JPH07169555A - コロナ放電反応器 - Google Patents

コロナ放電反応器

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JPH07169555A
JPH07169555A JP6243601A JP24360194A JPH07169555A JP H07169555 A JPH07169555 A JP H07169555A JP 6243601 A JP6243601 A JP 6243601A JP 24360194 A JP24360194 A JP 24360194A JP H07169555 A JPH07169555 A JP H07169555A
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corona discharge
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JP6243601A
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Keith H Bayliss
ハワード ベイリス キース
John Sydney Carlow
シドニー カーロウ ジョン
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UK Atomic Energy Authority
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    • B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
    • B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00—Devices providing for corona discharge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
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Abstract

(57)【要約】 【目的】電気的に励起された種を用いたガス媒体の処理
に使用する、改良された形態のコロナ放電反応器を提供
すること。 【構成】コロナ放電反応器は、径方向突出部を有する金
属棒の形をした中央電極と、この中央電極を取り囲む円
筒状の外側電極と、を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コロナ放電を用いて気
相内で材料を処理するための反応器に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】コロナ
放電により活性化された種を用いて気相内で処理を行う
技術の開発には、相当な努力が傾注されている。コロナ
放電は、ある部材の近傍に局在した電界がガス媒体の電
気的絶縁破壊電圧を越えるとき、ガス媒体内で生じる。
既存のコロナ放電反応器は、ガス媒体用の入口と出口を
有する反応室と、中央の軸線方向ワイヤ電極と、この中
央電極を取り囲む外側の円筒状電極とからなる。かかる
反応器内の放電は、内側電極から外側電極の方へ延びる
ストリーマからなる。ストリーマを含まないスペース
は、ガス媒体の処理に関する限り、デッドスペースであ
るので、反応器を通過するガス媒体の効果的な処理を行
うためには、できるだけ多くのストリーマを形成するこ
とが必要である。しかしながら、中央ワイヤ電極型のコ
ロナ放電反応器では、電界が急激に減少すると、コロナ
放電ストリーマは、中央ワイヤ電極から短い距離だけし
か伝播されない。この現象のため、実現可能な反応器の
直径は、数ｃｍに制限される。一方、反応器の長さを増
大させてこれを補償することは、中央電極の機械的強度
が低下するので、実行できない。従って、既存のコロナ
放電反応器は、数ｃｍの直径と、数十ｃｍの長さを有し
ている。その結果、適量のガスを処理するために、高流
速が必要とされ、ひいては、空力的作用により中央電極
の機械的不安定性を増加させると共に、反応室内での被
処理媒体の滞留時間を短くする。従って、既存のコロナ
放電反応器は、その効果において、本来的に限定されて
いる。
【０００３】本発明の目的は、電気的に励起された種を
用いたガス媒体の処理に使用する、改良された形態のコ
ロナ放電反応器を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、材料の
処理に使用するコロナ放電反応器であって、被処理ガス
媒体を流動させ得る反応室と、前記反応室内に軸方向に
取り付けられた中央電極と、前記中央電極を取り囲む円
筒状の外側電極とを備え、前記中央電極が１個以上の径
方向に延びた突出部分を有する棒からなる、ことを特徴
とするコロナ放電反応器が提供される。径方向に延びた
突出部は、ねじ山のように棒の表面に形成された、縁が
尖った螺旋の形を取ってもよい。また、径方向に延びた
突出部は、棒の表面に加工された平行なフィンの形を取
ってもよく、或いは、中央電極を、小径の多数のディス
ク及びスペーサから組み立ててもよい。別の変形例で
は、径方向に延びた突出部の間のスペースは、該径方向
に延びた突出部と同じ直径を有するセラミック又は他の
高誘電率の材料で充填される。この場合、コロナ放電ス
トリーマは、セラミックと中央電極の金属部との間の界
面の外側縁部に生じる。
【０００５】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
を説明する。図１を参照すると、コロナ放電反応器は、
上側延長部３と下側延長部４とを有するホウケイ酸ガラ
ス製の円筒２から形成された、円筒状の反応室１を備え
ている。円筒２と上側延長部３及び下側延長部４との間
には、二つの金属製スパイダ５及び６がそれぞれ位置し
ている。組立体は、化学技術において一般的な手段であ
る、円筒２の端部に形成されたテーパ８上に取り付けた
環状カラー７、スタッド９及びナット１０により、締め
付けられている。スパイダ５及び６は、中央電極１２を
位置決めする、内側を向いた中央凹部１１を有する。電
極１２は、金属棒の形をしており、その中央部の表面
は、中央部の全表面に亘り１ｃｍのピッチで高さ約０．
５ｃｍの縁が尖った螺旋状突出部１４を形成するよう
に、機械加工されている。機械的安定性を確保すると共
に、使用時の装置の熱膨張に起因する装置の寸法変動に
対処するために、電極１２は、ばね１７によりスパイダ
５及び６に対して付勢された２つの入れ子式部分１５及
び１６からなる。電極１２の入れ子式部分１５の中央部
１３の端部は、アークを防ぐためにテーパ付けされてい
る。電極１２の中央部１３は、外側電極１８に取り囲ま
れている。外側電極１８は、電極１２の中央部１３の螺
旋状突出部１４と同じ径方向延出部とピッチを有する金
属製の螺旋の形をしている。螺旋状突出部１４と螺旋状
外側電極１８の縁部間の距離は、３ｃｍである。スパイ
ダ５は、高電圧端子１９を備えており、スパイダ６は、
接地可能な端子１９′を備えている。スパイダ５に関連
したカラー７、スタッド９及びナット１０は、それらの
縁部からの放電を防ぐために、シールド（図示せず）で
覆われている。また、タフノル（ＴＵＦＮＯＬ、商標）
等の公知の絶縁材料からそれらを形成してもよい。
【０００６】上側延長部３及び下側延長部４は、円筒２
と上側延長部３及び下側延長部４との間におけると同様
の、テーパ、カラー、ナット及びボルトの配列を介し
て、それぞれの端部キャップ２０及び２１に取り付けら
れている。従って、参照符号は、上記と同じものを使用
する。端部キャップ２０及び２１は、それぞれ関連した
軸方向の入口２２及び出口２３を有する。図２は、外側
電極１８を反応室１の外側に配設した、装置の別の形態
を示す。この場合、外側電極は、径方向に突出する必要
はない。外側電極は、帯状金属の螺旋、メッシュ、或い
は開口部のない円筒としてもよく、また、円筒２の外表
面を電導性にするのに十分に金属で被覆してもよい。図
１を参照して説明した本発明の実施例の対応する要素と
同一の、装置の他の要素は、同一の符号を有する。この
構成の利点は、パルス電圧が中央電極ではなく外側電極
に印加されることである。このとき、反応器は、それ自
体の速動スイッチとして機能する。電極１２は、単一の
螺旋状突出部の代わりに、一連の平行なフィンを有して
もよい。かかる形状の中央電極を、図３に示す。この場
合、上述した実施例のように、電極１２は所望の形状に
加工された単一の金属部材とすることができるが、多数
のディスクとスペーサから組み立ててもよい。中央電極
のもう１つの形態は、螺旋状突出部１４の連続したねじ
れ又は分離したフィン３１の間のスペースに、図４に示
したように、螺旋状突出部又はフィンと同じ外径を有す
るセラミック３２を充填している。この場合、コロナ放
出は、金属の突出部１４又はフィン３１とセラミック部
３２との間の界面３４の露出縁部３３で生じる。セラミ
ック３２の代わりに、他の形態の高誘電率の或いは半導
体の材料も使用することもできる。また、フィン３１
を、充填材料から僅かに突出させてもよい。
【０００７】反応器内のガス媒体の滞留時間と、ガス媒
体とコロナ放電のストリーマとの間の相互作用の効率
は、ガス媒体が反応器を通過するとき、ガス媒体の流れ
に接線成分を付与することにより、増加させることがで
きる。これは、主反応室１に対してのプラズマ室として
機能する延長部４内で回転櫂を用いることにより、或い
は延長部４内やスパイダ６のギャップ内に適切に位置決
めされた羽根を用いることにより、或いは図５に示した
ように軸方向入口２３を接線方向入口４２と交換するこ
とにより、行うことができる。コロナ放電のストリーマ
とガス媒体との間の相互作用の効率を改善し得るもう１
つの方法は、コロナ放電のストリーマの長さを増加させ
ることである。これは、コロナ放電が起こる反応室１の
部分に軸方向の磁界を形成することにより、行うことが
できる。即ち、磁界の効果により、コロナ放電のストリ
ーマが生じる平面でストリーマを曲げ、その長さを増加
させる。磁界は、図５に符号４１で示したようなソレノ
イドにより、或いは固定磁石のアレイにより、形成する
ことができる。モデムサーメット磁石を使用して、反応
室１の壁に、１テスラ程度の比較的高い磁界を容易に得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の縦断面図。
【図２】本発明の第２の実施例の縦断面図。
【図３】本発明を具現するもう１つの形態の中央電極の
部分縦断面図。
【図４】本発明を具現するもう１つの形態の中央電極の
部分縦断面図。
【図５】本発明の別の実施例の縦断面図。
【符号の説明】
２……円筒 ３……上側延長部 ４……下側延長部 ５、６……スパイダ ７……環状カラー ８……テーパ ９……スタッド １０……ナット １２……中央電極 １４……螺旋状突出部 １５、１６……入れ子式部分 １７……ばね １８……外側電極 １９、１９′……端子 ２０、２１……端部キャップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キース ハワード ベイリス イギリス オーエックス11 ０アールエイ オックスフォードシャー ハーウェル ディドコット 329 ユナイテッド キン グドム アトミック エナヂイ オーソリ ティ パテンツ デパートメント内 (72)発明者 ジョン シドニー カーロウ イギリス オーエックス11 ０アールエイ オックスフォードシャー ハーウェル ディドコット 329 ユナイテッド キン グドム アトミック エナヂイ オーソリ ティ パテンツ デパートメント内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 材料の処理に使用されるコロナ放電反応
    器であって、 被処理ガス媒体を流動させ得る反応室と、 前記反応室内に軸方向に取り付けられた中央電極と、 前記中央電極を取り囲む円筒状の外側電極と、を備え、 前記中央電極が、１個以上の径方向に延びた突出部分を
    有する棒からなる、 ことを特徴とするコロナ放電反応器。
  2. 【請求項２】 前記棒が金属から形成され、前記突出部
    の少なくとも幾つかの間のスペースが、高誘電率を有す
    る材料で充填されている、 ことを特徴とする請求項１に記載のコロナ放電反応器。
  3. 【請求項３】 前記高誘電率を有する材料が、セラミッ
    ク材料である、 ことを特徴とする請求項１に記載のコロナ放電反応器。
  4. 【請求項４】 前記棒が、少なくとも２つのばね押し入
    れ子式部分を有する、ことを特徴とする請求項１乃至３
    のいずれか１項に記載のコロナ放電反応器。
  5. 【請求項５】 前記外側電極が、中央電極上の径方向突
    出部に対向して位置決めされた、内側を向いた突出部を
    有する、 ことを特徴とする請求項１乃至４ののいずれか１項に記
    載のコロナ放電反応器。
  6. 【請求項６】 前記外側電極が、反応室の外側に取り付
    けられている、 ことを特徴とする請求項１に記載のコロナ放電反応器。
  7. 【請求項７】 前記反応室内でコロナ放電を開始するに
    十分なパルス電圧を前記外側電極に印加するための手段
    が含まれる、 ことを特徴とする請求項６記載のコロナ放電反応器。
  8. 【請求項８】 前記反応室を通るガス媒体の流れに接線
    成分を付与するための手段が含まれる、 ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載
    のコロナ放電反応器。
  9. 【請求項９】 前記反応室内で軸方向に磁界を作るため
    の手段、 が含まれる、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれ
    か１項に記載のコロナ放電反応器。
JP6243601A 1993-10-07 1994-10-07 コロナ放電反応器 Pending JPH07169555A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006130399A (ja) * 2004-11-05 2006-05-25 Ngk Insulators Ltd プラズマ反応器及びプラズマ反応装置
JP2009510783A (ja) * 2005-09-27 2009-03-12 サイマー インコーポレイテッド 熱膨張耐性のあるガス放電レーザ用の予備電離器の電極

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5806305A (en) 1994-05-18 1998-09-15 Lockheed Martin Corporation Method and apparatus for reducing pollutants
WO1997023285A1 (en) * 1995-12-21 1997-07-03 Philips Electronics N.V. Method and device for treating an aqueous solution
US5863413A (en) 1996-06-28 1999-01-26 Litex, Inc. Method for using hydroxyl radical to reduce pollutants in the exhaust gases from the combustion of a fuel
US6321531B1 (en) 1996-12-18 2001-11-27 Litex, Inc. Method and apparatus for using free radicals to reduce pollutants in the exhaust gases from the combustion of a fuel
US6047543A (en) 1996-12-18 2000-04-11 Litex, Inc. Method and apparatus for enhancing the rate and efficiency of gas phase reactions
US6029442A (en) 1996-12-18 2000-02-29 Litex, Inc. Method and apparatus for using free radicals to reduce pollutants in the exhaust gases from the combustion of fuel
US5955886A (en) * 1997-07-10 1999-09-21 Pcp, Inc. Microliter-sized ionization device and method
GB9719858D0 (en) 1997-09-19 1997-11-19 Aea Technology Plc Corona discharge reactor
GB9819416D0 (en) * 1998-09-07 1998-10-28 Aea Technology Plc Treatment of aircraft cabin air
US6217833B1 (en) * 1999-06-17 2001-04-17 1357784 Ontario Inc. High efficiency corona discharge device for generating ozone
GB0015952D0 (en) 2000-06-30 2000-08-23 Aea Technology Plc Plasma assisted reactor
US6511638B2 (en) * 2001-03-29 2003-01-28 Robert De La Torre Stone Apparatus and method for generating ozone
FR2836397B1 (fr) * 2002-02-27 2004-04-23 Renault Reacteur pour le traitement par plasma d'un flux gazeux, notamment des gaz d'echappement produit par le moteur a combustion interne d'un vehicule automobile
KR100459712B1 (ko) * 2002-04-29 2004-12-03 삼성전자주식회사 함불소 화합물 분해장치 및 이를 이용한 함불소 화합물처리 시스템
WO2004033368A1 (en) * 2002-10-08 2004-04-22 Hrl Laboratories, Llc A fuel reforming apparatus for producing a carbon-monoxide free reformed fuel gas comprising hydrogen
US7453191B1 (en) * 2007-07-06 2008-11-18 Uion Co., Ltd. Induction concentration remote atmospheric pressure plasma generating apparatus
KR100965491B1 (ko) * 2009-11-02 2010-06-24 박영배 복합 플라스마 발생장치
CN107507750B (zh) * 2013-11-14 2020-02-07 Asml荷兰有限公司 多电极堆叠布置
WO2023126698A1 (ru) * 2021-12-30 2023-07-06 Михаил Александрович МЕЩАНИНОВ Реактор для устройства переработки отходов

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1579162A (en) * 1923-02-02 1926-03-30 Firm Of Ozonhochfrequenz G M B Process for producing ozone
GB211125A (ja) * 1923-02-08 1925-06-02 Ferdinand Gros
US3348041A (en) * 1964-12-30 1967-10-17 Union Carbide Corp Apparatus for the corona discharge treatment of plastic surfaces having an adjustable length electrode assembly
US3594573A (en) * 1968-06-20 1971-07-20 Henry Greber Electromagnetic device for separation of fluid isotopes
IT945715B (it) * 1971-01-08 1973-05-10 Sikich J Apparecchio e metodo per il controllo dell inquinamento in fluidi come gas di scarico di motori a combustione interna
US3979193A (en) * 1972-07-03 1976-09-07 Jack Sikich Corona discharge apparatus
US4090960A (en) * 1974-05-08 1978-05-23 Dynalytics Corporation Gas energizing apparatus and related method
DE2724428C3 (de) * 1975-09-06 1979-11-29 Pavel Dr.-Phys. 3257 Springe Imris Vorrichtung zur Herstellung von Ozon
US4159971A (en) * 1976-02-19 1979-07-03 Arthur Gneupel Ozone generator
GB2008369B (en) * 1977-10-14 1982-04-28 Elf Aquitaine Device for the manufacture of ozone
JPS5645758A (en) * 1979-09-21 1981-04-25 Toshiba Corp Gas reaction apparatus
GB2144610B (en) * 1981-06-22 1985-12-24 Aqua Electronics Limited Ozone generator
DE3507885A1 (de) * 1985-03-06 1986-09-11 E.M. Heinkel KG, 7317 Wendlingen Hochfrequenz-ozonisator
US4966666A (en) * 1986-11-24 1990-10-30 Waltonen Laboratories Fluid energizing method and apparatus
SU1465412A1 (ru) * 1987-06-10 1989-03-15 Всесоюзный научно-исследовательский институт электрификации сельского хозяйства Устройство дл дезинфекции озоном
US5061462A (en) * 1987-11-12 1991-10-29 Nagatoshi Suzuki Apparatus for producing a streamer corona
GB8907044D0 (en) * 1989-03-29 1989-05-10 Pin Yu Movement ozone generator
US5041145A (en) * 1990-05-15 1991-08-20 Niles Parts Co., Ltd. Bridged stream corona generator
US5268151A (en) * 1990-10-12 1993-12-07 Ozone Equipment, Inc. Apparatus and method for generating ozone
US5124132A (en) * 1991-06-20 1992-06-23 Plasma Technics, Inc. Corona discharge ozone generator
JPH05159861A (ja) * 1991-12-02 1993-06-25 Ichiro Maezono コロナ放電の発生方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006130399A (ja) * 2004-11-05 2006-05-25 Ngk Insulators Ltd プラズマ反応器及びプラズマ反応装置
JP2009510783A (ja) * 2005-09-27 2009-03-12 サイマー インコーポレイテッド 熱膨張耐性のあるガス放電レーザ用の予備電離器の電極

Also Published As

Publication number Publication date
DE69406757D1 (de) 1997-12-18
EP0647996A1 (en) 1995-04-12
DE69406757T2 (de) 1998-03-26
DK0647996T3 (da) 1997-12-22
GB9320662D0 (en) 1993-11-24
GB9418931D0 (en) 1994-11-09
GB2282738B (en) 1997-04-02
GB2282738A (en) 1995-04-12
US5847494A (en) 1998-12-08
EP0647996B1 (en) 1997-11-12

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