JPH07133143A - Production of hermetically coated optical fiber - Google Patents

Production of hermetically coated optical fiber

Info

Publication number
JPH07133143A
JPH07133143A JP5292412A JP29241293A JPH07133143A JP H07133143 A JPH07133143 A JP H07133143A JP 5292412 A JP5292412 A JP 5292412A JP 29241293 A JP29241293 A JP 29241293A JP H07133143 A JPH07133143 A JP H07133143A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
cooling effect
seal gas
gas
changing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5292412A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2583392B2 (en
Inventor
Hiroyuki Kobayashi
洋之 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP5292412A priority Critical patent/JP2583392B2/en
Publication of JPH07133143A publication Critical patent/JPH07133143A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2583392B2 publication Critical patent/JP2583392B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
    • C03C25/10—Coating
    • C03C25/12—General methods of coating; Devices therefor
    • C03C25/22—Deposition from the vapour phase
    • C03C25/223—Deposition from the vapour phase by chemical vapour deposition or pyrolysis

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an optical fiber which is stable in the characteristics of a hermetic film in a longitudinal direction by changing the cooling effect of an optical fiber by a sealing gas on the inlet side of a thermal CVD reaction furnace. CONSTITUTION:The cooling effect of the optical fiber by the sealing gas is lowered when the thickness of the hermetic film is smaller than the prescribed thickness and the cooling effect is improved when the thickness is larger than the prescribed thickness by (A) lowering the cooling effect of the optical fiber by the sealing gas on the inlet side of the thermal CVD reaction furnace according to the lapse of time and (B) measuring the thickness of the hermetic film in the method for forming the hermetic film on the surface of the optical fiber by passing the optical fiber right after drawing through the reaction furnace. In the method described above, (a) the cooling effect of the optical fiber is changed by changing the mixing ratio of the sealing gas having the high cooling effect and the sealing gas having the low cooling effect or (b) the cooling effect thereof is changed by changing the flow rate of the sealing gas or (c) the cooling effect thereof is changed by changing the temp. of the sealing gas.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ハーメチックコート光
ファイバの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a hermetically coated optical fiber.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ハーメチックコート光ファイバは、石英
ガラス等からなる光ファイバの表面に炭素や炭化物など
の無機物からなるハーメチック被膜を形成したものであ
る。ハーメチック被膜を形成すると、水中等の多湿環境
下において光ファイバを水分から遮断することができる
ので、水分吸収による光伝送損失の増大を防止でき、ま
た水分による光ファイバ表面のクラックの拡大が抑制さ
れるので、光ファイバの機械的強度の低下を防止でき
る。このようなことからハーメチックコート光ファイバ
は、海底ケーブル用など高度の耐環境性が要求される光
ファイバとして近年注目され、一部で実用化されつつあ
る。2. Description of the Related Art A hermetically coated optical fiber is an optical fiber made of quartz glass or the like on which a hermetic coating made of an inorganic material such as carbon or carbide is formed. By forming a hermetic coating, it is possible to shield the optical fiber from moisture in a humid environment such as water, so it is possible to prevent an increase in optical transmission loss due to moisture absorption, and to suppress the expansion of cracks on the surface of the optical fiber due to moisture. Therefore, the mechanical strength of the optical fiber can be prevented from lowering. For these reasons, the hermetically coated optical fiber has been attracting attention in recent years as an optical fiber for a submarine cable that requires a high degree of environmental resistance, and is being put into practical use in some areas.

【０００３】このようなハーメチックコート光ファイバ
を製造する方法としては、線引直後の高温の光ファイバ
を、炭化水素（主としてアセチレンガス）を含むガス中
に導入し、そのガスの熱分解反応により光ファイバ表面
にカーボンのハーメチック被膜を形成するというのが一
般的である。As a method for producing such a hermetically coated optical fiber, a high temperature optical fiber immediately after drawing is introduced into a gas containing hydrocarbon (mainly acetylene gas), and the light is generated by a thermal decomposition reaction of the gas. It is common to form a hermetic coating of carbon on the fiber surface.

【０００４】図１にその方法の一例を示す。線引炉２で
加熱された光ファイバ母材１は線引されて裸の光ファイ
バ３Ａとなる。得られた光ファイバ３Ａは、外径測定器
４を通過した後、熱ＣＶＤ反応炉５に入る。反応炉５内
には、外部のマスフローコントローラ６を通してＣ2 Ｈ
2 等の原料ガスと、Ｈｅ、Ａｒ、Ｎ2 等の希釈ガスが供
給されている。反応炉５内は必要に応じ加熱する場合も
ある。FIG. 1 shows an example of the method. The optical fiber preform 1 heated in the drawing furnace 2 is drawn into a bare optical fiber 3A. The obtained optical fiber 3A enters the thermal CVD reaction furnace 5 after passing through the outer diameter measuring device 4. Inside the reactor 5, C 2 H is passed through an external mass flow controller 6.
The raw material gas 2 such as, He, Ar, diluent gas such as N 2 is supplied. The inside of the reaction furnace 5 may be heated if necessary.

【０００５】反応炉５に導入された光ファイバ３Ａはま
だ高温の状態にあるので、その熱で反応炉５内では熱Ｃ
ＶＤ反応が起こり、光ファイバ３Ａの表面にカーボンの
ハーメチック被膜（厚さ５００Å前後）が形成される。
このようにして得られたハーメチックコート光ファイバ
３は、被覆ダイス８で樹脂を被覆された後、巻取り機９
に巻き取られる。Since the optical fiber 3A introduced into the reaction furnace 5 is still in a high temperature state, the heat thereof causes heat C in the reaction furnace 5.
The VD reaction occurs, and a hermetic coating of carbon (thickness of about 500Å) is formed on the surface of the optical fiber 3A.
The hermetically coated optical fiber 3 thus obtained is coated with a resin by a coating die 8 and then wound on a winder 9
To be wound up.

【０００６】図２は熱ＣＶＤ反応炉５の詳細を示す。反
応炉５は炉内に原料ガスおよび希釈ガスを供給する原料
ガス導入口１２と、熱ＣＶＤ反応後のガスを炉外に排出
する排気口１３を有している。また反応炉５には光ファ
イバ３Ａの入口と、ハーメチックコート光ファイバ３の
出口があるので、この入口および出口から原料ガスおよ
び希釈ガスが外部に漏れたり、あるいは炉内に空気が侵
入したりするのを防止する必要がある。このため反応炉
５には、入口側のシールガス導入口１０と、出口側のシ
ールガス導入口１１が設けられ、その各々からＨｅ、Ａ
ｒ、Ｎ2 等のシールガス（混合ガスではなく単体）を供
給して、反応炉５内を外気から遮断している。FIG. 2 shows details of the thermal CVD reaction furnace 5. The reaction furnace 5 has a raw material gas inlet 12 for supplying a raw material gas and a dilution gas into the furnace, and an exhaust opening 13 for discharging the gas after the thermal CVD reaction to the outside of the furnace. Further, since the reaction furnace 5 has an inlet for the optical fiber 3A and an outlet for the hermetically-coated optical fiber 3, the raw material gas and the diluting gas may leak to the outside through this inlet and the outlet, or air may enter the furnace. Need to be prevented. For this reason, the reactor 5 is provided with an inlet-side seal gas inlet 10 and an outlet-side seal gas inlet 11, from which He, A
A seal gas such as r or N 2 (a simple substance, not a mixed gas) is supplied to shut off the inside of the reaction furnace 5 from the outside air.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ハーメチックコート光
ファイバの製造を長時間続けると、反応炉５の内壁には
排出されなかったカーボン等の反応生成物７が堆積す
る。この反応生成物７の堆積が多くなると、反応炉５内
のガスの流れが変化したり、反応炉７内に浮遊する反応
生成物が増加したりして、反応条件が変化する。光ファ
イバの表面に生成されるハーメチック被膜は炉内の反応
条件により著しくその特性が変化するため、反応炉内壁
への反応生成物の堆積が進むと、製造されるハーメチッ
クコート光ファイバの長手方向の特性が変化するという
問題が生じる。When the production of the hermetically coated optical fiber is continued for a long time, the reaction product 7 such as carbon that has not been discharged is deposited on the inner wall of the reaction furnace 5. When the deposition of the reaction product 7 increases, the gas flow in the reaction furnace 5 changes, and the reaction products floating in the reaction furnace 7 increase, so that the reaction conditions change. Since the properties of the hermetic coating formed on the surface of the optical fiber change significantly depending on the reaction conditions in the furnace, as the deposition of reaction products on the inner wall of the reactor progresses, The problem arises that the characteristics change.

【０００８】特にハーメチックコート光ファイバは、光
海底ケーブルのような１条長が極めて長いケーブルに使
用される可能性が高いため、長手方向の特性の変動を小
さく抑えることは重要な課題である。Particularly, since the hermetically coated optical fiber is highly likely to be used for a cable having an extremely long one-line length such as an optical submarine cable, it is an important subject to suppress the fluctuation of characteristics in the longitudinal direction to be small.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段とその作用】反応炉内壁へ
の反応生成物の堆積などによる反応条件の変化に対し
て、ハーメチック被膜の膜厚や膜質（粒子の細かさ等）
をほぼ均一に保つためには、熱ＣＶＤ反応の反応温度を
制御することが有効である。前述のように反応炉内では
主として光ファイバ自身の熱で原料ガスを熱分解してい
るので、光ファイバの温度を制御すれば反応温度を制御
することが可能である。[Means for solving the problem and its action] The thickness and quality of the hermetic coating (fineness of particles, etc.) against changes in reaction conditions due to deposition of reaction products on the inner wall of the reactor
It is effective to control the reaction temperature of the thermal CVD reaction in order to keep the temperature substantially uniform. As described above, the raw material gas is thermally decomposed mainly by the heat of the optical fiber itself in the reaction furnace, so that the reaction temperature can be controlled by controlling the temperature of the optical fiber.

【００１０】光ファイバの温度を制御する手段として
は、線引炉内温度または線引速度を変化させることが一
般に考えられるが、この方法は、線引炉内温度または線
引速度を変化させると、光ファイバの温度だけでなく外
径や伝送特性も変動してしまうので、実用化が困難であ
る。As a means for controlling the temperature of the optical fiber, it is generally considered to change the temperature or the drawing speed in the drawing furnace, but this method changes the temperature or the drawing speed in the drawing furnace. However, not only the temperature of the optical fiber but also the outer diameter and the transmission characteristics vary, which makes practical application difficult.

【００１１】そこで本発明者は、反応炉の光ファイバの
入口側に供給されているシールガスに着目した。このシ
ールガスは光ファイバを冷却する効果がある。線引炉を
出て熱ＣＶＤ反応炉に入る光ファイバの温度は１０００
℃以上の高温になっている。この光ファイバにシールガ
スを吹きつけると、光ファイバの温度が低下する。この
シールガスによる光ファイバの冷却効果を変化させれ
ば、光ファイバの温度ひいては熱ＣＶＤ反応の反応温度
を制御することが可能となる。Therefore, the present inventor has paid attention to the seal gas supplied to the entrance side of the optical fiber of the reaction furnace. This sealing gas has the effect of cooling the optical fiber. The temperature of the optical fiber leaving the drawing furnace and entering the thermal CVD reaction furnace is 1000
The temperature is higher than ℃. When the seal gas is blown onto this optical fiber, the temperature of the optical fiber is lowered. By changing the cooling effect of the optical fiber by this seal gas, it becomes possible to control the temperature of the optical fiber and thus the reaction temperature of the thermal CVD reaction.

【００１２】本発明の基本的な構成は、線引直後の光フ
ァイバを熱ＣＶＤ反応炉に通して光ファイバ表面にハー
メチック被膜を形成するハーメチックコート光ファイバ
の製造方法において、熱ＣＶＤ反応炉の入口側のシール
ガスによる光ファイバの冷却効果を、時間の経過に応じ
て低下させることを特徴とする。The basic structure of the present invention is to provide a hermetically coated optical fiber manufacturing method in which an optical fiber immediately after drawing is passed through a thermal CVD reaction furnace to form a hermetic coating on the surface of the optical fiber. It is characterized in that the effect of cooling the optical fiber by the side seal gas is reduced with the passage of time.

【００１３】シールガスによる冷却効果を一定にしてハ
ーメチックコート光ファイバを連続的に製造する場合、
時間の経過と共にハーメチック被膜が徐々に薄くなる傾
向がある。シールガスによる冷却効果を、時間の経過に
応じて低下させると、反応炉を通過する光ファイバの温
度が上昇し、熱ＣＶＤ反応が促進されるので、ハーメチ
ック被膜が厚くつくようになり、ハーメチック被膜が時
間の経過と共に薄くなるのを防止できる。In the case where a hermetically coated optical fiber is continuously manufactured with a constant cooling effect of the seal gas,
The hermetic coating tends to gradually thin over time. When the cooling effect of the seal gas is lowered with the passage of time, the temperature of the optical fiber passing through the reaction furnace rises and the thermal CVD reaction is accelerated, so that the hermetic coating becomes thicker and the hermetic coating becomes thicker. Can be prevented from thinning over time.

【００１４】本発明のさらに具体的な構成は、熱ＣＶＤ
法によるハーメチックコート光ファイバの製造方法にお
いて、熱ＣＶＤ反応炉を出たハーメチックコート光ファ
イバのハーメチック被膜の膜厚を測定し、膜厚が所定の
厚さより薄いときは熱ＣＶＤ反応炉の入口側のシールガ
スによる光ファイバの冷却効果を低下させ、厚いときは
同シールガスによる光ファイバの冷却効果を向上させる
制御を行うことを特徴とする。A more specific structure of the present invention is thermal CVD.
In the method for producing a hermetically coated optical fiber by the method, the thickness of the hermetically coated film of the hermetically coated optical fiber exiting the thermal CVD reaction furnace is measured, and when the thickness is smaller than a predetermined thickness, the thickness of the inlet side of the thermal CVD reaction furnace is reduced. It is characterized in that the effect of cooling the optical fiber by the seal gas is reduced, and when it is thick, the effect of cooling the optical fiber by the seal gas is improved.

【００１５】この方法では、形成されたハーメチック被
膜の厚さを確認しながら、シールガスによる冷却効果を
変化させるので、ハーメチック被膜の厚さをより高い精
度で一様に保つことが可能となる。この方法でも、全体
としてはシールガスによる光ファイバの冷却効果が時間
の経過に応じて低下する傾向がある。In this method, since the cooling effect of the seal gas is changed while confirming the thickness of the formed hermetic coating, it is possible to keep the thickness of the hermetic coating uniform with higher accuracy. Even with this method, the cooling effect of the seal gas on the optical fiber as a whole tends to decrease with the passage of time.

【００１６】シールガスによる光ファイバの冷却効果を
変化させる手段としては、シールガスの流量を変えるこ
とが一つの方法である。シールガスの流量を製造開始時
に多くしておき、徐々に低下させていけば、シールガス
による光ファイバの冷却効果が徐々に低下する。シール
ガスとしては熱伝達率が高く冷却効果のよいヘリウムを
使用することが望ましい。As a means for changing the cooling effect of the optical fiber by the seal gas, changing the flow rate of the seal gas is one method. If the flow rate of the seal gas is increased at the start of production and gradually decreased, the cooling effect of the optical fiber by the seal gas gradually decreases. As the seal gas, it is desirable to use helium, which has a high heat transfer coefficient and a good cooling effect.

【００１７】シールガスの流量を変化させる方法では、
シールガスの流量が低下し過ぎると、シールガスの本来
の目的であるシール効果が損なわれるおそれがある。こ
れを改善するには、シールガスとして、冷却効果の高い
シールガスと冷却効果の低いシールガスの混合ガスを使
用し、冷却効果の高いシールガスと冷却効果の低いシー
ルガスの混合割合を変えることが有効である。例えばヘ
リウムガスとアルゴンガスでは前者の方が冷却効果が高
いので、シールガスとしてこれらの混合ガスを用い、最
初のうちはヘリウムガスの混合割合を高くしておき、徐
々にヘリウムガスの混合割合を低下させていけば、シー
ルガスによる光ファイバの冷却効果が徐々に低下する。In the method of changing the flow rate of the seal gas,
If the flow rate of the seal gas is too low, the seal effect, which is the original purpose of the seal gas, may be impaired. To improve this, use a mixture of seal gas with high cooling effect and seal gas with low cooling effect as the seal gas, and change the mixing ratio of seal gas with high cooling effect and seal gas with low cooling effect. Is effective. For example, in the case of helium gas and argon gas, the former has a higher cooling effect, so these mixed gases are used as the seal gas, and the mixing ratio of the helium gas is set high at the beginning, and the mixing ratio of the helium gas is gradually increased. If it is decreased, the cooling effect of the optical fiber by the seal gas gradually decreases.

【００１８】またシールガスによる光ファイバの冷却効
果を変化させる手段としては、シールガスの温度を変え
ることも一つの方法である。最初のうちはシールガスの
温度を低くしておき、徐々にシールガスの温度を高くし
ていけば、シールガスによる光ファイバの冷却効果が徐
々に低下する。またシールガスによる光ファイバの冷却
効果を変化させる手段としては、シールガスとして、
冷却効果の高いシールガスと冷却効果の低いシールガス
の混合ガスを使用し、冷却効果の高いシールガスと冷却
効果の低いシールガスの混合割合を変えること、シー
ルガスの流量を変えること、シールガスの温度を変え
ること、のいずれか二つ以上の組み合わせを採用するこ
ともできる。As a means for changing the effect of cooling the optical fiber by the seal gas, changing the temperature of the seal gas is one method. If the temperature of the seal gas is lowered at the beginning and the temperature of the seal gas is gradually raised, the cooling effect of the seal gas on the optical fiber gradually decreases. As a means for changing the cooling effect of the optical fiber by the seal gas, the seal gas is
By using a mixed gas of seal gas with high cooling effect and seal gas with low cooling effect, change the mixing ratio of seal gas with high cooling effect and seal gas with low cooling effect, change the flow rate of seal gas, seal gas It is also possible to adopt a combination of any two or more of changing the temperature of.

【００１９】[0019]

【実施例】図１および図２に示す装置を用いてハーメチ
ックコート光ファイバの製造を行った。主な製造条件は
次のとおりである。 線引速度 ：５００ｍ／分 線引炉内温度 ：約２０５０℃ 原料ガス ：Ｃ2 Ｈ2 ＋Ａｒ 計２リットル／分 シールガス ：入口側 Ｈｅ＋Ａｒ 計３リットル／分 ：出口側 Ａｒ ２リットル／分 線引炉下端と反応炉上端の距離：１００mm 排気圧 ：−６mmＨｇEXAMPLE A hermetically coated optical fiber was manufactured using the apparatus shown in FIGS. The main manufacturing conditions are as follows. Drawing speed: 500 m / min Drawing furnace temperature: Approx. 2050 ° C. Raw material gas: C 2 H 2 + Ar total 2 l / min Seal gas: Inlet He + Ar total 3 l / min: Exit side Ar 2 l / min Drawing Distance between bottom of furnace and top of reactor: 100 mm Exhaust pressure: -6 mmHg

【００２０】（Ａ） まず製造条件を変更せずに連続し
て長さ１５０kmのハーメチックコート光ファイバを製造
した。反応炉の入口側のシールガスはヘリウムで流量３
リットル／分一定とし、出口側のシールガスはアルゴン
で流量２リットル／分一定とした。製造後、長さ２０km
毎にハーメチック被膜の厚さを電子顕微鏡にて測定し
た。その結果を図３（ａ）に示す。（ａ）によると製造
開始端からの長さが長くなるに従い（製造時間が長くな
るに従い）、ハーメチック被膜の厚さが徐々に薄くなっ
ていくことが分かる。(A) First, a hermetically coated optical fiber having a length of 150 km was continuously manufactured without changing the manufacturing conditions. Helium was used as the seal gas on the inlet side of the reactor and the flow rate was 3
The liter / minute was constant, and the seal gas on the outlet side was argon with a constant flow rate of 2 liter / minute. 20km after production
Each time, the thickness of the hermetic coating was measured with an electron microscope. The result is shown in FIG. According to (a), it can be seen that the thickness of the hermetic coating gradually decreases as the length from the manufacturing start end increases (as the manufacturing time increases).

【００２１】（Ｂ） 次に反応炉の入口側のシールガス
を変化させて、連続して長さ１５０kmのハーメチックコ
ート光ファイバを製造した。製造開始時は、上記と同じ
く、反応炉の入口側のシールガスはヘリウム、流量３リ
ットル／分一定、出口側のシールガスはアルゴン、流量
２リットル／分一定とし、長さ１０km製造する毎に入口
側のヘリウムの流量を０．２リットル／分ずつ減らし、
アルゴンの流量を同量ずつ増やしていった（流量の合計
は一定）。(B) Next, the hermetically coated optical fiber having a length of 150 km was continuously manufactured by changing the sealing gas on the inlet side of the reaction furnace. At the start of production, the same as above, the seal gas on the inlet side of the reaction furnace was helium, the flow rate was constant at 3 liters / minute, the seal gas on the outlet side was argon, and the flow rate was constant at 2 liters / minute. Reduce the flow rate of helium on the inlet side by 0.2 l / min,
The flow rate of argon was increased by the same amount (the total flow rate was constant).

【００２２】製造後、長さ２０km毎にハーメチック被膜
の厚さを電子顕微鏡にて測定した。その結果を図３
（ｂ）に示す。（ｂ）によると、長手方向におけるハー
メチック被覆の厚さの変化は（ａ）より小さくなってお
り、反応炉入口側のシールガスによる光ファイバの冷却
効果を変化させることが、ハーメチック被膜を均一化さ
せるのに効果があることが分かる。ただしこの場合は、
入口側のシールガスを一定量ずつ変化させただけなの
で、製造後半ではシールガスの変化とハーメチック被膜
の厚さの変動とのマッチングが十分にとれていない。After the production, the thickness of the hermetic coating was measured with an electron microscope every 20 km in length. The result is shown in Figure 3.
It shows in (b). According to (b), the change in the thickness of the hermetic coating in the longitudinal direction is smaller than that in (a), and changing the cooling effect of the optical fiber by the seal gas at the reactor inlet side makes the hermetic coating uniform. It turns out that it is effective in making it. However, in this case,
Since the seal gas on the inlet side was only changed by a fixed amount, the change in the seal gas and the change in the thickness of the hermetic coating were not sufficiently matched in the latter half of manufacturing.

【００２３】（Ｃ） 次に、反応炉５の出口と被覆ダイ
ス８との間に膜厚測定器１４を設置し、ハーメチック被
膜の厚さをインラインで測定して、測定した膜厚に応じ
て反応炉入口側のシールガス（ヘリウム）の流量を変化
させる制御を行った。制御条件は、ある測定時点で、そ
のときの膜厚測定値が６００Åより厚いときは、その差
に関係なくシールガスの流量を０．０５リットル／分だ
け増加させ、薄いときは０．０５リットル／分だけ減少
させる制御を１分毎に行うこととした。(C) Next, a film thickness measuring device 14 is installed between the outlet of the reaction furnace 5 and the coating die 8 to measure the thickness of the hermetic film in-line, and according to the measured film thickness. Control was performed to change the flow rate of the seal gas (helium) on the reactor inlet side. The control condition is to increase the flow rate of the seal gas by 0.05 liters / minute regardless of the difference when the film thickness measurement value at that time is thicker than 600 Å at a certain measurement time, and 0.05 liter when it is thin. It is decided to perform the control to decrease by 1 / minute every 1 minute.

【００２４】この方法で連続して長さ１５０kmのハーメ
チックコート光ファイバを製造した後、長さ２０km毎に
ハーメチック被膜の厚さを電子顕微鏡にて測定した。そ
の結果を図３（ｃ）に示す。（ｃ）によると、ハーメチ
ック被膜の厚さが光ファイバの長手方向に高い精度で安
定することが分かる。After continuously producing a hermetically coated optical fiber having a length of 150 km by this method, the thickness of the hermetically coated film was measured every 20 km by an electron microscope. The result is shown in FIG. According to (c), it can be seen that the thickness of the hermetic coating is stable in the longitudinal direction of the optical fiber with high accuracy.

【００２５】また、（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）で製造した各ハ
ーメチックコート光ファイバについて、光ファイバの外
径および伝送特性の長手方向変動量を調べた結果では、
ハーメチック被膜を施していない通常の光ファイバと同
レベルであった。これは反応炉入口側のシールガスを変
化させたことによる影響はないことを示している。Further, regarding each of the hermetically coated optical fibers manufactured in (A), (B), and (C), the outer diameter of the optical fiber and the variation in the longitudinal direction of the transmission characteristics are examined.
It was at the same level as a normal optical fiber without a hermetic coating. This indicates that there is no effect due to changing the seal gas at the reactor inlet side.

【００２６】[0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、熱
ＣＶＤ反応炉の入口側でシールガスによる光ファイバの
冷却効果を変化させることにより、長手方向にハーメチ
ック被膜の特性が安定したハーメチックコート光ファイ
バを製造することができる。As described above, according to the present invention, by changing the cooling effect of the optical fiber by the seal gas at the inlet side of the thermal CVD reaction furnace, the hermetic coating with stable characteristics of the hermetic coating in the longitudinal direction is obtained. Optical fibers can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 ハーメチックコート光ファイバ製造装置の一
例を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory view showing an example of a hermetically coated optical fiber manufacturing apparatus.

【図２】 図１の装置における熱ＣＶＤ反応炉の詳細を
示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing details of a thermal CVD reaction furnace in the apparatus of FIG.

【図３】 従来方法と本発明方法により製造されたハー
メチックコート光ファイバの製造開始端からの長さと、
ハーメチック被膜の厚さとの関係を示すグラフ。FIG. 3 shows the length from the manufacturing start end of the hermetically coated optical fiber manufactured by the conventional method and the method of the present invention,
The graph which shows the relationship with the thickness of a hermetic coating.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１：光ファイバ母材 ２：線引炉 ３Ａ：線引直後の裸の光ファイバ ３：ハーメチ
ックコート光ファイバ ４：外径測定器 ５：熱ＣＶＤ
反応炉 ８：被覆ダイス ９：巻取り機 １０：入口側のシールガス導入口 １１：出口側の
シールガス導入口 １２：原料ガス導入口 １３：排気口 （ａ）：従来方法によるハーメチックコート光ファイバ （ｂ）：本発明の一実施例によるハーメチックコート光
ファイバ （ｃ）：本発明の他の実施例によるハーメチックコート
光ファイバ1: Optical fiber base material 2: Drawing furnace 3A: Bare optical fiber immediately after drawing 3: Hermetically coated optical fiber 4: Outer diameter measuring instrument 5: Thermal CVD
Reactor 8: Coating die 9: Winding machine 10: Inlet side seal gas inlet 11: Outlet side seal gas inlet 12: Raw material gas inlet 13: Exhaust port (a): Hermetically coated optical fiber by conventional method (B): Hermetically coated optical fiber according to one embodiment of the present invention (c): Hermetically coated optical fiber according to another embodiment of the present invention

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】線引直後の光ファイバを熱ＣＶＤ反応炉に
通して光ファイバ表面にハーメチック被膜を形成するハ
ーメチックコート光ファイバの製造方法において、熱Ｃ
ＶＤ反応炉の入口側のシールガスによる光ファイバの冷
却効果を、時間の経過に応じて低下させることを特徴と
するハーメチックコート光ファイバの製造方法。1. A method for producing a hermetically coated optical fiber, wherein an optical fiber immediately after drawing is passed through a thermal CVD reaction furnace to form a hermetic coating on the surface of the optical fiber.
A method for producing a hermetically coated optical fiber, characterized in that the effect of cooling the optical fiber by the seal gas on the inlet side of the VD reactor is reduced with the passage of time. 【請求項２】線引直後の光ファイバを熱ＣＶＤ反応炉に
通して光ファイバ表面にハーメチック被膜を形成するハ
ーメチックコート光ファイバの製造方法において、熱Ｃ
ＶＤ反応炉を出たハーメチックコート光ファイバのハー
メチック被膜の膜厚を測定し、膜厚が所定の厚さより薄
いときは熱ＣＶＤ反応炉の入口側のシールガスによる光
ファイバの冷却効果を低下させ、厚いときは同シールガ
スによる光ファイバの冷却効果を向上させる制御を行う
ことを特徴とするハーメチックコート光ファイバの製造
方法。2. A method for producing a hermetically coated optical fiber, wherein an optical fiber immediately after drawing is passed through a thermal CVD reaction furnace to form a hermetic coating on the surface of the optical fiber.
The thickness of the hermetic coating of the hermetically coated optical fiber exiting the VD reactor is measured, and when the thickness is smaller than a predetermined thickness, the effect of cooling the optical fiber by the seal gas at the inlet side of the thermal CVD reactor is reduced, A method for producing a hermetically coated optical fiber, characterized in that when the thickness is thick, control is performed to improve the cooling effect of the optical fiber by the same sealing gas. 【請求項３】請求項１または２記載の製造方法であっ
て、シールガスとして、冷却効果の高いシールガスと冷
却効果の低いシールガスの混合ガスを使用し、冷却効果
の高いシールガスと冷却効果の低いシールガスの混合割
合を変えることにより光ファイバの冷却効果を変化させ
ることを特徴とするもの。3. The manufacturing method according to claim 1, wherein a mixed gas of a seal gas having a high cooling effect and a seal gas having a low cooling effect is used as the seal gas, and the seal gas having a high cooling effect and the cooling are used. The feature is that the cooling effect of the optical fiber is changed by changing the mixing ratio of the sealing gas having a low effect. 【請求項４】請求項１または２記載の製造方法であっ
て、シールガスの流量を変えることにより光ファイバの
冷却効果を変化させることを特徴とするもの。4. The manufacturing method according to claim 1, wherein the cooling effect of the optical fiber is changed by changing the flow rate of the seal gas. 【請求項５】請求項１または２記載の製造方法であっ
て、シールガスの温度を変えることにより光ファイバの
冷却効果を変化させることを特徴とするもの。5. The manufacturing method according to claim 1, wherein the cooling effect of the optical fiber is changed by changing the temperature of the seal gas. 【請求項６】請求項１または２記載の製造方法であっ
て、シールガスとして、冷却効果の高いシールガスと
冷却効果の低いシールガスの混合ガスを使用し、冷却効
果の高いシールガスと冷却効果の低いシールガスの混合
割合を変えること、シールガスの流量を変えること、
シールガスの温度を変えること、のいずれか二つ以上
の組み合わせにより光ファイバの冷却効果を変化させる
ことを特徴とするもの。6. The manufacturing method according to claim 1, wherein a mixed gas of a seal gas having a high cooling effect and a seal gas having a low cooling effect is used as the seal gas, and the seal gas having a high cooling effect and the cooling are used. Changing the mixing ratio of the seal gas, which has a low effect, changing the flow rate of the seal gas,
Changing the temperature of the seal gas, and changing the cooling effect of the optical fiber by combining any two or more of them.
JP5292412A 1993-10-29 1993-10-29 Method for manufacturing hermetic coated optical fiber Expired - Fee Related JP2583392B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5292412A JP2583392B2 (en) 1993-10-29 1993-10-29 Method for manufacturing hermetic coated optical fiber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5292412A JP2583392B2 (en) 1993-10-29 1993-10-29 Method for manufacturing hermetic coated optical fiber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07133143A true JPH07133143A (en) 1995-05-23
JP2583392B2 JP2583392B2 (en) 1997-02-19

Family

ID=17781457

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5292412A Expired - Fee Related JP2583392B2 (en) 1993-10-29 1993-10-29 Method for manufacturing hermetic coated optical fiber

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2583392B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2583392B2 (en) 1997-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4863760A (en) High speed chemical vapor deposition process utilizing a reactor having a fiber coating liquid seal and a gas sea;
JP3135198B2 (en) Method of depositing silicon oxynitride film by plasma enhanced CVD
US5965216A (en) Method of producing diamond-like-carbon coatings
EP1590826B1 (en) Plasma reactor including helical electrodes
JP2798486B2 (en) Method and apparatus for producing hermetic coated optical fiber
EP0222960B1 (en) Method and apparatus for the on-line coating of silica based fibers with boron-nitride
JPH04295033A (en) Method and apparatus for making carbon-clad optical fiber
US20040146262A1 (en) Frozen-fluid fiber guide
JP2583392B2 (en) Method for manufacturing hermetic coated optical fiber
JPH0549614B2 (en)
US5348564A (en) Method for manufacturing a hermetically coated optical fiber
US6532773B1 (en) Method of modifying the index profile of an optical fiber preform in the longitudinal direction
JP2682603B2 (en) Inorganic coated optical fiber manufacturing apparatus and manufacturing method
JP2729112B2 (en) Apparatus and method for producing hermetic coated optical fiber
JP3282925B2 (en) Manufacturing method of carbon coated optical fiber
JP2004338972A (en) Method and apparatus for manufacturing optical fiber
JPH02145462A (en) Production of hermetic coat fiber
JP3489630B2 (en) Method and apparatus for producing hermetic coated fiber
JP2697898B2 (en) Method for producing hermetic coated optical fiber
JPH02212340A (en) Device for coating optical fiber with thin film
JPH0549615B2 (en)
JPH06271340A (en) Method and device for producing hermetically coated fiber
JPH04195006A (en) Carbon coated optical fiber
JPH02275736A (en) Production of optical fiber of hermetic coating
JPH03126645A (en) Device for producing carbon coated fiber

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees