JPH0714155A - Production of magnetic recording medium - Google Patents

Production of magnetic recording medium

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Publication number
JPH0714155A
JPH0714155A JP15031993A JP15031993A JPH0714155A JP H0714155 A JPH0714155 A JP H0714155A JP 15031993 A JP15031993 A JP 15031993A JP 15031993 A JP15031993 A JP 15031993A JP H0714155 A JPH0714155 A JP H0714155A
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JP
Japan
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thin film
magnetic thin
metal magnetic
polishing tape
tape
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Application number
JP15031993A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Naruse
宏治 成瀬
Ryoichi Hiratsuka
亮一 平塚
Takao Mori
敬郎 森
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH0714155A publication Critical patent/JPH0714155A/en
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic tape in which the generation frequency of dropout is extremely small. CONSTITUTION:A polishing tape 5 and a nonmagnetic supporting body 1 on which a metal magnetic thin film is formed by oblique vapor deposition method are arranged in such manner that the metal magnetic thin film side and the abrasive side face each other. A roll 3 having <=50mm diameter is attached by pressing from the back surface of the polishing tape 5 to bring the tape into contact with the magnetic thin film. In this state, the metal magnetic thin film is travelled in the direction opposite to the growing direction of the columnar structure of the thin film so that the surface of the metal magnetic thin film is polished. Thereby, no scratche is produced on the surface of the metal magnetic thin film due to abrased material from the film, or deposition of abrased particles on the thin film surface is prevented. Thus, projections on the surface of the metal magnetic thin film can be efficiently removed by grinding.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法に関し、特に金属磁性薄膜の表面処理方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium, and more particularly to a surface treatment method for a metal magnetic thin film.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の
粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポ
リエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等の
有機バインダー中に分散せしめた磁性塗料を塗布、乾燥
することにより磁性層が形成される,いわゆる塗布型の
磁気記録媒体が広く使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powder magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder on a non-magnetic support is used as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester resin, urethane resin, A so-called coating type magnetic recording medium in which a magnetic layer is formed by coating and drying a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as polyurethane resin is widely used.

【0003】さらに、高密度記録への要求の高まりとと
もに、Co−Ni合金,Co−Cr合金,Co−O等の
金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段(真空蒸着
法,スパッタリング法,イオンプレーティング法等)を
用いて非磁性支持体上に直接被着することによって磁性
層が形成される,いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒
体が提案されている。
Further, with the increasing demand for high-density recording, metal magnetic materials such as Co--Ni alloy, Co--Cr alloy, and Co--O are plated or vacuum thin film forming means (vacuum evaporation method, sputtering method, ion). There is proposed a so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium in which a magnetic layer is formed by directly depositing it on a non-magnetic support using a plating method or the like).

【0004】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、抗
磁力や角形比等に優れるとともに、磁性層の厚みを極め
て薄くできるため、記録減磁や再生時の厚み損失が著し
く小さく短波長での電磁変換特性に優れる。またそれば
かりでなく、磁性層中に非磁性材であるバインダーを混
入する必要がないため磁性材料の充填密度を高めること
ができる等、数々の利点を有している。このように金属
薄膜型の磁気記録媒体は、塗布型の磁気記録媒体に比べ
て磁気特性的に優位である故に高密度記録用の媒体の主
流になると考えられ、中でもCo−Ni合金等を斜め蒸
着することで成膜された金属磁性薄膜を磁性層とする斜
方蒸着タイプの磁気記録媒体は、電磁変換特性,再生出
力等が極めて良好であり、既に実用化されている。
This metal magnetic thin film type magnetic recording medium is excellent in coercive force, squareness ratio and the like, and since the thickness of the magnetic layer can be made extremely thin, recording demagnetization and thickness loss at the time of reproduction are extremely small and at a short wavelength. Excellent electromagnetic conversion characteristics. Not only that, but there is no need to mix a binder that is a non-magnetic material in the magnetic layer, so that the packing density of the magnetic material can be increased, and there are various advantages. As described above, the metal thin film type magnetic recording medium is considered to be the mainstream of the medium for high density recording because it is superior in magnetic characteristics to the coating type magnetic recording medium. An oblique vapor deposition type magnetic recording medium having a metal magnetic thin film formed by vapor deposition as a magnetic layer has very good electromagnetic conversion characteristics, reproduction output and the like, and has already been put to practical use.

【0005】ところで、磁気記録媒体において、さらに
高密度記録特性を良好なものとするためには、磁性層表
面を平滑化してスペーシング損失を小さくする必要があ
り、上記斜方蒸着タイプの磁気記録媒体においても、磁
性層は益々表面平滑に形成されるようになってきてい
る。
In the magnetic recording medium, in order to improve the high density recording characteristics, it is necessary to smooth the surface of the magnetic layer to reduce the spacing loss. Even in the medium, the magnetic layer is becoming more and more smooth in surface.

【0006】ところが、磁性層表面が平滑になるとヘッ
ドに対する接触面積が広くなることから、記録再生に際
して、ヘッドとの摩擦力が増大し、磁性層に大きな剪断
応力が生じるようになる。磁性層にこのように大きな剪
断応力が生じると、磁性層表面に平滑化しきれずに残存
する表面突起が剪断破壊されて細かい磁性粉末(以下、
摩耗粉と称する。)となって磁気記録媒体とヘッドとの
間に介在するようになる。この磁気記録媒体とヘッドと
のあいだいに介在する摩耗粉は、ドロップアウトを誘発
する原因となり、例えばVTRにおいては画質の劣化,
音飛び等を誘起し、さらに最悪の場合には、ヘッドクロ
ッグを引き起こし、記録再生さえも不可能になる。ま
た、近年、磁気記録の分野においては、アナログ磁気記
録からディジタル磁気記録へ移行しつつあるが、このよ
うな摩耗粉の影響はディジタル磁気記録において大きな
問題となるものと考えられる。
However, when the surface of the magnetic layer becomes smooth, the contact area with the head becomes large, so that the frictional force with the head increases during recording and reproduction, and a large shear stress is generated in the magnetic layer. When such a large shearing stress occurs in the magnetic layer, the surface protrusions that remain on the surface of the magnetic layer that cannot be completely smoothed are sheared and destroyed, and fine magnetic powder (hereinafter,
It is called abrasion powder. ), The magnetic recording medium and the head are interposed. The abrasion powder present between the magnetic recording medium and the head causes a dropout, which causes deterioration of image quality in a VTR, for example.
It induces sound skipping and, in the worst case, causes head clogs, which makes even recording and reproduction impossible. Further, in recent years, in the field of magnetic recording, analog magnetic recording is being shifted to digital magnetic recording, but it is considered that the influence of such abrasion powder becomes a big problem in digital magnetic recording.

【0007】そこで、このような摩耗粉の発生を防止す
るために、斜方蒸着法によって金属磁性薄膜を成膜した
後、成膜された金属磁性薄膜表面に該金属磁性薄膜の柱
状構造の成長方向に沿って研磨テープを摺動させること
で表面突起を除去する表面処理方法が特開昭63−16
7425公報において提案されている。なお、ここで研
磨テープの摺動させる向きを金属磁性薄膜の成長方向に
沿う方向にするのは、金属磁性薄膜の成長方向と逆方向
に研磨テープを摺動させた場合には金属磁性薄膜表面に
スクラッチ傷が形成されるからである。
Therefore, in order to prevent the generation of such abrasion powder, a metal magnetic thin film is formed by the oblique evaporation method, and then the columnar structure of the metal magnetic thin film is grown on the surface of the formed metal magnetic thin film. A surface treatment method for removing surface protrusions by sliding an abrasive tape along the direction is disclosed in JP-A-63-16.
7425 publication. The sliding direction of the polishing tape is set to the direction along the growth direction of the metal magnetic thin film when the polishing tape is slid in the direction opposite to the growth direction of the metal magnetic thin film. This is because scratches are formed on the surface.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法では、摺動している金属磁性薄膜と研磨テープの間に
おいて、金属磁性薄膜から一旦研削された研削物が金属
磁性薄膜表面,研磨テープ表面に巻き込まれ、金属磁性
薄膜表面にスクラッチ傷を形成したり、あるいは金属磁
性薄膜表面に再付着するといった問題があり、再付着し
た研削物,スクラッチ傷がやはりドロップアウトを誘発
するといった不都合が生じている。
However, in the above method, between the sliding metal magnetic thin film and the polishing tape, the ground object once ground from the metal magnetic thin film is formed on the surface of the metal magnetic thin film and the surface of the polishing tape. There is a problem that it is caught and scratches are formed on the surface of the metal magnetic thin film, or it reattaches to the surface of the metal magnetic thin film, and the disadvantage that the reattached ground object and scratches also induce dropout .

【0009】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、成膜された金属磁性薄膜
から表面突起を研削除去するに際して、金属磁性薄膜か
ら研削された研削物によって金属磁性薄膜表面にスクラ
ッチ傷が形成されたり、研削物が金属磁性薄膜表面に再
付着することがなく、金属磁性薄膜表面の突起が効率良
く研削除去できる磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and when grinding and removing the surface protrusions from the formed metal magnetic thin film, the present invention uses a grinding object ground from the metal magnetic thin film. To provide a method for manufacturing a magnetic recording medium capable of efficiently grinding and removing protrusions on the surface of a metal magnetic thin film without forming scratches on the surface of the metal magnetic thin film or reattaching a ground object to the surface of the metal magnetic thin film. To aim.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明者らが鋭意検討を重ねた結果、金属磁性薄
膜から表面突起を研削除去するに際して、金属磁性薄膜
と研磨テープの摺動長を短くすると、金属磁性薄膜表面
への研削物の再付着,スクラッチ傷の形成を生じること
なく金属磁性薄膜の表面突起を効率よく研削除去できる
との知見を得るに至った。
In order to achieve the above-mentioned object, the inventors of the present invention have conducted extensive studies, and as a result, when grinding and removing the surface protrusions from the metal magnetic thin film, the metal magnetic thin film and the polishing tape are slid. We have come to the knowledge that when the dynamic length is shortened, the surface protrusions of the metal magnetic thin film can be efficiently ground and removed without causing reattachment of a ground object on the surface of the metal magnetic thin film and formation of scratches.

【0011】本発明の磁気記録媒体の製法方法は、この
ような知見に基づいて完成されたものであって、非磁性
支持体上に斜め蒸着により金属磁性薄膜を形成した後、
非磁性支持体と研磨テープとを互いに金属磁性薄膜側,
研磨材側が対向面となるように配置し、該研磨テープの
背面側から直径50mm以下のロールを押し付けること
によって接触させ、この状態で金属磁性薄膜をその柱状
構造の成長方向と逆方向に走行させることで金属磁性薄
膜表面を研磨することを特徴とするものである。
The method for producing a magnetic recording medium of the present invention has been completed based on such findings, and after forming a metal magnetic thin film on a non-magnetic support by oblique vapor deposition,
The non-magnetic support and the polishing tape are connected to each other on the metal magnetic thin film side,
Arranged so that the abrasive side faces each other, and a roll having a diameter of 50 mm or less is pressed against the back side of the polishing tape to bring them into contact with each other, and in this state, the metal magnetic thin film runs in the direction opposite to the growth direction of the columnar structure. Thus, the surface of the metal magnetic thin film is polished.

【0012】また、金属磁性薄膜をその柱状構造の成長
方向と逆方向に摺動させるに際して、研磨テープを金属
磁性薄膜の走行方向と同方向に走行させることを特徴と
するものである。
Further, when the metal magnetic thin film is slid in a direction opposite to the growth direction of the columnar structure, the polishing tape is run in the same direction as the running direction of the metal magnetic thin film.

【0013】[0013]

【作用】斜め蒸着法によって金属磁性薄膜が成膜された
非磁性支持体と研磨テープとを、互いに金属磁性薄膜側
と研磨材側とが対向面となるように配置し、研磨テープ
の背面側から直径50mm以下の小径ロールを押し付
け、張り出させると、研磨テープと金属磁性薄膜とは比
較的短い接触長範囲で幅方向に均一に接触する。この状
態で金属磁性薄膜をその柱状構造の成長方向と逆方向に
走行させると、金属磁性薄膜表面に研磨テープが該金属
磁性薄膜の柱状方向に対して順目方向に摺動し、突起が
研削される。このとき、金属磁性薄膜と研磨テープの摺
動長は短いので、研削された研削物は金属磁性薄膜の走
行とともに摺動部に長時間滞在することなく速やかに金
属磁性薄膜表面から離脱する。したがって、金属磁性薄
膜と研磨テープの間に研削物が滞在していることによっ
て生じる金属磁性薄膜表面への研削物の再付着,スクラ
ッチ傷の形成が抑えられ、ドロップアウトの発生頻度の
極めて小さい磁気テープが獲得されることになる。
The nonmagnetic support on which the metal magnetic thin film is formed by the oblique vapor deposition method and the polishing tape are arranged so that the metal magnetic thin film side and the abrasive side face each other, and the back side of the polishing tape. When a small-diameter roll having a diameter of 50 mm or less is pressed and protruded, the polishing tape and the metal magnetic thin film uniformly contact in the width direction within a relatively short contact length range. When the metal magnetic thin film is run in the direction opposite to the growth direction of the columnar structure in this state, the polishing tape slides on the surface of the metal magnetic thin film in the normal direction to the columnar direction of the metal magnetic thin film, and the protrusion is ground. To be done. At this time, since the sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape is short, the ground object that has been ground is quickly separated from the surface of the metal magnetic thin film without traveling in the metal magnetic thin film for a long time. Therefore, the reattachment of the grinding material to the surface of the metal magnetic thin film and the formation of scratches caused by the staying of the grinding object between the metal magnetic thin film and the polishing tape are suppressed, and the magnetic field with a very low dropout frequency is suppressed. The tape will be won.

【0014】なお、このとき研磨テープを非磁性支持体
の走行方向と同方向に非磁性支持体の走行速度に比べて
低い速度で走行させるようにすると、金属磁性薄膜と研
磨テープの間からより効率良く研削物が離脱するように
なり、金属磁性薄膜表面への研削物の再付着,スクラッ
チ傷の形成がより確実に防止される。
At this time, if the polishing tape is made to run in the same direction as the running direction of the non-magnetic support at a speed lower than the running speed of the non-magnetic support, it is more likely to be run between the metal magnetic thin film and the polishing tape. The grind material is efficiently separated, and the re-adhesion of the grind material and the formation of scratches on the surface of the metal magnetic thin film are more reliably prevented.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について図面
を参照しながら説明するが、本発明がこの実施例に限定
されるものでないことは言うもでもない。
EXAMPLES Specific examples of the present invention will be described below with reference to the drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.

【0016】磁気記録媒体を作製するには、先ず、非磁
性支持体上に斜方蒸着法によって金属磁性薄膜を成膜す
る。
To manufacture a magnetic recording medium, first, a metal magnetic thin film is formed on a non-magnetic support by the oblique evaporation method.

【0017】本実施例で使用した蒸着装置を図1に示
す。すなわち、上記蒸着装置は、排気管35によって内
部が高真空状態となされたチャンバー21内に、巻き出
しロール23,巻き取りロール24,冷却キャン25よ
りなる走行系と、蒸発源である金属磁性材料29が収容
された収容容器28と、蒸着時に酸素ガスを導入する酸
素ガス導入管34とを収容することにより構成されてい
る。
The vapor deposition apparatus used in this example is shown in FIG. That is, in the above vapor deposition apparatus, the inside of the chamber 21 whose inside is made into a high vacuum state by the exhaust pipe 35, the traveling system including the unwinding roll 23, the winding roll 24, and the cooling can 25, and the metallic magnetic material as the evaporation source. It is configured by accommodating an accommodating container 28 accommodating 29 and an oxygen gas introducing pipe 34 for introducing oxygen gas during vapor deposition.

【0018】上記巻き出しロール23,冷却キャン2
5,巻き取りロール24には、長尺状の非磁性支持体2
2が順次掛け渡され、前記巻き出しロール23より冷却
キャン25側の送り出されて最終的に前記巻き取りロー
ル24に巻き取られるようになされている。また、上記
冷却キャン25の内部には、図示しない冷却装置が設け
られ、前記非磁性支持体22の温度上昇による変形等を
制御するようになされている。
The unwinding roll 23 and the cooling can 2
5, the winding roll 24 has a long non-magnetic support 2
2 are sequentially wound around and sent out from the unwinding roll 23 on the cooling can 25 side and finally wound up by the winding roll 24. A cooling device (not shown) is provided inside the cooling can 25 so as to control deformation of the non-magnetic support 22 due to temperature rise.

【0019】上記収容容器28は、前記冷却キャン25
の下方に配設されている。そして、この収容容器28内
に収容される金属磁性材料29は電子銃30によって加
熱蒸発させられ、前記冷却キャン25の外周囲を走行す
る非磁性支持体22上に磁性層として被着形成されるよ
うになされている。
The storage container 28 has the cooling can 25.
Is disposed below. The metallic magnetic material 29 accommodated in the accommodating container 28 is heated and evaporated by the electron gun 30, and is deposited and formed as a magnetic layer on the non-magnetic support 22 running around the cooling can 25. It is done like this.

【0020】また、上記冷却キャン25の外周囲近傍部
には、前記金属磁性材料29の加熱蒸発による金属蒸気
流を遮蔽する湾曲形状のシャッター33が配設されてい
る。上記シャッター33は、金属蒸気流が前記非磁性支
持体22に対して所定角度範囲で斜めに蒸着されるよう
に当該非磁性支持体22の所定範囲を覆うものである。
また、さらに、上記冷却キャン25の近傍にはシャッタ
ー33が設けられた部分から下流側に円弧状にマスク3
2が設けられるとともにチャンバー21内の冷却キャン
25を除いた部分を上下に仕切る仕切り板31がチャン
バー21内壁から冷却キャン25外周囲近傍に亘って設
けられている。これらマスク32と仕切り板31は既に
形成された磁性層や非磁性支持体22の不要な部分に金
属蒸気流が当たるのを遮るためのものである。
In the vicinity of the outer periphery of the cooling can 25, a curved shutter 33 for blocking a metal vapor flow due to heating and evaporation of the metal magnetic material 29 is provided. The shutter 33 covers a predetermined range of the non-magnetic support 22 so that the metal vapor flow is obliquely deposited on the non-magnetic support 22 within a predetermined angle range.
Further, in the vicinity of the cooling can 25, the mask 3 is formed in an arc shape in the downstream side from the portion where the shutter 33 is provided.
2 is provided, and a partition plate 31 for vertically partitioning the portion of the chamber 21 excluding the cooling can 25 is provided from the inner wall of the chamber 21 to the vicinity of the outer periphery of the cooling can 25. The mask 32 and the partition plate 31 serve to block the metal vapor flow from hitting unnecessary portions of the magnetic layer and the non-magnetic support 22 which are already formed.

【0021】また、上記非磁性支持体22の走行方向の
下流側,すなわち金属蒸気流の低入射角側には、外部よ
りチャンバー25内へ導かれる酸素ガス導入管34が配
設されている。この酸素ガス導入管34の先端部は、前
記冷却キャン25に近接して設けられ、当該冷却キャン
25の外周囲に沿って走行する非磁性支持体22の幅方
向全体に亘って酸素ガスを吹き出すようになされてい
る。
Further, an oxygen gas introducing pipe 34, which is introduced from the outside into the chamber 25, is arranged on the downstream side of the non-magnetic support 22 in the traveling direction, that is, on the low incident angle side of the metal vapor flow. The tip end of the oxygen gas introduction pipe 34 is provided in the vicinity of the cooling can 25, and blows out oxygen gas over the entire width direction of the non-magnetic support 22 that runs along the outer periphery of the cooling can 25. It is done like this.

【0022】このように構成された蒸着装置を用いて非
磁性支持体22上に金属磁性薄膜を形成するには、先ず
チャンバー21内を真空状態とした後、巻き出しロール
23側から巻き取りロール24側に亘って非磁性支持体
22を走行させる。そして、電子銃30によって金属磁
性材料を加熱蒸発させ、この金属蒸気流を前記シャッタ
ー33の操作により前記冷却キャン25の外周囲に沿っ
て走行する非磁性支持体22の所定角度範囲に供給す
る。このとき、同時に酸素ガスを前記酸素ガス導入管3
4により導入する。すると、前記冷却キャン25の外周
囲に沿って走行する非磁性支持体22上に表面に酸化層
を有する金属磁性薄膜が形成される。そして、金属磁性
薄膜が形成された非磁性支持体22は、前記巻き取りロ
ール24に巻き取られる。なお、金属磁性薄膜上に酸化
層を形成するのは、保磁力等の磁気特性,耐久性,電磁
変換特性の向上の目的からである。
In order to form a metal magnetic thin film on the non-magnetic support 22 by using the vapor deposition apparatus having the above-described structure, first, the chamber 21 is evacuated and then the take-up roll 23 takes up the take-up roll. The non-magnetic support 22 is run over the 24 side. Then, the metallic magnetic material is heated and evaporated by the electron gun 30, and this metallic vapor flow is supplied to a predetermined angular range of the non-magnetic support 22 that runs along the outer periphery of the cooling can 25 by operating the shutter 33. At this time, oxygen gas is simultaneously supplied to the oxygen gas introducing pipe 3
Introduced by 4. Then, a metal magnetic thin film having an oxide layer on its surface is formed on the non-magnetic support 22 that runs along the outer periphery of the cooling can 25. Then, the non-magnetic support 22 on which the metal magnetic thin film is formed is wound around the winding roll 24. The oxide layer is formed on the metal magnetic thin film for the purpose of improving magnetic characteristics such as coercive force, durability, and electromagnetic conversion characteristics.

【0023】上記蒸着装置によって斜方蒸着する金属材
料としては、通常この主の媒体で使用されるものがいず
れも使用可能である。例示すれば、Co−Ni合金の
他、Co−Pt合金,Co−Ni−Pt合金,Fe−C
o合金,Fe−Ni合金,Fe−Co−Ni合金,Fe
−Co−B合金,Co−Ni−Fe−B合金等が使用可
能である。
As the metal material which is obliquely vapor-deposited by the vapor deposition apparatus, any of those usually used in the main medium can be used. For example, in addition to Co—Ni alloys, Co—Pt alloys, Co—Ni—Pt alloys, Fe—C
o alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe
-Co-B alloy, Co-Ni-Fe-B alloy, etc. can be used.

【0024】また、非磁性支持体としては、やはりこの
種の媒体で通常使用されるものが使用でき、例えばポリ
エチレンテレフタレート(PET)フィルム,ポリエチ
レン−2,6−ナフタレート等のポリエステルフィルム
や芳香族ポリアミドフィルム,ポリイミド樹脂フィルム
等が挙げられる。
As the non-magnetic support, those usually used in this type of medium can also be used. For example, polyethylene terephthalate (PET) film, polyester film such as polyethylene-2,6-naphthalate, or aromatic polyamide. Examples include films and polyimide resin films.

【0025】ここで、斜方蒸着法によって成膜された金
属磁性薄膜は、成膜精度の限界上、表面に微小な突起を
有しており、そのままではこの突起が記録再生に際して
削れて研磨粉となりドロップアウトを誘起する原因とな
る。そこで、このようなドロップアウトの原因となる突
起を金属磁性薄膜表面に研磨テープを摺動させることに
よって研削除去することとする。金属磁性薄膜に研磨テ
ープを摺動させるには、非磁性支持体と研磨テープとを
互いに金属磁性薄膜面,研磨材面が対向面となるように
所定距離を置いて配置し、研磨テープの背面側から直径
50mm以下のロールを押し付けることで該研磨テープ
を金属磁性薄膜と接触させ、この状態で非磁性支持体を
金属磁性薄膜の柱状構造の成長方向と逆方向に走行させ
ることによって行う。
Here, the metal magnetic thin film formed by the oblique vapor deposition method has minute projections on the surface due to the limitation of film formation accuracy. If the projections are left as they are, the projections are scraped off during recording and reproduction, and the polishing powder is removed. Will cause dropout. Therefore, the protrusions that cause such dropout are ground and removed by sliding the polishing tape on the surface of the metal magnetic thin film. To slide the polishing tape on the metal magnetic thin film, the non-magnetic support and the polishing tape are placed at a predetermined distance such that the metal magnetic thin film surface and the polishing material surface face each other, and the back surface of the polishing tape The polishing tape is brought into contact with the metal magnetic thin film by pressing a roll having a diameter of 50 mm or less from the side, and in this state, the nonmagnetic support is run in the direction opposite to the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film.

【0026】このように表面処理を行うようにした研磨
装置の一例を図2に示す。この研磨装置は、金属磁性薄
膜を移動走行させるための金属磁性薄膜走行系7と研磨
テープ5を金属磁性薄膜に対して押し付けるための研磨
テープ支持系8より構成される。
FIG. 2 shows an example of a polishing apparatus which is thus surface-treated. This polishing apparatus comprises a metal magnetic thin film running system 7 for moving and running a metal magnetic thin film and a polishing tape support system 8 for pressing the polishing tape 5 against the metal magnetic thin film.

【0027】上記金属磁性薄膜走行系7は、金属磁性薄
膜巻き出しロール4bと金属磁性薄膜巻き取りロール4
aよりなり、金属磁性薄膜が成膜された長尺状の非磁性
支持体1が順次掛け渡され、金属磁性薄膜巻き出しロー
ル4bより送り出されて前記巻き取りロール4aにより
巻き取られるようになっている。また、上記金属磁性薄
膜巻き出しロール4bと金属磁性薄膜巻き取りロール4
aの間には、金属磁性薄膜巻き出しロール4bと金属磁
性薄膜巻き取りロール4aに掛け渡された非磁性支持体
1の研磨テープ5に摺動される部分を所定の位置に案内
するための一対のガイドロール6が配されている。
The metal magnetic thin film running system 7 includes a metal magnetic thin film winding roll 4b and a metal magnetic thin film winding roll 4
a long magnetic non-magnetic support 1 having a metal magnetic thin film formed thereon is successively wound around, is fed from a metal magnetic thin film unwinding roll 4b, and is wound by the winding roll 4a. ing. Further, the metal magnetic thin film winding roll 4b and the metal magnetic thin film winding roll 4 are
Between a, a portion for guiding the portion of the nonmagnetic support 1 slid on the polishing tape 5 wound around the metal magnetic thin film winding roll 4b and the metal magnetic thin film winding roll 4a to a predetermined position. A pair of guide rolls 6 are arranged.

【0028】一方、研磨テープ支持系8は、研磨テープ
巻き出しロール2b,研磨テープ巻き取りロール2a,
押し付けロール3よりなり、長尺状の研磨テープ5が巻
き出しロール2b,押しつけロール3,巻き出しロール
2bに亘って順次掛け渡されるとともに、この掛け渡さ
れた研磨テープ5の一部が前記押し付けロール3の金属
磁性薄膜側への移動によって金属磁性薄膜に押し付けら
れ金属磁性薄膜とともに押しつけ側に張り出されるよう
になされている。この研磨装置では、金属磁性薄膜と研
磨テープ5とがこのように押しつけロール3によって押
しつけ張り出させれることで、所定の張力が生じた状態
で幅方向に均一に接触させられ、この状態で金属磁性薄
膜が走行することによって金属磁性薄膜表面を研磨テー
プ5が摺動することになる。
On the other hand, the polishing tape support system 8 includes a polishing tape unwinding roll 2b, a polishing tape winding roll 2a,
A long polishing tape 5 composed of a pressing roll 3 is successively wound over the unwinding roll 2b, the pressing roll 3, and the unwinding roll 2b, and a part of the running polishing tape 5 is pressed by the pressing roll 3. By moving the roll 3 to the metal magnetic thin film side, the roll 3 is pressed against the metal magnetic thin film and is projected to the pressing side together with the metal magnetic thin film. In this polishing apparatus, the metal magnetic thin film and the polishing tape 5 are thus pushed out by the pressing roll 3 so that they are made to come into uniform contact with each other in the width direction under a predetermined tension. As the magnetic thin film runs, the polishing tape 5 slides on the surface of the metal magnetic thin film.

【0029】このとき金属磁性薄膜と研磨テープ5の摺
動長は、押しつけロール3の直径と押し付けロールに対
する金属磁性薄膜のラップ角θによって決まり、ここで
は押し付けロール3の直径が50mm以下と小径とされ
ているので、例えば非磁性支持体に十分な張力を生じさ
せるべくラップ角θが150°程度となるように金属磁
性薄膜と研磨テープ5とを張り出させた場合にも、金属
磁性薄膜と研磨テープとの接触長は長くとも65.4m
m程度に収まることになる。
At this time, the sliding length between the metal magnetic thin film and the polishing tape 5 is determined by the diameter of the pressing roll 3 and the wrap angle θ of the metal magnetic thin film with respect to the pressing roll. Here, the diameter of the pressing roll 3 is as small as 50 mm or less. Therefore, for example, even when the metal magnetic thin film and the polishing tape 5 are projected so that the wrap angle θ is about 150 ° in order to generate sufficient tension on the non-magnetic support, Contact length with polishing tape is at most 65.4m
It will be about m.

【0030】押し付けロール3の直径が50mmを越え
る場合には、ラップ角θを150°程度とすると摺動長
が長くなって接触部において金属磁性薄膜への研削物の
再付着,スクラッチ傷の形成が発生する。押し付けロー
ルの直径が50mmを越える場合にも、ラップ角θを1
25°程度とすれば摺動長は短く抑えられるが、今度は
非磁性支持体,研磨テープに生じる張力が小さくなって
研削効果が低くなる。すなわち、押し付けロールの直径
が50mmを越える場合にはいずれにしても金属磁性薄
膜の表面性を十分に良好にすることができない。
When the diameter of the pressing roll 3 exceeds 50 mm, if the wrap angle θ is set to about 150 °, the sliding length becomes long and the reattachment of the grinding material to the metal magnetic thin film and the formation of scratches at the contact portion. Occurs. Even if the diameter of the pressing roll exceeds 50 mm, the wrap angle θ is set to 1
If it is set to about 25 °, the sliding length can be suppressed to be short, but this time, the tension generated on the non-magnetic support and the polishing tape is reduced, and the grinding effect is reduced. That is, if the diameter of the pressing roll exceeds 50 mm, the surface properties of the metal magnetic thin film cannot be sufficiently improved in any case.

【0031】なお、上記研磨テープとしてはテープ状支
持体上にAl2 3 ,SiO2 ,SiC,ダイヤモン
ド,CrO2 等の研磨材が塗布されてなるものが用いら
れる。
As the polishing tape, a tape-shaped support coated with an abrasive such as Al 2 O 3 , SiO 2 , SiC, diamond, CrO 2 or the like is used.

【0032】このような構成の研磨装置によって金属磁
性薄膜表面の突起を研削除去するには、金属磁性薄膜巻
き出しロール4b,ガイドロール6,金属磁性薄膜巻き
取りロール4aに渡って金属磁性薄膜が形成された非磁
性支持体1を順次掛け渡す。これらロール4b,4a,
6に非磁性支持体1を掛け渡すに際しては、その走行方
向を考慮することが重要であり、金属磁性薄膜の柱状構
造の成長方向と逆方向が走行方向となるように、すなわ
ち相対的に研磨テープ5が金属磁性薄膜の柱状構造の成
長方向に対して順目方向に摺動するように、金属磁性薄
膜の柱状構造の先端側を金属磁性薄膜巻き出しロール4
b側として非磁性支持体1を掛け渡す必要がある。この
とき非磁性支持体1が研磨テープ25が金属磁性薄膜の
柱状構造の成長方向に対して逆目方向に摺動するような
向きで掛け渡された場合には、研磨に際して金属磁性薄
膜表面にスクラッチ傷を発生させる虞れがある。
In order to grind and remove the protrusions on the surface of the metal magnetic thin film by the polishing apparatus having such a structure, the metal magnetic thin film is spread over the metal magnetic thin film unwinding roll 4b, the guide roll 6 and the metal magnetic thin film winding roll 4a. The formed non-magnetic support 1 is successively passed over. These rolls 4b, 4a,
It is important to consider the traveling direction of the non-magnetic support 1 when the non-magnetic support 1 is laid over the substrate 6, so that the traveling direction is opposite to the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film, that is, the polishing is relatively performed. The tip end side of the columnar structure of the metal magnetic thin film is rolled so that the tape 5 slides in the normal direction with respect to the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film.
It is necessary to bridge the non-magnetic support 1 on the b side. At this time, when the non-magnetic support 1 is laid over in such a direction that the polishing tape 25 slides in the direction opposite to the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film, the surface of the metal magnetic thin film is polished. It may cause scratches.

【0033】一方、研磨テープ巻き出しロール2b,押
しつけロール3,研磨テープ巻き取りロール2aには、
研磨テープ5を研磨材側が金属磁性薄膜側となるように
順次掛け渡し、押し付けロール3を金属磁性薄膜側に移
動することで、前記研磨テープ5を金属磁性薄膜に押し
付け金属磁性薄膜とともに押し付け側に張り出させる。
On the other hand, the polishing tape take-up roll 2b, the pressing roll 3 and the polishing tape take-up roll 2a are
The polishing tape 5 is sequentially laid over so that the polishing material side is the metal magnetic thin film side, and the pressing roll 3 is moved to the metal magnetic thin film side, whereby the polishing tape 5 is pressed to the metal magnetic thin film and to the pressing side together with the metal magnetic thin film. Overhang.

【0034】そして、このようにして非磁性支持体1と
研磨テープ5を装置にセットした後、非磁性支持体1を
金属磁性薄膜の柱状構造の成長方向と逆方向に移動走行
させる。これにより、金属磁性薄膜には研磨テープ5が
金属磁性薄膜の柱状構造の成長方向に対して順目方向に
摺動し、金属磁性薄膜表面の突起が研削される。
After setting the non-magnetic support 1 and the polishing tape 5 in the apparatus in this manner, the non-magnetic support 1 is moved and run in the direction opposite to the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film. As a result, the polishing tape 5 slides on the metal magnetic thin film in the normal direction with respect to the growth direction of the columnar structure of the metal magnetic thin film, and the protrusions on the surface of the metal magnetic thin film are ground.

【0035】このとき、上記研磨装置では、上述の如く
押し付けロール3の直径が50mm以下と小径とされて
おり、これにより金属磁性薄膜と研磨テープ5との摺動
長が短くなっているので、研削された研削物は金属磁性
薄膜の走行とともに摺動部に長時間滞在することなく速
やかに金属磁性薄膜表面から離脱する。したがって、金
属磁性薄膜と研磨テープの間に研削物が滞在しているこ
とによって生じる金属磁性薄膜表面への研削物の再付
着,スクラッチ傷の形成が抑えられ、ドロップアウトの
発生頻度の極めて小さい磁気テープが獲得されることに
なる。
At this time, in the above-mentioned polishing apparatus, the pressing roll 3 has a small diameter of 50 mm or less as described above, so that the sliding length between the metal magnetic thin film and the polishing tape 5 is shortened. The ground object that has been ground rapidly separates from the surface of the metal magnetic thin film without running in the sliding portion for a long time as the metal magnetic thin film runs. Therefore, the reattachment of the grinding material to the surface of the metal magnetic thin film and the formation of scratches caused by the staying of the grinding object between the metal magnetic thin film and the polishing tape are suppressed, and the magnetic field with a very low dropout frequency is suppressed. The tape will be won.

【0036】なお、このとき研磨テープ5を非磁性支持
体1の走行方向と同方向に非磁性支持体1の走行速度に
比べて低い速度で走行させるようにすると、金属磁性薄
膜と研磨テープ5の間からより効率良く研削物が離脱す
るようになり、金属磁性薄膜表面への研削物の再付着,
スクラッチ傷の形成がより確実に防止される。
At this time, if the polishing tape 5 is made to run in the same direction as the running direction of the non-magnetic support 1 at a speed lower than the running speed of the non-magnetic support 1, the magnetic metal thin film and the polishing tape 5 are made. The grinding material comes out more efficiently from the gap, and the grinding material is reattached to the surface of the metal magnetic thin film,
The formation of scratches is more reliably prevented.

【0037】次に、上記研磨装置を用いて実際に磁気テ
ープを作製し、そのドロップアウトの発生状況を調べ
た。
Next, a magnetic tape was actually manufactured using the above polishing apparatus, and the occurrence of dropout was examined.

【0038】実施例1 厚さ10μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に膜厚2000nmのCoを主成分とする金属磁性薄膜
を上記斜方蒸着装置を用いて成膜した。次いで、このよ
うにして金属磁性薄膜が形成された非磁性支持体を上記
研磨装置にセットして表面処理を行った。なお、表面処
理は、研磨テープとして、平均粒径9μmのSiCを厚
さ25μmのテープ状支持体上に塗布してなるものを用
い、以下の表面処理条件で行った。 表面処理条件 研磨テープ送り速度: 0.1m/分 研磨テープの張力: 2.0kg 非磁性支持体の送り速度: 60m/分 非磁性支持体の張力: 1.5kg 押しつけロールの直径: 15mm 研磨テープの押し付けロールに対するラップ角: 150° 金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動長 :19.6mm そして、表面処理が施された金属磁性薄膜上に膜厚15
nmのカーボン保護膜を形成し、さらに該保護膜上にパ
ーフルオロポリエーテルをトップコートして潤滑剤層を
形成し、磁気テープを作製した。
Example 1 A metal magnetic thin film having a thickness of 2000 nm and containing Co as a main component was formed on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 10 μm by using the above oblique vapor deposition apparatus. Then, the non-magnetic support on which the metal magnetic thin film was formed in this manner was set in the above-mentioned polishing apparatus and surface-treated. The surface treatment was carried out under the following surface treatment conditions using a polishing tape obtained by coating SiC having an average particle diameter of 9 μm on a tape-shaped support having a thickness of 25 μm. Surface treatment conditions Abrasive tape feed rate: 0.1 m / min Abrasive tape tension: 2.0 kg Non-magnetic support feed rate: 60 m / min Non-magnetic support tension: 1.5 kg Pressing roll diameter: 15 mm Abrasive tape Lap angle with respect to the pressing roll of: 150 ° Execution sliding length of metal magnetic thin film and polishing tape: 19.6 mm And film thickness of 15 on the surface-treated metal magnetic thin film.
A carbon protective film having a thickness of 10 nm was formed, and perfluoropolyether was top-coated on the protective film to form a lubricant layer, to prepare a magnetic tape.

【0039】実施例2 押しつけロールの直径,研磨テープの押し付けロールに
対するラップ角,金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動
長を以下のようにして変えたこと以外は実施例1と同様
にして磁気テープを作製した。 押しつけロールの直径: 30mm 研磨テープの押し付けロールに対するラップ角: 150° 金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動長 :39.3mm
Example 2 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the diameter of the pressing roll, the lapping angle of the polishing tape with respect to the pressing roll, and the actual sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape were changed as follows. A tape was made. Diameter of pressing roll: 30 mm Lapping angle of polishing tape to pressing roll: 150 ° Actual sliding length of metal magnetic thin film and polishing tape: 39.3 mm

【0040】実施例3 押しつけロールの直径,研磨テープの押し付けロールに
対するラップ角,金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動
長を以下のようにして変えたこと以外は実施例1と同様
にして磁気テープを作製した。 押しつけロールの直径: 50mm 研磨テープの押し付けロールに対するラップ角: 150° 金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動長 :65.4mm
Example 3 The same procedure as in Example 1 was repeated except that the diameter of the pressing roll, the wrap angle of the polishing tape with respect to the pressing roll, and the actual sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape were changed as follows. A tape was made. Diameter of pressing roll: 50 mm Lapping angle of polishing tape to pressing roll: 150 ° Actual sliding length of metal magnetic thin film and polishing tape: 65.4 mm

【0041】比較例1 押しつけロールの直径,研磨テープの押し付けロールに
対するラップ角,金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動
長を以下のようにして変えたこと以外は実施例1と同様
にして磁気テープを作製した。 押しつけロールの直径: 60mm 研磨テープの押し付けロールに対するラップ角: 150° 金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動長 :78.5mm
COMPARATIVE EXAMPLE 1 Magnetic properties were the same as in Example 1 except that the diameter of the pressing roll, the wrap angle of the polishing tape with respect to the pressing roll, and the actual sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape were changed as follows. A tape was made. Diameter of pressing roll: 60 mm Lapping angle of polishing tape against pressing roll: 150 ° Actual sliding length of metal magnetic thin film and polishing tape: 78.5 mm

【0042】比較例2 押しつけロールの直径,研磨テープの押し付けロールに
対するラップ角,金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動
長を以下のようにして変えたこと以外は実施例1と同様
にして磁気テープを作製した。 押しつけロールの直径: 60mm 研磨テープの押し付けロールに対するラップ角: 125° 金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動長 :65.4mm 但し、この場合には、ラップ角が小さいことから非磁性
支持体の張力は巻き取りロールの引っ張り強度を調整し
ても1.0kg以上にすることができなかった。
COMPARATIVE EXAMPLE 2 Magnetic properties were the same as in Example 1 except that the diameter of the pressing roll, the wrap angle of the polishing tape with respect to the pressing roll, and the effective sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape were changed as follows. A tape was made. Diameter of pressing roll: 60 mm Lapping angle of polishing tape against pressing roll: 125 ° Execution sliding length of metal magnetic thin film and polishing tape: 65.4 mm However, in this case, since the wrap angle is small, the non-magnetic support The tension could not be increased to 1.0 kg or more even if the tensile strength of the winding roll was adjusted.

【0043】比較例3 押しつけロールの直径,研磨テープの押し付けロールに
対するラップ角,金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動
長を以下のようにして変えたこと以外は実施例1と同様
にして磁気テープを作製した。 押しつけロールの直径: 100mm 研磨テープの押し付けロールに対するラップ角: 150° 金属磁性薄膜と研磨テープの実行摺動長 :131.0mm
Comparative Example 3 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the diameter of the pressing roll, the wrap angle of the polishing tape with respect to the pressing roll, and the actual sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape were changed as follows. A tape was made. Diameter of pressing roll: 100 mm Lapping angle of polishing tape to pressing roll: 150 ° Execution sliding length of metal magnetic thin film and polishing tape: 131.0 mm

【0044】比較例4 金属磁性薄膜に表面処理を行わないこと以外は実施例1
と同様にして磁気テープを作製した。以上のようにして
作製された各磁気テープについて、Hi−8VTR(商
品名EV−S900)を用いてドロップアウトの発生頻
度を測定した。なお、ドロップアウトの測定は、出力が
16dB減衰し、この出力減衰が10μsec継続した
場合をドロップアウト1として換算する場合、出力が1
0dB減衰し、この出力減衰が10μsec継続した場
合をドロップアウト1として換算する場合の2水準を設
定して行った。その結果を表1に示す。なお表1には、
表面処理を行った際の押しつけロールの直径、研磨テー
プの押し付けロールに対するラップ角、金属磁性薄膜の
研磨テープに対する実行摺動長も併せて示した。
Comparative Example 4 Example 1 except that the metal magnetic thin film was not surface-treated.
A magnetic tape was produced in the same manner as. For each magnetic tape manufactured as described above, the frequency of dropouts was measured using Hi-8VTR (trade name EV-S900). In the dropout measurement, the output is attenuated by 16 dB, and when the output attenuation is continued for 10 μsec and converted into dropout 1, the output is 1
It was performed by setting two levels when the output was attenuated by 0 dB and the output attenuation was continued for 10 μsec as the dropout 1. The results are shown in Table 1. In addition, in Table 1,
The diameter of the pressing roll when the surface treatment was performed, the wrap angle of the polishing tape with respect to the pressing roll, and the actual sliding length of the metal magnetic thin film with respect to the polishing tape are also shown.

【0045】[0045]

【表1】 [Table 1]

【0046】表1からわかるように、表面処理に際して
直径が50mm以下の押しつけロールを用いた磁気テー
プは、いずれの水準でドロップアウトを測定した場合で
もドロップアウトが100以内に収まっているのに対し
て、表面処理に際して直径が50mmを越える押しつけ
ロールを用いた磁気テープは、ドロップアウトの発生頻
度が格段に高いものとなっている。
As can be seen from Table 1, the magnetic tape using a pressing roll having a diameter of 50 mm or less at the time of surface treatment has a dropout of 100 or less at any level. Therefore, the frequency of dropout is extremely high in the magnetic tape using the pressing roll having a diameter of more than 50 mm in the surface treatment.

【0047】このようにドロップアウトが高くなるの
は、例えば比較例1,比較例3の磁気テープにおいて
は、表面処理に際して金属磁性薄膜と研磨テープの摺動
長が長いことから、この金属磁性薄膜と研磨テープの接
触部において研削された研削物が金属磁性薄膜に再付着
したりスクラッチ傷を形成したからであり、比較例2の
磁気テープにおいては、押し付けロールに対するラップ
角が小さいことから非磁性支持体に生じる張力が低くな
り、金属磁性薄膜表面の突起を十分に研削することがで
きなかったからと考えられる。
The reason why the dropout is high is that, for example, in the magnetic tapes of Comparative Examples 1 and 3, since the sliding length of the metal magnetic thin film and the polishing tape is long during the surface treatment, this metal magnetic thin film is used. This is because the ground material ground at the contact portion between the polishing tape and the polishing tape redeposited on the metal magnetic thin film or formed scratches. In the magnetic tape of Comparative Example 2, since the wrap angle with respect to the pressing roll was small, it was non-magnetic. It is considered that the tension generated on the support became low and the protrusions on the surface of the metal magnetic thin film could not be sufficiently ground.

【0048】以上のことから、金属磁性薄膜表面の突起
を研磨テープによって研削除去するに際して、研磨テー
プと金属磁性薄膜とを直径が50mm以下の押しつけロ
ールを用いて接触させるようにすることは、金属磁性薄
膜表面への研削物の再付着,スクラッチ傷の形成を抑え
て金属磁性薄膜表面の突起を効率良く研削し、ドロップ
アウトの発生頻度が極めて少ない磁気テープを得る上で
有効であることがわかった。
From the above, when the protrusions on the surface of the metal magnetic thin film are ground and removed by the polishing tape, it is necessary to bring the polishing tape and the metal magnetic thin film into contact with each other by using a pressing roll having a diameter of 50 mm or less. It was found to be effective in efficiently grinding the protrusions on the surface of the metal magnetic thin film by suppressing the reattachment of the ground material to the surface of the magnetic thin film and the formation of scratches, and obtaining a magnetic tape with extremely low dropout frequency. It was

【0049】[0049]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の磁気記録媒体の製造方法では、斜め蒸着法によって
金属磁性薄膜が成膜された非磁性支持体と研磨テープと
を互いに金属磁性薄膜側,研磨材側が対向面となるよう
に配置し、該研磨テープの背面側から直径50mm以下
のロールを押し付けることによって接触させ、この状態
で金属磁性薄膜をその柱状構造の成長方向と逆方向に走
行させることで金属磁性薄膜表面を研磨するので、金属
磁性薄膜から研削された研削物によって金属磁性薄膜表
面にスクラッチ傷が形成されたり、研削物が金属磁性薄
膜表面に再付着することがなく、金属磁性薄膜表面の表
面突起が効率良く研削除去できる。したがって、本発明
によれば、ドロップアウトの発生頻度の極めて小さい磁
気テープを得ることが可能となる。
As is apparent from the above description, in the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, the non-magnetic support on which the metal magnetic thin film is formed by the oblique vapor deposition method and the polishing tape are metal magnetic. The thin film side and the abrasive side are arranged so as to face each other, and a roll having a diameter of 50 mm or less is pressed against the back side of the polishing tape to bring them into contact with each other. In this state, the metal magnetic thin film is formed in a direction opposite to the growth direction of the columnar structure. Since the surface of the metal magnetic thin film is polished by running the metal magnetic thin film, scratches are not formed on the surface of the metal magnetic thin film by the ground object ground from the metal magnetic thin film, and the ground object does not reattach to the surface of the metal magnetic thin film The surface protrusions on the surface of the metal magnetic thin film can be efficiently removed by grinding. Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain a magnetic tape in which dropout frequency is extremely low.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】斜方蒸着装置の一構成例を模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration example of an oblique vapor deposition apparatus.

【図2】本発明を適用した金属磁性薄膜に表面処理を施
すための研磨装置の一構成例を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration example of a polishing apparatus for applying a surface treatment to a metal magnetic thin film to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・非磁性支持体 3・・・押し付けロール 5・・・研磨テープ 1 ... Non-magnetic support 3 ... Pressing roll 5 ... Abrasive tape

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体上に斜め蒸着により金属磁
性薄膜を形成した後、非磁性支持体と研磨テープとを互
いに金属磁性薄膜側,研磨材側が対向面となるように配
置し、該研磨テープの背面側から直径50mm以下のロ
ールを押し付けることによって接触させ、この状態で金
属磁性薄膜をその柱状構造の成長方向と逆方向に走行さ
せることで金属磁性薄膜表面を研磨することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
1. A metal magnetic thin film is formed on a non-magnetic support by oblique vapor deposition, and then the non-magnetic support and a polishing tape are arranged such that the metal magnetic thin film side and the abrasive side face each other. The surface of the metal magnetic thin film is polished by pressing a roll having a diameter of 50 mm or less from the back side of the polishing tape to bring them into contact with each other and running the metal magnetic thin film in the direction opposite to the growth direction of the columnar structure in this state. Method for manufacturing magnetic recording medium.
【請求項2】 金属磁性薄膜をその柱状構造の成長方向
と逆方向に摺動させるに際して、研磨テープを金属磁性
薄膜の走行方向と同方向に走行させることを特徴とする
請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。
2. The magnetic tape according to claim 1, wherein when the metal magnetic thin film is slid in a direction opposite to the growth direction of the columnar structure, the polishing tape is run in the same direction as the running direction of the metal magnetic thin film. Recording medium manufacturing method.
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