JPH0714533A - Plasma generating device - Google Patents
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- JPH0714533A JPH0714533A JP5150490A JP15049093A JPH0714533A JP H0714533 A JPH0714533 A JP H0714533A JP 5150490 A JP5150490 A JP 5150490A JP 15049093 A JP15049093 A JP 15049093A JP H0714533 A JPH0714533 A JP H0714533A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ発生装置に関
し、特にアーク放電を利用したプラズマ発生装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma generator, and more particularly to a plasma generator utilizing arc discharge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プラズマ発生装置を用いて被加工物にＣ
ＶＤ、ＰＶＤ、イオン窒化等の表面処理を施すことが行
われている。2. Description of the Related Art C is applied to a workpiece by using a plasma generator.
Surface treatment such as VD, PVD, and ion nitriding is performed.
【０００３】図５は従来のプラズマ発生装置の概念図で
ある。FIG. 5 is a conceptual diagram of a conventional plasma generator.
【０００４】同図において、１は、作動ガスが導入され
る筒体２の下流側に環状のＬａＢ 6 （六硼化ランタン）
ディスク３が設けられたカソードである。カソード１内
にはＷ（タングステン）からなるフィラメント４が内蔵
され、フィラメント４は発熱用電源５に接続されてい
る。カソード１は筐体６内の上流側に設けられており、
筐体６の下流側にはカソード１との間で初期放電を発生
させるための環状のアノード７、８が環状の絶縁体９、
１０を介して設けられている。フィラメント４およびカ
ソード１は直流高圧電源１１の陰極に接続され、アノー
ド７、８は抵抗器Ｒ1 、Ｒ2 を介して直流高圧電源１１
の陽極に接続されている。主にこれらカソード１、筐体
２、フィラメント４、発熱用電源５、アノード７、８お
よび直流高圧電源１１でプラズマ銃が形成されている。In the figure, reference numeral 1 indicates that a working gas is introduced.
An annular LaB is provided downstream of the cylindrical body 2. 6(Lanthanum hexaboride)
It is a cathode provided with a disk 3. Inside the cathode 1
Has a built-in filament 4 made of W (tungsten)
And the filament 4 is connected to the heating power source 5.
It The cathode 1 is provided on the upstream side in the housing 6,
An initial discharge is generated between the cathode 1 and the downstream side of the housing 6.
The ring-shaped anodes 7 and 8 are
It is provided through 10. Filament 4 and power
The sword 1 is connected to the cathode of the DC high voltage power supply 11,
Do 7 and 8 are resistors R1, R2DC high voltage power supply 11 via
Connected to the anode of. Mainly these cathode 1, housing
2, filament 4, heating power source 5, anodes 7, 8
A plasma gun is formed by the DC high-voltage power supply 11.
【０００５】プラズマ銃の下流側には真空排気される図
示しない処理室（チャンバ）が設けられている。チャン
バ内にはカソード１との間でアーク放電によるプラズマ
を発生させるためのターゲット１２が配置されている。A processing chamber (chamber) (not shown) which is evacuated to vacuum is provided on the downstream side of the plasma gun. A target 12 for generating plasma by arc discharge with the cathode 1 is arranged in the chamber.
【０００６】プラズマ発生装置は、フィラメント４とア
ノード７、８との間でアーク放電（初期放電）を発生さ
せると共に、フィラメント４の熱でＬａＢ6 ディスク３
を加熱して熱電子を放出させ、熱電子の供給が十分とな
った時にフィラメント４の発熱を停止し、ＬａＢ6 ディ
スク３のみでプラズマを発生させ、ターゲット１２上に
取り付けられた被加工物の表面処理を行うようになって
いる。The plasma generator generates an arc discharge (initial discharge) between the filament 4 and the anodes 7 and 8, and heat of the filament 4 causes the LaB 6 disk 3 to be discharged.
Is heated to emit thermoelectrons, and when the supply of thermoelectrons is sufficient, the heat generation of the filament 4 is stopped, plasma is generated only by the LaB 6 disk 3, and the workpiece mounted on the target 12 is processed. It is designed to be surface treated.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のプラズマ発生装置のカソードに用いられている
ＬａＢ6 ディスクとＷフィラメントとは消耗品であり、
交換する必要があるが消耗の度合いが異なっているた
め、それぞれ別個に点検・交換しなければならない。ま
た、カソードを製造する上で、ＬａＢ6 ディスクをカソ
ードの下流側に設け、かつ、Ｗフィラメントをカソード
に内蔵する構造のため、製造工程が複雑である。However, the LaB 6 disk and the W filament used in the cathode of the above-mentioned conventional plasma generator are consumable items,
It needs to be replaced, but it has to be inspected and replaced separately because the degree of wear is different. Further, in manufacturing the cathode, the LaB 6 disk is provided on the downstream side of the cathode, and the W filament is built in the cathode, so that the manufacturing process is complicated.
【０００８】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、プラズマ銃の点検回数や消耗品の交換回数が少な
く、しかもコンパクトなプラズマ発生装置を提供するこ
とにある。An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a compact plasma generator in which the number of inspections of the plasma gun and the number of replacements of consumables are reduced.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ＬａＢ6 からなる電極体を電極体カバーの
アーク放電口に臨ませ、アーク放電開始時に電極体を発
熱させて熱電子を放出させる発熱用電源を接続し、さら
に電極体とアノードおよびターゲット間でアーク放電を
発生してプラズマを発生させるアーク放電用電源を接続
したものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention makes an electrode body made of LaB 6 face an arc discharge port of an electrode body cover and heats the electrode body at the start of arc discharge to generate thermoelectrons. Is connected to a heat generating power source, which is further connected to an arc discharge power source for generating plasma by generating arc discharge between the electrode body, the anode and the target.
【００１０】[0010]
【作用】上記構成によれば、放電開始時に発熱用電源が
作動してＬａＢ6 からなる電極体に発熱して熱電子を放
出し、電極体とアノードとの間にアーク放電が発生す
る。アーク放電により電極体自体が自己加熱し、発熱用
電源が停止すると共に電極体とターゲットとの間でアー
ク放電が発生してプラズマが発生する。従って一つの電
極体でフィラメントとＬａＢ6 ディスクとを兼用するの
で、プラズマ銃の点検回数や消耗品の交換回数が少な
く、しかもコンパクトなプラズマ発生装置を小型化する
ことができる。According to the above construction, the power source for heat generation is activated at the start of discharge to generate heat in the electrode body made of LaB 6 to emit thermoelectrons, and arc discharge is generated between the electrode body and the anode. The arc discharge causes the electrode body itself to self-heat, the power supply for heat generation is stopped, and an arc discharge is generated between the electrode body and the target to generate plasma. Therefore, since one filament serves as the filament and the LaB 6 disk, the number of inspections of the plasma gun and the number of replacements of consumables is small, and a compact plasma generator can be miniaturized.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
【００１２】図１は本発明のプラズマ発生装置の一実施
例の概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram of an embodiment of the plasma generator of the present invention.
【００１３】同図において、２０は、筒状の電極体カバ
ーであり、この電極体カバー２０の上流側（図の左側）
には、フランジ２１が一体的に形成されている。このフ
ランジ２１には作動ガスが導入される導入口（図示せ
ず）が形成されている。In FIG. 1, reference numeral 20 denotes a cylindrical electrode body cover, which is upstream of the electrode body cover 20 (on the left side of the figure).
A flange 21 is integrally formed on the. The flange 21 is formed with an inlet (not shown) into which the working gas is introduced.
【００１４】電極体カバー２０は筒状の筐体２２に挿入
されており、筐体２２の上流側とフランジ２１とが一体
的に取り付けられている。電極体カバー２０の下流側に
はアーク放電口２３が形成されている。電極体カバー２
０には電極体としてのＬａＢ6 からなるフィラメント
（以下ＬａＢ6 フィラメントという）２４が内蔵されて
おり、ＬａＢ6 フィラメント２４はアーク放電口２３に
臨んで配置され、その基部は支持部材としてのフィラメ
ント支持ピン２５ａ、２５ｂに接続されている。The electrode body cover 20 is inserted into a cylindrical casing 22, and the upstream side of the casing 22 and the flange 21 are integrally attached. An arc discharge port 23 is formed on the downstream side of the electrode body cover 20. Electrode cover 2
0 has a built-in filament (hereinafter referred to as LaB 6 filament) 24 made of LaB 6 as an electrode body, the LaB 6 filament 24 is arranged facing the arc discharge port 23, and its base is a filament supporting member as a supporting member. It is connected to the pins 25a and 25b.
【００１５】フィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂは絶
縁体２６ａ、２６ｂを介してフランジ２１に取り付けら
れている。フィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂにはＬ
ａＢ6 フィラメント２４に電流を供給するための電流導
入端子２７ａ、２７ｂが設けられている。電流導入端子
２７ａ、２７ｂは発熱用電源２８に接続されている。発
熱用電源２８はタイマを内蔵しており、起動時には所定
の時間だけ電流をＬａＢ6 フィラメント２４に供給する
ようになっている。The filament support pins 25a, 25b are attached to the flange 21 via insulators 26a, 26b. L for the filament support pins 25a and 25b
Current introducing terminals 27a and 27b for supplying a current to the aB 6 filament 24 are provided. The current introducing terminals 27a and 27b are connected to the heat source 28. The heating power source 28 has a built-in timer and supplies a current to the LaB 6 filament 24 for a predetermined time at the time of startup.
【００１６】筐体２２の開口部には環状のアノード２
９、３０が環状の絶縁体３１、３２を介して設けられて
いる。An annular anode 2 is provided in the opening of the housing 22.
9 and 30 are provided via annular insulators 31 and 32.
【００１７】電流導入端子２７ｂおよびフランジ２１は
アーク放電用電源としての直流高圧電源３３の陰極に接
続され、アノード２９、３０は抵抗器Ｒ3 、Ｒ4 を介し
て直流高圧電源３３の陽極に接続されている。The current introducing terminal 27b and the flange 21 are connected to the cathode of a DC high voltage power source 33 as a power source for arc discharge, and the anodes 29 and 30 are connected to the anode of the DC high voltage power source 33 via resistors R 3 and R 4. Has been done.
【００１８】これら電極体カバー２０、筐体２２、Ｌａ
Ｂ6 フィラメント２４、フィラメント支持ピン２５ａ、
２５ｂ、発熱用電源２８、アノード２９、３０および直
流高圧電源３３でプラズマ銃が形成されている。These electrode body cover 20, housing 22, La
B 6 filament 24, filament support pin 25a,
A plasma gun is formed by 25b, the heating power supply 28, the anodes 29 and 30, and the DC high-voltage power supply 33.
【００１９】プラズマ銃の下流側には真空排気される図
示しない処理室（チャンバ）が設けられている。チャン
バ内にはＬａＢ6 フィラメント２４との間でアーク放電
によるプラズマを発生させるためのターゲット３４が配
置されている。ターゲット３４上には被加工物が取り付
けられるようになっている。A processing chamber (chamber) (not shown) that is evacuated to vacuum is provided on the downstream side of the plasma gun. A target 34 for generating plasma by arc discharge with the LaB 6 filament 24 is arranged in the chamber. An object to be processed is attached on the target 34.
【００２０】次に実施例の作用を述べる。Next, the operation of the embodiment will be described.
【００２１】放電開始時には作動ガスがプラズマ銃に導
入され、発熱用電源２８からＬａＢ6 フィラメント２４
に電流が供給され、直流高圧電源３３から電流導入端子
２７ｂおよびフランジ２１とアノード２９、３０および
ターゲット３４との間に直流高電圧が印加される。At the start of discharge, the working gas is introduced into the plasma gun, and the LaB 6 filament 24 is supplied from the power source 28 for heat generation.
A current is supplied to the high voltage power supply 33, and a high DC voltage is applied from the high voltage DC power supply 33 between the current introduction terminal 27b and the flange 21 and the anodes 29, 30 and the target 34.
【００２２】まずＬａＢ6 フィラメント２４が発熱して
熱電子を放出し、ＬａＢ6 フィラメント２４とアノード
２９、３０との間にアーク放電が発生する。アーク放電
によりＬａＢ6 フィラメント２４自体が自己加熱する
と、発熱用電源２８からのＬａＢ6 フィラメント２４へ
の電流の供給が停止する。これと共にＬａＢ6 フィラメ
ント２４とターゲット３４との間でアーク放電が発生し
てプラズマが発生する。このプラズマでターゲット３４
上の被加工物に表面処理等が行われる。First, the LaB 6 filament 24 generates heat and emits thermoelectrons, and an arc discharge is generated between the LaB 6 filament 24 and the anodes 29 and 30. When the LaB 6 filament 24 itself self-heats due to the arc discharge, the supply of current from the heating power source 28 to the LaB 6 filament 24 is stopped. At the same time, arc discharge is generated between the LaB 6 filament 24 and the target 34 to generate plasma. Target 34 with this plasma
Surface treatment or the like is performed on the upper workpiece.
【００２３】以上において本実施例のプラズマ発生装置
によれば、一つのＬａＢ6 フィラメント２４が従来のＷ
フィラメントとＬａＢ6 ディスクとを兼用するので、プ
ラズマ銃の点検回数や消耗品の交換回数が少なく、しか
もコンパクトなプラズマ発生装置を実現することができ
る。As described above, according to the plasma generator of the present embodiment, one LaB 6 filament 24 is the same as the conventional W
Since the filament and the LaB 6 disk are used in common, it is possible to realize a compact plasma generator in which the number of inspections of the plasma gun and the number of replacements of consumables are small.
【００２４】図２は本発明のプラズマ発生装置に用いら
れるフィラメント近傍の他の実施例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of another embodiment near the filament used in the plasma generator of the present invention.
【００２５】図１に示した実施例との相違点は、フィラ
メント、フィラメント支持ピンおよびフィラメント支持
ピンを支持するフィラメントホルダが電極体カバーに対
して着脱自在に支持されている点である。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that the filament, the filament support pin, and the filament holder supporting the filament support pin are detachably supported on the electrode body cover.
【００２６】ここで、図１に示したプラズマ発生装置の
ＬａＢ6 フィラメント２４はアーク放電の陰極として使
用され、消耗するので交換する必要がある。ＬａＢ6 フ
ィラメント２４を交換するときは、まず筐体２２から電
極体カバー２０を取り外し、フィラメント支持ピン２５
ａ、２５ｂからＬａＢ6 フィラメント２４を取り外し
て、交換用のＬａＢ6 フィラメントをフィラメント支持
ピン２５ａ、２５ｂに取り付け、筐体２２内に電極体カ
バー２０を取り付けなければならない。このときＬａＢ
6 フィラメント２４が電極体カバー２０のアーク放電口
２３の内壁と離隔して配置されなければならないのでＬ
ａＢ6 フィラメント２４の交換が面倒である。Here, the LaB 6 filament 24 of the plasma generator shown in FIG. 1 is used as a cathode of arc discharge and is consumed, so it must be replaced. When replacing the LaB 6 filament 24, first remove the electrode body cover 20 from the housing 22, and then remove the filament support pin 25.
It is necessary to remove the LaB 6 filament 24 from a and 25b, mount a replacement LaB 6 filament on the filament support pins 25a and 25b, and mount the electrode body cover 20 inside the housing 22. At this time LaB
6 Since the filament 24 must be separated from the inner wall of the arc discharge port 23 of the electrode body cover 20,
It is troublesome to replace the aB 6 filament 24.
【００２７】そこで図２（ａ）に示すようにＬａＢ6 フ
ィラメント２４、フィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂ
および電流導入端子２７ａ、２７ｂをフィラメントホル
ダ３５に一体的に形成することにより、電極体カバー２
０内へのＬａＢ6 フィラメント２４の取り付け取り外し
が容易となる。もちろんこの場合、電極体カバー２０に
は、装着時にＬａＢ6 フィラメントがアーク放電口に臨
むと共に、フィラメントホルダ３５が着脱できるように
開口部３６や凸部３７が形成されていることはいうまで
もない。尚、図２（ｂ）は電極体カバー２０にフィラメ
ントホルダ３５を取り付けた様子を示す図である。Therefore, as shown in FIG. 2A, the LaB 6 filament 24 and the filament support pins 25a and 25b are provided.
By forming the current introducing terminals 27a and 27b integrally with the filament holder 35, the electrode body cover 2
It becomes easy to attach and detach the LaB 6 filament 24 in the 0. Of course, in this case, it goes without saying that the electrode body cover 20 has the LaB 6 filament facing the arc discharge port at the time of mounting and the opening portion 36 and the convex portion 37 are formed so that the filament holder 35 can be attached and detached. . 2B is a view showing a state in which the filament holder 35 is attached to the electrode body cover 20.
【００２８】図３は本発明のプラズマ発生装置に用いら
れるフィラメント近傍の他の実施例の説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of another embodiment near the filament used in the plasma generator of the present invention.
【００２９】図１に示した実施例との相違点は、支持部
材内に冷却媒体通路を形成した点である。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that a cooling medium passage is formed in the support member.
【００３０】図１に示したＬａＢ6 フィラメント２４
は、耐熱性の金属からなるフィラメント支持ピン２５
ａ、２５ｂに接続されているが、プラズマ銃の動作条件
によってはフィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂが溶け
てＬａＢ6 フィラメント２４が電極体カバー２０のアー
ク放電口２３の内壁と接触して抵抗加熱できなくなるお
それがある。The LaB 6 filament 24 shown in FIG.
Is a filament support pin 25 made of a heat-resistant metal.
The filament support pins 25a and 25b are melted and the LaB 6 filament 24 comes into contact with the inner wall of the arc discharge port 23 of the electrode body cover 20 to prevent resistance heating depending on the operating conditions of the plasma gun. There is a risk.
【００３１】そこで図３に示すように金属製の二重管構
造を用いて、内側の管４０ａ、４０ｂに冷却媒体（例え
ば水）を注入し、外側の管４１ａ、４１ｂに設けた排水
口４２ａ、４２ｂから排水するように形成すると共に、
これら二重管を絶縁体（図示せず）を介して電極体カバ
ー２０のフランジ２１に取り付け、加熱用電源（図１参
照）に接続するようにすれば、支持部材としての二重管
が冷却されるので、プラズマ銃の動作中にＬａＢ6 フィ
ラメント２４が電極体カバー２０のアーク放電口２３の
内壁と接触することが防止される。尚、絶縁体にはセラ
ミック等の耐熱性の材質が好ましい。Therefore, as shown in FIG. 3, a metal double pipe structure is used to inject a cooling medium (for example, water) into the inner pipes 40a and 40b, and a drain port 42a provided in the outer pipes 41a and 41b. , 42b to drain water,
If these double tubes are attached to the flange 21 of the electrode body cover 20 via an insulator (not shown) and are connected to the heating power source (see FIG. 1), the double tubes as a support member are cooled. Therefore, the LaB 6 filament 24 is prevented from coming into contact with the inner wall of the arc discharge port 23 of the electrode body cover 20 during the operation of the plasma gun. The insulator is preferably made of a heat-resistant material such as ceramic.
【００３２】図４は本発明のプラズマ発生装置に用いら
れるフィラメント近傍の他の実施例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment near the filament used in the plasma generator of the present invention.
【００３３】図１に示した実施例との相違点は、支持部
材が絶縁体を介して電極体カバー内に保持され、電極体
カバーの放電口側に蒸着防止板が設けられている点であ
る。The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that the supporting member is held in the electrode body cover via an insulator, and the vapor deposition preventing plate is provided on the discharge port side of the electrode body cover. is there.
【００３４】図１において、プラズマ銃からプラズマを
出射するときのＬａＢ6 フィラメントの熱でフィラメン
ト支持ピン２５ａ、２５ｂが軟化してＬａＢ6 フィラメ
ント２４がアーク放電口２３の内壁に接触し、ＬａＢ6
フィラメント２４の抵抗加熱ができなくなるおそれがあ
る。[0034] In FIG. 1, the filament support pins 25a in LaB 6 filament of heat when emitting the plasma from the plasma gun, LaB 6 filament 24 25b is softened in contact with the inner wall of the arc discharge port 23, LaB 6
There is a possibility that resistance heating of the filament 24 may not be possible.
【００３５】そこで図４に示すように、フィラメント支
持ピン２５ａ、２５ｂの基部を、絶縁体としての略円柱
状のスペーサ（斜線で示す）５０で電極体カバー２内に
保持することにより、フィラメント支持ピン２５ａ、２
５ｂが軟化してもＬａＢ6 フィラメント２４がアーク放
電口２３の内壁に接触するのが防止される。Therefore, as shown in FIG. 4, the filament support pins 25a, 25b are supported at their bases in the electrode body cover 2 by spacers (shown by slanting lines) 50 having a substantially cylindrical shape as an insulator, thereby supporting the filaments. Pins 25a, 2
Even if 5b is softened, the LaB 6 filament 24 is prevented from coming into contact with the inner wall of the arc discharge port 23.
【００３６】また、プラズマ発生中に生じるチャンバ内
や電極体カバー２０内の金属蒸気が、スペーサ５０の表
面に付着してフィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂ間が
導通状態になり、ＬａＢ6 フィラメント２４の抵抗加熱
ができなくなることがある。Further, the metal vapor in the chamber and the electrode body cover 20 which is generated during plasma generation adheres to the surface of the spacer 50 to bring the filament support pins 25a and 25b into a conductive state, and the resistance of the LaB 6 filament 24 is reduced. Heating may not be possible.
【００３７】そこで、電極体カバー２０内のスペーサ５
０とＬａＢ6 フィラメント２４との間（アーク放電口
側）に、フィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂが貫通可
能、かつ、フィラメント支持ピン２５ａ、２５ｂと接触
することがない穴を有する略円板状の蒸着防止板５１を
配置し、この蒸着防止板５１を電極体カバー２０に止め
ピン５２で固定することにより、金属蒸気を蒸着防止板
５１に付着させてスペーサ５０の表面に金属蒸気が付着
するのを防止することができる。Therefore, the spacer 5 in the electrode body cover 20
0 and the LaB 6 filament 24 (arc discharge port side), the filament support pins 25a and 25b can penetrate, and the substantially disk-shaped vapor deposition having a hole that does not contact the filament support pins 25a and 25b By disposing the prevention plate 51 and fixing the vapor deposition prevention plate 51 to the electrode body cover 20 with the stopper pin 52, the metal vapor is adhered to the vapor deposition prevention plate 51 and the metal vapor is prevented from adhering to the surface of the spacer 50. Can be prevented.
【００３８】尚、上述した他の実施例はそれぞれ単独に
説明したが、これに限定されるものではなく組み合わせ
てもよいのはいうまでもない。Although the other embodiments described above have been described individually, it goes without saying that they are not limited to these and may be combined.
【００３９】また、本実施例ではＬａＢ6 フィラメント
は、その形状が図ではコイル状であるがこれに限定され
るものではなく、筒状であっても柱状であってもよい。Further, in the present embodiment, the LaB 6 filament has a coil shape in the figure, but the shape is not limited to this, and it may be cylindrical or columnar.
【００４０】さらに、本実施例では発熱用電源にタイマ
を内蔵した場合で説明したが、これに限定されるもので
はなく、センサ等を用いてＬａＢ6 フィラメントとター
ゲットとの間でアーク放電が発生したときにこれを検知
して、ＬａＢ6 フィラメントへの電流の供給を停止する
ように構成してもよい。Further, in the present embodiment, the case where the timer is incorporated in the heat generating power source has been described, but the present invention is not limited to this, and arc discharge is generated between the LaB 6 filament and the target by using a sensor or the like. When this occurs, this may be detected and the supply of current to the LaB 6 filament may be stopped.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.
【００４２】一つの電極体でフィラメントとＬａＢ6 デ
ィスクとを兼用するので、プラズマ銃の点検回数や消耗
品の交換回数が少なく、しかもコンパクトなプラズマ発
生装置を小型化することができる。Since the filament serves also as the LaB 6 disk in one electrode body, the number of inspections of the plasma gun and the number of replacements of consumables is small, and the size of the compact plasma generator can be reduced.
【図１】本発明のプラズマ発生装置の一実施例の概念図
である。FIG. 1 is a conceptual diagram of an embodiment of a plasma generator of the present invention.
【図２】本発明のプラズマ発生装置に用いられるフィラ
メント近傍の他の実施例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of another embodiment near the filament used in the plasma generator of the present invention.
【図３】本発明のプラズマ発生装置に用いられるフィラ
メント近傍の他の実施例の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of another embodiment near the filament used in the plasma generator of the present invention.
【図４】本発明のプラズマ発生装置に用いられるフィラ
メント近傍の他の実施例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment near the filament used in the plasma generator of the present invention.
【図５】従来のプラズマ発生装置の概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram of a conventional plasma generator.
２０ 電極体カバー ２４ 電極体（ＬａＢ6 フィラメント） ２８ 発熱用電源 ２９、３０ アノード ３４ ターゲット20 Electrode Body Cover 24 Electrode Body (LaB 6 Filament) 28 Power Source for Heat Generation 29, 30 Anode 34 Target
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲桑▼原 一 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 川崎 義則 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 白川 忠秀 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 (72)発明者 瓦谷 立身 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor ▲ Hajime Kuwahara 1-15 Toyosu, Koto-ku, Tokyo Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Toni Technical Center (72) Inventor Yoshinori Kawasaki Koto-ku, Tokyo Toyosu 3-chome 1-15 Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Toji Technical Center (72) Inventor Tadahide Shirakawa 3-15-15 Toyosu, Koto-ku, Tokyo Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Toji Technical Center (72) The inventor, Tatsumi Karaya, 1-1-15 Toyosu, Koto-ku, Tokyo Ishikawajima Harima Heavy Industries Co., Ltd. Toji Technical Center
Claims (4)
のアーク放電口に臨ませ、アーク放電開始時に該電極体
を発熱させて熱電子を放出させる発熱用電源を該電極体
に接続し、さらに前記電極体とアノードおよびターゲッ
トとの間でアーク放電を発生してプラズマを発生させる
アーク放電用電源を前記電極体とアノードおよびターゲ
ットとの間に接続したことを特徴とするプラズマ発生装
置。1. An electrode body made of LaB 6 is exposed to an arc discharge port of an electrode body cover, and a heat generating power source for causing the electrode body to generate heat and emit thermoelectrons at the start of arc discharge is connected to the electrode body. Further, a plasma generating device is characterized in that an arc discharge power source for generating plasma by generating arc discharge between the electrode body, the anode and the target is connected between the electrode body, the anode and the target.
支持され、該ホルダが前記電極体カバーに対して着脱自
在に支持されていることを特徴とする請求項１記載のプ
ラズマ発生装置。2. The plasma generator according to claim 1, wherein a support member at the base of the electrode body is supported by a holder, and the holder is detachably supported by the electrode body cover.
たことを特徴とする請求項１または請求項２記載のプラ
ズマ発生装置。3. The plasma generator according to claim 1, wherein a cooling medium passage is formed in the support member.
極体カバー内に保持され、前記電極体カバー内のアーク
放電口側に蒸着防止板を設けたことを特徴とする請求項
１から請求項３のいずれか一項記載のプラズマ発生装
置。4. The vapor deposition preventing plate according to claim 1, wherein the supporting member is held in the electrode body cover via an insulator, and a vapor deposition preventing plate is provided on the arc discharge port side in the electrode body cover. The plasma generator according to claim 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5150490A JPH0714533A (en) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | Plasma generating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5150490A JPH0714533A (en) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | Plasma generating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0714533A true JPH0714533A (en) | 1995-01-17 |
Family
ID=15498015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5150490A Pending JPH0714533A (en) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | Plasma generating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714533A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100624745B1 (en) * | 2004-09-13 | 2006-09-15 | 한국전기연구원 | Hollow cathode discharge gun with stable discharge characteristics |
| JP2010251014A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Shinmaywa Industries Ltd | Hollow cathode type discharge tube |
| JP2011210401A (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Jeol Ltd | Electron gun |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP5150490A patent/JPH0714533A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100624745B1 (en) * | 2004-09-13 | 2006-09-15 | 한국전기연구원 | Hollow cathode discharge gun with stable discharge characteristics |
| JP2010251014A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Shinmaywa Industries Ltd | Hollow cathode type discharge tube |
| JP2011210401A (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Jeol Ltd | Electron gun |
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