JPH07136604A - 洗浄方法及び装置 - Google Patents

洗浄方法及び装置

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JPH07136604A
JPH07136604A JP31736093A JP31736093A JPH07136604A JP H07136604 A JPH07136604 A JP H07136604A JP 31736093 A JP31736093 A JP 31736093A JP 31736093 A JP31736093 A JP 31736093A JP H07136604 A JPH07136604 A JP H07136604A
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JP
Japan
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cleaning
tank
cleaned
liquid
rinsing
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JP31736093A
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English (en)
Inventor
Morihito Kanzawa
守仁 神沢
Hiroaki Sato
広昭 佐藤
Tsunehiro Noda
倫弘 野田
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Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 凹部を有した被洗浄物を高い洗浄度に洗浄す
ることができる洗浄方法及び装置を提供する。 【構成】 洗浄液または水に被洗浄物を浸漬して、洗浄
またはリンスするに際し、洗浄液または水の槽を密閉可
能な構造にし、洗浄物を洗浄液または水に浸漬後、超音
波あるいは液ジェット、バブリング、撹拌等の補助手段
を付与する前に、槽内を1回以上減圧するかまたは減圧
の後加圧するサイクルを1回以上行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄液または水を用い
て、機械工器具、部品、素材等を洗浄する湿式の洗浄方
法及び装置に係り、特に深い凹部を有する被洗浄物の洗
浄に好適に使用される洗浄方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】湿式洗浄法として、被洗浄物を洗浄液ま
たはリンス液に浸漬して、超音波、バブリング、揺動、
液ジェット、撹拌等の補助作用を併用して洗浄する方法
及び装置が実用されている。また洗浄液またはリンス液
またはそれらの蒸気を被洗浄物に照射して洗浄する方法
及び装置が実用されている。
【0003】前者においては、洗浄液の蒸散またはエア
ブロー時の飛散を抑制するため、又、槽への洗浄液の出
し入れまたは槽の横面から被洗浄物を出し入れするため
に密閉または準密閉可能の槽とした洗浄装置が提案され
ている(例えば、特願平5−59726)。また、狭い
隙間に洗浄液を入れるために、洗浄槽内を加圧する洗浄
方法及び装置も開発されている(特開平5−7685
2)。さらに、乾燥を減圧下で行うとか、脱気水を用い
て洗浄することによって被洗浄物の発錆を防止する方法
も提案されている。また超音波の効果を高める方法及び
その装置を具備した洗浄装置もある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】洗浄対象部材の中には
深いネジ穴、特に盲穴や外部への開口面が小さく内部の
空洞体積の大きい凹部を持つものも少なくない。凹部内
面を湿式洗浄で洗浄するためには、洗浄液またはリン
ス水が被洗浄面に接すること汚染物を被洗浄面から離
すための機械的あるいは物理的力が作用すること被洗
浄面から離れた汚染物を凹部の外に排出し、洗浄薬剤を
十分に含む洗浄液または清浄なリンス水と置換または混
合するための液の流動が必要である。
【0005】しかしながら、凹部が多数あり、かつそれ
らが種々の部材面に存在するときには、超音波、液ジェ
ット、撹拌、揺動、バブリング等の補助手段を併用した
だけでは、前記〜の条件を満たすことは困難にな
る。その結果、凹部内面の脱脂ができなかったり、洗浄
薬剤が残り乾燥後に洗浄前とは異質の汚れとなることが
ある。
【0006】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、凹部を有した被洗浄物を高い洗浄度に洗浄すること
ができる洗浄方法及び装置を提供することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の洗浄方法は、洗浄液または水に被洗浄物
を浸漬して、洗浄またはリンスするに際し、洗浄液また
は水の槽を密閉可能な構造にし、洗浄物を洗浄液または
水に浸漬後、超音波あるいは液ジェット、バブリング、
撹拌等の補助手段を付与する前に、槽内を1回以上減圧
するかまたは減圧の後加圧するサイクルを1回以上行う
ことを特徴とするものである。
【0008】また本発明の洗浄装置は、洗浄液または水
に被洗浄物を浸漬して洗浄またはリンスするための密閉
可能な構造の槽と、洗浄物を洗浄液または水に浸漬後、
超音波あるいは液ジェット、バブリング、撹拌等の補助
手段を付与するための補助装置と、前記補助手段を付与
する前に槽内を減圧する減圧装置とを具備したことを特
徴とするものである。
【0009】
【作用】前述した構成からなる本発明によれば、被洗浄
物を密閉可能な構造の洗浄液槽またはリンス槽に浸漬
後、減圧または減圧した後加圧を行うので、被洗浄物に
上方が凸の空間あるいは細く深い穴があっても、空間内
の空気は排除され、前記「発明が解決しようとする課
題」に記載した洗浄するための必要条件つまり「洗浄
液またはリンス水が被洗浄面に接する」ことが達成され
る。これは、減圧によって空気体積が増えることの他、
内部空気は気泡に分割されて不連続に排除されるので、
凹部空間内の気液界面が激しく変動して内部空気の排出
を促進すること、さらに内部空間が洗浄液またはリンス
水の蒸気に置換され、大気圧に戻したときまたは加圧し
た時には蒸気が元の液体に戻る作用による。凹部空間が
著しく複雑な形状の場合でも、減圧または減圧/加圧の
繰返しによって十分な排気が可能である。
【0010】従来の浸漬式洗浄方法で一般的に使われて
いる、超音波、バブリング、撹拌、液ジェット、被洗浄
物の揺動等の補助手段は、前記「課題」記載の必要条件
及びつまり「汚染物を被洗浄面から離す補助力」及
び「洗浄液またはリンス液の流動」を主に意図したもの
である。しかし、それらの補助手段が直接作用する面以
外では効果が低いが、特定の被洗浄物を洗浄する専用機
以外では、多数の凹部にそれらの補助手段を直接作用さ
せるようにすることは困難になる。本発明では、減圧に
よる低温沸騰で蒸気泡の発生とその浮上が、凹部内部で
も被洗浄面で起こるので、「汚染物を被洗浄面から離す
補助力」が凹部内面に直接生じ、洗浄効果を高める。
【0011】また、蒸気泡の発生とその浮上によって
「洗浄液またはリンス水の混合、流動」作用も生じ、減
圧または減圧/加圧の繰返しによっても、「洗浄液また
はリンス水の混合、流動、外部の液との置換」が促進さ
れるので、前記「課題」記載の必要条件も達成され
る。
【0012】なお、従来から一般的な超音波、バブリン
グ、撹拌、液ジェット等の補助手段を本発明と併用する
ことに何等の支障も生じない。但し、超音波を付与する
場合には、キャンビテーション効果は減圧時に低下する
ので、大気圧に戻した状態または加圧状態で作用するこ
とが望ましい。減圧することによって洗浄液またはリン
ス水は脱気されるので、その後大気圧に戻したとしても
超音波による補助力は減圧を行わない(脱気しない)場
合より強力になり、洗浄液またはリンス水中の溶存酸素
量が低いので、洗浄後の発錆が軽減されるというメリッ
トも生ずる。
【0013】なお、本明細書においては、槽内を減圧し
た後に大気圧に戻す操作も「加圧」に含まれる概念とす
る。
【0014】
【実施例】以下、本発明に係る洗浄方法及び装置の実施
例を説明する。表1は、本発明の洗浄方法の一実施例
で、洗浄工程の順序を示したものである。
【0015】
【表1】
【0016】本洗浄方法は、洗浄液による洗浄1段、水
によるリンス1段、水切り兼乾燥1段を連続的に自動で
行う場合であって、図1が本実施例の洗浄に供する機能
を有する洗浄装置の構成図である。
【0017】図1において、符号1は洗浄液12を貯留
する洗浄槽、符号2はリンス水13を貯留するリンス
槽、符号3は乾燥槽であり、各槽1,2,3はそれぞれ
密閉可能な構造の蓋1a,2a,3a及びシール部10
−1,10−2,10−3を有している。各槽1,2,
3は、減圧用配管4−1,4−2,4−3、弁9−1,
9−2,9−3、気液分離器6−1,6−2を介し、減
圧タンク7及び真空ポンプ8に接続されており、槽内が
減圧できるようになっている。
【0018】また各槽1,2,3には洗浄液またはリン
ス水の加温、乾燥時の被洗浄物の加温のためにヒータ1
5−1,15−2,15−3が設置されている。洗浄槽
1には超音波発振子14−1が設置され、リンス槽2に
は超音波発振子14−2と撹拌器16が設置され、乾燥
槽3にはエアブロー用ノズル22が設置されている。エ
アブロー用ノズル22は配管23を介してブロワ24に
接続されている。
【0019】さらに、気液分離器6−1及び6−2にお
いて分離された洗浄液またはリンス水は、それぞれ逆止
弁11−1,11−2、管路20−1,20−2、予備
タンク18,19、ポンプ21−1,21−2、フィル
タ兼油分離器17−1,17−2を介して洗浄槽1、リ
ンス槽2に環流するようにしてある。被洗浄物は、一点
鎖線A→Bで示すように、洗浄槽1、リンス槽2及び乾
燥槽3を順次搬送されて、洗浄、リンス、乾燥が行われ
る。
【0020】(実施例1)図1に示すように、被洗浄物
が洗浄槽1、リンス槽2、乾燥槽3にそれぞれ搬入した
後(第1個目の洗浄物の洗浄を始める場合、リンス槽2
及び乾燥槽3は空運転になる)、各蓋1a,2a,3a
を閉め、洗浄槽1内及びリンス槽2内を減圧、大気圧に
復圧する操作を3回繰返した。これは、弁5−1と弁5
−2の開/閉と、弁9−1と弁9−2の閉/開を同時に
行うことを3回繰返すことによって行える。この操作の
間に、乾燥槽3は、エアブロー用ノズル22によってエ
アブローが行われ、排気は弁9−3から排出される(こ
のとき弁5−3は閉じる)。
【0021】続いて、洗浄槽1内及びリンス槽2内が大
気圧に戻ってから、超音波発振子14−1,14−2及
び撹拌器16を作動させ、洗浄及びリンス段に至ってい
る被洗浄物のリンスを行った。この操作中に乾燥槽3を
減圧して(弁5−1,5−2,9−3を閉じて、弁5−
3を開け、エアブローは停止する)、乾燥段に至ってい
る被洗浄物を乾燥した。途中で、洗浄槽1内及びリンス
槽2内を減圧、大気圧に復圧する操作を1回行った。所
定の時間経過後、乾燥槽3の減圧を停止し、大気圧に戻
すと同時に、洗浄槽1及びリンス槽2での超音波発振子
14−1,14−2及び撹拌器16の作動を停止し、全
ての槽1,2,3の蓋を開けて、被洗浄物をそれぞれ次
の工程に搬送した。なお、これらの操作は、図示してい
ないシーケンサーで自動的に行うようになっている。
【0022】本実施例では、洗浄槽1内及びリンス槽2
内の減圧を行うための弁操作を1回当たり30秒、大気
圧に戻すための弁操作を10秒としたところ、両槽1,
2内は60mmHgの真空と大気圧の繰返しになり、図示し
ていない窓から、被洗浄物から空気泡または蒸気泡が激
しく浮上していることが確認できた。
【0023】洗浄液として、ノニオン系界面活性剤を含
む市販のアルカリ系洗剤を所定の濃度に希釈し、洗浄
液、リンス水とも40℃にしてタクトタイム4分で、
(イ)径4mmの穴で外部と連通する広い内部空間を持
ち、切削油で汚染しているアルミニウム製試験片、
(ロ)内径9mmのパイプをコイル状にした、潤滑油で汚
染したステンレス製部品(洗浄前に、エアブローを実
施)、(ハ)両面に凹部を持ち、プレス油で汚染したス
テンレス製プレス成形品を洗浄した。
【0024】その結果、全ての被洗浄物で、内部空間表
面を含めて、目視上は油分の残存がなく、JIS K6
768「ポリエチレン及びポリプロピレンフィルムのぬ
れ試験方法」で測定した清浄度が(イ)の内部空間内で
38〜48、(ロ)で52〜54、(ハ)で54(以上
の指数において、指数が大きい程ぬれ性が良い、つまり
脱脂度が高いことを意味し、JIS K6768では3
1〜54の間で測定できる)と、いずれも高い清浄度を
得た。
【0025】ちなみに、洗浄槽1内及びリンス槽2内の
減圧、大気圧に復圧の操作を行わず、他の条件(タクト
タイムも含めて)は全て同一にして洗浄した比較では
(ハ)を除いて、目視上で油分の残存が明確で、さら
に、(イ)では内部空間面のほぼ全域に、(ロ)ではパ
イプの長さ方向中央部約2/3に洗浄剤成分であるアル
カリビルダーが乾燥して粉化した白色残渣が認められ、
ぬれ指数も(イ)が31以下、(ロ)が34〜31以
下、(ハ)が35〜37と脱脂度が低く、本実施例の洗
浄が凹部を持つ被洗浄物に極めて有効であることが確認
された。
【0026】(実施例2)図1に示した洗浄装置によっ
て、被洗浄物を洗浄槽1内またはリンス槽2内に搬入
後、減圧30秒を1回だけ行い、大気圧に復圧した後、
超音波発振子14−1,14−2及び撹拌器16を作動
させ、タクトタイムは実施例1と同じとしたが、途中で
の減圧、大気圧復圧は省略した。その結果、被洗浄物
(ロ),(ハ)では、目視上は油分の残存及び洗浄薬剤
の残存が認められず、ぬれ指数が0〜5低くなり、場所
によるバラツキが大きくなるが、前記比較例に比べると
高い清浄度が得られており、被洗浄物の形状が著しく複
雑ではない場合には十分実用的であることが判明した。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように本発明の洗浄方法及
び洗浄装置によれば、「発明が解決しようとする課題」
の項に記載した湿式洗浄における必要条件〜を可能
とするので、深い盲穴や、空洞体積が大きい内部空間を
有しこの内部空間が細い開口部を介して外部と連通する
部分を有する複雑な形状の被洗浄物でも高い清浄度に洗
浄できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る洗浄装置の一実施例を示す説明図
である。
【符号の説明】
1 洗浄槽 2 リンス槽 3 乾燥槽 4−1,4−2,4−3 減圧用配管 6−1,6−2 気液分離器 7 減圧タンク 8 真空ポンプ 9−1,9−2,9−3 弁 10−1,10−2,10−3 シール部 12 洗浄液 13 リンス液 14−1,14−2 超音波発振子 15−1,15−2,15−3 ヒータ 16 撹拌器 18,19 予備タンク 21−1,21−2 ポンプ 22 エアブロー用ノズル 24 ブロワ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄液または水に被洗浄物を浸漬して、
    洗浄またはリンスするに際し、洗浄液または水の槽を密
    閉可能な構造にし、洗浄物を洗浄液または水に浸漬後、
    超音波あるいは液ジェット、バブリング、撹拌等の補助
    手段を付与する前に、槽内を1回以上減圧するかまたは
    減圧の後加圧するサイクルを1回以上行うことを特徴と
    する洗浄方法。
  2. 【請求項2】 前記減圧は、少なくとも被洗浄物の表面
    から継続的に気泡が発生し、該気泡が被洗浄物から離れ
    て浮上する状態の真空度まで行うことを特徴とする請求
    項1記載の洗浄方法。
  3. 【請求項3】 前記槽内を減圧の後大気圧に戻してか
    ら、洗浄液または水を介して被洗浄物に超音波を作用さ
    せることを特徴とする請求項1又は2記載の洗浄方法。
  4. 【請求項4】 前記槽内を減圧及び/または減圧後加圧
    した後、再度減圧して、減圧状態のまま前記槽内をバブ
    リングまたは撹拌、液ジェット、被洗浄物の揺動等の補
    助手段を付与して洗浄することを特徴とする請求項1又
    は2記載の洗浄装置。
  5. 【請求項5】 前記請求項3又は4記載の洗浄方法を同
    一槽内で、2回以上繰り返すかまたはそれぞれを1回以
    上組合せて洗浄することを特徴とする洗浄方法。
  6. 【請求項6】 洗浄液または水に被洗浄物を浸漬して洗
    浄またはリンスするための密閉可能な構造の槽と、洗浄
    物を洗浄液または水に浸漬後、超音波あるいは液ジェッ
    ト、バブリング、撹拌等の補助手段を付与するための補
    助装置と、前記補助手段を付与する前に槽内を減圧する
    減圧装置とを具備したことを特徴とする洗浄装置。
  7. 【請求項7】 前記槽内を加圧する装置を具備したこと
    を特徴とする請求項6記載の洗浄装置。
JP31736093A 1993-11-24 1993-11-24 洗浄方法及び装置 Pending JPH07136604A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6034137A (en) * 1996-10-22 2000-03-07 Syntex (U.S.A.) Inc. Cationic lipids for gene therapy
CN102333600A (zh) * 2009-03-10 2012-01-25 三浦工业株式会社 清洗装置以及清洗方法
JP2012078329A (ja) * 2010-10-06 2012-04-19 Toshiba Corp 放射能除染方法および放射能除染装置
CN103878153A (zh) * 2014-04-11 2014-06-25 连云港佑源医药设备制造有限公司 适用于精密器具的低温沸腾精密清洗方法及清洗装置
CN112474556A (zh) * 2020-10-16 2021-03-12 江苏云佳金属制品有限公司 一种钣金数控加工用下料除油吹渣去污机构

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