JPH0697222A - Bonding device - Google Patents

Bonding device

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JPH0697222A
JPH0697222A JP4272281A JP27228192A JPH0697222A JP H0697222 A JPH0697222 A JP H0697222A JP 4272281 A JP4272281 A JP 4272281A JP 27228192 A JP27228192 A JP 27228192A JP H0697222 A JPH0697222 A JP H0697222A
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JP
Japan
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holding
pressing member
bonding
lead frame
force
Prior art date
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Application number
JP4272281A
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Japanese (ja)
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Makoto Nakajima
誠 中嶋
Yoshio Ohashi
芳雄 大橋
Shigeru Arai
茂 新井
Toru Uekuri
徹 植栗
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To accurately attach an upper press-member in an easily detachable manner. CONSTITUTION:The title bonding device is provided with a retaining surface 51 formed on the upper surface of a retaining stand 50, a fixing piece 53 which is fixed to one side of the retaining surface, a press lever 57 which presses the upper press member 49 which is pivotally supported on the opposite side of the fixing piece on the retaining surface in a freely rotatable manner, a retentive strength energizing device 66 with which retentive strength is energized to the press lever 57, inclined surfaces 42 and 43 formed on both side faces of the upper side press member 40, and inclined surfaces 54 and 59 formed on the fixing piece and the press members. Accordingly, when the press lever 57 is energized by the retentive strength energizing device, the upper side press member 40 is press-connected to the retentive surface 51 and the fixing piece 53 by the component force generated on the inclination surface, and the upper side press member 40 is fixed to the retaining stand 50. The above-mentioned state of fixing is removed by the removal of energization of the retentive strength energizing device. As a result, the exhange operation of the upper side press member can be simplified when compared with the case where the upper side press member is screwed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ボンディング技術、特
に、被ボンディング物としてのリードフレームを固定的
に保持する技術に関し、例えば、半導体集積回路装置の
製造工程において、リードフレームのリードと半導体ペ
レット（以下、ペレットという。）とを電気的に接続す
るワイヤボンディング装置に利用して有効な技術に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding technique, and more particularly to a technique for fixedly holding a lead frame as an object to be bonded. For example, in a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit device, a lead frame lead and a semiconductor pellet. (Hereinafter, referred to as a pellet.) The present invention relates to a technique effectively used in a wire bonding device for electrically connecting with.

【０００２】[0002]

【従来の技術】リードフレームのリードとペレットの電
極との間にワイヤを架橋して電気的に接続するワイヤボ
ンディング装置として、特開昭６２−１８８３３０号公
報および特開昭６２−１８８３３１号公報に記載されて
いるように、リードフレームを上下の押さえ部材により
押さえながら、ワイヤをペレットの電極パッドとリード
フレームのインナリードとにボンディングするように構
成されているとともに、上下の押さえ部材によってリー
ドフレームのタブ外周縁部を押さえ付けることにより、
リードフレームを安定的に固定するように構成して成る
ものがある。2. Description of the Related Art A wire bonding device for bridging a wire between a lead of a lead frame and an electrode of a pellet for electrical connection is disclosed in JP-A-62-188330 and JP-A-62-188331. As described, while holding the lead frame by the upper and lower pressing members, the wire is configured to be bonded to the electrode pad of the pellet and the inner lead of the lead frame, and the upper and lower pressing members prevent the lead frame. By pressing the outer peripheral edge of the tab,
Some lead frames are constructed so as to be stably fixed.

【０００３】従来、このようなワイヤボンディング装置
においては、上下の押さえ部材はボルトによって上下の
ブロックにおける保持部にそれぞれ固定されている。そ
して、リードフレームの品種交換時には、すなわち、リ
ードフレームの形状や寸法が変わる場合には、交換され
るリードフレームの品種に対応した規格の押さえ部材に
取り替えられる。Conventionally, in such a wire bonding apparatus, the upper and lower pressing members are fixed to the holding portions of the upper and lower blocks by bolts, respectively. Then, when the lead frame type is changed, that is, when the shape or size of the lead frame is changed, it is replaced with a pressing member of a standard corresponding to the type of the lead frame to be replaced.

【０００４】この取替作業時には、前記ボルトを一旦取
り外して、取り付けられていた押さえ部材を取り外し、
その後、新しい品種のリードフレームに対応した規格の
押さえ部材を保持部に取り付けることになる。この場
合、押さえ部材は、ワイヤボンディング装置におけるコ
ントローラ内のメモリー内に登録されているボンディン
グ座標位置の関係から、取付位置の精度を充分確保する
必要がある。したがって、押さえ部材は取付位置の微調
整が行われて位置決めされた後、ボルトによって固定さ
れている。At the time of this replacement work, the bolt is once removed, and the holding member attached is removed.
Then, a standard pressing member corresponding to a new type of lead frame is attached to the holding portion. In this case, it is necessary for the pressing member to sufficiently secure the mounting position accuracy from the relationship of the bonding coordinate position registered in the memory in the controller of the wire bonding apparatus. Therefore, the pressing member is fixed by the bolt after the mounting position is finely adjusted and positioned.

【０００５】この押さえ部材の取替作業には、ドライバ
または六角レンチ等の工具を準備する必要があること、
取付位置の調整時間が必要なことから、比較的多くの段
取り時間が消費されている。It is necessary to prepare a tool such as a screwdriver or a hexagonal wrench for replacing the pressing member.
Since it takes time to adjust the mounting position, a relatively large amount of setup time is consumed.

【０００６】ところで、従来、多品種対応のフレキシビ
リティを有するワイヤボンディング装置は種々市販され
ており、この種のワイヤボンディング装置においては、
搬送レール幅、フレーム送りピッチ、品種毎のボンディ
ングデータ等が自動的に変更可能である。[0006] By the way, conventionally, various wire bonding apparatuses having flexibility for a wide variety of products are commercially available. In this type of wire bonding apparatus,
Conveyor rail width, frame feed pitch, bonding data for each product type, etc. can be changed automatically.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】最近、半導体装置の製
造分野においては、多品種少量生産の傾向が強まってい
る。したがって、ワイヤボンディング装置においては、
生産品種の交換における構成各部の規格の変更、例え
ば、搬送レール幅、フレーム送りピッチ、その他品種毎
のボンディングデータについての変更の頻度が大きくな
る。Recently, in the field of manufacturing semiconductor devices, there is an increasing tendency for high-mix low-volume production. Therefore, in the wire bonding device,
The frequency of changing the standard of each component when exchanging the product type, for example, the change of the transport rail width, the frame feed pitch, and other bonding data for each type becomes large.

【０００８】ここで、前述した通り、従来のワイヤボン
ディング装置においては、搬送レール幅、フレーム送り
ピッチ、品種毎のボンディングデータ等については自動
的に変更することができるように構成されているものが
ある。Here, as described above, in the conventional wire bonding apparatus, there are those configured so that the carrier rail width, the frame feed pitch, the bonding data for each type, etc. can be automatically changed. is there.

【０００９】しかし、上下の押さえ部材においては、品
種の交換毎に、前述した通り、人手による取替作業が実
施されているため、そのための作業時間が他の交換作業
に比べて長くなり、ワイヤボンディング装置の休止時間
を長期化してしまう。However, in the upper and lower pressing members, since the manual replacement work is carried out every time the product type is replaced, as described above, the work time therefor becomes longer than that of the other replacement works, and the wire replacement work is performed. This leads to a long downtime of the bonding apparatus.

【００１０】しかも、ボルトによる位置決め固定構造に
おいては、ボルト挿通孔とボルトとの間に挿通のための
クリアランスが必要になるため、ボルトによって固定さ
れた押さえ部材に微小な誤差が発生することがあり、最
終的に、ワイヤボンディング装置のコントローラに対す
る座標データのティーチング（教示）を詳細に実施する
必要が発生し易い。In addition, in the positioning and fixing structure using the bolts, a clearance for inserting the bolts between the bolt insertion holes and the bolts is required, so that a slight error may occur in the pressing member fixed by the bolts. Finally, it is likely to be necessary to perform detailed teaching (teaching) of coordinate data to the controller of the wire bonding apparatus.

【００１１】本発明の目的は、上側押さえ部材を容易に
着脱でき、かつ、取付位置を容易に精度よく確保するこ
とができるボンディング装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a bonding apparatus in which the upper pressing member can be easily attached and detached and the mounting position can be easily and accurately secured.

【００１２】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【００１３】[0013]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。The typical ones of the inventions disclosed in the present application will be outlined below.

【００１４】上側押さえ部材と下側押さえ部材とによっ
てリードフレームを挟持した状態でボンディングが実施
されるボンディング装置であって、前記リードフレーム
に対して相対的に接離する保持ブロックに前記上側押さ
え部材が着脱自在に固定されているボンディング装置に
おいて、前記保持ブロックの上面に形成されている保持
面と、保持面の片側に固定されている固定ピースと、保
持面の固定ピースと反対側の前記上側押さえ部材に臨む
位置に移動自在に配されて、前記固定ピースの方向への
前進によって上側押さえ部材を押圧する押圧部材と、押
圧部材に保持力を付勢する保持力付勢装置と、前記上側
押さえ部材、固定ピースおよび押圧部材のうち少なくと
も一部に形成されている傾斜面とを備えており、前記押
圧部材が前記保持力付勢装置によって付勢された際に、
前記上側押さえ部材が前記傾斜面によって発生された垂
直分力によって前記保持面に押接されるとともに、前記
固定ピースに押接されることにより、前記上側押さえ部
材が前記保持ブロックに固定されるように構成されてい
ることを特徴とする。In a bonding apparatus in which a lead frame is sandwiched between an upper pressing member and a lower pressing member, bonding is performed, and the upper pressing member is attached to a holding block that is relatively in contact with and separated from the lead frame. In a bonding apparatus in which the holding block is detachably fixed, a holding surface formed on the upper surface of the holding block, a fixing piece fixed to one side of the holding surface, and the upper side of the holding surface opposite to the fixing piece. A pressing member that is movably arranged at a position facing the pressing member and presses the upper pressing member by advancing in the direction of the fixed piece; a holding force urging device that urges a holding force to the pressing member; A pressing member, a fixed piece, and an inclined surface formed on at least a part of the pressing member, and the pressing member holds the holding member. When urged by the biasing device,
The upper pressing member is pressed against the holding surface by the vertical component force generated by the inclined surface, and is pressed against the fixing piece, so that the upper pressing member is fixed to the holding block. It is characterized in that it is configured.

【００１５】[0015]

【作用】前記した手段によれば、上側押さえ部材は保持
ブロックに形成されている保持面および固定ピースに押
圧部材によって押接されることによって所定の取付位置
に位置決め配置されるので、上側押さえ部材の取付位置
の微調整が不要になる。その結果、ボンディング装置本
体に記憶されているボンディング位置データを変更する
ことなく、適正なボンディング作業を実施することがで
きる。According to the above-mentioned means, the upper pressing member is positioned and arranged at the predetermined mounting position by being pressed against the holding surface formed on the holding block and the fixed piece by the pressing member. Fine adjustment of the mounting position of is unnecessary. As a result, proper bonding work can be carried out without changing the bonding position data stored in the bonding apparatus body.

【００１６】また、上側押さえ部材は押圧部材を介して
保持力付勢装置によって保持面および固定ピースに押接
される構成であるため、保持力付勢装置の付勢状態を解
除することにより、上側押さえ部材は保持面および固定
ピースから容易に取り外すことができる。したがって、
従来のようなボルトによる固定作業の場合に比べて、上
側押さえ部材の着脱作業が簡単に行える。Further, since the upper pressing member is configured to be pressed against the holding surface and the fixed piece by the holding force urging device via the pressing member, by releasing the urging state of the holding force urging device, The upper pressing member can be easily removed from the holding surface and the fixing piece. Therefore,
As compared with the conventional fixing work using bolts, the work for attaching and detaching the upper pressing member can be performed more easily.

【００１７】[0017]

【実施例】図１は本発明の一実施例であるワイヤボンデ
ィング装置の主要部分を示す斜視図、図２はその下側押
さえ部材部分を示す拡大した分解斜視図、図３はその上
側押さえ部材部分を示す拡大した正面断面図、図４は主
要部を示す側面断面図、図５は押さえ状態を示す拡大し
た側面断面図、図６は同じく拡大した一部省略平面図で
ある。1 is a perspective view showing a main part of a wire bonding apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged exploded perspective view showing a lower holding member portion thereof, and FIG. 3 is an upper holding member thereof. FIG. 4 is an enlarged front sectional view showing a portion, FIG. 4 is a side sectional view showing a main portion, FIG. 5 is an enlarged side sectional view showing a pressed state, and FIG. 6 is an enlarged partially omitted plan view.

【００１８】本実施例において、本発明に係るワイヤボ
ンディング装置は、リードフレーム１にワイヤボンディ
ングを実施するように構成されている。In the present embodiment, the wire bonding apparatus according to the present invention is configured to carry out wire bonding on the lead frame 1.

【００１９】リードフレーム１は４２アロイや銅等のよ
うな導電性の材料が用いられて、打ち抜きプレス加工法
やエッチング加工法等のような適当な手段により一体成
形されている。このリードフレーム１は、前工程である
ペレットボンディング工程においてペレット５がボンデ
ィングされたタブ２と、タブ２を吊持しているタブ吊り
リード３と、タブ２を取り囲むように放射状に配設され
ている複数本のリード４とを備えている。The lead frame 1 is made of a conductive material such as 42 alloy or copper and is integrally formed by an appropriate means such as a punching press working method or an etching working method. This lead frame 1 is provided with tabs 2 to which the pellets 5 are bonded in the pellet bonding step, which is the previous step, tab suspension leads 3 suspending the tabs 2, and radially arranged so as to surround the tabs 2. And a plurality of leads 4 that are provided.

【００２０】このリードフレーム１におけるタブ２はそ
のタブ吊りリード３を屈曲されることにより、下方に下
げられており、このタブ下げによってタブ２上に搭載さ
れたペレット５の上面とリード４のインナ部上面との段
差が解消ないし減少されるようになっている。The tab 2 in the lead frame 1 is lowered by bending the tab suspension lead 3, and the upper surface of the pellet 5 mounted on the tab 2 and the inner portion of the lead 4 are lowered by the tab lowering. The step with the upper surface of the part is eliminated or reduced.

【００２１】一方、本実施例に係るワイヤボンディング
装置１０は下側の保持ブロックとしてのヒートブロック
１１を備えており、このヒートブロック１１の真上にお
いてリードフレーム１が一方向にピッチ送りされるよう
に構成されている。ヒートブロック１１にはヒータ１２
が挿入されており、このヒータ１２はヒートブロック１
１の温度調節が可能なように構成されている。On the other hand, the wire bonding apparatus 10 according to the present embodiment is provided with a heat block 11 as a lower holding block, and the lead frame 1 is pitch fed in one direction just above the heat block 11. Is configured. The heater 12 is provided in the heat block 11.
Is inserted, and this heater 12 is a heat block 1
The temperature control of No. 1 is possible.

【００２２】本実施例において、ヒートブロック１１の
上面の一端部寄りには、凹部１１ａが形成されており、
その凹部１１ａには下側押さえ部材保持台１４が嵌入さ
れてボルト１３によって固定されている。下側押さえ部
材保持台１４の中央部には保持穴としての円孔１５が開
設されており、この円孔１５には下側押さえ部材１６が
嵌め込まれて、後述するように着脱自在に固定されてい
る。In this embodiment, a recess 11a is formed near the one end of the upper surface of the heat block 11,
A lower pressing member holding base 14 is fitted into the recess 11a and fixed by a bolt 13. A circular hole 15 as a holding hole is formed in the center of the lower pressing member holding base 14, and a lower pressing member 16 is fitted into this circular hole 15 and is detachably fixed as described later. ing.

【００２３】この下側押さえ部材１６は耐摩耗性を有す
る材料が用られて、略円柱形状に形成されている。下側
押さえ部材１６の上面には凹部１７が略中央部に配され
て、リードフレーム１のタブ２を収容し得る大きさの略
正方形状に没設されている。下側押さえ部材１６の凹部
１７には、一対の長溝１８が、その一対の対辺における
中央部にそれぞれ配されて、リードフレーム１のタブ吊
りリード３を収容し得る大きさの略長方形状に没設され
ている。The lower pressing member 16 is made of a material having wear resistance and is formed in a substantially columnar shape. A concave portion 17 is arranged on the upper surface of the lower pressing member 16 in a substantially central portion and is recessed into a substantially square shape having a size capable of accommodating the tab 2 of the lead frame 1. In the recess 17 of the lower pressing member 16, a pair of long grooves 18 are arranged in the central portions of the pair of opposite sides, respectively, and are recessed into a substantially rectangular shape having a size capable of accommodating the tab suspension lead 3 of the lead frame 1. It is set up.

【００２４】下側押さえ部材１６の凹部１７および長溝
１８はリードフレーム１の形状や寸法に応じて変更する
必要がある。したがって、下側押さえ部材としては、リ
ードフレームの各品種に対応した形状や寸法の凹部１６
および長溝１７がそれぞれ形成されている規格のもの
が、複数種類、予め用意されており、生産品種に応じて
変更されることになる。The recess 17 and the long groove 18 of the lower pressing member 16 need to be changed according to the shape and size of the lead frame 1. Therefore, as the lower pressing member, the recess 16 having a shape and size corresponding to each type of lead frame is used.
A plurality of types of standards in which the long groove 17 and the long groove 17 are formed are prepared in advance, and are changed according to the product type.

【００２５】下側押さえ部材１６の円柱形状部材の側面
には、焼き付き防止のための焼付防止逃げ部１９が一部
切欠された形状に形成されている。この焼付防止逃げ部
１９は円弧形状に形成された１個の円弧側面１９ａと、
３個の焼き付き防止用の平坦面１９ｂとによって構成さ
れている。円弧側面１９ａの中央部は上下方向の全長に
わたって切欠されており、この円弧側面１９ａには取付
方向位置決め用の凹部２０が設けられている。A seizure prevention relief portion 19 for preventing seizure is formed on a side surface of the cylindrical member of the lower pressing member 16 in a partially cutout shape. The seizure prevention relief portion 19 has one arc side surface 19a formed in an arc shape,
It is composed of three flat surfaces 19b for preventing seizure. The central portion of the arc side surface 19a is cut out over the entire length in the vertical direction, and the arc side surface 19a is provided with a recess 20 for positioning in the mounting direction.

【００２６】下側押さえ部材１６の凹部１７の底面に
は、この下側押さえ部材を保持台１４の円孔１５に着脱
するためのねじ穴２１が開設されている。例えば、下側
押さえ部材１６が下側押さえ部材保持台１４の円孔１５
から取り出されるに際しては、下側押さえ部材吊り治具
２２が使用され、その先端に設けられている雄ねじ部２
３が２山程度、下側押さえ部材１６の上面の凹部１７底
面の中央部に設けられているねじ穴２１にねじ込まれた
後、下側押さえ部材１６が吊持される。The bottom surface of the recess 17 of the lower pressing member 16 is provided with a screw hole 21 for attaching / detaching the lower pressing member to / from the circular hole 15 of the holding base 14. For example, the lower pressing member 16 is the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14.
The lower holding member hanging jig 22 is used to take it out from the male screw portion 2 provided at the tip thereof.
About 3 ridges 3 are screwed into the screw holes 21 provided in the center of the bottom surface of the recess 17 on the upper surface of the lower pressing member 16, and then the lower pressing member 16 is suspended.

【００２７】一方、下側押さえ部材保持台１４の中央部
に開設された保持穴としての円孔１５には、ピン孔が下
側押さえ部材保持台１４の側面から円孔１５まで横方向
に貫通されて開設されており、このピン孔には位置決め
ピン２４が圧入されて、位置決めピン２４の先端が円孔
１５内に突出されている。On the other hand, in the circular hole 15 as a holding hole formed in the central portion of the lower pressing member holding base 14, a pin hole extends laterally from the side surface of the lower pressing member holding base 14 to the circular hole 15. The positioning pin 24 is press-fitted into the pin hole, and the tip of the positioning pin 24 projects into the circular hole 15.

【００２８】そして、下側押さえ部材保持台１４の円孔
１５と、下側押さえ部材１６の円弧側面１９ａとはゆる
い嵌め合い状態になるように構成されている。したがっ
て、下側押さえ部材１６は下側押さえ部材１６の凹部２
０が下側押さえ部材保持台１４の円孔１５内に突出され
ている位置決めピン２４の先端部に係合されて位置決め
され、下側押さえ部材保持台１４の円孔１５にゆるい嵌
め合い状態で挿入されることになる。The circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 and the circular arc side surface 19a of the lower pressing member 16 are loosely fitted together. Therefore, the lower pressing member 16 is formed in the recess 2 of the lower pressing member 16.
0 is engaged with the tip of the positioning pin 24 protruding into the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 to be positioned, and is loosely fitted into the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14. Will be inserted.

【００２９】本実施例において、下側押さえ部材保持台
１４の円孔１５と下側保持部材１６との間には、下側押
さえ部材１６を円孔１５に吸着保持するための吸着保持
手段としての真空吸着保持装置２５が介設されている。
すなわち、下側押さえ部材保持台１４の円孔１５内に挿
入された下側押さえ部材１６は、真空吸着保持装置２５
により真空吸着されて下側押さえ部材保持台１４の円孔
１５に着脱自在に固定されるようになっている。以下、
真空吸着保持装置２５について説明する。In this embodiment, a suction holding means for sucking and holding the lower pressing member 16 in the circular hole 15 is provided between the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 and the lower holding member 16. The vacuum suction holding device 25 is installed.
That is, the lower pressing member 16 inserted into the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 is the vacuum suction holding device 25.
Is vacuum-adsorbed and is detachably fixed to the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14. Less than,
The vacuum suction holding device 25 will be described.

【００３０】ヒートブロック１１の内部には真空導入路
２６が形成されており、その一端は円孔１５内に臨んで
円孔１５の底面に連通しており、他端はヒートブロック
１１の側面に開口されている。ヒートブロック１１の側
面に形成されている真空導入路２６の開口部には真空配
管２７が接続されており、この配管２７を介して真空源
２８が接続されている。A vacuum introduction path 26 is formed inside the heat block 11, one end of which faces the inside of the circular hole 15 and communicates with the bottom surface of the circular hole 15, and the other end of which is on the side surface of the heat block 11. It is open. A vacuum pipe 27 is connected to the opening of the vacuum introduction path 26 formed on the side surface of the heat block 11, and a vacuum source 28 is connected through the pipe 27.

【００３１】また、下側押さえ部材１６の下面の中央部
には真空溜まり２９が没設されて形成されている。この
真空溜まり２９よりも下側押さえ部材保持台１４に形成
されている真空導入路２６は小径に形成されている。A vacuum reservoir 29 is formed so as to be submerged in the central portion of the lower surface of the lower pressing member 16. The vacuum introducing passage 26 formed in the pressing member holding base 14 below the vacuum reservoir 29 is formed to have a small diameter.

【００３２】したがって、下側押さえ部材保持台１４の
円孔１５内に嵌入された下側押さえ部材１６は、真空源
２８から真空導入路２６に負圧が導入されることによっ
て、下側押さえ部材１６の下面の真空溜まり２９が真空
になるため、下側押さえ部材保持台１４の保持穴１５内
に真空吸着保持されることになる。Therefore, the lower pressing member 16 fitted in the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 is introduced into the vacuum introducing passage 26 by the negative pressure from the vacuum source 28, whereby the lower pressing member 16 is pressed. Since the vacuum reservoir 29 on the lower surface of 16 is evacuated, it is vacuum-sucked and held in the holding hole 15 of the lower pressing member holding base 14.

【００３３】ここで、前記のように構成されている下側
押さえ部材の取替作業について説明する。Now, the replacement work of the lower pressing member having the above-mentioned structure will be described.

【００３４】本実施例において、下側押さえ部材保持台
１４はヒートブロック１１の凹部１１ａにその取付位置
を調整されてボルト１３によって、予め固定された状態
になっている。In the present embodiment, the lower holding member holding base 14 is adjusted in its mounting position in the recess 11a of the heat block 11 and is fixed in advance by the bolt 13.

【００３５】そして、リードフレーム１の品種に対応し
て選択された下側押さえ部材１６が、この下側押さえ部
材保持台１４の円孔１５内に、下側押さえ部材吊り治具
２２が使用されて挿入される。The lower pressing member 16 selected according to the type of the lead frame 1 is used in the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 by the lower pressing member hanging jig 22. Is inserted.

【００３６】この際、下側押さえ部材１６の円弧側面１
９ａに形成されている凹部２０が下側押さえ部材保持台
１４の円孔１５内に突出されている位置決めピン２４の
先端部に係合されて位置決めされ、下側押さえ部材保持
台１４の円孔１５にゆるい嵌め合い状態で挿入される。At this time, the circular arc side surface 1 of the lower pressing member 16
The concave portion 20 formed in 9a is engaged with the tip of the positioning pin 24 protruding into the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 to be positioned, and the circular hole of the lower pressing member holding base 14 is formed. It is inserted into 15 in a loosely fitted state.

【００３７】次に、真空源２８の負圧が真空導入路２６
に供給されると、真空導入路２６および真空溜まり２９
を介して下側押さえ部材１６は下側押さえ部材保持台１
４の保持穴１５内に真空吸着されて所定位置に固定され
る。Next, the negative pressure of the vacuum source 28 is changed to the vacuum introduction path 26.
Is supplied to the vacuum inlet passage 26 and the vacuum reservoir 29.
The lower pressing member 16 is connected via the lower pressing member holding base 1
It is vacuum-adsorbed in the holding hole 15 of No. 4 and fixed at a predetermined position.

【００３８】以上のようにして、下側押さえ部材１６は
位置決めピン２４と凹部２０との係合状態、および、下
側押さえ部材１６の側面と下側押さえ部材保持台１４の
円孔１５の内周面とのゆるい嵌め合い状態によって、所
定位置に容易に位置決めされるとともに、真空源２８に
よって真空吸着保持されて所定位置に着脱自在に固定さ
れる。As described above, the lower pressing member 16 is engaged with the positioning pin 24 and the recess 20, and the side surface of the lower pressing member 16 and the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14 are arranged. Due to the loose fitting state with the peripheral surface, it is easily positioned at a predetermined position, and is vacuum sucked and held by the vacuum source 28 so as to be detachably fixed at the predetermined position.

【００３９】逆に、下側押さえ部材１６が下側押さえ部
材保持台１４の円孔１５から抜き出されるに際しては、
真空導入路２６への負圧の供給が停止される。これによ
って、下側押さえ部材１６に対する真空吸着保持装置２
５による真空吸着保持状態が解除される。On the contrary, when the lower pressing member 16 is pulled out from the circular hole 15 of the lower pressing member holding base 14,
The supply of the negative pressure to the vacuum introduction path 26 is stopped. As a result, the vacuum suction holding device 2 for the lower pressing member 16
The vacuum suction holding state by 5 is released.

【００４０】次いで、下側押さえ部材吊り治具２２が下
側押さえ部材１６のねじ穴２１に螺入されて装着され、
吊り治具２２が持ち上げられることによって下側押さえ
部材１６が円孔１５から抜き出される。この際、真空吸
着保持状態が解除されているため、下側押さえ部材１６
は円孔１５から吊り治具２２によって簡単に抜き出させ
ることができる。Next, the lower holding member suspension jig 22 is screwed into the screw hole 21 of the lower holding member 16 and mounted.
The lower holding member 16 is pulled out from the circular hole 15 by lifting the hanging jig 22. At this time, since the vacuum suction holding state is released, the lower holding member 16
Can be easily pulled out from the circular hole 15 by the hanging jig 22.

【００４１】その後、所望の下側押さえ部材１６が円孔
１５に嵌入されて、位置決め保持されることになるが、
その作業は前述した通りである。After that, the desired lower pressing member 16 is fitted into the circular hole 15 and positioned and held.
The work is as described above.

【００４２】ところで、下側押さえ部材が保持ブロック
としてのヒートブロックにねじ止めされている従来例に
おいては、リードフレームの品種交換に際して、交換前
の下側押さえ部材がボルトを外されて取り除かれた後、
新規の下側押さえ部材がセットされてボルトによって締
結されることになる。By the way, in the conventional example in which the lower pressing member is screwed to the heat block as the holding block, the bolts are removed from the lower pressing member before replacement when the lead frame type is replaced. rear,
A new lower pressing member is set and fastened with bolts.

【００４３】この作業は、通常、ヒートブロックが加熱
されている状態で行うことが多く危険を伴う。また、ボ
ルト止めする際に、下側押さえ部材の取付位置の微調整
を行う必要がある。この取付位置が精度良く行われない
場合には、既にボンディング装置本体内に登録されてい
るボンディング座標位置を修正する必要が生じる。さら
には、リードフレームのタブおよびタブ吊りリードが、
下側押さえ部材の上面に形成されている凹部と位置ずれ
を生じ、ボンディングできない事態を生じる場合があ
る。また、ボルトを複雑な構造を有しているボンディン
グ装置本体内の機構中に落下させてしまうことがある等
の不都合がある。This work is usually performed while the heat block is heated, and is dangerous. Further, when bolting, it is necessary to finely adjust the mounting position of the lower pressing member. If this mounting position is not accurately performed, it is necessary to correct the bonding coordinate position already registered in the bonding apparatus body. Furthermore, the tab of the lead frame and the tab suspension lead are
There may be a case where a position cannot be bonded to the concave portion formed on the upper surface of the lower pressing member, resulting in a situation where bonding cannot be performed. Further, there is a disadvantage that the bolt may be dropped into a mechanism inside the bonding apparatus body having a complicated structure.

【００４４】しかし、本実施例においては、下側押さえ
部材保持台１４が保持ブロックとしてのヒートブロック
１１にボルト１３を使用されて一旦取り付けられた後
は、リードフレーム１の品種交換時には、下側押さえ部
材１６を下側押さえ部材保持台１４に前記した通りの簡
単な作業によって取り付ければ済む。したがって、ねじ
止め作業が省略されるため、従来例のような弊害は防止
されることになる。However, in the present embodiment, after the lower pressing member holding base 14 is once attached to the heat block 11 as a holding block by using the bolts 13, the lower side of the lead frame 1 is replaced when the lead frame 1 is replaced. It suffices to attach the pressing member 16 to the lower pressing member holding base 14 by the simple operation as described above. Therefore, since the screwing work is omitted, the adverse effects of the conventional example can be prevented.

【００４５】次に、リードフレーム１を上側から押さえ
付ける上側押さえ部材について説明する。Next, the upper pressing member for pressing the lead frame 1 from above will be described.

【００４６】上側押さえ部材４０は矩形の板形状に形成
されている。上側押さえ部材４０における長手方向の一
端部寄りには、ボンディングツールを挿通して移動する
ための角窓４１が開設されている。上側押さえ部材４０
はこの角窓４１の開口縁辺に形成されたリードフレーム
上側押さえ面４４と、前記下側押さえ部材１６の上面と
によって、リードフレーム１を挟持するように構成され
ている。したがって、上側押さえ部材４０の角窓４１の
位置や形状、大きさはリードフレーム１の形状や寸法に
応じて変更する必要がある。そこで、上側押さえ部材４
０としては、リードフレームの各品種に対応した形状や
位置、寸法の角窓４１がそれぞれ形成されている規格の
ものが複数種類、予め用意されており、生産品種に応じ
て変更されることになる。The upper pressing member 40 is formed in a rectangular plate shape. A square window 41 for inserting and moving a bonding tool is provided near one end in the longitudinal direction of the upper holding member 40. Upper pressing member 40
The lead frame 1 is sandwiched by the lead frame upper pressing surface 44 formed on the opening edge of the square window 41 and the upper surface of the lower pressing member 16. Therefore, the position, shape, and size of the square window 41 of the upper holding member 40 need to be changed according to the shape and size of the lead frame 1. Therefore, the upper pressing member 4
As for 0, a plurality of types of standards in which the rectangular window 41 having the shape, position, and size corresponding to each type of lead frame are formed are prepared in advance, and are changed according to the production type. Become.

【００４７】本実施例において、上側押さえ部材４０の
幅方向の両側面（以下、左右とする。）には、上側から
下側に向かって外側に傾斜している左右一対の傾斜面４
２、４３が、一定幅に全長にわたってそれぞれ形成され
ている。In this embodiment, the pair of left and right inclined surfaces 4 inclined outward from the upper side to the lower side are formed on both side surfaces (hereinafter, left and right) in the width direction of the upper pressing member 40.
2, 43 are formed with a constant width over the entire length.

【００４８】他方、ヒートブロック１１の片脇（以下、
前脇とする。）には上側の保持ブロックとしての上側押
さえ部材保持台５０が、前記下側押さえ部材１６が保持
された位置に対応する位置に配されて、ヒートブロック
１１に対して上下動し得るように設備されている。On the other hand, one side of the heat block 11 (hereinafter,
The front side. ), An upper holding member holding base 50 as an upper holding block is arranged at a position corresponding to the position where the lower holding member 16 is held, and is installed so that it can move up and down with respect to the heat block 11. Has been done.

【００４９】この上側押さえ部材保持台５０の上面に
は、上側押さえ部材４０の前端部を保持するための保持
面５１が平坦面に形成されており、その上側押さえ部材
保持面５１には上側押さえ部材４０の挿入方向における
前端部に位置決めピン５２が上方に突出した状態で固定
されている。A holding surface 51 for holding the front end of the upper pressing member 40 is formed on the upper surface of the upper pressing member holding base 50 as a flat surface. A positioning pin 52 is fixed to a front end portion of the member 40 in the insertion direction in a state of protruding upward.

【００５０】また、上側押さえ部材保持台５０において
上側押さえ部材４０の挿入方向と直角方向における一端
部（以下、左端部とする。）には、固定ピース５３が固
定されており、この固定ピース５３には左側傾斜面５４
が、上側押さえ部材保持台５０上に前端部が載置された
上側押さえ部材４０の左側傾斜面４２に相対するように
下向き傾斜に形成されている。A fixing piece 53 is fixed to one end portion (hereinafter, left end portion) of the upper holding member holding base 50 in a direction perpendicular to the inserting direction of the upper holding member 40. On the left slope 54
However, it is formed to be inclined downward so as to face the left side inclined surface 42 of the upper pressing member 40 having the front end portion mounted on the upper pressing member holding base 50.

【００５１】また、上側押さえ部材保持台５０における
固定ピース５３側と反対側の右端面には切欠部５５が形
成されている。この切欠部５５には押圧部材としての押
圧レバー５７の右端部が挿入されており、上側押さえ部
材保持台５０と押圧レバー５７を貫通して設けられた支
軸５６によって、押圧レバー５７は上側押さえ部材４０
の挿入方向と直角方向における垂直面内において回動し
得るように支持されている。Further, a cutout portion 55 is formed on the right end surface of the upper holding member holding base 50 opposite to the fixed piece 53 side. A right end portion of a pressing lever 57 as a pressing member is inserted into the notch portion 55, and the pressing lever 57 is pressed upward by a support shaft 56 penetrating the upper pressing member holding base 50 and the pressing lever 57. Member 40
Is supported so as to be rotatable in a vertical plane perpendicular to the insertion direction of.

【００５２】この押圧レバー５７は支軸５６に支持され
た右端部から斜め上方に延びる傾斜部５８と、その傾斜
部５８から上側押さえ部材保持台５０の上方を固定ピー
ス５３を越えた位置まで延びている直線部６０とから形
成されている。傾斜部５８には下向きの右側傾斜面５９
が内側に形成されており、この傾斜面５９は上側押さえ
部材保持台５０上に前端部が載置された上側押さえ部材
４０の右側の傾斜面４３に相対するように形成されてい
る。The pressing lever 57 extends obliquely upward from the right end supported by the support shaft 56, and extends from the inclined portion 58 above the upper pressing member holding base 50 to a position beyond the fixed piece 53. And a straight portion 60 that is formed. The inclined portion 58 has a downward rightward inclined surface 59.
Is formed inside, and the inclined surface 59 is formed so as to face the inclined surface 43 on the right side of the upper pressing member 40 having the front end portion mounted on the upper pressing member holding base 50.

【００５３】押圧レバー５７の直線部６０の左脇には電
磁石６３が自在継手６１を介して吊り下げられており、
電磁石６３は上側押さえ部材保持台５０に突設されたブ
ラケット６２に対向されている。そして、電磁石６３に
は電源６４およびスイッチ６５が接続されている。これ
らブラケット６２、電磁石６３、自在継手６１、電源６
４およびスイッチ６５等によって、保持力付勢装置６６
が実質的に構成されるようになっている。On the left side of the straight portion 60 of the pressing lever 57, an electromagnet 63 is suspended via a universal joint 61,
The electromagnet 63 is opposed to the bracket 62 protruding from the upper holding member holding base 50. A power source 64 and a switch 65 are connected to the electromagnet 63. These bracket 62, electromagnet 63, universal joint 61, power supply 6
4 and the switch 65, etc., the holding force urging device 66.
Is substantially configured.

【００５４】ここで、前記のように構成されている上側
押さえ部材の取替作業について説明する。Here, the replacement work of the upper pressing member having the above-mentioned structure will be described.

【００５５】まず、押圧レバー５７が持ち上げられた状
態で、上側押さえ部材４０が後側から上側押さえ部材保
持台５０の保持面５１上に位置決めピン５２に当接する
まで挿入される。First, with the pressing lever 57 lifted, the upper pressing member 40 is inserted from the rear side onto the holding surface 51 of the upper pressing member holding base 50 until it comes into contact with the positioning pin 52.

【００５６】続いて、押圧レバー５７が下げられて上側
押さえ部材４０上に載せられた後、電磁石６３の電源６
４のスイッチ６５がＯＮされると、電磁石６３は励磁さ
れることにより、ブラケット６２に吸着される。Subsequently, the pressing lever 57 is lowered and placed on the upper pressing member 40, and then the power source 6 of the electromagnet 63 is released.
When the switch 65 of No. 4 is turned on, the electromagnet 63 is excited and attracted to the bracket 62.

【００５７】これにより、押圧レバー５７における傾斜
部５８の右側傾斜面５９が上側押さえ部材４０の相対す
る右側傾斜面４３を押圧する。上側押さえ部材４０の右
側傾斜面４３に加えられた力は水平分力および垂直分力
を発生する。一方の水平分力は固定ピース５３の方向へ
加わるため、上側押さえ部材４０における左側の傾斜面
４２が固定ピース５３の左側傾斜面５４に押し付けられ
る。他方の垂直分力は上側押さえ部材保持台５０の上面
の方向へ加わるため、上側押さえ部材４０が上側押さえ
部材保持台５０の保持面５１上に押し付けられる。As a result, the right inclined surface 59 of the inclined portion 58 of the pressing lever 57 presses the opposite right inclined surface 43 of the upper pressing member 40. The force applied to the right inclined surface 43 of the upper pressing member 40 generates a horizontal component force and a vertical component force. Since one horizontal component force is applied toward the fixed piece 53, the left inclined surface 42 of the upper pressing member 40 is pressed against the left inclined surface 54 of the fixed piece 53. The other vertical component force is applied in the direction of the upper surface of the upper holding member holding base 50, so that the upper holding member 40 is pressed onto the holding surface 51 of the upper holding member holding base 50.

【００５８】以上のようにして、上側押さえ部材４０は
固定ピース５３の左側傾斜面５４および位置決めピン５
２を基準として、常に同一位置に固定されることにな
る。As described above, the upper holding member 40 is provided with the left inclined surface 54 of the fixed piece 53 and the positioning pin 5.
With reference to 2, it will always be fixed in the same position.

【００５９】逆に、上側押さえ部材４０が保持台５０か
ら取り外されるに際しては、電磁石６３に対する通電が
停止される。これによって、押圧レバー５７に対する保
持力が解除される。On the contrary, when the upper pressing member 40 is removed from the holding table 50, the energization of the electromagnet 63 is stopped. As a result, the holding force for the pressing lever 57 is released.

【００６０】次いで、押圧レバー５７が持ち上げられる
とともに、上側押さえ部材４０が後方に抜き出される。
この際、保持力が解除されているため、上側押さえ部材
４０は押圧レバー５７と保持面５１との間から簡単に抜
き出すことができる。Then, the pressing lever 57 is lifted and the upper pressing member 40 is pulled out rearward.
At this time, since the holding force is released, the upper pressing member 40 can be easily pulled out from between the pressing lever 57 and the holding surface 51.

【００６１】その後、所望の上側押さえ部材４０が押圧
レバー５７と上側押さえ部材保持台５０における保持面
５１との間に挿入されて位置決め保持されることになる
が、その作業は前述した通りである。After that, the desired upper holding member 40 is inserted between the pressing lever 57 and the holding surface 51 of the upper holding member holding base 50 to be positioned and held. The work is as described above. .

【００６２】ところで、上側押さえ部材が上側ブロック
としての保持台にねじ止めされている従来例において
は、リードフレームの品種交換に際して、交換前の上側
押さえ部材がボルトを外されて取り除かれた後、新規の
上側押さえ部材がセットされてボルトによって締結され
ることになる。By the way, in the conventional example in which the upper pressing member is screwed to the holding base as the upper block, when the lead frame type is replaced, the upper pressing member before replacement is removed by removing the bolts, and A new upper pressing member is set and fastened with bolts.

【００６３】この作業は、通常、ヒートブロックが加熱
されている状態で行うことが多く危険を伴う。また、ボ
ルト止めする際に、上側押さえ部材の取付位置の微調整
を行う必要がある。この取付位置が精度良く行われない
場合には、既にボンディング装置本体内に登録されてい
るボンディング座標位置を修正する必要が生じる。ま
た、ボルトを複雑な構造を有しているボンディング装置
本体内の機構中に落下させてしまうことがある等の不都
合がある。This work is usually dangerous while the heat block is heated. In addition, it is necessary to finely adjust the mounting position of the upper pressing member when bolting. If this mounting position is not accurately performed, it is necessary to correct the bonding coordinate position already registered in the bonding apparatus body. Further, there is a disadvantage that the bolt may be dropped into a mechanism inside the bonding apparatus body having a complicated structure.

【００６４】しかし、本実施例においては、リードフレ
ーム１の品種交換時には上側押さえ部材４０を上側押さ
え部材保持台５０に前記した通りの簡単な作業によって
取り付けることができる。したがって、ねじ止め作業が
省略されるため、従来例のような弊害は防止されること
になる。However, in the present embodiment, when exchanging the type of the lead frame 1, the upper pressing member 40 can be attached to the upper pressing member holding base 50 by the simple operation as described above. Therefore, since the screwing work is omitted, the adverse effects of the conventional example can be prevented.

【００６５】次に、ワイヤボンディング装置におけるボ
ンディング作業実行部の構成について、簡単に説明す
る。Next, the structure of the bonding work execution unit in the wire bonding apparatus will be briefly described.

【００６６】ヒートブロック１１の後方にはＸＹテーブ
ル３１が、下側押さえ部材１６および上側押さえ部材４
０に対向する位置に配されて設備されており、このＸＹ
テーブル３１上にはボンディングヘッド３２がＸＹ方向
に移動されるように搭載されている。ボンディングヘッ
ド３２にはボンディングアーム３３およびワイヤクラン
パ３４が上下動し得るように支持されている。ボンディ
ングアーム３３の先端部にはボンディングツールとして
のキャピラリ３５が略垂直方向に配されて、かつ、超音
波振動を付勢されるように支持されている。An XY table 31 is provided at the rear of the heat block 11, and the lower holding member 16 and the upper holding member 4 are provided.
It is located and installed at a position facing 0.
A bonding head 32 is mounted on the table 31 so as to move in the XY directions. A bonding arm 33 and a wire clamper 34 are supported on the bonding head 32 so as to be vertically movable. At the tip of the bonding arm 33, a capillary 35 as a bonding tool is arranged in a substantially vertical direction and is supported so as to apply ultrasonic vibration.

【００６７】キャピラリ３５には金等からなるボンディ
ングワイヤ３６が繰り出し可能に挿通されており、この
ワイヤ３６はキャピラリ３５によりペレット５およびリ
ード４のインナ部上に押し付けられるようになってい
る。また、キャピラリ３５の近傍にはトーチ電極３７が
配設されており、トーチ電極３７はワイヤ３６の先端と
の間で放電することにより、ワイヤ３６の先端にボール
を形成し得るように構成されている。A bonding wire 36 made of gold or the like is inserted into the capillary 35 so as to be able to be drawn out, and the wire 36 is pressed by the capillary 35 onto the inner portion of the pellet 5 and the lead 4. Further, a torch electrode 37 is arranged near the capillary 35, and the torch electrode 37 is configured to be able to form a ball at the tip of the wire 36 by discharging between the torch electrode 37 and the tip of the wire 36. There is.

【００６８】次に、ワイヤボンディング作業について、
下側押さえ部材と上側押さえ部材とによるリードフレー
ムの挟持作用を主体にして説明する。Next, regarding the wire bonding work,
The holding action of the lead frame by the lower holding member and the upper holding member will be mainly described.

【００６９】所望のリードフレームに対してワイヤボン
ディング作業が実施されるに際して、前述した取替作業
によって、予め、所望のリードフレームに対応する規格
の下側押さえ部材１６および上側押さえ部材４０がヒー
トブロック１１および保持台５０にそれぞれ装着され
る。When the wire bonding work is performed on the desired lead frame, the standard lower holding member 16 and the upper holding member 40 corresponding to the desired lead frame are previously heat-blocked by the replacement work described above. 11 and the holding table 50, respectively.

【００７０】前工程であるペレットボンディング工程に
おいて、タブ２上にペレット５がボンディングされたリ
ードフレーム１は、一対のガイドレール３８、３８に摺
動自在に支持された状態で、ヒートブロック１１に対し
てピッチ送りされ、ヒートブロック１１に取り付けられ
た下側押さえ部材１６の真上に供給される。このとき、
若干下げられたタブ２は下側押さえ部材１６に没設され
た凹部１７内に、屈曲されたタブ吊りリード３は長溝１
８にそれぞれ対向される。In the pellet bonding step which is the previous step, the lead frame 1 having the pellets 5 bonded on the tabs 2 is slidably supported by the pair of guide rails 38, 38 with respect to the heat block 11. And is fed to the heat block 11 directly above the lower pressing member 16 attached to the heat block 11. At this time,
The slightly lowered tab 2 is in the recess 17 that is recessed in the lower pressing member 16, and the bent tab suspension lead 3 is the long groove 1.
8 are opposed to each other.

【００７１】続いて、ヒートブロック１１が上昇される
と、タブ２は下側押さえ部材１６の凹部１７内に、タブ
吊りリード３は長溝１８内にそれぞれ収容される。ま
た、ヒートブロック１１が上昇されると、上側押さえ部
材４０が相対的に下降されるため、リードフレーム１は
上側押さえ部材４０の押さえ面４４と下側押さえ部材１
６との間で挟まれる。つまり、リードフレーム１は上側
押さえ部材４０と下側押さえ部材１６とによって挟持さ
れた状態になる。Then, when the heat block 11 is raised, the tab 2 is housed in the recess 17 of the lower pressing member 16, and the tab suspension lead 3 is housed in the long groove 18. Further, when the heat block 11 is raised, the upper holding member 40 is relatively lowered, so that the lead frame 1 has the holding surface 44 of the upper holding member 40 and the lower holding member 1.
It is sandwiched between 6 and. That is, the lead frame 1 is held between the upper pressing member 40 and the lower pressing member 16.

【００７２】この際、上側押さえ部材４０が固定的に保
持されている保持台５０はクランプスプリング５０ａに
よって下方へ常時付勢されているため、リードフレーム
１はこのスプリング５０ａの付勢力によって下側押さえ
部材１６に押さえ付けられることになる。At this time, since the holding table 50 on which the upper pressing member 40 is fixedly held is constantly urged downward by the clamp spring 50a, the lead frame 1 is pressed downward by the urging force of the spring 50a. It will be pressed down on the member 16.

【００７３】その後、ボンディングヘッド３２がＸＹテ
ーブル３１によってＸＹ方向に移動され、かつ、ボンデ
ィングアーム３３が昇降されることによって、キャピラ
リ３５がワイヤ３６の両端部をペレット５の電極パッド
とリードフレーム１のリード４のインナ部とにボンディ
ングをそれぞれ行って、ペレット５とリード４との間に
架橋して両者を電気的に接続させる。Thereafter, the bonding head 32 is moved in the XY directions by the XY table 31, and the bonding arm 33 is moved up and down, so that the capillaries 35 connect the both ends of the wire 36 to the electrode pad of the pellet 5 and the lead frame 1. Bonding is performed to the inner portion of the lead 4 to bridge between the pellet 5 and the lead 4 to electrically connect them.

【００７４】このワイヤボンディング時に、ペレット５
とリードフレーム１とはヒートブロック１１によって加
熱されているため、キャピラリ３５による超音波振動エ
ネルギの付勢とあいまって、ボンディングワイヤ３６の
ペレット５およびリード４のインナ部に対するボンディ
ングは有効かつ適正に実施されることになる。At the time of this wire bonding, the pellet 5
Since the lead frame 1 and the lead frame 1 are heated by the heat block 11, the bonding of the bonding wire 36 to the pellet 5 and the inner portion of the lead 4 is effectively and properly performed together with the ultrasonic vibration energy applied by the capillary 35. Will be done.

【００７５】リード４に対するボンディング終了後、ワ
イヤクランパ３４は閉じ、ボンディングアーム３３とと
もに上昇する。この際、ワイヤ３６の先端はキャピラリ
３５より一定量突き出しており、トーチ電極３７とワイ
ヤ３６の先端との間で放電されてボールが形成される。After the bonding of the leads 4 is completed, the wire clamper 34 is closed and the bonding arm 33 rises. At this time, the tip of the wire 36 protrudes from the capillary 35 by a certain amount, and a ball is formed by being discharged between the torch electrode 37 and the tip of the wire 36.

【００７６】この架橋動作が所定数終了した後、ヒート
ブロック１１が下降し、リードフレーム１はガイドレー
ル３８、３８上を１ピッチ送られる。以降、前記作動が
繰り返されることにより、各リードフレーム１ついてワ
イヤボンディング作業が順次実施されて行く。After a predetermined number of this bridging operation is completed, the heat block 11 descends, and the lead frame 1 is fed on the guide rails 38, 38 by one pitch. Thereafter, by repeating the above operation, the wire bonding work is sequentially performed for each lead frame 1.

【００７７】前記実施例によれば次の効果が得られる。 保持力付勢装置によって押圧部材に保持力を付勢す
ることにより、上側押さえ部材を保持ブロックの保持面
および固定ピースに押接して上側押さえ部材を保持ブロ
ックに固定することができ、逆に、当該固定は保持力付
勢装置の付勢を解除することにより、解除することがで
きるため、上側押さえ部材を保持ブロックにねじ止めす
るのに比べて、上側押さえ部材の保持ブロックに対する
着脱作業が簡単になり、品種交換時における上側押さえ
部材の交換に要する段取り時間を大幅に低減させること
ができる。According to the above embodiment, the following effects can be obtained. By biasing the holding force to the pressing member by the holding force biasing device, the upper pressing member can be pressed against the holding surface of the holding block and the fixed piece to fix the upper pressing member to the holding block, and conversely, Since the fixing can be released by releasing the urging force of the holding force urging device, the work of attaching and detaching the upper holding member to the holding block is easier than screwing the upper holding member to the holding block. As a result, the setup time required for replacing the upper pressing member during product type replacement can be significantly reduced.

【００７８】 前記によって、上側押さえ部材の交
換作業においてねじ締め操作を省略することができるた
め、作業者がヒートブロックに接触して火傷を負う事故
が発生するのを防止することができ、また、ねじ止め作
業に使用されるボルトを複雑な機構のワイヤボンディン
グ装置内に落下させてしまう等のミスを防止することが
できる。As described above, since the screw tightening operation can be omitted in the replacement work of the upper pressing member, it is possible to prevent the operator from being injured by being in contact with the heat block and being injured. It is possible to prevent mistakes such as dropping a bolt used for screwing work into a wire bonding apparatus having a complicated mechanism.

【００７９】 上側押さえ部材を保持ブロックの保持
面および固定ピースに押接して固定することにより、機
械部品加工精度の範囲内で、上側押さえ部品を繰り返し
精度よく位置決めすることができるため、上側押さえ部
材の取り付け後における微調整作業を省略ないしは簡略
することができる。By pressing and fixing the upper pressing member to the holding surface of the holding block and the fixing piece, the upper pressing member can be repeatedly positioned with high accuracy within the range of machining accuracy of the mechanical parts. It is possible to omit or simplify the fine adjustment work after the installation.

【００８０】 前記およびにより、品種交換前後
において、上側押さえ部材はワークとしてのリードフレ
ームを所定の位置および姿勢で押さえることができるた
め、ワイヤボンディング装置のコントローラに自動的に
プログラムされたボンディング位置の座標等のボンディ
ング作業条件に関するデータに対する修正作業を省略な
いしはきわめて簡略することができる。With the above, since the upper holding member can hold the lead frame as a work at a predetermined position and posture before and after the product type change, the coordinates of the bonding position automatically programmed in the controller of the wire bonding apparatus. It is possible to omit or remarkably simplify the correction work for the data relating to the bonding work conditions such as.

【００８１】 以上によって、生産品種の変更に伴う
上側押さえ部材の交換作業時間が大幅に短縮されるた
め、ワイヤボンディング装置の休止時間短縮によって、
ワイヤボンディング装置全体としての生産効率を高める
ことができる。As described above, since the replacement work time of the upper pressing member due to the change of the product type is significantly shortened, the down time of the wire bonding apparatus can be shortened.
The production efficiency of the wire bonding apparatus as a whole can be improved.

【００８２】 下側押さえ部材１６を下側押さえ部材
保持台１４の保持穴１５に嵌入するとともに、真空吸着
保持装置２５によって保持穴１５内へ真空吸着保持する
ように構成することにより、下側押さえ部材１６を保持
穴１５に嵌入し、真空吸着保持装置２５に負圧を供給す
るという簡単な作業によって、下側押さえ部材１６を固
定することができ、逆に、下側押さえ部材１６を脱装す
る場合には、真空吸着保持装置２５の負圧供給を停止
し、下側押さえ部材１６を保持穴１５から抜き出せば済
むため、下側押さえ部材１６を保持ブロックにねじ止め
する場合に比べて、下側押さえ部材１６の品種交換作業
が簡単になり、品種交換時における段取時間を大幅に低
減させることができる。The lower holding member 16 is fitted into the holding hole 15 of the lower holding member holding base 14, and the vacuum holding device 25 is configured to hold the lower holding member 15 by vacuum suction. The lower pressing member 16 can be fixed by a simple work of inserting the member 16 into the holding hole 15 and supplying a negative pressure to the vacuum suction holding device 25, and conversely, the lower pressing member 16 is detached. In this case, the negative pressure supply of the vacuum suction holding device 25 is stopped and the lower holding member 16 is pulled out from the holding hole 15. Therefore, as compared with the case where the lower holding member 16 is screwed to the holding block, The type change work of the lower pressing member 16 is simplified, and the setup time at the time of type change can be greatly reduced.

【００８３】 前記によって、下側押さえ部材１６
の交換作業においてねじ締め操作を省略することができ
るため、下側押さえ部材１６の交換時に、作業者が加熱
したヒートブロック１１に接触して火傷を負う事故が発
生するのを防止することができ、また、ねじ締め作業に
使用されるボルトを複雑な機構を有するワイヤボンディ
ング装置内に落下させてしまう等のミスを防止すること
ができる。As described above, the lower pressing member 16
Since the screw tightening operation can be omitted in the replacement work, it is possible to prevent an accident that the worker comes into contact with the heated heat block 11 and gets burned when the lower holding member 16 is replaced. Further, it is possible to prevent a mistake such as dropping a bolt used for screw tightening work into a wire bonding apparatus having a complicated mechanism.

【００８４】 下側押さえ部材１６を下側押さえ部材
保持台１４の保持穴１５に嵌入するとともに、下側押さ
え部材１６と保持穴１５との間に形成された凹部２０と
位置決めピン２４とを互いに係合させることにより、Ｘ
Ｙ方向およびθ方向の位置決めを機械部品加工精度の範
囲内で繰り返し精度よく、下側押さえ部材１６を位置決
めすることができるため、下側押さえ部材１６の取り付
け後における微調整作業を省略ないしは簡略することが
できる。The lower holding member 16 is fitted into the holding hole 15 of the lower holding member holding base 14, and the recess 20 and the positioning pin 24 formed between the lower holding member 16 and the holding hole 15 are mutually attached. By engaging, X
Positioning in the Y direction and the θ direction can be repeated with high accuracy within the range of machine part machining accuracy, and the lower pressing member 16 can be positioned. Therefore, fine adjustment work after the mounting of the lower pressing member 16 is omitted or simplified. be able to.

【００８５】 下側押さえ部材１６と保持穴１５との
間に逃げ部１９を形成することにより、下側押さえ部材
１６がヒートブロック１１の加熱によって焼き付きを起
こすのを防止することができる。By forming the escape portion 19 between the lower pressing member 16 and the holding hole 15, it is possible to prevent the lower pressing member 16 from burning due to heating of the heat block 11.

【００８６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【００８７】例えば、上側押さえ部材を固定するための
保持力を付勢し、また、その付勢を簡単に解除すること
ができる保持力付勢装置としては、前記実施例に示され
ているように構成するに限らず、図７、図８および図９
に示されているように構成してもよい。For example, as a holding force urging device capable of urging the holding force for fixing the upper pressing member and easily releasing the urging force, as shown in the above-mentioned embodiment. 7, FIG. 8 and FIG.
May be configured as shown in FIG.

【００８８】図７は上側押さえ部材保持力付勢装置の実
施例２を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a second embodiment of the upper pressing member holding force urging device.

【００８９】本実施例２に係る保持力付勢装置６６Ａが
前記実施例１のそれと異なる点は、押圧レバー５７Ａが
中間部をピン５６Ａによって回動自在に軸支され、この
押圧レバー５７Ａにおける傾斜部５８Ａと反対側の自由
端部６０Ａに電磁石６３Ａが装着されている点、にあ
る。したがって、電磁石６３Ａは保持台５０に水平方向
にＬ字形状に突設されたブラケット６２Ａに水平方向に
据え付けられている。The holding force urging device 66A according to the second embodiment differs from that of the first embodiment in that the pressing lever 57A is rotatably supported at its intermediate portion by a pin 56A, and the inclination of the pressing lever 57A is increased. The point is that the electromagnet 63A is attached to the free end portion 60A opposite to the portion 58A. Therefore, the electromagnet 63A is horizontally installed on the bracket 62A which is provided on the holding base 50 so as to project in an L-shape in the horizontal direction.

【００９０】本実施例２によれば、電磁石６３Ａの励消
磁によって上側押さえ部材４０の固定およびその解除を
実行することができるため、前記実施例１と同様の効果
を得ることができる。According to the second embodiment, the upper holding member 40 can be fixed and released by the excitation / demagnetization of the electromagnet 63A, so that the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

【００９１】図８は上側押さえ部材保持力付勢装置の実
施例３を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a third embodiment of the upper pressing member holding force urging device.

【００９２】本実施例３に係る保持力付勢装置６６Ｂが
前記実施例１のそれと異なる点は、手動操作される偏心
カムによって保持力が付勢され、かつ、解除されるよう
に構成されている点、にある。The holding force biasing device 66B according to the third embodiment is different from that of the first embodiment in that the holding force is biased and released by a manually operated eccentric cam. There is a point.

【００９３】すなわち、押圧レバー５７Ｂにおける傾斜
部５８Ｂと反対側の自由端部には板ばね部６０Ｂが形成
されているとともに、保持台５０にねじ止めされてい
る。また、ピン５６Ｂの外周にはカムフォロア６７がピ
ン５６Ｂによって回転自在に嵌合されており、このカム
フォロア６７は押圧レバー５７Ｂと一体移動するように
構成されている。That is, a leaf spring portion 60B is formed at the free end portion of the pressing lever 57B opposite to the inclined portion 58B, and is screwed to the holding base 50. A cam follower 67 is rotatably fitted to the outer periphery of the pin 56B by the pin 56B, and the cam follower 67 is configured to move integrally with the pressing lever 57B.

【００９４】他方、保持台５０の切欠部５５Ｂにはカム
軸６９が回動自在に突設されており、カム軸６９には偏
心カム６８および操作レバー７０が一体回転するように
突設されている。そして、偏心カム６８は前記カムフォ
ロア６７に前記板ばね部６０Ｂの弾発力によって外接さ
れている。On the other hand, a cam shaft 69 is rotatably projected on the notch 55B of the holding table 50, and an eccentric cam 68 and an operating lever 70 are projected on the cam shaft 69 so as to rotate integrally. There is. The eccentric cam 68 is externally contacted with the cam follower 67 by the elastic force of the leaf spring portion 60B.

【００９５】本実施例３において、上側押さえ部材４０
が保持台５０に固定されるに際しては、上側押さえ部材
４０が保持台５０の保持面５１上にセットされた後、偏
心カム操作レバー７０が所定の方向に回動操作される。
この回動操作に伴って、偏心カム６８によってカムフォ
ロア６７を介して押圧レバー５７Ｂが押圧されるため、
前記実施例１と同様にして、上側押さえ部材４０は保持
台５０に固定されることになる。この際、偏心カム６８
はその上死点を越えた所で押圧レバー７０に対する保持
力を維持するように構成することが望ましい。In the third embodiment, the upper pressing member 40
When is fixed to the holding base 50, the upper pressing member 40 is set on the holding surface 51 of the holding base 50, and then the eccentric cam operating lever 70 is rotated in a predetermined direction.
With this rotating operation, the eccentric cam 68 presses the pressing lever 57B via the cam follower 67.
Similar to the first embodiment, the upper pressing member 40 is fixed to the holding table 50. At this time, the eccentric cam 68
Is preferably configured to maintain the holding force for the pressing lever 70 at a position beyond its top dead center.

【００９６】上側押さえ部材４０が保持台５０から脱装
されるに際しては、カム操作レバー７０が前記とは逆方
向に回動操作されることにより、偏心カム６８による押
圧レバー５７Ｂの上側押さえ部材４０に対する押圧が解
除されるため、前記実施例１と同様にして、上側押さえ
部材４０は保持台５０の保持面５１と押圧レバー５７Ｂ
との間から簡単に抜き出すことができる。When the upper pressing member 40 is detached from the holding table 50, the cam operating lever 70 is rotated in the opposite direction to the above, so that the eccentric cam 68 presses the upper pressing member 40 of the pressing lever 57B. Since the pressure on the upper holding member 40 is released, the upper pressing member 40 is held by the holding surface 51 of the holding base 50 and the pressing lever 57B in the same manner as in the first embodiment.
It can be easily extracted from between.

【００９７】本実施例３によれば、偏心カム操作レバー
７０の操作によって上側押さえ部材４０の固定およびそ
の解除を実行することができるため、前記実施例１と同
様の効果を得ることができるのに加えて、電力を消費せ
ずに済むという効果を得ることができる。According to the third embodiment, since the upper pressing member 40 can be fixed and released by operating the eccentric cam operating lever 70, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. In addition to this, it is possible to obtain an effect that power is not consumed.

【００９８】図９は上側押さえ部材保持力付勢装置の実
施例４を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a fourth embodiment of the upper pressing member holding force urging device.

【００９９】本実施例４に係る保持力付勢装置６６Ｃが
前記実施例１と異なる点は、板ばねの弾発力を利用して
保持力が付勢されるように構成されている点、にある。The holding force urging device 66C according to the fourth embodiment is different from the first embodiment in that the holding force is urged by utilizing the elastic force of the leaf spring. It is in.

【０１００】すなわち、押圧レバー５７Ｃには板ばね部
６０Ｃが、この押圧レバー５７Ｃにおける傾斜部５８Ｃ
と反対側の下方に向けられて延設されており、この板ば
ね部６０Ｃの下端部が保持台５０にねじ止めされてい
る。また、押圧レバー５７Ｃの上端部にはねじ軸７１が
進退自在に螺着されており、このねじ軸７１の一端面は
保持台５０の側面に突合されているとともに、ねじ軸７
１の他端部には操作レバー７２が一体回動するように突
設されている。That is, the pressing lever 57C has a leaf spring portion 60C, and the pressing lever 57C has an inclined portion 58C.
The bottom end of the leaf spring portion 60C is screwed to the holding base 50. A screw shaft 71 is screwed to the upper end of the pressing lever 57C so as to be able to move back and forth. One end face of this screw shaft 71 is abutted against the side face of the holding base 50 and the screw shaft 7
An operation lever 72 is provided at the other end of the unit 1 so as to integrally rotate.

【０１０１】本実施例４において、上側押さえ部材４０
が保持台５０に固定されるに際しては、上側押さえ部材
４０が保持台５０の保持面５１上にセットされた後、ね
じ軸操作レバー７２が所定の方向に回動操作される。こ
の操作に伴って、ねじ軸７１が回転されて、これに螺合
した押圧レバー５７Ｃが保持台５０の方向へ板ばね部６
０Ｃの弾発力によって前進されることにより、押圧レバ
ー５７Ｃが押圧されるため、前記実施例１と同様にし
て、上側押さえ部材４０は保持台５０に固定されること
になる。この固定状態において、板ばね部６０Ｃは撓み
状態を維持するようになっている。In the fourth embodiment, the upper pressing member 40
When is fixed to the holding table 50, the upper pressing member 40 is set on the holding surface 51 of the holding table 50, and then the screw shaft operating lever 72 is rotated in a predetermined direction. Along with this operation, the screw shaft 71 is rotated, and the pressing lever 57C screwed onto the screw shaft 71 moves toward the holding base 50 toward the leaf spring portion 6.
Since the pressing lever 57C is pressed by being moved forward by the elastic force of 0C, the upper pressing member 40 is fixed to the holding base 50 in the same manner as in the first embodiment. In this fixed state, the leaf spring portion 60C is kept in a bent state.

【０１０２】ちなみに、ねじ軸７１は、少ない回転量に
よって大きな進退量が得られるように、多条ねじ構造に
構成することが望ましい。Incidentally, it is desirable that the screw shaft 71 has a multiple thread structure so that a large amount of advance / retreat can be obtained with a small amount of rotation.

【０１０３】上側押さえ部材４０が保持台５０から脱装
されるに際しては、ねじ軸操作レバー７２が前記とは逆
方向に回転操作されることにより、ねじ軸７１に螺合し
た板ばね部６０Ｃが保持台５０に反力をとって、板ばね
部６０Ｃの弾発力に抗して後退されることにより、板ば
ね部６０Ｃによる押圧レバー５７Ｃの上側押さえ部材４
０に対する押圧が解除されるため、前記実施例１と同様
にして、上側押さえ部材４０は保持台５０の保持面５１
と押圧レバー５０Ｃとの間から簡単に抜き出すことがで
きる。When the upper pressing member 40 is detached from the holding base 50, the screw shaft operating lever 72 is rotated in the opposite direction to the leaf spring portion 60C screwed to the screw shaft 71. The holding table 50 receives a reaction force and is retracted against the elastic force of the leaf spring portion 60C, whereby the upper pressing member 4 of the pressing lever 57C by the leaf spring portion 60C.
Since the pressure on 0 is released, the upper pressing member 40 is held by the holding surface 51 of the holding table 50 in the same manner as in the first embodiment.
It can be easily pulled out from between the pressing lever 50C and the pressing lever 50C.

【０１０４】本実施例４によれば、ねじ軸操作レバー７
２の操作によって、上側押さえ部材４０の固定およびそ
の解除を実行することができるため、前記実施例１と同
様の効果を得ることができるのに加えて、電力を消費せ
ずに済むという効果を得ることができる。According to the fourth embodiment, the screw shaft operating lever 7
Since the upper holding member 40 can be fixed and released by the operation of 2, the effect similar to that of the first embodiment can be obtained, and in addition, the effect that power consumption is not required can be obtained. Obtainable.

【０１０５】なお、前記実施例では、傾斜面が上側押さ
え部材の両側面、固定ピースおよび押圧レバーにそれぞ
れ形成されているが、傾斜面は上側押さえ部材、固定ピ
ースおよび押圧レバーのいずれか一つの部材に１箇所形
成すればよい。In the above embodiment, the inclined surfaces are formed on both side surfaces of the upper pressing member, the fixed piece and the pressing lever, respectively. However, the inclined surface is formed by one of the upper pressing member, the fixed piece and the pressing lever. It suffices to form it at one location on the member.

【０１０６】また、上側押さえ部材の前後方向の位置決
めは、保持面５１にピン５２を立設して構成するに限ら
ず、保持面または固定ピース、押接レバーに上側押さえ
部材に係合する位置決め用の係合部を形成して構成して
もよい。Further, the positioning of the upper pressing member in the front-rear direction is not limited to the configuration in which the pin 52 is provided upright on the holding surface 51, but the positioning is such that the holding surface or the fixed piece, the pressing lever is engaged with the upper pressing member. You may form and comprise the engaging part for.

【０１０７】さらに、上側押さえ部材を押圧する押圧部
材は、保持台に回動自在に軸支された押圧レバーによっ
て構成するに限らず、固定ピースの方向へ進退自在に構
成してもよい。Further, the pressing member for pressing the upper pressing member is not limited to the pressing lever rotatably supported by the holding base, and may be configured to be movable back and forth toward the fixed piece.

【０１０８】なお、下側押さえ部材１６が嵌入される保
持穴１５は、ヒートブロック１１にボルト１３によって
固定された下側押さえ部材保持台１４に開設されている
が、下側押さえ部材保持台１４を省略し、下側保持ブロ
ックとしてのヒートブロック１１に直接的に開設するこ
ともできる。The holding hole 15 into which the lower pressing member 16 is fitted is provided in the lower pressing member holding base 14 fixed to the heat block 11 by the bolts 13. Can be omitted, and the heat block 11 can be directly opened as the lower holding block.

【０１０９】また、下側押さえ部材は焼付防止のために
側面を一部切欠しているが、その切欠部分は前記実施例
のものに限られるものでないことはいうまでもない。焼
き付き防止のための逃げ部は、下側押さえ部材保持台の
円孔との接触面を位置決めに影響しない程度に極力小さ
くすることによって焼き付きを防止するようにする構成
が望ましい。また、下側押さえ部材保持台の円孔側に焼
付防止用の切欠部を設けるようにすることもできる。Further, the lower pressing member has a side surface partially cut out to prevent seizure, but it goes without saying that the cutout portion is not limited to that of the above embodiment. It is desirable that the relief portion for preventing the seizure is configured to prevent the seizure by making the contact surface of the lower holding member holding base with the circular hole as small as possible so as not to affect the positioning. It is also possible to provide a notch portion for preventing seizure on the circular hole side of the lower pressing member holding base.

【０１１０】下側押さえ部材の形状は前記実施例のもの
に限らず、例えば、四角柱、六角柱等に形成してもよ
い。また、下側押さえ部材の下端部に面取りを施すよう
にすれば、下側押さえ部材の挿入が容易に行える。The shape of the lower pressing member is not limited to that of the above-mentioned embodiment, but may be, for example, a quadrangular prism, a hexagonal prism or the like. If the lower end of the lower pressing member is chamfered, the lower pressing member can be easily inserted.

【０１１１】下側押さえ部材１６において、吊り下げ治
具２２が螺入されるねじ穴２１と真空溜まり２９とを連
通させる透孔を開設してもよい。この構成によれば、下
側押さえ部材１６の上面の凹部９に配設されたタブ２を
真空溜まり２９、透孔およびねじ穴２１を介して真空吸
着することができるため、タブ２を真空吸着によって直
接保持することができる。The lower holding member 16 may be provided with a through hole for connecting the screw hole 21 into which the hanging jig 22 is screwed and the vacuum reservoir 29. According to this structure, the tab 2 provided in the recess 9 on the upper surface of the lower pressing member 16 can be vacuum-sucked through the vacuum reservoir 29, the through hole, and the screw hole 21, so that the tab 2 is vacuum-sucked. Can be held directly by.

【０１１２】前記実施例では、保持穴に下側押さえ部材
を吸着保持する手段が、真空吸着するように構成されて
いる場合について説明したが、リードフレームが４２ア
ロイ等の鉄系（磁性体）材料ではない場合には、下側押
さえ部材吸着保持手段は、下側押さえ部材を磁性材料に
よって形成するとともに、ヒートブロックまたは下側押
さえ部材保持台に電磁石または永久磁石を組み込むこと
により、下側押さえ部材を磁力によって吸着保持するよ
うに構成することもできる。また、磁石と磁性材料との
関係は、下側押さえ部材とヒートブロックまたは下側押
さえ部材保持台との間で置換してもよい。In the above-described embodiment, the case where the means for sucking and holding the lower pressing member in the holding hole is constituted so as to be vacuum-sucked has been described. However, the lead frame is made of iron alloy (magnetic material) such as 42 alloy. If the material is not a material, the lower holding member suction holding means forms the lower holding member with a magnetic material, and incorporates an electromagnet or a permanent magnet into the heat block or the lower holding member holding base to reduce the lower holding member. The member may be configured to be attracted and held by magnetic force. Further, the relationship between the magnet and the magnetic material may be replaced between the lower pressing member and the heat block or the lower pressing member holding base.

【０１１３】また、上側押さえ部材をスプリング性を発
揮するように構成することにより、リードフレームをそ
のスプリング力によって押さえるようにしてもよい。リ
ードフレームを上側押さえ部材のスプリング力によって
確実に固定することによって、ボンディング性を向上さ
せることができる。Further, the lead frame may be pressed by the spring force by constructing the upper pressing member so as to exhibit the spring property. Bondability can be improved by securely fixing the lead frame by the spring force of the upper pressing member.

【０１１４】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるワイヤ
ボンディング装置に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、リードフレームにおけ
るタブ上にペレットをボンディングするペレットボンデ
ィング装置等にも適用することができる。In the above description, the case where the invention made by the present inventor is mainly applied to the wire bonding apparatus which is the background field of application has been described.
The present invention is not limited to this, and can also be applied to a pellet bonding apparatus or the like for bonding pellets onto tabs in a lead frame.

【０１１５】[0115]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

【０１１６】保持力付勢装置によって押圧部材に保持力
を付勢することにより、上側押さえ部材を保持ブロック
の保持面および固定ピースに押接して上側押さえ部材を
保持ブロックに固定することができ、逆に、当該固定は
保持力付勢装置の付勢を解除することにより、解除する
ことができるため、上側押さえ部材を保持ブロックにね
じ止めするのに比べて、上側押さえ部材の保持ブロック
に対する着脱作業が簡単になり、品種交換時における上
側押さえ部材の交換に要する段取り時間を大幅に低減さ
せることができる。その結果、リードフレームの品種交
換時における段取り時間の短縮を図ることができて、生
産性を向上することができる。By biasing the holding force to the pressing member by the holding force biasing device, the upper pressing member can be pressed against the holding surface of the holding block and the fixing piece to fix the upper pressing member to the holding block. On the contrary, since the fixing can be released by releasing the biasing force of the holding force biasing device, as compared with screwing the upper holding member to the holding block, attachment / detachment of the upper holding member to / from the holding block is performed. The work is simplified, and the setup time required for exchanging the upper pressing member when exchanging the product type can be significantly reduced. As a result, the setup time at the time of exchanging the lead frame type can be shortened, and the productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の一実施例であるワイヤボンディング装
置の主要部分を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a wire bonding apparatus that is an embodiment of the present invention.

【図２】その下側押さえ部材部分を示す拡大した分解斜
視図である。FIG. 2 is an enlarged exploded perspective view showing a lower pressing member portion thereof.

【図３】その上側押さえ部材部分を示す拡大した正面断
面図である。FIG. 3 is an enlarged front sectional view showing an upper pressing member portion.

【図４】主要部を示す側面断面図である。FIG. 4 is a side sectional view showing a main part.

【図５】押さえ状態を示す拡大した側面断面図である。FIG. 5 is an enlarged side sectional view showing a pressed state.

【図６】拡大した一部省略平面図である。FIG. 6 is an enlarged plan view with a part omitted.

【図７】上側押さえ部材保持力付勢装置の実施例２を示
す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a second embodiment of the upper pressing member holding force urging device.

【図８】上側押さえ部材保持力付勢装置の実施例３を示
す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a third embodiment of the upper pressing member holding force urging device.

【図９】上側押さえ部材保持力付勢装置の実施例４を示
す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a fourth embodiment of the upper pressing member holding force urging device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…リードフレーム、２…タブ、３…タブ吊りリード、
４…リード、５…ペレット、１０…ワイヤボンディング
装置、１１…ヒートブロック（保持ブロック）、１１ａ
…凹部、１２…ヒータ、１３…ボルト、１４…下側押さ
え部材保持台、１５…円孔（保持穴）１６…下側押さえ
部材、１７…凹部、１８…長溝、１９…焼付防止逃げ
部、１９ａ…円弧側面、１９ｂ…平坦面、２０…凹部、
２１…ねじ穴、２２…下側押さえ部材吊り治具、２３…
雄ねじ部、２４…位置決めピン、２５…真空吸着保持装
置（吸着保持手段）、２６…真空導入路、２７…真空配
管、２８…真空源、２９…真空溜まり、３１…ＸＹテー
ブル、３２…ボンディングヘッド、３３…ボンディング
アーム、３４…ワイヤクランプ、３５…キャピラリ、３
６…ボンディングワイヤ、３７…トーチ電極、３８…ガ
イドレール、４０…上側押さえ部材、４１…角窓、４
２、４３…傾斜面、４４…リードフレーム上側押さえ
面、５０…上側押さえ部材保持台、５１…保持面、５２
…位置決めピン、５３…固定ピース、５４…傾斜面、５
５…切欠部、５６…支軸、５７…押圧レバー、５８…傾
斜部、５９…傾斜面、６０、６０Ａ…直線部、６０Ｂ、
６０Ｃ…板ばね部、６１…自在継手、６２、６２Ａ…ブ
ラケット、６３、６３Ａ…電磁石、６４…電源、６５…
スイッチ、６６、６６Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ…上側押さえ
部材保持力付勢装置、６７…カムフォロア、６８…偏心
カム、６９…カム軸、７０…カム操作レバー、７１…ね
じ軸、７２…ねじ軸操作レバー。1 ... Lead frame, 2 ... Tab, 3 ... Tab suspension lead,
4 ... Lead, 5 ... Pellet, 10 ... Wire bonding device, 11 ... Heat block (holding block), 11a
... Recesses, 12 ... Heater, 13 ... Bolts, 14 ... Lower holding member holder, 15 ... Circular hole (holding hole) 16 ... Lower holding member, 17 ... Recessed portion, 18 ... Long groove, 19 ... Seizing prevention escape portion, 19a ... Arc side surface, 19b ... Flat surface, 20 ... Recessed portion,
21 ... Screw holes, 22 ... Lower holding member hanging jig, 23 ...
Male screw part, 24 ... Positioning pin, 25 ... Vacuum suction holding device (suction holding means), 26 ... Vacuum introduction path, 27 ... Vacuum piping, 28 ... Vacuum source, 29 ... Vacuum pool, 31 ... XY table, 32 ... Bonding head , 33 ... Bonding arm, 34 ... Wire clamp, 35 ... Capillary, 3
6 ... Bonding wire, 37 ... Torch electrode, 38 ... Guide rail, 40 ... Upper holding member, 41 ... Square window, 4
2, 43 ... Inclined surface, 44 ... Lead frame upper pressing surface, 50 ... Upper pressing member holding base, 51 ... Holding surface, 52
... Locating pin, 53 ... Fixed piece, 54 ... Inclined surface, 5
5 ... Notch, 56 ... Spindle, 57 ... Push lever, 58 ... Inclined part, 59 ... Inclined surface, 60, 60A ... Straight part, 60B,
60C ... Leaf spring part, 61 ... Universal joint, 62, 62A ... Bracket, 63, 63A ... Electromagnet, 64 ... Power supply, 65 ...
Switches, 66, 66A, 66B, 66C ... Upper pressing member holding force urging device, 67 ... Cam followers, 68 ... Eccentric cams, 69 ... Cam shafts, 70 ... Cam operating levers, 71 ... Screw shafts, 72 ... Screw shaft operating levers .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植栗 徹 群馬県高崎市西横手町111番地 株式会社 日立製作所高崎工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toru Ueguri 111, Nishiyokote-cho, Takasaki-shi, Gunma Hitachi Ltd. Takasaki Plant

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 上側押さえ部材と下側押さえ部材とによ
ってリードフレームを挟持した状態でボンディングが実
施されるボンディング装置であって、前記リードフレー
ムに対して相対的に接離する保持ブロックに前記上側押
さえ部材が着脱自在に固定されているボンディング装置
において、 前記保持ブロックの上面に形成されている保持面と、保
持面の片側に固定されている固定ピースと、保持面の固
定ピースと反対側の前記上側押さえ部材に臨む位置に移
動自在に配されて、前記固定ピースの方向への前進によ
って上側押さえ部材を押圧する押圧部材と、押圧部材に
保持力を付勢する保持力付勢装置と、前記上側押さえ部
材、固定ピースおよび押圧部材のうち少なくとも一部に
形成されている傾斜面とを備えており、 前記押圧部材が前記保持力付勢装置によって付勢された
際に、前記上側押さえ部材が前記傾斜面によって発生さ
れた垂直分力によって前記保持面に押接されるととも
に、前記固定ピースに押接されることにより、前記上側
押さえ部材が前記保持ブロックに固定されるように構成
されていることを特徴とするボンディング装置。1. A bonding apparatus in which bonding is performed while a lead frame is sandwiched between an upper holding member and a lower holding member, wherein the upper side is attached to a holding block relatively contacting and separating from the lead frame. In a bonding device in which a holding member is detachably fixed, a holding surface formed on the upper surface of the holding block, a fixing piece fixed to one side of the holding surface, and a holding piece on the opposite side of the holding surface. A pressing member that is movably arranged at a position facing the upper pressing member and presses the upper pressing member by advancing in the direction of the fixed piece; and a holding force urging device that urges a holding force to the pressing member, The upper pressing member, the fixed piece, and the inclined surface formed on at least a part of the pressing member. When urged by a force urging device, the upper pressing member is pressed against the holding surface by the vertical component force generated by the inclined surface and also pressed against the fixed piece, A bonding apparatus, wherein the upper pressing member is configured to be fixed to the holding block. 【請求項２】 前記保持力付勢装置が前記押圧部材に連
結されている電磁石を備えており、この電磁石は前記保
持力を付勢する際に励磁されるように構成されているこ
とを特徴とする請求項１に記載のボンディング装置。2. The holding force urging device includes an electromagnet connected to the pressing member, and the electromagnet is configured to be excited when urging the holding force. The bonding device according to claim 1. 【請求項３】 前記保持力付勢装置が前記押圧部材を前
進後退させる偏心カムを備えており、この偏心カムは前
記押圧部材の保持力を維持し得るように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のボンディング装置。3. The holding force urging device includes an eccentric cam for advancing and retracting the pressing member, and the eccentric cam is configured to maintain the holding force of the pressing member. The bonding device according to claim 1. 【請求項４】 前記保持力付勢装置が前記押圧部材に弾
発力を付勢する板ばねを備えており、この板ばねは前記
保持力を付勢する際に、撓んだ状態を維持するように構
成されていることを特徴とする請求項１に記載のボンデ
ィング装置。4. The holding force urging device includes a leaf spring for urging an elastic force to the pressing member, and the leaf spring maintains a bent state when urging the holding force. The bonding apparatus according to claim 1, wherein the bonding apparatus is configured to:
JP4272281A 1992-09-16 1992-09-16 Bonding device Pending JPH0697222A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9404791B2 (en) 2009-06-06 2016-08-02 Nuovo Pignone S.P.A. Lateral, angular and torsional vibration monitoring of rotordynamic systems

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9404791B2 (en) 2009-06-06 2016-08-02 Nuovo Pignone S.P.A. Lateral, angular and torsional vibration monitoring of rotordynamic systems

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