JPH07111173B2 - 比例弁及びその作動方法 - Google Patents
比例弁及びその作動方法Info
- Publication number
- JPH07111173B2 JPH07111173B2 JP15373491A JP15373491A JPH07111173B2 JP H07111173 B2 JPH07111173 B2 JP H07111173B2 JP 15373491 A JP15373491 A JP 15373491A JP 15373491 A JP15373491 A JP 15373491A JP H07111173 B2 JPH07111173 B2 JP H07111173B2
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- JP
- Japan
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- valve
- pressure
- opening
- vacuum chamber
- vacuum
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Safety Valves (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空装置の真空排気部あ
るいは大気導入部に設け、真空ポンプの負荷を軽減し、
また真空室内での埃の巻き上げを生じないようにするた
めの比例弁及びその作動方法に関する。
るいは大気導入部に設け、真空ポンプの負荷を軽減し、
また真空室内での埃の巻き上げを生じないようにするた
めの比例弁及びその作動方法に関する。
【０００２】 真空装置、例えば真空蒸着装置において
は、例えば半導体ウエーハの表面に金属蒸着膜を形成す
るために使用する時、蒸着を行う際には、まず装置の蒸
着室内を高真空にし、蒸着終了後には蒸着室内の圧力を
大気圧に戻すことが行われている。
は、例えば半導体ウエーハの表面に金属蒸着膜を形成す
るために使用する時、蒸着を行う際には、まず装置の蒸
着室内を高真空にし、蒸着終了後には蒸着室内の圧力を
大気圧に戻すことが行われている。
【０００３】最初、大気圧状態となつている真空装置を
ロータリーポンプ等で真空にする際、大容量の真空室内
の空気をロータリーポンプで吸引するには負荷が大き過
ぎるため、真空室とロータリーポンプ間に弁を設け、最
初この弁を閉じてロータリーポンプを起動し、弁とロー
タリーポンプ間の小量の空気を吸引させて負荷の少ない
状態で起動を行い、弁を除々に開いて真空室内を真空に
近付けるようにしている。この時用いる弁は、粗引きバ
ルブとスロー排気バルブを並列に接続した管路中に、更
にスロー排気バルブと直列に流量コントロールバルブを
設けた合計３個の弁で構成し、最初粗引きバルブを閉
じ、スロー排気バルブで大まかに流量を絞った後、流量
コントロールバルブで気体の粘性流領域での流量を気体
が乱れない程度に絞って粗引き用ロータリーポンプを起
動することが提案されている。それによりロータリーポ
ンプの起動を軽負荷にして容易に行い、しかも真空室内
の空気を吸引し排気する際、特に空気が多い粘性領域で
大量の空気の排除が行われる時、室内底部の埃を粘性空
気によって巻き上げてしまい、ウエーハ等に付着させる
ことを防いでいる。
ロータリーポンプ等で真空にする際、大容量の真空室内
の空気をロータリーポンプで吸引するには負荷が大き過
ぎるため、真空室とロータリーポンプ間に弁を設け、最
初この弁を閉じてロータリーポンプを起動し、弁とロー
タリーポンプ間の小量の空気を吸引させて負荷の少ない
状態で起動を行い、弁を除々に開いて真空室内を真空に
近付けるようにしている。この時用いる弁は、粗引きバ
ルブとスロー排気バルブを並列に接続した管路中に、更
にスロー排気バルブと直列に流量コントロールバルブを
設けた合計３個の弁で構成し、最初粗引きバルブを閉
じ、スロー排気バルブで大まかに流量を絞った後、流量
コントロールバルブで気体の粘性流領域での流量を気体
が乱れない程度に絞って粗引き用ロータリーポンプを起
動することが提案されている。それによりロータリーポ
ンプの起動を軽負荷にして容易に行い、しかも真空室内
の空気を吸引し排気する際、特に空気が多い粘性領域で
大量の空気の排除が行われる時、室内底部の埃を粘性空
気によって巻き上げてしまい、ウエーハ等に付着させる
ことを防いでいる。
【０００４】一方、真空装置内を大気圧にするための大
気導入弁は、大量の大気の導入を可能とするベントバル
ブと少量の大気の導入を可能とするスローベントバルブ
を並列に接続した管路中に、更にスローベントバルブと
直列に流量コントロールバルブを設けた合計３個の弁で
構成し、最初ベントバルブを閉じ、スローベントバルブ
で大まかに流量を絞った後、流量コントロールバルブで
気体が乱れない程度に絞って大気を導入することも提案
されている。それにより、大気導入時に一度に大量の大
気が真空室内に導入されて室内底部の埃が巻き上げら
れ、ウエーハ等に付着することを防いでいる。
気導入弁は、大量の大気の導入を可能とするベントバル
ブと少量の大気の導入を可能とするスローベントバルブ
を並列に接続した管路中に、更にスローベントバルブと
直列に流量コントロールバルブを設けた合計３個の弁で
構成し、最初ベントバルブを閉じ、スローベントバルブ
で大まかに流量を絞った後、流量コントロールバルブで
気体が乱れない程度に絞って大気を導入することも提案
されている。それにより、大気導入時に一度に大量の大
気が真空室内に導入されて室内底部の埃が巻き上げら
れ、ウエーハ等に付着することを防いでいる。
【０００５】このような真空装置に用いる弁として、例
えば真空排気部に用いるスロー排気バルブと流量コント
ロールバルブを兼用させるため、所定以上のポンプの吸
引力で開く弁体をベローズに連結し、ベローズに作用す
る真空室側の真空の程度に応じて、その弁体を開方向に
作動するように構成した弁が提案されている。この弁を
用いることによってポンプを起動する時、所定の真空圧
までは弁体は開放せず、ポンプは容易に起動し、弁体の
間隙からもれる真空圧によって真空室内が次第に低圧と
なる時、その低圧によってベローズは弁体を開方向に作
動し、圧力の低下に比例して弁体を開放する。
えば真空排気部に用いるスロー排気バルブと流量コント
ロールバルブを兼用させるため、所定以上のポンプの吸
引力で開く弁体をベローズに連結し、ベローズに作用す
る真空室側の真空の程度に応じて、その弁体を開方向に
作動するように構成した弁が提案されている。この弁を
用いることによってポンプを起動する時、所定の真空圧
までは弁体は開放せず、ポンプは容易に起動し、弁体の
間隙からもれる真空圧によって真空室内が次第に低圧と
なる時、その低圧によってベローズは弁体を開方向に作
動し、圧力の低下に比例して弁体を開放する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のような比例弁を
用いると、弁体１個によって所定の真空になるまで弁体
を閉弁状態に保持しなければならないので、弁体を閉方
向に付勢するスプリングを大きくしなければならなかっ
た。そのため弁自体が大型化するとともに開弁後の弁体
は真空度の上昇に応じて、除々にしか開放することがで
きず、スローベントバルブの機能の終了が遅くなるの
で、主のベントバルブの作動が遅れるため、真空室内を
所定の真空にするのに多くの時間を要する欠点もあっ
た。また、大気導入弁に上記のような弁体を用いる場合
も同様の欠点を生じていた。
用いると、弁体１個によって所定の真空になるまで弁体
を閉弁状態に保持しなければならないので、弁体を閉方
向に付勢するスプリングを大きくしなければならなかっ
た。そのため弁自体が大型化するとともに開弁後の弁体
は真空度の上昇に応じて、除々にしか開放することがで
きず、スローベントバルブの機能の終了が遅くなるの
で、主のベントバルブの作動が遅れるため、真空室内を
所定の真空にするのに多くの時間を要する欠点もあっ
た。また、大気導入弁に上記のような弁体を用いる場合
も同様の欠点を生じていた。
【０００７】したがって、本発明は小型でしかも開放時
間が短い比例弁とすること及びその作動方法を提供する
ことを目的とする。
間が短い比例弁とすること及びその作動方法を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来のも
のの欠点を解消するため、ポンプに連通する第１開口と
真空室に連通する第２開口とを備えた弁本体に弁座を設
け、該弁座に自重で全開する主弁を設けた比例弁におい
て、主弁の開口に主弁の閉方向に所定圧で付勢される副
弁を設け、真空室の圧力と大気圧との差圧に応じて、副
弁を開方向に作動させる圧力作動部材を設けることによ
り比例弁を構成したものであり、また、主弁の開口を閉
じる副弁を大気圧と真空室圧との差圧で比例動作させて
開放し、その後、主弁を微圧で瞬時に全開するように比
例弁を作動したものであって、それにより比例弁が小型
で開放時間が短かくなるようにしたものである。
のの欠点を解消するため、ポンプに連通する第１開口と
真空室に連通する第２開口とを備えた弁本体に弁座を設
け、該弁座に自重で全開する主弁を設けた比例弁におい
て、主弁の開口に主弁の閉方向に所定圧で付勢される副
弁を設け、真空室の圧力と大気圧との差圧に応じて、副
弁を開方向に作動させる圧力作動部材を設けることによ
り比例弁を構成したものであり、また、主弁の開口を閉
じる副弁を大気圧と真空室圧との差圧で比例動作させて
開放し、その後、主弁を微圧で瞬時に全開するように比
例弁を作動したものであって、それにより比例弁が小型
で開放時間が短かくなるようにしたものである。
【０００９】
【作用】本発明は、上記のように構成したので、この弁
を真空にする室とポンプ間に設置してポンプを作動する
と、大気圧と真空室の圧力間の圧力差に応じて副弁が開
放し、その後主弁が自重によって瞬時に開放する。また
この弁を真空室の大気導入弁として用いる時には、所定
の差圧になると副弁が開放し、その後、主弁が重力で瞬
時に開放される。
を真空にする室とポンプ間に設置してポンプを作動する
と、大気圧と真空室の圧力間の圧力差に応じて副弁が開
放し、その後主弁が自重によって瞬時に開放する。また
この弁を真空室の大気導入弁として用いる時には、所定
の差圧になると副弁が開放し、その後、主弁が重力で瞬
時に開放される。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面に沿って説明する。図
１は本発明を真空室とポンプ間の管路に設け、真空排気
用弁として用いた例を示す。ポンプに連通する第１開口
１と真空室に連通する第２開口２とを備えた弁本体３に
は弁座４を設け、この弁座４に圧接する主弁６を設け
る。主弁６と端部の受け座７との間にスプリング５を設
け、スプリング５は端部の受け座７を支持部材８に対し
て螺合させ、この螺合調整により主弁６の閉弁圧を調整
する。なお、弁座４には均圧孔９を穿設する。
１は本発明を真空室とポンプ間の管路に設け、真空排気
用弁として用いた例を示す。ポンプに連通する第１開口
１と真空室に連通する第２開口２とを備えた弁本体３に
は弁座４を設け、この弁座４に圧接する主弁６を設け
る。主弁６と端部の受け座７との間にスプリング５を設
け、スプリング５は端部の受け座７を支持部材８に対し
て螺合させ、この螺合調整により主弁６の閉弁圧を調整
する。なお、弁座４には均圧孔９を穿設する。
【００１１】主弁６の中央には開口１０を設け、この開
口１０に常時閉方向に付勢されている副弁１１を設け
る。そして、主弁６と副弁１１とが閉じ、主弁６が弁座
４に接圧されている状態において、スプリング５は、ポ
ンプ側の第１開口１と真空室側の第２開口２との圧力差
による閉弁方向の力とスプリング５の上向の力と、主弁
６の自重による下向の力とが釣り合うような微弱な力を
備えている。副弁１１は中央に連通孔１２を設けた軸１
３と、この軸１３の端部に固定したベローズ受１４を介
して圧力作動部材としてのベローズ１５と連結してい
る。ベローズ１５内にはスプリング１６を設け、軸１３
を介して副弁１１を開方向に付勢している。スプリング
１６は、弁本体３の上部に設けたキャップ１７に螺合す
る調整ねじ１８によって、その付勢力を調整可能として
いる。調整ねじ１８には、大気と連通する導入孔１９を
設ける。
口１０に常時閉方向に付勢されている副弁１１を設け
る。そして、主弁６と副弁１１とが閉じ、主弁６が弁座
４に接圧されている状態において、スプリング５は、ポ
ンプ側の第１開口１と真空室側の第２開口２との圧力差
による閉弁方向の力とスプリング５の上向の力と、主弁
６の自重による下向の力とが釣り合うような微弱な力を
備えている。副弁１１は中央に連通孔１２を設けた軸１
３と、この軸１３の端部に固定したベローズ受１４を介
して圧力作動部材としてのベローズ１５と連結してい
る。ベローズ１５内にはスプリング１６を設け、軸１３
を介して副弁１１を開方向に付勢している。スプリング
１６は、弁本体３の上部に設けたキャップ１７に螺合す
る調整ねじ１８によって、その付勢力を調整可能として
いる。調整ねじ１８には、大気と連通する導入孔１９を
設ける。
【００１２】弁本体３とキャップ１７間で受圧室２０を
形成し、軸の連通孔１２を介して導入される第２開口２
の圧力は、ベローズ受１４の孔２１を介して受圧室２０
に導入される。ベローズ１５内は大気圧とされ、したが
って第２開口２の圧力と大気圧との差圧でベローズ１５
は伸縮する。また、ベローズ受１４と弁本体３との間に
は主弁６と副弁１１とを閉止するスプリング２２を縮設
する。なお、２３，２４はＯリングである。
形成し、軸の連通孔１２を介して導入される第２開口２
の圧力は、ベローズ受１４の孔２１を介して受圧室２０
に導入される。ベローズ１５内は大気圧とされ、したが
って第２開口２の圧力と大気圧との差圧でベローズ１５
は伸縮する。また、ベローズ受１４と弁本体３との間に
は主弁６と副弁１１とを閉止するスプリング２２を縮設
する。なお、２３，２４はＯリングである。
【００１３】大気圧状態にある真空室をポンプによって
真空にする時には、ポンプ始動時には、主弁６と副弁１
１は、スプリング１６より強い力のスプリング２２によ
って閉じられている。この状態でポンプが始動すると、
第１開口１の圧力は低下し、大気圧であった第２開口２
の圧力が徐々に下がり、ベローズ１５前後に差圧が生ず
る。ベローズ１５は受圧面積が大きいので、差圧が所定
以上になると、スプリング２２の力に抗し、スプリング
１６の助力のもとに下向きの力が大きくなり、副弁１１
はベローズ１５前後に差圧に応じて比例動作し開弁す
る。この開弁作動時期は、これらのスプリング力の調整
により、弁の前後の所定差圧の時に作動するように設定
される。
真空にする時には、ポンプ始動時には、主弁６と副弁１
１は、スプリング１６より強い力のスプリング２２によ
って閉じられている。この状態でポンプが始動すると、
第１開口１の圧力は低下し、大気圧であった第２開口２
の圧力が徐々に下がり、ベローズ１５前後に差圧が生ず
る。ベローズ１５は受圧面積が大きいので、差圧が所定
以上になると、スプリング２２の力に抗し、スプリング
１６の助力のもとに下向きの力が大きくなり、副弁１１
はベローズ１５前後に差圧に応じて比例動作し開弁す
る。この開弁作動時期は、これらのスプリング力の調整
により、弁の前後の所定差圧の時に作動するように設定
される。
【００１４】副弁１１が開弁して主弁６が閉じている時
の主弁前後の力関係は、主弁の有効面積Ａとポンプ側圧
力と真空室側圧力との差圧ΔＰとの積による力にスプリ
ング５の力Ｆｓを加えた上向きの力に対して、主弁重量
Ｗの下向きの力が釣り合っている。ポンプの作動により
副弁１１が開弁が進行すると、主弁の有効面積Ａとポン
プ側圧力と真空室側圧力との差圧ΔＰとの積による上向
きの力が小さくなり主弁６は、主弁の自重で開放し、副
弁１１に当接するに至る。この開放速度は、スプリング
５のばね定数により設定できるので、圧力の低下と共に
急速に開放する。
の主弁前後の力関係は、主弁の有効面積Ａとポンプ側圧
力と真空室側圧力との差圧ΔＰとの積による力にスプリ
ング５の力Ｆｓを加えた上向きの力に対して、主弁重量
Ｗの下向きの力が釣り合っている。ポンプの作動により
副弁１１が開弁が進行すると、主弁の有効面積Ａとポン
プ側圧力と真空室側圧力との差圧ΔＰとの積による上向
きの力が小さくなり主弁６は、主弁の自重で開放し、副
弁１１に当接するに至る。この開放速度は、スプリング
５のばね定数により設定できるので、圧力の低下と共に
急速に開放する。
【００１５】上記と同様の弁を真空室の大気導入弁とし
て用いた実施例を図２に示す。この弁においては、大気
に開放される第１開口３１と真空室に連通する第２開口
３２を備えた弁本体３３には弁座３４を設け、この弁座
３４に当接する主弁３５を設ける。主弁３５の中央には
開口３６を設け、この開口３６に常時閉方向に付勢され
ている副弁３７を設ける。副弁３７は中央に連通孔３８
を設けた軸４０と、この軸４０の端部に固定したベロー
ズ受け４１を介してベローズ４２と連結している。ベロ
ーズ４２内にはスプリング４３を設け、軸４０を介して
副弁３７を閉方向に付勢している。スプリング４３は、
弁本体３３の下部に設けたキヤップ４４に螺合する調整
ねじ４５によってその付勢力を調整可能としている。調
整ねじ４５には大気と連通する導入孔４６を穿設する。
て用いた実施例を図２に示す。この弁においては、大気
に開放される第１開口３１と真空室に連通する第２開口
３２を備えた弁本体３３には弁座３４を設け、この弁座
３４に当接する主弁３５を設ける。主弁３５の中央には
開口３６を設け、この開口３６に常時閉方向に付勢され
ている副弁３７を設ける。副弁３７は中央に連通孔３８
を設けた軸４０と、この軸４０の端部に固定したベロー
ズ受け４１を介してベローズ４２と連結している。ベロ
ーズ４２内にはスプリング４３を設け、軸４０を介して
副弁３７を閉方向に付勢している。スプリング４３は、
弁本体３３の下部に設けたキヤップ４４に螺合する調整
ねじ４５によってその付勢力を調整可能としている。調
整ねじ４５には大気と連通する導入孔４６を穿設する。
【００１６】弁本体３３とキャップ４４間で受圧室４７
を形成し、軸４０の連通孔３８を介して導入される第２
開口３２の圧力は、ベローズ受４１の孔４８を介して受
圧室４７に導入される。ベローズ受４１と弁本体３３間
にはスプリング４９を縮設し、副弁３７を開方向に付勢
している。ベローズ４２内は大気圧とされ、したがって
副弁３７はベローズ４２内の大気圧と受圧室４７の圧力
との差圧とスプリング４３により閉弁方向の力を、また
スプリング４９によって開弁方向の力を受けるととも
に、第１開口３１の大気圧と第２開口３２の圧力との差
圧による閉弁力を直接受けている。５０はＯリングであ
る。
を形成し、軸４０の連通孔３８を介して導入される第２
開口３２の圧力は、ベローズ受４１の孔４８を介して受
圧室４７に導入される。ベローズ受４１と弁本体３３間
にはスプリング４９を縮設し、副弁３７を開方向に付勢
している。ベローズ４２内は大気圧とされ、したがって
副弁３７はベローズ４２内の大気圧と受圧室４７の圧力
との差圧とスプリング４３により閉弁方向の力を、また
スプリング４９によって開弁方向の力を受けるととも
に、第１開口３１の大気圧と第２開口３２の圧力との差
圧による閉弁力を直接受けている。５０はＯリングであ
る。
【００１７】高真空状態にある真空室を大気圧にする時
には、真空室側の真空状態を低減すると、即ち、真空室
側の圧力を高くすると、その圧力は連通孔３８を介して
受圧室４７に至り、ベローズ４２内の大気圧との差圧が
少なくなるので、副弁３７の閉弁力は小さくなり、スプ
リング４９によって開方向に移動して僅かに開弁する。
開口３６を通る主弁前後の差圧力によって主弁３５は閉
弁を維持し、空気流は開口３６によって絞られつつ流れ
る。その開度は、真空室内の圧力と大気圧との差圧に応
じてベローズ４２によって調整されつつ開放される。第
１開口３１と第２開口３２の差圧が少なくなり、主弁３
５の重力を支持しきれなくなった時、主弁３５は落下し
て弁体の急速開放を行う。
には、真空室側の真空状態を低減すると、即ち、真空室
側の圧力を高くすると、その圧力は連通孔３８を介して
受圧室４７に至り、ベローズ４２内の大気圧との差圧が
少なくなるので、副弁３７の閉弁力は小さくなり、スプ
リング４９によって開方向に移動して僅かに開弁する。
開口３６を通る主弁前後の差圧力によって主弁３５は閉
弁を維持し、空気流は開口３６によって絞られつつ流れ
る。その開度は、真空室内の圧力と大気圧との差圧に応
じてベローズ４２によって調整されつつ開放される。第
１開口３１と第２開口３２の差圧が少なくなり、主弁３
５の重力を支持しきれなくなった時、主弁３５は落下し
て弁体の急速開放を行う。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、上記のように構成し作用する
ので、副弁が圧力作動部材により徐々に開放することに
より、真空室内の埃を巻き上げることがない。また、次
に主弁が自重で瞬時に開放することにより、弁体の開放
差圧と時間を短くでき、真空室を所定の真空にあるいは
大気状態にする時間が短縮できる。
ので、副弁が圧力作動部材により徐々に開放することに
より、真空室内の埃を巻き上げることがない。また、次
に主弁が自重で瞬時に開放することにより、弁体の開放
差圧と時間を短くでき、真空室を所定の真空にあるいは
大気状態にする時間が短縮できる。
【図１】本発明を真空室の排気バルブとして用いた実施
例の断面図である。
例の断面図である。
【図２】本発明を真空室の大気導入バルブとして用いた
実施例の断面図である。
実施例の断面図である。
１ 第１開口 ２ 第２開口 ３ 弁本体 ４ 弁座 ５ スプリング ６ 主弁 １０ 開口 １１ 副弁 １２ 連通孔 １３ 軸 １５ ベローズ ２０ 受圧室 ２１ 孔 ２２ スプリング ３１ 第１開口 ３２ 第２開口 ３３ 弁本体 ３４ 弁座 ３５ 主弁 ３６ 開口 ３７ 副弁 ４０ 軸 ４２ ベローズ ４３ スプリング ４５ 調整ねじ ４７ 受圧室 ４８ 孔 ４９ スプリング
Claims (2)
- 【請求項１】 ポンプに連通する第１開口と真空室に連
通する第２開口とを備えた弁本体に弁座を設け、該弁座
に自重で全開する主弁を設けた比例弁において、前記主
弁の開口に主弁の閉方向に所定圧で付勢される副弁を設
け、真空室の圧力と大気圧との差圧に応じて副弁を開方
向に作動させる圧力作動部材を設けたことを特徴とする
比例弁。 - 【請求項２】 主弁の開口を閉じる副弁を、大気圧と真
空室圧との差圧で比例動作させて開放し、その後、主弁
を微圧で全開するようにしたことを特徴とする比例弁の
作動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15373491A JPH07111173B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | 比例弁及びその作動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15373491A JPH07111173B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | 比例弁及びその作動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05248353A JPH05248353A (ja) | 1993-09-24 |
| JPH07111173B2 true JPH07111173B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=15568935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15373491A Expired - Fee Related JPH07111173B2 (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | 比例弁及びその作動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111173B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2328266T3 (es) * | 2004-09-20 | 2009-11-11 | Medela Holding Ag | Bomba de membrana con valvula de ventilacion. |
| CN109611564A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-04-12 | 北京星际荣耀空间科技有限公司 | 一种低流阻多功能液体甲烷菌型阀门 |
-
1991
- 1991-05-30 JP JP15373491A patent/JPH07111173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05248353A (ja) | 1993-09-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960730 |
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