JPH07101499B2 - Magnetic recording body - Google Patents
Magnetic recording bodyInfo
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- JPH07101499B2 JPH07101499B2 JP61005803A JP580386A JPH07101499B2 JP H07101499 B2 JPH07101499 B2 JP H07101499B2 JP 61005803 A JP61005803 A JP 61005803A JP 580386 A JP580386 A JP 580386A JP H07101499 B2 JPH07101499 B2 JP H07101499B2
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- floppy disk
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、フロッピーディスク、ハードディスク等の
磁気記録体に関するものである。The present invention relates to a magnetic recording medium such as a floppy disk and a hard disk.
「従来の技術」 上記の磁気記録体は、図面に示すように、ポリエステル
等のプラスチックフィルムあるいはアルミニュウム等の
金属板の基板１の両面に、下地層2,2を形成した後、磁
性体層3,3を被着し、さらにその磁性体層3,3の表面に保
護膜4,4を形成した構成とされている。“Prior Art” As shown in the drawings, the above magnetic recording medium has magnetic layers 3 after forming underlayers 2, 2 on both sides of a substrate 1 which is a plastic film such as polyester or a metal plate such as aluminum. , 3 are adhered, and protective films 4, 4 are further formed on the surfaces of the magnetic layers 3, 3.
保護膜４は、磁性体層３が磁気ヘッド（図示せず）との
衝突や摺接によって摩耗することを防止するためのもの
であり、極めて薄い膜でありながら充分な堅固さを備え
ていることが要求される。このため、従来一般にはＣ
（炭素）あるいはSiO2（二酸化珪素）のスパッタ膜によ
り保護膜４を形成している。The protective film 4 is for preventing the magnetic layer 3 from being abraded by a collision or a sliding contact with a magnetic head (not shown), and is a very thin film and has sufficient hardness. Is required. For this reason, C
The protective film 4 is formed of a sputtered film of (carbon) or SiO 2 (silicon dioxide).
「発明が解決しようとする問題点」 ところが、上記のＣあるいはSiO2のスパッタ膜によって
形成した保護膜４では、その硬度や耐摩耗性が未だ充分
ではなく、したがって、従来の磁気記録体の機械的耐久
性も充分とはいえないものであった。"Problems to be Solved by the Invention" However, the hardness and wear resistance of the protective film 4 formed by the above-described sputtered film of C or SiO 2 are not sufficient, and therefore, the mechanical strength of the conventional magnetic recording medium is high. Durability was not sufficient.
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、さらに
堅固な保護膜を形成することにより、機械的耐久性を向
上させた磁気記録体を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording body with improved mechanical durability by forming a more robust protective film.
「問題点を解決するための手段」 この発明は、基板に被着した磁性体層の表面に保護膜を
形成してなる磁気記録体において、前記保護膜は、 Si（6-x）AlxOxN（8-x） ｘ＝0.1〜4.2 の組成からなるセラミックスにより形成されていること
を特徴としている。ここで、上記ｘの値の範囲を0.1〜
4.2と限定した理由を説明する。"Means for solving the problem" This invention is a magnetic recording medium obtained by forming a protective film on the surface of the magnetic layer deposited on the substrate, the protective film, Si (6- x) AlxOxN ( 8- x) It is characterized by being formed of ceramics having a composition of x = 0.1 to 4.2. Here, the value range of x is 0.1 to
Explain the reason for limiting to 4.2.
ｘの値が0.1未満では、得られる保護膜の粒子径が大き
くなるために、該保護膜の緻密性が低下しまた摩擦係数
も大きくなり不適当である。また、ｘの値が4.2を越え
ると、得られる保護膜の機械的強度が低下するために、
該保護膜の寿命が短くなり不適当である。When the value of x is less than 0.1, the particle size of the resulting protective film is large, so that the denseness of the protective film is lowered and the friction coefficient is also large, which is not suitable. Further, when the value of x exceeds 4.2, the mechanical strength of the resulting protective film decreases,
This is inappropriate because the life of the protective film is shortened.
前記保護膜の緻密性及び機械的強度を考慮すると、ｘの
値のより好ましい範囲は0.3〜2.0である。Considering the denseness and mechanical strength of the protective film, the more preferable range of the value of x is 0.3 to 2.0.
「実施例」 以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
この発明の磁気記録体においては、その保護膜４が、 Si（6-x）AlxOxN（8-x） ｘ＝0.1〜4.2 の組成からなるセラミックス（以下サイアロンと称す
る）により形成されている。このサイアロンは、従来よ
り保護膜として用いられているＣ、SiO2等に比して硬度
や強度が強く、耐摩耗性に極めて優れているとともに、
摩擦係数は小さいものである。なお、ｘの値が上記の範
囲から外れるとその物性が低下する。In the magnetic recording medium of the present invention, the protective film 4 is formed of ceramics (hereinafter referred to as sialon) having a composition of Si ( 6- x) AlxOxN ( 8- x) x = 0.1 to 4.2. This sialon has a higher hardness and strength than C, SiO 2, etc., which have been conventionally used as a protective film, and is extremely excellent in wear resistance.
The coefficient of friction is small. Note that if the value of x deviates from the above range, the physical properties will deteriorate.
したがって、このサイアロンを保護膜４として用いるこ
とにより、磁気記録体の耐摩耗性を従来のものに比して
著しく向上させることができ、長寿命とすることができ
る。この保護膜４の厚みは100〜1,000Åとすることが望
ましいが、必ずしもその範囲内に限ることはない。Therefore, by using this sialon as the protective film 4, the wear resistance of the magnetic recording body can be remarkably improved as compared with the conventional one, and the life can be extended. The thickness of the protective film 4 is preferably 100 to 1,000Å, but is not necessarily limited to this range.
なお、この磁気記録体における磁性体層３は、従来と同
様にCo−Ni−Cr合金やCo−Cr合金等を用いて形成すれば
良く、あるいは磁性体層３を２層に重ねた構成としても
良い。また、基板１も従来のものと同様で良い。The magnetic layer 3 in this magnetic recording medium may be formed using a Co—Ni—Cr alloy, a Co—Cr alloy, or the like as in the conventional case, or the magnetic layer 3 may be formed in two layers. Is also good. The substrate 1 may be the same as the conventional one.
次に、実験例を挙げてこの発明の効果を明確にする。Next, the effects of the present invention will be clarified with reference to experimental examples.
（実験例１） 直径5.25インチ、厚さ約50μのディスク状のポリエステ
ルフィルム基板に、Fe−Ni合金からなる下地層を3,000
Åの厚さで形成した後、その表面にCo−Cr合金からなる
磁性体層を2,000Åの厚さで形成し、さらにその表面に
サイアロンの保護膜を200Åの厚さで形成してフロッピ
ーディスクを作製した。上記の下地層、磁性体層、保護
膜はいずれもスパッタリング法により形成した。保護膜
については、ｘの値が0.1〜4.2の範囲内であるターゲッ
トを５種、ｘの値が0.1〜4.2の範囲外であるターゲット
を２種それぞれ作製し、これらのターゲットを用いてス
パッタリングにより各フロッピーディスクを作製し、実
施例（No.1〜５）及び比較例（No.6,7）とした。(Experimental Example 1) A disk-shaped polyester film substrate having a diameter of 5.25 inches and a thickness of about 50μ is provided with an underlayer made of an Fe-Ni alloy for 3,000.
After being formed with a thickness of Å, a magnetic layer made of Co-Cr alloy is formed on the surface with a thickness of 2,000 Å, and a protective film of Sialon is formed on the surface with a thickness of 200 Å to make a floppy disk. Was produced. The underlayer, magnetic layer, and protective film were all formed by the sputtering method. Regarding the protective film, five kinds of targets with x values within the range of 0.1 to 4.2 and two kinds of targets with x values outside the range of 0.1 to 4.2 were prepared, and sputtering was performed using these targets. Each floppy disk was produced and used as an example (No. 1 to 5) and a comparative example (No. 6, 7).
そして、保護膜を200Å厚のSiO2により形成した他は上
記と全く同様に構成した従来のフロッピーディスクを従
来例（No.8）とした。次いで、これらの各フロッピーデ
ィスク（No.1〜８）の耐摩耗性をピンオンディスク法に
より比較した。ピンオンディスク法は、磁気ヘッドを約
0.1gの荷重で接触させた状態でフロッピーディスクを回
転させて信号を読み取り、その読み取り信号のレベルが
原信号のレベルの1/2に減衰するまでの回転回数により
耐摩耗性を評価するものである。Then, a conventional floppy disk having the same structure as the above except that the protective film was formed of 200 Å thick SiO 2 was used as a conventional example (No. 8). Then, the wear resistance of each of these floppy disks (No. 1 to 8) was compared by the pin-on-disk method. The pin-on-disk method uses a magnetic head
Rotate the floppy disk with a load of 0.1g to read the signal, and evaluate the wear resistance by the number of rotations until the level of the read signal decays to 1/2 of the original signal level. is there.
この結果、本実施例のフロッピーディスク（No.1〜５）
では回転回数が400,000回以上であるのに対し、比較例
のフロッピーディスク（No.6,7）では回転回数が高々30
0,000回、従来例のフロッピーディスク（No.8）では回
転回数が200,000回であり、従来のものの約２倍または
それ以上の耐摩耗性を有することが確認された。 As a result, the floppy disk of this embodiment (No. 1 to 5)
The number of rotations is 400,000 or more, whereas the number of rotations is 30 at most for the floppy disk (No. 6, 7) of the comparative example.
It was confirmed that the floppy disk (No. 8) of the conventional example has the number of rotations of 200,000 times, which is about twice or more the abrasion resistance of the conventional one.
（実験例２） 直径5.25インチ、厚さ約1.5mmのディスク状のアルミニ
ュウム基板に、メッキ法によりNi−Ｐメッキを約40μの
厚さに形成した後、その表面にCo−Ni−Cr合金からなる
磁性体層を1,500Åの厚さで形成し、さらにその表面に
サイアロンの保護膜を150Åの厚さで形成してハードデ
ィスクを調製した。上記の磁性体層、保護膜はいずれも
スパッタリング法により形成した。保護膜については、
ｘの値が0.1〜4.2の範囲内であるターゲットを５種、ｘ
の値が0.1〜4.2の範囲外であるターゲットを２種それぞ
れ作製し、これらのターゲットを用いてスパッタリング
により各フロッピーディスクを作製し、実施例（No.11
〜15）及び比較例（No.16,17）とした。(Experimental Example 2) A disk-shaped aluminum substrate having a diameter of 5.25 inches and a thickness of about 1.5 mm was plated with Ni-P plating to a thickness of about 40 µ, and then the surface was coated with a Co-Ni-Cr alloy. A magnetic layer was formed with a thickness of 1,500Å, and a protective film of sialon was formed on the surface with a thickness of 150Å to prepare a hard disk. Both the magnetic layer and the protective film were formed by the sputtering method. For the protective film,
5 types of target with x value in the range of 0.1 to 4.2, x
Two targets each having a value of 0.1 outside the range of 0.1 to 4.2 were prepared, and each of these targets was used to prepare a floppy disk by sputtering.
~ 15) and Comparative Examples (No. 16, 17).
そして、保護膜を150Å層のＣにより形成した他は上記
と全く同様に構成した従来のハードディスクを従来例
（No.18）とした。次いで、これらの各フロッピーディ
スク（No.11〜18）の耐摩耗性をCSS法（コンスタントス
タートストップ法）により比較した。CSS法は、磁気ヘ
ッドをハードディスクに離接させ、膜が破壊されるまで
の磁気ヘッドとディスクの接触回数（CSS値）により耐
摩耗性を評価するものである。A conventional hard disk having the same structure as the above except that the protective film is formed of C of 150Å layer is used as a conventional example (No. 18). Then, the wear resistance of each of these floppy disks (No. 11 to 18) was compared by the CSS method (constant start / stop method). The CSS method evaluates the wear resistance by contacting the magnetic head with the hard disk and measuring the number of contact (CSS value) between the magnetic head and the disk until the film is destroyed.
この結果、本実施例のフロッピーディスク（No.11〜1
5）ではCSS値が30,000回以上であるのに対し、比較例の
フロッピーディスク（No.16,17）ではCSS値が高々20,00
0回、従来例のフロッピーディスク（No.18）ではCSS値
が12,000回であり、従来のものの約2,5倍またはそれ以
上の耐摩耗性を有することが確認された。 As a result, the floppy disk of this embodiment (No. 11 to 1)
In 5), the CSS value is 30,000 times or more, whereas in the floppy disk (No.16,17) of the comparative example, the CSS value is at most 20,00.
0 times, the floppy disk of the conventional example (No. 18) has a CSS value of 12,000 times, and it is confirmed that the floppy disk has abrasion resistance about 2.5 times or more that of the conventional one.
「発明の効果」 以上詳細に説明したように、この発明の磁気記録体は、
保護膜をSi(6-x)AlxOxN(8-x)（ｘ＝0.1〜4.2の組成から
なるセラミックスにより形成したので、耐摩耗性に優
れ、従来の磁気記録体に比して極めて長寿命であるとい
う効果を有する。"Effects of the Invention" As described in detail above, the magnetic recording medium of the present invention is
Since the protective film is made of ceramics composed of Si (6-x) Al x O x N (8-x) (x = 0.1 to 4.2 ) , it has excellent wear resistance and is superior to conventional magnetic recording media. It has the effect of having an extremely long life.
図面は磁気記録体の構成を示す断面図である。 １……基板、３……磁性体層、４……保護膜。 The drawing is a cross-sectional view showing the structure of a magnetic recording medium. 1 ... Substrate, 3 ... Magnetic layer, 4 ... Protective film.
Claims (1)
形成してなる磁気記録体において、前記保護膜は、 Si（6-x）AlxOxN（8-x） ｘ＝0.1〜4.2 の組成からなるセラミックスにより形成されていること
を特徴とする磁気記録体。1. A magnetic recording medium obtained by forming a protection to the surface of the magnetic layer deposited on the substrate film, said protective film, Si (6- x) AlxOxN ( 8- x) x = 0.1~4.2 A magnetic recording medium formed of a ceramic having the composition of
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61005803A JPH07101499B2 (en) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | Magnetic recording body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61005803A JPH07101499B2 (en) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | Magnetic recording body |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62164207A JPS62164207A (en) | 1987-07-20 |
| JPH07101499B2 true JPH07101499B2 (en) | 1995-11-01 |
Family
ID=11621237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61005803A Expired - Lifetime JPH07101499B2 (en) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | Magnetic recording body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101499B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2536819B2 (en) * | 1987-07-23 | 1996-09-25 | ティーディーケイ株式会社 | Optical recording medium |
| JP2008050128A (en) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Daifuku Co Ltd | Load support device for load storage rack |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS604077A (en) * | 1983-06-23 | 1985-01-10 | Fujitsu Ltd | Thermal head |
| JPS60197964A (en) * | 1984-03-19 | 1985-10-07 | Canon Inc | Optical recording medium |
-
1986
- 1986-01-14 JP JP61005803A patent/JPH07101499B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS604077A (en) * | 1983-06-23 | 1985-01-10 | Fujitsu Ltd | Thermal head |
| JPS60197964A (en) * | 1984-03-19 | 1985-10-07 | Canon Inc | Optical recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62164207A (en) | 1987-07-20 |
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