JPH07102363A - 複合酸化物薄膜フィルムの製造方法 - Google Patents
複合酸化物薄膜フィルムの製造方法Info
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- JPH07102363A JPH07102363A JP4027332A JP2733292A JPH07102363A JP H07102363 A JPH07102363 A JP H07102363A JP 4027332 A JP4027332 A JP 4027332A JP 2733292 A JP2733292 A JP 2733292A JP H07102363 A JPH07102363 A JP H07102363A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空蒸着における長尺複合酸化物薄膜フィル
ムの製造方法を提供することにある。 【構成】 真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成におい
て、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱源と
しては少なくとも、１つの電子銃を用いることによっ
て、プラスチックフィルム上に長さ方向に均一に１回で
蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィルム
の製造方法である。
ムの製造方法を提供することにある。 【構成】 真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成におい
て、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱源と
しては少なくとも、１つの電子銃を用いることによっ
て、プラスチックフィルム上に長さ方向に均一に１回で
蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィルム
の製造方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】ガスバリアフィルム、保護絶縁膜
フィルム、透明導電膜フィルム、光学フィルム、誘電体
フィルム、熱線反射フィルム等として応用されている複
合酸化物薄膜フィルムの製造方法に関する。
フィルム、透明導電膜フィルム、光学フィルム、誘電体
フィルム、熱線反射フィルム等として応用されている複
合酸化物薄膜フィルムの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】長尺複合酸化物薄膜フィルムが電子情
報、オプト−エレクトロニクス、パッシブソ−ラ、包装
等の広い分野で使用されるようになってきた。例えば、
透明導電膜フィルムでは、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 （ＩＴ
Ｏ）やＳｎＯ2 −Ｓｂ2 Ｏ3 等が用いられ、導電特性が
大幅に向上している。また、包装分野では酸化珪素、酸
化アルミニウムなどの単体からＡｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 、
ＭｇＯ−ＳｉＯ2 といった複合酸化物のバリア膜が発表
され、ガスバリア性、耐レトルト性が大幅に向上してき
ている。光学膜、絶縁膜、熱線反射フィルム等の分野で
も同様に複合酸化物薄膜フィルムが様々な形で使用され
るようになってきた。
報、オプト−エレクトロニクス、パッシブソ−ラ、包装
等の広い分野で使用されるようになってきた。例えば、
透明導電膜フィルムでは、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 （ＩＴ
Ｏ）やＳｎＯ2 −Ｓｂ2 Ｏ3 等が用いられ、導電特性が
大幅に向上している。また、包装分野では酸化珪素、酸
化アルミニウムなどの単体からＡｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 、
ＭｇＯ−ＳｉＯ2 といった複合酸化物のバリア膜が発表
され、ガスバリア性、耐レトルト性が大幅に向上してき
ている。光学膜、絶縁膜、熱線反射フィルム等の分野で
も同様に複合酸化物薄膜フィルムが様々な形で使用され
るようになってきた。
【０００３】一般的に、酸化物薄膜は真空蒸着、スパッ
タ−、ＣＶＤ等のドライプロセスで形成するのが適して
いるが、なかでも、高速製膜化の要求から、真空蒸着法
が最も適している。この蒸着法の中においても、経済性
や適用できる材料の幅が広いことから、電子銃（ＥＢ）
を用いたＥＢ蒸着法が盛んに使用されるようになってき
た。ＥＢ蒸着法で、複合酸化物膜を作成する場合、蒸着
源に各酸化物の粒体を希望する組成の膜になるように混
合しておく方法や粉体を混合した材料を焼結し、それを
蒸着源とする方法等があった。
タ−、ＣＶＤ等のドライプロセスで形成するのが適して
いるが、なかでも、高速製膜化の要求から、真空蒸着法
が最も適している。この蒸着法の中においても、経済性
や適用できる材料の幅が広いことから、電子銃（ＥＢ）
を用いたＥＢ蒸着法が盛んに使用されるようになってき
た。ＥＢ蒸着法で、複合酸化物膜を作成する場合、蒸着
源に各酸化物の粒体を希望する組成の膜になるように混
合しておく方法や粉体を混合した材料を焼結し、それを
蒸着源とする方法等があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、粒体を混合し
た酸化物の蒸着源では、混合の均一性が問題となる。ま
た、粉体を焼結したものを使用しても、各酸化物材料の
蒸気圧の差から、長時間の蒸着では、徐々に組成がず
れ、長尺試料の始めと終わりとでは、そのずれが大きく
なる。そのため、目的特性が、大きく変化してしまい、
１度に作成できる長さが大きく制限されていた。
た酸化物の蒸着源では、混合の均一性が問題となる。ま
た、粉体を焼結したものを使用しても、各酸化物材料の
蒸気圧の差から、長時間の蒸着では、徐々に組成がず
れ、長尺試料の始めと終わりとでは、そのずれが大きく
なる。そのため、目的特性が、大きく変化してしまい、
１度に作成できる長さが大きく制限されていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、長さ方向に均
一な特性をもつ長尺複合酸化物薄膜フィルムを提供せん
とするものである。すなわち、本発明は、真空蒸着によ
る複合酸化物薄膜の作成において、蒸着源を単位酸化物
組成毎の複数に分け、加熱源としては少なくとも、１つ
の電子銃を用いることによって、プラスチックフィルム
上に蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィ
ルムの製造方法である。
一な特性をもつ長尺複合酸化物薄膜フィルムを提供せん
とするものである。すなわち、本発明は、真空蒸着によ
る複合酸化物薄膜の作成において、蒸着源を単位酸化物
組成毎の複数に分け、加熱源としては少なくとも、１つ
の電子銃を用いることによって、プラスチックフィルム
上に蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィ
ルムの製造方法である。
【０００６】本発明でいうプラスチックフィルムとは、
有機高分子を溶融押出しをして、必要に応じ、長手方
向、および、または、幅方向に延伸、冷却、熱固定を施
したフィルムであり、有機高分子としては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタート、ポリ
エチレン−２、６−ナフタレート、ナイロン６、ナイロ
ン４、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリ塩化ビニー
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニールアルコール、全
芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポ
リエーテルイミド、ポリスルフォン、ポリッフェニレン
スルフィド、ポリフェニレンオキサイドなどがあげられ
る。また、これらの（有機重合体）有機高分子は他の有
機重合体を少量共重合をしたり、ブレンドしたりしても
よい。
有機高分子を溶融押出しをして、必要に応じ、長手方
向、および、または、幅方向に延伸、冷却、熱固定を施
したフィルムであり、有機高分子としては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタート、ポリ
エチレン−２、６−ナフタレート、ナイロン６、ナイロ
ン４、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリ塩化ビニー
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニールアルコール、全
芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポ
リエーテルイミド、ポリスルフォン、ポリッフェニレン
スルフィド、ポリフェニレンオキサイドなどがあげられ
る。また、これらの（有機重合体）有機高分子は他の有
機重合体を少量共重合をしたり、ブレンドしたりしても
よい。
【０００７】さらにこの有機高分子には、公知の添加
剤、例えば、紫外線吸収剤、帯電防止剤、可塑剤、滑
剤、着色剤などが添加されていてもよく、その透明度は
特に限定するものではない。本発明のプラスチックフィ
ルムは、本発明の目的を損なわない限りにおいて、薄膜
層を積層するに先行して、該フィルムをコロナ放電処
理、グロー放電処理、その他の表面粗面化処理を施して
もよく、また、公知のアンカーコート処理、印刷、装飾
が施されていてもよい。本発明のプラスチックフィルム
は、その厚さとして５〜５００μｍの範囲が好ましく、
さらに好ましくは８〜３００μｍの範囲である。
剤、例えば、紫外線吸収剤、帯電防止剤、可塑剤、滑
剤、着色剤などが添加されていてもよく、その透明度は
特に限定するものではない。本発明のプラスチックフィ
ルムは、本発明の目的を損なわない限りにおいて、薄膜
層を積層するに先行して、該フィルムをコロナ放電処
理、グロー放電処理、その他の表面粗面化処理を施して
もよく、また、公知のアンカーコート処理、印刷、装飾
が施されていてもよい。本発明のプラスチックフィルム
は、その厚さとして５〜５００μｍの範囲が好ましく、
さらに好ましくは８〜３００μｍの範囲である。
【０００８】酸化物薄膜を作成には、様々の真空蒸着法
が知られているが、本発明においては、特に限られるも
のではなく、加熱方式として、少なくとも１つの電子銃
を用いればよい。すなわち、ＥＢ銃単体でも、複数でも
よく、また、他の加熱方式との併用でもよい。ここで言
う他の加熱方式としては、抵抗加熱、高周波誘導加熱、
レ−ザ−ビ−ム加熱等が知られているが、特にこれにか
ぎられるものではない。また、反応性ガスとして、酸
素、窒素、水蒸気等を導入したり、オゾン、イオンアシ
スト等を用いたりする反応性蒸着に対しても、本発明は
適用できる。また、基板にバイアス等を加えたり、基板
温度を上昇あるいは、冷却するなど、蒸着条件を変化さ
せても問題にならない。同一のＥＢ銃で複数の蒸着源を
加熱する場合には、電子ビ−ムを走査して各蒸着源を時
分割で加熱する。形成する膜の組成の制御方法として
は、同一のＥＢ銃で加熱する場合、単位酸化物組成から
なる各蒸着源を走査する時間を制御し、一方、異なるＥ
Ｂ銃で加熱する場合には、各蒸着源に対応するＥＢ銃の
入力電力を制御するなどの方法があり、また、これを複
数組み合わせてもよい。
が知られているが、本発明においては、特に限られるも
のではなく、加熱方式として、少なくとも１つの電子銃
を用いればよい。すなわち、ＥＢ銃単体でも、複数でも
よく、また、他の加熱方式との併用でもよい。ここで言
う他の加熱方式としては、抵抗加熱、高周波誘導加熱、
レ−ザ−ビ−ム加熱等が知られているが、特にこれにか
ぎられるものではない。また、反応性ガスとして、酸
素、窒素、水蒸気等を導入したり、オゾン、イオンアシ
スト等を用いたりする反応性蒸着に対しても、本発明は
適用できる。また、基板にバイアス等を加えたり、基板
温度を上昇あるいは、冷却するなど、蒸着条件を変化さ
せても問題にならない。同一のＥＢ銃で複数の蒸着源を
加熱する場合には、電子ビ−ムを走査して各蒸着源を時
分割で加熱する。形成する膜の組成の制御方法として
は、同一のＥＢ銃で加熱する場合、単位酸化物組成から
なる各蒸着源を走査する時間を制御し、一方、異なるＥ
Ｂ銃で加熱する場合には、各蒸着源に対応するＥＢ銃の
入力電力を制御するなどの方法があり、また、これを複
数組み合わせてもよい。
【０００９】本発明でいう長尺複合酸化物薄膜フィルム
の長尺とは、蒸着時間で５分以上、または、フィルム長
さで１００ｍ以上のものをいう。蒸着時間が５分以内で
は、薄膜組成のずれが小さく，ほとんど問題にならない
ためであり、フィルム長さが１００ｍ以下未満では、経
済的メリットが小さいためである。本発明でいう複合酸
化物とは、２種類以上の酸化物の混合あるいは、化合物
であって、例えば、透明導電膜では、Ｉｎ2 Ｏ3 −Ｓｎ
Ｏ2 、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＷＯ3、ＳｎＯ2 −ＳｂＯ2 、Ｓｎ
Ｏ2 −ＭｏＯ3 等が知られており、また、ガスバリアフ
ィルムとしては、Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 、ＳｉＯ−Ｓｉ
Ｏ2 、Ａｌ2 Ｏ3 −ＭｇＯ−ＳｉＯ2 等がある。また、
誘電体膜としては、ＢａＴｉＯ3 （ＢａＯ−Ｔｉ
Ｏ2 ）、ＰｂＴｉＯ3 ，ＺｎＯ−Ａｌ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ−
ＢｉＯ3 等、また、光学膜としては、ＴｉＯ2 −ＳｉＯ
2 ，ＢａＯ−Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 ，Ｙ2 Ｏ3 −ＺｒＯ
2 等の複合酸化物膜が知られているが、特にこれに限ら
れるものではない。単位酸化物組成とは、前記複合酸化
物を構成する酸化物のことであり、例えば、Ｉｎ2 Ｏ3
−ＳｎＯ2 の場合には、ＩｎＯ、ＩｎＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ3
等 とＳｎＯ, ＳｎＯ2 等であり、Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ
2 の場合には、ＡｌＯ2 , Ａｌ2 Ｏ2 等とＳｉＯ, Ｓｉ
Ｏ2 等をいう。この単位酸化物組成の中には目的を損な
わない範囲（３％程度）で不純物を含んでも良い。
の長尺とは、蒸着時間で５分以上、または、フィルム長
さで１００ｍ以上のものをいう。蒸着時間が５分以内で
は、薄膜組成のずれが小さく，ほとんど問題にならない
ためであり、フィルム長さが１００ｍ以下未満では、経
済的メリットが小さいためである。本発明でいう複合酸
化物とは、２種類以上の酸化物の混合あるいは、化合物
であって、例えば、透明導電膜では、Ｉｎ2 Ｏ3 −Ｓｎ
Ｏ2 、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＷＯ3、ＳｎＯ2 −ＳｂＯ2 、Ｓｎ
Ｏ2 −ＭｏＯ3 等が知られており、また、ガスバリアフ
ィルムとしては、Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 、ＳｉＯ−Ｓｉ
Ｏ2 、Ａｌ2 Ｏ3 −ＭｇＯ−ＳｉＯ2 等がある。また、
誘電体膜としては、ＢａＴｉＯ3 （ＢａＯ−Ｔｉ
Ｏ2 ）、ＰｂＴｉＯ3 ，ＺｎＯ−Ａｌ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ−
ＢｉＯ3 等、また、光学膜としては、ＴｉＯ2 −ＳｉＯ
2 ，ＢａＯ−Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 ，Ｙ2 Ｏ3 −ＺｒＯ
2 等の複合酸化物膜が知られているが、特にこれに限ら
れるものではない。単位酸化物組成とは、前記複合酸化
物を構成する酸化物のことであり、例えば、Ｉｎ2 Ｏ3
−ＳｎＯ2 の場合には、ＩｎＯ、ＩｎＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ3
等 とＳｎＯ, ＳｎＯ2 等であり、Ａｌ2 Ｏ3 −ＳｉＯ
2 の場合には、ＡｌＯ2 , Ａｌ2 Ｏ2 等とＳｉＯ, Ｓｉ
Ｏ2 等をいう。この単位酸化物組成の中には目的を損な
わない範囲（３％程度）で不純物を含んでも良い。
【００１０】実施例１ 蒸着源として、３〜５ｍｍ程度の大きさの粒子状のＡｌ
2 Ｏ3 （純度９９．５％）とＳｉＯ2 （純度９９．９
％）を用い、電子ビ−ム蒸着法で、１２μｍ厚のＰＥＴ
フィルム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に複合酸化
物セラミックス薄膜形成を行った。蒸着材料は、混合せ
ずに、ハ−ス内をカ−ボン板で２つに仕切った。フィル
ム送り速度１００ｍ／ｍｉｎとし、加熱源として一台の
電子銃（以下ＥＢ銃）を用い、Ａｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 の
それぞれを時分割で加熱し、Ａｌ2Ｏ3 と ＳｉＯ2 の
複合膜を作成した。その時のＥＢ銃のエミッション電流
を１．２Ａと し、Ａｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 への加熱比
は、５０：１０とし、５００Å厚の膜を作った。このよ
うに作製した長尺フィルムの蒸着開始の位置から、２
０、１００、５００、１０００、３０００ｍのところ等
をサンプリングし、組成分析（ＩＣＰ分析）をした。
2 Ｏ3 （純度９９．５％）とＳｉＯ2 （純度９９．９
％）を用い、電子ビ−ム蒸着法で、１２μｍ厚のＰＥＴ
フィルム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に複合酸化
物セラミックス薄膜形成を行った。蒸着材料は、混合せ
ずに、ハ−ス内をカ−ボン板で２つに仕切った。フィル
ム送り速度１００ｍ／ｍｉｎとし、加熱源として一台の
電子銃（以下ＥＢ銃）を用い、Ａｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 の
それぞれを時分割で加熱し、Ａｌ2Ｏ3 と ＳｉＯ2 の
複合膜を作成した。その時のＥＢ銃のエミッション電流
を１．２Ａと し、Ａｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 への加熱比
は、５０：１０とし、５００Å厚の膜を作った。このよ
うに作製した長尺フィルムの蒸着開始の位置から、２
０、１００、５００、１０００、３０００ｍのところ等
をサンプリングし、組成分析（ＩＣＰ分析）をした。
【００１１】更に、このＰＥＴ上の複合膜に対し、ま
た、厚さ４０μｍの未延伸ポリプロピレンフィルム（Ｃ
ＰＰフィルム）を二液硬化型ポリウレタン系接着剤（厚
さ２μｍ）を用いて、ドライラミネ−トして、本発明応
用の包装用プラスチックフィルムを得た。この包装用フ
ィルムに対して、レトルト処理（１２０℃×３０分）を
し、酸素バリア性を測定した。（表１） このようにして得たガスバリアフィルムのレトルト処理
後の酸素バリア性は好で、長さ方向に特性の均一な長尺
フィルムが得られた。
た、厚さ４０μｍの未延伸ポリプロピレンフィルム（Ｃ
ＰＰフィルム）を二液硬化型ポリウレタン系接着剤（厚
さ２μｍ）を用いて、ドライラミネ−トして、本発明応
用の包装用プラスチックフィルムを得た。この包装用フ
ィルムに対して、レトルト処理（１２０℃×３０分）を
し、酸素バリア性を測定した。（表１） このようにして得たガスバリアフィルムのレトルト処理
後の酸素バリア性は好で、長さ方向に特性の均一な長尺
フィルムが得られた。
【００１２】比較例１ Ａｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 を混合した以外は、実施例１と同
様にＰＥＴフィルム上に ＥＢ蒸着を行ない、組成分
析、膜厚測定およびレトルト処理後の酸素バリア性を測
った。その結果蒸着が進むにつれ、組成のずれが大きく
なり、後ろの方は耐レトルトの不十分なものになった。
そのため、１回の蒸着で得られる長さが大幅に制限され
た。
様にＰＥＴフィルム上に ＥＢ蒸着を行ない、組成分
析、膜厚測定およびレトルト処理後の酸素バリア性を測
った。その結果蒸着が進むにつれ、組成のずれが大きく
なり、後ろの方は耐レトルトの不十分なものになった。
そのため、１回の蒸着で得られる長さが大幅に制限され
た。
【００１３】実施例２ 蒸着源として、１ｍｍ程度の大きさの粒子状のＩｎ2 Ｏ
3 （純度９９．５％）とＳｎＯ2 （純度９９．８％）を
用い、電子ビ−ム蒸着法で、１００μｍ厚のＰＥＴフィ
ルム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に酸化物透明導
電膜の形成を行った。蒸着材料は、混合しないように、
４つの坩堝を使った。フィルム送り速度５０ｍ／ｍｉｎ
とし、加熱源として２台の電子銃（以下ＥＢ銃）を用
い、Ｉｎ2Ｏ3 とＳｎＯ2 のそれぞれを加熱しＩＴＯ膜
を作成した。その時のＥＢ銃のエミッション電流を０．
８Ａ、１．２Ａとした。このように作製した長尺フィル
ムから、蒸着開始の位置から、２０、１００、５００、
１０００、３０００ｍの所等をサンプリングし、組成分
析（ＩＣＰ分析）をした。更に、このサンプルの抵抗特
性を四端針抵抗測定器で測定した。
3 （純度９９．５％）とＳｎＯ2 （純度９９．８％）を
用い、電子ビ−ム蒸着法で、１００μｍ厚のＰＥＴフィ
ルム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に酸化物透明導
電膜の形成を行った。蒸着材料は、混合しないように、
４つの坩堝を使った。フィルム送り速度５０ｍ／ｍｉｎ
とし、加熱源として２台の電子銃（以下ＥＢ銃）を用
い、Ｉｎ2Ｏ3 とＳｎＯ2 のそれぞれを加熱しＩＴＯ膜
を作成した。その時のＥＢ銃のエミッション電流を０．
８Ａ、１．２Ａとした。このように作製した長尺フィル
ムから、蒸着開始の位置から、２０、１００、５００、
１０００、３０００ｍの所等をサンプリングし、組成分
析（ＩＣＰ分析）をした。更に、このサンプルの抵抗特
性を四端針抵抗測定器で測定した。
【００１４】比較例２ Ｉｎ2 Ｏ3 とＳｎＯ2 を混合した以外は、実施例２と同
様にＰＥＴフィルム上にＥＢ蒸着を行ない、組成分析、
膜厚測定および表面抵抗を測った。その結果蒸着が進む
につれ、膜厚の変動、組成のずれが大きくなり、後ろの
方は抵抗特性の不十分なものとなり、使用できなかっ
た。
様にＰＥＴフィルム上にＥＢ蒸着を行ない、組成分析、
膜厚測定および表面抵抗を測った。その結果蒸着が進む
につれ、膜厚の変動、組成のずれが大きくなり、後ろの
方は抵抗特性の不十分なものとなり、使用できなかっ
た。
【００１５】実施例３ 蒸着源として、１ｍｍ程度の大きさの粒子状のＴｉＯ2
（純度９９．９％）とＳｉＯ2 （純度９９．９％）を用
い、電子ビ−ム蒸着法で、１５０μｍ厚のＰＥＴフィル
ム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に酸化物光学薄膜
の形成を行った。蒸着材料は、混合しないように、坩堝
を２つに仕切った。フィルム送り速度３０ｍ／ｍｉｎと
し、加熱源として２台の電子銃（以下ＥＢ銃）を用い、
ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 のそれぞれを加熱し光学膜を作成し
た。その時のＥＢ銃のエミッション電流を１．２Ａ、
０．７Ａとした。このように作製した長尺フィルムか
ら、蒸着開始の位置から、２０、１００、５００、１０
００、３０００・・・ｍの所をサンプリングし、組成分
析（ＩＣＰ分析）光学特性の測定を行った。
（純度９９．９％）とＳｉＯ2 （純度９９．９％）を用
い、電子ビ−ム蒸着法で、１５０μｍ厚のＰＥＴフィル
ム（東洋紡績（株）：Ｅ５１００）上に酸化物光学薄膜
の形成を行った。蒸着材料は、混合しないように、坩堝
を２つに仕切った。フィルム送り速度３０ｍ／ｍｉｎと
し、加熱源として２台の電子銃（以下ＥＢ銃）を用い、
ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 のそれぞれを加熱し光学膜を作成し
た。その時のＥＢ銃のエミッション電流を１．２Ａ、
０．７Ａとした。このように作製した長尺フィルムか
ら、蒸着開始の位置から、２０、１００、５００、１０
００、３０００・・・ｍの所をサンプリングし、組成分
析（ＩＣＰ分析）光学特性の測定を行った。
【００１６】比較例３ ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 を混合した以外は、実施例と同様に
ＰＥＴフィルム上にＥＢ蒸着を行ない、組成分析、膜厚
を測った。その結果、蒸着が進むにつれ、膜厚の変動、
組成のずれが大きくなり、屈折率等の光学特性や熱特性
にバラツキがみられた。
ＰＥＴフィルム上にＥＢ蒸着を行ない、組成分析、膜厚
を測った。その結果、蒸着が進むにつれ、膜厚の変動、
組成のずれが大きくなり、屈折率等の光学特性や熱特性
にバラツキがみられた。
【００１７】
【発明の効果】真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成に
おいて、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱
源としては少なくとも、１つの電子銃を用いることによ
って、プラスチックフィルム上に蒸着することよって、
長さ方向に均一な特性をもつ長尺複合酸化物薄膜フィル
ムを作成できるようになり、１回で作成できる試料長を
大幅に長くすることができた。
おいて、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱
源としては少なくとも、１つの電子銃を用いることによ
って、プラスチックフィルム上に蒸着することよって、
長さ方向に均一な特性をもつ長尺複合酸化物薄膜フィル
ムを作成できるようになり、１回で作成できる試料長を
大幅に長くすることができた。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】
【表３】
【００２１】
【表４】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宇野 利夫 滋賀県大津市堅田二丁目１番１号 東洋紡 績株式会社総合研究所内 (72)発明者 小谷 徹 滋賀県大津市堅田二丁目１番１号 東洋紡 績株式会社総合研究所内 (72)発明者 山田 陽三 滋賀県大津市堅田二丁目１番１号 東洋紡 績株式会社総合研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成に
おいて、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱
源としては少なくとも、１つの電子銃を用いることによ
って、プラスチックフィルム上に蒸着することを特徴と
する長尺複合酸化物薄膜フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4027332A JPH07102363A (ja) | 1992-01-17 | 1992-01-17 | 複合酸化物薄膜フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4027332A JPH07102363A (ja) | 1992-01-17 | 1992-01-17 | 複合酸化物薄膜フィルムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07102363A true JPH07102363A (ja) | 1995-04-18 |
Family
ID=12218115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4027332A Pending JPH07102363A (ja) | 1992-01-17 | 1992-01-17 | 複合酸化物薄膜フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07102363A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002200693A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Toyobo Co Ltd | 透明ガスバリアフィルムロール |
| US7785671B2 (en) | 2003-02-17 | 2010-08-31 | Japan Fine Ceramics Center | Thermal barrier coating system and method of manufacturing the same |
| WO2014129387A1 (ja) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | 東洋紡株式会社 | ガスバリア性フィルム |
-
1992
- 1992-01-17 JP JP4027332A patent/JPH07102363A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPWO2014129387A1 (ja) * | 2013-02-20 | 2017-02-02 | 東洋紡株式会社 | ガスバリア性フィルム |
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