JPH07111197A - Connection structure for vacuum chamber in particle accelerator - Google Patents

Connection structure for vacuum chamber in particle accelerator

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JPH07111197A
JPH07111197A JP25615993A JP25615993A JPH07111197A JP H07111197 A JPH07111197 A JP H07111197A JP 25615993 A JP25615993 A JP 25615993A JP 25615993 A JP25615993 A JP 25615993A JP H07111197 A JPH07111197 A JP H07111197A
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JP
Japan
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vacuum chambers
ring body
groove
joint
vacuum
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JP25615993A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsunari Shinno
満成 新野
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide an effective connection structure to connect vacuum chambers comprising copper material to each other. CONSTITUTION:In connecting vacuum chambers 20, 20 comprising copper material to each other, a groove 32 is formed in an outer circumferential surface of a forward end part of a tubular coupling main body 31 formed of the same copper material as that of the vacuum chambers, and a ring body 33 comprising stainless material is engaged in the groove. A flange 34 comprising stainless material similarly is fixed to the ring body to obtain a coupling 30. Base ends of the couplings 30 are welded to be jointed with connection ends of the subject vacuum chambers to be connected to each other respectively, and the flanges 34 of the couplings 30 are fastened to each other to connect the vacuum chambers to each other. Otherwise, the coupling is provided with a circular rib instead of the flange, so by welding the ribs with each other, the vacuum chambers are connected to each other.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器において真空チャンバーどうしを接続するため
の構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure for connecting vacuum chambers in a particle accelerator such as a synchrotron.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、シンクロトロン等の粒子加速器か
ら放射されるSOR光(シンクロトロン放射光)を取り
出し、それを光源としてたとえば超LSIの製造、医療
分野における診断、分子解析、構造解析等といった様々
な分野において利用しようとする機運があり、そのため
の施設が開発されつつある。
2. Description of the Related Art In recent years, SOR light (synchrotron radiation) emitted from a particle accelerator such as a synchrotron is extracted and used as a light source, for example, in the manufacture of VLSI, diagnosis in the medical field, molecular analysis, structural analysis, etc. There is momentum to use it in various fields, and facilities for it are being developed.

【0003】図3はSOR光利用のための小型シンクロ
トロンの概要を示すものである。このシンクロトロンで
は、電子銃等の電子発生装置1で発生させた電子を直線
加速器(ライナック)2で光速近くに加速し、偏向電磁
石3で偏向させて入射路4によりインフレクタ5を介し
て蓄積リング6に入射する。蓄積リング6に入射した電
子は高周波加速空洞7によりエネルギを与えられながら
収束電磁石8で収束され、偏向電磁石9で偏向されて蓄
積リング6内を周回し続ける。そして、偏向電磁石9で
偏向される際にその接線方向にSOR光が放射され、そ
れが光取り出しラインであるビームライン10を介して
たとえば露光装置11に出射されて利用されるのであ
る。
FIG. 3 shows an outline of a small synchrotron for utilizing SOR light. In this synchrotron, electrons generated by an electron generator 1 such as an electron gun are accelerated by a linear accelerator (linac) 2 to near the speed of light, deflected by a deflecting electromagnet 3, and accumulated by an incident path 4 via an inflector 5. It is incident on the ring 6. The electrons that have entered the storage ring 6 are converged by the converging electromagnet 8 while being given energy by the high-frequency acceleration cavity 7, are deflected by the deflection electromagnet 9, and continue to orbit the storage ring 6. Then, when deflected by the deflecting electromagnet 9, SOR light is emitted in the tangential direction thereof, and the SOR light is emitted to the exposure device 11 through the beam line 10 which is a light extraction line for use.

【0004】上記の蓄積リング6は所定長さの真空チャ
ンバーを多数接続することで環状に構成されるものであ
る。蓄積リング6を構成するための真空チャンバーの素
材としてはアルミニウム合金が用いられることが従来一
般的であり、それら真空チャンバーどうしの接続は、接
続部の真空シール性能を充分に確保し、かつ接続部の内
面側に多少なりとも生じることが避け得ない段差や間隙
を最小限とするべく、真空チャンバーの一端どうしを直
接的に溶接することによって行うことが従来一般的であ
った。
The storage ring 6 is formed in an annular shape by connecting a number of vacuum chambers of a predetermined length. Aluminum alloy has been generally used as a material of the vacuum chamber for forming the storage ring 6, and the connection between the vacuum chambers sufficiently secures the vacuum sealing performance of the connection portion, and It has heretofore been common practice to directly weld one end of a vacuum chamber to one another in order to minimize steps and gaps that are unavoidably generated on the inner surface side of the vacuum chamber.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近におい
てはより大規模かつ大出力の粒子加速器の開発が進めら
れており、そのような粒子加速器においてはアルミニウ
ム合金より耐熱性や電気的特性に優れる銅材料を真空チ
ャンバーの素材として用いることが検討されているが、
そのような真空チャンバーの採用を可能とするために
は、それら銅材料からなる真空チャンバーどうしを接続
するための有効な接続構造の開発が不可欠であった。
By the way, recently, a large-scale and high-power particle accelerator has been developed, and in such a particle accelerator, copper, which is superior in heat resistance and electric characteristics to an aluminum alloy, is used. It is considered to use the material as the material of the vacuum chamber,
In order to enable the adoption of such a vacuum chamber, it was essential to develop an effective connection structure for connecting the vacuum chambers made of those copper materials.

【0006】すなわち、上述したようにアルミニウム合
金製の真空チャンバーどうしを直接的に溶接して接続す
ることは特に支障なく行い得るのであるが、銅材料どう
しを溶接するにはアルミニウム合金どうしを溶接する場
合に比してより高温が要求され、単に大気中において溶
接した場合には溶接部の周囲(特に真空チャンバーの内
面)が酸化してしまって真空チャンバーとしての性能を
確保できなくなってしまう。したがって、敢えて溶接し
ようとする場合には、酸化を防止するために真空チャン
バーの内面側を含めて溶接部の周囲全体を真空に保持し
て作業を行わざるを得ないが、真空チャンバーどうしを
順次接続して大規模な環状の蓄積リングを構成する作業
を真空雰囲気下で行うようなことはできるものではな
く、また、溶接後には溶接部の内面に対する後処理を行
うようなことは不可能であるので、そのようなことはほ
とんど現実的ではない。
That is, as described above, it is possible to directly weld and connect the aluminum alloy vacuum chambers to each other without any problem, but to weld the copper materials, the aluminum alloys are welded to each other. A higher temperature is required than in the case, and when welding is simply performed in the atmosphere, the periphery of the welded portion (in particular, the inner surface of the vacuum chamber) is oxidized and the performance as a vacuum chamber cannot be ensured. Therefore, when welding is intentionally performed, it is inevitable to maintain the vacuum in the entire periphery of the welded part including the inner surface side of the vacuum chamber in order to prevent oxidation. It is not possible to perform the work of connecting and forming a large-scale annular storage ring in a vacuum atmosphere, and after welding, it is impossible to perform post-treatment on the inner surface of the weld. As such, such things are almost unrealistic.

【0007】そこで、現実的な手法として、図4あるい
は図5に示すような構造により、銅材料からなる真空チ
ャンバー20に対してステンレス材料からなるフランジ
21を取り付け、それらフランジ21,21どうしを締
結することにより真空チャンバー20,20どうしを接
続することが考えられている。
Therefore, as a practical method, a flange 21 made of a stainless material is attached to the vacuum chamber 20 made of a copper material and the flanges 21 and 21 are fastened to each other by the structure shown in FIG. 4 or 5. By doing so, it is considered that the vacuum chambers 20, 20 are connected to each other.

【0008】図4に示す構造は、銅材料からなる真空チ
ャンバー20の外表面にインコネル等を盛り付けること
で中間層22を形成し、その表面上にステンレス材料か
らなるフランジ21を溶接するようにしたものである。
In the structure shown in FIG. 4, an intermediate layer 22 is formed by depositing Inconel or the like on the outer surface of a vacuum chamber 20 made of a copper material, and a flange 21 made of a stainless material is welded on the surface. It is a thing.

【0009】また、図5に示す構造は、銅材料により形
成された基部24とステンレス材料により形成された先
端部25をたとえば圧着により接合するとともに、先端
部25に同じくステンレス材料からなる上記フランジ2
1を溶接してなる異材継手26を用い、その異材継手2
6を真空チャンバー20の先端に溶接して用いるように
したものである。この異材継手26の真空チャンバー2
0に対する接合は銅材料どうしを溶接することで行うこ
とになるので、その溶接はたとえば真空容器内において
真空雰囲気下で行うこととし、必要に応じて溶接後に溶
接部内面に対する後処理を行う。
Further, in the structure shown in FIG. 5, the base portion 24 made of a copper material and the tip portion 25 made of a stainless material are joined by, for example, crimping, and the tip portion 25 is also made of the above-mentioned flange 2 made of a stainless material.
A dissimilar material joint 26 formed by welding 1
6 is welded to the tip of the vacuum chamber 20 for use. Vacuum chamber 2 of this dissimilar material joint 26
Since joining to 0 is performed by welding copper materials to each other, the welding is performed in a vacuum atmosphere, for example, in a vacuum vessel, and post-treatment is performed on the inner surface of the welded portion after welding if necessary.

【0010】しかしながら、図4に示す構造において
は、インコネル等の中間層22と真空チャンバー20と
の間の接合面強度が必ずしも充分でなく、また、それら
の熱膨張率の差によりベイキング処理(蓄積リング6内
を超高真空とするために、その全体を高温に加熱して内
面に付着している不純物を気化させながら真空排気を行
う処理)の際にそれらの境界面にマイクロクラックが生
じる懸念があった。
However, in the structure shown in FIG. 4, the strength of the joint surface between the intermediate layer 22 such as Inconel and the vacuum chamber 20 is not always sufficient, and a baking treatment (accumulation) is caused by the difference in the coefficient of thermal expansion between them. In order to make the inside of the ring 6 an ultra-high vacuum, the whole is heated to a high temperature to evacuate while vacuuming the impurities adhering to the inner surface of the ring 6), and microcracks may be generated at the interface between them. was there.

【0011】また、図5に示すような異材継手26を用
いる場合には、真空チャンバー20,20どうしの接続
部に銅材料に対して異種の材料であるステンレス材料が
介在することになるので、その部分で電気的特性や熱的
特性も変化してしまうという不具合があり、その有効性
は必ずしも充分に満足し得るものではない。
Further, when the dissimilar material joint 26 as shown in FIG. 5 is used, a stainless material, which is a dissimilar material to the copper material, intervenes in the connecting portion between the vacuum chambers 20 and 20, There is a problem that the electrical characteristics and the thermal characteristics change in that part, and the effectiveness is not always sufficiently satisfactory.

【0012】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、銅材料からなる真空チャンバーどうしを接続するた
めの有効な接続構造を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an effective connection structure for connecting vacuum chambers made of a copper material.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、粒子加速器において荷電粒子の軌道を構成するため
に互いに接続されて用いられる銅材料からなる真空チャ
ンバーどうしを接続するための構造であって、銅材料か
らなる管状の継手本体の先端部の外周面に全周にわたる
溝を形成し、該溝にステンレス材料からなるリング体を
嵌着し、該リング体にステンレス材料からなるフランジ
を固着してなる継手を用い、接続するべき双方の真空チ
ャンバーの接続端にそれぞれ前記継手の基端を溶接して
接合し、それら継手のフランジどうしを締結することに
よって双方の真空チャンバーどうしを接続することを特
徴とするものである。
The invention according to claim 1 is a structure for connecting vacuum chambers made of copper materials, which are used to be connected to each other to form an orbit of charged particles in a particle accelerator. Then, a groove is formed over the entire circumference on the outer peripheral surface of the tip end of the tubular joint body made of a copper material, a ring body made of a stainless material is fitted in the groove, and a flange made of a stainless material is attached to the ring body. By using a fixed joint, the base ends of the joints are welded and joined to the connection ends of both vacuum chambers to be connected, and the vacuum chambers are connected by fastening the flanges of the joints. It is characterized by that.

【0014】また、請求項2に記載の発明は、上記の継
手におけるフランジに代えて環状のリブを設けた継手を
用い、それらリブどうしを溶接することによって双方の
真空チャンバーどうしを接続することを特徴とするもの
である。
According to a second aspect of the present invention, a joint provided with an annular rib in place of the flange in the joint is used, and the two vacuum chambers are connected to each other by welding the ribs. It is a feature.

【0015】[0015]

【作用】本発明は、銅材料からなる真空チャンバーどう
しを継手を介して接続するが、その継手としては、接続
対象の真空チャンバーと同一の銅材料からなる継手本体
にリング体を介してフランジもしくはリブを取り付けた
構成のものを用いる。その継手におけるリング体はステ
ンレス材料により形成し、このリング体の継手本体に対
する取り付けは、継手本体の先端部に形成した溝にリン
グ体をたとえば圧着、圧入、溶接、ろう付け等により嵌
着することで行う。また、フランジやリブはリング体と
同一のステンレス材料により形成し、それらフランジや
リブのリング体に対する取り付けは、それらをたとえば
溶接により固着することで行う。さらに、この継手の真
空チャンバーに対する接続は継手本体の基端を真空チャ
ンバーの先端に直接的に溶接することで行うが、それは
銅材料どうしの溶接となるので、溶接部の酸化を防止す
るべくたとえば真空容器内において真空雰囲気下で行
う。
According to the present invention, vacuum chambers made of a copper material are connected to each other through a joint. As the joint, a joint body made of the same copper material as the vacuum chamber to be connected is connected to a flange or a ring body. Use the one with ribs attached. The ring body in the joint is formed of a stainless material, and the ring body is attached to the joint body by fitting the ring body into the groove formed at the tip of the joint body by, for example, crimping, press fitting, welding, brazing, or the like. Done in. The flanges and ribs are made of the same stainless steel material as the ring body, and the flanges and ribs are attached to the ring body by fixing them, for example, by welding. Furthermore, the connection of this joint to the vacuum chamber is made by directly welding the base end of the joint body to the tip of the vacuum chamber, but this is welding of copper materials, so to prevent oxidation of the welded portion, for example, Perform in a vacuum atmosphere in a vacuum container.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は第1実施例を示すものであって、本第1実
施例においては、銅材料からなる真空チャンバー20,
20どうしを接続するに際し、それら真空チャンバー2
0,20の先端にそれぞれ継手30,30を接合し、そ
れら継手30,30どうしをボルトおよびナットにより
締結することで真空チャンバー20,20どうしを接続
するようにしている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a first embodiment. In the first embodiment, a vacuum chamber 20 made of a copper material,
When connecting 20 to each other, those vacuum chambers 2
The vacuum chambers 20 and 20 are connected to each other by joining the joints 30 and 30 to the ends of the vacuum chambers 0 and 20 and fastening the joints 30 and 30 with bolts and nuts.

【0017】本第1実施例における継手30は、真空チ
ャンバー20と同一の銅材料により形成された管状の継
手本体31の先端部の外周面に全周にわたって溝32を
形成し、その溝32に、ステンレス材料からなるリング
体33を嵌着し、そのリング体33に同じくステンレス
材料からなるフランジ34を溶接してなるものである。
In the joint 30 of the first embodiment, a groove 32 is formed all around the outer peripheral surface of the tip end of a tubular joint body 31 made of the same copper material as the vacuum chamber 20, and the groove 32 is formed in the groove 32. A ring body 33 made of a stainless material is fitted and a flange 34 also made of a stainless material is welded to the ring body 33.

【0018】継手本体31の溝32に対するリング体3
3の嵌着は、たとえば熱間等方圧プレスの手法による圧
着によって行うと良いが、あるいは圧入もしくは溶接や
ろう付けにより行うことでも良い。また、リング体33
に対するフランジ34の溶接はステンレス材料どうしで
あるので周知の手法により容易にかつ支障なく行い得
る。さらに、真空チャンバー20に対する継手30の溶
接は銅材料どうしの溶接となるので、上述したようにた
とえば真空容器内において真空雰囲気下で行うことと
し、必要に応じて溶接部の内面に対する後処理を行うと
良い。
Ring body 3 with respect to groove 32 of joint body 31
The fitting of No. 3 may be performed by pressure bonding using a hot isostatic pressing method, or may be performed by press fitting or welding or brazing. In addition, the ring body 33
Since the flanges 34 are welded to each other by using stainless steel materials, they can be easily and smoothly performed by a known method. Further, since welding of the joint 30 to the vacuum chamber 20 is welding of copper materials to each other, as described above, it is performed in a vacuum atmosphere, for example, in a vacuum container, and post-treatment is performed on the inner surface of the welded portion if necessary. And good.

【0019】この継手30は、継手本体31に嵌着した
リング体33を介してフランジ34を溶接するようにし
たので、たとえば図4に示した従来の接続構造による場
合には懸念されるようなマイクロクラックが生じること
がなく、継手本体31に対するフランジ34の取り付け
強度を充分に確保することが可能である。また、継手本
体31の内面側は全て銅材料であって、図5に示した継
手を用いる場合のように接続部に異種材料が介在するこ
とがないので、接続部において電気的特性や熱的特性が
変化してしまうようなこともない。
In this joint 30, the flange 34 is welded through the ring body 33 fitted to the joint body 31, so that there is a concern in the case of the conventional connection structure shown in FIG. 4, for example. It is possible to sufficiently secure the attachment strength of the flange 34 to the joint body 31 without causing microcracks. Further, the inner surface side of the joint body 31 is entirely made of copper material, and unlike the case where the joint shown in FIG. 5 is used, different materials do not intervene in the joint portion, so electrical characteristics and thermal properties at the joint portion are eliminated. The characteristics do not change.

【0020】図2は本発明の第2実施例を示すものであ
る。本第2実施例では、上記第1実施例における継手3
0のフランジ34に代えてリブ44を設けた継手40を
用い、それら継手40,40のリブ44,44どうしを
溶接することで真空チャンバー20,20どうしを接続
するようにしたものである。
FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the joint 3 in the first embodiment is used.
The joint 40 is provided with a rib 44 in place of the flange 34 of 0, and the vacuum chambers 20, 20 are connected by welding the ribs 44, 44 of the joints 40, 40 together.

【0021】すなわち、本第2実施例において用いる継
手40は、第1実施例の継手30と同様に、銅材料から
なる管状の継手本体41の先端部に溝42を形成し、そ
の溝42に、ステンレス材料からなるリング体43をた
とえば圧着することによって嵌着し、そのリング体43
にステンレス材料からなる環状のリブ44を溶接した構
成とされている。そして、本第2実施例においては、そ
れら継手40,40のリブ44,44どうしを突き合わ
せて密着させ、それらの外周縁部を全周にわたって溶接
することで、継手40,40を介して真空チャンバー2
0,20どうしを接続するようにしている。なお、リブ
44はステンレス材料により形成されているので、それ
らリブ44,44どうしの溶接は大気中においても支障
なく行い得ることはもとより、その溶接は比較的低温で
行うことができるとともにリブ44は継手本体41の外
方に大きく突出しているので、リブ44の外周部におい
て行う溶接の熱が継手本体41の内面側にまで悪影響を
及ぼすことはなく、接続部の内面側が酸化されてしまう
といった懸念はない。
That is, the joint 40 used in the second embodiment is similar to the joint 30 of the first embodiment in that a groove 42 is formed at the tip of a tubular joint body 41 made of a copper material, and the groove 42 is formed in the groove 42. , A ring body 43 made of a stainless material is attached by, for example, pressure bonding, and the ring body 43
An annular rib 44 made of a stainless steel material is welded to the above. Then, in the second embodiment, the ribs 44, 44 of the joints 40, 40 are butted against each other and closely adhered to each other, and the outer peripheral edge portions thereof are welded over the entire circumference, so that the vacuum chambers are connected via the joints 40, 40. Two
0 and 20 are connected together. Since the ribs 44 are made of a stainless steel material, the ribs 44, 44 can be welded to each other without any trouble even in the atmosphere, and the ribs 44 can be welded at a relatively low temperature. Since it largely projects to the outside of the joint body 41, the heat of welding performed at the outer peripheral portion of the rib 44 does not adversely affect the inner surface side of the joint body 41, and the inner surface side of the connection portion may be oxidized. There is no.

【0022】本第2実施例の構造によれば、上記第1実
施例と同様に優れた接続強度が得られることはもとよ
り、ボルトおよびナットを用いてフランジ34,34ど
うしを締結する第1実施例の場合に比して接続部の所要
スペースを削減でき、かつ、接続部の内面側において多
少なりとも生じることが避け得ない段差や間隙をより小
さくすることができる。さらに、図5に鎖線で示してい
る如く、リブ44,44どうしの溶接部つまり双方のリ
ブ44,44の外周縁部を切除することによってそれら
の接続を解除して蓄積リングを解体することも可能であ
るし、解体後にはリブ44,44どうしを再び溶接し直
すことで再度の接続も可能である。
According to the structure of the second embodiment, not only the same excellent connection strength as in the first embodiment can be obtained, but also the first embodiment in which the flanges 34 and 34 are fastened with each other by using the bolt and the nut. As compared with the case of the example, the space required for the connecting portion can be reduced, and the step and the gap that are unavoidably generated on the inner surface side of the connecting portion can be further reduced. Further, as shown by a chain line in FIG. 5, the welded portions of the ribs 44, 44, that is, the outer peripheral edge portions of both ribs 44, 44 may be cut off to disconnect them and dismantle the storage ring. After the disassembly, the ribs 44, 44 can be re-welded together to be reconnected.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上で説明したように、請求項1に記載
の発明は、銅材料からなる継手本体の先端部に形成した
溝内にステンレス材料からなるリング体を嵌着し、その
リング体に同じくステンレス材料からなるフランジを固
着してなる構成の継手を用い、その継手を銅材料からな
る真空チャンバーに溶接して、それら継手のフランジど
うしを締結することによって双方の真空チャンバーどう
しを接続するようにしたので、銅材料からなる真空チャ
ンバーどうしを強固に接続し得るとともに、接続部に異
種材料が介在してしまうことがないから電気的特性や熱
的特性が変化してしまうようなこともないという優れた
効果を奏し、その結果、粒子加速器の蓄積リングとして
銅材料からなる真空チャンバーを採用することが可能と
なる。また、請求項2に記載の発明は、フランジに代え
てリブを設けた継手を用い、それらリブどうしを溶接す
ることによって真空チャンバーどうしを接続するように
したので、上記と同様の効果を奏することに加えて、接
続部の所要スペースをより削減できるとともに、接続部
の内面側における段差や間隙をより小さくすることがで
きるという利点がある。
As described above, according to the first aspect of the present invention, a ring body made of a stainless material is fitted in a groove formed at the tip of a joint body made of a copper material, and the ring body is formed. A joint made up of a stainless steel material and a flange made of stainless steel is also used, and the joint is welded to a vacuum chamber made of copper material, and the flanges of these joints are fastened together to connect the two vacuum chambers. As a result, the vacuum chambers made of copper material can be firmly connected to each other, and the electrical characteristics and thermal characteristics may change because different materials do not intervene in the connection part. As a result, it is possible to use a vacuum chamber made of a copper material as the storage ring of the particle accelerator. Further, the invention according to claim 2 uses a joint provided with ribs in place of the flanges, and connects the vacuum chambers by welding the ribs to each other, so that the same effect as the above can be obtained. In addition to this, there is an advantage that the space required for the connecting portion can be further reduced and the step and the gap on the inner surface side of the connecting portion can be made smaller.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の接続構造の第1実施例を示す断面図で
ある。
FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a connection structure of the present invention.

【図2】本発明の接続構造の第2実施例を示す断面図で
ある。
FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the connection structure of the present invention.

【図3】小型シンクロトロンの概要を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an outline of a small synchrotron.

【図4】従来の接続構造の一例を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a conventional connection structure.

【図5】従来の接続構造の他の例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of a conventional connection structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 真空チャンバー 30 継手 31 継手本体 32 溝 33 リング体 34 フランジ 40 継手 41 継手本体 42 溝 43 リング体 44 リブ。 20 vacuum chamber 30 joint 31 joint body 32 groove 33 ring body 34 flange 40 joint 41 joint body 42 groove 43 ring body 44 rib.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 粒子加速器において荷電粒子の軌道を構
成するために互いに接続されて用いられる銅材料からな
る真空チャンバーどうしを接続するための構造であっ
て、銅材料からなる管状の継手本体の先端部の外周面に
全周にわたる溝を形成し、該溝にステンレス材料からな
るリング体を嵌着し、該リング体にステンレス材料から
なるフランジを固着してなる継手を用い、接続するべき
双方の真空チャンバーの接続端にそれぞれ前記継手の基
端を溶接して接合し、それら継手のフランジどうしを締
結することによって双方の真空チャンバーどうしを接続
してなることを特徴とする粒子加速器における真空チャ
ンバーの接続構造。
1. A structure for connecting vacuum chambers made of copper material, which are connected to each other and used to form a trajectory of charged particles in a particle accelerator, and a tip of a tubular joint body made of copper material. A groove is formed all around the outer peripheral surface of the portion, a ring body made of a stainless material is fitted in the groove, and a flange made of a stainless material is fixed to the ring body. Welding and joining the base ends of the joints to the connecting ends of the vacuum chambers, and connecting the two vacuum chambers by fastening the flanges of the joints, the vacuum chamber of the particle accelerator characterized in that Connection structure.
【請求項2】 粒子加速器において荷電粒子の軌道を構
成するために互いに接続されて用いられる銅材料からな
る真空チャンバーどうしを接続するための構造であっ
て、銅材料からなる管状の継手本体の先端部の外周面に
全周にわたる溝を形成し、該溝にステンレス材料からな
るリング体を嵌着し、該リング体にステンレス材料から
なる環状のリブを固着してなる継手を用い、接続するべ
き双方の真空チャンバーの接続端にそれぞれ前記継手の
基端を溶接して接合し、それら継手のリブどうしを互い
に密着させてそれらの外周縁部を全周にわたって溶接す
ることによって双方の真空チャンバーどうしを接続して
なることを特徴とする粒子加速器における真空チャンバ
ーの接続構造。
2. A structure for connecting vacuum chambers made of copper material, which are used to be connected to each other to form a trajectory of charged particles in a particle accelerator, wherein the tip of a tubular joint body made of copper material. A groove should be formed over the entire outer peripheral surface of the portion, a ring body made of a stainless material should be fitted in the groove, and an annular rib made of a stainless material should be fixed to the ring body for connection. Welding and joining the base ends of the joints to the connecting ends of both vacuum chambers, respectively, the ribs of the joints are brought into close contact with each other, and their outer peripheral edge portions are welded over the entire circumference, so that the two vacuum chambers are joined together. A structure for connecting a vacuum chamber in a particle accelerator, characterized by being connected.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113692782A (en) * 2019-04-15 2021-11-23 东芝能源系统株式会社 Charged particle accelerator and construction method thereof

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