JPH07126031A - Method for synthesizing porous preform for optical fiber - Google Patents

Method for synthesizing porous preform for optical fiber

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JPH07126031A
JPH07126031A JP26896293A JP26896293A JPH07126031A JP H07126031 A JPH07126031 A JP H07126031A JP 26896293 A JP26896293 A JP 26896293A JP 26896293 A JP26896293 A JP 26896293A JP H07126031 A JPH07126031 A JP H07126031A
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JP
Japan
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target
burner
glass
optical fiber
air
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Application number
JP26896293A
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Japanese (ja)
Inventor
Sadanori Ishida
禎則 石田
Tetsuya Kumada
哲哉 熊田
Yukio Komura
幸夫 香村
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract

PURPOSE:To synthesize a porous preform for optical fiber capable of synthesizing a porous glass preform having a uniform outside diameter by increasing the amount of glass fine particles sticking to an end of a target. CONSTITUTION:This method for synthesizing a porous preform for optical fiber is to control the profile of glass fine particles ejected from a burner 16 with a rectifying gas when an end of a traversing target 10 reaches the vicinity of the burner 16, narrow the sticking region of the glass fine particles at the end of the target 10 and increase the amount of the glass fine particles sticking to the end of the target 10.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光ファイバに形成に使用
する光ファイバ用多孔質母材の合成方法に関するもので
あり、特に、外付CVD法などの光ファイバ用多孔質母
材(スート体)の合成方法において、光ファイバ用多孔
質母材の端部における合成(付着)量を向上させる光フ
ァイバ用多孔質母材の合成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for synthesizing an optical fiber porous base material used for forming an optical fiber, and more particularly to an optical fiber porous base material (soot body) such as an external CVD method. The method of synthesizing a porous base material for optical fiber, wherein the amount of synthesis (adhesion) at the end of the porous base material for optical fiber is improved.

【0002】[0002]

【従来の技術】コアおよびクラッドからなる光ファイバ
は、光ファイバ用多孔質ガラス母材を線引して製造され
る。このような光ファイバ用多孔質母材を製造する代表
的な方法としては、外付CVD法(OVD法)法と、気
相軸付CVD法(VAD法)とが知られている。また、
VAD法によって光ファイバのコアとなる部分(コア形
成部)およびクラッドとなる部分(クラッド形成部)の
一部を多孔質ガラス母材として製造し、ガラス化後さら
に外付け法によって残りのクラッド部を合成する方法も
知られている。
2. Description of the Related Art An optical fiber having a core and a clad is manufactured by drawing a porous glass preform for an optical fiber. As a typical method for producing such a porous preform for optical fibers, an external CVD method (OVD method) and a vapor axis CVD method (VAD method) are known. Also,
The VAD method is used to manufacture a part of the optical fiber core (core forming part) and a part of the clad (clad forming part) as a porous glass base material, and after vitrification, the remaining clad part is formed by an external attachment method. A method of synthesizing is also known.

【0003】いずれのプロセスにおいても、一般的に、
酸水素バーナを用いて、原料ガス、例えば、SiC
4 、GeC14 の蒸気を酸水素火炎中で加水分解し
て、SiO 2 、GeO2 のガラス微粒子を形成する。図
7に、従来の多孔質ガラス母材の合成方法を図解する。
チャンバ(図示せず)内に、光ファイバのコアとなる部
分のコアロッド(種棒)12とその上にガラス微粒子が
堆積されて形成された光ファイバのクラッドとなる多孔
質ガラス母材(スート)14とでなるターゲット10
が、ターゲット10の軸方向に直交する回転方向Rに回
転させられ、ターゲット10の軸方向に一致するトラバ
ース方向Tにバーナ16に対して相対的に往復移動され
るように配設されている。回転し、トラバースされてい
るターゲット10に対して、バーナ16から、上述した
ガラス微粒子流れ40を吹き付ける。これにより、スー
ト14の上にはガラス微粒子が堆積されていき、所望の
直径になるまで多孔質ガラス母材が合成されていく。タ
ーゲットに付着するガラス微粒子の量や、その付着分布
は、ガラス微粒子流れ40(バーナ火炎)の形状(プロ
ファイル)や、光ファイバ用母材表面の温度など様々な
要因で変化する。
In either process, in general,
Using an oxyhydrogen burner, a source gas such as SiC
1Four, GeC1FourOf the steam of
And SiO 2, GeO2To form fine glass particles. Figure
FIG. 7 illustrates a conventional method for synthesizing a porous glass preform.
Inside the chamber (not shown), the core of the optical fiber
Minute core rod (seed rod) 12 and glass particles on it
Porosity that serves as the cladding for the deposited optical fiber
Target 10 consisting of high quality glass base material (soot) 14
Is rotated in the rotation direction R orthogonal to the axial direction of the target 10.
A traverser that is rotated and matches the axial direction of the target 10.
Is reciprocated relative to the burner 16 in the feed direction T.
It is arranged so that. Spinning and traversing
For the target 10 that is
A stream 40 of fine glass particles is sprayed. This allows Sue
Glass particles are deposited on the top 14
The porous glass base material is synthesized until the diameter is reached. Ta
Amount of glass particles adhering to the target and its adhesion distribution
Is the shape of the particle flow 40 (burner flame) (professional
File) and the temperature of the surface of the optical fiber preform.
It depends on the factor.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、OV
D法においては、種棒(コアロッド)およびその上に合
成された光ファイバ用多孔質母材からなるターゲット1
0が支持軸(図示せず)を中心に回転させられる他、こ
のターゲット10とガラス微粒子を射出するバーナ16
とが相対運動する。つまり、ターゲット10はバーナ1
6に対して水平方向において左右に往復運動する。この
往復運動の折り返し位置、つまり、ターゲット10の端
部、ターゲット右端10Rおよびターゲット左端10L
においては、バーナ16からの火炎(ガラス微粒子)の
中央からはずれるため、ガラス微粒子がターゲットに付
着する量が少なくなる。図7に破線で示したように、タ
ーゲット10の両端部10L,10Rの多孔質ガラス母
材(スート左端142およびスート右端143)の外径
が、スート中央部140の外径に対して細くなり、ター
ゲット10のスート中央部140の外径に対してスート
左端142およびスート右端143にいくに従ってなだ
らかに細くなっていく。
As described above, the OV
In the method D, a target 1 composed of a seed rod (core rod) and a porous preform for optical fiber synthesized thereon
0 is rotated about a support shaft (not shown), and the target 10 and a burner 16 for injecting glass particles are also used.
And move relative to each other. That is, the target 10 is the burner 1
It reciprocates to the left and right in the horizontal direction with respect to 6. The turning position of this reciprocating motion, that is, the end of the target 10, the right end 10R of the target and the left end 10L of the target.
In the above, since the flame (glass particles) from the burner 16 is displaced from the center, the amount of the glass particles attached to the target is reduced. As shown by the broken line in FIG. 7, the outer diameters of the porous glass base materials (the soot left end 142 and the soot right end 143) of both ends 10L and 10R of the target 10 become smaller than the outer diameter of the soot central portion 140. The outer diameter of the soot center portion 140 of the target 10 gradually decreases toward the soot left end 142 and the soot right end 143.

【0005】これらターゲットの端部10L,10Rの
外径が細くなったスート左端142およびスート右端1
43は、ターゲット10の中央部のコアロッド12の直
径に対してのスート14の外径が小さいため、光ファイ
バを製造する製品として用いることはできず、スート左
端142およびスート右端143は無駄となる。したが
って、図7に図解したように、全長Lのターゲット10
を合成しても、製品として有効に使用できる部分は、符
号Lc として示した、スート左端142とスート右端1
43とを除いた部分となる。通常、部分Lcは全長Lの
80%程度であり、Lc の両端部の約20%程度は無駄
になっている。光ファイバの製造価格の低下が要望され
ており、そのためには、上述した無駄はその低価格化の
要望に反する。
The soot left end 142 and the soot right end 1 in which the outer diameters of the ends 10L and 10R of these targets are reduced.
Since the outer diameter of the soot 14 is smaller than the diameter of the core rod 12 at the center of the target 10, 43 cannot be used as a product for manufacturing an optical fiber, and the soot left end 142 and the soot right end 143 are wasted. . Therefore, as illustrated in FIG.
The parts that can be effectively used as a product even if they are combined with each other are indicated by reference symbol Lc, which is the soot left end 142 and the soot right end 1
It is the part excluding 43 and. Usually, the portion Lc is about 80% of the total length L, and about 20% of both ends of Lc is wasted. There is a demand for a reduction in the manufacturing cost of optical fibers, and for that purpose, the waste described above goes against the demand for lower prices.

【0006】したがって、本発明は、特に、光ファイバ
用多孔質母材の端部における合成を向上させることを目
的とする。
Therefore, it is an object of the present invention, in particular, to improve the synthesis at the end of a porous preform for optical fibers.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記問題を解決し、上述
した目的を達成するため、本発明の発明者は、ガラス微
粒子の流れおよびターゲットへの付着状態を解析した。
図1(A)、(B)を参照してその解析結果を述べる。
図1(A)に示したように、チャンバ18内に、コアロ
ッド12とスート14からなるターゲット10を、回転
方向Rに回転させ、水平方向のトラバース(往復運動)
方向Tにトラバースさせた。3重管バーナ16の中心部
にアルゴンガス(Ar)とSiCl4 を導入し、その外部
に水素ガス(H2 )を導入し、さらにその外部に酸素ガ
ス(O2 )を導入して、火炎加水分解を行わせてガラス
微粒子を形成し、バーナ16からからガラス微粒子の流
れ40をターゲット10に吹き付けた。このチャンバ1
8内に、バーナ16とターゲット10の合成位置に向け
て空気を流した。バーナ16から噴出されたガラス微粒
子流れ40はターゲット10に吹き付けられてターゲッ
ト10の表面に付着し、スート14が増大していく。タ
ーゲット10に付着しなかったガス微粒子は空気ととも
に排気口22からスクラバー(図示せず)排気される。
ターゲット10に吹き付けられたガラス微粒子流れ40
は、ターゲット10に衝突してターゲット10の表面に
沿って右側ガラス微粒子流れ42と左側ガラス微粒子流
れ41に分離され、ターゲット10から剥離する。
In order to solve the above problems and achieve the above-mentioned object, the inventor of the present invention analyzed the flow of glass particles and the state of adhesion to the target.
The analysis result will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1A, a target 10 including a core rod 12 and a soot 14 is rotated in a rotation direction R in a chamber 18 to traverse a horizontal direction (reciprocating motion).
Traversed in direction T. Argon gas (Ar) and SiCl 4 were introduced into the central portion of the triple-tube burner 16, hydrogen gas (H 2 ) was introduced outside thereof, and oxygen gas (O 2 ) was introduced further outside thereof to produce a flame. Hydrolysis was performed to form fine glass particles, and a stream 40 of fine glass particles was blown from the burner 16 onto the target 10. This chamber 1
Air was blown into the burner 8 toward the combined position of the burner 16 and the target 10. The glass particle flow 40 ejected from the burner 16 is blown onto the target 10 and adheres to the surface of the target 10, so that the soot 14 increases. The gas particles that have not adhered to the target 10 are exhausted together with air from a scrubber (not shown) through the exhaust port 22.
Glass particle flow 40 sprayed on target 10
Collides with the target 10 and is separated along the surface of the target 10 into a right-side glass particle flow 42 and a left-side glass particle flow 41, and is separated from the target 10.

【0008】ガラス微粒子のターゲット10から剥離す
る位置は、整流ガスとしての空気の量および速度(流
速)によって変化することが判った。そこで、図1
(B)に示したように、空気の量を変化させてみたとこ
ろ、下記の結果を得た。空気の量が多い場合、流量
L 、右側ガラス微粒子流れ42は流れ424のよう
に、バーナ16の中心軸X−X側に押し戻されて、ター
ゲット10に付着した。この場合はターゲット10の付
着領域は狭い。一方、空気の量が少ない場合、流量
S 、右側ガラス微粒子流れ42は流れ422のよう
に、ターゲット10の表面に沿って端部のほうに伸び、
バーナ16の中心軸X−X側に押し戻される割合は少な
く、付着領域は広い。
It has been found that the position where the glass particles are separated from the target 10 changes depending on the amount and velocity (flow velocity) of air as the rectifying gas. Therefore, in FIG.
When the amount of air was changed as shown in (B), the following results were obtained. When the amount of air is large, the flow rate FL and the right-side glass fine particle flow 42 are pushed back toward the central axis XX of the burner 16 and adhere to the target 10 like the flow 424. In this case, the adhesion area of the target 10 is narrow. On the other hand, when the amount of air is small, the flow rate F S and the right side glass fine particle flow 42 extend toward the end along the surface of the target 10 like the flow 422.
The ratio of being pushed back toward the central axis XX of the burner 16 is small, and the adhesion area is wide.

【0009】以上から、ガラス微粒子に向かう空気の流
れ、つまり、流量および流速を制御することによって、
ガラス微粒子のターゲットに対する流れのプロファイル
(流線分布)を制御できることが判った。ガラス微粒子
の流れのプロファイルを制御する整流ガス(整流気体)
は、もちろん、空気には限定されない。特に、本発明
は、ターゲット10の端部のガラス微粒子の付着量の低
下を問題としているので、トラバースしているターゲッ
ト10の端部において、ガラス微粒子の広がりを抑えて
付着領域を狭くし、より多くのガラス微粒子が端部に付
着するようにする。つまり、ターゲットの端部における
ガラス微粒子の付着量を高めるために、ターゲットの端
部におけるガラス微粒子の流れのプロファイル(流線分
布)を制御して、効率よくガラス微粒子がターゲットの
端部に付着するようにする。 これにより、ターゲット
の端部におけるガラス微粒子の付着量が増加した。
From the above, by controlling the flow of air toward the glass particles, that is, the flow rate and the flow velocity,
It was found that the flow profile (streamline distribution) of the glass particles with respect to the target can be controlled. Rectifying gas (rectifying gas) that controls the flow profile of glass particles
Is, of course, not limited to air. In particular, the present invention has a problem of a decrease in the amount of adhered glass fine particles on the end portion of the target 10. Therefore, at the end portion of the traversing target 10, the spread of the glass fine particles is suppressed and the adhered region is narrowed. Make sure that many glass particles adhere to the edges. That is, in order to increase the adhesion amount of the glass particles on the end portion of the target, the flow profile (streamline distribution) of the glass particle on the end portion of the target is controlled to efficiently adhere the glass particles to the end portion of the target. To do so. As a result, the amount of adhered glass particles on the edge of the target increased.

【0010】したがって、本発明によれば、バーナにお
いて多孔質ガラス母材を合成する原料ガスを火炎中で加
水分解してガラス微粒子を形成し、バーナに対し相対的
に往復運動しているターゲットに該ガラス微粒子を吹き
付けて光ファイバ用多孔質母材を合成する方法におい
て、前記ターゲットの軸方向の両端より前記ターゲット
の合成位置に向かって流れる整流気体の量および流速ま
たはいずれか一方を、前記往復運動の折り返し点近傍
で、増減させ、前記ガラス微粒子のプロファイルを制御
することを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の合成方
法が提供される。
Therefore, according to the present invention, the raw material gas for synthesizing the porous glass preform in the burner is hydrolyzed in the flame to form fine glass particles, and the target is reciprocating relative to the burner. In the method of synthesizing a porous preform for optical fibers by spraying the glass fine particles, the reciprocating amount and / or flow rate of the rectifying gas flowing from both ends in the axial direction of the target toward the target synthesis position. Provided is a method for synthesizing a porous preform for an optical fiber, which comprises controlling the profile of the glass fine particles by increasing or decreasing in the vicinity of the turning point of motion.

【0011】好適には、前記往復運動の折り返し点で、
前記ターゲットの端部から流れる整流気体の量および流
速またはいずれか一方を増加させる。
Preferably, at the turning point of the reciprocating motion,
The amount and / or flow rate of the rectifying gas flowing from the end of the target is increased.

【0012】[0012]

【作用】トラバースされるターゲットが、バーナに対し
て端部に位置するか否かは、トラバース機構(回転・往
復運動機構)の動作から判る。したがって、トラバース
機構が反転動作を行う時、上述した整流ガスの流れを制
御する。ターゲットとバーナとは相対的にトラバース状
態にあればよい。したがって、上述したように、ターゲ
ットをトラバースする場合は、ターゲットのトラバース
反転タイミングで整流ガスの流れを制御するし、逆に、
ターゲットが固定しており、バーナがトラバースされる
場合はバーナのトラバース反転タイミングで整流ガスの
流れを制御する。
The function of the traverse mechanism (rotation / reciprocation mechanism) determines whether the traversed target is located at the end of the burner. Therefore, when the traverse mechanism performs the reversing operation, it controls the flow of the rectifying gas described above. It suffices if the target and the burner are in a traverse state relatively. Therefore, as described above, when traversing the target, the flow of the rectified gas is controlled at the target traverse inversion timing, and conversely,
When the target is fixed and the burner is traversed, the flow of the rectified gas is controlled at the traverse reversal timing of the burner.

【0013】整流ガスの流れを制御する方法として、整
流ガスの流量を変化させてもよく、整流ガスの流速を変
化させてもよい。あるいは、これら両者を同時に変化さ
せてもよい。要するに、ターゲットの端部において、所
望のガラス微粒子の流れのプロファイルが得られるよう
に整流ガスの流れを制御する。
As a method of controlling the flow of the rectified gas, the flow rate of the rectified gas may be changed or the flow velocity of the rectified gas may be changed. Alternatively, both of them may be changed at the same time. In short, the flow of the rectifying gas is controlled so that a desired flow profile of the glass particles is obtained at the end portion of the target.

【0014】[0014]

【実施例】本発明の第1実施例を述べる。図2(A)〜
(C)は、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法
を実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第1実
施例の構成図であり、図2(A)はターゲット10のほ
ぼ中央にバーナ16が位置する場合の構成図、図2
(B)はトラバースされてターゲット10のターゲット
右端10Rの近傍ににバーナ16が位置する場合の構成
図、図2(C)はトラバースされてターゲット10のタ
ーゲット左端10Lの近傍ににバーナ16が位置する場
合の構成図である。
EXAMPLE A first example of the present invention will be described. FIG. 2 (A)-
FIG. 2C is a configuration diagram of a first embodiment of an apparatus for synthesizing an optical fiber porous preform for carrying out the method for synthesizing an optical fiber porous preform of the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram when the burner 16 is located substantially in the center of FIG.
FIG. 2B is a configuration diagram in the case where the burner 16 is located near the target right end 10R of the target 10 and FIG. 2C is a traverse and the burner 16 is located near the target left end 10L of the target 10. It is a block diagram when it does.

【0015】ターゲット10は気密状態のチャンバ18
内の内腔20に配設されている。この内腔20内で、タ
ーゲット10は左側チャック24および右側チャック2
6を介して回転軸28、30に支持されており、回転軸
28、30が図示しない回転・往復運動機構によって、
回転方向Rに回転させられ、往復移動されることによ
り、ターゲット10が内腔20内で回転方向Rに回転
し、トラバース方向Tに往復運動させられる。つまり、
バーナ16とターゲット10とはトラバース方向Tに相
対的に運動する。この例では、バーナ16が固定され、
ターゲット10がトラバースされる場合について述べ
る。ターゲット10は、図7に図解したように、コアロ
ッド12とスート14とからなる。
The target 10 is an airtight chamber 18
It is disposed in the inner lumen 20. Within this lumen 20, the target 10 is the left chuck 24 and the right chuck 2
It is supported by the rotary shafts 28 and 30 via 6, and the rotary shafts 28 and 30 are rotated and reciprocated by an unillustrated rotation mechanism.
When the target 10 is rotated in the rotation direction R and reciprocated, the target 10 rotates in the rotation direction R in the inner cavity 20 and reciprocates in the traverse direction T. That is,
The burner 16 and the target 10 move relatively in the traverse direction T. In this example, the burner 16 is fixed,
A case where the target 10 is traversed will be described. The target 10 is composed of a core rod 12 and a soot 14 as illustrated in FIG. 7.

【0016】チャンバ18の側壁にバーナ16が設けら
れ、このバーナ16からガラス微粒子流れ40がターゲ
ット10に向かって噴き出される。バーナ16によるガ
ラス微粒子流れ40の生成は、図1(A)を参照して述
べたものと同じである。チャンバ18と対向する側に排
気口22が配設されており、ターゲット10に付着しな
かったガス微粒子がこの排気口22からスクラバー(図
示せず)に向かって排気される。また、チャンバ18の
端部側壁には、左側フィルタ32および右側フィルタ3
4が設けられ、これらプロファイル32、34にはそれ
ぞれ左側フード44および右側フード46が接続されて
いる。左側フード44内には回動可能な左側ダンパ36
が設けられ、同様に、右側フード46内には回動可能な
右側ダンパ38が設けられている。左側ダンパ36およ
び右側ダンパ38の回動は、回転・往復運動機構の動作
を監視している制御装置100によって、行われる。チ
ャンバ18は負圧状態になっているから、左側フィルタ
32および右側フィルタ34を介して内腔20に外部の
空気が左側フィルタ32および右側フィルタ34でフィ
ルタされて内腔20に入り込む。この例では、ガラス微
粒子の流れのプロファイルを制御する整流ガスとして空
気(大気)を用いた。
A burner 16 is provided on the side wall of the chamber 18, and a glass particle stream 40 is ejected from the burner 16 toward the target 10. The generation of the glass particle stream 40 by the burner 16 is the same as that described with reference to FIG. An exhaust port 22 is provided on the side facing the chamber 18, and gas particles not attached to the target 10 are exhausted from the exhaust port 22 toward a scrubber (not shown). Further, on the side wall of the end portion of the chamber 18, the left filter 32 and the right filter 3 are provided.
4 are provided, and a left hood 44 and a right hood 46 are connected to these profiles 32 and 34, respectively. A rotatable left damper 36 is provided in the left hood 44.
Similarly, a rotatable right damper 38 is provided in the right hood 46. The rotation of the left damper 36 and the right damper 38 is performed by the control device 100 that monitors the operation of the rotating / reciprocating mechanism. Since the chamber 18 is in a negative pressure state, external air is filtered by the left filter 32 and the right filter 34 into the lumen 20 through the left filter 32 and the right filter 34, and enters the lumen 20. In this example, air (atmosphere) was used as the rectifying gas for controlling the flow profile of the glass particles.

【0017】図2(A)に示した状態の動作を述べる。
ターゲット10のほぼ中央部がバーナ16と対向してい
る。この場合、制御装置100は、左側ダンパ36と右
側ダンパ38の開度を同じ中間値に制御する。その結
果、左側フィルタ32から内腔20に導入(吸引)され
る空気の流量F1と、右側フィルタ34から内腔20に
導入される空気の流量F2とは等しい。これらの空気が
ターゲット右端10Rとターゲット左端10Lからター
ゲット10の中央部に流れ、バーナ16から噴き出され
たガラス微粒子流れ40をほぼ左右対称の左側ガラス微
粒子流れ41aと右側ガラス微粒子流れ42aに制御す
る。
The operation in the state shown in FIG. 2A will be described.
The central portion of the target 10 faces the burner 16. In this case, the control device 100 controls the opening degrees of the left damper 36 and the right damper 38 to the same intermediate value. As a result, the flow rate F1 of air introduced (sucked) into the lumen 20 from the left filter 32 and the flow rate F2 of air introduced into the lumen 20 from the right filter 34 are equal. These air flows from the right end 10R of the target and the left end 10L of the target to the center of the target 10, and the glass fine particle flow 40 ejected from the burner 16 is controlled to a substantially left-right glass fine particle flow 41a and a right glass fine particle flow 42a. .

【0018】図2(B)に示した状態の動作を述べる。
制御装置100は、回転・往復運動機構の動作が反転位
置に到達したことを検出し、右側ダンパ38の開度をほ
ぼ全開(ほぼ100%)にして、左側ダンパ36の開度
を小さくする(10〜20%程度)。これにより、右側
フィルタ34から多くの空気が内腔20に導入され、左
側フィルタ32からは少ない空気が内腔20に導入され
る。図1(B)に図解したように、右側の空気の流量F
4が大きいから、ターゲット右端10Rの近傍の右側ガ
ラス微粒子流れ42bはバーナ16側に押し戻される。
その結果、ターゲット右端10Rにおけるガラス微粒子
の付着領域は狭くなるが、より多くのガラス微粒子がタ
ーゲット右端10Rに付着する。したがって、図7に破
線で示したような、ターゲット右端10Rにおけるター
ゲット10の外径の細りがなくなる。つまり、図7にお
いて、実線で示したスート右端増加部分146にもガラ
ス微粒子が付着する。ターゲット右端10Rに多くのガ
ラス微粒子が付着することにより、ターゲット10に付
着されずに排気口22から排気されるガラス微粒子の量
は少なくなり、ガラス微粒子自体の無駄も少なくなる。
一方、左側の空気の流量F3は少ないから、左側ガラス
微粒子流れ41bは、ターゲット10の中央部に向かっ
てターゲット10の表面に長く延びる。ここでは、図2
(A)に示したと同様なガラス微粒子のターゲット10
への付着が行われる。
The operation in the state shown in FIG. 2B will be described.
The control device 100 detects that the operation of the rotating / reciprocating mechanism has reached the reversal position, and makes the opening degree of the right damper 38 almost fully open (about 100%) to reduce the opening degree of the left damper 36 ( 10-20%). As a result, a large amount of air is introduced into the lumen 20 from the right filter 34, and a small amount of air is introduced into the lumen 20 from the left filter 32. As illustrated in FIG. 1B, the flow rate F of the air on the right side
4 is large, the right side glass particle flow 42b near the right end 10R of the target is pushed back to the burner 16 side.
As a result, the adhesion region of the glass particles on the right end 10R of the target becomes narrower, but more glass particles adhere to the right end 10R of the target. Therefore, the thinning of the outer diameter of the target 10 at the right end 10R of the target as shown by the broken line in FIG. 7 is eliminated. That is, in FIG. 7, the glass particles adhere to the soot right end increasing portion 146 indicated by the solid line. Since many glass particles adhere to the right end 10R of the target, the amount of the glass particles exhausted from the exhaust port 22 without adhering to the target 10 decreases, and the glass particles themselves are less wasted.
On the other hand, since the flow rate F3 of the air on the left side is low, the left glass fine particle flow 41b extends to the surface of the target 10 toward the center of the target 10. Here, in FIG.
Target 10 of glass particles similar to that shown in (A)
Is adhered to.

【0019】図2(C)に示した状態の動作を述べる。
図2(C)に示した状態は、ターゲット右端10Rに述
べたと同様のことが、ターゲット左端10Lにおいて行
われる。つまり、制御装置100は、回転・往復運動機
構の動作が反転位置に到達したことを検出し、左側ダン
パ36の開度をほぼ全開(ほぼ100%)にして、右側
ダンパ38の開度を小さくする(10〜20%程度)。
これにより、左側フィルタ32から多くの空気が内腔2
0に導入され、右側フィルタ34からは少ない空気が内
腔20に導入される。左側の空気の流量F5が大きいか
ら、ターゲット左端10Lの近傍の左側ガラス微粒子流
れ41cはバーナ16側に押し戻される。その結果、タ
ーゲット左端10Lにおけるガラス微粒子の付着領域は
狭くなるが、より多くのガラス微粒子がターゲット左端
10Lに付着する。したがって、図7に破線で示したよ
うな、ターゲット左端10Lにおけるターゲット10の
外径の細りがなくなる。つまり、図7に実線で示したス
ート左端増加部分145にもガラス微粒子が付着する。
ターゲット左端10Lに多くのガラス微粒子が付着する
ことにより、ターゲット10に付着されずに排気口22
から排気されるガラス微粒子の量は少なくなり、ガラス
微粒子自体の無駄も少なくなる。一方、右側の空気の流
量F6は少ないから、右側ガラス微粒子流れ42cは、
ターゲット10の中央部に向かってターゲット10の表
面に長く延びる。ここでは、図2(A)に示したと同様
なガラス微粒子のターゲット10への付着が行われる。
The operation in the state shown in FIG. 2C will be described.
In the state shown in FIG. 2C, the same thing as described for the right end 10R of the target is performed at the left end 10L of the target. That is, the control device 100 detects that the operation of the rotating / reciprocating mechanism has reached the reversal position, opens the opening of the left damper 36 almost fully (about 100%), and reduces the opening of the right damper 38. (About 10 to 20%).
As a result, a large amount of air is drawn from the left filter 32 into the lumen 2
0, and less air is introduced from the right filter 34 into the lumen 20. Since the flow rate F5 of the air on the left side is large, the left glass fine particle flow 41c near the left end 10L of the target is pushed back to the burner 16 side. As a result, the adhesion region of the glass particles on the left end 10L of the target becomes narrower, but more glass particles adhere to the left end 10L of the target. Therefore, the thinning of the outer diameter of the target 10 at the left end 10L of the target as shown by the broken line in FIG. 7 is eliminated. That is, the glass particles also adhere to the soot left end increasing portion 145 shown by the solid line in FIG. 7.
Since many glass particles adhere to the left end 10L of the target, the exhaust port 22 does not adhere to the target 10 and is not adhered.
The amount of glass particles discharged from the chamber is reduced, and the glass particles themselves are less wasted. On the other hand, since the flow rate F6 of the air on the right side is small, the right glass particle flow 42c is
The surface of the target 10 extends toward the center of the target 10. Here, the same glass fine particles as shown in FIG. 2A are attached to the target 10.

【0020】実験例1 ターゲット10を、約300RPMの回転数で回転さ
せ、500mm/minの速度で左右にトラバースさせ
た。コアロッド12の外径は20mm、長さ1mであっ
た。コアロッド12の外周にガラス(SiO2 )微粒子
を外径150mm程度まで付着させた。バーナ2には、
酸素=30SLM、水素=80SLM、アルゴン=20
SLM、SiC14 ガス=10SLMを導入した。ター
ゲット10およびバーナ16は気密を保ったチャンバ1
8内に設置されており、チャンバ18にはターゲット1
0の軸方向から外気(空気)をフィルタ32、34を介
して取り入れている。図2(A)に示したように、ター
ゲット10の中央部を合成している場合は、左右対称な
風量、たとえば、本実験では、各々3m3 /minを吸
引している。図2(B)に示したように、ターゲット1
0が左端へ移動した場合、左側フィルタ32の右側ダン
パ36の開度を小さくし、逆に、右側フィルタ34の右
側ダンパ38を全開まで開いた。これにより、右側か
ら、バーナ16から噴射されたガラス微粒子がターゲッ
ト10に吹き付けられ多孔質ガラス母材を合成する合成
位置に向かって流れる気流の風量、F4を増加させた。
このアンバランスによって、バーナ16で発生したガラ
ス微粒子の左右への広がりが、ターゲット右端10R側
で短くなり、その結果、ターゲット右端10Rのテーパ
ー部長さが短くなる。図2(C)に示した逆方向の場合
は、まったく逆の操作を行った。以上の操作によって、
製品として使用できる多孔質ガラス母材の有効部分、図
7における部分LE が全体の95%に向上した。
Experimental Example 1 The target 10 was rotated at a rotational speed of about 300 RPM and traversed left and right at a speed of 500 mm / min. The outer diameter of the core rod 12 was 20 mm and the length was 1 m. Glass (SiO 2 ) particles were attached to the outer periphery of the core rod 12 to an outer diameter of about 150 mm. Burner 2
Oxygen = 30 SLM, Hydrogen = 80 SLM, Argon = 20
SLM and SiC1 4 gas = 10 SLM were introduced. Target 10 and burner 16 are airtight chamber 1
The target 1 is installed in the chamber 18.
Outside air (air) is taken in through the filters 32 and 34 from the axial direction of 0. As shown in FIG. 2 (A), when the central portion of the target 10 is combined, a bilaterally symmetric air volume, for example, 3 m 3 / min is sucked in each of the experiments. As shown in FIG. 2B, the target 1
When 0 moves to the left end, the opening degree of the right side damper 36 of the left side filter 32 is reduced, and conversely, the right side damper 38 of the right side filter 34 is fully opened. As a result, from the right side, the fine glass particles ejected from the burner 16 were blown on the target 10 to increase the air flow rate F4 toward the synthesis position where the porous glass preform is synthesized, F4.
Due to this imbalance, the spread of the glass fine particles generated in the burner 16 to the left and right is shortened on the target right end 10R side, and as a result, the taper length of the target right end 10R is shortened. In the case of the reverse direction shown in FIG. 2 (C), the operation was completely reversed. By the above operation,
The effective portion of the porous glass preform that can be used as a product, that is, the portion L E in FIG. 7 is improved to 95% of the whole.

【0021】本発明の第2実施例を述べる。図3(A)
〜(C)は、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方
法を実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第2
実施例の構成図であり、図3(A)はターゲット10の
ほぼ中央にバーナ16が位置する場合の構成図、図3
(B)はトラバースされてターゲット10のターゲット
右端10Rの近傍にバーナ16が位置する場合の構成
図、図3(C)はトラバースされてターゲット10のタ
ーゲット左端10Lの近傍にバーナ16が位置する場合
の構成図である。第3実施例は、チャンバ18の内腔2
0内に導入する空気の量を制御するため、図2(A)〜
(C)に図解した左側ダンパ36および右側ダンパ38
に代えて、左側ブロア50および右側ブロア52を設け
た例を示す。左側ブロア50および右側ブロア52はそ
れぞれ、制御装置100によって、その回転数が制御さ
れる。
A second embodiment of the present invention will be described. Figure 3 (A)
~ (C) is a second of the apparatus for synthesizing the porous preform for optical fiber for carrying out the method for synthesizing the porous preform for optical fiber of the present invention.
FIG. 3A is a configuration diagram of the embodiment, and FIG. 3A is a configuration diagram when the burner 16 is located substantially in the center of the target 10.
FIG. 3B is a configuration diagram when the burner 16 is located near the target right end 10R of the target 10, and FIG. 3C is a case where the burner 16 is located near the target left end 10L of the target 10 in FIG. It is a block diagram of. In the third embodiment, the lumen 2 of the chamber 18 is used.
2 (A) to control the amount of air introduced into 0.
The left side damper 36 and the right side damper 38 illustrated in FIG.
Instead of this, an example in which a left blower 50 and a right blower 52 are provided is shown. The rotational speeds of the left blower 50 and the right blower 52 are controlled by the control device 100, respectively.

【0022】図3(A)に示した状態の動作を述べる。
ターゲット10のほぼ中央部がバーナ16と対向してい
る。この場合、制御装置100は、左側ブロア50およ
び右側ブロア52の回転数を同じ、最高回転数のほぼ5
0%に設定する。その結果、左側フィルタ32から内腔
20に導入(吸引)される空気の流量F1と、右側フィ
ルタ34から内腔20に導入される空気の流量F2とは
等しい。これらの空気がターゲット右端10Rとターゲ
ット左端10Lからターゲット10の中央部に流れ、バ
ーナ16から噴き出されたガラス微粒子流れ40をほぼ
左右対称の左側ガラス微粒子流れ41aと右側ガラス微
粒子流れ42aに制御する。
The operation in the state shown in FIG. 3A will be described.
The central portion of the target 10 faces the burner 16. In this case, the control device 100 makes the left blower 50 and the right blower 52 have the same rotation speed, that is, the maximum rotation speed of about 5 times.
Set to 0%. As a result, the flow rate F1 of air introduced (sucked) into the lumen 20 from the left filter 32 and the flow rate F2 of air introduced into the lumen 20 from the right filter 34 are equal. These air flows from the right end 10R of the target and the left end 10L of the target to the center of the target 10, and the glass fine particle flow 40 ejected from the burner 16 is controlled to a substantially left-right glass fine particle flow 41a and a right glass fine particle flow 42a. .

【0023】図3(B)に示した状態の動作を述べる。
制御装置100は、回転・往復運動機構の動作が反転位
置に到達したことを検出し、右側ブロア52の回転数を
ほぼ100%に設定し、左側ブロア50の回転数を低く
する(10〜20%程度)。これにより、右側フィルタ
34から多くの空気が内腔20に導入され、左側フィル
タ32からは少ない空気が内腔20に導入される。右側
の空気の流量F4が大きいから、ターゲット右端10R
の近傍の右側ガラス微粒子流れ42bはバーナ16側に
押し戻される。その結果、ターゲット右端10Rにおけ
るガラス微粒子の付着領域は狭くなるが、より多くのガ
ラス微粒子がターゲット右端10Rに付着する。したが
って、図7に破線で示したような、ターゲット右端10
Rにおけるターゲット10の外径の細りがなくなり、実
線で示したスート右端増加部分146にもガラス微粒子
が付着する。ターゲット右端10Rに多くのガラス微粒
子が付着することにより、ターゲット10に付着されず
に排気口22から排気されるガラス微粒子の量は少なく
なり、ガラス微粒子自体の無駄も少なくなる。一方、左
側の空気の流量F3は少ないから、左側ガラス微粒子流
れ41bは、ターゲット10の中央部に向かってターゲ
ット10の表面に長く延びる。ここでは、図2(A)に
示したと同様なガラス微粒子のターゲット10への付着
が行われる。
The operation in the state shown in FIG. 3B will be described.
The control device 100 detects that the operation of the rotation / reciprocating mechanism has reached the reversal position, sets the rotation speed of the right blower 52 to almost 100%, and lowers the rotation speed of the left blower 50 (10 to 20). %degree). As a result, a large amount of air is introduced into the lumen 20 from the right filter 34, and a small amount of air is introduced into the lumen 20 from the left filter 32. Since the flow rate F4 of the air on the right side is large, the target right end 10R
The right-hand side glass particle flow 42b in the vicinity of is pushed back to the burner 16 side. As a result, the adhesion region of the glass particles on the right end 10R of the target becomes narrower, but more glass particles adhere to the right end 10R of the target. Therefore, as shown by the broken line in FIG.
The outer diameter of the target 10 in R disappears, and the glass particles adhere to the soot right end increasing portion 146 indicated by the solid line. Since many glass particles adhere to the right end 10R of the target, the amount of the glass particles exhausted from the exhaust port 22 without being adhered to the target 10 is reduced, and the waste of the glass particles themselves is reduced. On the other hand, since the flow rate F3 of the air on the left side is low, the left glass fine particle flow 41b extends to the surface of the target 10 toward the center of the target 10. Here, the same glass fine particles as shown in FIG. 2A are attached to the target 10.

【0024】図3(C)に示した状態の動作を述べる。
制御装置100は、回転・往復運動機構の動作が反転位
置に到達したことを検出し、左側ブロア50の回転数を
ほぼ100%にして、右側ブロア52の回転数を低くす
る(10〜20%程度)。これにより、左側フィルタ3
2から多くの空気が内腔20に導入され、右側フィルタ
34からは少ない空気が内腔20に導入される。左側の
空気の流量F5が大きいから、ターゲット左端10Lの
近傍の左側ガラス微粒子流れ41cはバーナ16側に押
し戻される。その結果、ターゲット左端10Lにおける
ガラス微粒子の付着領域は狭くなるが、より多くのガラ
ス微粒子がターゲット左端10Lに付着する。したがっ
て、図7に破線で示したような、ターゲット左端10L
におけるターゲット10の外径の細りがなくなる。ター
ゲット左端10Lに多くのガラス微粒子が付着すること
により、ターゲット10に付着されずに排気口22から
排気されるガラス微粒子の量は少なくなり、ガラス微粒
子自体の無駄も少なくなる。一方、右側の空気の流量F
6は少ないから、右側ガラス微粒子流れ42cは、ター
ゲット10の中央部に向かってターゲット10の表面に
長く延びる。ここでは、図2(A)に示したと同様なガ
ラス微粒子のターゲット10への付着が行われる。この
第2実施例によっても、第1実施例と同様の、ターゲッ
ト右端10Rおよびターゲット左端10Lにおけるガラ
ス微粒子の付着が行われた。
The operation in the state shown in FIG. 3C will be described.
The control device 100 detects that the operation of the rotation / reciprocating mechanism has reached the reversal position, sets the rotation speed of the left blower 50 to almost 100%, and lowers the rotation speed of the right blower 52 (10 to 20%). degree). This allows the left filter 3
More air is introduced into the lumen 20 from 2 and less air is introduced into the lumen 20 from the right filter 34. Since the flow rate F5 of the air on the left side is large, the left glass fine particle flow 41c near the left end 10L of the target is pushed back to the burner 16 side. As a result, the adhesion region of the glass particles on the left end 10L of the target becomes narrower, but more glass particles adhere to the left end 10L of the target. Therefore, as shown by the broken line in FIG.
The outer diameter of the target 10 in FIG. Since many glass particles adhere to the left end 10L of the target, the amount of glass particles exhausted from the exhaust port 22 without adhering to the target 10 decreases, and the glass particles themselves are less wasted. On the other hand, the flow rate F of the air on the right side
Since there are few 6, the right side glass particle flow 42c extends to the surface of the target 10 toward the center of the target 10. Here, the same glass fine particles as shown in FIG. 2A are attached to the target 10. Also in this second embodiment, the glass particles are attached to the right end 10R of the target and the left end 10L of the target in the same manner as in the first embodiment.

【0025】本発明の第3実施例を述べる。第3実施例
は、上記第1および第2実施例における空気の量を制御
してガラス微粒子の流れのプロファイルを制御すること
に代えて、空気の流速を制御してガラス微粒子のプロフ
ァイルを変化させる。図4(A)〜(C)は、本発明の
光ファイバ用多孔質母材の合成方法を実施する光ファイ
バ用多孔質母材の合成装置の第3実施例の構成図であ
り、図4(A)はターゲット10のほぼ中央にバーナ1
6が位置する場合の構成図、図4(B)はトラバースさ
れてターゲット10のターゲット右端10Rの近傍にバ
ーナ16が位置する場合の構成図、図4(C)はトラバ
ースされてターゲット10のターゲット左端10Lの近
傍にバーナ16が位置する場合の構成図である。
A third embodiment of the present invention will be described. In the third embodiment, instead of controlling the amount of air in the first and second embodiments to control the flow profile of glass fine particles, the flow velocity of air is controlled to change the profile of glass fine particles. . 4A to 4C are configuration diagrams of a third embodiment of the apparatus for synthesizing an optical fiber porous preform for carrying out the method for synthesizing an optical fiber porous preform of the present invention, and FIG. (A) is a burner 1 in the approximate center of the target 10.
6 is a configuration diagram when the burner 16 is located, FIG. 4B is a configuration diagram when the burner 16 is located near the target right end 10R of the target 10, and FIG. 4C is a traversed target of the target 10. It is a block diagram when the burner 16 is located near the left end 10L.

【0026】第3実施例は、ターゲット右端10Rおよ
びターゲット左端10Lにおける空気の流速を変化させ
るため、図5にその正面図を示した左側絞り機構54お
よび右側絞り機構56を、チャンバ18の内部側壁のバ
ーナ16の近傍に設けた。左側フード44および右側フ
ード46には、左側ブロア50および右側ブロア52が
設けられているが、第3実施例では、左側ブロア50お
よび右側ブロア52の回転数は制御せず、左側ブロア5
0および右側ブロア52の回転数は一定である。図5に
おいて、左側絞り機構54は、環状支持枠540に収容
される開閉自在の絞り542が設けられており、これら
開閉自在の絞り542の絞りを制御装置100が制御す
る。その結果、左側フィルタ32から内腔20、およ
び、右側フィルタ34から内腔20に導入される空気の
量は一定であっても、内腔20に導入された空気が左側
絞り機構54および右側絞り機構56を通過してバーナ
16側に向かうとき、その流速が変化する。流速の変化
もまた、ガラス微粒子の流れのプロファイルを変化させ
る。
In the third embodiment, in order to change the flow velocity of air at the target right end 10R and the target left end 10L, the left throttle mechanism 54 and the right throttle mechanism 56, the front views of which are shown in FIG. Was provided in the vicinity of the burner 16. The left hood 44 and the right hood 46 are provided with a left blower 50 and a right blower 52, but in the third embodiment, the rotational speeds of the left blower 50 and the right blower 52 are not controlled, and the left blower 5 is not controlled.
The rotation speeds of 0 and the right blower 52 are constant. In FIG. 5, the left diaphragm mechanism 54 is provided with an openable / closable diaphragm 542 housed in an annular support frame 540, and the controller 100 controls the diaphragm of the openable / closable diaphragm 542. As a result, even if the amount of air introduced from the left filter 32 into the lumen 20 and the amount of air introduced from the right filter 34 into the lumen 20 is constant, the air introduced into the lumen 20 is left in the left throttle mechanism 54 and the right throttle. When passing through the mechanism 56 toward the burner 16 side, the flow velocity thereof changes. Changes in the flow velocity also change the flow profile of the glass particles.

【0027】図4(A)に示した状態の動作を述べる。
ターゲット10のほぼ中央部がバーナ16と対向してい
る。この場合、制御装置100は、左側絞り機構54お
よび右側絞り機構56の絞りを、図5に示したように、
開度dm 、たとえば、50%に設定する。その結果、左
側フィルタ32から内腔20に導入(吸引)され、左側
絞り機構54を通ってターゲット10の中央、つまり、
バーナ16に向かう空気の流速F11と、右側フィルタ
34から内腔20に導入され、右側絞り機構56を通っ
てバーナ16に向かう空気の流速F12とは等しい。こ
れらの流速の空気がターゲット右端10Rとターゲット
左端10Lからターゲット10の中央部に流れ、バーナ
16から噴き出されたガラス微粒子流れ40をほぼ左右
対称の左側ガラス微粒子流れ41aと右側ガラス微粒子
流れ42aに制御する。
The operation in the state shown in FIG. 4A will be described.
The central portion of the target 10 faces the burner 16. In this case, the control device 100 controls the diaphragms of the left diaphragm mechanism 54 and the right diaphragm mechanism 56 as shown in FIG.
The opening d m is set to, for example, 50%. As a result, the filter is introduced (sucked) from the left filter 32 into the lumen 20, passes through the left diaphragm mechanism 54, that is, the center of the target 10, that is,
The flow velocity F11 of air toward the burner 16 is equal to the flow velocity F12 of air introduced from the right filter 34 into the lumen 20 and passing through the right throttle mechanism 56 toward the burner 16. Air having these flow velocities flows from the right end 10R of the target and the left end 10L of the target to the center of the target 10, and the glass fine particle flow 40 ejected from the burner 16 is divided into a left-right glass fine particle flow 41a and a right-side glass fine particle flow 42a which are substantially symmetrical. Control.

【0028】図4(B)に示した状態の動作を述べる。
制御装置100は、回転・往復運動機構の動作が反転位
置に到達したことを検出し、図6(A)に示したよう
に、右側絞り機構56の絞りを小さい開度dn 、たとえ
ば、10〜20%程度に絞り、図6(B)に示したよう
に、左側絞り機構54の絞りを大きい開度dn 、たとえ
ば、80〜90%程度に絞る。この開度はターゲット1
0と左側絞り機構54の絞りとが衝突しない値でもあ
る。これにより、ターゲット10のターゲット右端10
Rと右側絞り機構56の絞りとの間隙は狭くなり、右側
絞り機構56からターゲット右端10Rに向かう空気の
流速F14は高くなる。一方、左側絞り機構54とター
ゲット10との間隙は大きくなり、この間隙を通る空気
の流速F13は流速F14よりも低くなる。その結果、
右側の空気の流速F14が高いから、ターゲット右端1
0Rの近傍の右側ガラス微粒子流れ42bはバーナ16
側に押し戻され、ターゲット右端10Rにおけるガラス
微粒子の付着領域は狭くなるが、より多くのガラス微粒
子がターゲット右端10Rに付着する。したがって、図
7に破線で示したような、ターゲット右端10Rにおけ
るターゲット10の外径の細りがなくなり、スート右端
増加部分146におけるガラス微粒子の付着がみられ
る。ターゲット右端10Rに多くのガラス微粒子が付着
することにより、ターゲット10に付着されずに排気口
22から排気されるガラス微粒子の量は少なくなり、ガ
ラス微粒子自体の無駄も少なくなる。一方、左側の空気
の流速F13は低いから、左側ガラス微粒子流れ41b
は、ターゲット10の中央部に向かってターゲット10
の表面に長く延びる。ここでは、図2(A)に示したと
同様なガラス微粒子のターゲット10への付着が行われ
る。
The operation in the state shown in FIG. 4B will be described.
Controller 100 detects that the operation of the rotating-reciprocating mechanism reaches the inverted position, as shown in FIG. 6 (A), a small opening d n the aperture of the right diaphragm mechanism 56, for example, 10 6 to 20%, and as shown in FIG. 6B, the left diaphragm mechanism 54 is throttled to a large opening d n , for example, 80 to 90%. This opening is target 1
It is also a value at which 0 does not collide with the diaphragm of the left diaphragm mechanism 54. Thereby, the target right end 10 of the target 10
The gap between R and the throttle of the right throttle mechanism 56 becomes narrower, and the flow velocity F14 of air from the right throttle mechanism 56 toward the target right end 10R becomes higher. On the other hand, the gap between the left throttle mechanism 54 and the target 10 becomes large, and the flow velocity F13 of the air passing through this gap becomes lower than the flow velocity F14. as a result,
Since the air flow velocity F14 on the right side is high, the target right end 1
The right side glass particle flow 42b near 0R is the burner 16
The glass fine particles are pushed back to the side and the adhesion region of the glass particles on the right end 10R of the target becomes narrower, but more glass particles adhere to the right end 10R of the target. Therefore, the thinning of the outer diameter of the target 10 at the right end 10R of the target as shown by the broken line in FIG. 7 disappears, and the adhesion of glass fine particles at the soot right end increasing portion 146 is seen. Since many glass particles adhere to the right end 10R of the target, the amount of the glass particles exhausted from the exhaust port 22 without being adhered to the target 10 is reduced, and the waste of the glass particles themselves is reduced. On the other hand, since the flow velocity F13 of the left air is low, the left glass particle flow 41b
Is the target 10 toward the center of the target 10.
Extends long on the surface of. Here, the same glass fine particles as shown in FIG. 2A are attached to the target 10.

【0029】図4(C)に示した状態の動作を述べる。
この場合は、図4(B)を参照して述べたと逆の動作が
行われる。その結果、図7にスート左端増加部分145
として示したターゲット左端10Lにおけるガラス微粒
子のターゲット10への付着量が増加する。第3実施例
においても、第1および第2実施例と同様の、ターゲッ
ト右端10Rおよびターゲット左端10Lにおけるガラ
ス微粒子の付着が行われた。
The operation in the state shown in FIG. 4C will be described.
In this case, the operation reverse to that described with reference to FIG. As a result, as shown in FIG.
The adhered amount of the glass particles on the target 10 at the left end 10L of the target increases. Also in the third example, the glass particles were adhered to the right end 10R of the target and the left end 10L of the target, similar to the first and second examples.

【0030】本発明の第4実施例を述べる。ターゲット
10は多孔質ガラス母材の成長とともに、その外径が増
加していく。図4(A)に示した左側絞り機構54およ
び右側絞り機構56とターゲット10との間隙、およ
び、図4(B)に示した左側絞り機構54とターゲット
10との間隙は、ターゲット10の合成段階に依存して
変化する。左側絞り機構54とターゲット10、または
右側絞り機構56とターゲット10との間隙を一定に保
持して、ガラス微粒子の流れのプロファイルを一定に保
持するには、制御装置100がターゲット10の直径を
監視して、その時のターゲット10の直径との関係にお
いて、左側絞り機構54または右側絞り機構56とター
ゲット10との間隙が一定になるように、左側絞り機構
54および右側絞り機構56の絞りを制御することが望
ましい。したがって、本実施例においては、レーザ直径
測定装置などを用いて、ターゲット10の直径を測定
し、その測定結果をもとにして、制御装置100は上述
した絞りの開度制御を行う際、ターゲット10と絞りの
間隙が一定になるように左側絞り機構54および右側絞
り機構56を制御する。これにより、ターゲット10へ
のガラス微粒子を一層高く付着させることができた。
A fourth embodiment of the present invention will be described. The outer diameter of the target 10 increases as the porous glass base material grows. The gap between the left diaphragm mechanism 54 and the right diaphragm mechanism 56 and the target 10 shown in FIG. 4A and the gap between the left diaphragm mechanism 54 and the target 10 shown in FIG. It changes depending on the stage. In order to keep the gap between the left-hand throttle mechanism 54 and the target 10 or the right-hand throttle mechanism 56 and the target 10 constant so as to keep the flow profile of the glass particles constant, the controller 100 monitors the diameter of the target 10. Then, in relation to the diameter of the target 10 at that time, the diaphragms of the left diaphragm mechanism 54 and the right diaphragm mechanism 56 are controlled so that the gap between the left diaphragm mechanism 54 or the right diaphragm mechanism 56 and the target 10 becomes constant. Is desirable. Therefore, in the present embodiment, the diameter of the target 10 is measured using a laser diameter measuring device or the like, and based on the measurement result, the control device 100 executes the above-mentioned aperture opening control of the target. The left diaphragm mechanism 54 and the right diaphragm mechanism 56 are controlled so that the gap between 10 and the diaphragm becomes constant. As a result, the glass particles could be attached to the target 10 in a higher degree.

【0031】本発明の第5実施例を述べる。本実施例
は、第3実施例、および、第4実施例の改良である。第
3実施例および第4実施例においては、第2実施例で回
転数制御した、左側ブロア50および右側ブロア52の
回転数を固定した状態で、内腔20に導入される空気の
流速のみ変化させた。第5実施例は、第3実施例および
第4実施例の操作に加えて、第2実施例において述べた
ように、制御装置100を介して左側ブロア50および
右側ブロア52の回転数もを同時に制御する。これによ
り、内腔20を介してターゲット10、ターゲット右端
10Rおよびターゲット左端10Lに導入される空気の
流量と流速とを同時に制御でき、一層好ましいガラス微
粒子のプロファイルの制御が可能になり、さらにガラス
微粒子の付着量を増加させることができる。
A fifth embodiment of the present invention will be described. This embodiment is an improvement of the third and fourth embodiments. In the third embodiment and the fourth embodiment, only the flow velocity of the air introduced into the lumen 20 is changed in a state where the rotation speeds of the left blower 50 and the right blower 52 which are controlled in the second embodiment are fixed. Let In the fifth embodiment, in addition to the operations of the third and fourth embodiments, as described in the second embodiment, the rotation speeds of the left blower 50 and the right blower 52 are simultaneously changed via the control device 100. Control. Thereby, the flow rate and the flow velocity of the air introduced into the target 10, the target right end 10R, and the target left end 10L via the lumen 20 can be controlled at the same time, and more preferable glass fine particle profile control becomes possible. Can be increased.

【0032】本発明の実施に際しては、上述した実施例
および数値れい限定されず、種々の変形態様をとること
ができる。たとえば、第5実施例として、左側ブロア5
0および右側ブロア52の回転数の制御を述べたが、第
1実施例のように、左側ブロア50および右側ブロア5
2に代えて、左側ダンパ36および右側ダンパ38を用
いて空気の流量を制御してもよい。
In carrying out the present invention, the above-described embodiments and numerical values are not limited, and various modifications can be made. For example, as a fifth embodiment, the left blower 5
Although the control of the rotational speeds of 0 and the right blower 52 has been described, as in the first embodiment, the left blower 50 and the right blower 5 are
Instead of 2, the left damper 36 and the right damper 38 may be used to control the flow rate of air.

【0033】また、上記実施例においては、内腔20内
に導入する整流ガスとして空気(外気)を用いた場合に
ついて述べたが、空気に限らず、H2 、メタンガスなど
の可燃性ガスを用いることもできる。特に、可燃性ガス
を整流ガスとして用いると、ターゲット10の表面の温
度が高くなり、多孔質ガラス母材の密度が向上するとい
う利点がある。特に、端部の多孔質ガラス母材の密度が
高くなることは、多孔質ガラス母材の品質を高める上で
好ましい。
In the above embodiment, the case where air (outside air) is used as the rectifying gas to be introduced into the inner cavity 20 has been described, but not limited to air, flammable gas such as H 2 and methane gas is used. You can also In particular, when a combustible gas is used as the rectifying gas, there is an advantage that the temperature of the surface of the target 10 becomes high and the density of the porous glass base material is improved. In particular, it is preferable to increase the density of the porous glass base material at the end portion in order to improve the quality of the porous glass base material.

【0034】ターゲット10とバーナ16とは相対的に
往復運動していればよく、上述した実施例とは逆に、タ
ーゲット10を固定させて、バーナ16をトラバースし
てもよい。
It suffices that the target 10 and the burner 16 reciprocate relative to each other, and the target 10 may be fixed and the burner 16 may be traversed, contrary to the above-described embodiment.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、整
流ガスを用いてターゲット端部のガラス微粒子のプロフ
ァイルを制御することにより、ターゲットの端部におけ
るガラス微粒子の付着量をターゲットの中央部と同等に
することができ、製造された多孔質ガラス母材の有効利
用可能な部分を増加させることができる。その結果とし
て、多孔質ガラス母材を実質的に低価格にすることがで
き、ひいては、光ファイバの製造価格を安価にすること
ができる。さらに本発明によれば、ターゲットの端部に
おける排気されるガラス微粒子の無駄がなくなる。その
上、排気されたガラス微粒子のスクラバーにおける処理
が少なくなる。これらも全体として、光ファイバの製造
価格の低下に寄与する。
As described above, according to the present invention, by controlling the profile of the glass fine particles at the end portion of the target by using the rectifying gas, the amount of the glass fine particles attached at the end portion of the target can be adjusted to the center of the target. It is possible to increase the effective use portion of the manufactured porous glass preform by increasing the number of parts that can be used. As a result, the cost of the porous glass preform can be substantially reduced, and the manufacturing cost of the optical fiber can be reduced. Further, according to the present invention, waste of the glass particles exhausted at the end of the target is eliminated. Moreover, less processing of the evacuated glass particles in the scrubber is required. These also contribute to the reduction of the manufacturing cost of the optical fiber as a whole.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法の
原理を説明する図であり、(A)は断面図、(B)は図
1(A)における吸引空気によって変化するガラス微粒
子の流れを示す図である。
1A and 1B are views for explaining the principle of a method for synthesizing an optical fiber porous preform according to the present invention, in which FIG. 1A is a cross-sectional view and FIG. 1B is glass fine particles that are changed by suctioned air in FIG. 1A. It is a figure which shows the flow of.

【図2】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第1実施
例の構成図であり、(A)はターゲットの中央がバーナ
位置に位置しているときの状態を示す図であり、(B)
はターゲットの右端がバーナ位置に位置しているときの
状態を示す図であり、(C)はターゲットの左端がバー
ナ位置に位置しているときの状態を示す図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of a first embodiment of an apparatus for synthesizing an optical fiber porous preform for carrying out a method for synthesizing an optical fiber porous preform of the present invention, in which (A) is a burner at the center of the target. It is a figure which shows the state when it is located in a position, (B)
FIG. 6 is a diagram showing a state when the right end of the target is located at the burner position, and (C) is a diagram showing a state when the left end of the target is located at the burner position.

【図3】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第2実施
例の構成図であり、(A)はターゲットの中央がバーナ
位置に位置しているときの状態を示す図であり、(B)
はターゲットの右端がバーナ位置に位置しているときの
状態を示す図であり、(C)はターゲットの左端がバー
ナ位置に位置しているときの状態を示す図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a second embodiment of an apparatus for synthesizing a porous base material for an optical fiber for carrying out the method for synthesizing a porous base material for an optical fiber of the present invention, in which FIG. It is a figure which shows the state when it is located in a position, (B)
FIG. 6 is a diagram showing a state when the right end of the target is located at the burner position, and (C) is a diagram showing a state when the left end of the target is located at the burner position.

【図4】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法を
実施する光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第3実施
例の構成図であり、(A)はターゲットの中央がバーナ
位置に位置しているときの状態を示す図であり、(B)
はターゲットの右端がバーナ位置に位置しているときの
状態を示す図であり、(C)はターゲットの左端がバー
ナ位置に位置しているときの状態を示す図である。
FIG. 4 is a configuration diagram of a third embodiment of an apparatus for synthesizing a porous base material for an optical fiber for carrying out a method for synthesizing a porous base material for an optical fiber of the present invention, in which FIG. It is a figure which shows the state when it is located in a position, (B)
FIG. 6 is a diagram showing a state when the right end of the target is located at the burner position, and (C) is a diagram showing a state when the left end of the target is located at the burner position.

【図5】図4に示した光ファイバ用多孔質母材の合成装
置に用いられる風量調節機構の正面図である。
5 is a front view of an air flow rate adjusting mechanism used in the synthesizer of the optical fiber porous preform shown in FIG. 4. FIG.

【図6】図5に示した風量調節機構の図4(B)におけ
る絞り状態を示す図であり、(A)は第2の風量調節機
構の絞り状態を示す図であり、(B)は第1の風量調節
機構の絞り状態を示す図である。
6A and 6B are diagrams showing a throttled state in FIG. 4B of the air volume adjusting mechanism shown in FIG. 5, FIG. 6A is a diagram showing a throttled state of a second air volume adjusting mechanism, and FIG. It is a figure which shows the diaphragm state of a 1st air volume adjustment mechanism.

【図7】多孔質ガラス母材の合成の原理を示し、従来の
問題および本発明の結果を図解する図である。
FIG. 7 is a diagram showing the principle of synthesizing a porous glass preform and illustrating the conventional problems and the results of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・ターゲット 12・・コアロッド 14・・スート 16・・バーナ 18・・チャンバ 20・・内腔 22・・排気口 32、34・・フィルタ 36、38・・ダンパ 40・・ガラス微粒子流れ 44、46・・フード 50、52・・ブロア 54、56・・左側絞り機構 100・・制御装置 10 ... Target 12 ... Core rod 14 ... Soot 16 ... Burner 18 ... Chamber 20 ... Lumen 22 ... Exhaust port 32, 34 ... Filter 36, 38 ... Damper 40 ... Glass particulate flow 44 46 .. Hood 50, 52 .. Blower 54, 56 .. Left side throttle mechanism 100 .. Control device

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】バーナにおいて多孔質ガラス母材を合成す
る原料ガスを火炎中で加水分解してガラス微粒子を形成
し、バーナに対し相対的に往復運動しているターゲット
に該ガラス微粒子を吹き付けて光ファイバ用多孔質母材
を合成する方法において、 前記ターゲットの軸方向の両端より前記ターゲットの合
成位置に向かって流れる整流気体の量および流速または
いずれか一方を、前記往復運動の折り返し点近傍で、増
減させ、前記ガラス微粒子のプロファイルを制御するこ
とを特徴とする、光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
1. A raw material gas for synthesizing a porous glass base material in a burner is hydrolyzed in a flame to form glass fine particles, and the glass fine particles are sprayed onto a target that reciprocates relative to the burner. In the method for synthesizing an optical fiber porous preform, the amount and / or the flow velocity of the rectifying gas flowing from both ends in the axial direction of the target toward the synthesis position of the target, near the turning point of the reciprocating motion. A method for synthesizing a porous preform for an optical fiber, characterized in that the profile of the glass fine particles is controlled by increasing or decreasing.
【請求項2】前記往復運動の折り返し点で、前記ターゲ
ットの端部から流れる整流気体の量および流速またはい
ずれか一方を増加させることを特徴とする、請求項1記
載の光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
2. The porous mother fiber for optical fiber according to claim 1, wherein an amount and / or a flow velocity of the rectifying gas flowing from the end portion of the target is increased at the turning point of the reciprocating motion. Method of synthesizing wood.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6837077B2 (en) 2001-09-20 2005-01-04 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for producing soot body

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