JPH07115785A - Ultrasonic motor - Google Patents
Ultrasonic motorInfo
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- JPH07115785A JPH07115785A JP5257231A JP25723193A JPH07115785A JP H07115785 A JPH07115785 A JP H07115785A JP 5257231 A JP5257231 A JP 5257231A JP 25723193 A JP25723193 A JP 25723193A JP H07115785 A JPH07115785 A JP H07115785A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動を駆動力と
する超音波モータに係り、より詳しくは、電気的共振周
波数と機械的共振周波数を調整した超音波モータに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor having ultrasonic vibration as a driving force, and more particularly to an ultrasonic motor having an electric resonance frequency and a mechanical resonance frequency adjusted.
【0002】[0002]
【従来の技術】本発明の基礎となった従来の技術とし
て、振動体の自己静電容量に着目し、この静電容量と直
列あるいは並列にインダクタンス素子を接続して、この
LC回路の直列共振あるいは並列共振を利用してモータ
特性として好適化を図った超音波モータが提供されてい
る(特開平4−281373号公報)。2. Description of the Related Art As a conventional technique which is the basis of the present invention, attention is paid to the self-capacitance of a vibrating body, an inductance element is connected in series or in parallel with this capacitance, and series resonance of this LC circuit is performed. Alternatively, there is provided an ultrasonic motor that utilizes parallel resonance and is optimized as a motor characteristic (Japanese Patent Laid-Open No. 4-281373).
【0003】ここで、インダクタンス素子が直列に接続
されている超音波モータの等価回路は、抵抗値Rm の等
価抵抗、インダクタンスLm の等価コイル及び静電容量
Cmの等価コンデンサで構成される機械的振動部分のR
LC直列回路と、このRLC直列回路に並列に接続され
た固有静電容量Cd のコンデンサと、これらに直列に接
続されたインダクタンスLe のインダクタンス素子と、
から構成されている。このように構成された超音波モー
タは、機械的共振周波数fm と電気的共振周波数fe と
が次式(1)の関係となるように超音波モータの機械的
な振動の等価回路定数Rm 、Lm 、Cm やインダクタン
スLe 、固有静電容量Cd の値を設定している。 fm ≦fe ・・・・(1) ここで、fm はRLC直列回路のアドミタンスYの絶対
値|Y|(次式(2))の極大値(次式(3))であ
り、fe は次式(4)から得られる。An equivalent circuit of an ultrasonic motor in which inductance elements are connected in series is composed of an equivalent resistance having a resistance value R m , an equivalent coil having an inductance L m , and an equivalent capacitor having a capacitance C m. R of mechanical vibration part
An LC series circuit, a capacitor having an intrinsic capacitance C d connected in parallel to the RLC series circuit, and an inductance element having an inductance L e connected in series to these.
It consists of In the ultrasonic motor configured as described above, the equivalent circuit constant R of the mechanical vibration of the ultrasonic motor is set so that the mechanical resonance frequency f m and the electric resonance frequency f e have the relationship of the following expression (1). The values of m , L m , C m , the inductance Le , and the intrinsic capacitance C d are set. f m ≤f e (1) where f m is the maximum value (the following formula (3)) of the absolute value | Y | (the following formula (2)) of the admittance Y of the RLC series circuit, fe is obtained from the following equation (4).
【0004】[0004]
【数1】 [Equation 1]
【0005】[0005]
【数2】 [Equation 2]
【0006】[0006]
【数3】 [Equation 3]
【0007】また、インダクタンス素子が並列に接続さ
れている超音波モータの等価回路は、前述のRLC直列
回路とこのRLC直列回路に並列に接続された固有静電
容量Cd のコンデンサとに並列にインダクタンスLp の
インダクタンス素子が接続された構成となっている。こ
のように構成された超音波モータも、機械的共振周波数
fm と電気的共振周波数fe とが次式(5)の関係とな
るように超音波モータの機械的な振動の等価回路定数R
m 、Lm 、Cm やインダクタンスLp 、固有静電容量C
d の値を設定している。 fm ≧fe ・・・・(5) ここで、fm は上式(3)から、fe は、次式(6)か
ら得られる。The equivalent circuit of the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in parallel is parallel to the RLC series circuit described above and the capacitor of the intrinsic capacitance C d connected in parallel to the RLC series circuit. The configuration is such that an inductance element having an inductance L p is connected. Also in the ultrasonic motor configured as above, the equivalent circuit constant R of the mechanical vibration of the ultrasonic motor is set so that the mechanical resonance frequency f m and the electric resonance frequency f e have the relationship of the following expression (5).
m , L m , C m , inductance L p , intrinsic capacitance C
The value of d is set. f m ≧ fe (5) Here, f m is obtained from the above equation (3), and fe is obtained from the following equation (6).
【0008】[0008]
【数4】 [Equation 4]
【0009】さらに、以上説明したインダクタンス素子
が直列又は並列もしくは直列及び並列に接続された超音
波モータでは、超音波モータの等価回路から機械的振動
部分のRLC直列回路部を除いた回路のアドミタンスY
が、次式(7)となるように等価回路定数Rm 、Lm 、
Cm やインダクタンスLe 及びLp 、固有静電容量C d
を設定している。 |2Y/2ω|≧0 但し、ω=2πf・・・・(7)Further, the inductance element described above
Ultrasound connected in series or parallel or series and parallel
In the wave motor, mechanical vibration is generated from the equivalent circuit of the ultrasonic motor.
Admittance Y of the circuit excluding the RLC series circuit part
Is the equivalent circuit constant R such thatm, Lm,
CmAnd inductance LeAnd Lp, Intrinsic capacitance C d
Is set. | 2Y / 2ω | ≧ 0 However, ω = 2πf ... (7)
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】ところで、超音波モー
タを駆動させるために交番電圧の周波数を、機械的共振
周波数fm より高い周波数fs から機械的共振周波数f
m 付近の周波数に変化させている。このため、インダク
タンス素子が直列に接続されかつ式(1)の関係を有す
る超音波モータは図4に示すように、また、インダクタ
ンス素子が並列に接続されかつ式(5)の関係を有する
超音波モータは図7に示すように、駆動開始時(周波数
fs )における消費電力が大きくなり、従って、モータ
起動時に過電流が流れてしまう。また、超音波モータを
長時間連続して駆動させると圧電素子の材料である圧電
セラミックが高温になり、電極間の静電容量Cdは大き
くなる。従って、電気的共振周波数fe ′は、式(4)
及び式(6)のCd の値が大きくなることによりfe よ
り小さくなる。このため、機械的共振周波数fm での消
費電力が図4及び図7の点線で示すように大きくなる。
よって、超音波モータを長時間連続して駆動させると、
消費電力が大きくなり、駆動回路の発熱は大きくなって
しまう。The frequency of the alternating voltage for driving the ultrasonic motor is changed from the frequency f s higher than the mechanical resonance frequency f m to the mechanical resonance frequency f.
The frequency is changed to around m . Therefore, the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in series and has the relationship of the formula (1) is as shown in FIG. 4, and the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in parallel and has the relationship of the formula (5). As shown in FIG. 7, the motor consumes a large amount of power at the start of driving (frequency f s ) and therefore overcurrent flows when the motor is started. Further, when the ultrasonic motor is continuously driven for a long time, the temperature of the piezoelectric ceramic, which is the material of the piezoelectric element, becomes high, and the electrostatic capacitance Cd between the electrodes becomes large. Therefore, the electric resonance frequency f e ′ is calculated by the equation (4).
And becomes smaller than fe as the value of C d in equation (6) becomes larger. Therefore, the power consumption at the mechanical resonance frequency f m becomes large as shown by the dotted lines in FIGS. 4 and 7.
Therefore, if the ultrasonic motor is continuously driven for a long time,
The power consumption increases, and the heat generated by the drive circuit also increases.
【0011】また、インダクタンス素子が並列に接続さ
れた超音波モータの振幅の周波数特性は、電源電圧が直
接モータに印加されるので、インダクタンスLe に無関
係に、fm ≦fe 、fm ′≧fe のどちらの場合でも同
じ周波数特性となる。従って、超音波モータを駆動させ
るための周波数の変移幅がfm ≧fe 、fm ′≦feの
どちらの場合でも同じであることがわかる。Further, regarding the frequency characteristics of the amplitude of the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in parallel, since the power supply voltage is directly applied to the motor, f m ≤f e , f m ′ regardless of the inductance L e. In either case of ≧ f e, the same frequency characteristic is obtained. Therefore, it can be seen that shift width of the frequency for driving the ultrasonic motor are the same in either case of f m ≧ f e, f m '≦ f e.
【0012】さらに、インダクタンス素子が直列に接続
された超音波モータの場合、機械的共振周波数fm と電
気的共振周波数fe が同じになるように、超音波モータ
の機械的な振動の等価回路定数Rm 、Lm 、Cm やイン
ダクタンスLe 、固有静電容量Cd を設定すると、次の
問題がある。すなわち、供給される電圧をVi 、電極間
の電圧をV0 とすると、電極間の電圧V0 は、次式
(8)となる。 V0 =Vi /(1−ω2 Le Cd )・・・・(8) ここで、機械的共振周波数fm と電気的共振周波数fe
とを同じにするということは上式(8)の1−ω2 Le
Cd が0であるので、電極間の静電容量の値が外乱で少
しでも所定値Cより変化すると、1−ω2 Le Cd が正
や負の値となる。従って、電極間の静電容量の値が所定
値Cより少しでも大きくなると、電極間の電圧V0 が負
となり、入力電圧に対して180°位相がずれることに
なる。また、電極間の静電容量の値が所定値Cより少し
でも小さくなると、電極間の電圧V0 が正となり、入力
電圧に対して位相差が0となる。従って、図9に示すよ
うに、A相、B相の2つの電極に90°ずれた電圧を印
加して超音波モータを駆動させる場合、もしA相の電極
間の静電容量Cd が少しでも大きくなると入力電圧(位
相0°)に対して180°ずれた電圧が印加される。ま
た、B相の静電容量Cd の値が少しでも小さくなると入
力電圧(位相器により90°ずれた電圧)に対し同位相
(90°)の電圧が印加される。従って、A相とB相の
位相差が90°から−90°に不規則に変化してしま
い、モータとしての機能をはたさない。Further, in the case of an ultrasonic motor in which inductance elements are connected in series, an equivalent circuit of mechanical vibration of the ultrasonic motor is set so that the mechanical resonance frequency f m is the same as the electric resonance frequency f e. Setting the constants R m , L m , C m , the inductance L e , and the intrinsic capacitance C d causes the following problems. That is, when the supplied voltage is V i and the voltage between the electrodes is V 0 , the voltage V 0 between the electrodes is given by the following equation (8). V 0 = V i / (1-ω 2 Le C d ) ... (8) Here, the mechanical resonance frequency f m and the electric resonance frequency f e
1-ω 2 L e in the above equation that the same bets (8)
Because C d is 0, the value of the capacitance between the electrodes changes than the predetermined value C little by disturbances, comprising 1-ω 2 L e C d is a positive or negative value. Therefore, when the value of the electrostatic capacitance between the electrodes becomes slightly larger than the predetermined value C, the voltage V 0 between the electrodes becomes negative and the phase shifts by 180 ° with respect to the input voltage. When the value of the capacitance between the electrodes becomes smaller than the predetermined value C, the voltage V 0 between the electrodes becomes positive and the phase difference becomes 0 with respect to the input voltage. Therefore, as shown in FIG. 9, when the ultrasonic motor is driven by applying a voltage shifted by 90 ° to the two electrodes of the A phase and the B phase, if the electrostatic capacitance C d between the electrodes of the A phase is a little. However, when it becomes large, a voltage shifted by 180 ° with respect to the input voltage (phase 0 °) is applied. Further, when the value of the electrostatic capacitance C d of the B phase becomes small as much as possible, the voltage of the same phase (90 °) is applied to the input voltage (the voltage shifted by 90 ° by the phase shifter). Therefore, the phase difference between the A phase and the B phase changes irregularly from 90 ° to −90 ° and does not function as a motor.
【0013】なお、インダクタンス素子が直列又は並列
もしくは直列及び並列に接続された超音波モータの等価
回路から機械的振動部分のRLC直列回路部を除いた回
路のアドミタンスYが、上式(7)となるように等価回
路定数Rm 、Lm 、Cm やインダクタンスLe 、固有静
電容量Cd を設定するとあるが、上式(7)はアドミタ
ンスの絶対値をとっているので、いかなるアドミタンス
でも上式(7)を満足することになる。The admittance Y of the circuit excluding the RLC series circuit part of the mechanical vibration part from the equivalent circuit of the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in series or in parallel or in series and parallel is expressed by the above equation (7). Although the equivalent circuit constants R m , L m , C m , the inductance L e , and the specific capacitance C d are set so that the above equation (7) takes the absolute value of the admittance, any admittance is obtained. The above expression (7) is satisfied.
【0014】本発明は、上記事実の鑑み成されたもの
で、起動電流を低減し、消費電力を低減すると共に駆動
回路の発熱を抑えて、確実に駆動する超音波モータを提
供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above facts, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor capable of reliably driving by reducing the starting current, power consumption, and heat generation of the drive circuit. And
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため請求
項1記載の発明は、交番電圧が供給されると機械的振動
が発生する圧電素子もしくは電歪素子と、前記圧電素子
もしくは電歪素子の機械的振動により振動される振動体
と、前記圧電素子もしくは電歪素子に所定の位相差を有
する複数の交番電圧を印加できるように配置された複数
の電極と、前記複数の電極の各々に直列に接続されたイ
ンダクタンス素子と、を備え、前記電極間の静電容量と
前記インダクタンス素子のインダクタンスとで定まる電
気的共振周波数を前記振動体の機械的共振周波数より小
さくなるように設定している。To achieve the above object, the invention according to claim 1 is to provide a piezoelectric element or an electrostrictive element which generates mechanical vibration when an alternating voltage is supplied, and the piezoelectric element or the electrostrictive element. A vibrating body vibrated by mechanical vibration of, a plurality of electrodes arranged so that a plurality of alternating voltages having a predetermined phase difference can be applied to the piezoelectric element or the electrostrictive element, and each of the plurality of electrodes An inductance element connected in series, and an electrical resonance frequency determined by a capacitance between the electrodes and an inductance of the inductance element is set to be lower than a mechanical resonance frequency of the vibrating body. .
【0016】請求項2記載の発明は、交番電圧が供給さ
れると機械的振動が発生する圧電素子もしくは電歪素子
と、前記圧電素子もしくは電歪素子の機械的振動により
振動される振動体と、前記圧電素子もしくは電歪素子に
所定の位相差を有する複数の交番電圧を印加できるよう
に配置された複数の電極と、前記複数の電極において対
応する電極間の各々に並列に接続されたインダクタンス
素子と、前記電極間の静電容量と前記インダクタンス素
子のインダクタンスとで定まる電気的共振周波数を前記
振動体の機械的共振周波数より大きくなるように設定し
ている。According to a second aspect of the present invention, a piezoelectric element or an electrostrictive element which generates mechanical vibration when an alternating voltage is supplied, and a vibrating body which is vibrated by the mechanical vibration of the piezoelectric element or electrostrictive element. A plurality of electrodes arranged so that a plurality of alternating voltages having a predetermined phase difference can be applied to the piezoelectric element or the electrostrictive element, and inductances connected in parallel between the corresponding electrodes of the plurality of electrodes. The electric resonance frequency determined by the element, the capacitance between the electrodes and the inductance of the inductance element is set to be higher than the mechanical resonance frequency of the vibrating body.
【0017】請求項3記載の発明は、交番電圧が供給さ
れると機械的振動が発生する圧電素子もしくは電歪素子
と、前記圧電素子もしくは電歪素子の機械的振動により
振動される振動体と、前記圧電素子もしくは電歪素子に
所定の位相差を有する複数の交番電圧を印加できるよう
に配置された複数の電極と、前記複数の電極の各々に直
列又は前記複数の電極において対応する電極間の各々に
並列もしくは複数の電極の各々に直列及び前記複数の電
極において対応する電極間の各々に並列に接続されたイ
ンダクタンス素子と、を備え、前記超音波モータの等価
回路から機械的振動部分のRLC直列回路を除いた回路
のアドミタンスY=jX(jは虚数単位である)におけ
るXが負の値となるように機械的振動部分の機械的共振
周波数を設定している。According to a third aspect of the present invention, a piezoelectric element or an electrostrictive element that generates mechanical vibration when an alternating voltage is supplied, and a vibrating body that is vibrated by the mechanical vibration of the piezoelectric element or electrostrictive element. Between a plurality of electrodes arranged so that a plurality of alternating voltages having a predetermined phase difference can be applied to the piezoelectric element or the electrostrictive element, and between electrodes corresponding to each of the plurality of electrodes in series or in the plurality of electrodes. Of each of the plurality of electrodes in series or in parallel with each of the plurality of electrodes connected in parallel between each corresponding electrode in the plurality of electrodes, and, from the equivalent circuit of the ultrasonic motor mechanical vibration part of The mechanical resonance frequency of the mechanical vibration part is set so that X in the admittance Y = jX (j is an imaginary unit) of the circuit excluding the RLC series circuit has a negative value. That.
【0018】[0018]
【実施例】以下、本発明の第1の実施例を図面を参照し
て詳細に説明する。本実施例の超音波モータ80は、図
1に示すように、銅合金等から構成される円環状の振動
体82を備え、この振動体82に圧電体84(図2も参
照)が貼付されてステータが形成されている。圧電体8
4は、電気信号を機械振動に変換する圧電材料で、多数
の電極により、円環状に分割、配列されて構成されてい
る。一方、駆動軸85に取付けられたロータ86は、ア
ルミ合金等から成るロータリング88に円環状のスライ
ダ90が接着されて形成されており、スプリング92に
よってスライダ90が前記振動体82に加圧接触されて
いる。このスライダ90としては、安定した摩擦力、摩
擦係数を得るために、例えばエンジニアリングプラスチ
ック等が用いられ、これにより高効率でロータ86を駆
動することができる。そして、圧電体84には、インダ
クタンスLe のインダクタンス素子87、89が直列に
接続されている(図2も参照)。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the ultrasonic motor 80 of the present embodiment is provided with a ring-shaped vibrating body 82 made of copper alloy or the like, and a piezoelectric body 84 (see also FIG. 2) is attached to the vibrating body 82. A stator is formed. Piezoelectric body 8
Reference numeral 4 denotes a piezoelectric material that converts an electric signal into mechanical vibration, and is composed of a large number of electrodes that are divided and arranged in an annular shape. On the other hand, the rotor 86 attached to the drive shaft 85 is formed by adhering an annular slider 90 to a rotor ring 88 made of aluminum alloy or the like, and the slider 90 is brought into pressure contact with the vibrating body 82 by a spring 92. Has been done. As the slider 90, for example, engineering plastic or the like is used in order to obtain a stable friction force and a friction coefficient, which allows the rotor 86 to be driven with high efficiency. Then, to the piezoelectric body 84, the inductance elements 87 and 89 having the inductance L e are connected in series (see also FIG. 2).
【0019】このような超音波モータ80には、図2に
示すような駆動回路94が接続される。すなわち、駆動
回路94は電圧制御発振器(以下、VCOという)等か
ら構成される発振器96を備えている。発振器96から
出力された所定周波数の信号は2つに分岐され、一方は
増幅器98で増幅されてsin波の駆動信号としてイン
ダクタンス素子87を介して圧電体84に入力され、他
方は移相器100に入力されて位相を90°ずらされた後
に、増幅器102で増幅されてcos波の駆動信号とし
てインダクタンス素子89を介して圧電体84に入力さ
れる。これにより圧電体84には、sin波の駆動信号
による超音波振動の定在波と、cos波の駆動信号によ
り前記振動と位相の異なる超音波振動の定在波と、が励
起され、振動体82に伝達される。この2つの定在波が
重ね合わされることにより、振動の腹及び節が振動体8
2に沿って円環状に移動する超音波振動、所謂進行波が
発生する。この進行波は、振動体82に加圧接触された
ロータ86に対し進行波の進行方向と反対の方向への回
転力として伝達され、ロータ86及び駆動軸85が回転
する。A drive circuit 94 as shown in FIG. 2 is connected to such an ultrasonic motor 80. That is, the drive circuit 94 includes an oscillator 96 including a voltage controlled oscillator (hereinafter referred to as VCO) and the like. A signal of a predetermined frequency output from the oscillator 96 is branched into two, one of which is amplified by the amplifier 98 and input to the piezoelectric body 84 via the inductance element 87 as a sin wave drive signal, and the other is phase shifter 100. Is input to the piezoelectric body 84 via the inductance element 89 as a cos wave drive signal after being amplified by the amplifier 102. Thus, the piezoelectric body 84 is excited by a standing wave of ultrasonic vibration due to the drive signal of the sin wave and a standing wave of ultrasonic vibration having a phase different from that of the vibration due to the drive signal of the cos wave. 82. By superimposing these two standing waves, the antinodes and nodes of the vibration are generated.
An ultrasonic vibration, which is a so-called traveling wave, that moves annularly along 2 is generated. This traveling wave is transmitted to the rotor 86, which is in pressure contact with the vibrating body 82, as a rotational force in a direction opposite to the traveling direction of the traveling wave, and the rotor 86 and the drive shaft 85 rotate.
【0020】以上説明した超音波モータ80は、2相駆
動であり、各相に加えられる交番電圧の位相が位相器1
00で±90°ずれる以外は第1と第2相間で差がない
ので、次に、1相分についてのみ図3を参照して説明す
る。図3には、超音波モータの1相分の等価回路が示さ
れている。この図3に示されているように、超音波モー
タの1相分の等価回路は、抵抗値Rm の等価抵抗22、
インダクタンスLm の等価コイル24及び静電容量Cm
の等価コンデンサ26で構成される機械的振動部分のR
LC直列回路と、このRLC直列回路に並列に接続され
た振動体の固有静電容量Cd のコンデンサ28と、RL
C直列回路及びコンデンサ28に直列に接続されたイン
ダクタンスがLe のインダクタンス素子32と、から構
成されている。なお、超音波モータの等価回路は増幅器
98を介して電源電圧に接続されている。The ultrasonic motor 80 described above is a two-phase drive, and the phase of the alternating voltage applied to each phase is the phase shifter 1.
Since there is no difference between the first and second phases other than the deviation of ± 90 ° at 00, only one phase will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows an equivalent circuit for one phase of the ultrasonic motor. As shown in FIG. 3, the equivalent circuit for one phase of the ultrasonic motor has an equivalent resistance 22 of a resistance value R m ,
Equivalent coil 24 of inductance L m and capacitance C m
R of the mechanical vibration part composed of the equivalent capacitor 26 of
LC series circuit, capacitor 28 of intrinsic capacitance C d of the vibrator connected in parallel to this RLC series circuit, and RL
The C series circuit and the capacitor 28 are connected in series with the inductance element 32 having an inductance L e . The equivalent circuit of the ultrasonic motor is connected to the power supply voltage via the amplifier 98.
【0021】本実施例では、機械的共振周波数fm と電
気的共振周波数fe とが次式(9)の関係となるように
超音波波モータの機械的な振動の等価回路定数Rm 、L
m 、Cm やインダクタンスLe 、固有静電容量Cd を設
定しており、全体のアドミタンスを、図5に示す周波数
特性となるようにしている。 fm >fe ・・・・(9) 本実施例の超音波モータの消費電力は、アドミタンス|
Y|に電圧の自乗を乗じたものであるので、図5に示す
ようになる。ここで、アドミタンスの周波数特性がfm
≦fe の関係を有する従来の超音波モータの消費電力
(図4)と本実施例の消費電力(図5)とを比較する
と、超音波モータを駆動し始めてから駆動し終わるまで
の全体の消費電力については、本実施例では、駆動開始
時の消費電力はW1 ′であり、連続駆動する機械的共振
周波数fm 付近での消費電力はW3 ′である。一方、従
来の技術では、駆動開始時の消費電力はW1 であり、連
続駆動する機械的共振周波数fm 付近での消費電力はW
3 である。従って、図4及び図5から理解されるよう
に、従来の技術より本実施例のほうが消費電力が低減さ
れる。また、本実施例の超音波モータの駆動開始時にお
ける消費電力は、W1 ′である。この消費電力W1 ′
は、連続駆動する時の消費電力W3 ′より小さいので、
超音波モータの駆動開始時には過電流が流れることがな
い。更に、機械的共振周波数fm 付近で超音波モータを
連続して駆動させると、前述のように電気的共振周波数
fe ′がfe より小さくなる。このため、アドミタンス
が図4に示す周波数特性となっている従来の技術では、
機械的共振周波数fm 付近の消費電力が大きくなる(W
2 >W3 )。一方、本実施例ではアドミタンスが図5に
示す周波数特性となっているので、機械的共振周波数f
m 付近の消費電力が小さくなる(W2 ′<W3 ′)。こ
のため従来の技術に比較すると、駆動回路の回路電流が
低減され、駆動回路の発熱を抑えることができる。In this embodiment, the equivalent circuit constant R m of the mechanical vibration of the ultrasonic wave motor is set so that the mechanical resonance frequency f m and the electric resonance frequency f e have the relationship of the following expression (9). L
m , C m , the inductance Le , and the intrinsic capacitance C d are set so that the overall admittance has the frequency characteristic shown in FIG. f m > fe (9) The power consumption of the ultrasonic motor of the present embodiment is admittance |
Since Y | is multiplied by the square of the voltage, the result is as shown in FIG. Here, the frequency characteristic of admittance is f m
Comparing the power consumption (FIG. 4) of the conventional ultrasonic motor having the relationship of ≦ f e with the power consumption (FIG. 5) of the present embodiment, the total power from the start of driving the ultrasonic motor to the end thereof is Regarding the power consumption, in this embodiment, the power consumption at the start of driving is W 1 ′, and the power consumption near the mechanical resonance frequency f m that is continuously driven is W 3 ′. On the other hand, in the conventional technique, the power consumption at the start of driving is W 1 , and the power consumption near the mechanical resonance frequency f m that is continuously driven is W 1.
Is 3 . Therefore, as understood from FIGS. 4 and 5, the power consumption of the present embodiment is lower than that of the conventional technique. The power consumption at the start of driving the ultrasonic motor of this embodiment is W 1 ′. This power consumption W 1 ′
Is smaller than the power consumption W 3 ′ for continuous driving,
Overcurrent does not flow at the start of driving the ultrasonic motor. Further, when the ultrasonic motor is continuously driven in the vicinity of the mechanical resonance frequency f m , the electric resonance frequency f e ′ becomes smaller than f e as described above. Therefore, in the conventional technique in which the admittance has the frequency characteristic shown in FIG. 4,
Power consumption increases near the mechanical resonance frequency f m (W
2 > W 3 ). On the other hand, in this embodiment, since the admittance has the frequency characteristic shown in FIG. 5, the mechanical resonance frequency f
The power consumption near m becomes small (W 2 ′ <W 3 ′). Therefore, as compared with the conventional technique, the circuit current of the drive circuit is reduced and the heat generation of the drive circuit can be suppressed.
【0022】次に、本発明の第2の実施例を説明する。
図6には、第2の実施例の超音波モータの等価回路が示
されている。この図6に示すように、第2の実施例の超
音波モータの等価回路は、前述のRLC直列回路及びコ
ンデンサ28に並列にインダクタンスLp のインダクタ
ンス素子34が接続された構成となっている。Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 6 shows an equivalent circuit of the ultrasonic motor of the second embodiment. As shown in FIG. 6, the equivalent circuit of the ultrasonic motor of the second embodiment has a configuration in which an inductance element 34 having an inductance L p is connected in parallel to the RLC series circuit and the capacitor 28 described above.
【0023】本実施例では、機械的共振周波数fm と電
気的共振周波数fe とが次式(10)の関係となるよう
に超音波波モータの機械的な振動の等価回路定数Rm 、
Lm、Cm やインダクタンスLp 、固有静電容量Cd を
設定しており、全体のアドミタンスを、図8に示す周波
数特性となるようにしている。 fm <fe ・・・・(10) 本実施例の超音波モータの消費電力は、図8に示すよう
になる。ここで、アドミタンスの周波数特性がfm ≦f
e の関係を有する従来の超音波モータの消費電力(図
7)と本実施例の消費電力(図8)とを比較すると、超
音波モータを駆動し始めてから駆動し終わるまでの全体
の消費電力については、本実施例では、駆動開始時の消
費電力はW1 ′であり、連続駆動する機械的共振周波数
fm ′付近での消費電力はW3 ′である。一方、従来の
技術では、駆動開始時の消費電力はW1 であり、連続駆
動する機械的共振周波数fm 付近での消費電力はW3 で
ある。従って、図7及び図8から理解されるように、従
来の技術より本実施例のほうが消費電力が低減される。
また、本実施例の超音波モータの駆動開始時における消
費電力は、W1 ′であり、この消費電力W1 ′は、連続
駆動する時の消費電力W3 ′より小さいので、超音波モ
ータの駆動開始時には過電流が流れることがない。更
に、機械的共振周波数fm 付近で超音波モータを連続し
て駆動させると、前述のように電気的共振周波数fe ′
がfe より小さくなるため、アドミタンスが図7に示す
周波数特性となっている従来の技術では、機械的共振周
波数fm 付近の消費電力が大きくなる(W2 >W3 )。
一方、本実施例ではアドミタンスが図8に示す周波数特
性となっているので、機械的共振周波数fm 付近の消費
電力が小さくなる(W2 ′<W3 ′)。このため従来の
技術に比較すると本実施例は、駆動回路の回路電流が低
減され、駆動効率が向上し、駆動回路の発熱を抑えるこ
とができる。In this embodiment, the equivalent circuit constant R m of the mechanical vibration of the ultrasonic wave motor is set so that the mechanical resonance frequency f m and the electric resonance frequency f e have the relationship of the following expression (10).
L m , C m , inductance L p , and intrinsic capacitance C d are set so that the overall admittance has the frequency characteristic shown in FIG. f m <f e ···· (10 ) power consumption of the ultrasonic motor of the present embodiment, as shown in FIG. Here, the frequency characteristic of admittance is f m ≤f
Comparing the power consumption of the conventional ultrasonic motor (FIG. 7) having the relationship of e with the power consumption of this embodiment (FIG. 8), the total power consumption from the start of driving the ultrasonic motor to the end thereof In the present embodiment, the power consumption at the start of driving is W 1 ′, and the power consumption near the mechanical resonance frequency f m ′ that is continuously driven is W 3 ′. On the other hand, in the related art, the power consumption at the start of driving is W 1 , and the power consumption near the mechanical resonance frequency f m that is continuously driven is W 3 . Therefore, as understood from FIGS. 7 and 8, the power consumption of the present embodiment is lower than that of the conventional technique.
The power consumption at the start of driving the ultrasonic motor of this embodiment is W 1 ′, and this power consumption W 1 ′ is smaller than the power consumption W 3 ′ at the time of continuous driving. No overcurrent flows at the start of driving. Further, when the ultrasonic motor is continuously driven in the vicinity of the mechanical resonance frequency f m , the electric resonance frequency f e ′ is as described above.
Is smaller than f e, the power consumption near the mechanical resonance frequency f m is large (W 2 > W 3 ) in the conventional technique in which the admittance has the frequency characteristic shown in FIG. 7.
On the other hand, in this embodiment, since the admittance has the frequency characteristic shown in FIG. 8, the power consumption near the mechanical resonance frequency f m becomes small (W 2 ′ <W 3 ′). Therefore, compared with the conventional technique, in the present embodiment, the circuit current of the drive circuit is reduced, the drive efficiency is improved, and the heat generation of the drive circuit can be suppressed.
【0024】次に、インダクタンス素子が直列又は並列
もしくは直列及び並列に接続された超音波モータの等価
回路から機械的振動部分のRLC直列回路部を除いた回
路のアドミタンスYの大きさについて検討する。このア
ドミタンスYは、次式(11)で得られる。但し、j
は、j2 =−1である虚数単位である。 Y=jX・・・(11) まず、式(11)のXがX≧0であるアドミタンスYに
ついて検討する。インダクタンスが直列に接続された超
音波モータの上記インダクタンスYは次式(12)で得
られる。 Y=j{(1/ωCd )−ωLe }但し、ω=2πf・・・・(12) ここで、X≧0、すなわち、(1/ωCd )−ωLe ≧
0とすると、次式(13)が得られる。 (2πf)2 ≦1/(Le Cd )・・・・(13) 発振器から出力される交番電圧の周波数fは上記機械的
共振周波数fm 近傍であること、及び、電気的共振周波
数fe (式(4))を考慮すると、上式(13)は次式
(14)に変形できる。Next, the magnitude of the admittance Y of the circuit excluding the RLC series circuit part of the mechanical vibration part from the equivalent circuit of the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in series or in parallel or in series and parallel will be examined. This admittance Y is obtained by the following equation (11). However, j
Is an imaginary unit with j 2 = −1. Y = jX (11) First, let us consider an admittance Y in which X in Expression (11) is X ≧ 0. The inductance Y of the ultrasonic motor in which the inductances are connected in series is obtained by the following equation (12). Y = j {(1 / ωC d ) −ωL e }, where ω = 2πf ... (12) where X ≧ 0, that is, (1 / ωC d ) −ωL e ≧
When set to 0, the following expression (13) is obtained. (2πf) 2 ≦ 1 / (L e C d ) ... (13) The frequency f of the alternating voltage output from the oscillator is near the mechanical resonance frequency f m , and the electric resonance frequency f Considering e (equation (4)), the above equation (13) can be transformed into the following equation (14).
【0025】[0025]
【数5】 [Equation 5]
【0026】よって、超音波モータの等価回路から機械
的振動部分のRLC直列回路部を除いた回路のアドミタ
ンスYにおける上式(11)のXがX≦0であれば、f
m ≦fe の関係を有することになる。Therefore, if X in the above formula (11) in the admittance Y of the circuit excluding the RLC series circuit part of the mechanical vibration part from the equivalent circuit of the ultrasonic motor is X ≦ 0, f
It has a relationship of m ≤ f e .
【0027】また、インダクタンスが並列に接続された
超音波モータの上記インダクタンスYは次式(15)で
得られる。 Y=j{ωCd −1/(ωLp )}但し、ω=2πf・・・・(15) ここで、X≧0、すなわち、ωCd −1/(ωLp )≧
0とすると、次式(16)の関係が得られる。 (2πf)2 ≧1/(Le Cd )・・・・(16) 発振器から出力される交番電圧の周波数fが上記機械的
共振周波数fm 近傍であること、及び、電気的共振周波
数fe (上式(6))を考慮すると、式(16)は次式
(17)に変形できる。The inductance Y of the ultrasonic motor in which the inductances are connected in parallel can be obtained by the following equation (15). Y = j {ωC d −1 / (ωL p )} However, ω = 2πf (15) where X ≧ 0, that is, ωC d −1 / (ωL p ) ≧
When set to 0, the relationship of the following expression (16) is obtained. (2πf) 2 ≧ 1 / (L e C d ) ... (16) The frequency f of the alternating voltage output from the oscillator is in the vicinity of the mechanical resonance frequency f m , and the electrical resonance frequency f Considering e (formula (6)), formula (16) can be transformed into the following formula (17).
【0028】[0028]
【数6】 [Equation 6]
【0029】よって、超音波モータの等価回路から機械
的振動部分のRLC直列回路部を除いた回路ののアドミ
タンスYにおける上式(11)のXがX≧0であれば、
fm≧fe の関係を有することになる。Therefore, if X in the above equation (11) in admittance Y of the circuit excluding the RLC series circuit part of the mechanical vibration part from the equivalent circuit of the ultrasonic motor is X ≧ 0,
The relationship is f m ≧ f e .
【0030】以上から、上記アドミタンスYについて式
(7)が条件とする場合には、インダクタンス素子が直
列に接続された超音波モータについてはfm ≦fe の関
係が、インダクタンス素子が並列に接続された超音波モ
ータについてはfm ≧fe の関係が得られ、上記発明が
解決しようとする課題で説明した問題点が生ずることに
なる。From the above, when the equation (7) is a condition for the admittance Y, the relationship of f m ≤f e is established in the case of the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in series, but the inductance elements are connected in parallel. The relation of f m ≧ f e can be obtained for the ultrasonic motor thus manufactured, and the problems described in the problems to be solved by the invention arise.
【0031】そこで、前述の第1の実施例及び第2の実
施例では、式(11)におけるXが負の値となるアドミ
タンスYであるとしている。Therefore, in the above-described first and second embodiments, it is assumed that X in the equation (11) is admittance Y having a negative value.
【0032】すなわち、第1の実施例の超音波モータの
場合では、X<0、すなわち、(1/ωCd )−ωLe
<0とすると、次式(18)の関係が得られる。That is, in the case of the ultrasonic motor of the first embodiment, X <0, that is, (1 / ωC d ) -ωL e
When <0, the relationship of the following expression (18) is obtained.
【0033】[0033]
【数7】 [Equation 7]
【0034】また、第2の実施例の超音波モータの場合
では、X<0、すなわち、ωCd −1/(ωLp )<0
とすると、次式(19)の関係が得られる。In the case of the ultrasonic motor of the second embodiment, X <0, that is, ωC d −1 / (ωL p ) <0.
Then, the relationship of the following expression (19) is obtained.
【0035】[0035]
【数8】 [Equation 8]
【0036】以上から、インダクタンス素子が直列又は
並列に接続された超音波モータの等価回路から機械的振
動部分のRLC直列回路部を除いた回路のアドミタンス
Y(式(11))におけるXがX<0であれば、インダ
クタンス素子が直列又は並列に接続された場合の式
(9)、(10)の関係が得られる。From the above, X in the admittance Y (Equation (11)) of the circuit excluding the RLC series circuit part of the mechanical vibration part from the equivalent circuit of the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in series or in parallel is X <X. If it is 0, the relations of the equations (9) and (10) when the inductance elements are connected in series or in parallel are obtained.
【0037】なお、以上説明した第1の実施例及び第2
の実施例では、機械的共振周波数f m と電気的共振周波
数fe とが同じ値とならないように、超音波モータの機
械的な振動の等価回路定数Rm 、Lm 、Cm やインダク
タンスLe 、固有静電容量C d を設定しているので、確
実にモータが駆動する。The first embodiment and the second embodiment described above
In this embodiment, the mechanical resonance frequency f mAnd electrical resonance frequency
Number feSo that the values of and are not the same.
Equivalent circuit constant R of mechanical vibrationm, Lm, CmOr Indak
Closet Le, Intrinsic capacitance C dIs set,
The motor actually drives.
【0038】[0038]
【発明の効果】以上説明したように請求項1ないし請求
項3記載の発明は、インダクタンス素子を直列または並
列及び直列及び並列に接続した超音波モータに応じて、
消費電力が低減されるように電気的共振周波数と機械的
共振周波数を調整しているので、駆動時に過電流が流れ
ることがなく、また、消費電力が低減する、という優れ
た効果を有する。As described above, according to the inventions of claims 1 to 3, according to the ultrasonic motor in which the inductance elements are connected in series or in parallel and in series and in parallel,
Since the electric resonance frequency and the mechanical resonance frequency are adjusted so as to reduce the power consumption, there is an excellent effect that an overcurrent does not flow during driving and the power consumption is reduced.
【図1】超音波モータの概略構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ultrasonic motor.
【図2】超音波モータの駆動回路の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a drive circuit of an ultrasonic motor.
【図3】インダクタンス素子が直列に接続された第1の
実施例の超音波モータの等価回路である。FIG. 3 is an equivalent circuit of the ultrasonic motor of the first embodiment in which inductance elements are connected in series.
【図4】電気的共振周波数より機械的共振周波数が小さ
い従来の技術の超音波モータの等価回路のアドミタンス
及び消費電力の周波数特性を示した線図である。FIG. 4 is a diagram showing frequency characteristics of admittance and power consumption of an equivalent circuit of a conventional ultrasonic motor having a mechanical resonance frequency smaller than an electrical resonance frequency.
【図5】電気的共振周波数より機械的共振周波数が大き
い第1の実施例の超音波モータの等価回路のアドミタン
ス及び消費電力の周波数特性を示した線図である。FIG. 5 is a diagram showing frequency characteristics of admittance and power consumption of an equivalent circuit of the ultrasonic motor of the first embodiment having a mechanical resonance frequency higher than an electrical resonance frequency.
【図6】インダクタンス素子が並列に接続された第2の
実施例の超音波モータの等価回路である。FIG. 6 is an equivalent circuit of the ultrasonic motor of the second embodiment in which inductance elements are connected in parallel.
【図7】電気的共振周波数より機械的共振周波数が小さ
い従来の技術の超音波モータの等価回路のアドミタンス
及び消費電力の周波数特性を示した線図である。FIG. 7 is a diagram showing frequency characteristics of admittance and power consumption of an equivalent circuit of a conventional ultrasonic motor having a mechanical resonance frequency smaller than an electrical resonance frequency.
【図8】電気的共振周波数より機械的共振周波数が大き
い第2の実施例の超音波モータの等価回路のアドミタン
ス及び消費電力の周波数特性を示した線図である。FIG. 8 is a diagram showing frequency characteristics of admittance and power consumption of an equivalent circuit of the ultrasonic motor of the second embodiment having a mechanical resonance frequency higher than an electric resonance frequency.
【図9】インダクタンス素子が直列に接続された超音波
モータの駆動回路の概略構成図である。FIG. 9 is a schematic configuration diagram of a drive circuit of an ultrasonic motor in which inductance elements are connected in series.
20 超音波モータの等価回路 32、34 インダクタンス素子 20 Ultrasonic motor equivalent circuit 32, 34 Inductance element
Claims (3)
生する圧電素子もしくは電歪素子と、 前記圧電素子もしくは電歪素子の機械的振動により振動
される振動体と、 前記圧電素子もしくは電歪素子に所定の位相差を有する
複数の交番電圧を印加できるように配置された複数の電
極と、 前記複数の電極の各々に直列に接続されたインダクタン
ス素子と、 を備え、 前記電極間の静電容量と前記インダクタンス素子のイン
ダクタンスとで定まる電気的共振周波数を前記振動体の
機械的共振周波数より小さくなるように設定した超音波
モータ。1. A piezoelectric element or electrostrictive element that generates mechanical vibration when an alternating voltage is supplied, a vibrating body vibrated by mechanical vibration of the piezoelectric element or electrostrictive element, and the piezoelectric element or electric element. A plurality of electrodes arranged so that a plurality of alternating voltages having a predetermined phase difference can be applied to the strain element; and an inductance element connected in series to each of the plurality of electrodes; An ultrasonic motor in which an electric resonance frequency determined by a capacitance and an inductance of the inductance element is set to be lower than a mechanical resonance frequency of the vibrating body.
生する圧電素子もしくは電歪素子と、 前記圧電素子もしくは電歪素子の機械的振動により振動
される振動体と、 前記圧電素子もしくは電歪素子に所定の位相差を有する
複数の交番電圧を印加できるように配置された複数の電
極と、 前記複数の電極において対応する電極間の各々に並列に
接続されたインダクタンス素子と、 前記電極間の静電容量と前記インダクタンス素子のイン
ダクタンスとで定まる電気的共振周波数を前記振動体の
機械的共振周波数より大きくなるように設定した超音波
モータ。2. A piezoelectric element or electrostrictive element that generates mechanical vibration when an alternating voltage is supplied, a vibrating body vibrated by mechanical vibration of the piezoelectric element or electrostrictive element, and the piezoelectric element or electric element. A plurality of electrodes arranged so that a plurality of alternating voltages having a predetermined phase difference can be applied to the strain element, an inductance element connected in parallel to each of the corresponding electrodes in the plurality of electrodes, and between the electrodes An ultrasonic motor in which an electric resonance frequency determined by the electrostatic capacity of the element and the inductance of the inductance element is set to be higher than the mechanical resonance frequency of the vibrating body.
生する圧電素子もしくは電歪素子と、 前記圧電素子もしくは電歪素子の機械的振動により振動
される振動体と、 前記圧電素子もしくは電歪素子に所定の位相差を有する
複数の交番電圧を印加できるように配置された複数の電
極と、 前記複数の電極の各々に直列又は前記複数の電極におい
て対応する電極間の各々に並列もしくは複数の電極の各
々に直列及び前記複数の電極において対応する電極間の
各々に並列に接続されたインダクタンス素子と、 を備え、 前記超音波モータの等価回路から機械的振動部分のRL
C直列回路を除いた回路のアドミタンスY=jX(jは
虚数単位である)におけるXが負の値となるように機械
的振動部分の機械的共振周波数を設定した超音波モー
タ。3. A piezoelectric element or an electrostrictive element that generates mechanical vibration when an alternating voltage is supplied, a vibrating body vibrated by mechanical vibration of the piezoelectric element or electrostrictive element, and the piezoelectric element or electric element. A plurality of electrodes arranged so that a plurality of alternating voltages having a predetermined phase difference can be applied to the strain element, and a plurality of electrodes arranged in series with each of the plurality of electrodes or in parallel between a plurality of electrodes corresponding to the plurality of electrodes. An inductance element connected in series to each of the electrodes and connected in parallel to each of the plurality of electrodes corresponding to each other, and an RL of a mechanical vibration part from an equivalent circuit of the ultrasonic motor.
An ultrasonic motor in which the mechanical resonance frequency of the mechanical vibration part is set such that X in the admittance Y = jX (j is an imaginary unit) of the circuit excluding the C series circuit has a negative value.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008539691A (en) * | 2005-04-29 | 2008-11-13 | シンボル テクノロジーズ, インコーポレイテッド | Piezoelectric motor drive circuit and method |
JP2013198189A (en) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Nikon Corp | Vibration actuator driving device and lens barrel |
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- 1993-10-14 JP JP25723193A patent/JP3172343B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013198189A (en) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Nikon Corp | Vibration actuator driving device and lens barrel |
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