JPH0687873B2 - 粘着性フィルムドレッシング - Google Patents
粘着性フィルムドレッシングInfo
- Publication number
- JPH0687873B2 JPH0687873B2 JP16104192A JP16104192A JPH0687873B2 JP H0687873 B2 JPH0687873 B2 JP H0687873B2 JP 16104192 A JP16104192 A JP 16104192A JP 16104192 A JP16104192 A JP 16104192A JP H0687873 B2 JPH0687873 B2 JP H0687873B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- release liner
- adhesive film
- film dressing
- sticking
- linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、医療用または外科用粘
着性フィルムドレッシングに関するものである。詳細に
は創傷被覆材並びに静脈用カテーテル（ＩＶカテーテ
ル）固定用などに使用される粘着性フィルムドレッシン
グに関する。
着性フィルムドレッシングに関するものである。詳細に
は創傷被覆材並びに静脈用カテーテル（ＩＶカテーテ
ル）固定用などに使用される粘着性フィルムドレッシン
グに関する。
【０００２】
【従来の技術・発明が解決しようとする課題】創傷被覆
およびＩＶカテーテル固定用などに広く用いられている
粘着性フィルムドレッシングは、通常、薄い重合体フィ
ルム、感圧性粘着剤層および剥離ライナーを積層した構
造からなっており、ＩＶカテーテル固定用としては、例
えば１０ｃｍ角程度のシート状のものというように、そ
の目的、用途に応じて各種寸法および形状のものが提供
されている。
およびＩＶカテーテル固定用などに広く用いられている
粘着性フィルムドレッシングは、通常、薄い重合体フィ
ルム、感圧性粘着剤層および剥離ライナーを積層した構
造からなっており、ＩＶカテーテル固定用としては、例
えば１０ｃｍ角程度のシート状のものというように、そ
の目的、用途に応じて各種寸法および形状のものが提供
されている。
【０００３】このような粘着性フィルムドレッシングシ
ートを皮膚等に適用する場合は、感圧性粘着剤層に仮着
された剥離ライナーを剥離除去し、シートの周縁部を保
持して皮膚に貼り付けるが、剥離ライナーを除去したシ
ートの周縁部を持つときに粘着面に触れることとなるた
め、取扱いにくいばかりでなく、手指による汚染の問題
もある。また、剥離ライナーが除去されたドレッシング
シートはその薄さ故に形状を保ちにくく、従って従来の
フィルムドレッシングシートは、シートを少し引っ張っ
た状態で皮膚に貼付されることがあり、そのために貼付
後皮膚の引っ張りに起因した皮膚刺激を生じる等の問題
がある。
ートを皮膚等に適用する場合は、感圧性粘着剤層に仮着
された剥離ライナーを剥離除去し、シートの周縁部を保
持して皮膚に貼り付けるが、剥離ライナーを除去したシ
ートの周縁部を持つときに粘着面に触れることとなるた
め、取扱いにくいばかりでなく、手指による汚染の問題
もある。また、剥離ライナーが除去されたドレッシング
シートはその薄さ故に形状を保ちにくく、従って従来の
フィルムドレッシングシートは、シートを少し引っ張っ
た状態で皮膚に貼付されることがあり、そのために貼付
後皮膚の引っ張りに起因した皮膚刺激を生じる等の問題
がある。
【０００４】従って、本発明の目的は、改良された取り
扱い特性を有する粘着性フィルムドレッシングを提供す
ると共に、皮膚引っ張り感の少ない粘着性フィルムドレ
ッシングを提供することにある。
扱い特性を有する粘着性フィルムドレッシングを提供す
ると共に、皮膚引っ張り感の少ない粘着性フィルムドレ
ッシングを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の如き問題
点を解決するためになされたものである。即ち、本発明
は、皮膚に順応し得るフィルム、前記フィルムの少なく
とも後記粘着部分に対応する部位に設けられた感圧性粘
着剤層、および感圧性粘着剤層上に設けられた剥離ライ
ナーからなる粘着性フィルムドレッシングであって、粘
着性フィルムドレッシングを貼付部分と非貼付部分とに
分けるための線状脆弱部が設けられ、且つ剥離ライナー
の貼付部分に対応する部分に剥離ライナー剥離用の線状
脆弱部が設けられてなる粘着性フィルムドレッシングに
係るものである。
点を解決するためになされたものである。即ち、本発明
は、皮膚に順応し得るフィルム、前記フィルムの少なく
とも後記粘着部分に対応する部位に設けられた感圧性粘
着剤層、および感圧性粘着剤層上に設けられた剥離ライ
ナーからなる粘着性フィルムドレッシングであって、粘
着性フィルムドレッシングを貼付部分と非貼付部分とに
分けるための線状脆弱部が設けられ、且つ剥離ライナー
の貼付部分に対応する部分に剥離ライナー剥離用の線状
脆弱部が設けられてなる粘着性フィルムドレッシングに
係るものである。
【０００６】本発明に用いられるフィルムを構成する材
質は、皮膚に順応し得るものであれば特に制限はなく、
例えばアクリル重合体、ポリエチレン、エチレン−酢酸
ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリエーテルポリエス
テルおよびナイロン誘導体等の重合体等が使用される。
これらのうち、アクリル重合体、ポリウレタン、ポリエ
ーテルポリエステルおよびナイロン誘導体等の重合体
は、フィルムとしたときの水蒸気透過性に優れているの
で、被覆した皮膚の呼吸を妨げることが少なく、且つ皮
膚の白化現象を抑制することができるという理由や、透
明性を有しているため貼付場所を見ながら貼付すること
ができ、ＩＶカテーテル固定用の場合にはカテーテル挿
入部の観察が可能となるという理由から特に好ましい。
質は、皮膚に順応し得るものであれば特に制限はなく、
例えばアクリル重合体、ポリエチレン、エチレン−酢酸
ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリエーテルポリエス
テルおよびナイロン誘導体等の重合体等が使用される。
これらのうち、アクリル重合体、ポリウレタン、ポリエ
ーテルポリエステルおよびナイロン誘導体等の重合体
は、フィルムとしたときの水蒸気透過性に優れているの
で、被覆した皮膚の呼吸を妨げることが少なく、且つ皮
膚の白化現象を抑制することができるという理由や、透
明性を有しているため貼付場所を見ながら貼付すること
ができ、ＩＶカテーテル固定用の場合にはカテーテル挿
入部の観察が可能となるという理由から特に好ましい。
【０００７】当該フィルムの厚さは、皮膚に順応し得る
厚さであることが望ましく、通常２０〜１５０μｍ、好
ましくは２５〜７５μｍ程度である。
厚さであることが望ましく、通常２０〜１５０μｍ、好
ましくは２５〜７５μｍ程度である。
【０００８】本発明で使用される感圧性粘着剤として
は、各種の感圧性粘着剤、例えば天然ゴム系、合成ゴム
系、アクリル系、シリコーン系等の感圧性粘着剤が挙げ
られる。また、上記と同様の理由から透明性を有してい
ることが望ましい。かかる観点から、アクリル系感圧性
粘着剤が好ましく用いられる。
は、各種の感圧性粘着剤、例えば天然ゴム系、合成ゴム
系、アクリル系、シリコーン系等の感圧性粘着剤が挙げ
られる。また、上記と同様の理由から透明性を有してい
ることが望ましい。かかる観点から、アクリル系感圧性
粘着剤が好ましく用いられる。
【０００９】このような感圧性粘着剤層をフィルム上に
設ける為の手段としては、例えば粘着剤組成物をフィル
ム上に塗布する方法、予め成形された粘着剤組成物より
なる膜をフィルム上に設ける方法等が挙げられ、これら
は自体既知の手段にて行われる。この感圧性粘着剤層の
厚みは、通常１０〜６０μｍ、好ましくは２０〜５０μ
ｍ程度とすればよい。
設ける為の手段としては、例えば粘着剤組成物をフィル
ム上に塗布する方法、予め成形された粘着剤組成物より
なる膜をフィルム上に設ける方法等が挙げられ、これら
は自体既知の手段にて行われる。この感圧性粘着剤層の
厚みは、通常１０〜６０μｍ、好ましくは２０〜５０μ
ｍ程度とすればよい。
【００１０】感圧性粘着剤層上に設けられる剥離ライナ
ーの材料としては、プラスチックフィルム（例えばポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、およびこれ
らの積層複合体等）、紙（例えば上質紙、クラフト紙
等）等が挙げられ、好ましくは紙（例えば上質紙、クラ
フト紙等）等である。また、これらの表面にシリコーン
樹脂処理やフッソ樹脂処理等を施すことにより、剥離ラ
イナーを得る。
ーの材料としては、プラスチックフィルム（例えばポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、およびこれ
らの積層複合体等）、紙（例えば上質紙、クラフト紙
等）等が挙げられ、好ましくは紙（例えば上質紙、クラ
フト紙等）等である。また、これらの表面にシリコーン
樹脂処理やフッソ樹脂処理等を施すことにより、剥離ラ
イナーを得る。
【００１１】本発明においては、重合体フィルムの上に
塗布等の手段よって設けられた感圧性粘着剤層上に剥離
ライナーを設け、貼付部分と非貼付部分とを切り離し可
能にするための線状脆弱部（例えば、破線状の切込み）
を設けると共に、貼付部分の剥離ライナーの剥離を容易
にするために、剥離ライナーを少なくとも二分割するよ
うな線状脆弱部（例えば、曲線または直線状の切込み）
を設けるか、あるいは貼付部分と非貼付部分とを切り離
し可能にする前記線状脆弱部の内側にこれと平行になる
ように線状脆弱部（例えば、曲線または直線状の切込
み）を設けて、本発明の粘着性フィルムドレッシングと
する。
塗布等の手段よって設けられた感圧性粘着剤層上に剥離
ライナーを設け、貼付部分と非貼付部分とを切り離し可
能にするための線状脆弱部（例えば、破線状の切込み）
を設けると共に、貼付部分の剥離ライナーの剥離を容易
にするために、剥離ライナーを少なくとも二分割するよ
うな線状脆弱部（例えば、曲線または直線状の切込み）
を設けるか、あるいは貼付部分と非貼付部分とを切り離
し可能にする前記線状脆弱部の内側にこれと平行になる
ように線状脆弱部（例えば、曲線または直線状の切込
み）を設けて、本発明の粘着性フィルムドレッシングと
する。
【００１２】次に、図面を参照しながら本発明を更に詳
細に説明する。図１は本発明の粘着性フィルムドレッシ
ングの一実施例を示す平面図、図２はそのＡ−Ａ’断面
図である。図３、図４、図５および図６は、本発明にお
ける他の実施例を示す平面図である。図中、１は皮膚に
順応し得るフィルム（好適には透明な重合体フィル
ム）、２は感圧性粘着剤層（好適には透明な感圧性粘着
剤層）、３は剥離ライナーである。４は貼付部分と非貼
付部分とに分けるための線状脆弱部であり、前記１、２
および３を貫通して設けられている破線状の切込みであ
ることが好ましい。この線状脆弱部４によって、粘着性
フィルムドレッシングは貼付部分４１と非貼付部分４２
とに分けられ、後に（即ち、皮膚に貼付後に）、非貼付
部分４２は破線状の切込み４に沿って切り離される。ま
た、剥離ライナー３の貼付部分４１には、剥離ライナー
剥離用の線状脆弱部３１、例えば曲線状または直線状の
切込み線が設けられている。
細に説明する。図１は本発明の粘着性フィルムドレッシ
ングの一実施例を示す平面図、図２はそのＡ−Ａ’断面
図である。図３、図４、図５および図６は、本発明にお
ける他の実施例を示す平面図である。図中、１は皮膚に
順応し得るフィルム（好適には透明な重合体フィル
ム）、２は感圧性粘着剤層（好適には透明な感圧性粘着
剤層）、３は剥離ライナーである。４は貼付部分と非貼
付部分とに分けるための線状脆弱部であり、前記１、２
および３を貫通して設けられている破線状の切込みであ
ることが好ましい。この線状脆弱部４によって、粘着性
フィルムドレッシングは貼付部分４１と非貼付部分４２
とに分けられ、後に（即ち、皮膚に貼付後に）、非貼付
部分４２は破線状の切込み４に沿って切り離される。ま
た、剥離ライナー３の貼付部分４１には、剥離ライナー
剥離用の線状脆弱部３１、例えば曲線状または直線状の
切込み線が設けられている。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を詳細に説明するために実施例
を挙げるが、本発明はこれら実施例によって何ら限定さ
れるものではない。
を挙げるが、本発明はこれら実施例によって何ら限定さ
れるものではない。
【００１４】実施例１ 図１および図２に示したように、本発明の第１の実施例
の粘着性フィルムドレッシングは、皮膚に順応し得るフ
ィルム（重合体フィルム）１として、厚さ３０μｍのポ
リエーテルポリアミドブロックポリマーフィルムを用
い、この上にアクリル系粘着剤よりなる感圧性粘着剤層
２が厚さ３０μｍとして設けられ、この感圧性粘着剤層
２上に表面にシリコーン樹脂処理を施した紙よりなる剥
離ライナー３が設けられた積層物よりなる。当該粘着性
フィルムドレッシングは、積層物の相対する両端部を帯
状の非貼付部分４２とし、残りを貼付部分４１とすべ
く、重合体フィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ラ
イナー３を貫通する２本の破線状の切込みである線状脆
弱部４が設けられ、また剥離ライナー３を分割する直線
状の切込みである線状脆弱部３１が剥離ライナー３に設
けられている。当該粘着性フィルムドレッシングは、１
０×１０ｃｍ角の大きさである。
の粘着性フィルムドレッシングは、皮膚に順応し得るフ
ィルム（重合体フィルム）１として、厚さ３０μｍのポ
リエーテルポリアミドブロックポリマーフィルムを用
い、この上にアクリル系粘着剤よりなる感圧性粘着剤層
２が厚さ３０μｍとして設けられ、この感圧性粘着剤層
２上に表面にシリコーン樹脂処理を施した紙よりなる剥
離ライナー３が設けられた積層物よりなる。当該粘着性
フィルムドレッシングは、積層物の相対する両端部を帯
状の非貼付部分４２とし、残りを貼付部分４１とすべ
く、重合体フィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ラ
イナー３を貫通する２本の破線状の切込みである線状脆
弱部４が設けられ、また剥離ライナー３を分割する直線
状の切込みである線状脆弱部３１が剥離ライナー３に設
けられている。当該粘着性フィルムドレッシングは、１
０×１０ｃｍ角の大きさである。
【００１５】実施例２ 図３に示された実施例のものは、切込み３１が曲線状と
されている以外は、図１および図２に示される粘着性フ
ィルムドレッシングと基本的に同じである。
されている以外は、図１および図２に示される粘着性フ
ィルムドレッシングと基本的に同じである。
【００１６】実施例３ 図４に示された実施例のものは、当該積層物に、重合体
フィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ライナー３を
貫通する破線状の切込みである線状脆弱部４が設けら
れ、窓枠状に非貼付部分４２が形成され、残る部分が貼
付部分４１である。また、剥離ライナー３を分割する曲
線状の切込みである線状脆弱部３１が剥離ライナー３に
設けられている。当該粘着性フィルムドレッシングは１
０×１０ｃｍ角の大きさである。
フィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ライナー３を
貫通する破線状の切込みである線状脆弱部４が設けら
れ、窓枠状に非貼付部分４２が形成され、残る部分が貼
付部分４１である。また、剥離ライナー３を分割する曲
線状の切込みである線状脆弱部３１が剥離ライナー３に
設けられている。当該粘着性フィルムドレッシングは１
０×１０ｃｍ角の大きさである。
【００１７】実施例４ 図５に示された実施例のものは、当該積層物に、重合体
フィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ライナー３を
貫通する破線状の切込みである線状脆弱部４が設けら
れ、四隅に各々三角形状の非貼付部分４２が形成され、
残る部分が貼付部分４１である。また、剥離ライナー３
を分割する曲線状の切込みである線状脆弱部３１が剥離
ライナー３に設けられている。当該粘着性フィルムドレ
ッシングは１０×１０ｃｍ角の大きさである。
フィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ライナー３を
貫通する破線状の切込みである線状脆弱部４が設けら
れ、四隅に各々三角形状の非貼付部分４２が形成され、
残る部分が貼付部分４１である。また、剥離ライナー３
を分割する曲線状の切込みである線状脆弱部３１が剥離
ライナー３に設けられている。当該粘着性フィルムドレ
ッシングは１０×１０ｃｍ角の大きさである。
【００１８】上記実施例１〜４に記載の粘着性フィルム
ドレッシングは、例えば以下のようにして使用される。
即ち、まず線状脆弱部３１より貼付部分４１に対応する
剥離ライナー３を剥離し、感圧性粘着剤層２の粘着面を
露出させる。次に非貼付部分４２を保持しながら（透
明）ドレッシングの中央部を通して配置部位を見なが
ら、患者身体上の適用箇所に貼付する。（透明）ドレッ
シングの中央部を固定した後、非貼付部分４２を保持し
ながら線状脆弱部４から非貼付部分４２を切り落とす。
ドレッシングは、例えば以下のようにして使用される。
即ち、まず線状脆弱部３１より貼付部分４１に対応する
剥離ライナー３を剥離し、感圧性粘着剤層２の粘着面を
露出させる。次に非貼付部分４２を保持しながら（透
明）ドレッシングの中央部を通して配置部位を見なが
ら、患者身体上の適用箇所に貼付する。（透明）ドレッ
シングの中央部を固定した後、非貼付部分４２を保持し
ながら線状脆弱部４から非貼付部分４２を切り落とす。
【００１９】実施例５ 図６に示された実施例のものは、当該積層物に重合体フ
ィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ライナー３を貫
通する破線状の切込みである線状脆弱部４にて、窓枠状
に非貼付部分４２が形成されている。また、この線状脆
弱部４の内側にこれと平行になるように線状の切込みで
ある線状脆弱部３１が剥離ライナー３に設けられてい
る。図６に示される如き粘着性フィルムドレッシングは
１０×１０ｃｍ角の大きさである。
ィルム１、感圧性粘着剤層２および剥離ライナー３を貫
通する破線状の切込みである線状脆弱部４にて、窓枠状
に非貼付部分４２が形成されている。また、この線状脆
弱部４の内側にこれと平行になるように線状の切込みで
ある線状脆弱部３１が剥離ライナー３に設けられてい
る。図６に示される如き粘着性フィルムドレッシングは
１０×１０ｃｍ角の大きさである。
【００２０】上記実施例５に記載の粘着性フィルムドレ
ッシングは、例えば次のようにして使用される。即ち、
まず線状脆弱部４と線状脆弱部３１によって形成される
帯状部３２を起点として、貼付部分４１に対応する剥離
ライナー３を剥離し、感圧性粘着剤層２の粘着面を露出
させる。次に非貼付部分４２を保持しながら（透明）ド
レッシングの中央部を通して配置部位を見ながら、患者
身体上の適用箇所に貼付する。（透明）ドレッシングの
中央部を固定した後、非貼付部分４２を保持しながら線
状脆弱部４から非貼付部分４２を切り落とす。
ッシングは、例えば次のようにして使用される。即ち、
まず線状脆弱部４と線状脆弱部３１によって形成される
帯状部３２を起点として、貼付部分４１に対応する剥離
ライナー３を剥離し、感圧性粘着剤層２の粘着面を露出
させる。次に非貼付部分４２を保持しながら（透明）ド
レッシングの中央部を通して配置部位を見ながら、患者
身体上の適用箇所に貼付する。（透明）ドレッシングの
中央部を固定した後、非貼付部分４２を保持しながら線
状脆弱部４から非貼付部分４２を切り落とす。
【００２１】
【発明の効果】本発明の粘着性フィルムドレッシング
は、貼付部分の粘着面に触れることなく被着体に貼付す
ることができるので、取扱い易い上に、手指による汚染
等の問題がない。しかも、その使用時にシートを少し引
っ張った状態で皮膚に貼付する必要がないので、貼付後
皮膚の引っ張りに起因した皮膚刺激を生じにくい。
は、貼付部分の粘着面に触れることなく被着体に貼付す
ることができるので、取扱い易い上に、手指による汚染
等の問題がない。しかも、その使用時にシートを少し引
っ張った状態で皮膚に貼付する必要がないので、貼付後
皮膚の引っ張りに起因した皮膚刺激を生じにくい。
【図１】本発明の粘着性フィルムドレッシングの一実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面を示す図である。
【図３】本発明の粘着性フィルムドレッシングの他の実
施例を示す平面図である。
施例を示す平面図である。
【図４】本発明の粘着性フィルムドレッシングの第三の
実施例を示す平面図である。
実施例を示す平面図である。
【図５】本発明の粘着性フィルムドレッシングの第四の
実施例を示す平面図である。
実施例を示す平面図である。
【図６】本発明の粘着性フィルムドレッシングの第五の
実施例を示す平面図である。
実施例を示す平面図である。
１ 皮膚に順応し得るフィルム ２ 感圧性粘着剤層 ３ 剥離ライナー ４ 貼付部分と非貼付部分とに分けるための線状脆弱部 ３１ 剥離ライナー剥離用の線状脆弱部 ３２ 帯状部 ４１ 貼付部分 ４２ 非貼付部分
Claims (4)
- 【請求項１】 皮膚に順応し得るフィルム、前記フィル
ムの少なくとも後記粘着部分に対応する部位に設けられ
た感圧性粘着剤層、および感圧性粘着剤層上に設けられ
た剥離ライナーからなる粘着性フィルムドレッシングで
あって、粘着性フィルムドレッシングを貼付部分と非貼
付部分とに分けるための線状脆弱部が設けられ、且つ剥
離ライナーの貼付部分に対応する部分に剥離ライナー剥
離用の線状脆弱部が設けられてなることを特徴とする粘
着性フィルムドレッシング。 - 【請求項２】 粘着性フィルムドレッシングを貼付部分
と非貼付部分とに分けるための線状脆弱部として、破線
状の切込みが設けられてなる請求項１記載の粘着性フィ
ルムドレッシング。 - 【請求項３】 剥離ライナーの貼付部分における線状脆
弱部が、貼付部分を少なくとも二分割するために当該剥
離ライナーの中央部に設けられてなる請求項１記載の粘
着性フィルムドレッシング。 - 【請求項４】 剥離ライナーの貼付部分における線状脆
弱部が、粘着性フィルムドレッシングを貼付部分と非貼
付部分とに分けるための線状脆弱部の内側に、これと平
行に設けられてなる請求項１記載の粘着性フィルムドレ
ッシング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16104192A JPH0687873B2 (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 粘着性フィルムドレッシング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16104192A JPH0687873B2 (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 粘着性フィルムドレッシング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06202A JPH06202A (ja) | 1994-01-11 |
| JPH0687873B2 true JPH0687873B2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=15727477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16104192A Expired - Lifetime JPH0687873B2 (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 粘着性フィルムドレッシング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687873B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4325292A1 (en) | 2022-08-10 | 2024-02-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Chemically amplified positive resist composition and resist pattern forming process |
| EP4343433A1 (en) | 2022-09-22 | 2024-03-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymer, chemically amplified positive resist composition, resist patterning process, and mask blank |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP16104192A patent/JPH0687873B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4325292A1 (en) | 2022-08-10 | 2024-02-21 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Chemically amplified positive resist composition and resist pattern forming process |
| EP4343433A1 (en) | 2022-09-22 | 2024-03-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polymer, chemically amplified positive resist composition, resist patterning process, and mask blank |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06202A (ja) | 1994-01-11 |
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