JPH0711356A - ボンディング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法 - Google Patents
ボンディング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】溶湯を得てから鋳造までの間により確実な攪拌
及び不純物の除去を行うようにして、99.99%のＡｕを用
いながら、伸線加工時における断線不良や作製されたワ
イヤの機械的特性のばらつきを低減できるインゴットの
製造方法を提供する。 【構成】99.99%以上のＡｕを真空若しくは不活性ガスの
減圧雰囲気中にて溶解した後、そこに所望量の添加元素
を添加する。これにより得られた溶湯ａ’を攪拌した
後、鋳造温度で所定時間静置して溶湯ａ’表面に浮上す
る不純物を除去する。除去後の溶湯ａ’から分析用試料
を採取し定量分析を行う。分析結果から算出されたＡｕ
若しくは添加元素の不足分を添加する。これにより得ら
れた溶湯ａ’を再度攪拌し、その後、鋳造温度で再度静
置して溶湯ａ’表面に浮上する不純物を除去する。除去
後の溶湯からインゴットａを鋳造する。
及び不純物の除去を行うようにして、99.99%のＡｕを用
いながら、伸線加工時における断線不良や作製されたワ
イヤの機械的特性のばらつきを低減できるインゴットの
製造方法を提供する。 【構成】99.99%以上のＡｕを真空若しくは不活性ガスの
減圧雰囲気中にて溶解した後、そこに所望量の添加元素
を添加する。これにより得られた溶湯ａ’を攪拌した
後、鋳造温度で所定時間静置して溶湯ａ’表面に浮上す
る不純物を除去する。除去後の溶湯ａ’から分析用試料
を採取し定量分析を行う。分析結果から算出されたＡｕ
若しくは添加元素の不足分を添加する。これにより得ら
れた溶湯ａ’を再度攪拌し、その後、鋳造温度で再度静
置して溶湯ａ’表面に浮上する不純物を除去する。除去
後の溶湯からインゴットａを鋳造する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子のチップ電
極と外部リードを接続する為に用いるボンディング用Ａ
ｕワイヤ，Ａｕ合金ワイヤのインゴットの製造方法に関
する。
極と外部リードを接続する為に用いるボンディング用Ａ
ｕワイヤ，Ａｕ合金ワイヤのインゴットの製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種インゴットの製造方法とし
て、99.999％の高純度Ａｕと所定量の添加元素とを真空
若しくは不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解するもの
（例えば特公平2-45336 号）や、これにより得られた溶
湯を攪拌しながら表面に浮上する不純物を除去した後に
インゴットを鋳造するもの等が知られている。
て、99.999％の高純度Ａｕと所定量の添加元素とを真空
若しくは不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解するもの
（例えば特公平2-45336 号）や、これにより得られた溶
湯を攪拌しながら表面に浮上する不純物を除去した後に
インゴットを鋳造するもの等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし乍ら従来の製造
方法においては、溶湯を攪拌しながら不純物の除去を行
うことから攪拌及び不純物の除去が不充分で、製造され
たインゴット中に添加元素の偏りが生じると共に不純物
が多く介在し、該インゴットからワイヤを作製する際の
歩留りを極端に低下させ伸線加工時に断線が多発する不
具合があると共に、出来上がったワイヤの機械的特性に
も悪影響を与えていた。
方法においては、溶湯を攪拌しながら不純物の除去を行
うことから攪拌及び不純物の除去が不充分で、製造され
たインゴット中に添加元素の偏りが生じると共に不純物
が多く介在し、該インゴットからワイヤを作製する際の
歩留りを極端に低下させ伸線加工時に断線が多発する不
具合があると共に、出来上がったワイヤの機械的特性に
も悪影響を与えていた。
【０００４】また従来の方法においては、前述の如く溶
湯の攪拌及び不純物の除去が不充分になることから、不
純物の少ない99.999％の高純度Ａｕを用いることを余儀
無くされ、ワイヤの作製コストが高騰する欠点があっ
た。
湯の攪拌及び不純物の除去が不充分になることから、不
純物の少ない99.999％の高純度Ａｕを用いることを余儀
無くされ、ワイヤの作製コストが高騰する欠点があっ
た。
【０００５】本発明はこのような従来事情に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、溶湯を得て
から鋳造までの間により確実な攪拌及び不純物の除去を
行うようにして、９９．９９％のＡｕを用いながら、伸
線加工時における断線不良や作製されたワイヤの機械的
特性のばらつきを低減できる、ボンディング用Ａｕワイ
ヤのインゴットの製造方法を提供することである。
れたものであり、その目的とするところは、溶湯を得て
から鋳造までの間により確実な攪拌及び不純物の除去を
行うようにして、９９．９９％のＡｕを用いながら、伸
線加工時における断線不良や作製されたワイヤの機械的
特性のばらつきを低減できる、ボンディング用Ａｕワイ
ヤのインゴットの製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに本発明の製造方法は、請求項１では、：９９．９
９％以上のＡｕを真空若しくは不活性ガスの減圧雰囲気
中にて溶解しこれに所望量の添加元素を添加するか、ま
たは、これと同じ組成のＡｕ合金を真空若しくは不活性
ガスの減圧雰囲気中にて溶解する工程、：これにより
得られた溶湯を攪拌する工程、：攪拌後の溶湯を鋳造
温度で所定時間静置して溶湯表面に浮上する不純物を除
去する工程、：除去後の溶湯からインゴットを鋳造す
る工程からなることを特徴とする。
めに本発明の製造方法は、請求項１では、：９９．９
９％以上のＡｕを真空若しくは不活性ガスの減圧雰囲気
中にて溶解しこれに所望量の添加元素を添加するか、ま
たは、これと同じ組成のＡｕ合金を真空若しくは不活性
ガスの減圧雰囲気中にて溶解する工程、：これにより
得られた溶湯を攪拌する工程、：攪拌後の溶湯を鋳造
温度で所定時間静置して溶湯表面に浮上する不純物を除
去する工程、：除去後の溶湯からインゴットを鋳造す
る工程からなることを特徴とする。
【０００７】また請求項２では、上記からまでの工
程に加えて、：不純物除去後の溶湯から分析用試料を
採取し定量分析を行う工程、：分析結果から算出され
たＡｕ若しくは添加元素の不足分を添加する工程、：
これにより得られた溶湯を再度攪拌する工程、：攪拌
後の溶湯を鋳造温度で再度静置して溶湯表面に浮上する
不純物を除去する工程、：除去後の溶湯からインゴッ
トを鋳造する工程を備えてなることを特徴とする。
程に加えて、：不純物除去後の溶湯から分析用試料を
採取し定量分析を行う工程、：分析結果から算出され
たＡｕ若しくは添加元素の不足分を添加する工程、：
これにより得られた溶湯を再度攪拌する工程、：攪拌
後の溶湯を鋳造温度で再度静置して溶湯表面に浮上する
不純物を除去する工程、：除去後の溶湯からインゴッ
トを鋳造する工程を備えてなることを特徴とする。
【０００８】
【作用】請求項１記載の方法によれば、Ａｕ原料中に含
まれていた不純物成分は攪拌中に溶湯から分離し溶湯中
の不純物として浮上してくるが、攪拌後の溶湯を鋳造温
度で所定時間静置することから、溶湯中の不純物を分
離，浮上せしめるにより充分な時間を確保でき、確実な
不純物除去が行える。よって、不純物を多く含む９９．
９９％のＡｕを用いながら、伸線加工時における断線不
良や作製されたワイヤの機械的特性のばらつきを低減で
きる。
まれていた不純物成分は攪拌中に溶湯から分離し溶湯中
の不純物として浮上してくるが、攪拌後の溶湯を鋳造温
度で所定時間静置することから、溶湯中の不純物を分
離，浮上せしめるにより充分な時間を確保でき、確実な
不純物除去が行える。よって、不純物を多く含む９９．
９９％のＡｕを用いながら、伸線加工時における断線不
良や作製されたワイヤの機械的特性のばらつきを低減で
きる。
【０００９】また請求項２記載の方法によれば前述の作
用に加えて、定量分析の前，後に溶湯を静置すると共
に、その定量分析中にも静置を行えることから、溶湯中
の不純物を分離，浮上せしめるに極めて充分な時間を確
保でき、より確実な不純物除去が行える。同時に、定量
分析の前，後に溶湯の攪拌を行うことから、添加元素の
偏りのないより確実な攪拌がなされる。よって、不純物
を多く含む９９．９９％のＡｕを用いながら前述の断線
不良や機械的特性のばらつきの低減をより効果的になし
得る。
用に加えて、定量分析の前，後に溶湯を静置すると共
に、その定量分析中にも静置を行えることから、溶湯中
の不純物を分離，浮上せしめるに極めて充分な時間を確
保でき、より確実な不純物除去が行える。同時に、定量
分析の前，後に溶湯の攪拌を行うことから、添加元素の
偏りのないより確実な攪拌がなされる。よって、不純物
を多く含む９９．９９％のＡｕを用いながら前述の断線
不良や機械的特性のばらつきの低減をより効果的になし
得る。
【００１０】
【実施例】以下、実施例について図面を参照して説明す
る。図１に示す装置は、本発明製造方法の実施に用いる
真空溶解炉を備えた鋳造装置で、内部の真空雰囲気を維
持する装置本体１内に、るつぼ２と該るつぼ２を囲繞す
る加熱溶解用の高周波コイル３を配設してなる。装置本
体１の下面側には、るつぼ２内の溶湯ａ’の取出口４と
引出棒4a、前記溶湯ａ’を冷却しながら取出口４から取
り出すための冷却装置５、冷却された溶湯（即ち、イン
ゴットａ）を連続して引き出すためのローラ６等が設け
られている。
る。図１に示す装置は、本発明製造方法の実施に用いる
真空溶解炉を備えた鋳造装置で、内部の真空雰囲気を維
持する装置本体１内に、るつぼ２と該るつぼ２を囲繞す
る加熱溶解用の高周波コイル３を配設してなる。装置本
体１の下面側には、るつぼ２内の溶湯ａ’の取出口４と
引出棒4a、前記溶湯ａ’を冷却しながら取出口４から取
り出すための冷却装置５、冷却された溶湯（即ち、イン
ゴットａ）を連続して引き出すためのローラ６等が設け
られている。
【００１１】装置本体１上面部位には、るつぼ２内の溶
湯ａ’を攪拌するための攪拌棒７と、その溶湯ａ’から
分析用のサンプルを定量採取するための採取棒８と、そ
の溶湯ａ’表面に浮き上がる不純物を除去するための除
去棒９とが設けられると共に、それら攪拌棒７，採取棒
８，除去棒９により夫々の作業を行う際ののぞき窓10が
開設される。
湯ａ’を攪拌するための攪拌棒７と、その溶湯ａ’から
分析用のサンプルを定量採取するための採取棒８と、そ
の溶湯ａ’表面に浮き上がる不純物を除去するための除
去棒９とが設けられると共に、それら攪拌棒７，採取棒
８，除去棒９により夫々の作業を行う際ののぞき窓10が
開設される。
【００１２】採取棒８は図２に示すように、先端外周に
凹部81を多段状に形成した軸部8aと、その軸部8a外周に
回動自在に嵌装した筒状カバー8bからなる。前記カバー
8bには凹部81を開閉するための開孔82が多段状に設けら
れ、筒状カバー8bの回動で凹部81を開閉して、凹部81内
に溶湯ａ’のサンプルを採取できるようになっている。
凹部81を多段状に形成した軸部8aと、その軸部8a外周に
回動自在に嵌装した筒状カバー8bからなる。前記カバー
8bには凹部81を開閉するための開孔82が多段状に設けら
れ、筒状カバー8bの回動で凹部81を開閉して、凹部81内
に溶湯ａ’のサンプルを採取できるようになっている。
【００１３】装置本体１の内部には、上記採取棒８の挿
通孔11に連通する前室12が設けられる。前室12は、隔壁
13を介して本体１内部と区画され、その隔壁13に通孔14
と開閉扉14ａを設けてなる。そうして、採取棒８の出し
入れを行うに際し、一旦前室12内にて待機させた状態で
開閉扉14ａを開閉して前室12内を真空若しくは大気中雰
囲気にし、本体１内部の真空雰囲気を維持できるように
なっている。
通孔11に連通する前室12が設けられる。前室12は、隔壁
13を介して本体１内部と区画され、その隔壁13に通孔14
と開閉扉14ａを設けてなる。そうして、採取棒８の出し
入れを行うに際し、一旦前室12内にて待機させた状態で
開閉扉14ａを開閉して前室12内を真空若しくは大気中雰
囲気にし、本体１内部の真空雰囲気を維持できるように
なっている。
【００１４】装置本体１の側面部位には、るつぼ２内へ
の99.99%以上のＡｕまたは母合金若しくは添加元素の供
給を行うための供給口15と開閉扉15a が設けられる。装
置本体１内部にはそれら供給口15に連通する前室16が設
けられ、前室16は隔壁17により本体１内部と区画され
る。隔壁17には通孔18と開閉扉18a が設けられる。上記
供給口15の下方には、先端部分を前室16内に位置せしめ
た添加棒19を摺動自在に挿通する。そうして、添加棒19
の摺動操作によって上記Ａｕ，母合金，添加元素等をる
つぼ２に供給するに際し、扉15a ，18a の時差開閉によ
り前室16内を真空若しくは大気中雰囲気にして、本体１
内部の真空雰囲気を維持できるようになっている。
の99.99%以上のＡｕまたは母合金若しくは添加元素の供
給を行うための供給口15と開閉扉15a が設けられる。装
置本体１内部にはそれら供給口15に連通する前室16が設
けられ、前室16は隔壁17により本体１内部と区画され
る。隔壁17には通孔18と開閉扉18a が設けられる。上記
供給口15の下方には、先端部分を前室16内に位置せしめ
た添加棒19を摺動自在に挿通する。そうして、添加棒19
の摺動操作によって上記Ａｕ，母合金，添加元素等をる
つぼ２に供給するに際し、扉15a ，18a の時差開閉によ
り前室16内を真空若しくは大気中雰囲気にして、本体１
内部の真空雰囲気を維持できるようになっている。
【００１５】以下に、上記の装置を用いた本発明の製造
方法について説明する。 （第１工程）まず、99.99%以上のＡｕをるつぼ２に入
れ、装置本体１内を減圧して真空雰囲気とした後にＡｒ
等の不活性ガスを導入し、その状態でるつぼ２内を加熱
してＡｕを溶解せしめる。その後、所望量の添加元素を
金属単体若しくは母合金で供給口15から添加棒19の先端
部19a にのせ、扉15a を閉じて前室16内を減圧して真空
雰囲気とした後に扉18a を開き、添加棒19を摺動操作し
てるつぼ２内に供給し、扉18a を密閉した後るつぼ２内
を加熱して添加元素を溶解せしめる。
方法について説明する。 （第１工程）まず、99.99%以上のＡｕをるつぼ２に入
れ、装置本体１内を減圧して真空雰囲気とした後にＡｒ
等の不活性ガスを導入し、その状態でるつぼ２内を加熱
してＡｕを溶解せしめる。その後、所望量の添加元素を
金属単体若しくは母合金で供給口15から添加棒19の先端
部19a にのせ、扉15a を閉じて前室16内を減圧して真空
雰囲気とした後に扉18a を開き、添加棒19を摺動操作し
てるつぼ２内に供給し、扉18a を密閉した後るつぼ２内
を加熱して添加元素を溶解せしめる。
【００１６】（第２工程）次に、上記のようにして得ら
れた溶湯ａ’を、攪拌棒７を回動させて均一に攪拌す
る。
れた溶湯ａ’を、攪拌棒７を回動させて均一に攪拌す
る。
【００１７】（第３工程）攪拌後、その溶湯ａ’を鋳造
温度で所定時間（本実施例では10分）静置し、溶湯ａ’
表面に浮上する不純物を除去棒９で除去する。
温度で所定時間（本実施例では10分）静置し、溶湯ａ’
表面に浮上する不純物を除去棒９で除去する。
【００１８】（第４工程）不純物除去後の溶湯ａ’か
ら、採取棒８を操作して分析用試料を採取して定量分析
を行い、その結果から設定比率に対して不足している9
9.99%以上のＡｕ若しくは合金元素の補充量を算出す
る。このようにして溶湯ａ’からサンプルを採取して成
分分析を行うことは、その分析に掛かる時間だけ溶湯を
静置することができ、不純物の分離，除去に極めて有用
である。さらに、溶湯ａ’段階で成分分析を行って不足
する99.99%以上のＡｕ若しくは合金元素を添加できるの
で、出来上がったインゴットａの成分比率を当初の設定
比率により近いものとし得る。
ら、採取棒８を操作して分析用試料を採取して定量分析
を行い、その結果から設定比率に対して不足している9
9.99%以上のＡｕ若しくは合金元素の補充量を算出す
る。このようにして溶湯ａ’からサンプルを採取して成
分分析を行うことは、その分析に掛かる時間だけ溶湯を
静置することができ、不純物の分離，除去に極めて有用
である。さらに、溶湯ａ’段階で成分分析を行って不足
する99.99%以上のＡｕ若しくは合金元素を添加できるの
で、出来上がったインゴットａの成分比率を当初の設定
比率により近いものとし得る。
【００１９】（第５工程）上記算出された99.99%以上の
Ａｕ若しくは合金元素を、添加棒19を用いて、その補充
量だけるつぼ２内に供給する。
Ａｕ若しくは合金元素を、添加棒19を用いて、その補充
量だけるつぼ２内に供給する。
【００２０】（第６工程）添加後、攪拌棒７を再度回動
させて均一に溶解，攪拌する。
させて均一に溶解，攪拌する。
【００２１】（第７工程）攪拌後、静置により溶湯ａ’
表面に浮上する溶湯ａ’内の不純物を除去棒９で再度除
去する。
表面に浮上する溶湯ａ’内の不純物を除去棒９で再度除
去する。
【００２２】（第８工程）不純物の除去後、引出棒4aを
引き抜き、冷却装置５で冷却された溶湯ａ’、即ちイン
ゴットａを取出口４から連続して引き出す。
引き抜き、冷却装置５で冷却された溶湯ａ’、即ちイン
ゴットａを取出口４から連続して引き出す。
【００２３】以下に、上記のようにして得られたインゴ
ットａの特性に関する試験結果を説明する。表１中の本
発明実施品は請求項２に記載される製造方法、即ち、上
述の第１工程から第８工程を経て得られた20Kgのインゴ
ットから通常の工程を経て伸線加工したボンディング用
ワイヤ、従来品は従来の製造方法で得た20Kgのインゴッ
トから通常の工程を経て伸線加工したボンディング用ワ
イヤで、これら両者について、伸線加工した際のインゴ
ット１Kg当りの断線回数と、φ25μｍまで伸線したワイ
ヤにおける機械的特性のばらつきを測定した。結果も表
中に記す。
ットａの特性に関する試験結果を説明する。表１中の本
発明実施品は請求項２に記載される製造方法、即ち、上
述の第１工程から第８工程を経て得られた20Kgのインゴ
ットから通常の工程を経て伸線加工したボンディング用
ワイヤ、従来品は従来の製造方法で得た20Kgのインゴッ
トから通常の工程を経て伸線加工したボンディング用ワ
イヤで、これら両者について、伸線加工した際のインゴ
ット１Kg当りの断線回数と、φ25μｍまで伸線したワイ
ヤにおける機械的特性のばらつきを測定した。結果も表
中に記す。
【００２４】
【表１】
【００２５】以上の測定結果から、99.99%のＡｕを用い
てなる本発明実施品が、従来の方法からなる比較品に比
して、伸線加工時における断線不良や作製されたワイヤ
の機械的特性のばらつきの改善に、極めて優れた特性を
奏することが確認できた。
てなる本発明実施品が、従来の方法からなる比較品に比
して、伸線加工時における断線不良や作製されたワイヤ
の機械的特性のばらつきの改善に、極めて優れた特性を
奏することが確認できた。
【００２６】尚、本実施例においては上述の如く、第１
工程において99.99%以上のＡｕを真空雰囲気中にて溶解
しこれに所望量の添加元素を添加するものとしたが、こ
れと同じ組成のＡｕ合金を真空若しくは不活性ガスの減
圧雰囲気中にて溶解するものとしても上記同様の作用効
果を得ることができる。
工程において99.99%以上のＡｕを真空雰囲気中にて溶解
しこれに所望量の添加元素を添加するものとしたが、こ
れと同じ組成のＡｕ合金を真空若しくは不活性ガスの減
圧雰囲気中にて溶解するものとしても上記同様の作用効
果を得ることができる。
【００２７】表２中に示す本発明実施品は、請求項１に
記載される製造方法、即ち、上述の第１工程から第３工
程を経た後、第４工程から第７工程を省略して直接第８
工程に至った場合に得られた20Kgのインゴットから通常
の工程を経て伸線加工したボンディング用ワイヤで、該
ワイヤについて、伸線加工した際のインゴット１Kg当り
の断線回数と、φ25μｍまで伸線したワイヤにおける機
械的特性のばらつきを測定した。結果も同表中に記す。
記載される製造方法、即ち、上述の第１工程から第３工
程を経た後、第４工程から第７工程を省略して直接第８
工程に至った場合に得られた20Kgのインゴットから通常
の工程を経て伸線加工したボンディング用ワイヤで、該
ワイヤについて、伸線加工した際のインゴット１Kg当り
の断線回数と、φ25μｍまで伸線したワイヤにおける機
械的特性のばらつきを測定した。結果も同表中に記す。
【００２８】
【表２】
【００２９】以上の測定結果によれば、前述の実施例に
より得られる表１中の結果よりはやや劣るものの、同表
１中に記載される従来の方法からなる比較品に比して、
伸線加工時における断線不良や作製されたワイヤの機械
的特性のばらつきの改善に優れた特性を奏することが確
認できた。
より得られる表１中の結果よりはやや劣るものの、同表
１中に記載される従来の方法からなる比較品に比して、
伸線加工時における断線不良や作製されたワイヤの機械
的特性のばらつきの改善に優れた特性を奏することが確
認できた。
【００３０】
【発明の効果】本発明に係るインゴットの製造方法によ
れば、溶湯中の不純物を分離，浮上せしめるに極めて充
分な時間を確保でき、より確実な不純物除去が行えると
同時に、添加元素の偏りのないより確実な攪拌がなされ
る。
れば、溶湯中の不純物を分離，浮上せしめるに極めて充
分な時間を確保でき、より確実な不純物除去が行えると
同時に、添加元素の偏りのないより確実な攪拌がなされ
る。
【００３１】従って、作製されるワイヤの伸線加工時に
おける断線不良や機械的特性のばらつき改善に優れた特
性を奏するインゴットを、９９．９９％以上のＡｕを用
いて低コストで製造できる。
おける断線不良や機械的特性のばらつき改善に優れた特
性を奏するインゴットを、９９．９９％以上のＡｕを用
いて低コストで製造できる。
【図１】本発明に係る製造方法の実施に用いる装置の一
例を示す縦断正面図。
例を示す縦断正面図。
【図２】図１に示す装置の採取棒の要部を拡大して示す
断面図。
断面図。
１：装置本体 ２：るつぼ
７：攪拌棒 ８：採取棒 ９：除去棒
ａ’：溶湯 ａ：インゴット
７：攪拌棒 ８：採取棒 ９：除去棒
ａ’：溶湯 ａ：インゴット
Claims (2)
- 【請求項１】 ９９．９９％以上のＡｕを真空若しくは
不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解しこれに所望量の添
加元素を添加するか、これと同じ組成のＡｕ合金を真空
若しくは不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解する第１工
程、これにより得られた溶湯を攪拌する第２工程、攪拌
後の溶湯を鋳造温度で所定時間静置して溶湯表面に浮上
する不純物を除去する第３工程、除去後の溶湯からイン
ゴットを鋳造する第４工程からなることを特徴とするボ
ンディング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の第１工程から第３工程ま
でに加えて、不純物除去後の溶湯から分析用試料を採取
し定量分析を行う第４工程、分析結果から算出されたＡ
ｕ若しくは添加元素の不足分を添加する第５工程、これ
により得られた溶湯を再度攪拌する第６工程、攪拌後の
溶湯を鋳造温度で再度静置して溶湯表面に浮上する不純
物を除去する第７工程、除去後の溶湯からインゴットを
鋳造する第８工程を備えてなることを特徴とするボンデ
ィング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5157266A JPH0711356A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | ボンディング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5157266A JPH0711356A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | ボンディング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0711356A true JPH0711356A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15645905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5157266A Pending JPH0711356A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | ボンディング用Ａｕワイヤのインゴットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711356A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003048052A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-18 | Nittetsu Micro Metal:Kk | 伸線用インゴットの製造方法及び製造装置 |
| KR100840402B1 (ko) * | 2006-08-21 | 2008-06-23 | 포항공과대학교 산학협력단 | 감압 유도 용해로를 이용한 합금 제조 방법 |
| JP2008254056A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ボンディングワイヤ用母材の製造方法およびボンディングワイヤ |
| JP2009527111A (ja) * | 2006-02-13 | 2009-07-23 | ヴェー ツェー ヘレーウス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ボンディングワイヤ |
| CN114921656A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-19 | 有研亿金新材料有限公司 | 降低高纯金碳含量的方法 |
-
1993
- 1993-06-28 JP JP5157266A patent/JPH0711356A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003048052A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-18 | Nittetsu Micro Metal:Kk | 伸線用インゴットの製造方法及び製造装置 |
| JP4672203B2 (ja) * | 2001-08-02 | 2011-04-20 | 株式会社日鉄マイクロメタル | 金ボンディングワイヤ用インゴットの製造方法 |
| JP2009527111A (ja) * | 2006-02-13 | 2009-07-23 | ヴェー ツェー ヘレーウス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ボンディングワイヤ |
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| JP2008254056A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ボンディングワイヤ用母材の製造方法およびボンディングワイヤ |
| CN114921656A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-19 | 有研亿金新材料有限公司 | 降低高纯金碳含量的方法 |
| CN114921656B (zh) * | 2022-05-17 | 2024-01-26 | 有研亿金新材料有限公司 | 降低高纯金碳含量的方法 |
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