JPH07140164A - Piezoelectric acceleration sensor - Google Patents
Piezoelectric acceleration sensorInfo
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- JPH07140164A JPH07140164A JP5290616A JP29061693A JPH07140164A JP H07140164 A JPH07140164 A JP H07140164A JP 5290616 A JP5290616 A JP 5290616A JP 29061693 A JP29061693 A JP 29061693A JP H07140164 A JPH07140164 A JP H07140164A
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- piezoelectric
- support
- acceleration
- acceleration sensor
- piezoelectric elements
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、衝撃や振動あるいは回
転の加速度を検出する圧電型加速度センサに関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric acceleration sensor for detecting acceleration of shock, vibration or rotation.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、衝撃や振動あるいは回転の加速度
を検出する圧電型加速度センサとして、本出願人は図５
に示されるようなものを考えるに至った。このものは、
両側面に電極１ａ，１ａを有する圧電素子１の一端部を
樹脂製の支持体２に設けられた凹所２ａに挿入して圧電
素子１が片持支持され、支持体２と一体にインサート成
形により形成される出力端子３の一端と圧電素子１の側
面の電極１ａ，１ａとが、凹所２ａ内に充填される導電
性を有する接着剤によって接続されて導通を得るととも
に、アース端子５が接続された有底筒状の金属製のシー
ルドケース４内に圧電素子１が納装され、さらにシール
ドケース４及び支持体２が樹脂モールドされて成るもの
である。2. Description of the Related Art Conventionally, as a piezoelectric type acceleration sensor for detecting acceleration of shock, vibration or rotation, the present applicant has shown in FIG.
I came to think of something like that. This one is
One end of the piezoelectric element 1 having the electrodes 1a, 1a on both sides is inserted into a recess 2a provided in a resin support 2 so that the piezoelectric element 1 is cantilevered and is integrally insert-molded with the support 2. The one end of the output terminal 3 and the electrodes 1a, 1a on the side surface of the piezoelectric element 1 are connected by the conductive adhesive filled in the recess 2a to obtain conduction, and the ground terminal 5 is The piezoelectric element 1 is housed in a connected metal shield case 4 having a bottomed tubular shape, and the shield case 4 and the support body 2 are resin-molded.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、コンピュー
タの外部記憶装置として広く用いられているハードディ
スク装置等においては、装置本体に加わる衝撃を加速度
センサによって検出して記憶用のディスクを保護する必
要がある。しかも、加速度センサはハードディスク装置
本体内に収納するために小型であることが要求されると
ともに、回転や複数の軸方向の加速度を検出しなければ
ならないことから、上記のような１方向の加速度のみを
検出する圧電型加速度センサの場合には複数個のセンサ
を使用しなければならず、センサの設置スペースが余分
に必要になるばかりでなく、コストの上昇にもつながる
という問題がある。また、感度や特性の揃った２つのセ
ンサを使って回転方向の加速度を検出することも可能で
あるが、その場合には使用する２つの圧電型加速度セン
サの感度や特性を揃える必要があり、そのように２つの
センサの感度や特性を揃えることが困難であるという問
題がある。By the way, in a hard disk drive or the like which is widely used as an external storage device of a computer, it is necessary to protect the storage disk by detecting an impact applied to the main body of the device by an acceleration sensor. . Moreover, since the acceleration sensor is required to be small in size so as to be housed in the main body of the hard disk device, and must detect rotation and acceleration in a plurality of axial directions, only acceleration in one direction as described above is required. In the case of the piezoelectric type acceleration sensor for detecting, a plurality of sensors must be used, which not only requires an extra installation space for the sensors, but also leads to an increase in cost. Further, it is possible to detect the acceleration in the rotation direction by using two sensors having the same sensitivity and characteristics, but in that case, it is necessary to make the two piezoelectric acceleration sensors used have the same sensitivity and characteristics. As described above, there is a problem in that it is difficult to make the two sensors have the same sensitivity and characteristics.
【０００４】また、特開平５−２３３９７４号には、圧
電ポリマーを用いて３つの直交軸の各方向に加わる衝撃
を検出するようにした圧電衝撃センサが提案されてい
る。しかし、このものは、圧電ポリマーの耐熱性が低い
ため、プリント基板上に表面実装する際等に半田付け作
業時に発生する熱によって圧電ポリマーが破壊されてし
まうことがあるという問題がある。Further, Japanese Patent Laid-Open No. 233974/1993 proposes a piezoelectric impact sensor in which a piezoelectric polymer is used to detect an impact applied in each direction of three orthogonal axes. However, since the piezoelectric polymer has low heat resistance, there is a problem that the piezoelectric polymer may be destroyed by heat generated during soldering work such as surface mounting on a printed circuit board.
【０００５】本発明は上記問題に鑑みてなされたもので
あり、１つで回転方向の加速度が検出できるとともに、
製造が容易で耐熱性に優れた圧電型加速度センサの提供
を目的とするものである。The present invention has been made in view of the above problems. It is possible to detect the acceleration in the rotational direction with one and
An object of the present invention is to provide a piezoelectric acceleration sensor that is easy to manufacture and has excellent heat resistance.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、両側面に電極を有する圧電素子
と、絶縁性を有し、２つの圧電素子の長手方向を一致さ
せて各圧電素子の一端部を片持支持するとともに各圧電
素子がそれぞれ逆方向に突出される支持体と、支持体の
内部において２つの圧電素子の両側面の電極にそれぞれ
の一端が接続されるとともに他端が支持体の外へ延出さ
れる複数の出力端子とを備えて成ることを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, a first aspect of the present invention is that a piezoelectric element having electrodes on both side surfaces thereof is insulative, and the two piezoelectric elements have the same longitudinal direction. And one end of each piezoelectric element is cantilevered and each piezoelectric element is projected in the opposite direction, and one end is connected to the electrodes on both side surfaces of the two piezoelectric elements inside the support. And a plurality of output terminals whose other end extends out of the support.
【０００７】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、２つの圧電素子が互いに異なる向きに傾けて支持体
に片持支持されて成ることを特徴とする。The invention of claim 2 is characterized in that, in the invention of claim 1, the two piezoelectric elements are cantilevered by a support body while being inclined in directions different from each other.
【０００８】[0008]
【作用】請求項１の発明の構成では、両側面に電極を有
する圧電素子と、絶縁性を有し、２つの圧電素子の長手
方向を一致させて各圧電素子の一端部を片持支持すると
ともに各圧電素子がそれぞれ逆方向に突出される支持体
と、支持体の内部において２つの圧電素子の両側面の電
極にそれぞれの一端が接続されるとともに他端が支持体
の外へ延出される複数の出力端子とを備えたので、支持
体を軸とする回転によって２つの圧電素子にそれぞれ電
圧が発生し、それらの電圧を出力端子から取り出すこと
によって回転方向の加速度を検出することができるもの
である。According to the first aspect of the invention, the piezoelectric element having electrodes on both side surfaces is insulative, and the two piezoelectric elements are cantilevered so that the longitudinal directions of the two piezoelectric elements coincide with each other. At the same time, one end of each of the piezoelectric elements is connected to electrodes on both side surfaces of the two piezoelectric elements inside the support body, and the other end is extended to the outside of the support body. Since a plurality of output terminals are provided, a voltage is generated in each of the two piezoelectric elements due to the rotation about the support body, and the acceleration in the rotational direction can be detected by extracting the voltages from the output terminals. Is.
【０００９】請求項２の発明の構成では、２つの圧電素
子が互いに異なる向きに傾けて支持体に片持支持されて
いるので、請求項１の発明と同様に支持体を軸とする回
転の回転方向の加速度を検出することができるだけでな
く、支持体に対する直交２軸及び圧電素子の側面に垂直
な面内における加速度を検出することができるものであ
る。In the structure of the invention of claim 2, since the two piezoelectric elements are tilted in different directions and cantilevered by the support body, the rotation about the support body is the same as in the invention of claim 1. Not only can acceleration in the rotational direction be detected, but acceleration in the plane perpendicular to the two axes orthogonal to the support and the side surface of the piezoelectric element can also be detected.
【００１０】[0010]
（実施例１）本実施例における圧電型加速度センサの外
観斜視図を図１に示す。圧電素子１は両側面に電極１
ａ，１ａを有する矩形板状に形成されており、その側面
に垂直な方向に加わる加速度によって両側面の電極１
ａ，１ａ間に加速度の強さに応じた電圧が生じるもので
ある。また、支持体２は樹脂によって略立方体状に形成
されており、一端面には２つの凹所２ａ，２ａが並行し
て設けられている。そして、２つの圧電素子１，１が、
各々の圧電素子１，１の長手方向を一致させるとともに
互いの側面が略同一の方向へ向くようにして、かつ、そ
の一端部によってそれぞれ上記凹所２ａ，２ａを分断す
るようにして支持体２に固定されて片持支持されてい
る。(Embodiment 1) FIG. 1 is an external perspective view of a piezoelectric acceleration sensor according to this embodiment. Piezoelectric element 1 has electrodes 1 on both sides
a and 1a are formed in a rectangular plate shape, and the electrodes 1 on both side surfaces are formed by an acceleration applied in a direction perpendicular to the side surface.
A voltage corresponding to the strength of acceleration is generated between a and 1a. The support 2 is made of resin in a substantially cubic shape, and has two recesses 2a, 2a provided in parallel on one end surface. And the two piezoelectric elements 1, 1 are
Supports 2 are formed such that the longitudinal directions of the respective piezoelectric elements 1 and 1 are made coincident with each other and the side surfaces thereof are oriented in substantially the same direction, and the recesses 2a and 2a are divided by one end portions thereof. It is fixed to and cantilevered.
【００１１】さらに、支持体２には２対の薄板状の出力
端子３…がインサート成形により一体に固着されてお
り、各出力端子３…の一端は支持体２の凹所２ａ，２ａ
内にそれぞれ相対向して露出され、これら２対の出力端
子３…の一端間に位置する２つの圧電素子１，１の両側
面の電極１ａ，１ａにそれぞれ対向し、他端は支持体２
の外へ延出されている。そして、支持体２の凹所２ａ，
２ａ内に銀ペースト等の導電性の接着剤を充填すること
によって、各圧電素子１，１の両側面の電極１ａ，１ａ
と出力端子３…とを上記接着剤で固定させるとともに、
各圧電素子１，１の電極１ａ，１ａと出力端子３…との
間で接着剤を介して導通を得ているのである。Further, two pairs of thin plate-shaped output terminals 3 ... Are integrally fixed to the support body 2 by insert molding, and one end of each output terminal 3 ... Is recessed 2a, 2a of the support body 2.
Exposed to face each other inside, and face the electrodes 1a, 1a on both side surfaces of the two piezoelectric elements 1, 1 located between one ends of these two pairs of output terminals 3, ...
Have been extended out of. Then, the recess 2a of the support body 2,
By filling the inside of 2a with a conductive adhesive such as silver paste, the electrodes 1a, 1a on both side surfaces of each piezoelectric element 1, 1 are filled.
And the output terminal 3 are fixed with the above adhesive,
The electrodes 1a, 1a of each piezoelectric element 1, 1 and the output terminals 3 are electrically connected via an adhesive.
【００１２】また、圧電素子１が高インピーダンスであ
るためにノイズの影響を受けやすいので、２つの圧電素
子１，１を片持支持している上記支持体２を有底筒状に
形成された金属製のシールドケース４の内部に納装し、
シールドケース４によって外来ノイズから圧電素子１，
１と保護している。なお、支持体２は樹脂製であるか
ら、シールドケース４と圧電素子１，１及び出力端子３
…との絶縁を保つことができる。Further, since the piezoelectric element 1 has a high impedance and is easily affected by noise, the support body 2 supporting the two piezoelectric elements 1 and 1 in a cantilever manner is formed in a bottomed cylindrical shape. Installed inside the metal shield case 4,
The shield case 4 protects the piezoelectric element 1 from external noise.
Protected as 1. Since the support body 2 is made of resin, the shield case 4, the piezoelectric elements 1, 1 and the output terminal 3 are provided.
Can maintain insulation from ...
【００１３】上記構成では、２つの凹所２ａ，２ａが設
けられている支持体２の端面に垂直な方向を軸方向とし
て圧電型加速度センサを回転させた場合に、２つの圧電
素子１，１にはそれぞれ回転方向への加速度が加わり、
その回転方向の加速度に応じた電圧が各圧電素子１，１
の両側面の電極１ａ，１ａ間に生じることとなる。した
がって、凹所２ａ，２ａ内において接着剤を介して各電
極１ａ，１ａと導通している出力端子３…から回転方向
の加速度に応じた上記電圧を取り出し、それによって圧
電型加速度センサの回転方向及び回転方向の加速度の強
さを検出することができるのである。In the above structure, when the piezoelectric acceleration sensor is rotated with the direction perpendicular to the end face of the support 2 having the two recesses 2a, 2a as the axial direction, the two piezoelectric elements 1, 1 are rotated. Is applied to each direction of rotation,
A voltage corresponding to the acceleration in the rotation direction is applied to each piezoelectric element 1, 1
Will occur between the electrodes 1a on both side surfaces. Therefore, in the recesses 2a, 2a, the voltage corresponding to the acceleration in the rotational direction is taken out from the output terminals 3 which are electrically connected to the electrodes 1a, 1a via the adhesive, and thereby the rotational direction of the piezoelectric acceleration sensor is obtained. The strength of the acceleration in the rotation direction can be detected.
【００１４】なお、シールドケース４の外側面にシール
ド用のアース端子（図示せず）の一端を固着し、そのア
ース端子の他端と出力端子３…の支持体２の外へ延出さ
れている他端とを外部へ突出させ、シールドケース４及
び支持体２を樹脂モールドすることによって、パッケー
ジされた圧電型加速度センサを実現することができる。One end of a shield ground terminal (not shown) is fixed to the outer surface of the shield case 4, and the other end of the ground terminal and the output terminal 3 are extended to the outside of the support 2. The packaged piezoelectric acceleration sensor can be realized by projecting the other end to the outside and resin-molding the shield case 4 and the support 2.
【００１５】ところで、支持体２の形状は図５に示す従
来例と同じものであってもよく、支持体２の端部を中心
方向に向けて凹所２ａ，２ａと連通するように略Ｖ字形
に切り欠き、凹所２ａ，２ａ内に圧電素子１，１の一端
部を圧入するとともに導電性の接着剤を充填して圧電素
子１，１を支持体２に片持支持させることができる。し
かし、上記の従来構成においては、略Ｖ字形に切り欠い
た支持体２の端部と凹所２ａとの境目部分２ｂから接着
剤がはみ出してしまい、その結果、圧電素子１，１の加
速度検出に係る有効長が短くなって検出感度が低下した
り、感度にばらつきが生じてしまうことがある。そこ
で、図２に示すように、境目部分２ｂを凹所２ａの内壁
面に沿った形状とすることによって、毛管現象を利用し
て境目部分２ｂからの接着剤のはみ出しを防止すること
ができるものである。By the way, the shape of the support 2 may be the same as that of the conventional example shown in FIG. 5, and it is substantially V so that the end of the support 2 is directed toward the center and communicates with the recesses 2a, 2a. The piezoelectric elements 1, 1 can be supported on the supporting body 2 in a cantilever manner by notching in a letter shape and press-fitting one end of the piezoelectric elements 1, 1 into the recesses 2a, 2a and filling a conductive adhesive. . However, in the above-described conventional configuration, the adhesive protrudes from the boundary portion 2b between the end portion of the support body 2 and the recess 2a, which is cut out in a substantially V-shape, and as a result, the acceleration detection of the piezoelectric elements 1 and 1 In some cases, the effective length related to the above becomes short, the detection sensitivity is lowered, and the sensitivity varies. Therefore, as shown in FIG. 2, by forming the boundary portion 2b along the inner wall surface of the recess 2a, it is possible to prevent the adhesive from protruding from the boundary portion 2b by utilizing the capillary phenomenon. Is.
【００１６】また、上述のように本実施例においては、
上記従来例と部分的に共通の構成を採ることが可能であ
り、したがって、上記従来例と共通の部品を一部流用で
きるとともに製造工程も共用することができる。 （実施例２）本実施例の圧電型加速度センサの外観斜視
図を図３に示す。本実施例の基本的な構成は実施例１と
共通であり、支持体２に対して圧電素子１，１がそれぞ
れ反体方向に傾けて支持されている点が異なるのみで、
その他の構成については共通である。Further, as described above, in this embodiment,
It is possible to adopt a configuration that is partially common to the above-mentioned conventional example, and therefore, it is possible to divert some of the components that are common to the above-described conventional example and share the manufacturing process. (Embodiment 2) FIG. 3 is an external perspective view of the piezoelectric acceleration sensor of this embodiment. The basic configuration of this embodiment is the same as that of the first embodiment, except that the piezoelectric elements 1 and 1 are respectively supported with respect to the support 2 while being inclined in the opposite direction.
Other configurations are common.
【００１７】すなわち、実施例１においては圧電素子
１，１の側面と、支持体２の凹所２ａ，２ａが設けられ
た面の法線とのなす角が略零になるように圧電素子１，
１が片持支持されているが、本実施例においては、圧電
素子１，１をそれぞれ反対方向に上記角度がθとなるよ
うに傾けてある。上記構成では、実施例１と同様に回転
方向の加速度が検出できるだけでなく、圧電素子１，１
がそれぞれ反対方向に傾いているために、圧電素子１，
１の長手方向と略直角のＸ−Ｙ直交軸（図３参照）方向
の加速度も検出することができるのである。いま、２つ
の圧電素子１，１の上記傾き角θがそれぞれθ＝４５
°、θ＝−４５°であって、支持体２の同一面側に延出
された２対の出力端子３のうち、一方の出力端子３，３
を共通端子３ｂ，３ｂ、他方の出力端子３，３を各圧電
素子１，１の出力を取り出す出力端子３ａ，３ｃとし、
基準の電圧をＶｇとすると、図３に示すα方向またはβ
方向の回転による加速度と、Ｘ−Ｙ軸方向の加速度とが
それぞれ加わった場合の圧電型加速度センサの各出力端
子３ａ〜３ｃ間に表れる出力電圧Ｖab，Ｖbc，Ｖacは以
下の表のようになる。That is, in the first embodiment, the piezoelectric element 1 is arranged so that the angle between the side surface of the piezoelectric element 1, 1 and the normal line of the surface of the support 2 on which the recesses 2a, 2a are formed becomes substantially zero. ，
1 is supported in a cantilever manner, but in this embodiment, the piezoelectric elements 1 and 1 are tilted in opposite directions so that the angle becomes θ. With the above configuration, not only the acceleration in the rotation direction can be detected as in the first embodiment, but also the piezoelectric elements 1, 1
Are tilted in opposite directions, the piezoelectric element 1,
The acceleration in the X-Y orthogonal axis direction (see FIG. 3) substantially perpendicular to the longitudinal direction of 1 can also be detected. Now, the inclination angles θ of the two piezoelectric elements 1 and 1 are θ = 45, respectively.
And θ = −45 °, and one of the two output terminals 3 of the two pairs of output terminals 3 extended to the same surface side of the support 2 is one of the output terminals 3, 3.
Are common terminals 3b and 3b, and the other output terminals 3 and 3 are output terminals 3a and 3c for taking out the outputs of the piezoelectric elements 1 and 1, respectively.
Assuming that the reference voltage is Vg, the direction α or β shown in FIG.
The output voltages V ab , V bc , and V ac appearing between the output terminals 3a to 3c of the piezoelectric acceleration sensor when the acceleration due to the rotation in the direction and the acceleration in the X-Y axis direction are applied are shown in the following table. Like
【００１８】[0018]
【表１】 [Table 1]
【００１９】上記表より、各出力電圧Ｖab，Ｖbc，Ｖac
の値によって、回転方向、Ｘ−Ｙ直交軸方向並びに圧電
素子１，１の側面に平行及び垂直な方向の加速度を同時
に検出することができるのである。なお、本実施例では
２つの圧電素子１，１をそれぞれ逆方向に傾けたが、同
一方向に傾けてもよい。また、図４に示すように、圧電
素子１を１つだけ使用した場合には、同図中に示すＸ−
Ｙ直交軸方向の加速度のみを１つのセンサで検出するこ
とができる。From the above table, each output voltage V ab , V bc , V ac
It is possible to simultaneously detect the acceleration in the rotation direction, the XY orthogonal axis direction, and the directions parallel and perpendicular to the side surfaces of the piezoelectric elements 1 and 1. Although the two piezoelectric elements 1 and 1 are tilted in opposite directions in this embodiment, they may be tilted in the same direction. Further, as shown in FIG. 4, when only one piezoelectric element 1 is used, X- shown in FIG.
Only the acceleration in the Y orthogonal axis direction can be detected by one sensor.
【００２０】[0020]
【発明の効果】請求項１の発明は、両側面に電極を有す
る圧電素子と、絶縁性を有し、２つの圧電素子の長手方
向を一致させて各圧電素子の一端部を片持支持するとと
もに各圧電素子がそれぞれ逆方向に突出される支持体
と、支持体の内部において２つの圧電素子の両側面の電
極にそれぞれの一端が接続されるとともに他端が支持体
の外へ延出される複数の出力端子とを備えたので、支持
体を軸とする回転によって２つの圧電素子にそれぞれ電
圧が発生し、それらの電圧を出力端子から取り出すこと
によって１つの圧電型加速度センサにて回転方向の加速
度を検出することができ、しかも２つの圧電素子の感度
や特性を製造工程においてチェックし、感度や特性を揃
えることが可能となり、製造上のばらつきを抑制するこ
とができるという効果がある。According to the first aspect of the present invention, the piezoelectric element having electrodes on both side surfaces is insulative, and the two piezoelectric elements are supported in a cantilever manner by aligning the longitudinal directions of the two piezoelectric elements. At the same time, one end of each of the piezoelectric elements is connected to electrodes on both side surfaces of the two piezoelectric elements inside the support body, and the other end is extended to the outside of the support body. Since a plurality of output terminals are provided, a voltage is generated in each of the two piezoelectric elements due to rotation about the support body, and these voltages are taken out from the output terminals so that one piezoelectric acceleration sensor can detect the direction of rotation. The effect that the acceleration can be detected, the sensitivity and the characteristics of the two piezoelectric elements can be checked in the manufacturing process, and the sensitivity and the characteristics can be made uniform, and variations in manufacturing can be suppressed. There is.
【００２１】請求項２の発明は、２つの圧電素子が互い
に異なる向きに傾けて支持体に片持支持されているの
で、支持体を軸とする回転の回転方向の加速度と、支持
体に対する直交２軸方向の加速度と、圧電素子の側面に
垂直な面内における加速度とを１つの圧電型加速度セン
サにて検出することができ、さらに圧電型加速度センサ
の占めるスペースを削減できるという効果がある。According to the second aspect of the present invention, since the two piezoelectric elements are tilted in different directions and cantilevered by the support, the acceleration in the rotation direction of the rotation about the support and the orthogonal to the support. The acceleration in the biaxial directions and the acceleration in the plane perpendicular to the side surface of the piezoelectric element can be detected by one piezoelectric acceleration sensor, and the space occupied by the piezoelectric acceleration sensor can be reduced.
【図１】実施例１を示す外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view showing a first embodiment.
【図２】同上の要部を示すものであり、（ａ）は平面
図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は側面図
である。2A and 2B show a main part of the above, wherein FIG. 2A is a plan view, FIG. 2B is a sectional view taken along line AA of FIG. 2A, and FIG.
【図３】実施例２を示す外観斜視図ある。FIG. 3 is an external perspective view showing a second embodiment.
【図４】同上の別の例を示す外観斜視図である。FIG. 4 is an external perspective view showing another example of the above.
【図５】従来例を示すものであり、（ａ）は全体の一部
破断した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、
（ｃ）は側面図である。FIG. 5 shows a conventional example, in which (a) is a partially cutaway plan view of the whole, (b) is a sectional view taken along line AA of (a),
(C) is a side view.
１ 圧電素子 １ａ 電極 ２ 支持体 ２ａ 凹所 ３ 出力端子 ４ シールドケース 1 Piezoelectric element 1a Electrode 2 Support 2a Recess 3 Output terminal 4 Shield case
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 広海 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiromi Nishimura Inventor Hiromi Nishimura 1048, Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric Works Co., Ltd.
Claims (2)
性を有し、２つの圧電素子の長手方向を一致させて各圧
電素子の一端部を片持支持するとともに各圧電素子がそ
れぞれ逆方向に突出される支持体と、支持体の内部にお
いて２つの圧電素子の両側面の電極にそれぞれの一端が
接続されるとともに他端が支持体の外へ延出される複数
の出力端子とを備えて成ることを特徴とする圧電型加速
度センサ。1. A piezoelectric element having electrodes on both sides thereof, which is insulative, has two piezoelectric elements aligned in the longitudinal direction so as to cantileverly support one end of each piezoelectric element, and each piezoelectric element is opposite. And a plurality of output terminals each having one end connected to the electrodes on both side surfaces of the two piezoelectric elements inside the support and the other end extending out of the support. A piezoelectric acceleration sensor characterized by comprising:
けて支持体に片持支持されて成ることを特徴とする請求
項１記載の圧電型加速度センサ。2. The piezoelectric acceleration sensor according to claim 1, wherein the two piezoelectric elements are tilted in different directions and cantilevered by a support.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290616A JPH07140164A (en) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | Piezoelectric acceleration sensor |
| US08/342,023 US5539270A (en) | 1993-11-19 | 1994-11-16 | Acceleration detector |
| EP94308547A EP0654671B1 (en) | 1993-11-19 | 1994-11-18 | Acceleration detector |
| CA002136146A CA2136146C (en) | 1993-11-19 | 1994-11-18 | Acceleration detector |
| KR1019940030359A KR0146234B1 (en) | 1993-11-19 | 1994-11-18 | Accleration detector |
| TW085201424U TW299898U (en) | 1993-11-19 | 1994-11-18 | Acceleration detector |
| DE69416571T DE69416571T2 (en) | 1993-11-19 | 1994-11-18 | Accelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290616A JPH07140164A (en) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | Piezoelectric acceleration sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07140164A true JPH07140164A (en) | 1995-06-02 |
Family
ID=17758302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5290616A Withdrawn JPH07140164A (en) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | Piezoelectric acceleration sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07140164A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005052601A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration detection device |
| US7299695B2 (en) | 2002-02-25 | 2007-11-27 | Fujitsu Media Devices Limited | Acceleration sensor |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP5290616A patent/JPH07140164A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7299695B2 (en) | 2002-02-25 | 2007-11-27 | Fujitsu Media Devices Limited | Acceleration sensor |
| WO2005052601A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration detection device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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