JPH0694033A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
- Publication number
- JPH0694033A JPH0694033A JP26546992A JP26546992A JPH0694033A JP H0694033 A JPH0694033 A JP H0694033A JP 26546992 A JP26546992 A JP 26546992A JP 26546992 A JP26546992 A JP 26546992A JP H0694033 A JPH0694033 A JP H0694033A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- peripheral surface
- inner peripheral
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 回転軸３の外周面に空隙を介して対向する軸
受部４と、軸受部４の内周面に複数の噴出口４４とを設
け、噴出口４４から圧力気体を噴出することにより生じ
る軸受部４と回転軸３との間の静圧により回転軸３を支
持する静圧流体軸受において、軸受部３の外周に空隙を
介して対向する軸受支持部２と、軸受支持部２の内周面
に開口する噴出口２３、２４と、噴出口２３、２４に圧
力気体を供給する通気孔２１、２２とを設け、噴出口２
３、２４から噴出する圧力気体により軸受部４と軸受支
持部２との間の空隙に静圧を発生させて前記軸受支持部
２を支持するものである。 【効果】 軸受部に過負荷が生じてもカジリが発生する
ことがなく、安全な静圧流体軸受を提供できる。
受部４と、軸受部４の内周面に複数の噴出口４４とを設
け、噴出口４４から圧力気体を噴出することにより生じ
る軸受部４と回転軸３との間の静圧により回転軸３を支
持する静圧流体軸受において、軸受部３の外周に空隙を
介して対向する軸受支持部２と、軸受支持部２の内周面
に開口する噴出口２３、２４と、噴出口２３、２４に圧
力気体を供給する通気孔２１、２２とを設け、噴出口２
３、２４から噴出する圧力気体により軸受部４と軸受支
持部２との間の空隙に静圧を発生させて前記軸受支持部
２を支持するものである。 【効果】 軸受部に過負荷が生じてもカジリが発生する
ことがなく、安全な静圧流体軸受を提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高速回転スピンドル等
に使用される静圧気体軸受に関する。
に使用される静圧気体軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、静圧気体軸受は、回転軸の外周面
に空隙を介して対向する軸受部を備え、軸受部には内周
面に複数の開口部を有する給気孔を設け、軸受部の両端
付近には排気孔を設けて、給気孔から圧力気体を供給す
ることにより、軸受部と回転軸との間に静圧を生じさ
せ、回転軸を静圧により支持するものが開示されている
（例えば、特開昭６３−１８６０３０号、特開平３−１
４９４１４号）。
に空隙を介して対向する軸受部を備え、軸受部には内周
面に複数の開口部を有する給気孔を設け、軸受部の両端
付近には排気孔を設けて、給気孔から圧力気体を供給す
ることにより、軸受部と回転軸との間に静圧を生じさ
せ、回転軸を静圧により支持するものが開示されている
（例えば、特開昭６３−１８６０３０号、特開平３−１
４９４１４号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成で
は、回転軸に過負荷が加わることによって、回転軸と軸
受部の内周面とが接触した場合、軸受部が剛体であるた
め逃げがなく、カジリを生じて軸受として使用できなく
なるという欠点があった。本発明は、過負荷が生じても
カジリの発生しない静圧気体軸受を提供することを目的
とするものである。
は、回転軸に過負荷が加わることによって、回転軸と軸
受部の内周面とが接触した場合、軸受部が剛体であるた
め逃げがなく、カジリを生じて軸受として使用できなく
なるという欠点があった。本発明は、過負荷が生じても
カジリの発生しない静圧気体軸受を提供することを目的
とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、回転軸の外周
面に空隙を介して対向する軸受部と、前記軸受部の内周
面に複数の噴出口とを設け、前記噴出口から圧力気体を
噴出させることにより生じる軸受部と回転軸との間の静
圧により回転軸を支持する静圧気体軸受において、前記
軸受部の外周に空隙を介して対向する軸受支持部と、前
記軸受支持部の内周面に開口するように設けた噴出口
と、前記軸受支持部に設けた噴出口に前記軸受部と前記
軸受支持部との間の空隙に静圧を発生させる圧力気体を
供給する通気孔とを設けたものである。また、前記軸受
支持部と前記軸受部との接触を検出する接触検出器を設
けたものである。
面に空隙を介して対向する軸受部と、前記軸受部の内周
面に複数の噴出口とを設け、前記噴出口から圧力気体を
噴出させることにより生じる軸受部と回転軸との間の静
圧により回転軸を支持する静圧気体軸受において、前記
軸受部の外周に空隙を介して対向する軸受支持部と、前
記軸受支持部の内周面に開口するように設けた噴出口
と、前記軸受支持部に設けた噴出口に前記軸受部と前記
軸受支持部との間の空隙に静圧を発生させる圧力気体を
供給する通気孔とを設けたものである。また、前記軸受
支持部と前記軸受部との接触を検出する接触検出器を設
けたものである。
【０００５】
【作用】回転軸を回転駆動する時は、空気供給孔から圧
力空気を供給し、軸受部を軸受支持部の内周面に浮上さ
せて支持すると共に、回転軸を軸受部の内周面に浮上さ
せて支持する。回転軸に過負荷が加わり、回転軸と軸受
部とが接触しかかると、軸受部は軸受支持部との間の空
隙に逃げて回転軸と軸受部との間の接触を避ける。更
に、軸受部と軸受支持部とが接触するような大きな負荷
が加わった時は、接触検出器により軸受支持部と軸受部
との接触を検出して、回転軸を駆動している駆動源を停
止させる。
力空気を供給し、軸受部を軸受支持部の内周面に浮上さ
せて支持すると共に、回転軸を軸受部の内周面に浮上さ
せて支持する。回転軸に過負荷が加わり、回転軸と軸受
部とが接触しかかると、軸受部は軸受支持部との間の空
隙に逃げて回転軸と軸受部との間の接触を避ける。更
に、軸受部と軸受支持部とが接触するような大きな負荷
が加わった時は、接触検出器により軸受支持部と軸受部
との接触を検出して、回転軸を駆動している駆動源を停
止させる。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示す側断面図で、円筒状の中空
部を有するのケーシング１の内側に円筒状の中空部を有
する軸受支持部２を固定してある。軸受支持部２の内側
には、円筒状の空間部を設け、外周面が軸受支持部２の
内周面と空隙を介して対向し、内周面が回転軸３の外周
面と空隙を介して対向する中空円筒状の軸受部４を空隙
を介して収納してある。ケーシング１の内周面には凹部
を設けて軸受支持部２の外周との間に空気溜り溝１１を
形成し、図示しない圧力空気装置からケーシング１の外
周に開口する空気供給孔１２を介して空気溜り溝１１に
圧力空気を供給するようにしてある。軸受支持部２に
は、軸受支持部２の外周面と内周面に開口して軸受支持
部２を貫通し、半径方向に伸びる複数個の通気孔２１と
軸方向に伸びる通気孔２２とを設けてある。通気孔２
１、２２の軸受部４に対向する側には噴出口２３、２４
を形成し、空気溜り溝１１から供給された圧力空気を軸
受支持部２の内周面の噴出口２３および軸方向噴出口２
４から軸受受け部４の外周面に向かって噴出し、軸受部
４を半径方向および軸方向に浮上させて支持するように
してある。軸受部４には同心円状に形成された空間から
なる空気溜り部４１を設け、外周には軸受支持部２およ
びケーシング１を貫通して伸びる突起部４２を設け、突
起部４２の中に外部に開口する空気供給孔４３を設け
て、図示しない圧力空気装置から空気溜り部４１に圧力
空気を供給するようにしてある。軸受部４の内周面には
噴出口４４を設け、空気溜り部４１から噴出口４４を通
り、軸受部４と回転軸３との間に圧力空気を噴出させ、
回転軸３を浮上させて支持するようにしてある。軸受支
持部２と軸受部４との間には接触検出器５を設け、軸受
支持部２と軸受部４とが接触した時に、回転軸３を駆動
している駆動源を停止させるようにしてある。回転軸３
を回転駆動する時は、空気供給孔１２、４３から圧力空
気を供給し、軸受部４を軸受支持部２の内周面に浮上さ
せて支持すると共に、回転軸３を軸受部４の内周面に浮
上させて支持する。回転軸３に過負荷が加わり、回転軸
３と軸受部４との間に接触が生じかかると、軸受部４は
軸受支持部２との間の空隙に逃げて回転軸３と軸受部４
との間の接触を避ける。更に、軸受部４と軸受支持部２
とが接触するような大きな負荷が加わった時は、接触検
出器５により軸受支持部２と軸受部４との接触を検出し
て、回転軸３を駆動している駆動源を停止させる。
図１は本発明の実施例を示す側断面図で、円筒状の中空
部を有するのケーシング１の内側に円筒状の中空部を有
する軸受支持部２を固定してある。軸受支持部２の内側
には、円筒状の空間部を設け、外周面が軸受支持部２の
内周面と空隙を介して対向し、内周面が回転軸３の外周
面と空隙を介して対向する中空円筒状の軸受部４を空隙
を介して収納してある。ケーシング１の内周面には凹部
を設けて軸受支持部２の外周との間に空気溜り溝１１を
形成し、図示しない圧力空気装置からケーシング１の外
周に開口する空気供給孔１２を介して空気溜り溝１１に
圧力空気を供給するようにしてある。軸受支持部２に
は、軸受支持部２の外周面と内周面に開口して軸受支持
部２を貫通し、半径方向に伸びる複数個の通気孔２１と
軸方向に伸びる通気孔２２とを設けてある。通気孔２
１、２２の軸受部４に対向する側には噴出口２３、２４
を形成し、空気溜り溝１１から供給された圧力空気を軸
受支持部２の内周面の噴出口２３および軸方向噴出口２
４から軸受受け部４の外周面に向かって噴出し、軸受部
４を半径方向および軸方向に浮上させて支持するように
してある。軸受部４には同心円状に形成された空間から
なる空気溜り部４１を設け、外周には軸受支持部２およ
びケーシング１を貫通して伸びる突起部４２を設け、突
起部４２の中に外部に開口する空気供給孔４３を設け
て、図示しない圧力空気装置から空気溜り部４１に圧力
空気を供給するようにしてある。軸受部４の内周面には
噴出口４４を設け、空気溜り部４１から噴出口４４を通
り、軸受部４と回転軸３との間に圧力空気を噴出させ、
回転軸３を浮上させて支持するようにしてある。軸受支
持部２と軸受部４との間には接触検出器５を設け、軸受
支持部２と軸受部４とが接触した時に、回転軸３を駆動
している駆動源を停止させるようにしてある。回転軸３
を回転駆動する時は、空気供給孔１２、４３から圧力空
気を供給し、軸受部４を軸受支持部２の内周面に浮上さ
せて支持すると共に、回転軸３を軸受部４の内周面に浮
上させて支持する。回転軸３に過負荷が加わり、回転軸
３と軸受部４との間に接触が生じかかると、軸受部４は
軸受支持部２との間の空隙に逃げて回転軸３と軸受部４
との間の接触を避ける。更に、軸受部４と軸受支持部２
とが接触するような大きな負荷が加わった時は、接触検
出器５により軸受支持部２と軸受部４との接触を検出し
て、回転軸３を駆動している駆動源を停止させる。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、回
転軸に過負荷が加わっても、軸受部が回転軸との接触を
避けると共に、軸受部と軸受支持部が接触するような時
には回転軸を停止させるので、過負荷が生じてもカジリ
が発生することがなく、安全な静圧気体軸受を提供でき
る効果がある。
転軸に過負荷が加わっても、軸受部が回転軸との接触を
避けると共に、軸受部と軸受支持部が接触するような時
には回転軸を停止させるので、過負荷が生じてもカジリ
が発生することがなく、安全な静圧気体軸受を提供でき
る効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す側断面図である。
１ ケーシング １１ 空気溜り溝 １２、４３ 空気供給孔 ２ 軸受支持部 ２１、２２ 通気孔 ２３、２４、４４ 噴出口 ３ 回転軸 ４ 軸受部 ４１空気溜り部 ４２ 突起部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 秀司 福岡県北九州市小倉北区大手町12番１号 株式会社安川電機小倉工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 回転軸の外周面に空隙を介して対向する
軸受部と、前記軸受部の内周面に複数の噴出口とを設
け、前記噴出口から圧力気体を噴出させることにより生
じる軸受部と回転軸との間の静圧により回転軸を支持す
る静圧気体軸受において、前記軸受部の外周に空隙を介
して対向する軸受支持部と、前記軸受支持部の内周面に
開口するように設けた噴出口と、前記軸受支持部に設け
た噴出口に前記軸受部と前記軸受支持部との間の空隙に
静圧を発生させる圧力気体を供給する通気孔とを設けた
ことを特徴とする静圧気体軸受。 - 【請求項２】 前記軸受支持部と前記軸受部との接触を
検出する接触検出器を設けた請求項１記載の静圧気体軸
受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26546992A JP3341853B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 静圧軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26546992A JP3341853B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 静圧軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694033A true JPH0694033A (ja) | 1994-04-05 |
| JP3341853B2 JP3341853B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=17417606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26546992A Expired - Fee Related JP3341853B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 静圧軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3341853B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100816360B1 (ko) * | 2005-11-11 | 2008-03-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구 |
| JP2008309236A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Ihi Corp | 静圧流体ジャーナル軸受 |
| TWI666391B (zh) * | 2014-05-21 | 2019-07-21 | 英商諾萬特科技英國有限公司 | 氣體軸承心軸及感測氣體軸承心軸之負載的方法 |
| CN113550978A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-10-26 | 哈尔滨工业大学 | 一种紧凑型气动高速静压空气主轴 |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP26546992A patent/JP3341853B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100816360B1 (ko) * | 2005-11-11 | 2008-03-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 내모멘트 대책 정압기체 베어링기구 |
| JP2008309236A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Ihi Corp | 静圧流体ジャーナル軸受 |
| TWI666391B (zh) * | 2014-05-21 | 2019-07-21 | 英商諾萬特科技英國有限公司 | 氣體軸承心軸及感測氣體軸承心軸之負載的方法 |
| CN113550978A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-10-26 | 哈尔滨工业大学 | 一种紧凑型气动高速静压空气主轴 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3341853B2 (ja) | 2002-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080823 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090823 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |