JPH0679346A - 非晶質磁性線の製造方法 - Google Patents
非晶質磁性線の製造方法Info
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- JPH0679346A JPH0679346A JP23722692A JP23722692A JPH0679346A JP H0679346 A JPH0679346 A JP H0679346A JP 23722692 A JP23722692 A JP 23722692A JP 23722692 A JP23722692 A JP 23722692A JP H0679346 A JPH0679346 A JP H0679346A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気弾性波を発生、伝搬、検出する非晶質磁
性線の製造方法に関し、非晶質磁性線の磁気的方差に影
響を与えずに細線化が行なえることを目的とする。 【構成】 回転液中紡糸法によりFe系非晶質磁性線１ａ
を形成し、次にダイス２を用いた線引き加工より非晶質
磁性線１ａを線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂとする。
さらに、線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂをエッチング
により磁気的方差に影響なく線径５０μｍの非晶質磁性
線１ｃまで細線化する。
性線の製造方法に関し、非晶質磁性線の磁気的方差に影
響を与えずに細線化が行なえることを目的とする。 【構成】 回転液中紡糸法によりFe系非晶質磁性線１ａ
を形成し、次にダイス２を用いた線引き加工より非晶質
磁性線１ａを線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂとする。
さらに、線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂをエッチング
により磁気的方差に影響なく線径５０μｍの非晶質磁性
線１ｃまで細線化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は非晶質磁性線の製造方法
に係り、特に磁気弾性波を発生伝搬検出する非晶質磁性
線の製造方法に関する。
に係り、特に磁気弾性波を発生伝搬検出する非晶質磁性
線の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】線引されたままの非晶質磁性線は磁気的
に硬くなっており、そのため、磁気弾性波を駆動・検出
することは困難であるが、磁気弾性波の伝搬効率は高
く、線引後熱処理された非晶質磁性線は磁気的に軟らか
くなり、磁気弾性波の駆動・検出は容易になるが、伝搬
効率は低下するという性質がある。
に硬くなっており、そのため、磁気弾性波を駆動・検出
することは困難であるが、磁気弾性波の伝搬効率は高
く、線引後熱処理された非晶質磁性線は磁気的に軟らか
くなり、磁気弾性波の駆動・検出は容易になるが、伝搬
効率は低下するという性質がある。
【０００３】この性質を利用して、一旦線引された上
で、その一部を選択的に熱処理された非晶質磁性線がす
でに出願されている。ここでは、このような処理を局所
熱処理と呼ぶことにする。このような、局所熱処理磁性
線は熱処理されない部分を伝搬路として利用することに
より、磁気弾性波を効率的に伝搬させ、熱処理部付近に
駆動・検出コイルおよびバイアスコイルを設置して、熱
処理部を駆動・検出源として働かせ、容易に磁気弾性波
の駆動・検出が行える構成とし、位置センサ等の各種セ
ンサとして用いられている。
で、その一部を選択的に熱処理された非晶質磁性線がす
でに出願されている。ここでは、このような処理を局所
熱処理と呼ぶことにする。このような、局所熱処理磁性
線は熱処理されない部分を伝搬路として利用することに
より、磁気弾性波を効率的に伝搬させ、熱処理部付近に
駆動・検出コイルおよびバイアスコイルを設置して、熱
処理部を駆動・検出源として働かせ、容易に磁気弾性波
の駆動・検出が行える構成とし、位置センサ等の各種セ
ンサとして用いられている。
【０００４】局所熱処理磁性線は実際には、熱処理され
ない部分も、わずかながら駆動・検出に寄与する。この
ため、上記のような特徴を十分に発揮するためには、熱
処理された部分とされない部分の特性の差が十分に大き
いことが必要とされる。
ない部分も、わずかながら駆動・検出に寄与する。この
ため、上記のような特徴を十分に発揮するためには、熱
処理された部分とされない部分の特性の差が十分に大き
いことが必要とされる。
【０００５】また、非晶質磁性線には磁気弾性波の波長
に対する線径の比が大きくなると様々な伝搬モードが可
能となるため、線径が小さいほど、高い周波数まで、磁
気弾性波を単一モードで伝搬させることができる性質が
ある。
に対する線径の比が大きくなると様々な伝搬モードが可
能となるため、線径が小さいほど、高い周波数まで、磁
気弾性波を単一モードで伝搬させることができる性質が
ある。
【０００６】従来、このような非晶質磁性線は磁性体を
回転液中紡糸法により線状に形成した後、線引加工によ
り所望の線径に加工されていた。
回転液中紡糸法により線状に形成した後、線引加工によ
り所望の線径に加工されていた。
【０００７】線引き加工とはダイスの所望の線径と等し
い穴に非晶質磁性線を通し、引き抜くことによりダイス
の穴と同じ断面形状の非晶質磁性線を形成する加工法で
ある。
い穴に非晶質磁性線を通し、引き抜くことによりダイス
の穴と同じ断面形状の非晶質磁性線を形成する加工法で
ある。
【０００８】従来技術では線引を進めて線径を細くして
行くと、熱処理された状態とされない状態での特性の差
は、ある線径で最大値をとり、更に線引を進めると次第
に小さくなることがわかった。
行くと、熱処理された状態とされない状態での特性の差
は、ある線径で最大値をとり、更に線引を進めると次第
に小さくなることがわかった。
【０００９】図６は、線引後のFe77. 5Si7.5B15 磁性線
の磁気的な硬さの指標として、軸方向の保持力の測定値
を、線径の関数として表わしたものである。この図に示
されたように、線径９０μｍで保持力は最大値をとり、
更に線引を進めると保持力は低下する。即ち、線径９０
μｍまで線引した試料が最も磁気的に硬く、局所熱処理
の効果が大きく表れることになる。
の磁気的な硬さの指標として、軸方向の保持力の測定値
を、線径の関数として表わしたものである。この図に示
されたように、線径９０μｍで保持力は最大値をとり、
更に線引を進めると保持力は低下する。即ち、線径９０
μｍまで線引した試料が最も磁気的に硬く、局所熱処理
の効果が大きく表れることになる。
【００１０】図７は線引加工により非晶質磁性線を９０
μｍとした場合と５０μｍとした場合との磁気弾性波の
振幅測定値を比較するための図である。測定に当たって
は駆動コイルおよび検出コイルと、バイアス磁界印加用
のコイルとからなる同一の実験装置を用いた。それぞれ
の線径について、線引されたままの試料と線引後全体に
わたって熱処理された試料について、検出された磁気弾
性波の振幅を示している。
μｍとした場合と５０μｍとした場合との磁気弾性波の
振幅測定値を比較するための図である。測定に当たって
は駆動コイルおよび検出コイルと、バイアス磁界印加用
のコイルとからなる同一の実験装置を用いた。それぞれ
の線径について、線引されたままの試料と線引後全体に
わたって熱処理された試料について、検出された磁気弾
性波の振幅を示している。
【００１１】この結果からわかるように、９０μｍの場
合と比べ、熱処理前の保持力の小さい５０μｍの場合の
方が熱処理の有無による特性の差が小さく、前述の処理
による特徴が十分に生かされないことが予想される。
合と比べ、熱処理前の保持力の小さい５０μｍの場合の
方が熱処理の有無による特性の差が小さく、前述の処理
による特徴が十分に生かされないことが予想される。
【００１２】従って、より高い周波数の磁気弾性波を単
一モードで伝搬させることを目的として、線引によって
９０μｍより細くした磁性線に、局所熱処理を施した場
合、９０μｍまで線引した磁性線の場合と比べて、その
駆動・検出の周波数特性は悪化し、伝搬効率も低下す
る。
一モードで伝搬させることを目的として、線引によって
９０μｍより細くした磁性線に、局所熱処理を施した場
合、９０μｍまで線引した磁性線の場合と比べて、その
駆動・検出の周波数特性は悪化し、伝搬効率も低下す
る。
【００１３】このため、従来の製造方法では細線化によ
る効果が十分に得られなかった。
る効果が十分に得られなかった。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】従来の非晶質磁性線の
製造方法では非晶質磁性線を線径９０μｍ以下にすると
磁気弾性波の駆動・検出の周波数特性が悪化すると共
に、伝搬効率が低下してしまうため、細線化による効果
が十分に得られず、高い周波数の磁気弾性波を単一モー
ドで伝搬させる非晶質磁性線が得られない等の問題点が
あった。
製造方法では非晶質磁性線を線径９０μｍ以下にすると
磁気弾性波の駆動・検出の周波数特性が悪化すると共
に、伝搬効率が低下してしまうため、細線化による効果
が十分に得られず、高い周波数の磁気弾性波を単一モー
ドで伝搬させる非晶質磁性線が得られない等の問題点が
あった。
【００１５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、非晶質磁性線の磁気的特性に影響を与えずに細線化
が行なえる非晶質磁性線の製造方法を提供することを目
的とする。
で、非晶質磁性線の磁気的特性に影響を与えずに細線化
が行なえる非晶質磁性線の製造方法を提供することを目
的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は磁気弾性波を伝
達させる非晶質磁性線の細線を製造する非晶質磁性線の
製造方法において、非晶質磁性線をエッチングにより所
望の線径まで細線化する細線化工程を有してなる。
達させる非晶質磁性線の細線を製造する非晶質磁性線の
製造方法において、非晶質磁性線をエッチングにより所
望の線径まで細線化する細線化工程を有してなる。
【００１７】
【作用】細線化工程は非晶質磁性線をエッチングにより
所望の線径まで細線化する。エッチングは不要な力が印
加されないため非晶質磁性線の磁気的特性に影響を与え
ない。このため、磁気的な特性はそのままに細線化する
ことができる。
所望の線径まで細線化する。エッチングは不要な力が印
加されないため非晶質磁性線の磁気的特性に影響を与え
ない。このため、磁気的な特性はそのままに細線化する
ことができる。
【００１８】
【実施例】図１，図２は本発明の一実施例の製造工程を
説明するための図を示す。ここでは線径５０μｍの非晶
質磁性線の製造方法について説明する。Fe77. 5Si7.5B
15よりなる磁性体を回転紡糸法（特開昭５５−６４９４
８号公報参照）等により線状に加工し、線径１２５μｍ
以上のFe77. 5Si7.5B15 非晶質磁性線１ａを得る。
説明するための図を示す。ここでは線径５０μｍの非晶
質磁性線の製造方法について説明する。Fe77. 5Si7.5B
15よりなる磁性体を回転紡糸法（特開昭５５−６４９４
８号公報参照）等により線状に加工し、線径１２５μｍ
以上のFe77. 5Si7.5B15 非晶質磁性線１ａを得る。
【００１９】次に非晶質磁性線１ａを図１（Ａ）に示す
ようにその最小内径が約９０μｍのダイス穴２ａを有す
るダイス２に加熱せずに矢印Ｘ方向に通して引き抜く、
いわゆる冷間線引き加工により加工し、線径が９０μｍ
の非晶質磁性線１ｂを得る。次に、線径９０μｍとされ
た非晶質磁性線１ｂを図１（Ｂ）に示すように希硝酸３
が収容された容器４に入れ、希硝酸３によりエッチング
することにより線径５０μｍの非晶質磁性線１ｃを得
る。
ようにその最小内径が約９０μｍのダイス穴２ａを有す
るダイス２に加熱せずに矢印Ｘ方向に通して引き抜く、
いわゆる冷間線引き加工により加工し、線径が９０μｍ
の非晶質磁性線１ｂを得る。次に、線径９０μｍとされ
た非晶質磁性線１ｂを図１（Ｂ）に示すように希硝酸３
が収容された容器４に入れ、希硝酸３によりエッチング
することにより線径５０μｍの非晶質磁性線１ｃを得
る。
【００２０】図３は非晶質磁性線の軸方向の磁化曲線
で、（Ａ）は線径９０μｍまで線引した非晶質磁性線１
ｂの特性で、（Ｂ）は９０μｍまで線引した後、希硝酸
を用いて、線径５０μｍまでエッチングした１ｃの特性
の非晶質磁性線で、（Ｃ）は線径５０μｍまで線引のみ
によって加工された非晶質磁性線の特性を示す。（Ｃ）
は（Ａ）に比べ保磁力が低下しているのに対し、（Ｃ）
と同じ線径の（Ｂ）は（Ａ）と同じ保磁力を維持してい
る。即ち、エッチングは磁性線の磁気的な特性に影響を
与えない。
で、（Ａ）は線径９０μｍまで線引した非晶質磁性線１
ｂの特性で、（Ｂ）は９０μｍまで線引した後、希硝酸
を用いて、線径５０μｍまでエッチングした１ｃの特性
の非晶質磁性線で、（Ｃ）は線径５０μｍまで線引のみ
によって加工された非晶質磁性線の特性を示す。（Ｃ）
は（Ａ）に比べ保磁力が低下しているのに対し、（Ｃ）
と同じ線径の（Ｂ）は（Ａ）と同じ保磁力を維持してい
る。即ち、エッチングは磁性線の磁気的な特性に影響を
与えない。
【００２１】従って、一旦９０μｍまで線引した上で、
エッチングによって所望の線径まで加工された磁性線を
用いれば局所熱処理による特徴を十分に生かしたまま、
細い線径の磁性線を得ることができる。
エッチングによって所望の線径まで加工された磁性線を
用いれば局所熱処理による特徴を十分に生かしたまま、
細い線径の磁性線を得ることができる。
【００２２】次に線径５０μｍまで線引加工された非晶
質磁性線１ｃを図２に示すようにギャップ０．３ｍｍの
電極９ａ，９ｂで挟んで電源１０により電極９ａ，９ｂ
に電流を流し、そのとき、発生するジュール熱によって
局所的に熱処理を行う。
質磁性線１ｃを図２に示すようにギャップ０．３ｍｍの
電極９ａ，９ｂで挟んで電源１０により電極９ａ，９ｂ
に電流を流し、そのとき、発生するジュール熱によって
局所的に熱処理を行う。
【００２３】なお、本実施例ではエッチングにより、線
径を５０μｍとされた非晶質磁性線１ｃに熱処理した
が、エッチング前の線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂに
熱処理を施した後、線径５０μｍまでエッチングにより
細線化しても、同様な効果が得られる。
径を５０μｍとされた非晶質磁性線１ｃに熱処理した
が、エッチング前の線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂに
熱処理を施した後、線径５０μｍまでエッチングにより
細線化しても、同様な効果が得られる。
【００２４】図４は図１，図２により説明した製造方法
により形成された非晶質磁性線の構成図を示す。同図
中、１ｃ-1，１ｃ-2は図２に示す方法により熱処理され
た熱処理部を示す。図５は図３の非晶質磁性線を用いた
デバイスの構成図を示す。非晶質磁性線１ｃの熱処理部
１ｃ-1周囲には駆動コイル５が巻回され、更に駆動コイ
ル５を囲うようにバイアスコイル６が巻回される。
により形成された非晶質磁性線の構成図を示す。同図
中、１ｃ-1，１ｃ-2は図２に示す方法により熱処理され
た熱処理部を示す。図５は図３の非晶質磁性線を用いた
デバイスの構成図を示す。非晶質磁性線１ｃの熱処理部
１ｃ-1周囲には駆動コイル５が巻回され、更に駆動コイ
ル５を囲うようにバイアスコイル６が巻回される。
【００２５】また、非晶質磁性線１ｃの熱処理部１ｃ-2
周囲には検出コイル７が巻回され、さらに検出コイルを
囲うようにバイアスコイル８が巻回される。
周囲には検出コイル７が巻回され、さらに検出コイルを
囲うようにバイアスコイル８が巻回される。
【００２６】バイアスコイル６，８には直流電流が供給
されていて、熱処理部１ｃ-1，１ｃ -2にバイアス磁界を
印加する。駆動コイル５にはパルス信号が供給される。
駆動コイル５にパルス信号を供給することにより、熱処
理部１ｃ-1に磁気弾性波が発生する。熱処理部１ｃ-1で
発生した磁気弾性波は非晶質磁性線１ｃ内を伝達して、
熱処理部１ｃ-2に達する。熱処理部１ｃ-2は磁気弾性波
により磁気的な変化を生じる。熱処理部１ｃ-2が磁気弾
性波により磁気的に変化すると検出コイル７に磁気弾性
波に応じた検出信号が発生する。検出コイル７に発生す
る検出信号の振幅や駆動コイル５により磁気弾性波が発
生してから検出信号を検出するまでの時間に応じて各種
センシングを行なう。
されていて、熱処理部１ｃ-1，１ｃ -2にバイアス磁界を
印加する。駆動コイル５にはパルス信号が供給される。
駆動コイル５にパルス信号を供給することにより、熱処
理部１ｃ-1に磁気弾性波が発生する。熱処理部１ｃ-1で
発生した磁気弾性波は非晶質磁性線１ｃ内を伝達して、
熱処理部１ｃ-2に達する。熱処理部１ｃ-2は磁気弾性波
により磁気的な変化を生じる。熱処理部１ｃ-2が磁気弾
性波により磁気的に変化すると検出コイル７に磁気弾性
波に応じた検出信号が発生する。検出コイル７に発生す
る検出信号の振幅や駆動コイル５により磁気弾性波が発
生してから検出信号を検出するまでの時間に応じて各種
センシングを行なう。
【００２７】このとき、非晶質磁性線１ｃは線径９０μ
ｍから５０μｍまでエッチングにより細線化されてお
り、線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂの磁気的特性を維
持したまま、線径５０μｍとされているため、高い周波
数の磁気弾性波を単一モードで取扱うことができ、高速
で、かつ、確実な検出が行なえる。
ｍから５０μｍまでエッチングにより細線化されてお
り、線径９０μｍの非晶質磁性線１ｂの磁気的特性を維
持したまま、線径５０μｍとされているため、高い周波
数の磁気弾性波を単一モードで取扱うことができ、高速
で、かつ、確実な検出が行なえる。
【００２８】
【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、非晶質磁
性線を細線工程により細線化工程前の磁気的特性を維持
しつつ、必要とする径まで細線化することができるた
め、磁気弾性波の駆動検出効率及び伝搬効率を維持しつ
つ、高い周波数まで単一モードで伝搬させることができ
る等の特長を有する。
性線を細線工程により細線化工程前の磁気的特性を維持
しつつ、必要とする径まで細線化することができるた
め、磁気弾性波の駆動検出効率及び伝搬効率を維持しつ
つ、高い周波数まで単一モードで伝搬させることができ
る等の特長を有する。
【図１】本発明の一実施例の製造工程を説明するための
図である。
図である。
【図２】本発明の一実施例の製造工程を説明するための
図である。
図である。
【図３】本発明の一実施例の製造工程で製造された磁性
線の磁化曲線図である。
線の磁化曲線図である。
【図４】本発明の一実施例の製造工程で製造された磁性
線の断面図である。
線の断面図である。
【図５】本発明の一実施例の製造工程で製造された磁性
線を用いたセンサの構成図である。
線を用いたセンサの構成図である。
【図６】磁性線の熱処理による特性の変化を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図７】磁性線の熱処理による特性の変化を説明するた
めの図である。
めの図である。
１ａ〜１ｃ 非晶質磁性線 ２ ダイス ３ 希硝酸 ４ 容器 ５ 駆動コイル ６ バイアスコイル ７ 検出コイル ８ バイアスコイル ９ａ，９ｂ 電極 １０ 電流源
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気弾性波を伝達させる非晶質磁性線の
細線を製造する非晶質磁性線の製造方法において、 前記非晶質磁性線をエッチングにより所望の線径まで細
線化する細線化工程を有することを特徴とする非晶質磁
性線の製造方法。 - 【請求項２】 前記非晶質磁性線を熱処理する熱処理工
程を有することを特徴とする請求項１記載の非晶質磁性
線の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722692A JPH0679346A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 非晶質磁性線の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722692A JPH0679346A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 非晶質磁性線の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679346A true JPH0679346A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=17012254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23722692A Pending JPH0679346A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 非晶質磁性線の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679346A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0684092A1 (en) * | 1993-09-07 | 1995-11-29 | Aktsionernoe Obschedtvo Zakrytogo Tipa "Bimet-Nytva" | Method of manufacturing wire |
| CN103100576A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置 |
-
1992
- 1992-09-04 JP JP23722692A patent/JPH0679346A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0684092A1 (en) * | 1993-09-07 | 1995-11-29 | Aktsionernoe Obschedtvo Zakrytogo Tipa "Bimet-Nytva" | Method of manufacturing wire |
| EP0684092A4 (en) * | 1993-09-07 | 1996-01-12 | Aktsionernoe Obschedtvo Zakryt | WIRE PRODUCTION PROCESS. |
| CN103100576A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置 |
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