JPH0679380B2 - 焦点誤差検出装置 - Google Patents

焦点誤差検出装置

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JPH0679380B2
JPH0679380B2 JP63322498A JP32249888A JPH0679380B2 JP H0679380 B2 JPH0679380 B2 JP H0679380B2 JP 63322498 A JP63322498 A JP 63322498A JP 32249888 A JP32249888 A JP 32249888A JP H0679380 B2 JPH0679380 B2 JP H0679380B2
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靖夫 木村
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンパクトディスク、ビデオディスク、等か
らの記録信号の再生、光ディスク、光磁気ディスク等へ
の情報信号の記録、再生、消去に用いられる光ヘッドの
焦点誤差検出装置に関する。
〔従来の技術〕
コンパクトディスク、ビデオディスク等からの記録信号
の再生、光ディスク、光磁気ディスク等への情報信号の
記録、再生、消去に用いられる光ヘッドは、光記録シス
テムの中で最も重要かつ基本的な部分である。光ヘッド
には、長寿命、高信頼という特性とともに、光ディスク
ドライブの小型化、高転送レート化、高アクセス速度化
のために、小型で軽量あることが望まれており、この要
求を満足するために、焦点誤差検出用光学系に用いられ
てきた従来のバルク形の光学部品を、ホログラムや単純
格子などの薄膜状の格子光学素子で置き換える試みが進
められている。
第2図は従来提案されてきた反射形ホログラム光学素子
を用いた光ヘッドの焦点誤差検出用の光学系を示す斜視
図である。光源である半導体レーザ1を出射した光は反
射形ホログラム光学素子2で正反射されて収束レンズ3
に導かれ、光記録媒体である光ディスク4上に集光す
る。光ディスク4からの反射光は収束レンズ3の作用に
より収束波となって反射形ホログラム光学素子2に再入
射する。反射形ホログラム光学素子2には入射収束波を
半導体レーザ近傍に配置された光検出器5に導く作用を
持つ表面レリーフが形成されているため、光ディスク4
からの反射光を光検出器5で検出することができ、焦点
誤差検出動作を実現している。
第3図は反射型ホログラム光学素子2と光検出器5の関
係を模式的に示したものである。図において、反射型ホ
ログラム光学素子2は、半導体レーザ1から見た場合
を、光検出器5は受光面側からみた場合、すなわち反射
型ホログラム光学素子2側から見た場合を示している。
反射型ホログラム素子2の上部に入射した光(上部入射
光)6は光検出器5の第2の分割線7の左側の第1の分
割線8上に終息し、反射型ホログラム光学素子2の下部
に入射した光(下部入射光)9は光検出器5の第2の分
割線7の右側の第1の分割線8上に収束する。
第4図は光ディスク4の焦点ずれが生じた場合の光検出
器上でのスポット形状を模式的に示したもので、第4図
(b)が焦点が合った状態である。光ディスク4が収束
レンズ3に近づく方向にずれた場合(第4図(a))、
光スポットは、光検出器5の第1セグメント10と第4セ
グメント13に入射する。反対に、収束レンズ3から遠ざ
かる方向にずれた場合(第4図(c))は、光検出器5
の第2セグメント11と第3セグメント12にのみ入射す
る。従って、焦点誤差信号Sfeは、各セグメントの出力
をVn(n=1〜4)としたとき Sfe=(V1−V2)+(V4−V3) で与えられる。この焦点誤差検出装置では、おもに第1
の分割線8の上下方向での光強度の差から焦点誤差を検
出するために、光検出器と光スポットの第1の分割線8
に沿う方向の相対的な位置ずれは、どちらかの光スポッ
トが第2の分割線7を越えない限りは焦点誤差検出動作
になんら影響を与えない。
〔発明が解決しようとする課題〕
ホログラムのような格子光学素子を用いた場合に最も大
きな問題となるのは光源である半導体レーザの発振波長
変動である。発振波長が変動するとそれにより格子光学
素子の回折角が変動する。このため従来の技術では、第
2図において、光検出器の第1の分割線8と半導体レー
ザ1の発光点18と反射型ホログラム光学素子2の分割線
21が同一平面内にあるよう配置して、つまり、第2図に
示すA、A′が同一平面内になるよう配置して、回折角
変動の焦点誤差検出動作への影響を除去しようとしてい
た。しかしながら、従来の技術による解決法により焦点
移動の影響を完全に除去できるのは、ホログラム光学素
子への入射光線と反射光線及び回折光線がすべて同一平
面内にあるときのみであり、この条件からはずれる場合
には収束点は光検出器5の第1の分割線8とある角度を
持った方向に移動し、結果として焦点誤差信号強度の劣
化や、焦点誤差信号オフセットの発生等の問題が生じて
いた。さらに、焦点ずれが生じた場合の光検出器上での
スポット形状変化に関しては、第4図に示したように、
光ディスク4が接近する方向への焦点ずれと、光ディス
クが遠ざかる方向への焦点ずれに対して、分割線に対し
て対称な形状変化となるのは、ホログラム光学素子への
入射光線と反射光線及び回折光線がすべて同一平面内に
あるときのみであり、それ以外では対称な形状変化とな
らない。第5図はその一例を示している。第5図(a)
は光ディスク4が収束レンズ3に近づく方向にずれた場
合であり、第5図(c)は収束レンズ3から遠ざかる方
向にずれた場合、第5図(b)は焦点が合った場合を表
わしている。このような形状変化の非対称性は、焦点誤
差信号強度の劣化を招いていた。
本発明は、上記問題点を解決した温度安定性に優れた焦
点誤差検出装置を供給することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために、本発明が提供する手段
は、常温での発振波長λを有する光源と、光源を出射
した光を光記録媒体上に集光させる結像光学系と、第1
の分割線と該第1の分割線と略直交する第2の分割線に
より少なくとも4個のセグメントに分けられた光検出器
と、前記光記録媒体で反射し、前記結像光学系を経てき
た反射光を前記光検出器に導くためのは反射型格子光学
素子とを少なくとも有し、前記反射型格子光学素子は、
前記光源の出射光の光軸と交差する反射型格子光学素子
分割線直線により第1の領域と第2の領域に分けられ、
前記反射型格子光学素子の第1の領域への波長λの入
射光を回折光として前記光検出器の前記第1の分割線上
の点(第1の収束点)に、前記反射型格子光学素子の第
2の領域への波長λの入射光を回折光として前記光検
出器の前記第1の分割線上の点(第1の収束点)にそれ
ぞれ収束させる作用を有し、前記光軸と前記反射型格子
光学素子分割直線との交点、前記第1の分割線と前記第
2の分割線の交点及び前記光源の発光点が同一平面上に
あるように前記光源、前記反射型格子光学素子、前記光
検出器を配置し、さらに、前記反射型格子光学素子の反
射面をX−Y平面、前記交点を原点、原点を通りX−Y
平面に垂直な軸をZ軸にとった直交座標系を定めて、前
記第1の収束点の座標を(xf1,yf1,zf1)、前記第2の
収束点の座標を(xf2,yf2,zf2)、前記光源の発光点の
座標を(xg,yg,zg)、前記第1の収束点と前記第2の収
束点を結ぶ線分上の中点の座標を(xf,yf,zf)、動作保
障温度域に対応する前記光源の発振波長変動幅をλ
λ(λ<λ<λ)、前記第1の分割線幅をwと
し、 nouti(λ)=[1−{(louti(λ)} −{mouti(λ)}1/2 ti(λ)=df2/{xf・louti(λ)+yf・mout(λ) +zf・nouti(λ)} xpi(λ)=louti(λ)・ti(λ) ypi(λ)=mouti(λ)・ti(λ) zpi(λ)=nouti(λ)・ti(λ) A=yfzg−ygzf B=xgzf−xfzg C=xfyg−xgyf としたとき、Y1(λ)とY2(λ)は同符号で、 |Y1(λ)|,|Y2(λ)|2.8W となる関係を満足し、かつ、Y1(λ)とY2(λ)は
同符号で、 |Y1(λ)|,|Y2(λ)|2.8W 成る関係を満足し、前記反射型格子光学素子分割直線
は、結像光学系の倍率をmf、焦点誤差検出のダイナミッ
クレンジを±αdとし、 m=2・▲m2 f▼・αd α=xfzfzg−xgzf2−xgyf2 β=yfzfzg−ygzf2−xf2yg γ={▲x2 f▼(yfyg−xfzg)+▲y2 f▼(xfxg−zfz
g) +zf2(xfxg−yfyg)}/zf lin={xg(dg+m)−xhdg}/DB1 min={yg(dg+m)−yhdg}/DB1 DB1=[d2d(dg+m)−dg(dg+m)(xgxh+ygyh) +(xh2+yh2)dg21/2 lout=lin−{(xg−xh)/DB2−(xf−xh)/DB3} mout=min−{(yg−yh)/DB2−(yf−yh)/DB3tp={xh(zfyg−yfzg)+yh(xfzg−xgzf)}/ {lout(yfzg−zfyg)+mout(xgzf−xfzg) +nout(xfyg−xgyf)} xp=lout・tp+xh yp=mout・tp+yh zp=nout・tp としたとき、 xp−xf:yp−yf:zp−zf=α:β:γ なる関係を略満足する反射型格子光学素子上の点(xh、
yh、O)と、座標原点を結ぶ直線となることを特徴とす
る構成になっている。
〔作用〕
以下、本発明の作用を図面と数式を用いて詳しく説明す
る。以下、光ビームの光検出器上への到達点をスポット
と呼び、特に、半導体レーザの発振波長が設計上の波長
と等しい場合、すなわち、反射型ホログラム光学素子の
設計上の光スポット位置をそれぞれ第1収束点、第2収
束点と呼ぶことにする。
本発明では、ダブルナイフエッジ法の原理による焦点誤
差検出が、ナイフエッジと光学的に垂直な方向への光検
出器の位置ずれに対して大きなトランスを有することを
用いて上述の問題を解決している。第6図はダブルナイ
フエッジ法の原理による焦点誤差検出における分割線と
垂直方向への光検出器の位置ずれに対するトレランスを
説明するための図で、第6図(b)は合焦時のスポット
形状を示している。焦点誤差信号Sfeは光検出器22のセ
グメント31〜34の各出力をそれぞれV1〜V4としたとき Sfe=(V1+V4)−(V2+V3) で与えられるので、光スポット25,26の位置が光検出器2
2ナイフエッジと光学的に平行な第1の分割線23に対し
て上にずれた場合(第6図(a))でも、下にずれた場
合(第6図(c))でも焦点誤差信号は相殺されて零に
なり、焦点誤差信号オフセットは生じない。ただし、分
割線からのずれが大きくなりすぎると、焦点誤差検出感
度が低下し、読み出し信号強度が低下する。ここで、読
み出し信号強度と光スポット25,26の第1及び第2収束
点位置からの位置ずれとの関係を実験的に求めたとこ
ろ、分割線の幅10μm、光スポット径10μmの場合、読
み出し信号強度が第1及び第2収束点16,17に光スポッ
ト25,26がある場合に比べて80%にまで低下するのは、
位置ずれ量が28μmの時であった。つまり、位置ずれ量
が分割線の幅2.8倍以内であれば、信号強度量は実用上
問題無いレベルを確保することができる。したがって、
光源の発振波長変動にともなう光検出器上での光スポッ
ト25,26の移動が、2つの光スポットに対して同一方向
で、かつ、その移動量が光検出器の分割線幅の2.8倍以
内であるように、光検出器の分割線及び、分割線上の収
束点位置を決定すればよい。
以下、上述の条件を数式を用いて記述する。第7図は、
計算上の反射型ホログラム光学素子27の位置、半導体レ
ーザの発光点14、光検出器上の光ビームの収束点15を示
すための図である。反射型ホログラム光学素子27はX−
Y平面にあり、このX−Y平面に垂直な軸をZ軸とした
直交座標系を考え、半導体レーザの発光点14を(xg、y
g、zg)、光検出器上の第1または第2収束点の位置15
を(xf、yf、zf)とする。
ここで、 とする。ホログラム光学素子の記録される干渉縞はこれ
ら2点からの発散球面波によるものであり、その位相伝
達関数は次式で与えられる。
ここで、λは、反射型ホログラム光学素子の設計波長
であり、通常、半導体レーザの常温での発振波長に対応
する。このような位相伝達関数を持つ反射型ホログラム
光学素子の方向余弦(lin、min、nin)を持つ光線が入
射するとする。ここでは、反射型のホログラム光学素子
を考えているので、入射光線の方向余弦は反射型ホログ
ラム光学素子の表面で正反射した光線の方向余弦を考え
ればよい。いま、半導体レーザを出射した光は光ディス
ク上に正しく集光しているとすると、光ディスクからの
戻り光は、レーザの発光点14を収束点に持つような波面
となって反射型ホログラム光学素子27に入射する。従っ
て反射型ホログラム光学素子27への入射光線の方向余弦
は、原点を通過する光線について lin=xg/dg (4) min=yg/dg (5) nin=zg/dg (6) となる。1981年発行のアプライド オプティックス(Ap
plied Optics)誌、第20巻、第208ページより掲載のエ
イチ.ダブリュ.ホロウェイ(H.W.Holloway)らの文献
によると、ホログラム光学素子の作用を受けた出射光線
の方向余弦(lout、mout、nout)は次式で与えられる。
ここで、λは、動作時のレーザの発振波長である。従
って、方向余弦(lin、min、nin)で原点に入射した光
線が反射型ホログラム光学素子の作用を受けて出射する
と、その出射光線を表わす方程式 ここで、光検出器の受光面を、点(xf、yf、zf)を含
み、原点と点(xf、yf、zf)を結ぶ直線と直交する平面
に取ると、その方程式は、 xf(x−xf)+yf(y−yf)+zf(z−zf)=0(11) となる。従って、ホログラム光学素子の回折の作用を受
けた光線の光検出器上での位置、すなわち、光スポット
の位置(xpd、ypd、zpd)は(10)、(11)式より、 xpd=lout・df2/A (12) ypd=mout・df2/A (13) zpd=nout・df2/A (14) A=xf・lout+yf・mout+zf・nout (15) となる。したがって、光検出器の分割線の中心と点(xp
d、ypd、zpd)との距離Y(λ)は(11)〜(15)式を
用いて、 となる。ここで、本焦点誤差検出装置の動作保障温度範
囲に対応する発振波長変動幅をλ〜λ(λ<λ
<λ)とすると、Y(λ)の満足すべき条件はwを光
検出器の分割線幅とすると、 |Y(λ)|2.8W (17) |Y1(λ)|2.8W (18) とかくことができる。ここで、本発明による焦点誤差検
出装置では光検出器上に2つの光スポットを形成し、4
分割された光検出器の対角和の差成分から焦点誤差検出
を行なうために、2つの光スポットに対するY(λ)の
符号は常に同じとなるようにする。
さらに、従来の技術で問題となった焦点ずれが生じた場
合の光検出器上でのスポット形状変化の非対称性に関し
て、本発明では次のような方法で解決している。光ディ
スクが収束レンズから遠ざかる方向に位置ずれした時
は、戻り光の収束位置は光軸上をレーザの発光点から収
束レンズに近付く方向にずれる。逆に、光ディスクが収
束レンズに近付く方向に位置ずれすると戻り光の収束位
置は光軸上をレーザの発光点から収束レンズに遠ざかる
方向にずれる。ここで、戻り光の収束位置とレーザの発
光点の距離をm、戻り光の収束位置を(xg′、yg′、z
g′)、ホログラム光学素子上の点を(xh、yh、0)と
すると、 (xg′、yg′、zg′)と(xh、yh、0)を結ぶ直線の方
向ベクトル(L、M、N)は L=xg(dg+m)−xh・dg (19) M=yg(dg+m)−yh・dg (20) N=zg(dg+m) (21) となるので、点(xh、yh、0)に入射する光線の方向余
弦(l′in、m′in、n′in)は、 I′in=L/B′={xg(dg+m)−xh・dg}/B′ (22) m′in=M/B′={yg(dg+m)−yh・dg)/B′ (23) n′in=N/B′={zg(dg+m)}/B′ (24) となる。ホログラム光学素子により回折の効果を受けた
光線の方向余弦は(l′out、m′out、n′out)上述
の場合と同様に、 となる。ここでλ=λとおく。点(xh、yh、0)を
とおり、方向余弦(l′out、m′out、n′out)を持
つ光線が光検出器の受光面と交わる点を(xp、yp、zp)
とすれば、(12)式を用いて xp=l′out・tp+xh (29) yp=m′out・tp+yh (30) zp=n′out・tp (31) tp={xh(zfyg−yfzg)+yh(xfzg−xgzf)}/ {l′out(yfzg−zfyg)+m′out(xgzf−xfzg) +n′out(xfyg−xgyf)} (32) となる。いま光検出器受光面上の基準となる直線(基準
線)として、光検出器上の点(xf,yf,zf)と半導体レー
ザの発光点(xg,yg,zg)及び原点の3点を含む平面と光
検出器受光面との光線を考える。上記3点を含む平面
は、 x(yfzg−ygzf)−y(xfzg−xgzf)+z(xfyg−xgy
f)=0 で表されるから、求める光線の方向ベクトル(α,β,
γ)は α=xfzfzg−xgxf2−xgyf2 β=yfzfzg−ygzf2−xf2yg γ={xf2(yfyg−zfzg)+yf2(xfxg−zfzg) +zf2(xfxg−yfzg)}/zf となる。
ここで、 xp−xf:yp−yf:zp−zf=α:β:γ (33) を満足させるようなホログラム光学素子上の点(xh′、
yh′、0)が存在する。従って、この点(xh′、yh′、
0)と原点を結ぶ直線を反射型ホログム光学素子の分割
線とすればよい。ここで式(19)〜(33)からわかるよ
うに、点(x′h、y′n、0)はmの関数であるの
で、特定のmについてのみ式(33)を満足することにな
る。ホログラム光学素子の分割線を決定するためには、
所望の焦点誤差検出のダイナミックレンジからm値を決
定すればよい。結像光学系の倍率をmf、焦点誤差検出の
ダイナミックレンジを±αdとすれば、m値はおよそ、 m=2・mf2・αd (34) で与えられる。
〔実施例〕
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。第1図は本発明の実施例を説明するための斜視図
である。なお、説明では、これまで用いてきた座標系
(反射型ホログラム光学素子はX−Y平面にあり、中心
が座標原点)を用いる。
本実施例では入射光線と正反射光線のなす角を90度と
し、実装上の観点から光検出器22上の第1収束点16(xf
1,yf1,zf1)、と第2の収束点17(xf2,yf2,zf2)を結ぶ
線分の中点(xf,yf,zf)、半導体レーザ1の発光点(x
g,yg,zg)18、および反射型ホログラム光学素子27の中
心(座標原点19)が同一平面(以下、基準平面20と呼
ぶ)上にくるように配置している。ここで、 とする。反射軽ホログラム光学素子27のフォーカルパワ
ーを極力取り除いて、波長変動による縦方向の収差の発
生を抑えるために、df1=df2=dgとしている。
第8図は光検出器22の各セグメントと、反射型ホログラ
ム光学素子27の2つの領域の相互関係を示すための図で
ある。図において、反射型ホログラム光学素子27は、半
導体レーザ1から見た場合を、光検出器22は受光面側か
らみた場合、すなわち反射型ホログラム光学素子27側か
ら見た場合を示している。光検出器22は第1の分割線23
と第2の分割線24により4分割されている。第1の分割
線23は第1の収束点16と第2の収束点17を含んでいる。
第9図はオンフォーカスの場合の光スポット位置の波長
変動による軌跡を計算により求めたものである。ここで
反射型ホログラム光学素子27の中心(座標原点19)と半
導体レーザ1の発光点、および光検出器上の2つの収束
点16、17との距離を14.56mm、光検出器上の2つの収束
点間の距離を260μm、2つの収束点を結ぶ線分の中点
に対する平均回折角を22.48゜、基準平面20と光検出器2
2の第1分割線23となす角を10゜、光検出器の分割線幅
を10μmとしている。またここで、半導体レーザの発振
波長変動幅を、0.78μmを基準波長として、0.775μm
から0.79μmとした。この変動幅は約60℃の温度変動に
対応する。この配置で、第1の分割線23に直交する方向
(Y方向)への絶対移動量が最も大きくなるのはλ=0.
79μmの場合で、第1の収束点16に対する移動量は約6.
2μm、第2の収束点17に対する移動量は約2.7μmとな
り、許容移動量(分割線幅×2.8)より十分小さい値と
することができた。
反射型ホログラム光学素子27の領域分割線28は上述の
(33)式で与えられる条件をほぼ満足するように設定し
た。本実施例では、倍率5.5倍の収束レンズを用い、焦
点誤差検出のダイナミックレンジを±7μmとして設計
したのでm値は m=2×7μm×5.52=423.5μmとなる。この式から
与えられるm値と第1の収束点16の位置、及び第2の収
束点17の位置から、それぞれの位置に対して(33)式を
満足する反射型ホログラム光学素子分割線の28の方程式
が求められる。通常の場合、第1の収束点と第2の収束
点間の距離は反射型ホログラム光学素子とそれぞれの収
束点間の距離に比べて十分小さい。したがって、求めら
れた2つの直線はほとんど等しいものとなる。そこで、
第1の収束点と第2の収束点の中点に対して(33)式を
満足する直線を反射型ホログラム光学素子の分割線28と
して用いた。この場合、分割線に対して常に非対称な形
状変化となるが、その量はごくわずかなものであり、焦
点誤差検出動作にはなんら影響を与えない。
第10図は焦点ずれが生じた際の光検出器22上での光スポ
ット形状を模式的に示したもので、第10図(b)がオン
・フォーカスの場合を示している。光ディスク4が収束
レンズ3に近づく方向に位置ずれした場合(第10図
(a))、光スポットは光検出器22の第1セグメント31
と第4セグメント34にのみ入射する。反対に光ディスク
4が収束レンズ3から遠ざかる方向に位置ずれした場合
(第10図(c))、光スポットは光検出器22の第2セグ
メント32と第3セグメント33にのみ入射する。従って各
セグメントの出力をV1、V2、V3、V4とすると、焦点誤差
信号Sfeは、 Sfe=(V1−V2)+(V4−V3) で与えられる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、光源の波長変動に対して非常に安定な
誤差検出特性を有する焦点誤差検出装置を提供できる。
また、本発明で用いる反射型格子光学素子は、半導体デ
バイスを作製する製造プロセスと類似の製造プロセスを
用いることにより、安定に、大量にかつ安価に作製でき
るので、非常に低価格な焦点誤差検出装置を提供するこ
とが可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を説明するための斜視図、第2
図は従来の装置の斜視図、第3図、第4図、第5図は従
来の技術を説明するための図、第6図は本発明の作用を
説明するための図、第7図、第8図、第9図、第10図は
本発明の実施例を説明するための図である。 1……半導体レーザ、2……反射型ホログラム、3……
収束レンズ、4……光ディスク、5……光検出器、6…
…上部入射光、7……第2の分割線、8……第1の分割
線、9……下部入射光、10……第1セグメント、11……
第2セグメント、12……第3セグメント、13……第4セ
グメント、14,18……発光点、15……収束点、16……第
1の収束点、17……第2の収束点、19……座標原点、20
……基準平面、21……反射型ホログラム光学素子分割
線、22……光検出器、23……第1の分割線、24……第2
の分割線、25,26……光スポット、27……反射型ホログ
ラム光学素子、28……反射型ホログラム光学分割線、31
……第1セグメント、32……第2セグメント、33……第
3セグメント、34……第4セグメント。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】常温での発振波長λを有する光源と、光
    源を出射した光を光記録媒体上に集光させる結像光学系
    と、第1の分割線と該第1の分割線に略直交する第2の
    分割線により少なくとも4個のセグメントに分けられた
    光検出器と、前記光記録媒体で反射し、前記結像光学系
    を経てきた反射光を前記光検出器に導くため反射型格子
    光学素子とを少なくとも有し、前記反射型格子光学素子
    は、前記光源の出射光の光軸と交差する反射型格子光学
    素子分割直線により第1の領域と第2の領域に分けら
    れ、前記反射型格子光学素子の第1の領域への波長λ
    の入射光を回折光として前記光検出器の前記第1の分割
    線上の点(第1の収束点)に、前記反射型格子光学素子
    の第2の領域への波長λの入射光を回折光として前記
    光検出器の前記第1の分割線上の点(第2の収束点)に
    それぞれ収束させる作用を有し、前記光軸と前記反射型
    格子光学素子分割直線との交点、前記第1の分割線と前
    記第2の分割線の交点及び前記光源の発光点が同一平面
    上にあるように前記光源、前記反射型格子光学素子、前
    記光検出器を配置し、さらに、前記反射型格子光学素子
    の反射面をX−Y平面、前記交点を原点、原点を通りX
    −Y平面に垂直な軸をZ軸にとった直交座標系を定め
    て、前記第1の収束点の座標を(xf1,yf1,zf1)、前記
    第2の収束点の座標を(xf2,yf2,zf2)、前記光源の発
    光点の座標を(xg,yg,zg)、前記第1の収束点と前記第
    2の収束点を結ぶ線分上の中点の座標を(xf,yf,zf)、
    動作保障温度領域に対応する前記光源の発振波長変動幅
    をλ〜λ(λ<λ<λ)、前記第1の分割線
    幅をwとし、 nouti(λ)=[1−{louti(λ)}−{mouti
    (λ)}1/2 ti(λ)=▲d2 f▼/{xf・louti(λ)+yf・mouti
    (λ)+zf・nouti(λ)} xpi(λ)=louti(λ)・ti(λ) ypi(λ)=mouti(λ)・ti(λ) zpi(λ)=nouti(λ)・ti(λ) A=yfzg−ygzf B=xfzg−xgzf C=xfyg−xgyf としたとき、Y1(λ)とY2(λ)は同符合で、 |Y1(λ)|,|Y2(λ)|2.8W となる関係を満足し、かつ、Y1(λ)とY2(λ)は
    同符合で、 |Y1(λ)|,|Y2(λ)|2.8W なる関係を満足し、前記反射型格子光学素子分割直線
    は、結像光学系の倍率をmf、焦点誤差検出のダイナミッ
    クレンジを±adとし、 m=2・▲m2 f▼・ad xf=(x1f+x2f)/2 yf=(y1f+y2f)/2 zf=(z1f+z2f)/2 α=xfzfzg−xg▲z2 f▼−xg▲y2 f▼ β=yfzfzg−yg▲z2 f▼−▲x2 f▼yg γ={▲x2 f▼(yfyg−zfzg)+yf(xfxg−zfzg+▲z
    2 f▼(xfxg−yfyg)}/zf lin={xg(dg+m)−xhdg}/DB1 min={yg(dg+m)−yhdg}/DB1 DB1=[▲d2 g▼(dg+m)−2dg(dg+m)(xgxh+
    ygyh)+(▲x2 h▼+▲y2 h▼)▲d2 g]1/2▼ lout=lin−{(xg−xh)/DB2−(xf−xh)/DB3} mout=min−{(yg−yh)/DB2−(yf−yh)/DB3tp={xh(zfyg−yfzg)+yh(xfzg−xgzf)/ {lout(yfzg−zfyg)+mout(xgzf−xfzg) +nout(xf・yg−xgyf)} xp=lout・tp+xh yp=mout・tp+yh zp=nout・tp+zh としたとき、 xp−xf:yp−yf:zp−zf=α:β:γ なる関係を略満足する反射型格子光学素子上の点(xh,y
    h,O)と、座標原点を結ぶ直線となることを特徴とする
    焦点誤差検出装置。
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