields of industry, an object to be driven may be rotated or reciprocated linearly. In that case, the driven object may be placed under environmental conditions different from the atmosphere, such as a vacuum, a dust-free atmosphere, or a clean gas atmosphere. In such a drive system, the rotary shaft or the linear motion shaft is supported by a shaft seal device, and the shaft seal device maintains a change in atmospheric pressure with respect to the atmosphere and a dust-free atmosphere.
【０００３】このような軸封装置として、いわゆる磁性
流体を用いた軸封装置が広く知られている。この磁性流
体軸封装置は、無塵雰囲気及び気圧変化を正確に維持で
き、しかも寿命が長いという長所を有している。しかし
ながら、従来、この磁性流体軸封装置が対象としている
のは主に回転機器であって、往復直線移動する直動軸に
関してその磁性流体軸封装置を用いるということは行わ
れていない。As such a shaft sealing device, a shaft sealing device using a so-called magnetic fluid is widely known. This magnetic fluid shaft sealing device has the advantages that it can accurately maintain a dust-free atmosphere and changes in atmospheric pressure, and has a long life. However, heretofore, the magnetic fluid shaft sealing device has been mainly intended for a rotating device, and the magnetic fluid shaft sealing device has not been used for a linearly moving shaft that reciprocates linearly.
【０００４】直動軸に関する軸封装置として、従来、ベ
ローシールを用いる方法、マグネットカップリングを用
いる方法、あるいはオイルシールや、ゴム等といった機
械的シールを用いる方法が知られている。As a shaft seal device for a direct acting shaft, a method using a bellows seal, a method using a magnet coupling, or a method using an oil seal or a mechanical seal such as rubber has been known.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ベロー
シールを用いた方法では、直動軸の往復移動のストロー
クが小さく、高価であり、さらに隙間が発生して清潔な
ガス雰囲気が汚染され易いという問題がある。また、マ
グネットカップリングを用いた方法では、伝達トルクが
小さく、しかもバックラッシュが大きいという問題があ
る。さらに、機械的シールを用いた方法では、直動軸と
の間の摩耗による汚染や、寿命が短いといった問題があ
る。However, in the method using the bellows seal, the stroke of the reciprocating movement of the linear motion shaft is small, it is expensive, and a gap is generated, and a clean gas atmosphere is easily contaminated. There is. Further, the method using the magnet coupling has a problem that the transmission torque is small and the backlash is large. Further, the method using a mechanical seal has problems such as contamination due to wear with the linear motion shaft and a short life.
【０００６】本発明は、上記の各種の問題点を解消する
ためになされたものであって、寿命が長く、無塵で清潔
なガス雰囲気を確実に維持できる磁性流体軸封装置を直
動軸に対して適用できるようにすることを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned various problems, and a magnetic fluid shaft seal device having a long life, dust-free and clean gas atmosphere can be reliably maintained. It is intended to be applicable to.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る直進型磁性流体軸封装置は、直動軸の
外周面に形成された環状凹凸部と、直動軸の環状凹凸部
に対向して配置されていて環状凹凸部を備えたポールピ
ースと、ポールピースと直動軸との間に磁路を形成する
磁石と、ポールピースと直動軸との間に注入される磁性
流体とを有しており、そして直動軸の環状凹凸部の軸方
向ピッチとポールピースの環状凹凸部の軸方向ピッチと
が異なることを特徴としている。この磁性流体軸封装置
において、直動軸の環状凹凸部に対向して直動軸の軸方
向に沿って２つのポールピースを設け、それらのポール
ピースの間に排気管を設けることができる。In order to achieve the above object, a linear magnetic fluid shaft sealing device according to the present invention has an annular concave-convex portion formed on the outer peripheral surface of a linear shaft and an annular ring of the linear shaft. Injected between the pole piece and the direct acting shaft, a pole piece having an annular irregular portion arranged to face the uneven portion, a magnet forming a magnetic path between the pole piece and the direct acting shaft. And the axial pitch of the annular concave-convex portion of the linear motion shaft is different from the axial pitch of the annular concave-convex portion of the pole piece. In this magnetic fluid shaft sealing device, it is possible to provide two pole pieces along the axial direction of the direct acting shaft so as to face the annular concave and convex portion of the direct acting shaft, and to provide an exhaust pipe between the pole pieces.
【０００８】磁性流体は、ベース溶液中に金属微粒子を
混合して分散させることによって作られるものであり、
例えば、ベース溶液としてパーフルオロポリエーテル溶
液が用いられ、また、金属微粒子としてマンガン亜鉛フ
ェライト（ＭｎＯ・ＺｎＯ・Ｆｅ2Ｏ3）が用いられる。The magnetic fluid is prepared by mixing and dispersing fine metal particles in a base solution,
For example, a perfluoropolyether solution is used as the base solution, and manganese zinc ferrite (MnO.ZnO.Fe 2 O 3 ) is used as the metal fine particles.
【０００９】[0009]
【作用】直動軸に設けた環状凹凸部とポールピースに設
けた環状凹凸部との間に形成される磁路に沿って磁性流
体膜が形成され、その磁性流体膜の働きにより、軸封装
置を境とした２つの領域の間の圧力差、一方の領域内の
無塵雰囲気、あるいは一方の領域内の清潔なガス雰囲気
等の環境条件が維持される。直動軸の環状凹凸部の軸方
向ピッチとポールピースの環状凹凸部の軸方向ピッチと
が異なっているので、直動軸が直線往復移動する間、直
動軸のいずれかの凸部とポールピースのいずれかの凸部
が必ず対向する。そして、それらの対向する一対の凸部
の間に磁性流体膜が形成される。A magnetic fluid film is formed along the magnetic path formed between the annular uneven portion provided on the linear motion shaft and the annular uneven portion provided on the pole piece, and the magnetic fluid film acts to seal the shaft. Environmental conditions such as a pressure difference between the two regions bounded by the device, a dust-free atmosphere in one region, or a clean gas atmosphere in one region are maintained. Since the axial pitch of the ring-shaped uneven portion of the linear motion shaft and the axial pitch of the ring-shaped uneven portion of the pole piece are different, during the linear reciprocating movement of the linear motion shaft, any convex portion of the linear motion shaft and the pole One of the protrusions on the piece must face each other. Then, a magnetic fluid film is formed between the pair of opposed convex portions.
【００１０】[0010]
【実施例】図１は、本発明に係る直進型磁性流体軸封装
置の一実施例を示している。この磁性流体軸封装置は、
円筒形状のケーシング１と、そのケーシング１の内周面
の中央部に固定した環状のポールピース２と、ケーシン
グ１の両端の内周面に固定した２個のボールブッシュ３
とを有している。ポールピース２の内部中央には円環状
の磁石９がはめ込まれている。ケーシング１の左端に設
けたフランジ４は隔壁５の外周面にボルトその他の締結
具によって固定される。隔壁５の内部領域（図の左側）
Ｑは真空、無塵及び清潔なガス雰囲気に、すなわち隔壁
５の右側の大気領域Ｐと異なる環境条件に設定される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows one embodiment of a linear magnetic fluid shaft sealing device according to the present invention. This magnetic fluid shaft seal device is
A cylindrical casing 1, an annular pole piece 2 fixed to the center of the inner peripheral surface of the casing 1, and two ball bushes 3 fixed to the inner peripheral surfaces of both ends of the casing 1.
And have. An annular magnet 9 is fitted in the center of the inside of the pole piece 2. The flange 4 provided at the left end of the casing 1 is fixed to the outer peripheral surface of the partition wall 5 by bolts or other fasteners. Internal area of partition wall 5 (left side of the figure)
Q is set to a vacuum, dust-free and clean gas atmosphere, that is, an environmental condition different from the atmospheric region P on the right side of the partition wall 5.
【００１１】内部領域Ｑと大気領域Ｐとの間には、２個
のボールブッシュ３によって図の左右方向Ａ−Ａ’へ滑
り移動自在に支持された円柱状の直動軸６が配設されて
いる。直動軸６の右側には周知の直進駆動手段（図示せ
ず）、例えばラックとピニオンを用いた駆動機構等が設
けられ、この駆動手段によって駆動されることにより直
動軸６が矢印Ａ−Ａ’方向へ往復直線移動する。また、
直動軸６の左側、すなわち隔壁５の内部領域Ｑ内には適
宜の駆動対象物（図示せず）が配設されていて、その駆
動対象物の内部において直動軸６の往復直線移動を利用
して適宜の処理が実行される。Between the inner area Q and the atmosphere area P, there is disposed a cylindrical direct acting shaft 6 which is supported by two ball bushes 3 so as to be slidably movable in the left-right direction AA 'in the figure. ing. A known linear drive means (not shown), for example, a drive mechanism using a rack and a pinion, is provided on the right side of the linear drive shaft 6, and the linear drive shaft 6 is driven by this drive means to move the linear drive shaft 6 along the arrow A-. Moves straight back and forth in the A'direction. Also,
An appropriate driving object (not shown) is arranged on the left side of the linear motion shaft 6, that is, in the inner region Q of the partition wall 5, and the linear motion of the linear motion shaft 6 is reciprocated inside the driving target. Appropriate processing is executed by utilizing it.
【００１２】直動軸６の中央部のポールピース２に対向
する部分には、軸方向長さＬにわたって多数の環状凹凸
部７が設けられている。また、ポールピース２の内周面
にも多数の環状凹凸部８が設けられている。これらの環
状凹凸部７，８に関しては、図３に示すように、各環状
凹凸部７，８の軸方向に沿ったピッチＰ１及びＰ２は互
いに異ならせてある。また、ポールピース２と直動軸６
との間の隙間には、ベース溶液中に金属微粒子を混在さ
せて成る磁性流体１０が注入されている。A large number of annular concave-convex portions 7 are provided in the central portion of the linear motion shaft 6 facing the pole piece 2 over the length L in the axial direction. Further, a large number of annular uneven portions 8 are also provided on the inner peripheral surface of the pole piece 2. As shown in FIG. 3, the pitches P1 and P2 along the axial direction of the annular concave-convex portions 7 and 8 are different from each other with respect to the annular concave-convex portions 7 and 8. In addition, the pole piece 2 and the direct acting shaft 6
The magnetic fluid 10 formed by mixing the metal fine particles in the base solution is injected into the gap between the magnetic fluid 10 and the.
【００１３】本実施例の直進型磁性流体軸封装置におい
ては、上記のようにポールピース２側の環状凹凸部８の
ピッチＰ１及び直動軸６側の環状凹凸部７のピッチＰ２
がずらせてあるので、図１において直動軸６が矢印Ａ−
Ａ’方向へ往復直線移動する場合、図３に示すように各
環状凹凸部７，８に関しては、常に、いずれかの凸部同
志が対向する。そして、そのように対向する一対の凸部
間に磁石９（図１）によって磁路が形成され、その磁路
に沿って複数の磁性流体膜が形成される。これらの磁性
流体膜の働きにより、内部領域Ｑと大気領域Ｐとの間の
気圧差や、内部領域Ｑ内の無塵状態や、内部領域Ｑ内の
清潔なガス雰囲気等が維持される。通常、１個の磁性流
体膜では内部領域Ｑと大気領域Ｐとの間の全気圧差は維
持できないが、複数個の磁性流体膜の全体によって全気
圧差が維持される。In the linear magnetic fluid shaft seal device of the present embodiment, as described above, the pitch P1 of the annular uneven portion 8 on the pole piece 2 side and the pitch P2 of the annular uneven portion 7 on the linear motion shaft 6 side.
Since they are displaced, the linear motion shaft 6 in FIG.
When reciprocating linearly moving in the A ′ direction, as shown in FIG. 3, with respect to the annular concave-convex portions 7 and 8, either convex portion is always opposed. Then, a magnetic path is formed by the magnet 9 (FIG. 1) between the pair of opposed convex portions, and a plurality of magnetic fluid films are formed along the magnetic path. Due to the function of these magnetic fluid films, a pressure difference between the inner region Q and the atmosphere region P, a dust-free state in the inner region Q, a clean gas atmosphere in the inner region Q, and the like are maintained. Normally, one magnetic fluid film cannot maintain the total atmospheric pressure difference between the internal region Q and the atmospheric region P, but the total magnetic pressure difference is maintained by the plurality of magnetic fluid films as a whole.
【００１４】図２は本発明に係る直進型磁性流体軸封装
置の他の実施例を示している。この磁性流体軸封装置が
図１に示した先の実施例と異なる点は、ケーシング１の
内周面に２個のポールピース２ａ及び２ｂを軸方向に並
べて配置してそれらの間のケーシング壁に排気管１１を
設けたこと及びそれらのポールピース２ａ，２ｂの右側
にまとめて配置した２個のボールブッシュ３によって直
動軸６を支持したことである。排気管１１はそのまま大
気に開放されたり、あるいはポンプ等の減圧手段に接続
される。FIG. 2 shows another embodiment of the linear magnetic fluid shaft seal device according to the present invention. This magnetic fluid shaft sealing device is different from the previous embodiment shown in FIG. 1 in that two pole pieces 2a and 2b are axially arranged on the inner peripheral surface of the casing 1 and the casing wall between them is arranged. That is, the exhaust pipe 11 is provided in the above, and the linear motion shaft 6 is supported by the two ball bushes 3 collectively arranged on the right side of the pole pieces 2a and 2b. The exhaust pipe 11 is opened to the atmosphere as it is, or is connected to a pressure reducing means such as a pump.
【００１５】この実施例によれば、排気管１１を通して
ポールピース２ａ，２ｂの周辺が排気されるので、直動
軸６が往復直線移動する際に、磁性流体１０が空気によ
って攪拌されたり、磁性流体１０内に気泡が混入する等
といった不都合が回避される。According to this embodiment, since the area around the pole pieces 2a, 2b is exhausted through the exhaust pipe 11, the magnetic fluid 10 is agitated by air or magnetized when the linear motion shaft 6 reciprocates linearly. Inconveniences such as bubbles mixed in the fluid 10 are avoided.
【００１６】図４は、直動軸６及びポールピース２に形
成する環状凹凸部の変形実施例を示している。この実施
例では、直動軸６の環状凹凸部１７の１個の凸部に対し
てポールピース２の環状凹凸部１８の２個の凸部が対応
するようになっている。FIG. 4 shows a modified embodiment of the annular uneven portion formed on the linear motion shaft 6 and the pole piece 2. In this embodiment, two convex portions of the annular concave-convex portion 18 of the pole piece 2 correspond to one convex portion of the annular concave-convex portion 17 of the linear motion shaft 6.
【００１７】図５は、図３に示した環状凹凸部構造に改
変を加えた例を示している。この実施例では、ポールピ
ース２の環状凹凸部８の凹部及び直動軸６の環状凹凸部
７の凹部に非磁性材料１２を埋め込んである。凹部内に
非磁性材料を埋め込むことにより、磁性流体１０のまわ
りに存在する空気の量を減らすこと及び直動軸６の往復
直線移動の際に磁性流体１０のまわりの空気が攪拌され
ることが防止され、よって、磁性流体膜による軸封作用
を確実に得ることが可能となる。FIG. 5 shows an example in which the annular concavo-convex portion structure shown in FIG. 3 is modified. In this embodiment, the non-magnetic material 12 is embedded in the concave portion of the annular concave-convex portion 8 of the pole piece 2 and the concave portion of the circular concave-convex portion 7 of the linear motion shaft 6. By embedding a non-magnetic material in the recess, the amount of air existing around the magnetic fluid 10 can be reduced, and the air around the magnetic fluid 10 can be agitated when the linear motion shaft 6 reciprocates linearly. Therefore, the shaft sealing action of the magnetic fluid film can be reliably obtained.
【００１８】以上、好ましい幾つかの実施例をあげて本
発明を説明したが、本発明はその実施例に限定されるも
のではなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々
に改変できる。The present invention has been described above with reference to some preferred embodiments, but the present invention is not limited to these embodiments and can be variously modified within the technical scope described in the claims. .
【００１９】例えば、直動軸６を往復直線移動をさせる
上に、さらに中心軸まわりに回転移動させることもでき
る。軸封すべき２つの領域は大気圧領域Ｐと低圧領域Ｑ
とに限られることなく、気圧差のある任意気圧の２つの
領域であっても良い。For example, in addition to reciprocating linear movement of the linear motion shaft 6, it is also possible to rotate the linear motion shaft 6 around its central axis. The two areas to be sealed are the atmospheric pressure area P and the low pressure area Q.
It is not limited to and, and may be two regions of arbitrary atmospheric pressure with a difference in atmospheric pressure.
【００２０】[0020]
【発明の効果】請求項１記載の直進型磁性流体軸封装置
によれば、往復直線移動する直動軸に対して磁性流体軸
封装置を用いて軸封処理ができるので、直動軸のまわり
の一方の領域を無塵で清潔なガス雰囲気下に置いた状態
で他方の領域との間の気圧差を長期間にわたって維持で
きる。According to the linear magnetic fluid shaft sealing device of the first aspect of the invention, since the magnetic fluid shaft sealing device can be used to perform shaft sealing processing on a linear motion shaft that reciprocates linearly, It is possible to maintain the pressure difference between the other region and the other region for a long period of time while keeping one of the surrounding regions in a dust-free and clean gas atmosphere.
【００２１】請求項２記載の直進型磁性流体軸封装置に
よれば、直動軸とポールピースとの間に注入された磁性
流体が直動軸の往復直線移動の際に空気によって攪拌さ
れるのを防止できる。According to the linear magnetic fluid shaft sealing device of the second aspect, the magnetic fluid injected between the linear shaft and the pole piece is agitated by air when the linear shaft reciprocates linearly. Can be prevented.
【００２２】請求項３記載の直進型磁性流体軸封装置に
よれば、直動軸とポールピースとの間に注入された磁性
流体のまわりに存在する空気の量を減らすことができ、
しかも直動軸の往復直線移動の際の空気流の乱れを防止
できる。According to the linear magnetic fluid shaft sealing device of the third aspect, the amount of air existing around the magnetic fluid injected between the linear shaft and the pole piece can be reduced.
Moreover, it is possible to prevent the turbulence of the air flow when the linear motion shaft moves back and forth.
【００２３】[0023]
【図１】本発明に係る直進型磁性流体軸封装置の一実施
例を示す側面断面図である。FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of a linear magnetic fluid shaft sealing device according to the present invention.
【図２】本発明に係る直進型磁性流体軸封装置の他の一
実施例を示す側面断面図である。FIG. 2 is a side sectional view showing another embodiment of the linear magnetic fluid shaft sealing device according to the present invention.
【図３】直動軸及びポールピースに形成される環状凹凸
部の一実施例の要部を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a main part of an embodiment of an annular uneven portion formed on a linear motion shaft and a pole piece.
【図４】直動軸及びポールピースに形成される環状凹凸
部の他の一実施例の要部を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a main part of another embodiment of an annular uneven portion formed on a linear motion shaft and a pole piece.
【図５】直動軸及びポールピースに形成される環状凹凸
部のさらに他の一実施例の要部を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part of still another embodiment of the annular uneven portion formed on the linear motion shaft and the pole piece.
１ ケーシング ２ ポールピース ３ ボールブッシュ ４ フランジ ５ 隔壁 ６ 直動軸 ７ 直動軸の環状凹凸部 ８ ポールピースの環状凹凸部 ９ 磁石 １０ 磁性流体 １１ 排気管 １２ 非磁性材料 Ｐ 大気領域 Ｑ 内部領域 1 Casing 2 Pole piece 3 Ball bush 4 Flange 5 Partition wall 6 Linear motion shaft 7 Ring-shaped uneven part of linear motion shaft 8 Ring-shaped uneven part of pole piece 9 Magnet 10 Magnetic fluid 11 Exhaust pipe 12 Non-magnetic material P Atmosphere area Q Internal area
Claims (3)
にわたって設けられていて往復直進移動する直動軸を支
持すると共に上記２つの領域の環境条件を維持する磁性
流体軸封装置において、 直動軸の外周面に形成された環状凹凸部と、 直動軸の環状凹凸部に対向して配置されていて環状凹凸
部を備えたポールピースと、 ポールピースと直動軸との間に磁路を形成する磁石と、 ポールピースと直動軸との間に注入される磁性流体とを
有しており、直動軸上の環状凹凸部のピッチとポールピ
ース上の環状凹凸部のピッチとが異なることを特徴とす
る直進型磁性流体軸封装置。1. A magnetic fluid shaft sealing device for supporting a linear motion shaft, which is provided over two regions placed under different environmental conditions and which moves linearly in a reciprocating manner, and which maintains the environmental conditions of the two regions. An annular concavo-convex portion formed on the outer peripheral surface of the moving shaft, a pole piece provided with an annular concavo-convex portion facing the annular concavo-convex portion of the direct acting shaft, and a magnetic pole between the pole piece and the direct acting shaft. It has a magnet that forms a path and a magnetic fluid that is injected between the pole piece and the linear motion shaft, and the pitch of the annular unevenness on the linear motion axis and the pitch of the annular unevenness on the pole piece A straight advancing type magnetic fluid shaft sealing device characterized in that
ールピースが設けられ、それらのポールピースの間に排
気管を設けたことを特徴とする請求項１記載の直進型磁
性流体軸封装置。2. The linear magnetic fluid according to claim 1, wherein two pole pieces are provided so as to face the annular concave-convex portion of the linear motion shaft, and an exhaust pipe is provided between the pole pieces. Shaft sealing device.
環状凹凸部の少なくとも一方の凹部を非磁性材料で埋め
たことを特徴とする請求項１記載の直進型磁性流体軸封
装置。3. The linear magnetic fluid shaft sealing device according to claim 1, wherein at least one of the annular uneven portion of the linear motion shaft and the annular uneven portion of the pole piece is filled with a non-magnetic material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34429293A JP3402716B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Straight type magnetic fluid shaft sealing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34429293A JP3402716B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Straight type magnetic fluid shaft sealing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174240A true JPH07174240A (en) | 1995-07-11 |
| JP3402716B2 JP3402716B2 (en) | 2003-05-06 |
Family
ID=18368115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34429293A Expired - Fee Related JP3402716B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Straight type magnetic fluid shaft sealing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3402716B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6769694B2 (en) * | 2000-10-12 | 2004-08-03 | Nok Corporation | Magnetic fluid seal device |
| CN108799506A (en) * | 2018-09-03 | 2018-11-13 | 广西科技大学 | A kind of more magnetic source symmetric form device for sealing magnetic fluid |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP34429293A patent/JP3402716B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6769694B2 (en) * | 2000-10-12 | 2004-08-03 | Nok Corporation | Magnetic fluid seal device |
| CN108799506A (en) * | 2018-09-03 | 2018-11-13 | 广西科技大学 | A kind of more magnetic source symmetric form device for sealing magnetic fluid |
| CN108799506B (en) * | 2018-09-03 | 2023-05-02 | 广西科技大学 | Multi-magnetic source symmetrical magnetic fluid sealing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3402716B2 (en) | 2003-05-06 |
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