JPH07123631A - Electric actuator - Google Patents

Electric actuator

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JPH07123631A
JPH07123631A JP28627393A JP28627393A JPH07123631A JP H07123631 A JPH07123631 A JP H07123631A JP 28627393 A JP28627393 A JP 28627393A JP 28627393 A JP28627393 A JP 28627393A JP H07123631 A JPH07123631 A JP H07123631A
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JP
Japan
Prior art keywords
electric actuator
linear motion
rotation
spline
unit
Prior art date
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Pending
Application number
JP28627393A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuji Najima
靖二 名島
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Nabtesco Corp
Original Assignee
Teijin Seiki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Teijin Seiki Co Ltd filed Critical Teijin Seiki Co Ltd
Priority to JP28627393A priority Critical patent/JPH07123631A/en
Publication of JPH07123631A publication Critical patent/JPH07123631A/en
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  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
  • Permanent Magnet Type Synchronous Machine (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a compact electric actuator with accurate movement. CONSTITUTION:An output of revolutions at high speed from a rotor 15 of an electric rotation part is transmitted through a rotor shaft 21 to an input member in deceleration units 31 and 41. In the deceleration units 31 and 41, the high- speed revolution is, as an example, reduced to one several tenths or one several hundredths. Then, the output of low-speed revolution is transmitted to a rotation/linear movement conversion unit (screw mechanisms 57 and 65) so that a linear movement member 61 is drawn out or drawn back. These members can be all put in a casing of an electric actuator. In a design step, the rotor shaft and the input member of the deceleration unit may be formed in a body or a screw mechanism may be put in an axle part of the deceleration unit. Consequently, a compact electric actuator is realized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、工作機械の位置決めや
クランプ等に用いられる、直線運動を行う電動アクチュ
エータに関する。特には、電動回転部、減速部及び回転
・直線運動変換部を一式のケーシング内に収めてコンパ
クトにした電動アクチュエータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric actuator which is used for positioning and clamping a machine tool and which performs a linear motion. In particular, the present invention relates to an electric actuator in which an electric rotating unit, a speed reducing unit, and a rotation / linear motion converting unit are housed in a set of casings to be compact.

【0002】[0002]

【従来の技術】減速比が1段で数十分の1から数百分の
1にとれる高減速比の減速機は従来より知られている。
例えば、遊星歯車機構を利用するもの、偏心スプライン
を利用するもの、弾性歯車を利用するもの(商標名ハー
モニックドライブ等)などを挙げることができる。これ
らとサーボモータ及びネジ機構等とを組合せれば、精密
な直線運動を行う装置を構成することができる。
2. Description of the Related Art A speed reducer having a high speed reduction ratio, which has a speed reduction ratio of one stage and is several tenths to several hundredths, has been conventionally known.
For example, the one using a planetary gear mechanism, the one using an eccentric spline, the one using an elastic gear (trade name: harmonic drive, etc.) and the like can be mentioned. By combining these with a servomotor, a screw mechanism, and the like, it is possible to configure a device that performs precise linear movement.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のよう
な、複数の装置の単純な組合せに係るアクチュエータで
は、全体をコンパクトにすることには限界があった。例
えば長さについて言えば、アクチュエータ全体の寸法
は、それぞれの装置の軸と、軸を継ぐカップリングの寸
法を足した寸法になってしまう。一方、油圧シリンダー
等の油圧アクチュエータの場合、油の供給システムを設
置する必要があり、また、油もれが起るといった問題が
あった。本発明は、コンパクトで、精密な作動をさせる
こともできる電動アクチュエータを提供することを目的
とする。
However, in the actuator relating to a simple combination of a plurality of devices as described above, there is a limit in making the whole compact. For example, in terms of length, the size of the entire actuator is the size of the shaft of each device and the size of the coupling connecting the shafts. On the other hand, in the case of a hydraulic actuator such as a hydraulic cylinder, it is necessary to install an oil supply system, and there is a problem that oil leakage occurs. It is an object of the present invention to provide an electric actuator that is compact and can be operated accurately.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の電動アクチュエータは、ステータとロータ
とを含む電動回転部と、このロータのシャフトに連結さ
れた入力部材とを含む高減速比減速部と、この高減速比
減速部の出力部材によって駆動される回転・直線運動変
換部と、この回転・直線運動変換部によって駆動される
直線運動部材と、を具備し;上記各部が一式のケーシン
グ内に収められていることを特徴とする。
In order to solve the above problems, an electric actuator according to the present invention has a high reduction gear ratio including an electric rotating portion including a stator and a rotor, and an input member connected to a shaft of the rotor. And a linear motion member driven by the rotation / linear motion conversion unit, and a linear motion member driven by the rotation / linear motion conversion unit; It is characterized by being housed in a casing.

【0005】[0005]

【作用】電動回転部のロータの高速回転は、ロータシャ
フトから減速部の入力部材に伝えられる。減速部では、
この高速回転を例えば数十分の1から数百分の1に減速
する。この低速回転は、回転・直線変換部(例えばネジ
機構)へ伝えられ、直線運動部材が繰り出し・引き込み
される。本発明の電動アクチュエータは、これらの各部
が一式のケーシング内に収められているので、例えば、
ロータシャフトと減速部の入力部材とを一体物とした
り、減速部の軸芯部にネジ機構を収める等の設計を行う
ことにより、本発明の電動アクチュエータをコンパクト
にすることができる。なお、“一式のケーシング”と
は、必ずしも“一体物のケーシング”という意味ではな
い。組立状態で一つのケーシングを構成するものであっ
てもよい。
The high speed rotation of the rotor of the electric rotating section is transmitted from the rotor shaft to the input member of the speed reducing section. In the reducer,
This high-speed rotation is decelerated from, for example, several tenths to several hundredths. This low-speed rotation is transmitted to the rotation / linear conversion unit (for example, a screw mechanism), and the linear motion member is extended / retracted. Since the electric actuator of the present invention has these parts housed in a set of casings, for example,
The electric actuator of the present invention can be made compact by designing the rotor shaft and the input member of the speed reducing unit as a single body or by designing such that the screw mechanism is housed in the shaft core of the speed reducing unit. In addition, "a set of casings" does not necessarily mean "a casing of one body". One casing may be configured in the assembled state.

【0006】本発明の電動アクチュエータの一態様にお
いては、上記減速部が、歯数がわずかに異なる内歯スプ
ラインと外歯スプラインとを有し、両スプラインの歯の
かみ合い位置が、上記入力部材の高速回転に伴ってスプ
ライン円周上を移動して両スプライン間に位相差が生
じ、この位相差によって上記出力部材が低速回転し;上
記回転・直線運動変換部が、上記出力部材によって回転
駆動されるメネジ筒と、このメネジ筒のメネジと螺合す
るオネジと、を有し;上記直線運動部材が、上記オネジ
によって駆動されるとともに、上記ケーシングに回転不
能かつ摺動自在に係合する押棒として構成されている。
In one mode of the electric actuator of the present invention, the speed reducing portion has an internal tooth spline and an external tooth spline having slightly different numbers of teeth, and the meshing positions of the teeth of both splines are the same as those of the input member. Along with the high-speed rotation, the splines move around the circumference to generate a phase difference between the splines, and the phase difference causes the output member to rotate at a low speed; the rotation / linear motion conversion unit is rotationally driven by the output member. As a push rod which is driven by the male screw and which engages with the casing in a non-rotatable and slidable manner. It is configured.

【0007】このような電動アクチュエータの減速部
は、比較的簡単な構成であるにもかかわらず高減速比と
することができる。この態様の減速部の機構の好適な例
としては、内歯スプラインを弾性歯車(フレックススプ
ライン)とした減速機構(商標名ハーモニックドライブ
減速機と同じ機構)を挙げることができる。この機構
は、部品数が少なく、またその中空部に、回転・直線運
動変換部としてのネジ機構を内蔵しやすいので、電動ア
クチュエータ全体をきわめてコンパクトに構成できる。
The deceleration portion of such an electric actuator can have a high reduction ratio even though it has a relatively simple structure. As a preferable example of the mechanism of the reduction gear unit of this aspect, a reduction mechanism (the same mechanism as the trade name Harmonic Drive reduction gear) in which the internal tooth spline is an elastic gear (flex spline) can be mentioned. This mechanism has a small number of parts, and since it is easy to incorporate a screw mechanism as a rotation / linear motion conversion unit in its hollow portion, the entire electric actuator can be made extremely compact.

【0008】[0008]

【実施例】以下、添付図を参照しつつ説明する。図1
は、本発明の一実施例に係る電動アクチュエータの内部
構造を摸式的に示す断面図である。図2は、図1の電動
アクチュエータの減速部の減速メカニズムを説明するた
めの摸式図である。図1の電動アクチュエータ1は、ケ
ーシング3、7、電動回転部(ステータコイル11、ロ
ータ15等)、減速部(入力部材であるウェーブジェネ
レータ25、フレックススプライン31等)、回転・直
線運動変換部(メネジ筒51、オネジ65等)、及び、
直線運動部材である押棒61等より構成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A description will be given below with reference to the accompanying drawings. Figure 1
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the internal structure of an electric actuator according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the deceleration mechanism of the deceleration unit of the electric actuator of FIG. The electric actuator 1 of FIG. 1 includes casings 3 and 7, an electric rotating portion (stator coil 11, rotor 15 and the like), a speed reducing portion (wave generator 25 which is an input member, a flex spline 31 and the like), a rotary / linear motion converting portion ( Female screw cylinder 51, male screw 65, etc., and
The push rod 61 is a linear motion member.

【0009】前部カバー3は、除塵目的の単なるカバー
であり、本実施例の電動アクチュエータ1の左側部分の
減速部と回転・直線運動変換部を覆っている。ケーシン
グ7は、前部カバー3と、電動アクチュエータ1の中央
部でボルト連結されている。ケーシング7は、サーキュ
ラースプライン41とボルト等にて固定されており、電
動アクチュエータ1の右側部分の電動回転部を覆い、押
棒61の外側を取り巻くように電動アクチュエータ1の
内部を左側に伸び(固定内筒8)、さらに内筒延長部9
に至っている。固定内筒8の部分を、別体としてケーシ
ング7に連結する構造としてもよい。
The front cover 3 is merely a cover for removing dust, and covers the deceleration portion and the rotation / linear motion conversion portion on the left side of the electric actuator 1 of this embodiment. The casing 7 is bolted to the front cover 3 at the center of the electric actuator 1. The casing 7 is fixed to the circular spline 41 with a bolt or the like, covers the electric rotating portion on the right side of the electric actuator 1, and extends to the left inside the electric actuator 1 so as to surround the outside of the push rod 61 (fixed inside). Tube 8), and further inner tube extension 9
Has reached. The fixed inner cylinder 8 may be connected to the casing 7 as a separate body.

【0010】この実施例の電動アクチュエータ1の電動
回転部は、直流モータであり、ステータコイル11、ス
テータコア13、ロータマグネット15、ロータシャフ
ト21から構成されている。なお、本発明の電動アクチ
ュエータの電動回転部には、速度制御可能なモータな
ら、直流・交流を問わず、様々な形式のモータを用いる
ことができる。いわゆるパルスモータ、サーボモータ等
であってもよい。
The electric rotating portion of the electric actuator 1 of this embodiment is a DC motor, and is composed of a stator coil 11, a stator core 13, a rotor magnet 15, and a rotor shaft 21. For the electric rotating part of the electric actuator of the present invention, various types of motors can be used, regardless of DC or AC, as long as the motor can control the speed. It may be a so-called pulse motor, servo motor, or the like.

【0011】ロータシャフト21は、ロータマグネット
15にかかる回転力により回転する。回転数は、通常、
0〜4,000rpm である。ロータシャフト21の右端
部23は、ベアリング71を介して、同シャフトの左端
はベアリング73を介して、それぞれ固定内筒8に支持
されている。ロータシャフト21の左端は、内径が円
で、外径はだ円のウェーブジェネレータ25と呼ばれる
部分である。この部分は、減速部の入力部材となってい
る。つまり、本実施例では、ロータシャフト21と減速
部の入力部材とは一体化されている。
The rotor shaft 21 is rotated by the rotational force applied to the rotor magnet 15. The rotation speed is usually
It is 0 to 4,000 rpm. The right end 23 of the rotor shaft 21 is supported by the fixed inner cylinder 8 via a bearing 71, and the left end of the shaft is supported by a bearing 73. The left end of the rotor shaft 21 is a portion called a wave generator 25 having an inner diameter of a circle and an outer diameter of an ellipse. This portion serves as an input member of the speed reduction unit. That is, in the present embodiment, the rotor shaft 21 and the input member of the speed reducer are integrated.

【0012】ここで、図2を用いて、本実施例の電動ア
クチュエータ1の減速部の減速機構について説明する。
ウェーブジェネレータ25は、外形がだ円形の剛性のあ
る軸である。このウェーブジェネレータ25の外側に
は、だ円ベアリング29がはめられている。だ円ベアリ
ング29の外側には、フレックススプライン31がはめ
られている。ここで、だ円ベアリング29の外レースと
フレックススプライン31とは、高強度ではあるがしな
やかな材料(例えば合金鋼)の薄肉体となっており、内
側のウェーブジェネレータ25の回転に合わせて、外側
に出張ったり、内側にへこんだりを繰返す。
Here, the speed reducing mechanism of the speed reducing portion of the electric actuator 1 of this embodiment will be described with reference to FIG.
The wave generator 25 is a rigid shaft having an elliptical outer shape. An elliptical bearing 29 is fitted on the outside of the wave generator 25. A flex spline 31 is fitted on the outside of the elliptical bearing 29. Here, the outer race of the elliptical bearing 29 and the flex spline 31 are thin-walled bodies made of a flexible material having high strength (for example, alloy steel). Repeat business trips and indentations.

【0013】フレックススプライン31の外側には、剛
体のサーキュラースプライン41がはめられている。両
スプラインは、ウェーブジェネレータの肉厚部25aに
押されてフレックススプライン31が外に出張ったとき
に、スプラインの歯(フレックス外歯33とサーキュラ
ースプライン41の内歯43)がかみ合うような寸法関
係となっている。ウェーブジェネレータの肉薄部25b
の外側でフレックススプライン31が内側にへこんだと
きには、両スプラインの歯のかみ合いが完全にはずれる
ようになっている。図1の電動アクチュエータ1の断面
上半部は、ウェーブジェネレータ肉厚部25a回りの様
子を示し、下半部はウェーブジェネレータ肉薄部25b
回りの様子を示している。
A rigid circular spline 41 is fitted on the outside of the flex spline 31. Both splines have a dimensional relationship such that when the flex spline 31 travels outside due to being pushed by the thick portion 25a of the wave generator, the teeth of the spline (the flex outer teeth 33 and the inner teeth 43 of the circular spline 41) engage with each other. Has become. Thin portion 25b of wave generator
When the flex spline 31 is dented inward on the outside, the meshing of the teeth of both splines is completely displaced. The upper half of the cross section of the electric actuator 1 shown in FIG. 1 shows a state around the wave generator thick portion 25a, and the lower half thereof shows the wave generator thin portion 25b.
It shows the surroundings.

【0014】このようにして、フレックススプライン3
1の外歯33が、サーキュラースプライン41の内歯4
3に部分的に押し付けられるようにして、ウェーブジェ
ネレータ25が1回転する。ここで、フレックススプラ
イン31の外歯33の歯数は、サーキュラースプライン
41の内歯43の数よりも2枚以上少なくなっている。
そのため、ウェーブジェネレータ25が時計方向に1回
転すると、フレックススプライン31は、サーキュラー
スプライン41に対して歯数の差分だけ反時計方向に回
転することとなる。ウェーブジェネレータ25が回転を
続けると、フレックススプライン31も少しずつ回転す
る。この時の減速比は、フレックススプライン31の外
歯33の歯数を歯数の差で割った値となる。
In this way, the flex spline 3
The outer tooth 33 of 1 is the inner tooth 4 of the circular spline 41.
The wave generator 25 rotates once so that the wave generator 25 is partially pressed against the position 3. Here, the number of external teeth 33 of the flex spline 31 is two or more smaller than the number of internal teeth 43 of the circular spline 41.
Therefore, when the wave generator 25 makes one clockwise rotation, the flex spline 31 rotates counterclockwise with respect to the circular spline 41 by the difference in the number of teeth. When the wave generator 25 continues to rotate, the flex spline 31 also rotates little by little. The reduction ratio at this time is a value obtained by dividing the number of external teeth 33 of the flex spline 31 by the difference in the number of teeth.

【0015】次に本実施例の電動アクチュエータの回転
・直線運動変換部について説明する。この回転・直線運
動変換部は、ネジ機構を用いており、メネジ筒51と、
オネジ65を有する押棒61とから構成されている。メ
ネジ筒51のフランジ部53は、フレックススプライン
31のハブ39とボルト連結されているため、メネジ筒
51はフレックススプライン31と同じ回転数(低速)
で回転する。当然、メネジ筒51の円筒部55内面に切
られているメネジ57も回転する。なお、フレックスス
プライン31とメネジ筒とは一体物であってもよい。
Next, the rotation / linear motion conversion portion of the electric actuator of this embodiment will be described. This rotation / linear motion conversion unit uses a screw mechanism, and includes a female screw cylinder 51,
And a push rod 61 having a male screw 65. Since the flange portion 53 of the female screw cylinder 51 is bolted to the hub 39 of the flex spline 31, the female screw cylinder 51 has the same rotational speed (low speed) as the flex spline 31.
To rotate. Naturally, the female screw 57 cut on the inner surface of the cylindrical portion 55 of the female screw cylinder 51 also rotates. The flex spline 31 and the female screw cylinder may be integrated.

【0016】一方、押棒61は、ケーシング7に固定さ
れている固定内筒8に対して、回り止めピン10と回り
止めミゾ67によって、回転不能になっている。同時
に、押棒61は、メネジ筒51や固定内筒8に対して、
軸方向に摺動自在になっている。そのため、メネジ筒5
1が回転すると、メネジ57に押されてオネジ65が進
退する。このため、押棒61は、左あるいは右方向に動
く。なお、押棒61と固定内筒8等との摺動部に砲金ブ
シュ等を入れてもよい。
On the other hand, the push rod 61 cannot be rotated with respect to the fixed inner cylinder 8 fixed to the casing 7 by the rotation stop pin 10 and the rotation stop groove 67. At the same time, the push rod 61 is provided with respect to the female screw cylinder 51 and the fixed inner cylinder 8.
It is slidable in the axial direction. Therefore, the female screw cylinder 5
When 1 rotates, the female screw 57 pushes the male screw 65 back and forth. Therefore, the push rod 61 moves leftward or rightward. Note that a gun metal bush or the like may be inserted in the sliding portion between the push rod 61 and the fixed inner cylinder 8 or the like.

【0017】押棒61両端付近の外周面には、シール8
1、83が取り付けられており、ケーシング内と外界と
を遮っている。ケーシング内には、スプライン部の潤滑
のためのギア油が入れられている。このギア油を電動回
転部に入れないようにシールするためのシールを、電動
回転部と減速部との間に付加することがある。また、使
用目的によってはグリス等により、スプライン部の潤滑
を行なうこともある。
A seal 8 is provided on the outer peripheral surface near both ends of the push rod 61.
1, 83 are attached to block the inside of the casing from the outside. Gear oil for lubricating the spline portion is put in the casing. A seal for sealing the gear oil so as not to enter the electric rotating portion may be added between the electric rotating portion and the speed reducing portion. Further, depending on the purpose of use, the spline portion may be lubricated with grease or the like.

【0018】次に、この電動アクチュエータの位置検出
装置について説明する。フレックススプライン31のハ
ブ39には、ロータリーエンコーダー目盛り盤93が取
り付けられている。この目盛り盤の回転角を、固定内筒
8の内筒延長部9外面に取付けられているロータリーエ
ンコーダー検出部91で読み取る。この回転角から、押
棒61の移動位置を検出する。また、ロータリーエンコ
ーダーほど高精度検出の不要な場合は、ステータコイル
11の端部にマグネットセンサ95を取付けて、粗い回
転角を検出する。さらに検出がラフで良い場合は、リミ
ットスイッチ97、98により、押棒エンド63、69
の位置を検出してもよい。
Next, the position detecting device for the electric actuator will be described. A rotary encoder scale board 93 is attached to the hub 39 of the flex spline 31. The rotation angle of the graduation plate is read by the rotary encoder detection unit 91 attached to the outer surface of the inner cylinder extension 9 of the fixed inner cylinder 8. The moving position of the push rod 61 is detected from this rotation angle. Further, when it is not necessary to detect as highly accurately as the rotary encoder, a magnet sensor 95 is attached to the end of the stator coil 11 to detect a rough rotation angle. If the detection is rough, the limit switches 97 and 98 are used to push the push rod ends 63 and 69.
The position of may be detected.

【0019】本実施例では電動回転部内蔵型の電動アク
チュエータを説明したが、減速部と回転・直線運動変換
部のみを一体化し、これに市販のモータを接続すること
としても、一定の寸法コンパクト化効果は得られる。ま
た、回転・直線運動変換部の機構も、台形ネジのほか
に、ボールネジ等であってよい。また、押棒61を何か
に押しつける際には、電動回転部に通電を継続してトル
クをかけてもよい。あるいは、外力による押棒61の位
置ズレを防ぐため電動回転部に通電を継続することもで
きる。
In this embodiment, the electric actuator incorporating the electric rotating part has been described. However, even if only the speed reducing part and the rotary / linear motion converting part are integrated and a commercially available motor is connected to this, the size is compact. The conversion effect can be obtained. Further, the mechanism of the rotation / linear motion conversion unit may be a ball screw or the like in addition to the trapezoidal screw. Further, when the push rod 61 is pressed against something, the electric rotating portion may be continuously energized and torque may be applied. Alternatively, it is possible to continue energizing the electric rotating portion in order to prevent the push rod 61 from being displaced due to an external force.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の電動アクチュエータは以下の効果を発揮する。 電動回転部、高減速比減速部、回転・直線運動変換部
が一式のケーシング中に収められているため、寸法をコ
ンパクトにすることができる。 回転・直線運動変換部にネジ機構を採用する場合に
は、大きな反力を受けることが可能であり、ジャッキの
機能を持たせることができる。 高速回転部での回転角度を検知することもできるた
め、押棒の出入りの位置決め精度を高めることも可能で
ある。
As is apparent from the above description, the electric actuator of the present invention exhibits the following effects. Since the electric rotating unit, the high reduction ratio reducing unit, and the rotary / linear motion converting unit are housed in a set of casings, the size can be made compact. When a screw mechanism is used for the rotation / linear motion conversion unit, it is possible to receive a large reaction force and to have a jack function. Since it is possible to detect the rotation angle of the high-speed rotating portion, it is possible to improve the positioning accuracy of the push rod in and out.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る電動アクチュエータの
内部構造を摸式的に示す断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an internal structure of an electric actuator according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の電動アクチュエータの減速部の減速メカ
ニズムを説明するための摸式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a deceleration mechanism of a deceleration portion of the electric actuator of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電動アクチュエータ 3 前部カバー 7 ケーシング 8 固定内筒 9 内筒延長部 10 回り止めピン 11 ステータコイル 13 ステータコ
ア 15 ロータマグネット 21 ロータシャフト 23 右端部 24 中央部 25 ウェーブジ
ェネレータ 29 だ円ベアリング 31 フレックス
スプライン 33 フレックス外歯 35 フレックス
筒 39 ハブ 41 サーキュラ
ースプライン 43 内歯 51 メネジ筒 53 フランジ部 55 円筒部 57 メネジ 61 押棒 63 左側エンド 65 オネジ 67 回り止めミゾ 69 右側エンド 71、73、75、77 ベアリング 81、83 シール 91 ロータリー
エンコーダー検出部 93 ロータリーエンコーダー目盛り盤 95 マグネットセンサ 96 信号線
1 Electric Actuator 3 Front Cover 7 Casing 8 Fixed Inner Cylinder 9 Inner Cylinder Extension 10 Rotation Stop Pin 11 Stator Coil 13 Stator Core 15 Rotor Magnet 21 Rotor Shaft 23 Right End 24 Central Part 25 Wave Generator 29 Elliptical Bearing 31 Flex Spline 33 Flex external tooth 35 Flex tube 39 Hub 41 Circular spline 43 Internal tooth 51 Female thread tube 53 Flange section 55 Cylindrical section 57 Female thread 61 Push rod 63 Left end 65 Male thread 67 Non-rotating groove 69 Right side end 71, 73, 75, 77 Bearing 81, 83 Sticker 91 Rotary encoder detection unit 93 Rotary encoder scale 95 Magnet sensor 96 Signal line

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ステータとロータとを含む電動回転部
と、 このロータのシャフトに連結された入力部材を含む高減
速比減速部と、 この高減速比減速部の出力部材によって駆動される回転
・直線運動変換部と、 この回転・直線運動変換部によって駆動される直線運動
部材と、を具備し;上記各部が一式のケーシング内に収
められていることを特徴とする電動アクチュエータ。
1. An electric rotating unit including a stator and a rotor, a high reduction ratio reduction unit including an input member connected to a shaft of the rotor, and a rotation unit driven by an output member of the high reduction ratio reduction unit. An electric actuator comprising: a linear motion conversion unit; and a linear motion member driven by the rotation / linear motion conversion unit; each of the above units being housed in a set of casings.
【請求項2】 上記高減速比減速部が、歯数がわずかに
異なる内歯スプラインと外歯スプラインとを有し、 両スプラインの歯のかみ合い位置が、上記入力部材の高
速回転に伴ってスプライン円周上を移動して両スプライ
ン間に位相差が生じ、この位相差によって上記出力部材
が低速回転し;上記回転・直線運動変換部が、上記出力
部材によって回転駆動されるメネジ筒と、このメネジ筒
のメネジと螺合するオネジと、を有し;上記直線運動部
材が、上記オネジによって駆動されるとともに、上記ケ
ーシングに回転不能かつ摺動自在に係合する押棒として
構成されている請求項1記載の電動アクチュエータ。
2. The high reduction ratio deceleration portion has an internal tooth spline and an external tooth spline having slightly different numbers of teeth, and the meshing position of the teeth of both splines is a spline according to the high speed rotation of the input member. A phase difference is generated between the splines by moving on the circumference, and the output member is rotated at a low speed by the phase difference; the rotation / linear motion converting portion is a female screw cylinder driven to rotate by the output member; A male screw threaded with a female thread of the female thread cylinder; the linear motion member is configured as a push rod which is driven by the male thread and is non-rotatably and slidably engaged with the casing. 1. The electric actuator according to 1.
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