JPH0712602U - 静圧流体シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 静圧膜を発生させる流体の供給路を可動部に
設けない静圧流体シリンダを提供する。 【構成】 シリンダチューブ１のヘッド側ピストン室１
０ａ側には外部から連通する供給ポート５が配設されて
いる。又、ロッド側ピストン室１０ｂ側には外部に連通
する排出路８が設けられている。ピストン１１の外周部
にはその圧力面１１ｂ側から誘導路１２が形成されてい
る。各誘導路１２は摺動面１１ａの一端側及び他端側に
おいてそれぞれ細径孔１３ａ，１３ｂにより摺動面１１
ａに連通されている。又、ピストン１１の外周部にはそ
の圧力面１１ｃ側から排出路１４が形成されている。各
排出路１４はその先端において排出口１５により摺動面
１１ａに連通されている。この排出口１５は細径孔１３
ａよりも駆動側ピストン室１０ａ側に配置されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は外部から供給される加圧流体により形成される流体膜の静圧力により ピストンが非接触支持される静圧流体シリンダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、低負荷の制御等に用いられるアクチュエータとして、極めて小さい摺動 抵抗で作動可能な静圧流体シリンダが用いられている。この種の静圧流体シリン ダが実開昭６０−１４３９０２号公報に開示されている。図７に示すように、こ の静圧流体シリンダ３１は、シリンダチューブ３２内部にピストンロッド３３と 一体に形成されたピストン３４が配設されている。ピストン３４の摺動面とシリ ンダチューブ３２の内周面との間には一定の隙間が設けられている。シリンダチ ューブ３２のピストンロッド３３が支持される側の一端にはピストン３４の駆動 用の流体が導入又は排出される流体給排口３５が設けられ、他端にも同様な流体 給排口３６が設けられている。この流体給排口３５に加圧流体が導入されるとピ ストン３４は流体給排口３６側に移動する。又、流体給排口３６に流体が導入さ れると、ピストン３４は流体給排口３５側に移動する。

【０００３】 ピストンロッド３３の基端部には一対の流体導入口３７及び流体導出口３８が 形成されている。流体導入口３７及び流体導出口３８からはピストン３４側に向 かってそれぞれ流体導入路３９及び流体排出路４０が形成されている。ピストン ３４の摺動面にはその基端側と先端側及び中央部にそれぞれ環状溝４１，４２及 び４３が形成されている。前記流体導入路３９は中央部の環状溝４３に連通され ている。又、前記流体排出路４０は両端の環状溝４１，４２に連通されている。 そして、ピストンロッド３３の流体導入口３７から加圧された流体が流体導入路 ３９を介してピストン３４の環状溝４３に導入されると、流体はピストン３４と シリンダチューブ３２との間の隙間を通って両側の環状溝４１，４２に流入する 。そして、流体排出路４０を介して流体導出口３８から外部に導出される。

【０００４】 流体がピストン３４とシリンダチューブ３２との間の隙間を通って環状溝４３ から環状溝４１，４２に移動する際に、流体は圧力の高い流体膜を形成してピス トン３４をシリンダチューブ３２の内周面から浮遊させた状態で支持する。この 状態ではピストン３４とシリンダチューブ３２が固体接触しないため、摩擦損失 が極めて小さく磨耗がほとんど生じない。従って、ピストンロッド３３を極めて 小さい摺動抵抗で駆動することができる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、この静圧流体シリンダ３１では、ピストン３４とシリンダチューブ ３２との隙間に流体膜を形成する流体をピストンロッド３３を介してピストン３ ４の摺動面に供給している。このため、ピストン３４とピストンロッド３３を一 体に形成するとともに、ピストンロッド３３内に環状溝４３に連通する流体導入 路３９及び環状溝４１，４２に連通する流体導出路４０を形成している。そして 、このピストンロッド３３内の流体導入路３９及び流体導出路４０を介してピス トン３４の摺動面に流体の供給を行っている。

【０００６】 このような構成の静圧流体シリンダ３１では一体形成されたピストンロッド３ ２とピストン３４に芯ずれがあったり、ピストンロッド３３に横荷重がかかった 場合、ピストン３４とシリンダチューブ３２とが接触、磨耗し易く、これが原因 となって作動不良が起き易かった。

【０００７】 従って、ピストンロッド３３とピストン３４との成形加工には芯ずれを防ぐた めに高精度の加工が必要であった。さらに、可動部であるピストンロッド３３に 流体を送るための配管を接続しなければならないため、その配管がピストンロッ ド３３とともに動くことを許容するためのスペースが必要であった。又、ピスト ンロッド３３の繰り返し作動により、その配管が抜ける可能性があった。

【０００８】 又、この静圧流体シリンダ３１では、流体の吹き出し口をピストン３４の中央 部に設けられた環状溝４３とし、その両端に設けた環状溝４１，４２から流体を 戻すようにしている。この結果、静圧力の分布はピストン３４の移動長さ方向に 対して中央部が高く両側が低い山型となっている。従って、ピストン３４の軸線 に対して垂直方向に与えられる荷重に対して、ピストン３４が傾かないように保 持する力である剛性が小さかった。

【０００９】 すなわち、ピストン３４に前記荷重が作用すると、ピストン３４が傾き、ピス トン３４の摺動面の端部がシリンダチューブ３２の内周面に接触するという問題 がある。

【００１０】 本考案は上記問題点を解決するためになされたものであって、その第１の目的 は、静圧膜を発生させる流体の供給路を可動部に設けない静圧流体シリンダを提 供することにある。

【００１１】 又、第２の目的は、第１の目的に加えてピストンの軸線に対して垂直方向から 作用する荷重に対して、ピストンが容易に傾くことのない静圧流体シリンダを提 供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記第１の目的を達成するため、請求項１に記載の考案は、ピストン により、駆動室側ピストン室と非駆動室側ピストン室とに区画されるシリンダと 、シリンダ外部と駆動側ピストン室内とを連通する流体導入路と、非駆動側ピス トン室内とシリンダ外部とを連通する流体導出路と、ピストンの駆動側ピストン 室側の圧力面に透設される流体誘導路と、ピストンの非駆動側ピストン室側の圧 力面に透設される流体排出路とを備え、前記流体誘導路から摺動面に流体を案内 する案内口を形成するとともに、前記排出口から排出された流体を前記流体排出 路内に導入する排出口を形成したことをその要旨とする。

【００１３】 又、上記第２の目的を達成するため、請求項２に記載の考案は、前記案内口を 摺動面の少なくとも駆動側ピストン室側及び非駆動側ピストン室側端部とに設け るとともに、前記排出口を摺動面の駆動側ピストン室側に設けられた流体誘導路 の案内口よりもさらに駆動側ピストン室側に設けた。

【００１４】 又、上記第２の目的を達成するため、請求項３に記載の考案は、多孔性材料よ りなるピストンにより、駆動室側ピストン室と非駆動室側ピストン室とに区画さ れるシリンダと、シリンダ外部と駆動側ピストン室内とを連通する流体導入路と 、非駆動側ピストン室内とシリンダ外部とを連通する流体導出路と、ピストンの 駆動側ピストン室側の圧力面に透設される流体誘導路と、ピストンの非駆動側ピ ストン室側の圧力面に透設される流体排出路とを備え、ピストンの流体誘導路を 除く圧力面に流体が通過不可能な非通過層を形成するとともに、前記ピストンの 摺動面から排出された流体を前記流体排出路内に導入する排出口を形成した。

【００１５】 又、上記第２の目的を達成するため、請求項４に記載の考案は、ピストンによ り、駆動室側ピストン室と非駆動室側ピストン室とに区画されるシリンダと、シ リンダ外部と駆動側ピストン室内とを連通する流体導入路と、非駆動側ピストン 室内とシリンダ外部とを連通する流体導出路と、ピストンの駆動側ピストン室側 の圧力面に透設される流体誘導路と、ピストンの非駆動側ピストン室側の圧力面 に透設される流体排出路とを備え、前記ピストンの摺動面に環状の凹部を形成し て、この凹部に多孔性材料からなる筒状の通気部材を外嵌させることにより、通 気部材の内周側に室を形成するとともに、前記流体誘導路から前記室内に流体を 案内する案内路を形成し、通気部材から排出された流体を前記流体排出路内に導 入する排出口を形成した。

【００１６】

【作用】

従って、請求項１に記載の考案によれば、流体導入路から流体が駆動側ピスト ン室内に導入されると、流体はピストンを非駆動側ピストン室側に押圧する。同 時に、流体はピストンの圧力面から流体誘導路を通って案内口からピストンの摺 動面とシリンダの内周面との間の隙間に吹き出す。吹き出した流体は駆動側ピス トン室側及び非駆動側ピストン室側に流れる。この際、流体はピストンの摺動面 とシリンダの内周面との間で静圧力を発生して、ピストンをシリンダに対して非 接触支持する。流体は排出口から流体排出路を介して、又は直接、非駆動側ピス トン室内に流入する。非駆動側ピストン室に流入した流体は流体導出路からシリ ンダ外部に導出される。この結果、ピストンは非駆動側ピストン室側に移動する 。

【００１７】 又、請求項２に記載の考案によれば、流体導入路内の流体はピストンの摺動面 の一端側及び他端側に設けられた案内口からピストンの摺動面とシリンダの内周 面との間の隙間に吹き出す。そして、駆動側ピストン室側に流れた流体は、流体 排出路の駆動側ピストン室側に設けられた排出口から流体排出路に流出する。従 って、ピストンの摺動面とシリンダの内周面との間の隙間に形成される流体膜の 軸線方向の圧力分布がほぼ均等化される。

【００１８】 又、請求項３に記載の考案によれば、流体導入路から流体が駆動側ピストン室 内に導入されると、流体はピストンを非駆動側ピストン室側に押圧する。同時に 、流体はピストンの圧力面から流体誘導路を通って流体を通過させる多孔性材料 からなるピストン内部に侵入する。そして、流体はピストンの非通過層が形成さ れていない摺動面から摺動面とシリンダの内周面との間の隙間に吹き出す。吹き 出した流体は駆動側ピストン室側及び非駆動側ピストン室側に流れる。この際、 流体はピストンの摺動面とシリンダの内周面との間で静圧力を発生して、ピスト ンをシリンダに対して非接触支持する。流体は排出口から流体排出路を介して、 又は直接、非駆動側ピストン室内に流入する。非駆動側ピストン室に流入した流 体は流体導出路からシリンダ外部に導出される。この結果、ピストンは非駆動側 ピストン室側に移動する。

【００１９】 又、請求項４に記載の考案によれば、流体導入路から流体が駆動側ピストン室 内に導入されると、流体はピストンを非駆動側ピストン室側に押圧する。同時に 、流体はピストンの圧力面から流体誘導路を通って案内路から室内に導入され、 さらに多孔性材料からなる通気部材の外周面からピストンの摺動面とシリンダの 内周面との間の隙間に吹き出す。吹き出した流体は駆動側ピストン室側及び非駆 動側ピストン室側に流れる。この際、流体はピストンの摺動面とシリンダの内周 面との間で静圧力を発生して、ピストンをシリンダに対して非接触支持する。流 体は排出口から流体排出路を介して、又は直接、非駆動側ピストン室内に流入す る。非駆動側ピストン室に流入した流体は流体導出路からシリンダ外部に導出さ れる。この結果、ピストンは非駆動側ピストン室側に移動する。

【００２０】

【実施例】

以下、本考案を単動型の静圧空気シリンダに具体化した一実施例を図１〜図４ に従って説明する。

【００２１】 図１に示すように、円筒形状のシリンダチューブ１は両端が開口したチューブ ２とそのチューブ２の両開口部に取着された蓋体３，４とから構成されている。 蓋体３の外周部には加圧空気を供給するための流体導入路としての供給ポート５ が形成されている。この供給ポート５は流体導入路としての流路６を介して蓋体 ３の内側面に連通されている。さらに、蓋体３の内側面には環状のゴムクッショ ン７が固設されている。又、蓋体４の中央部には孔４ａが形成されている。又、 蓋体４の外周部には流体導出路としての排出路８が蓋体４の内側側と外側部とを 連通するように形成されている。さらに、蓋体４の内側面の前記ゴムクッション ７と対向する位置には同形状のゴムクッション９が固設されている。

【００２２】 シリンダチューブ１内部にはピストン室１０ａａ，１０ｂが形成され、このピ ストン室１０ａ，１０ｂにはピストン１１が軸線方向に移動可能に配設されてい る。そして、ピストン室１０ａ，１０ｂはこのピストン１１により供給ポート５ に連通するヘッド側ピストン室１０ａ及び排出路８に連通するロッド側ピストン 室１０ｂに区切られている。ピストン１１がヘッド側ピストン室１０ａ方向に移 動すると、その圧力面１１ｂがゴムクッション７に当接する位置で停止する。又 、ピストン１１がロッド側ピストン室１０ｂ方向に移動すると、ピストン１１の の圧力面１１ｃがゴムクッション９に当接する位置で停止する。

【００２３】 図２及び図３（ａ），（ｂ）に示すように、ピストン１１の圧力面１１ｂには ピストン１１の中心軸を中心として等間隔に８個の誘導路１２が軸線方向に形成 されている。各誘導路１２の先端及び基端にはそれぞれ誘導路１２からピストン １１の摺動面１１ａに貫通するように形成された案内口としての細径孔１３ａ， １３ｂが設けられている。そして、この誘導路１２及び細径孔１３ａ，１３ｂに よりヘッド側ピストン室１０ａとピストン１１の摺動面１１ａとが連通されてい る。

【００２４】 又、ピストン１１の圧力面１１ｃには等間隔に４個の排出路１４が軸線方向に 形成されている。排出路１４は隣合う誘導路１２の中間位置に設けられている。 この各排出路１４はその先端が前記誘導路１２の基端側の細径孔１３ａよりもさ らに圧力面１１ｂ側に位置するように形成されている。各排出路１４の先端には それぞれ排出路１４からピストン１１の摺動面１１ａに貫通するように形成され た排出口１５が設けられている。この排出口１５は前記細径孔１３ａ，１３ｂよ りも大きい内径で形成されている。

【００２５】 さらに、各排出口１５はピストン１１の摺動面１１ａに環状に形成された溝１ ６内に配置されている。そして、この排出口１５及び排出路１４によりピストン １１の摺動面１１ａとロッド側ピストン室１０ｂとが連通されている。

【００２６】 図１に示すように、ピストン１１の圧力面１１ｃ側中央部には２段に形成され た凹部１７が設けられ、この凹部１７内には球面軸受け１８がＣリング１９によ り固定されている。この球面軸受け１８にはピストンロッド２０が蓋体４側に延 出するようにナット２１により取着されている。このピストンロッド２０は前記 蓋体４の孔４ａに軸線方向に摺動可能に支持され、シリンダチューブ１の外部に 延出されている。

【００２７】 以上のように構成した静圧空気シリンダの作用について説明する。 加圧空気を供給する前はピストン１１はヘッド側ピストン室１０ａ側のゴムク ッション７に当接する位置にある。供給ポート５から加圧空気が供給されると、 空気は流路６を介してヘッド側ピストン室１０ａに流入してピストン１１の圧力 面１１ｂに圧力を加え、ピストン１１をロッド側ピストン室１０ｂ側に押圧する 。同時に、空気の一部は各誘導路１２に流入する。そして、各誘導路１２に流入 した空気は細径孔１３ａ，１３ｂからピストン１１の摺動面１１ａとチューブ２ の内周面２ａとの間の隙間に吹き出す。この隙間に吹き出した空気により圧力の 高い空気膜が形成される。従って、ピストン１１は加圧空気の静圧力によりチュ ーブ２の内周面２ａに対して非接触状態で支持される。

【００２８】 図４に示すように、細径孔１３ａから隙間に吹き出した空気はピストン１１の 圧力面１１ｂ側及び圧力面１１ｃ側に流れる。圧力面１１ｂ側に流れた空気はヘ ッド側ピストン室１０ａから隙間に流入する空気とぶつかった後、溝１６から排 出口１５を通って排出路１４内に流入する。細径口１３ｂから隙間に吹き出した 空気も同様に圧力面１１ｂ側及び圧力面１１ｃ側に流れる。圧力面１１ｂ側に流 れた空気は細径孔１３ａからピストン１１の圧力面１１ｃ側に流れる空気とぶつ かるため、それ以上流れることはない。圧力面１１ｃ側に流れた空気はロッド側 ピストン室１０ｂ内に流入する。この結果、ピストン１１の摺動面１１ａとチュ ーブ２の内周面２ａとの間の隙間に形成される空気膜の圧力分布は、ピストン１ １の圧力面１１ｂ側と圧力面１１ｃ側との間でほぼ均等となる。

【００２９】 排出路１４及びピストン１１の圧力面１１ｃ側からロッドピストン室１０ｂ内 に流入した空気は排出路８からシリンダチューブ１の外部に放出される。この結 果、ピストン１１はシリンダチューブ１内で加圧空気の静圧力により非接触状態 で支持されるとともに、ロッドピストン室１０ｂ側に駆動される。

【００３０】 以上のように，本実施例の静圧空気シリンダによれば、ピストン１１はシリン ダチューブ１に設けられた供給ポート５から供給される加圧空気により生成され る静圧力により、シリンダチューブ１内において非接触状態で支持される。同時 に、同じ加圧空気によりピストン１１が駆動される。従って、ピストンロッド２ ０に加圧空気の供給路を設ける必要がないため、空気を供給する配管の移動スペ ースを確保する必要がなく、又、配管抜け等のトラブルも発生しない。さらに、 ピストンロッド２０とピストン１１を一体に形成する必要がないため、本実施例 のようにピストンロッド２０をピストン１１に球面軸受け１８を介して連結でき る。従って、ピストンロッド２０に横荷重がかかってもピストン１１がピストン ロッド２０とともに傾斜することがない。

【００３１】 又、本実施例の静圧空気シリンダに用いるピストン１１にはその摺動面１１ａ の圧力面１１ｂ側に細径孔１３ａが、又、圧力面１１ｃ側端部に細径孔１３ｂが それぞれ設けられている。又、摺動面１１ａの細径孔１３ａよりもさらに圧力面 １１ｂ側寄りに排出口１５が設けられている。この結果、隙間に吹き出してヘッ ド側ピストン室１０ａ側に流れた空気はこの排出口１５からロッド側ピストン室 １０ｂ内に流入する。従って、隙間に形成される空気膜の圧力分布はピストン１ １の圧力面１１ｂ側と圧力面１１ｃ側との間でほぼ均等となるため、ピストン１ １はその軸線に対して垂直方向に作用する荷重に対する剛性が大きくなる。

【００３２】 尚、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、考案の趣旨を逸脱しない 範囲で例えば次のように構成することもできる。 （１） 上記実施例では、ピストン１１の誘導路１２から摺動面１１ａに挿通 する細径孔１３ａ，１３ｂを形成して、流体をピストン１１とチューブ２との間 の隙間に導いた。これを、図５に示すように、ピストン２２を黒鉛、多孔性セラ ミック等の流体を通過させる多孔性材料で形成するとともに、細径孔１３ａ，１ ３ｂを設けない構成としてもよい。この場合、ピストン１１の圧力面２２ａ，２ ２ｂは樹脂等によりコーティングして非通過層Ｃを形成し、流体が圧力面２２ａ ，２２ｂからピストン室１０ａ，１０ｂに漏れないようにする。この静圧流体シ リンダでは、ヘッド側ピストン室１０ａに導入された流体は誘導路１２内に流入 する。そして、誘導路１２内周面から多孔性の物質であるピストン２２本体に侵 入する。ピストン２２本体内部に侵入した流体は摺動面２２ｃからピストン２２ とチューブ２との間の隙間に噴出して、静圧力を持った流体膜を生成する。この ように構成した静圧流体シリンダでは、流体が摺動面２２ｃの全体にわたって均 等に噴出するため、チューブ２とピストン２２との間の隙間を小さく設計するこ とができる。

【００３３】 （２） 又、図６に示すように、ピストン２３の摺動面２３ａに環状の凹部を 形成して、この凹部に黒鉛、多孔性セラミック等の多孔性材料から形成された筒 状の通気部材２４を外嵌させて、通気部材２４の内周側に室２５を形成する。そ して、通気部材２４の外周面２４ａはピストン２３の摺動面２３ａの一部とし、 その外周面２４ａ及び室２５に臨む部分の内周面以外の表面に流体の非通過層Ｃ を形成する。さらに、誘導路１２から室２５に流体を案内する案内路２６を形成 するようにしてもよい。このように構成した静圧シリンダでは、流体が案内路２ ６から室２５を介して通気部材２４の外周面２４ａからピストン２３とチューブ ２との隙間に噴出して、静圧力を持った流体膜を形成する。このような静圧流体 シリンダでは、流体が通気部材２４の外周面２４ａから均等に噴出するため、チ ューブ２とピストン２３との間の隙間を小さく設計することができる。尚、効果 は若干劣るが、通気部材２４に非通過層Ｃを形成しなくてもよい。

【００３４】 （３） 上記実施例では、単動型のシリンダに実施したが、誘導路１２及び排 出路１４等をピストン１１の両側に形成し、加圧空気の供給ポート５をピストン 室１０ａ，１０ｂの両側に配設する。そして、ヘッド側ピストン室１０ａ及ロッ ド側ピストン室１０ｂの一方を駆動側ピストン室、他方を非駆動側ピストン室と して作動させるとともに、誘導路１２及び排出路１４における加圧空気の方向を チェックパッキン等の手段により制御することにより復動型の静圧流体シリンダ として構成することもできる。

【００３５】 （４） 上記実施例では、ピストンロッド２０を蓋体４に直接支持させた。こ れを、図６に示すように、ピストンロッド２０を支持する蓋体４の孔４ａに多孔 質の物質である焼結金属等で形成されたブッシュ２７を配設し、このブッシュ２ ７の外周面に供給ポート２８から加圧空気を供給する。そして、このブッシュ２ ７の多数の孔から内周面側に吹き出す空気により流体膜を発生させ、この流体膜 の静圧力によりピストンロッド２０を非接触状態で支持するように構成してもよ い。

【００３６】 （５） 上記実施例では、静圧力を発生させるとともにピストン１１を駆動す る流体として空気を用いたが、その他の気体でもよい。さらに、オイル、水等の 液体でもよい。

【００３７】 （６） 上記実施例では、案内口としての細径口１３ａ，１３ｂをそれぞれピ ストン１１の摺動面１１ａのヘッド側ピストン室１０ａ側及びロッド側ピストン 室１０ｂ側端部に設けた。これを、細径口１３ａ，１３ｂとの間でさらに別の細 径口を設けてもよい。さらに、これらの細径口は軸線方向に並ばなくてもよい。

【００３８】 （７） ピストン１１の摺動面１１ａに開口する各細径孔１３ａ，１３ｂをそ れぞれピストン１１の外周部に環状に形成した溝の内部に開口させ、排出口１５ と同様にして、細径孔１３ａ及び１３ｂをそれぞれ溝が形成する流路で連絡させ てもよい。このように細径孔１３ａ及び１３ｂのそれぞれを溝で連絡することに より、摺動面１１ａ近傍の静圧力が均一化される。

【００３９】

【考案の効果】

以上詳述したように請求項１に記載の考案によれば、静圧膜を発生させる流体 の供給路を可動部に設けることがないという優れた効果を奏する。

【００４０】 又、請求項２に記載の考案によれば、上記の効果に加えて、ピストンの軸線に 対して垂直方向から作用する荷重に対してピストンが容易に傾くことがないとい う優れた効果を奏する。

【００４１】 又、請求項３又は請求項４に記載の考案によれば、静圧膜を発生させる流体の 供給路を可動部に設けず、さらに、ピストンの軸線に対して垂直方向から作用す る荷重に対してピストンが容易に傾くことがないという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案を具体化した一実施例としての静圧空気
シリンダの図３（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図２】ピストンの側面図である。

【図３】（ａ）はピストンの正面図であり、（ｂ）はピ
ストンの背面図である。

【図４】ピストンの摺動面部分において空気の流れる状
態を示す説明図である。

【図５】別例の静圧流体シリンダの縦断面図である。

【図６】同じく別例の静圧流体シリンダの縦断面図であ
る。

【図７】従来例の静圧流体シリンダの縦断面図である。

【符号の説明】

１…シリンダチューブ、５…流体導入路としての供給ポ
ート、６…流体導入路としての流路、８…流体導出路と
しての排出路、１０ａ…駆動側ピストン室としてのヘッ
ド側ピストン室、１０ｂ…非駆動側ピストン室としての
ロッド側ピストン室、１１…ピストン、１１ａ…摺動
面、１１ｂ…圧力面、１１ｃ…圧力面、１２…誘導路、
１３ａ，１３ｂ…案内口としての細径孔、１４…排出
路、１５…排出口、２２…ピストン、２２ａ…圧力面、
２２ｂ…圧力面、２２ｃ…摺動面、２３…ピストン、２
３ａ…摺動面、２３ｂ…圧力面、２３ｃ…圧力面、２４
…通気部材、２５…室、２６…案内路、Ｃ…非通過層。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピストン（１１）により、駆動室側ピス
   トン室（１０ａ）と非駆動室側ピストン室（１０ｂ）と
   に区画されるシリンダ（１）と、 シリンダ（１）外部と駆動側ピストン室（１０ａ）内と
   を連通する流体導入路（５，６）と、 非駆動側ピストン室（１０ｂ）内とシリンダ（１）外部
   とを連通する流体導出路（８）と、 ピストン（１１）の駆動側ピストン室（１０ａ）側の圧
   力面（１１ｂ）に透設される流体誘導路（１２）と、 ピストン（１１）の非駆動側ピストン室（１０ｂ）側の
   圧力面（１１ｃ）に透設される流体排出路（１４）とを
   備え、 前記流体誘導路（１２）から摺動面（１１ａ）に流体を
   案内する案内口（１３ａ，１３ｂ）を形成するととも
   に、 前記案内口（１３ａ，１３ｂ）から排出された流体を前
   記流体排出路（１４）内に導入する排出口（１５）を形
   成したことを特徴とする静圧流体シリンダ。
2. 【請求項２】 前記案内口（１３ａ，１３ｂ）を摺動面
   （１１ａ）の少なくとも駆動側ピストン室（１０ａ）側
   及び非駆動側ピストン室（１０ｂ）側端部とに設けると
   ともに、 前記排出口（１５）を摺動面（１１ａ）の駆動側ピスト
   ン室（１０ａ）側に設けられた流体誘導路（１２）の案
   内口（１３ａ）よりもさらに駆動側ピストン室（１０
   ａ）側に設けたことを特徴とする請求項１に記載の静圧
   流体シリンダ。
3. 【請求項３】 多孔性材料よりなるピストン（１１）に
   より、駆動室側ピストン室（１０ａ）と非駆動室側ピス
   トン室（１０ｂ）とに区画されるシリンダ（１）と、 シリンダ（１）外部と駆動側ピストン室（１０ａ）内と
   を連通する流体導入路（５，６）と、 非駆動側ピストン室（１０ｂ）内とシリンダ（１）外部
   とを連通する流体導出路（８）と、 ピストン（２２）の駆動側ピストン室（１０ａ）側の圧
   力面（２２ａ）に透設される流体誘導路（１２）と、 ピストン（２２）の非駆動側ピストン室（１０ｂ）側の
   圧力面（２２ｂ）に透設される流体排出路（１５）とを
   備え、 ピストン（２２）の流体誘導路（１２）を除く圧力面
   （２２ａ，２２ｂ）に流体が通過不可能な非通過層
   （Ｃ）を形成するとともに、 前記ピストン（２２）の摺動面（２２ｃ）から排出され
   た流体を前記流体排出路（１４）内に導入する排出口
   （１５）を形成したことを特徴とする静圧流体シリン
   ダ。
4. 【請求項４】 ピストン（２３）により、駆動室側ピス
   トン室（１０ａ）と非駆動室側ピストン室（１０ｂ）と
   に区画されるシリンダ（１）と、 シリンダ（１）外部と駆動側ピストン室（１０ａ）内と
   を連通する流体導入路（５，６）と、 非駆動側ピストン室（１０ｂ）内とシリンダ（１）外部
   とを連通する流体導出路（８）と、 ピストン（２３）の駆動側ピストン室（１０ａ）側の圧
   力面（２３ｂ）に透設される流体誘導路（１２）と、 ピストン（２３）の非駆動側ピストン室（１０ｂ）側の
   圧力面（２３ｃ）に透設される流体排出路（１４）とを
   備え、 前記ピストン（２３）の摺動面（２３ａ）に環状の凹部
   を形成して、この凹部に多孔性材料からなる筒状の通気
   部材（２４）を外嵌させることにより、通気部材（２
   ４）の内周側に室（２５）を形成するとともに、 前記流体誘導路（１２）から前記室（２５）内に流体を
   案内する案内路（２６）を形成し、 通気部材（２４）から排出された流体を前記流体排出路
   （１４）内に導入する排出口（１５）を形成したことを
   特徴とする静圧流体シリンダ。