JPH07122805A - 高周波レーザ発振器の電源装置の出力電圧制御方法 - Google Patents
高周波レーザ発振器の電源装置の出力電圧制御方法Info
- Publication number
- JPH07122805A JPH07122805A JP26712893A JP26712893A JPH07122805A JP H07122805 A JPH07122805 A JP H07122805A JP 26712893 A JP26712893 A JP 26712893A JP 26712893 A JP26712893 A JP 26712893A JP H07122805 A JPH07122805 A JP H07122805A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価なケーブルを使用して、大電力時のＤＣ
ユニットの出力電圧の高精度化、高速応答時のパルス波
形の乱れの低減等の可能な、高周波レーザ発振器の電源
装置の出力電圧制御方法を提供する。 【構成】 商用周波数の交流電圧を直流電圧に変換する
と共に直流電圧を制御するＤＣユニット１と、直流電圧
を所定の周波数の交流電圧に変換するＲＦユニット３
と、これらを接続するケーブル５からなる高周波レーザ
発振器の電源装置において、前記ＤＣユニット１の出力
電圧の制御を、前記ＲＦユニット３の入力電圧が指令電
圧に等しくなるように行う。
ユニットの出力電圧の高精度化、高速応答時のパルス波
形の乱れの低減等の可能な、高周波レーザ発振器の電源
装置の出力電圧制御方法を提供する。 【構成】 商用周波数の交流電圧を直流電圧に変換する
と共に直流電圧を制御するＤＣユニット１と、直流電圧
を所定の周波数の交流電圧に変換するＲＦユニット３
と、これらを接続するケーブル５からなる高周波レーザ
発振器の電源装置において、前記ＤＣユニット１の出力
電圧の制御を、前記ＲＦユニット３の入力電圧が指令電
圧に等しくなるように行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高周波レーザ発振器
の電源装置の出力電圧制御方法に関する。
の電源装置の出力電圧制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に、従来の高周波レーザ発振器の電
源装置の一例を示してある。図示のように、ＤＣユニッ
ト１と、ＲＦユニット３と、これらを接続するケーブル
５からなっている。ＤＣユニット１は、商用三相交流電
圧を直流電圧に変換する整流器７と、変換された直流電
圧を指令電圧と同一になるように制御するためのスイッ
チング素子９、出力電圧検出器１１、制御部１３等から
なっている。尚、図示のように環流ダイオードＤ、平滑
用リアクトルＬおよびキャパシタＣを備えている。ＲＦ
ユニット３は、ＤＣユニット１からケーブル５によって
伝送される直流電圧またはパルスを、所定の周波数の高
周波交流電圧に変換するインバータと，この高周波交流
電圧を適宜昇圧してレーザ発振器へ出力する変圧器とか
らなっている。
源装置の一例を示してある。図示のように、ＤＣユニッ
ト１と、ＲＦユニット３と、これらを接続するケーブル
５からなっている。ＤＣユニット１は、商用三相交流電
圧を直流電圧に変換する整流器７と、変換された直流電
圧を指令電圧と同一になるように制御するためのスイッ
チング素子９、出力電圧検出器１１、制御部１３等から
なっている。尚、図示のように環流ダイオードＤ、平滑
用リアクトルＬおよびキャパシタＣを備えている。ＲＦ
ユニット３は、ＤＣユニット１からケーブル５によって
伝送される直流電圧またはパルスを、所定の周波数の高
周波交流電圧に変換するインバータと，この高周波交流
電圧を適宜昇圧してレーザ発振器へ出力する変圧器とか
らなっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、ＤＣユ
ニット１は指令電圧と同一の直流電圧を、ＲＦユニット
３へ供給するが、最近のレーザ発振器に要求される性能
として、レーザ光の高出力化、高速応答等があり、ＤＣ
ユニット１はより大電力、高速応答の可能なものが必要
になってきた。
ニット１は指令電圧と同一の直流電圧を、ＲＦユニット
３へ供給するが、最近のレーザ発振器に要求される性能
として、レーザ光の高出力化、高速応答等があり、ＤＣ
ユニット１はより大電力、高速応答の可能なものが必要
になってきた。
【０００４】大電力、高速応答では、ＤＣユニット１
と、ＲＦユニット３を接続するケーブル５（ケーブル長
５〜１０ｍ位）は図３のようなＲ0 、Ｌ0 、Ｃ0 の分
布定数回路として取り扱う必要がある。即ち、大電力の
場合には、ＲＦユニット３の入力電圧は、ケーブルの抵
抗Ｒ0 による電圧降下により、ＤＣユニット１の出力電
圧より低下する。ＤＣユニット１の出力電圧は、指令電
圧になるように制御されているので、ＲＦユニット３の
入力電圧は、指令電圧と異なることになる。銀メッキ等
をした抵抗の小さいケーブル等を使用すれば、電圧降下
は少なくなるが、高価になる。
と、ＲＦユニット３を接続するケーブル５（ケーブル長
５〜１０ｍ位）は図３のようなＲ0 、Ｌ0 、Ｃ0 の分
布定数回路として取り扱う必要がある。即ち、大電力の
場合には、ＲＦユニット３の入力電圧は、ケーブルの抵
抗Ｒ0 による電圧降下により、ＤＣユニット１の出力電
圧より低下する。ＤＣユニット１の出力電圧は、指令電
圧になるように制御されているので、ＲＦユニット３の
入力電圧は、指令電圧と異なることになる。銀メッキ等
をした抵抗の小さいケーブル等を使用すれば、電圧降下
は少なくなるが、高価になる。
【０００５】また、高速応答では、ケーブルの分布定数
によりパルスの波形が乱れるという問題がある。分布定
数の小さい同軸ケーブル等を使用すれば、パルス波形の
乱れは少なくなるが、大電力用の同軸ケーブルは高価で
ある。
によりパルスの波形が乱れるという問題がある。分布定
数の小さい同軸ケーブル等を使用すれば、パルス波形の
乱れは少なくなるが、大電力用の同軸ケーブルは高価で
ある。
【０００６】この発明は、このような問題に着目してな
されたもので、安価なケーブルを使用して、大電力時の
ＤＣユニットの出力電圧の高精度化、高速応答時のパル
ス波形の乱れの低減等の可能な、高周波レーザ発振器の
電源装置の出力電圧制御方法を提供することを目的とす
る。
されたもので、安価なケーブルを使用して、大電力時の
ＤＣユニットの出力電圧の高精度化、高速応答時のパル
ス波形の乱れの低減等の可能な、高周波レーザ発振器の
電源装置の出力電圧制御方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明は、商用周波数の交流電圧を直流電圧に
変換すると共に直流電圧を制御するＤＣユニットと、直
流電圧を所定の周波数の交流電圧に変換するＲＦユニッ
トと、これらを接続するケーブルとからなる高周波レー
ザ発振器の電源装置において、前記ＤＣユニットの出力
電圧の制御を、前記ＲＦユニットの入力電圧が指令電圧
に等しくなるように行うものである。
めに、この発明は、商用周波数の交流電圧を直流電圧に
変換すると共に直流電圧を制御するＤＣユニットと、直
流電圧を所定の周波数の交流電圧に変換するＲＦユニッ
トと、これらを接続するケーブルとからなる高周波レー
ザ発振器の電源装置において、前記ＤＣユニットの出力
電圧の制御を、前記ＲＦユニットの入力電圧が指令電圧
に等しくなるように行うものである。
【０００８】
【作用】このように構成されているので、ＤＣユニット
は、ＲＦユニットの入力電圧が指令電圧と同一になるよ
うに制御されるため、接続ケーブルの抵抗Ｒ0 の大小に
よってＲＦユニットの入力電圧が指令電圧と異なること
はない。また、ケーブルの分布定数Ｒ0 、Ｌ0 、Ｃ0 が
フィードバックループ内に入るため、フィードバック効
果により、パルス波形の乱れが軽減される。
は、ＲＦユニットの入力電圧が指令電圧と同一になるよ
うに制御されるため、接続ケーブルの抵抗Ｒ0 の大小に
よってＲＦユニットの入力電圧が指令電圧と異なること
はない。また、ケーブルの分布定数Ｒ0 、Ｌ0 、Ｃ0 が
フィードバックループ内に入るため、フィードバック効
果により、パルス波形の乱れが軽減される。
【０００９】
【実施例】次に、この発明の実施例について図１によっ
て説明する。従来の高周波レーザ発振器の電源装置の説
明図２では、出力電圧検出器１１が、ＤＣユニット１の
出力端子に接続されているが、図１ではＲＦユニット３
の入力端子に接続されている。ＤＣユニット１およびＲ
Ｆユニット３の構成は、図２と同一であるので、説明を
省略する。
て説明する。従来の高周波レーザ発振器の電源装置の説
明図２では、出力電圧検出器１１が、ＤＣユニット１の
出力端子に接続されているが、図１ではＲＦユニット３
の入力端子に接続されている。ＤＣユニット１およびＲ
Ｆユニット３の構成は、図２と同一であるので、説明を
省略する。
【００１０】このように構成されているので、ＲＦユニ
ット３の入力電圧は、出力電圧検出器１１によって検出
され、制御部１３で指令電圧と比較され、その差によっ
て例えばＰＷＭ制御された信号が、スイッチング素子９
へ送られ、ＲＦユニット３の入力端子電圧が、指令電圧
と同一の電圧になるようにスイッチング素子９が制御さ
れる。
ット３の入力電圧は、出力電圧検出器１１によって検出
され、制御部１３で指令電圧と比較され、その差によっ
て例えばＰＷＭ制御された信号が、スイッチング素子９
へ送られ、ＲＦユニット３の入力端子電圧が、指令電圧
と同一の電圧になるようにスイッチング素子９が制御さ
れる。
【００１１】従って、電力の大小に関わらず、ＲＦユニ
ット３の入力端子電圧は指令電圧と同一になり、所定の
高周波電力をレーザ発振器へ供給することができる。ま
た、高速パルス時でも、ケーブルの分布定数Ｒ0 、Ｌ0
、Ｃ0 がフィードバックループ内に入るため、パルス
波形の乱れが軽減される。
ット３の入力端子電圧は指令電圧と同一になり、所定の
高周波電力をレーザ発振器へ供給することができる。ま
た、高速パルス時でも、ケーブルの分布定数Ｒ0 、Ｌ0
、Ｃ0 がフィードバックループ内に入るため、パルス
波形の乱れが軽減される。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
安価なケーブルを使用して、大電力時のＤＣユニットの
出力電圧の高精度化、高速応答時のパルス波形の乱れの
低減等の可能な、高周波レーザ発振器の電源装置の出力
電圧制御方法を提供することができる。
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
安価なケーブルを使用して、大電力時のＤＣユニットの
出力電圧の高精度化、高速応答時のパルス波形の乱れの
低減等の可能な、高周波レーザ発振器の電源装置の出力
電圧制御方法を提供することができる。
【図１】この発明の実施例の高周波レーザ発振器の電源
装置の出力電圧制御方法の説明図である。
装置の出力電圧制御方法の説明図である。
【図２】従来の高周波レーザ発振器の電源装置の出力電
圧制御方法の説明図である。
圧制御方法の説明図である。
【図３】接続ケーブルの分布定数回路の説明図である。
１ ＤＣユニット ３ ＲＦユニット ５ ケーブル １１ 出力電圧検出器 １３ 制御部
Claims (1)
- 【請求項１】 商用周波数の交流電圧を直流電圧に変換
すると共に直流電圧を制御するＤＣユニットと、直流電
圧を所定の周波数の交流電圧に変換するＲＦユニット
と、これらを接続するケーブルからなる高周波レーザ発
振器の電源装置において、前記ＤＣユニットの出力電圧
の制御を、前記ＲＦユニットの入力電圧が指令電圧に等
しくなるように行うことを特徴とする高周波レーザ発振
器の電源装置の出力電圧制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26712893A JPH07122805A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 高周波レーザ発振器の電源装置の出力電圧制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26712893A JPH07122805A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 高周波レーザ発振器の電源装置の出力電圧制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122805A true JPH07122805A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17440465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26712893A Pending JPH07122805A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 高周波レーザ発振器の電源装置の出力電圧制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122805A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013223389A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Smk Corp | 電源供給システム |
| WO2018047574A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ光源およびそれを用いたレーザ加工装置 |
-
1993
- 1993-10-26 JP JP26712893A patent/JPH07122805A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013223389A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Smk Corp | 電源供給システム |
| WO2018047574A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ光源およびそれを用いたレーザ加工装置 |
| TWI644751B (zh) * | 2016-09-07 | 2018-12-21 | 住友重機械工業股份有限公司 | Laser source and laser processing device using laser source |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040106 |