JPH0696721A - Ｘ線検出器 - Google Patents

Ｘ線検出器

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JPH0696721A
JPH0696721A JP5030734A JP3073493A JPH0696721A JP H0696721 A JPH0696721 A JP H0696721A JP 5030734 A JP5030734 A JP 5030734A JP 3073493 A JP3073493 A JP 3073493A JP H0696721 A JPH0696721 A JP H0696721A
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    • H01J47/002—Vessels or containers
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｘ線検出器内の導電層での放射線の吸収を軽
減する。 【構成】 Ｘ線検出器のハウジング２の入射窓４の内側
に、金、プラチナ、イリジウム又はこれらの混合物から
なる導電層を設ける。このような材質の層を用いること
により膜厚が比較的薄い場合でも、十分な導電性が得ら
れ、しかも軟Ｘ線の吸収が低く、さらに物理的な安定性
も高い。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導電材料によって被覆
されている入射窓により閉じられている気体が充填され
た電離空間を有するＸ線検出器に関するものである。ま
た本発明は、このようなＸ線検出器を具えたＸ線分析装
置およびそのＸ線透過窓に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のＸ線検出器として知られている
ものは、計測中に電荷を放出するために、導電層を一般
に入射窓の内側に設けている。このような導電層は、特
にアルミニウムで構成されているが、その理由はアルミ
ニウムを用いると蒸着法により比較的簡単に導電層を形
成できるとともに、アルミニウムは比較的高い導電率を
有するからである。特に、アルミニウムは原子番号が小
さく、小さい密度と質量吸収の値との関係で、軟Ｘ線に
対してもまた比較的小さい吸収比を有するためである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ホウ素
やベリリウムのような原子番号の小さい元素を分析する
際には、アルミニウム層への吸収がなお妨害となってい
ることが知られている。この理由は、十分な導電性及び
安定性を要求するとアルミニウム層を非常に薄くするこ
とが不可能となるからである。本発明は、以上の欠点を
軽減することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＸ線検出器は、Ir(77),Pt(78),Au(79)から
なる群から選ばれたもの又はこれらの混合物からなる導
電性材料を層状にして入射窓に堆積したことを特徴とす
るものである。
【０００５】上記材料は電気的特性に特に優れている。
すなわち、妨害を与える帯電を防止するのに十分な導電
性を保つと同時に、アルミニウムに比べて十分に薄い膜
厚にすることができる。このようにして、従来公知の層
に比べて、放射線の吸収が十分に少ない導電層が得られ
る。導電層が従来より薄くなっているので、温度変化等
の影響により窓が膨張及び収縮することによる物理的な
損傷を受けることがより少なくなる。本発明で使用する
上述した導電材料が高密度であるという欠点は、例えば
ボロンやベリリウムを対象とする場合の軟Ｘ線に対する
質量吸収係数が小さいということによって補償されるこ
とになる。例えば、金の密度はアルミニウムに比べて約
７倍であるので金を用いる利点は全くないように思われ
るが、金の軟Ｘ線に対する質量吸収係数はアルミニウム
の約1/6 であるので十分補償される。
【０００６】本発明の好適な実施例においては、導電層
を金層で形成する。この金層の厚さは最大でも例えば約
40nmである。実際には、この層の厚さは、最大でも例え
ば約10nmあれば十分である。このような層を用いること
により、すべての必要条件（膨張係数）を容易に満足さ
せることができる。金は外的要因に対して化学反応を起
こさない貴金属であるので、検出器の動作に対して導電
層が与える悪影響を回避できる。金層は例えば、蒸着法
によって形成することができ、プラスチック層又はベリ
リウム層のような基体に対する結合特性は良好なものと
なる。
【０００７】例えば、ポリプロピレン又はマイラー製の
窓と、金の蒸着層との組合せが好適である。したがって
長波長領域での分析を行う場合、すなわちボロンやベリ
リウムのように原子番号の小さい元素を分析する放射線
検出器に対して、極端に少ない吸収を示す窓を与えるこ
とができる。
【０００８】本発明のＸ線検出器はＸ線分析装置の一部
を構成するのが好ましい。特にこのＸ線分析装置は小さ
い原子番号、例えば６以下の原子番号の元素を分析する
のに適している。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して詳細に
説明する。図１に示す本発明のＸ線検出器のガス流電離
計数管は、入射窓４、出射窓６、ガス導入ダクト８及び
ガス排出ダクト１０とを有するハウジング２を具える。
このガス流電離計数管内では陽極線１２を金属製とする
のが好ましいハウジング２から絶縁体１４を介して絶縁
されるように配置する。入射されたＸ線の一部により、
計数管に含まれるガス、例えばアルゴンは電離され、こ
の際に解放される電子は、正電位が与えれた陽極線１２
により捕獲される。捕獲された電子によって生じる電荷
パルスは、コンデンサ１８を介して接地された出力リー
ド線１６を経た後、さらにコンデンサ２０を経て前置増
幅器２２に供給される。この電荷パルスは、その後さら
に処理される。生成されたイオンを陽極線に負の電圧を
印加して検出することも可能であるが、電子の走行時間
がより短いので、電子を捕獲する方が好ましい。例えば
ポリプロピレンフィルム２４から構成されている入射窓
４の内面には導電層２６を設けるが、本実施例では導電
層２６は金で形成されている。導電層２６は非常に薄く
形成されているとともにハウジング２と電気的に接続し
ているので、導電層２６およびハウジング２の表面に付
加した電荷を接地リード線２８を介して放出することが
できる。入射した放射線の一部、すなわち硬Ｘ線は出射
窓６を経てＸ線検出器から出射し、この硬Ｘ線は、例え
ば硬Ｘ線を検出するのにより適した次の計数管内で検出
することができる。出射窓もまた導電層を具えることが
好ましいが、硬Ｘ線が透過するものであるので、その膜
厚及び材質はそれほど厳密なものでなくてもよい。
【００１０】図２に、シーケンシャル分光計の形をした
Ｘ線分析装置を示す。このＸ線分析装置は図１に示すＸ
線検出器のハウジング２を具える。この装置では、標本
３０の表面３１上にＸ線管３４により生じたＸ線ビーム
３２を照射する。標本３０から生じたＸ線ビーム３５
は、コリメータ３６を通過した後、結晶体ホルダ３８に
装着された分析用結晶体４０に入射する。この分析用結
晶体４０によって反射されたＸ線ビーム４２はコリメー
タ４４を通過した後、Ｘ線検出器のハウジング２に入射
し、内部の気体が電離することによってＸ線検出器内で
一部が検出される。検出されなかったＸ線ビームの一部
は、次のコリメータ４６を通過した後に例えばシンチレ
ーション計数管４８で検出される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線検出器を示す。
【図２】本発明のＸ線検出器を具えるＸ線分析装置を示
す。
【符号の説明】
２ ハウジング ４ 入射窓 ６ 出射窓 ８ ガス導入ダクト １０ ガス排出ダクト １２ 陽極線 １４ 絶縁体 １５ Ｘ線 １６ 出力リード線 １８，２０ コンデンサ ２２ 前置増幅器 ２４ ポリプロピレンフィルム ２６ 導電層 ２８ 接地リード線 ３０ 標本 ３１ 標本表面 ３２，３５，４２ Ｘ線ビーム ３４ Ｘ線管 ３６，４４，４６ コリメータ ３８ 結晶体ホルダ ４０ 分析用結晶体 ４８ シンチレーション計数管

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】導電材料によって被覆されている入射窓に
    より閉じられ、気体が充填された電離チャンバを有する
    Ｘ線検出器において、Ir(77),Pt(78),Au(79)からなる群
    から選ばれたもの又はこれらの混合物からなる導電性材
    料を層状にして堆積したことを特徴とするＸ線検出器。
  2. 【請求項２】前記導電材料は、金からなる層であり、こ
    の層の厚さが最大でも約40nmであることを特徴とする請
    求項１記載のＸ線検出器。
  3. 【請求項３】前記電離チャンバが、ガス流チャンバを具
    えることを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線検出
    器。
  4. 【請求項４】前記入射窓が、プラスチックスフィルムを
    具えることを特徴とする請求項１，２又は３記載のＸ線
    検出器。
  5. 【請求項５】前記入射窓が、ポリプロピレンからなるこ
    とを特徴とする請求項４記載のＸ線検出器。
  6. 【請求項６】前記入射窓が、マイラーからなることを特
    徴とする請求項１，２，３又は４記載のＸ線検出器。
  7. 【請求項７】前記入射窓が、ベリリウムからなることを
    特徴とする請求項１，２又は３記載のＸ線検出器。
  8. 【請求項８】請求項１，２，３，４，５，６又は７記載
    のＸ線検出器を具えることを特徴とするＸ線分析装置。
  9. 【請求項９】片面が導電金属層で被覆されているＸ線透
    過窓において、前記導電金属層が、Ir(77),Pt(78),Au(7
    9)からなる群から選ばれたもの又はこれらの混合物から
    なる薄膜層であることを特徴とするＸ線透過窓。
  10. 【請求項１０】前記導電金属層が、金からなる層であ
    り、この層の厚さが最大でも約40nmであることを特徴と
    する請求項９記載のＸ線透過窓。
  11. 【請求項１１】前記透過窓が、プラスチックスフィルム
    を具えることを特徴とする請求項９又は１０記載のＸ線
    透過窓。
  12. 【請求項１２】前記透過窓が、ポリプロピレンからなる
    ことを特徴とする請求項１１記載のＸ線透過窓。
  13. 【請求項１３】前記透過窓が、マイラーからなることを
    特徴とする請求項９，１０，１１又は１２記載のＸ線透
    過窓。
  14. 【請求項１４】前記透過窓が、ベリリウムからなること
    を特徴とする請求項９，１０，１１，１２又は１３記載
    のＸ線透過窓。
JP03073493A 1992-02-21 1993-02-19 Ｘ線検出器 Expired - Lifetime JP3375361B2 (ja)

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NL92200505:3 1992-02-21
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