JPH07122966A - Energy confinement type piezoelectric resonator - Google Patents
Energy confinement type piezoelectric resonatorInfo
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- JPH07122966A JPH07122966A JP26376993A JP26376993A JPH07122966A JP H07122966 A JPH07122966 A JP H07122966A JP 26376993 A JP26376993 A JP 26376993A JP 26376993 A JP26376993 A JP 26376993A JP H07122966 A JPH07122966 A JP H07122966A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、エネルギー閉じ込め型
の圧電共振子に関し、特に、圧電共振子の支持構造が改
良されたエネルギー閉じ込め型圧電共振子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an energy trapping type piezoelectric resonator, and more particularly to an energy trapping type piezoelectric resonator having an improved support structure for the piezoelectric resonator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、エネルギー閉じ込め型の圧電
共振子が周知である。エネルギー閉じ込め型の圧電共振
子は、共振エネルギーが、共振電極の重なり合っている
共振部に閉じ込められた構造を有し、従って共振部以外
の部分で機械的に保持することができ、かつ他の部材と
固定することが可能とされている。従って、圧電共振子
やフィルタに好適に用いられている。2. Description of the Related Art Piezoelectric resonators of energy trapping type are well known. The energy trapping type piezoelectric resonator has a structure in which resonance energy is trapped in the resonance part where the resonance electrodes are overlapped with each other, and therefore can be mechanically held at a part other than the resonance part and other members. It is possible to fix it. Therefore, it is preferably used for piezoelectric resonators and filters.
【０００３】しかしながら、エネルギーを閉じ込め得る
振動モードや素子形状にはかなりの制約があり、従っ
て、所望の周波数の共振子やフィルタを得ようとした場
合、エネルギー閉じ込め型の圧電共振子を用いて構成す
ることができない場合があった。However, there are considerable restrictions on vibration modes and element shapes capable of trapping energy. Therefore, when a resonator or filter having a desired frequency is to be obtained, an energy trapping type piezoelectric resonator is used. There were times when you couldn't.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】他方、未だ公知ではな
いが、長さモード、すべりモードあるいは幅モード等の
種々の振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧
電共振子として、動吸振部を連結したものや、共振部の
寸法をある特定の範囲に設計することにより共振エネル
ギーの閉じ込めを可能とした構造が提案されている（特
願平５−２４１７４８や特願平５−８７４７３など）。On the other hand, although not yet known, the dynamic vibration absorbing part is connected as an energy trap type piezoelectric resonator utilizing various vibration modes such as a length mode, a sliding mode or a width mode. There has been proposed a structure in which the resonance energy can be confined by designing the size of the resonance part in a certain specific range (Japanese Patent Application No. 5-241748 and Japanese Patent Application No. 5-87473).
【０００５】上述した未だ公知ではないエネルギー閉じ
込め型圧電共振子の一例を図１を参照して説明する。図
１は、上記圧電共振子を用いたチップ型圧電共振部品を
示す分解斜視図である。圧電共振子１は、中央に長さモ
ードで振動する圧電共振部２を有する。圧電共振部２
は、矩形板状の圧電セラミック板２ａの両面の全面に共
振電極を形成した構造を有する。共振部２の長さ方向中
央部には、それぞれ、支持部を介して動吸振部３，４が
連結されている。動吸振部３，４は、共振部２から漏洩
してきた振動を受けて共振し、動吸振現象により漏洩し
てきた振動を打ち消すように作用する。動吸振現象の詳
細は、谷口修著「振動工学」第１１３頁〜第１１６頁
（コロナ社発行）に記載されている。An example of the energy trap type piezoelectric resonator, which is not yet known, will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an exploded perspective view showing a chip type piezoelectric resonance component using the piezoelectric resonator. The piezoelectric resonator 1 has a piezoelectric resonance portion 2 that vibrates in a length mode in the center. Piezoelectric resonator 2
Has a structure in which resonant electrodes are formed on the entire surfaces of both sides of a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 2a. The dynamic vibration absorbing parts 3 and 4 are connected to the center part of the resonance part 2 in the length direction via a supporting part. The dynamic vibration absorbing parts 3 and 4 receive the vibration leaked from the resonance part 2 to resonate, and act to cancel the leaked vibration due to the dynamic vibration absorbing phenomenon. Details of the dynamic vibration absorption phenomenon are described in Osamu Taniguchi, "Vibration Engineering", pages 113 to 116 (published by Corona Publishing Co.).
【０００６】圧電共振子１では、上記のように動吸振部
３，４が、圧電共振部２に連結されているため、動吸振
部３，４までの部分に共振エネルギーが閉じ込められ、
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子とされている。ま
た、動吸振部３，４の外側には、幅の細い連結部を介し
て、保持部５，６が連ねられている。なお、上記共振部
２、支持部、動吸振部３，４、連結部及び保持部５，６
は、圧電セラミック板を図示のような各部分を有する平
面形状に加工することにより形成されている。In the piezoelectric resonator 1, since the dynamic vibration absorbing parts 3 and 4 are connected to the piezoelectric resonant part 2 as described above, the resonance energy is confined in the parts up to the dynamic vibration absorbing parts 3 and 4.
It is an energy trap type piezoelectric resonator. Further, the holding portions 5 and 6 are connected to the outside of the dynamic vibration absorbing portions 3 and 4 via a narrow connecting portion. The resonance part 2, the support part, the dynamic vibration absorbing parts 3, 4, the connecting part, and the holding parts 5, 6 are provided.
Are formed by processing a piezoelectric ceramic plate into a planar shape having respective portions as shown in the drawing.
【０００７】また、共振部２の両面に形成された共振電
極は、それぞれ、引出し導電部を用いて、保持部５，６
の一方主面に形成された端子電極５ａに電気的に接続さ
れている。なお、保持部６側では、上記端子電極は下面
に形成されているため図示されていない。Further, the resonance electrodes formed on both sides of the resonance part 2 are respectively provided with the lead-out conductive parts, and the holding parts 5, 6 are provided.
It is electrically connected to the terminal electrode 5a formed on the one main surface. It should be noted that, on the side of the holding portion 6, the terminal electrodes are not shown because they are formed on the lower surface.
【０００８】上記圧電共振子１の側方には、コの字状の
スペーサー７，８が接着されている。スペーサー７，８
は、アルミナ等のセラミック板あるいは合成樹脂板から
なり、圧電共振子１と同等の厚みを有するように構成さ
れている。上記スペーサー７，８の内側には、切欠７
ａ，８ａが形成されており、それによって共振部２の振
動が妨げられないようにされている。On the lateral side of the piezoelectric resonator 1, U-shaped spacers 7 and 8 are adhered. Spacers 7, 8
Is made of a ceramic plate such as alumina or a synthetic resin plate, and has the same thickness as the piezoelectric resonator 1. A notch 7 is provided inside the spacers 7 and 8.
a and 8a are formed so that the vibration of the resonance part 2 is not disturbed.
【０００９】また、上記圧電共振子１にスペーサー７，
８を接着してなる共振プレート９の上下に、矩形枠状の
空洞形成用スペーサー１０，１１及びケース基板１２，
１３が積層される。空洞形成用のスペーサー１０，１１
は、それぞれ、共振部２及び動吸振部３，４の振動を妨
げないための空洞を上下に形成するために設けられてい
る。The piezoelectric resonator 1 has a spacer 7,
The cavity forming spacers 10 and 11 in the shape of a rectangular frame and the case substrate 12,
13 are stacked. Spacers 10 and 11 for forming cavities
Are provided to form cavities above and below, respectively, for preventing the vibration of the resonance part 2 and the dynamic vibration absorbing parts 3 and 4 from being disturbed.
【００１０】この圧電共振部品では、上記各部材を積層
し接着することにより一体型のチップ型圧電共振部品と
して構成される。しかしながら、共振プレート９を構成
するにあたり、圧電共振子１の側方に図示のようなスペ
ーサー７，８を別途用意し、かつ接着しなければなら
ず、製造工程が非常に煩雑であった。加えて、圧電共振
子１とスペーサー７，８との接着部分の密封性が充分で
ないことがあり、得られた圧電共振部品において耐湿性
等の耐環境特性が損なわれることがあった。In this piezoelectric resonance component, the above-mentioned members are laminated and adhered to each other to form an integrated chip-type piezoelectric resonance component. However, in constructing the resonance plate 9, spacers 7 and 8 as shown in the drawing must be separately prepared and bonded to the side of the piezoelectric resonator 1, and the manufacturing process was very complicated. In addition, the sealing property of the bonding portion between the piezoelectric resonator 1 and the spacers 7 and 8 may not be sufficient, and the obtained piezoelectric resonance component may have impaired environmental resistance such as moisture resistance.
【００１１】よって、本発明の目的は、矩形枠状の部材
内に圧電共振部を構成してなるエネルギー閉じ込め型の
圧電共振子において、製造工程を簡略化することがで
き、かつ密封性を高め得る構造を備えたものを提供する
ことにある。Therefore, it is an object of the present invention to simplify the manufacturing process and enhance the hermeticity of an energy trap type piezoelectric resonator in which the piezoelectric resonator is formed in a rectangular frame member. It is to provide the one with the structure to obtain.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、開口を有する矩形枠状の支持部材と、前記矩形枠状
の支持部材の開口内に配置されておりかつ支持部材に連
結された圧電共振子とを備え、前記圧電共振子及び前記
支持部材が一体の部材を用いて構成されておりかつ前記
圧電共振素子が、共振部と、共振部に連結された支持部
と、支持部に連結された動吸振部と、前記動吸振部に連
結された連結部とを有し、該連結部により前記支持部材
に連結されている、エネルギー閉じ込め型圧電共振子で
ある。According to a first aspect of the present invention, there is provided a support member having a rectangular frame shape having an opening, and a support member disposed in the opening of the support member having the rectangular frame shape and connected to the support member. A piezoelectric resonator, the piezoelectric resonator and the supporting member are formed by using an integral member, and the piezoelectric resonant element includes a resonant section, a supporting section connected to the resonant section, and a supporting section. An energy trapping type piezoelectric resonator, which has a dynamic vibration absorbing part connected to, and a connecting part connected to the dynamic absorbing part, and is connected to the supporting member by the connecting part.
【００１３】請求項２に記載の発明は、開口を有する矩
形枠状の支持部材と、前記支持部材の開口内に配置され
ておりかつ支持部材に連結された圧電共振素子とを備
え、前記圧電共振素子及び前記支持部材が一体の部材を
用いて構成されており、かつ、前記圧電共振素子が、一
対の短辺と、一対の長辺とを有し、両短辺の略中央部を
ノード点とする矩形板状の振動体と、前記ノード点とな
る振動体の両短辺略中央に連結された支持部とを有する
幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め型の共振
素子であり、前記支持部が前記支持部材に連ねられてい
る、エネルギー閉じ込め型圧電共振子である。According to a second aspect of the present invention, there is provided a support member having a rectangular frame shape having an opening, and a piezoelectric resonance element arranged in the opening of the support member and connected to the support member. The resonant element and the supporting member are configured by using an integral member, and the piezoelectric resonant element has a pair of short sides and a pair of long sides, and the substantially central portion of both short sides is a node. An energy trapping type resonance element utilizing a widening mode having a rectangular plate-shaped vibrating body serving as a point and a supporting portion connected to substantially the center of both short sides of the vibrating body serving as the node point. An energy trap type piezoelectric resonator having a portion connected to the support member.
【００１４】また、好ましくは、請求項３に記載のよう
に、前記幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め
型圧電共振素子は、短辺の長さをａ、長辺の長さをｂ、
ポアソン比をσとしたときに、前記長辺と短辺の長さの
比ｂ／ａが、Preferably, as described in claim 3, the energy trap type piezoelectric resonance element utilizing the width-spreading mode has a short side length a and a long side length b,
When the Poisson's ratio is σ, the ratio b / a of the lengths of the long side and the short side is
【００１５】[0015]
【数３】 [Equation 3]
【００１６】を中心として±１０％の範囲内とされてい
る矩形板状の振動体と、前記振動体の両短辺中央に連結
された支持部とを有する幅拡がりモードを利用したエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子である。Energy trapping type utilizing a widening mode having a rectangular plate-shaped vibrating body within a range of ± 10% with respect to the center and a support portion connected to the centers of both short sides of the vibrating body. It is a piezoelectric resonator.
【００１７】さらに、請求項４に記載の発明は、開口を
有する矩形枠状の支持部材と、前記支持部材の開口内に
配置されておりかつ支持部材に連結された圧電共振素子
とを備え、前記圧電共振素子及び前記支持部材が一体の
部材を用いて構成されており、かつ、前記圧電共振素子
が、一つの方向に分極処理された圧電体と、圧電体中央
部において対向するように圧電体の少なくとも一方主面
上に形成された第１，第２の共振電極と、前記第１，第
２の共振電極が前記分極方向と平行とされており、かつ
第１，第２の共振電極が対向しあっている共振部を挟む
ように、前記圧電体の対向２面に第１，第２の溝が形成
されているすべりモードを利用した共振素子である、エ
ネルギー閉じ込め型圧電共振子である。The invention according to claim 4 further comprises a rectangular frame-shaped support member having an opening, and a piezoelectric resonance element arranged in the opening of the support member and connected to the support member. The piezoelectric resonance element and the supporting member are configured by using an integral member, and the piezoelectric resonance element is arranged so as to face a piezoelectric body polarized in one direction at a central portion of the piezoelectric body. First and second resonant electrodes formed on at least one main surface of the body, the first and second resonant electrodes being parallel to the polarization direction, and the first and second resonant electrodes An energy trapping type piezoelectric resonator, which is a resonance element utilizing a sliding mode in which first and second grooves are formed on two opposing surfaces of the piezoelectric body so as to sandwich a resonance part facing each other. is there.
【００１８】また、好ましくは、請求項４に記載の発明
においては、請求項５に記載のように、前記すべりモー
ドを利用した共振素子では、対向しあっている第１，第
２の共振電極を結ぶ方向である第１の方向に沿う共振部
の長さをｂ、前記第１の方向と直交し、かつ第１，第２
の溝の深さ方向である第２の方向に沿う共振部の長さを
ａとし、圧電体を構成している材料のポアソン比をσと
したときに、比ｂ／ａが、Further, preferably, in the invention described in claim 4, as described in claim 5, in the resonance element utilizing the sliding mode, the first and second resonance electrodes facing each other. The length of the resonance part along the first direction, which is the direction connecting the two, is b, is orthogonal to the first direction, and is the first and second directions.
When the length of the resonance portion along the second direction, which is the depth direction of the groove, is a, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric body is σ, the ratio b / a is
【００１９】[0019]
【数４】 [Equation 4]
【００２０】を中心として±１０％の範囲内とされる。It is set within the range of ± 10% with respect to the center.
【００２１】[0021]
【作用及び発明の効果】請求項１に記載の発明では、上
記圧電共振素子が動吸振部を有するため、従来エネルギ
ー閉じ込めが不可能であると考えられていた振動モード
を利用してエネルギー閉じ込め型の圧電共振素子を構成
することができる。In the invention described in claim 1, since the piezoelectric resonance element has the dynamic vibration absorbing portion, the energy trapping type utilizing the vibration mode which is conventionally considered impossible to trap energy. The piezoelectric resonance element of can be configured.
【００２２】請求項２に記載の発明では、上記圧電共振
素子が、幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め
型圧電共振素子により構成されている。幅拡がりモード
とは、矩形板状の振動体の振動モードの１つであり、正
方形板の振動体の拡がりモード振動と、長方形板の振動
体の幅モード振動との間の振動姿態をとる振動モードで
ある。このような幅拡がりモードを利用した圧電共振素
子は、本願出願人が先に提出した特願平５−８７４７４
に開示されている。According to a second aspect of the present invention, the piezoelectric resonance element is composed of an energy trap type piezoelectric resonance element utilizing a width expansion mode. The width-spreading mode is one of the vibration modes of a rectangular plate-shaped vibrating body, and is a vibration mode between the spread-mode vibration of a square-plate vibrating body and the width-mode vibration of a rectangular-plate vibrating body. Mode. A piezoelectric resonance element using such a width-spreading mode is disclosed in Japanese Patent Application No. 5-87474 previously filed by the applicant of the present application.
Is disclosed in.
【００２３】幅拡がりモードを利用した圧電共振子で
は、振動のノード点が振動体の中心だけでなく、両短辺
略中央にも存在する。従って、請求項２に記載の発明に
用いられる圧電共振素子では、振動体の両短辺略中央
に、上記のように支持部を連結した構造とするだけで、
該支持部間に振動体の振動エネルギーを閉じ込めること
ができる。すなわち、エネルギー閉じ込め型の圧電共振
素子を容易に構成することができる。In the piezoelectric resonator utilizing the width-spreading mode, the node point of vibration exists not only at the center of the vibrating body but also at the approximate center of both short sides. Therefore, in the piezoelectric resonance element used in the invention described in claim 2, the structure is such that the support portion is connected to approximately the center of both short sides of the vibrating body as described above.
The vibration energy of the vibrating body can be trapped between the supporting portions. That is, the energy trap type piezoelectric resonance element can be easily configured.
【００２４】また、好ましくは、請求項３に記載のよう
に、幅拡がりモードを利用した振動体において、矩形板
状の振動体の長辺と短辺の長さの比ｂ／ａを上記特定の
範囲内とすることにより、幅拡がりモードが効率よく励
振され、かつ閉じ込められる。これは、本願発明者によ
り実験的に確かめられたものである（特願平５−８７４
７３）。Further, preferably, in the vibrating body using the width-spreading mode, the ratio b / a of the long side and the short side of the rectangular plate-shaped vibrating body is specified as described above. Within the range, the widening mode is efficiently excited and confined. This has been experimentally confirmed by the present inventor (Japanese Patent Application No. 5-874).
73).
【００２５】請求項４に記載の発明では、すべりモード
を利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振素子におい
て、共振部を挟むように第１，第２の溝が形成されてい
るため、該第１，第２の溝間の共振部にすべりモードの
振動が閉じ込められる。従って、第１，第２の溝の外側
の領域において共振部を支持することにより、エネルギ
ー閉じ込め型の圧電共振素子を構成することができる。
第１，第２の溝間に共振部を構成することによりすべり
モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子を実
現し得ることは、本願発明者が先に提出した特願平５−
２４１７４８号に開示されている。In the invention according to claim 4, in the energy trap type piezoelectric resonance element utilizing the sliding mode, the first and second grooves are formed so as to sandwich the resonance part. Therefore, the first and second grooves are formed. The vibration of the slip mode is trapped in the resonance part between the two grooves. Therefore, by supporting the resonance part in the regions outside the first and second grooves, an energy trap type piezoelectric resonance element can be constructed.
The fact that an energy trap type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode can be realized by forming a resonance portion between the first and second grooves is disclosed in Japanese Patent Application No.
No. 241748.
【００２６】また、請求項５に記載のように、好ましく
は、上記すべりモードを利用した圧電共振素子では、比
ｂ／ａが上記特定の範囲内とされるように構成され、そ
れによってすべりモードにより振動エネルギーが共振部
内により一層効果的に閉じ込められる。このことは、本
願発明者によって実験的に確かめられたものであり、上
記特願平５−２４１７４８号に開示されている。Further, as described in claim 5, preferably, in the piezoelectric resonance element utilizing the above-mentioned slip mode, the ratio b / a is configured to be within the above-mentioned specific range, whereby the slip mode is set. Thereby, the vibration energy is more effectively trapped in the resonance portion. This has been experimentally confirmed by the inventor of the present application and is disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application No. 5-241748.
【００２７】上記のように、請求項１〜５に記載の発明
で用いられる各圧電共振素子は、連結部あるいは支持部
により、支持されており、かつエネルギー閉じ込め型の
圧電共振素子として構成されており、さらに開口を有す
る矩形枠状の支持部材内に配置されており、かつ該支持
部材に連結されていることにおいて共通するものであ
る。As described above, each piezoelectric resonance element used in the invention described in claims 1 to 5 is supported by the connecting portion or the supporting portion, and is configured as an energy trapping type piezoelectric resonance element. However, they are common in that they are arranged in a rectangular frame-shaped support member having an opening and are connected to the support member.
【００２８】請求項１〜５に記載の発明では、上記各圧
電共振素子が、矩形枠状の支持部材と一体の部材で構成
されている。従って、圧電共振素子が、矩形枠状の支持
部材で囲まれており、かつ圧電共振素子の側方に接合部
分を有しないため、エネルギー閉じ込め型の圧電共振素
子を用いた圧電共振部品の密封性を高めることが可能と
なる。In each of the first to fifth aspects of the invention, each of the piezoelectric resonant elements is formed of a member integral with the rectangular frame-shaped support member. Therefore, since the piezoelectric resonance element is surrounded by the rectangular frame-shaped supporting member and does not have a joint portion on the side of the piezoelectric resonance element, the sealing property of the piezoelectric resonance component using the energy trap type piezoelectric resonance element is improved. It becomes possible to raise.
【００２９】また、請求項１〜５に記載の圧電共振子
は、上記圧電共振素子が支持部材と一体の部材で構成さ
れているため、矩形枠状の支持部材及び圧電共振素子を
構成するに当たり、圧電セラミック板や金属板に圧電薄
膜を形成した矩形の板状部材を、レーザー加工あるいは
エッチング等により容易に作製することができる。従っ
て、製造工程を簡略化することができる。Further, in the piezoelectric resonators according to the first to fifth aspects, since the piezoelectric resonance element is formed of a member integrated with the support member, the rectangular resonance support member and the piezoelectric resonance element are formed. A rectangular plate member having a piezoelectric thin film formed on a piezoelectric ceramic plate or a metal plate can be easily manufactured by laser processing, etching, or the like. Therefore, the manufacturing process can be simplified.
【００３０】よって、請求項１〜５の発明によれば、種
々の周波数で用い得るエネルギー閉じ込め型圧電共振子
であって、しかも、製造工程を簡略化することができ、
かつ耐湿性等の耐環境特性に優れた圧電共振部品を提供
することが可能となる。Therefore, according to the inventions of claims 1 to 5, it is an energy trap type piezoelectric resonator that can be used at various frequencies, and the manufacturing process can be simplified.
Further, it becomes possible to provide a piezoelectric resonance component having excellent environment resistance characteristics such as humidity resistance.
【００３１】[0031]
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより本発明を明らかにする。第１の実施例 図２は、第１の実施例の圧電共振子を構成するのに用い
られる圧電セラミック板を示す斜視図である。圧電セラ
ミック板２１は、矩形の圧電セラミック板を図示の形状
を有するように加工することにより構成されている。す
なわち、圧電セラミック板２１は、矩形枠状の支持部材
２２と、矩形枠状の支持部材２２の開口２２ａ内に配置
された圧電共振子を構成する圧電セラミック板部分２３
とを一体の部材で形成することにより構成されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings. First Embodiment FIG. 2 is a perspective view showing a piezoelectric ceramic plate used to construct the piezoelectric resonator of the first embodiment. The piezoelectric ceramic plate 21 is formed by processing a rectangular piezoelectric ceramic plate so as to have the shape shown in the drawing. That is, the piezoelectric ceramic plate 21 includes a rectangular frame-shaped support member 22 and a piezoelectric ceramic plate portion 23 that constitutes a piezoelectric resonator arranged in the opening 22 a of the rectangular frame-shaped support member 22.
And are formed by an integral member.
【００３２】ここでは、中央に、圧電共振部を構成する
ための細長い矩形板状の圧電セラミック板部分２３が配
置されており、該圧電セラミック板部分２３の両側に、
支持部２４，２５を介して、屈曲モードで共振する動吸
振部２６，２７が形成されている。動吸振部２６，２７
の外側の側面中央は、支持部２８，２９を介して、矩形
枠状の支持部材２２に連ねられている。Here, an elongated rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate portion 23 for forming a piezoelectric resonance portion is arranged in the center, and both sides of the piezoelectric ceramic plate portion 23 are arranged.
Dynamic vibration absorbing portions 26 and 27 that resonate in a bending mode are formed via the supporting portions 24 and 25. Dynamic vibration absorbing parts 26, 27
The center of the outer side surface of the is connected to the support member 22 having a rectangular frame shape via the support portions 28 and 29.
【００３３】本実施例では、上記圧電セラミック板２１
の上面に、図３に示すように、共振電極３３、引出し導
電部３４及び端子電極３５を形成し、さらにダミーの電
極３６を形成し、下面側において、共振電極３３と対向
するように第２の共振電極を形成し、該第２の共振電極
に接続された引出し導電部及び引出し導電部に接続され
た端子電極（上面側の電極３６と表裏対向するように形
成された電極）を形成することにより圧電共振素子が構
成されている。In this embodiment, the piezoelectric ceramic plate 21 is used.
As shown in FIG. 3, a resonance electrode 33, a lead-out conductive portion 34, and a terminal electrode 35 are formed on the upper surface of the second electrode, and a dummy electrode 36 is further formed on the upper surface of the second electrode so as to face the resonance electrode 33. Forming a resonance electrode, and forming a lead-out conductive portion connected to the second resonance electrode and a terminal electrode connected to the lead-out conductive portion (electrodes formed so as to face the upper surface side electrode 36 on the front and back sides). This constitutes a piezoelectric resonance element.
【００３４】上記各電極は、圧電セラミック板２１の上
面及び下面に蒸着、メッキもしくはスパッタリング等に
より導電性材料を付与することにより形成することがで
きる。The electrodes can be formed by applying a conductive material to the upper surface and the lower surface of the piezoelectric ceramic plate 21 by vapor deposition, plating, sputtering or the like.
【００３５】本実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子３０では、上記のように、矩形枠状の支持部材２２
と、圧電共振素子とが一体の部材すなわち図２に示した
圧電セラミック板２１を用いて構成されている。従っ
て、例えば図１に示した圧電共振部品における共振プレ
ート９に代えて用いることができる。よって、図１に示
した例では、スペーサー７，８と圧電共振子の接合部分
の密封性が充分でない場合があったが、本実施例の圧電
共振子３０ではこのような接合部分を有しないため、密
封性に優れた圧電共振部品を得ることができる。In the energy trap type piezoelectric resonator 30 of the present embodiment, as described above, the rectangular frame-shaped support member 22 is used.
And the piezoelectric resonance element are formed by using an integrated member, that is, the piezoelectric ceramic plate 21 shown in FIG. Therefore, for example, it can be used in place of the resonance plate 9 in the piezoelectric resonance component shown in FIG. Therefore, in the example shown in FIG. 1, there is a case where the joint between the spacers 7 and 8 and the piezoelectric resonator is not sufficiently sealed, but the piezoelectric resonator 30 of the present embodiment does not have such a joint. Therefore, it is possible to obtain a piezoelectric resonance component having excellent sealing performance.
【００３６】第２の実施例 図４（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施例に係る圧電共振
子を説明するための斜視図及び平面図である。 Second Embodiment FIGS. 4A and 4B are a perspective view and a plan view for explaining a piezoelectric resonator according to a second embodiment.
【００３７】本実施例の圧電共振子４０では、第１の実
施例の場合と同様に、圧電セラミック板をレーザー加工
あるいはエッチングにより加工することにより、矩形枠
状の支持部材４１と、該支持部材４１内に配置された圧
電共振素子４２を構成する部分とが一体に構成されたプ
レート４３が得られる。従って、第１の実施例の場合と
同様に、圧電共振素子の側方にスペーサーを接合する煩
雑な作業を省略することができる。In the piezoelectric resonator 40 of this embodiment, as in the case of the first embodiment, the piezoelectric ceramic plate is processed by laser processing or etching to form a rectangular frame-shaped supporting member 41 and the supporting member 41. A plate 43 is obtained which is integrally formed with the portion of the piezoelectric resonance element 42 disposed inside 41. Therefore, as in the case of the first embodiment, the complicated work of joining the spacer to the side of the piezoelectric resonance element can be omitted.
【００３８】本実施例の特徴は、上記圧電共振素子４２
が、動吸振部を有するすべりモードを利用したエネルギ
ー閉じ込め型の圧電共振素子で構成されていることにあ
る。すなわち、圧電共振素子４２は、分極軸が矢印Ｐで
示すように長手方向に揃うように分極処理された細長い
圧電板部分４４を有する。圧電板部分４４の上面には、
両端縁に沿うように第１，第２の共振電極４５，４６が
形成されている。The feature of this embodiment is that the piezoelectric resonance element 42 is used.
However, it is composed of an energy trap type piezoelectric resonance element using a sliding mode having a dynamic vibration absorbing portion. That is, the piezoelectric resonance element 42 has an elongated piezoelectric plate portion 44 that is polarized so that the polarization axes are aligned in the longitudinal direction as shown by the arrow P. On the upper surface of the piezoelectric plate portion 44,
First and second resonance electrodes 45 and 46 are formed along both edges.
【００３９】第１，第２の共振電極４５，４６は、圧電
板部分４４の上面中央部分において対向し合うように配
置されている。また、第１の共振電極４５の先端側に
は、第１の溝４７が、第２の共振電極４６の先端には、
第２の溝４８が形成されている。そして、第１，第２の
溝４７，４８で挟まれている部分、すなわち、第１，第
２の共振電極４５，４６を結ぶ方向（第２の方向）に沿
う共振部の長さをａ、上記第１の方向、すなわち共振電
極の共振部で延びている方向、本例では分極方向Ｐに沿
う共振部の長さをｂとし、圧電板を構成しているポアソ
ン比σとしたときに、比ｂ／ａが、上記式（２）を満た
す値を中心として、±１０％の範囲内とされている。The first and second resonance electrodes 45 and 46 are arranged to face each other in the central portion of the upper surface of the piezoelectric plate portion 44. Further, a first groove 47 is provided on the tip side of the first resonance electrode 45, and a tip is provided on the tip end of the second resonance electrode 46.
The second groove 48 is formed. Then, a portion sandwiched by the first and second grooves 47 and 48, that is, a length of the resonance portion along a direction (second direction) connecting the first and second resonance electrodes 45 and 46 is a. When the above-mentioned first direction, that is, the direction extending in the resonance part of the resonance electrode, in this example, the length of the resonance part along the polarization direction P is b and the Poisson's ratio σ that constitutes the piezoelectric plate is , The ratio b / a is set within a range of ± 10% around a value satisfying the above expression (2).
【００４０】また、第１，第２の溝４７，４８よりも外
側に、それぞれ、第１，第２の溝４７，４８と平行に、
第３，第４の溝４９，５０が形成され、それによって動
吸振部５１，５２が形成されている。動吸振部５１，５
２は、共振部から漏洩してきた振動を相殺するために設
けられている。Further, outside the first and second grooves 47 and 48, respectively, in parallel with the first and second grooves 47 and 48,
The third and fourth grooves 49, 50 are formed, and thereby the dynamic vibration absorbing parts 51, 52 are formed. Dynamic vibration absorbing parts 51, 5
2 is provided in order to cancel the vibration leaked from the resonance part.
【００４１】また、上記第３，第４の溝４９，５０が形
成されている圧電セラミック板部分が、上記矩形枠状の
支持部材４１に連ねられている。第１，第２の共振電極
４５，４６は、それぞれ、矩形枠状の支持部材４１の上
面に形成された端子電極５３，５４に電気的に接続され
ている。Further, the piezoelectric ceramic plate portion in which the third and fourth grooves 49, 50 are formed is connected to the rectangular frame-shaped support member 41. The first and second resonance electrodes 45 and 46 are electrically connected to the terminal electrodes 53 and 54 formed on the upper surface of the rectangular frame-shaped support member 41, respectively.
【００４２】従って、本実施例のエネルギー閉じ込め型
の圧電共振子４０では、端子電極５３，５４から交流電
圧を印加することにより、共振部がすべりモードで励振
される。そして、この共振エネルギーは、特願平５−２
４１７４８号に開示されているように、共振部が上記特
定の寸法比を有するように構成されているため、該共振
部に効果的に閉じ込められる。Therefore, in the energy trap type piezoelectric resonator 40 of the present embodiment, the resonance portion is excited in the slip mode by applying the AC voltage from the terminal electrodes 53 and 54. And this resonance energy is applied to Japanese Patent Application No. 5-2.
As disclosed in Japanese Patent No. 41748, the resonator is configured so as to have the above-mentioned specific dimensional ratio, so that the resonator is effectively confined in the resonator.
【００４３】しかも、共振部の外側に、上記動吸振部５
１，５２が構成されているため、該動吸振部５１，５２
により、僅かながら漏洩してきた振動がさらに相殺され
ることになる。従って、動吸振部５１，５２までの部分
に、振動エネルギーが確実に閉じ込められる。Moreover, the dynamic vibration absorbing portion 5 is provided outside the resonance portion.
1, 52 are configured, the dynamic vibration absorbing parts 51, 52
As a result, the vibration that has leaked out a little is further offset. Therefore, the vibration energy is reliably confined in the portions up to the dynamic vibration absorbing parts 51 and 52.
【００４４】さらに、第１の実施例と同様に、支持部材
４１と圧電共振素子４２とが一体の部材を用いて、すな
わち１枚の圧電セラミック板を用いて構成されているた
め、図１に示した共振プレート８に比べて圧電共振部品
を構成した場合の密封性を高めることができる。Further, as in the first embodiment, the supporting member 41 and the piezoelectric resonance element 42 are formed by using an integral member, that is, by using one piezoelectric ceramic plate. As compared with the resonance plate 8 shown, it is possible to improve the sealing performance when the piezoelectric resonance component is configured.
【００４５】第３の実施例 図５は、第３の実施例に係るエネルギー閉じ込め型圧電
共振子を示す斜視図である。本実施例の圧電共振子６１
は、矩形枠状の支持部材６２と、該矩形枠状の支持部材
６２の開口６２ａ内に配置された圧電共振素子６３とを
有する。そして、圧電共振素子６３及び支持部材６２
が、第１の実施例と同様に、矩形の圧電セラミック板
を、図示の平面形状を有するようにレーザービーム加工
あるいはエッチング等により加工することにより形成さ
れている。 Third Embodiment FIG. 5 is a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator according to a third embodiment. Piezoelectric resonator 61 of the present embodiment
Has a rectangular frame-shaped support member 62, and a piezoelectric resonance element 63 arranged in the opening 62a of the rectangular frame-shaped support member 62. Then, the piezoelectric resonance element 63 and the support member 62
However, similarly to the first embodiment, the rectangular piezoelectric ceramic plate is formed by laser beam processing or etching so as to have the planar shape shown in the drawing.
【００４６】第１の実施例と異なるところは、支持部材
６２の開口６２ａ内に配置されている圧電共振素子６３
にある。圧電共振素子６３は、矩形板状の圧電セラミッ
ク板部分６４を有し、該圧電セラミック板部分６４は、
図示の矢印Ｐ方向に分極軸が揃うように分極処理されて
いる。矩形板状の圧電セラミック板部分６４は、請求項
２に記載の発明における矩形板状の振動体に相当し、本
実施例では、該圧電セラミック板部分６４の長辺ｂと短
辺ａとの長さの比ｂ／ａが、上述した式（１）を満たす
ように構成されている。The difference from the first embodiment is that the piezoelectric resonance element 63 arranged in the opening 62a of the support member 62.
It is in. The piezoelectric resonance element 63 has a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate portion 64, and the piezoelectric ceramic plate portion 64 is
The polarization process is performed so that the polarization axes are aligned in the direction of the arrow P shown. The rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate portion 64 corresponds to the rectangular plate-shaped vibrating body in the invention described in claim 2. In this embodiment, the piezoelectric ceramic plate portion 64 has a long side b and a short side a. The length ratio b / a is configured to satisfy the above-mentioned formula (1).
【００４７】また、圧電セラミック板部分６４の上面に
おいて、両端に沿うように、第１，第２の共振電極６
５，６６が形成されている。第１，第２の共振電極６
５，６６は、引出し導電部により、支持部材６２の上面
に形成された第１，第２の端子電極６７，６８に電気的
に接続されている。本実施例では、第１，第２の端子電
極６７，６８から交流電圧を印加することにより、圧電
共振部が幅モードで励振される。そして、この場合、共
振部６９の外側には、動吸振部７０，７１が、それぞ
れ、支持部を介して連結されているため、漏洩してきた
振動エネルギーが動吸振部７０、７１により動吸振現象
により相殺される。従って、動吸振部７０、７１が設け
られている部分までに振動エネルギーが一層効果的に閉
じ込められる。Further, on the upper surface of the piezoelectric ceramic plate portion 64, the first and second resonance electrodes 6 are arranged along both ends.
5, 66 are formed. First and second resonance electrodes 6
Reference numerals 5 and 66 are electrically connected to the first and second terminal electrodes 67 and 68 formed on the upper surface of the support member 62 by lead-out conductive portions. In this embodiment, by applying an AC voltage from the first and second terminal electrodes 67 and 68, the piezoelectric resonance part is excited in the width mode. In this case, since the dynamic vibration absorbing parts 70 and 71 are connected to the outside of the resonance part 69 via the supporting parts, respectively, the leaked vibration energy is absorbed by the dynamic vibration absorbing parts 70 and 71. Offset by. Therefore, the vibration energy is more effectively trapped in the area where the dynamic vibration absorbing parts 70 and 71 are provided.
【００４８】第３の実施例においても、支持部材６２と
圧電共振素子６３が一体の部材を用いて構成されている
ため、第１の実施例と同様に製造工程を簡略化すること
ができ、かつ圧電共振部品を構成した場合の密封性を高
めることができる。Also in the third embodiment, since the support member 62 and the piezoelectric resonance element 63 are formed by using an integral member, the manufacturing process can be simplified as in the first embodiment. In addition, it is possible to improve the sealing performance when the piezoelectric resonance component is configured.
【００４９】第４の実施例 図６は、第４の実施例に係る圧電共振子を示す斜視図で
ある。圧電共振子８１は、第３の実施例に係る圧電共振
子６１とほぼ同様に構成されている。異なる点は、支持
部材６２の開口６２ａ内に配置された圧電共振素子８３
の共振部にある。すなわち、共振部は、厚み方向に一様
に分極処理された矩形板状の圧電セラミック板部分８４
ａを有し、圧電セラミック板部分８４ａの両主面の全面
に共振電極８５（下面側の共振電極は図示されず）を形
成することにより構成されている。共振電極８５は、引
出し導電部により、第１の端子電極８６に電気的に接続
されている。 Fourth Embodiment FIG. 6 is a perspective view showing a piezoelectric resonator according to a fourth embodiment. The piezoelectric resonator 81 has substantially the same structure as the piezoelectric resonator 61 according to the third embodiment. The different point is that the piezoelectric resonance element 83 arranged in the opening 62 a of the support member 62.
In the resonance part of. That is, the resonance portion is a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate portion 84 that is uniformly polarized in the thickness direction.
a, and is formed by forming a resonance electrode 85 (the resonance electrode on the lower surface side is not shown) over the entire surfaces of both main surfaces of the piezoelectric ceramic plate portion 84a. The resonance electrode 85 is electrically connected to the first terminal electrode 86 by the extraction conductive portion.
【００５０】また、下面側の共振電極も同じく引出し導
電部により、下面側に形成された第２の端子電極（図示
されず）に電気的に接続されている。なお、第２の端子
電極は、上面側に形成されたダミーの電極８７と表裏対
向する位置に形成されている。The resonance electrode on the lower surface side is also electrically connected to the second terminal electrode (not shown) formed on the lower surface side by the lead-out conductive portion. The second terminal electrode is formed at a position facing the front and back of the dummy electrode 87 formed on the upper surface side.
【００５１】その他の点については、第３の実施例と同
様であるため、同一部分について同一参照番号を付する
ことによりその説明は省略する。本実施例おいても、圧
電共振素子８３が支持部材６２と一体の部材を用いて構
成されているため、製造工程の簡略化及び密封性の向上
を図ることができる。また、動吸振部７０，７１により
該動吸振部７０，７１が設けられている部分までに、上
記幅拡がり振動モードによる振動エネルギーが閉じ込め
られる。従って、エネルギー閉じ込め型の圧電共振子と
して構成されている。Since the other points are the same as those of the third embodiment, the same parts are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Also in this embodiment, since the piezoelectric resonance element 83 is configured by using a member integrated with the support member 62, the manufacturing process can be simplified and the sealing performance can be improved. Further, the vibration energy due to the above-described widening vibration mode is confined by the dynamic vibration absorbing portions 70, 71 to the portion where the dynamic vibration absorbing portions 70, 71 are provided. Therefore, it is configured as an energy trap type piezoelectric resonator.
【００５２】第５の実施例 図７（ａ）及び（ｂ）は、第５の実施例に係る圧電共振
子を説明するための斜視図及び平面図である。 Fifth Embodiment FIGS. 7A and 7B are a perspective view and a plan view for explaining a piezoelectric resonator according to a fifth embodiment.
【００５３】本実施例の圧電共振子９１は、第２の実施
例の圧電共振子４０の変形例に相当する。すなわち、本
実施例の圧電共振子９１においても、矩形枠状の支持部
材４１と、圧電共振素子９２とが一体の部材を用いて構
成されている。異なるところは、圧電共振素子９３で
は、図４に示した動吸振部４９，５０が設けられていな
いことにある。The piezoelectric resonator 91 of this embodiment corresponds to a modification of the piezoelectric resonator 40 of the second embodiment. That is, also in the piezoelectric resonator 91 of the present embodiment, the rectangular frame-shaped support member 41 and the piezoelectric resonance element 92 are configured using an integral member. The difference is that in the piezoelectric resonance element 93, the dynamic vibration absorbing parts 49 and 50 shown in FIG. 4 are not provided.
【００５４】従って、動吸振現象により共振エネルギー
が閉じ込められる構造ではないが、共振部４４は、前述
したように、第１，第２の共振電極４５，４６間を結ぶ
方向の長さをａ、第１，第２の溝４７，４８間に位置し
ている共振部の分極方向Ｐに沿う長さをｂとし、圧電板
を構成している材料のポアソン比をσとしてときに、前
述した式（２）を満たす値を中心として±１０％の範囲
内とされている。従って、すべりモードの振動エネルギ
ーが、共振部４４に閉じ込められる。Therefore, although the resonance energy is not confined by the dynamic vibration absorption phenomenon, the resonance portion 44 has the length a in the direction connecting the first and second resonance electrodes 45 and 46, as described above. When the length along the polarization direction P of the resonance part located between the first and second grooves 47 and 48 is b and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric plate is σ, It is set within a range of ± 10% around the value satisfying (2). Therefore, the vibration energy of the slip mode is confined in the resonance portion 44.
【００５５】第５の実施例においても、第２の実施例と
同様に、矩形枠状の支持部材４１と圧電共振素子９２と
が一体の部材を用いて構成されているため、第２の実施
例と同様に製造工程の簡略化及び圧電共振部品として構
成した場合の密封性の向上を図り得る。Also in the fifth embodiment, as in the second embodiment, the rectangular frame-shaped support member 41 and the piezoelectric resonance element 92 are formed by using an integral member, so that the second embodiment is performed. Similar to the example, it is possible to simplify the manufacturing process and improve the sealing performance when configured as a piezoelectric resonance component.
【００５６】第６の実施例 図８は、第６の実施例に係る圧電共振素子を説明するた
めの斜視図である。第６の実施例に係る圧電共振素子１
０１は、矩形枠状の支持部材１０２と、支持部材１０２
の中央の開口１０２ａ内に配置された圧電共振素子１０
３とを有する。圧電共振素子１０３は、矩形の板状の圧
電セラミック板部分１０４を有する。圧電セラミック板
部分１０４は、厚み方向に分極軸が揃うように分極処理
されている。 Sixth Embodiment FIG. 8 is a perspective view for explaining a piezoelectric resonance element according to a sixth embodiment. Piezoelectric resonance element 1 according to sixth embodiment
01 is a rectangular frame-shaped support member 102, and the support member 102.
Of the piezoelectric resonance element 10 disposed in the opening 102a at the center of the
3 and 3. The piezoelectric resonance element 103 has a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate portion 104. The piezoelectric ceramic plate portion 104 is polarized so that the polarization axes are aligned in the thickness direction.
【００５７】また、圧電セラミック板部分１０４の両主
面に共振電極１０５（下面側の共振電極は図示されず）
が図示されている。共振電極１０５は、支持部１０６上
に形成された引出し導電部１０７を介して第１の端子電
極１０８に電気的に接続されている。また、支持部材１
０２上には、ダミーの電極１０９が形成されており、該
ダミーの電極１０９と表裏対向する位置に、すなわち支
持部材１０２の下面側に第２の端子電極が形成されてお
り、該第２の端子電極が下面側の共振電極と引出し導電
部を介して電気的に接続されている。Resonant electrodes 105 (resonant electrodes on the lower surface side are not shown) are formed on both main surfaces of the piezoelectric ceramic plate portion 104.
Is shown. The resonance electrode 105 is electrically connected to the first terminal electrode 108 via the lead-out conductive portion 107 formed on the support portion 106. Also, the support member 1
02, a dummy electrode 109 is formed, and a second terminal electrode is formed at a position facing the dummy electrode 109, that is, on the lower surface side of the support member 102. The terminal electrode is electrically connected to the resonance electrode on the lower surface side through the lead-out conductive portion.
【００５８】また、上記圧電共振素子１０３では、共振
部すなわち圧電セラミック板部分１０４の寸法が、前述
した式（１）を満たす値を中心として±１０％の範囲内
とされている。従って、第１，第２の端子電極から交流
電圧を印加することにより、圧電セラミック板１０４に
構成された共振部が幅モードで励振されるが、この振動
エネルギーが共振部に閉じ込められる。In the piezoelectric resonance element 103, the size of the resonance portion, that is, the piezoelectric ceramic plate portion 104 is within ± 10% around the value satisfying the above-mentioned formula (1). Therefore, by applying an AC voltage from the first and second terminal electrodes, the resonance part formed on the piezoelectric ceramic plate 104 is excited in the width mode, but this vibration energy is trapped in the resonance part.
【００５９】第６の実施例においても、圧電共振素子１
０３と支持部材１０２とが一体の部材を用いて構成され
ているため、製造工程の簡略化及び圧電共振部品を構成
した場合の密封性の向上を図ることができる。Also in the sixth embodiment, the piezoelectric resonance element 1
Since 03 and the support member 102 are configured by using an integral member, it is possible to simplify the manufacturing process and improve the sealing performance when the piezoelectric resonance component is configured.
【００６０】変形例 上述してきた実施例では、矩形の圧電セラミック板を用
意し、レーザービーム加工あるいはエッチング等により
上記支持部材及び圧電共振子を構成する部分を形成し得
るが、請求項１〜５に記載の発明の圧電共振子は、他の
方法によって構成することもできる。例えば、矩形板状
の金属板や半導体プレートを用意し、図９に示すよう
に、矩形枠状の支持部材１１２及び圧電共振素子を構成
する部分１１３を有するように金属板を打ち抜き、ある
いはエッチングし、次に、圧電共振素子を構成する部分
１１３の上面に、圧電薄膜１１４を付与し、さらに圧電
薄膜１１４の上面に図示しない一方の共振電極を形成す
ることによっても構成することができる。この場合、圧
電薄膜１１４の下面側の共振電極は上記金属板よりなる
圧電共振素子を構成する部分１１３により兼用すること
ができる。 Modifications In the above-described embodiments, a rectangular piezoelectric ceramic plate is prepared, and the portions constituting the supporting member and the piezoelectric resonator can be formed by laser beam processing, etching or the like. The piezoelectric resonator of the invention described in 1) can be constructed by other methods. For example, a rectangular metal plate or a semiconductor plate is prepared, and as shown in FIG. 9, the metal plate is punched or etched so as to have a rectangular frame-shaped support member 112 and a portion 113 that constitutes a piezoelectric resonance element. Then, the piezoelectric thin film 114 may be formed by applying a piezoelectric thin film 114 to the upper surface of the portion 113 constituting the piezoelectric resonant element and further forming one resonance electrode (not shown) on the upper surface of the piezoelectric thin film 114. In this case, the resonance electrode on the lower surface side of the piezoelectric thin film 114 can also be used as the portion 113 forming the piezoelectric resonance element made of the metal plate.
【００６１】また、圧電薄膜１１４の上面に形成される
共振電極については、支持部材１１２や動吸振部１１
５，１１６上を通過する部分に絶縁層を形成し、該絶縁
層上に引出し導電部及び端子電極を形成すればよい。Regarding the resonance electrode formed on the upper surface of the piezoelectric thin film 114, the supporting member 112 and the dynamic vibration absorbing portion 11 are provided.
It suffices to form an insulating layer in a portion passing over 5,116 and form a lead-out conductive portion and a terminal electrode on the insulating layer.
【００６２】図９に示した例は、第１の実施例の変形例
であるが、第２〜第６の実施例においても同様に構成す
ることができる。また、金属板に代えて、半導体材料か
らなるプレートを用いてもよい。さらに、圧電薄膜とし
ては、圧電セラミックスよりなるもののほか、圧電単結
晶からなるものであってもよい。The example shown in FIG. 9 is a modification of the first embodiment, but the second to sixth embodiments can be similarly constructed. A plate made of a semiconductor material may be used instead of the metal plate. Further, the piezoelectric thin film may be made of a piezoelectric single crystal instead of being made of piezoelectric ceramics.
【００６３】図１０は、本発明の第７の実施例にかかる
圧電共振子を示し、図１０（ａ）及び（ｂ）は、それぞ
れ、該圧電共振子の平面図及び圧電板を透かして下方の
電極形状を示した模式的平面図である。FIG. 10 shows a piezoelectric resonator according to a seventh embodiment of the present invention, and FIGS. 10 (a) and 10 (b) respectively show a plan view of the piezoelectric resonator and a piezoelectric plate through the piezoelectric plate. FIG. 3 is a schematic plan view showing the electrode shape of FIG.
【００６４】第７の実施例にかかる圧電共振子１３１
は、２重モードを圧電フィルタを構成するためのもので
あり、長さ振動モードを利用した第１，第２の圧電共振
子ユニット１３２，１３３を有する。圧電共振ユニット
１３２，１３３は、厚み方向に一様に分極処理された細
長い矩形の圧電セラミック板部分の一方主面に共振電極
を構成するための電極１３２ａ，１３３ａを形成し、下
面にアース電極として機能する電極１３２ｂ，１３３ｂ
を形成した構造を有する。Piezoelectric resonator 131 according to the seventh embodiment
Is for configuring a piezoelectric filter having a double mode, and has first and second piezoelectric resonator units 132 and 133 using a length vibration mode. The piezoelectric resonance units 132 and 133 have electrodes 132a and 133a for forming a resonance electrode on one main surface of an elongated rectangular piezoelectric ceramic plate portion uniformly polarized in the thickness direction, and serve as ground electrodes on the lower surface. Functional electrodes 132b and 133b
Is formed.
【００６５】第１，第２の圧電共振ユニット１３２，１
３３は、それぞれ、長さ振動モードで励振されるが、そ
の振動のノード点同士が連結材１３４により連結されて
いる。また、下面においては、電極１３２ｂと１３３ｂ
とが、連結部材の下面に形成された接続導電部により相
互に電気的に接続されている。従って、電極１３２ａま
たは１３３ａを入力電極もしくは出力電極とし、下面の
電極１３２ｂ，１３３ｂをアース電極として用いること
により、対称モード及び非対称モードを利用した２重モ
ード圧電フィルタが構成される。The first and second piezoelectric resonance units 132, 1
Each of 33 is excited in the length vibration mode, and the node points of the vibration are connected by the connecting member 134. Also, on the lower surface, electrodes 132b and 133b
And are electrically connected to each other by a connecting conductive portion formed on the lower surface of the connecting member. Therefore, by using the electrode 132a or 133a as an input electrode or an output electrode and using the electrodes 132b, 133b on the lower surface as a ground electrode, a dual mode piezoelectric filter utilizing a symmetric mode and an asymmetric mode is constructed.
【００６６】本実施例は、上記２個の圧電共振ユニット
１３２，１３３を用いたことに特徴を有し、その他の点
については、第１の実施例の圧電共振子と同様に構成さ
れている。すなわち、第１，第２の圧電共振ユニット１
３２，１３３の外側には、それぞれ、振動伝達部を介し
て屈曲モードで共振される動吸振部１３５，１３６が構
成されており、動吸振部１３５，１３６の外側端が連結
バーを介して矩形枠状の支持部材１３７に連結されてい
る。従って、矩形枠状の支持部材１３７の開口１３７ａ
内に、第１，第２の圧電共振ユニット１３２，１３３等
が配置されている。The present embodiment is characterized in that the two piezoelectric resonance units 132 and 133 described above are used, and in other respects, it is configured similarly to the piezoelectric resonator of the first embodiment. . That is, the first and second piezoelectric resonance units 1
Outside of 32 and 133, dynamic vibration absorbing parts 135 and 136 which are resonated in a bending mode via a vibration transmitting part are respectively configured, and the outer ends of the dynamic vibration absorbing parts 135 and 136 are rectangular via a connecting bar. It is connected to a frame-shaped support member 137. Therefore, the opening 137a of the support member 137 having a rectangular frame shape is formed.
Inside, the first and second piezoelectric resonance units 132, 133 and the like are arranged.
【００６７】また、これら開口１３７ａ内に配置された
第１，第２の圧電共振ユニット１３２，１３３等は、支
持部材１３７と一体に構成されている。すなわち、一枚
の圧電セラミック板を機械加工することにより、あるい
はエッチングすることにより図示のように平面形状を有
する一体の部材が得られている。The first and second piezoelectric resonance units 132, 133 and the like arranged in the openings 137a are formed integrally with the support member 137. That is, an integral member having a planar shape as shown in the drawing is obtained by machining one piezoelectric ceramic plate or by etching.
【００６８】第１〜第７の実施例では、圧電セラミック
板を用いたが、圧電セラミック板に代えて、圧電単結晶
板を用いてもよい。また、請求項１〜５に記載の発明の
圧電共振子を製作するにあたっては、好ましくは、図１
１に示すように、マザーのプレート１２１を用してもよ
い。マザーのプレート１２１をレーザービーム加工もし
くはエッチングにより加工し、それによって、複数の圧
電共振素子部分１２３，１２３と、矩形板状の支持部材
とを一体に形成する。しかる後、圧電共振素子部分１２
３，１２３に適宜の電極を蒸着、メッキもしくはスパッ
タリングにより形成し、さらに上下にマザーのケース基
板１２４，１２５を貼り合わせることにより、マザーの
圧電共振部品積層体を得ることができる。しかる後、該
マザーの積層体を厚み方向に切断し、個々のチップ型圧
電共振部品単位に切断することにより圧電共振部品を効
率よく製造することができる。Although the piezoelectric ceramic plate is used in the first to seventh embodiments, a piezoelectric single crystal plate may be used instead of the piezoelectric ceramic plate. When manufacturing the piezoelectric resonator of the invention described in claims 1 to 5, preferably,
As shown in FIG. 1, a mother plate 121 may be used. The mother plate 121 is processed by laser beam processing or etching, whereby a plurality of piezoelectric resonance element portions 123, 123 and a rectangular plate-shaped supporting member are integrally formed. After that, the piezoelectric resonance element portion 12
By forming appropriate electrodes on 3,123 by vapor deposition, plating or sputtering, and by bonding the mother case substrates 124 and 125 on the upper and lower sides, a mother piezoelectric resonance component laminate can be obtained. After that, the laminated body of the mother is cut in the thickness direction and cut into individual chip-type piezoelectric resonance component units, whereby the piezoelectric resonance component can be efficiently manufactured.
【００６９】なお、図１１において、１２５ａは凹部を
示し、圧電共振素子の振動を妨げないための空洞を形成
するために設けられている。なお、上記空洞１２５ａを
有しないケース基板を用いる場合には、図１に示した例
のように、空洞形成用スペーサーをケース基板１２４，
１２５と、プレート１２１との間に介在させればよい。In FIG. 11, reference numeral 125a denotes a concave portion, which is provided to form a cavity for preventing the vibration of the piezoelectric resonance element. When a case substrate having no cavity 125a is used, a cavity forming spacer is used as the case substrate 124, as in the example shown in FIG.
It may be interposed between the plate 125 and the plate 121.
【００７０】次に、第１の実施例のエネルギー閉じ込め
型圧電共振子の応用例としてのラダー型フィルタを図１
２及び図１３を参照して説明する。ラダー型フィルタ１
４０は、上から順にケース基板１４１、空洞形成用スペ
ーサー１４２、第１の共振プレート１４３、空洞形成用
スペーサー１４４、第２の共振プレート１４５、空洞用
形成スペーサー１４６、第３の共振プレート１４７、空
洞形成用スペーサー１４８、第４の共振プレート１４
９、空洞形成用スペーサー１５０及びケース基板１５１
を順に積層した構造を有する。Next, a ladder type filter as an application example of the energy trap type piezoelectric resonator of the first embodiment is shown in FIG.
2 and FIG. 13 will be described. Ladder type filter 1
Reference numeral 40 denotes a case substrate 141, a cavity forming spacer 142, a first resonance plate 143, a cavity forming spacer 144, a second resonance plate 145, a cavity forming spacer 146, a third resonance plate 147, and a cavity in order from the top. Forming spacer 148, fourth resonance plate 14
9, cavity forming spacer 150 and case substrate 151
Has a structure in which layers are sequentially stacked.
【００７１】上記各部材のうち、第２，第４の共振プレ
ート１４５，１４９が、第１の実施例で用いられたエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子３０とほぼ同様の構造の部
材を用いて構成されている。Of the above-mentioned members, the second and fourth resonance plates 145 and 149 are made of members having substantially the same structure as the energy trap type piezoelectric resonator 30 used in the first embodiment. ing.
【００７２】図１２を参照して、ケース基板１４１，１
５１は、図１に示したケース基板１２，１３と同様に絶
縁性セラミックスもしくは合成樹脂板等により構成され
ている。ケース基板１４１の下方に配置される第１の共
振プレート１４３の振動部分の振動を妨げないための空
間を形成するために、上記スペーサー１４２が挿入され
ている。同様に、形成基板１５１の上面側にも、第４の
共振プレート１４９の振動部分の振動を妨げないための
空間を確保するために、空洞形成用スペーサー１５０が
用いられている。Referring to FIG. 12, case substrates 141, 1
Reference numeral 51 is made of insulating ceramics, synthetic resin plate, or the like, like the case substrates 12 and 13 shown in FIG. The spacer 142 is inserted in order to form a space for not disturbing the vibration of the vibrating portion of the first resonance plate 143 arranged below the case substrate 141. Similarly, on the upper surface side of the formation substrate 151, a cavity forming spacer 150 is used in order to secure a space that does not hinder the vibration of the vibrating portion of the fourth resonance plate 149.
【００７３】空洞形成用スペーサー１４２，１５０は、
図示のように厚みの薄い矩形枠状の部材で構成されてい
るが、例えば合成樹脂その他の適宜の絶縁性材料で構成
することができる。なお、他の空洞形成用スペーサー１
４４，１４６，１４８についても、空洞形成用スペーサ
ー１４２，１５０と同様に構成される。The cavity forming spacers 142 and 150 are
As shown in the figure, it is composed of a thin rectangular frame-shaped member, but it may be composed of, for example, a synthetic resin or other appropriate insulating material. It should be noted that another cavity forming spacer 1
44, 146 and 148 are also configured similarly to the cavity forming spacers 142 and 150.
【００７４】第１の共振プレート１４３は、長さ振動モ
ードで振動する動吸振部内蔵型のエネルギー閉じ込め型
圧電共振部１５２ａを有する。圧電共振部１５２ａは、
細長い矩形板状の形状を有し、分極軸がその長さ方向に
沿うように分極処理されている。圧電共振部１５２ａの
長さ方向中央部には、支持部を介して、屈曲モードで共
振し得るように構成された動吸振部１５２ｄ，１５２ｅ
が構成されている。The first resonance plate 143 has an energy trap type piezoelectric resonance portion 152a with a built-in dynamic vibration absorbing portion that vibrates in a length vibration mode. The piezoelectric resonance part 152a is
It has an elongated rectangular plate shape, and is polarized so that the polarization axis is along the length direction. Dynamic vibration absorbing parts 152d and 152e configured to be able to resonate in a bending mode via a support part at the center part in the length direction of the piezoelectric resonance part 152a.
Is configured.
【００７５】第１の共振プレート１４３においても、第
２，第４の共振プレート１４５，１４９と同様に、圧電
共振部１５２ａ及び動吸振部１５２ｄ，１５２ｅ等が、
矩形枠状の支持部材１５４と一体に構成されている。Also in the first resonance plate 143, as in the second and fourth resonance plates 145, 149, the piezoelectric resonance portion 152a and the dynamic vibration absorbing portions 152d, 152e, etc.
It is configured integrally with the rectangular frame-shaped support member 154.
【００７６】なお、上記圧電共振部１５２ａでは、共振
電極１５２ｊ，１５２ｋが上面に形成されており、該共
振電極１５２ｊ，１５２ｋは、接続導電部を介して支持
部材上に形成された電極１５２ｍ，１５２ｎに電気的に
接続されている。Resonance electrodes 152j and 152k are formed on the upper surface of the piezoelectric resonance portion 152a, and the resonance electrodes 152j and 152k are formed on the support member via the connecting conductive portions. Electrically connected to.
【００７７】他方、第２の共振プレート１４５は、前述
したように、第１の実施例で用いられたエネルギー閉じ
込め型圧電共振子３０と同様に構成されている。すなわ
ち、矩形枠状の支持部材１５７の開口１５７ａ内に、動
吸振部内蔵型圧電共振部１５５を一体に構成した構造を
有する。On the other hand, the second resonance plate 145 has the same structure as the energy trap type piezoelectric resonator 30 used in the first embodiment, as described above. That is, it has a structure in which the dynamic vibration absorbing section built-in type piezoelectric resonance section 155 is integrally formed in the opening 157a of the rectangular frame-shaped supporting member 157.
【００７８】第３の共振プレート１４７は、第１の共振
プレート１４３に比べて支持部材側への電極の引出し方
が異なる点においてのみ異なり、他の部分は同様に構成
されている。The third resonance plate 147 is different from the first resonance plate 143 only in the way of extracting the electrode toward the support member side, and the other parts are configured in the same manner.
【００７９】同様に、第４の共振プレート１４９も、第
２の共振プレート１４５と支持部材側への電極の引出し
方が異なる点においてのみ異なる。すなわち、第４の共
振プレート１４９における圧電共振部１６１ａの上面に
形成された共振電極１６１ｂには、支持部材上の電極１
６１ｃが電気的に接続されており、該電極１６１ｃは、
支持部材１５７の一辺の中央部分に形成されているのに
対し、圧電共振部１６１ａの下面の全面に形成された共
振電極（図示されず）は、支持部材の一辺の下面におい
て、中央ではなく一方端に寄せて形成された電極１６１
ｍに電気的に接続されている。Similarly, the fourth resonance plate 149 also differs from the second resonance plate 145 only in how the electrodes are drawn out to the support member side. That is, in the resonance electrode 161b formed on the upper surface of the piezoelectric resonance portion 161a of the fourth resonance plate 149, the electrode 1 on the support member is
61c is electrically connected, and the electrode 161c is
While the resonance electrode (not shown) formed on the entire lower surface of the piezoelectric resonance part 161a is formed in the central portion of one side of the supporting member 157, it is not formed in the center but on one side of the lower surface of the supporting member. Electrode 161 formed close to the edge
It is electrically connected to m.
【００８０】上述した各部材を積層し、適宜の端子電極
を形成することにより、図１３に示すラダー型フィルタ
１４０を得ることができる。図１３において、１４０ａ
〜１４０ｆは端子電極を示す。なお、図１３において
は、相対的に厚みの薄いスペーサー１４２，１４４，１
４６，１４８の図示は省略されている。The ladder type filter 140 shown in FIG. 13 can be obtained by laminating the above-mentioned members and forming an appropriate terminal electrode. In FIG. 13, 140a
140f shows a terminal electrode. In addition, in FIG. 13, the spacers 142, 144, 1 having a relatively small thickness are used.
Illustration of 46 and 148 is omitted.
【図１】本発明をなす契機となった未だ公知ではないチ
ップ型圧電共振部品を説明するための分解斜視図。FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a chip-type piezoelectric resonance component which has not been publicly known as a trigger of the present invention.
【図２】第１の実施例に用いられる素子プレートを示す
斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing an element plate used in the first embodiment.
【図３】第１の実施例の圧電共振子を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing the piezoelectric resonator of the first embodiment.
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施例の圧電共振
子を説明するための斜視図及び平面図。4A and 4B are a perspective view and a plan view for explaining the piezoelectric resonator according to the second embodiment.
【図５】第３の実施例の圧電共振子の斜視図。FIG. 5 is a perspective view of a piezoelectric resonator according to a third embodiment.
【図６】第４の実施例の圧電共振子を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a piezoelectric resonator according to a fourth embodiment.
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、第５の実施例の圧電共振
子の圧電共振子の斜視図及び平面図。7A and 7B are a perspective view and a plan view of the piezoelectric resonator of the piezoelectric resonator of the fifth embodiment.
【図８】第６の実施例に係る圧電共振子を示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view showing a piezoelectric resonator according to a sixth embodiment.
【図９】金属板上に圧電薄膜を付与することにより形成
された圧電共振子を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing a piezoelectric resonator formed by applying a piezoelectric thin film on a metal plate.
【図１０】（ａ）及び（ｂ）は、第７の実施例の圧電共
振子を説明するための平面図及び圧電セラミック板を透
かして下方の電極形状を示した模式的平面図。10A and 10B are a plan view for explaining a piezoelectric resonator of a seventh embodiment and a schematic plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric ceramic plate.
【図１１】本発明の圧電共振子を用いて構成されるチッ
プ型圧電共振部品の製造方法を説明するための分解斜視
図。FIG. 11 is an exploded perspective view for explaining a method of manufacturing a chip type piezoelectric resonance component configured by using the piezoelectric resonator of the present invention.
【図１２】第１の実施例の圧電共振子を用いて構成され
たラダー型フィルタの分解斜視図。FIG. 12 is an exploded perspective view of a ladder type filter configured by using the piezoelectric resonator according to the first embodiment.
【図１３】ラダー型フィルタを示す斜視図。FIG. 13 is a perspective view showing a ladder type filter.
２２…支持部材 ２２ａ…開口 ２３…圧電共振部 ２５，２６…支持部 ２６，２７…動吸振部 ２８，２９…連結部 ３０…圧電共振子 ３３…共振電極 ３５…端子電極 ４０…圧電共振子 ４１…支持部材 ４１ａ…開口 ４３…圧電共振素子 ４５，４６…共振電極 ４７，４８…第１の溝 ５１，５２…動吸振部 ６１…圧電共振子 ６２…支持部材 ６２ａ…開口 ６３…圧電共振素子 ６４…共振部 ６５，６６…共振電極 ７０，７１…動吸振部 ８１…圧電共振子 ８３…圧電共振素子 ８４…共振部 ８５…共振電極 ９１…圧電共振子 １０１…圧電共振子 １０２…支持部材 １０２ａ…開口 １０３…圧電共振素子 １０４…共振部 １０５…共振電極 22 ... Supporting member 22a ... Opening 23 ... Piezoelectric resonance part 25, 26 ... Supporting part 26, 27 ... Dynamic vibration absorbing part 28, 29 ... Connection part 30 ... Piezoelectric resonator 33 ... Resonance electrode 35 ... Terminal electrode 40 ... Piezoelectric resonator 41 ... Supporting member 41a ... Opening 43 ... Piezoelectric resonance element 45, 46 ... Resonance electrode 47, 48 ... First groove 51, 52 ... Dynamic vibration absorbing part 61 ... Piezoelectric resonator 62 ... Supporting member 62a ... Opening 63 ... Piezoelectric resonance element 64 Resonance part 65, 66 ... Resonance electrode 70, 71 ... Dynamic vibration absorption part 81 ... Piezoelectric resonator 83 ... Piezoelectric resonance element 84 ... Resonance part 85 ... Resonance electrode 91 ... Piezoelectric resonator 101 ... Piezoelectric resonator 102 ... Support member 102a ... Aperture 103 ... Piezoelectric resonance element 104 ... Resonance portion 105 ... Resonance electrode
Claims (5)
つ支持部材に連結された圧電共振素子とを備え、 前記圧電共振素子及び前記支持部材が一体の部材を用い
て構成されており、かつ、 前記圧電共振素子が、共振部と、共振部に連結された支
持部と、支持部に連結された動吸振部と、前記動吸振部
に連結された連結部とを有し、該連結部により前記支持
部材に連結されている、エネルギー閉じ込め型圧電共振
子。1. A piezoelectric resonance element, comprising: a rectangular frame-shaped support member having an opening; and a piezoelectric resonance element arranged in the opening of the rectangular frame-shaped support member and connected to the support member. And the support member is configured by using an integral member, and the piezoelectric resonance element, a resonance part, a support part connected to the resonance part, a dynamic vibration absorption part connected to the support part, An energy trapping type piezoelectric resonator having a connecting part connected to the dynamic vibration absorbing part, and being connected to the supporting member by the connecting part.
連結された圧電共振素子とを備え、 前記圧電共振素子及び前記支持部材が一体の部材を用い
て構成されており、かつ、 前記圧電共振素子が、 一対の短辺と、一対の長辺とを有し、両短辺の略中央部
をノード点とする矩形板状の振動部と、 前記ノード点となる振動部の両短辺略中央に連結された
支持部とを有する幅拡がりモードを利用したエネルギー
閉じ込め型の共振素子であり、前記支持部により前記支
持部材に連結されている、エネルギー閉じ込め型圧電共
振子。2. A rectangular frame-shaped support member having an opening, and a piezoelectric resonance element arranged in the opening of the support member and connected to the support member, wherein the piezoelectric resonance element and the support member are The piezoelectric resonant element is configured by using an integral member, and has a pair of short sides and a pair of long sides, and has a rectangular plate shape having a node point at a substantially central portion of both short sides. An energy trapping type resonance element utilizing a width-spreading mode having a vibrating portion and a supporting portion connected to approximately the center of both short sides of the vibrating portion serving as the node point, and being connected to the supporting member by the supporting portion. Energy trapped piezoelectric resonators.
ー閉じ込め型圧電共振素子が、 短辺の長さがａ、長辺の長さがｂであり、ポアソン比を
σとしたときに、前記長辺と短辺の長さの比ｂ／ａが、 【数１】 を中心として±１０％の範囲内とされている矩形板状の
振動部と、前記振動部の両短辺略中央に連結された支持
部とを有する幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ
込め型圧電共振子である、請求項２に記載のエネルギー
閉じ込め型圧電共振子。3. The energy confinement type piezoelectric resonance element using the width-spreading mode, wherein the short side length is a, the long side length is b, and the Poisson's ratio is σ, the long side is And the short side length ratio b / a is Energy trapping type piezoelectric resonance using a widening mode having a rectangular plate-shaped vibrating portion within a range of ± 10% with respect to the center and a support portion connected to approximately the center of both short sides of the vibrating portion. The energy trap type piezoelectric resonator according to claim 2, which is a child.
連結された圧電共振素子とを備え、 前記圧電共振素子及び前記支持部材が一体の部材を用い
て構成されており、かつ、 前記圧電共振素子が、 一つの方向に分極処理された圧電体と、 前記圧電体中央部において対向するように圧電体の少な
くとも一方主面上に形成された第１，第２の共振電極
と、 前記第１，第２の共振電極が前記分極方向と平行とされ
ており、かつ第１，第２の共振電極が対向しあっている
共振部を挟むように、前記圧電体の対向２面に第１，第
２の溝が形成されているすべりモードを利用した共振素
子である、エネルギー閉じ込め型圧電共振子。4. A support member having a rectangular frame shape having an opening, and a piezoelectric resonance element arranged in the opening of the support member and connected to the support member, wherein the piezoelectric resonance element and the support member are The piezoelectric resonance element is configured by using an integral member, and the piezoelectric resonance element is disposed on at least one main surface of the piezoelectric body so as to face the piezoelectric body polarized in one direction at the central portion of the piezoelectric body. The formed first and second resonance electrodes, the resonance section in which the first and second resonance electrodes are parallel to the polarization direction, and the first and second resonance electrodes face each other. An energy trapping type piezoelectric resonator, which is a resonance element utilizing a sliding mode in which first and second grooves are formed on two opposing surfaces of the piezoelectric body so as to sandwich the element.
が、対向しあっている第１，第２の共振電極を結ぶ方向
である第１の方向に沿う共振部の長さをｂ、前記第１の
方向と直交し、かつ第１，第２の溝の深さ方向である第
２の方向に沿う共振部の長さをａとし、圧電体を構成し
ている材料のポアソン比をσとしたときに、比ｂ／ａ
が、 【数２】 を中心として±１０％の範囲内とされている、請求項４
に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。5. A resonant element utilizing the sliding mode has a length b of a resonant portion along a first direction which is a direction connecting the first and second resonant electrodes facing each other, and the first And the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric body is σ, where a is the length of the resonance portion along the second direction which is orthogonal to the direction of and which is the depth direction of the first and second grooves. Sometimes the ratio b / a
However, The range is within ± 10% with respect to
2. An energy trap type piezoelectric resonator according to claim 1.
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