JPH07134959A - 回転陽極型ｘ線管 - Google Patents
回転陽極型ｘ線管Info
- Publication number
- JPH07134959A JPH07134959A JP27997893A JP27997893A JPH07134959A JP H07134959 A JPH07134959 A JP H07134959A JP 27997893 A JP27997893 A JP 27997893A JP 27997893 A JP27997893 A JP 27997893A JP H07134959 A JPH07134959 A JP H07134959A
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- JP
- Japan
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- container
- getter
- tube
- ray tube
- pump
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、長期にわたり管内真空度を良好
に保ち得る回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とす
る。 【構成】 この発明は、陰極１５及び陽極ターゲット１
６を包囲する真空容器１４の金属容器１４ｄに、少なく
とも１個のイオンポンプ２５、及び少なくとも１個のゲ
ッタ内蔵容器２６が直付けされてなる回転陽極型Ｘ線管
である。
に保ち得る回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とす
る。 【構成】 この発明は、陰極１５及び陽極ターゲット１
６を包囲する真空容器１４の金属容器１４ｄに、少なく
とも１個のイオンポンプ２５、及び少なくとも１個のゲ
ッタ内蔵容器２６が直付けされてなる回転陽極型Ｘ線管
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、回転陽極型Ｘ線管に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管装置は、図２に示し且つ周知のよ
うに、回転陽極型Ｘ線管１１を絶縁油が満たされたＸ線
管収容容器１２の内部に収容し、Ｘ線放射口１３からＸ
線を放出するようにしたものである。例えばＣＴスキャ
ナに使用されるような大容量の回転陽極型Ｘ線管１１
は、真空容器１４の中央部、すなわち電子ビーム放出用
陰極構体１５及び回転陽極ターゲット１６を包囲する部
分が金属容器１４ａで構成される。そして、その一端開
口部にはガラスのような陰極端子側絶縁容器１４ｂ、他
端開口部には陽極端子側絶縁容器１４ｃがそれぞれ気密
接合されている。陽極ターゲット１６は、円筒状の陽極
回転体１７に固定され、この回転体は陽極固定体１８に
軸受を介して回転可能に支持されている。
うに、回転陽極型Ｘ線管１１を絶縁油が満たされたＸ線
管収容容器１２の内部に収容し、Ｘ線放射口１３からＸ
線を放出するようにしたものである。例えばＣＴスキャ
ナに使用されるような大容量の回転陽極型Ｘ線管１１
は、真空容器１４の中央部、すなわち電子ビーム放出用
陰極構体１５及び回転陽極ターゲット１６を包囲する部
分が金属容器１４ａで構成される。そして、その一端開
口部にはガラスのような陰極端子側絶縁容器１４ｂ、他
端開口部には陽極端子側絶縁容器１４ｃがそれぞれ気密
接合されている。陽極ターゲット１６は、円筒状の陽極
回転体１７に固定され、この回転体は陽極固定体１８に
軸受を介して回転可能に支持されている。
【０００３】このＸ線管装置の動作にあたっては、金属
容器１４ａはＸ線管収容容器１２とともに接地電位に保
たれ、陰極端子１５ａに一方の高電圧ケーブル接続端子
１９からマイナスの高電圧が印加され、陽極固定体１８
に他方の高電圧ケーブル接続端子２０からプラスの高電
圧が印加される。また、Ｘ線管収容容器１２の内部空間
に満たされた絶縁油は、図示しない冷却器及びポンプに
より冷却され且つ循環される。
容器１４ａはＸ線管収容容器１２とともに接地電位に保
たれ、陰極端子１５ａに一方の高電圧ケーブル接続端子
１９からマイナスの高電圧が印加され、陽極固定体１８
に他方の高電圧ケーブル接続端子２０からプラスの高電
圧が印加される。また、Ｘ線管収容容器１２の内部空間
に満たされた絶縁油は、図示しない冷却器及びポンプに
より冷却され且つ循環される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、回転陽極型
Ｘ線管においては、真空容器や管内部品からのガス放出
により、管内真空度が低下しやすい。管内真空度が低下
すると、放電が発生し、安定な動作性能が保てない。と
くにＣＴスキャナに使用されるような大容量のＸ線管で
は、回転陽極ターゲットの熱容量が大きいので、その
分、ガス放出も多くなる傾向がある。この発明は、長期
にわたり管内真空度を良好に保ち得る回転陽極型Ｘ線管
を提供することを目的とする。
Ｘ線管においては、真空容器や管内部品からのガス放出
により、管内真空度が低下しやすい。管内真空度が低下
すると、放電が発生し、安定な動作性能が保てない。と
くにＣＴスキャナに使用されるような大容量のＸ線管で
は、回転陽極ターゲットの熱容量が大きいので、その
分、ガス放出も多くなる傾向がある。この発明は、長期
にわたり管内真空度を良好に保ち得る回転陽極型Ｘ線管
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、陰極及び陽
極ターゲットを包囲する真空容器の金属容器に、少なく
とも１個のイオンポンプ、及び少なくとも１個のゲッタ
内蔵容器が直付けされてなる回転陽極型Ｘ線管である。
極ターゲットを包囲する真空容器の金属容器に、少なく
とも１個のイオンポンプ、及び少なくとも１個のゲッタ
内蔵容器が直付けされてなる回転陽極型Ｘ線管である。
【０００６】
【作用】この発明によれば、相対的に最もガス放出が多
い陽極ターゲットの近傍にイオンポンプ及びゲッタ内蔵
容器が配置されるので、管内真空度が常に高く維持さ
れ、放電が抑制され、長期にわたり安定した動作性能が
維持される。また、イオンポンプを管内真空度の検出器
として利用することにより、Ｘ線管の製造工程や実動作
中に管内真空度の異常の有無を検知でき、陽極ターゲッ
トへの熱入力を適切に制御することができる。それによ
って、Ｘ線管の破損を未然に防止することができる。
い陽極ターゲットの近傍にイオンポンプ及びゲッタ内蔵
容器が配置されるので、管内真空度が常に高く維持さ
れ、放電が抑制され、長期にわたり安定した動作性能が
維持される。また、イオンポンプを管内真空度の検出器
として利用することにより、Ｘ線管の製造工程や実動作
中に管内真空度の異常の有無を検知でき、陽極ターゲッ
トへの熱入力を適切に制御することができる。それによ
って、Ｘ線管の破損を未然に防止することができる。
【０００７】
【実施例】以下図面を参照してその実施例を説明する。
図１に示すように、真空容器１４は、陰極構体１５及び
それに対向して配置された重金属製の回転陽極ターゲッ
ト１６を包囲する中央部分が、銅又は銅合金からなる金
属容器１４ａであり、その両端部にガラス容器１４ｂ，
１４ｃがそれぞれ気密接合されている。一方のガラス容
器１４ｂの内側には、陰極支持体１５ｂが延長配置さ
れ、他方のガラス容器１４ｃの内側には陽極支持構体で
ある円筒状陽極回転体１７及び陽極固定体１８が延長配
置されている。これら回転体１７及び固定体１８の嵌合
部には、玉軸受あるいは液体金属潤滑の動圧すべり軸受
のような軸受２２が配置されている。回転体１７のシャ
フト２３には、陽極ターゲット１６が固定されている。
図１に示すように、真空容器１４は、陰極構体１５及び
それに対向して配置された重金属製の回転陽極ターゲッ
ト１６を包囲する中央部分が、銅又は銅合金からなる金
属容器１４ａであり、その両端部にガラス容器１４ｂ，
１４ｃがそれぞれ気密接合されている。一方のガラス容
器１４ｂの内側には、陰極支持体１５ｂが延長配置さ
れ、他方のガラス容器１４ｃの内側には陽極支持構体で
ある円筒状陽極回転体１７及び陽極固定体１８が延長配
置されている。これら回転体１７及び固定体１８の嵌合
部には、玉軸受あるいは液体金属潤滑の動圧すべり軸受
のような軸受２２が配置されている。回転体１７のシャ
フト２３には、陽極ターゲット１６が固定されている。
【０００８】金属容器１４ａの陽極側の所定位置には、
Ｘ線放射窓２４が設けられている。そこで、金属容器１
４ａのフレア状陰極側金属容器１４ｄには、少なくとも
１個（例えば３個）のイオンポンプ２５、及び少なくと
も１個（例えば３個）の通電型ゲッタを内蔵するゲッタ
内蔵容器２６が、円周方向に交互に直付けされている。
イオンポンプ２５には、その動作に際して、永久磁石２
５ａが装着される。また、このイオンポンプ２５は、所
定の直流電圧を印加し、内部のガスイオン電流を検出し
て管内真空度をモニタできる構成であり、必要に応じて
管内真空度を検出することができる。また、ゲッタ内蔵
容器の中に配置されている通電ゲッタに、必要に応じて
所定電流を流して加熱し、ガス吸着させることができ
る。
Ｘ線放射窓２４が設けられている。そこで、金属容器１
４ａのフレア状陰極側金属容器１４ｄには、少なくとも
１個（例えば３個）のイオンポンプ２５、及び少なくと
も１個（例えば３個）の通電型ゲッタを内蔵するゲッタ
内蔵容器２６が、円周方向に交互に直付けされている。
イオンポンプ２５には、その動作に際して、永久磁石２
５ａが装着される。また、このイオンポンプ２５は、所
定の直流電圧を印加し、内部のガスイオン電流を検出し
て管内真空度をモニタできる構成であり、必要に応じて
管内真空度を検出することができる。また、ゲッタ内蔵
容器の中に配置されている通電ゲッタに、必要に応じて
所定電流を流して加熱し、ガス吸着させることができ
る。
【０００９】このような構成の回転陽極型Ｘ線管は、そ
の製造工程、例えば排気工程において、イオンポンプ２
５を動作させながら、回転陽極ターゲットを電子ビーム
ボンバードにより加熱してガス放出させ、通常の真空ポ
ンプとともにイオンポンプで排気をする。イオンポンプ
は陽極ターゲットの近傍に位置しているので、ターゲッ
トから発生するガスを効率よく吸収する。イオンポンプ
はとくに水素ガスの吸収能力が高いので、とりわけ効果
が大きい。また、排気後のエージング工程では、イオン
ポンプとともにゲッタに通電して両方を動作させながら
エージングを行う。さらにまた、実動作中には、必要に
応じてイオンポンプ及びゲッタの少なくとも一方を動作
させる。或いは、必要により、イオンポンプで管内真空
度を検知して動作を制御する。
の製造工程、例えば排気工程において、イオンポンプ２
５を動作させながら、回転陽極ターゲットを電子ビーム
ボンバードにより加熱してガス放出させ、通常の真空ポ
ンプとともにイオンポンプで排気をする。イオンポンプ
は陽極ターゲットの近傍に位置しているので、ターゲッ
トから発生するガスを効率よく吸収する。イオンポンプ
はとくに水素ガスの吸収能力が高いので、とりわけ効果
が大きい。また、排気後のエージング工程では、イオン
ポンプとともにゲッタに通電して両方を動作させながら
エージングを行う。さらにまた、実動作中には、必要に
応じてイオンポンプ及びゲッタの少なくとも一方を動作
させる。或いは、必要により、イオンポンプで管内真空
度を検知して動作を制御する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
管内真空度を常に高く維持でき、放電抑制、及び長期に
わたる安定した動作性能を維持できる。また、イオンポ
ンプを管内真空度の検出器として利用することにより、
Ｘ線管の製造工程や実動作中に管内真空度の異常の有無
を検知でき、陽極ターゲットへの熱入力を適切に制御す
ることができ、Ｘ線管の破損を未然に防止することもで
きる。
管内真空度を常に高く維持でき、放電抑制、及び長期に
わたる安定した動作性能を維持できる。また、イオンポ
ンプを管内真空度の検出器として利用することにより、
Ｘ線管の製造工程や実動作中に管内真空度の異常の有無
を検知でき、陽極ターゲットへの熱入力を適切に制御す
ることができ、Ｘ線管の破損を未然に防止することもで
きる。
【図１】この発明の実施例を示す要部半断面図である。
【図２】一般的なＸ線管装置の構成を示す断面図であ
る。
る。
１５…陰極構体 １６…陽極ターゲット １４…真空容器 １４ｄ…陰極側金属容器 ２５…イオンポンプ ２６…ゲッタ内蔵容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北見 隆幸 栃木県大田原市下石上1385番の１ 株式会 社東芝那須電子管工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 電子ビーム放出用陰極及びこの陰極に対
向して設けられた陽極ターゲットを包囲する真空容器部
分が金属容器である回転陽極型Ｘ線管において、 上記
金属容器に少なくとも１個のイオンポンプ、及び少なく
とも１個のゲッタ内蔵容器が直付けされてなることを特
徴とする回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項２】 少なくとも１個のイオンポンプは、管内
真空度の検出器を兼ねる請求項１記載の回転陽極型Ｘ線
管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27997893A JPH07134959A (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 回転陽極型ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27997893A JPH07134959A (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 回転陽極型ｘ線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07134959A true JPH07134959A (ja) | 1995-05-23 |
Family
ID=17618604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27997893A Pending JPH07134959A (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 回転陽極型ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07134959A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9514910B2 (en) | 2014-01-16 | 2016-12-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation tube, radiation generating apparatus, and radiation imaging system |
| WO2020178898A1 (ja) * | 2019-03-01 | 2020-09-10 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置、並びに、その診断装置及び診断方法 |
-
1993
- 1993-11-10 JP JP27997893A patent/JPH07134959A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9514910B2 (en) | 2014-01-16 | 2016-12-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation tube, radiation generating apparatus, and radiation imaging system |
| WO2020178898A1 (ja) * | 2019-03-01 | 2020-09-10 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置、並びに、その診断装置及び診断方法 |
| JPWO2020178898A1 (ja) * | 2019-03-01 | 2021-11-18 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置、並びに、その診断装置及び診断方法 |
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