JPH067725A - Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet - Google Patents

Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet

Info

Publication number
JPH067725A
JPH067725A JP17320092A JP17320092A JPH067725A JP H067725 A JPH067725 A JP H067725A JP 17320092 A JP17320092 A JP 17320092A JP 17320092 A JP17320092 A JP 17320092A JP H067725 A JPH067725 A JP H067725A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main surfaces
resist
roll
resist film
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17320092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayasu Komatsu
小松隆泰
Yoshinori Murata
村田佳則
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP17320092A priority Critical patent/JPH067725A/en
Publication of JPH067725A publication Critical patent/JPH067725A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To form simply and without working load resist films with an arbitrary film thickness and being uniform and stable on each of both main faces of a thin metal sheet by improving a coating apparatus using a mere bar. CONSTITUTION:After both main faces of a thin metal sheet 1 are coated with a resist liq., rolls 4 and 5 with grooves each with a doctor roll 6 or 7 are provided in such a way that they are brought into contact with both main faces of the thin metal sheet 1 in parallel in the transverse direction and the both main faces are coated at the same time each with an arbitrary film thickness by restricting the amt. of coating of the resist liq. 3 with which the both main faces are coated and controlling respectively the ratio of peripheral speed of the doctor roll 6 or 7 to the roll 4 or 5 with grooves.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シャドウマスク、リー
ドフレームに代表される金属薄板に所定のパターンをケ
ミカルエッチングして製作する金属薄板製品の製造工程
において、連続した金属薄板へのレジスト膜の塗布方法
及び装置の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resist film for a continuous metal thin plate in a process of manufacturing a metal thin plate product which is produced by chemically etching a predetermined pattern on a metal thin plate represented by a shadow mask and a lead frame. The present invention relates to improvement of a coating method and apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】シャドウマスクやリードフレームに代表
される金属薄板に所定のパターンをケミカルエッチング
して製作する金属薄板製品の製造工程における連続した
金属薄板へのレジスト膜の塗布は、一般的にディップコ
ーティングが用いられ、膜厚の変更は容易に行うことが
できず、また、この方法では、金属薄板の両主面の各々
に任意の膜厚を形成させることは難しかった。
2. Description of the Related Art A resist film is generally applied to a continuous thin metal plate in a manufacturing process of a thin metal plate product which is produced by chemically etching a predetermined pattern on a thin metal plate represented by a shadow mask or a lead frame. Since coating is used, it is not possible to easily change the film thickness, and in this method, it is difficult to form an arbitrary film thickness on each of the two main surfaces of the metal thin plate.

【0003】また、上記のようなディップコーティング
において、レジスト液ディップ槽の液面にスクイズロー
ル、スリット等を配置し、このローラー間ないしスリッ
ト中を金属薄板を通して金属薄板に塗布されたレジスト
液を絞ることにより、膜厚を制御するものも知られてい
るが(例えば、実公昭62−23575号)、金属薄板
が振動することによって膜厚が変動する等の問題点があ
った。
In the above dip coating, squeeze rolls, slits, etc. are arranged on the liquid surface of the resist liquid dipping tank, and the resist liquid applied to the metal thin plate is squeezed through a metal thin plate between the rollers or in the slit. Thus, although a film thickness control device is known (for example, Japanese Utility Model Publication No. 62-23575), there has been a problem that the film thickness fluctuates due to the vibration of the thin metal plate.

【0004】ところで、塗布する膜の厚みを機械的に制
御する方法としてミヤバーを用いることは一般的に知ら
れているが、レジスト材の粘度が高くなり、かつ、塗布
スピードが速くなると、ミヤバーのワイヤーに起因する
塗布ムラが発生しやすく、また、金属薄板の両主面に対
するミヤバーの平行出しも容易に行うことができなかっ
た。
By the way, it is generally known to use a mill bar as a method for mechanically controlling the thickness of a film to be coated. However, when the viscosity of the resist material becomes high and the coating speed becomes fast, the thickness of the bar is reduced. The coating unevenness due to the wire was likely to occur, and it was not possible to easily parallelize the bar to both main surfaces of the metal thin plate.

【0005】このような状況において、本発明者は、ド
クターを付属させたミヤバーを用いて任意の膜厚で均一
の膜厚のレジスト膜を金属薄板の両主面に塗布する方法
と装置を提案した(特願平2−50752号)。
In such a situation, the present inventor proposes a method and an apparatus for applying a resist film having an arbitrary film thickness and a uniform film thickness to both main surfaces of a metal thin plate by using a doctor bar attached thereto. (Japanese Patent Application No. 2-50752).

【0006】この方法と装置は、ミヤバーのワイヤー径
を換えることにより膜厚を制御し、膜厚分布の均一性は
ミヤバーの平行度及び位置を調整して制御するものであ
った。
In this method and apparatus, the film thickness is controlled by changing the wire diameter of the bar, and the uniformity of the film thickness is controlled by adjusting the parallelism and the position of the bar.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このように、ドクター
を付属させたミヤバーを用いて金属薄板の両主面の各々
に任意の膜厚で均一で安定したレジスト膜を同時に形成
する場合、膜厚を変更するには、ミヤバーのワイヤー径
を換える必要がある。しかしながら、ミヤバーを取り替
えるには、作業負担が必要であり、さらに、塗布装置を
停止する必要がある。
As described above, when a uniform and stable resist film having an arbitrary film thickness is simultaneously formed on each of both main surfaces of a metal thin plate by using a doctor bar attached with a doctor, the film thickness To change the, it is necessary to change the wire diameter of the Miyabar. However, replacing the mill bar requires a work load and also requires stopping the coating device.

【0008】また、ミヤバーを用いる場合、ワイヤーを
巻き付けるロールの径が大きい程装置の機械精度上望ま
しいが、巻き付けるロールの径が大きくなればなる程そ
の巻付け作業は困難になり、また、ワイヤーはミクロに
見ればその長手方向にばらつきがあり、したがって、ミ
ヤバーの精度はあまり高精度にはできない。そのため、
塗布する膜厚の精度をより精密に制御することは困難で
ある。
Further, when using the miya bar, the larger the diameter of the roll around which the wire is wound is more desirable in terms of the mechanical accuracy of the apparatus. However, the larger the diameter of the roll around which the wire is wound, the more difficult the winding work becomes. Microscopically, there are variations in the longitudinal direction, and therefore the precision of the mill bar cannot be very high. for that reason,
It is difficult to control the precision of the applied film thickness more precisely.

【0009】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、ミヤバーを用いる塗布装置を
改良することによって、金属薄板の両主面の各々に簡単
に作業負担がなく任意の膜厚で均一で安定したレジスト
膜を同時に形成することができるレジスト膜塗布方法及
び装置を提供することである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to improve the coating device using a mill bar so that both main surfaces of a metal sheet can be easily operated without any work load. To provide a resist film coating method and apparatus capable of simultaneously forming a uniform and stable resist film with a uniform film thickness.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の連続金属薄板面へのレジスト膜塗布方法は、金属
薄板に所定のパターンをケミカルエッチングして製作す
る金属薄板製品の製造工程において、連続した金属薄板
の両主面にレジスト膜を塗布する方法であって、両主面
にレジスト液を塗布した後に、金属薄板の両主面の横断
方向に平行に接するようにドクターを付属させた溝付き
ロールを配置して、両主面に塗布されるレジスト液の塗
布量を規制してレジスト膜を塗布することを特徴とする
方法である。
A method for applying a resist film on a surface of a continuous thin metal plate according to the present invention which achieves the above object, is a method for manufacturing a thin metal plate product which is produced by chemically etching a predetermined pattern on a thin metal plate. The method is to apply a resist film to both main surfaces of a continuous thin metal plate, and after applying the resist solution to both main surfaces, attach a doctor so as to contact the main surfaces of the thin metal plate in parallel to the transverse direction. In this method, a grooved roll is arranged, and the resist film is applied by regulating the application amount of the resist solution applied to both main surfaces.

【0011】この場合、溝付きロールに対するドクター
ロールの周速比、金属薄板の送り速度に対する溝付きロ
ールの周速、又は、溝付きロールとドクターロールの間
隔の何れか1つ以上を制御することにより、金属薄板の
両主面の各々に任意の膜厚で同時に塗布することができ
る。
In this case, one or more of the peripheral speed ratio of the doctor roll with respect to the grooved roll, the peripheral speed of the grooved roll with respect to the feeding speed of the thin metal plate, or the interval between the grooved roll and the doctor roll should be controlled. With this, it is possible to simultaneously apply an arbitrary film thickness to each of both main surfaces of the thin metal plate.

【0012】また、本発明のもう1つの連続金属薄板面
へのレジスト膜塗布方法は、金属薄板に所定のパターン
をケミカルエッチングして製作する金属薄板製品の製造
工程において、連続した金属薄板の両主面にレジスト膜
を塗布する方法であって、両主面にレジスト液を塗布し
た後に、金属薄板の両主面の横断方向に平行に接するよ
うにドクターロールを付属させたミヤバーを配置し、か
つ、前記ミヤバーに対する前記ドクターロールの周速
比、金属薄板の送り速度に対する前記ミヤバーの周速、
又は、前記ミヤバーと前記ドクターロールの間隔の何れ
か1つ以上を制御することにより、両主面の各々に塗布
されるレジスト液の塗布量を規制して任意の膜厚で同時
に塗布するようにしたことを特徴とする方法である。
Further, another method of applying a resist film on the surface of a continuous thin metal plate of the present invention is a method for producing a thin metal plate product, which is produced by chemically etching a predetermined pattern on the thin metal plate. A method of applying a resist film on the main surface, which comprises applying a resist solution on both main surfaces, and then arranging a bar with a doctor roll attached so as to be in parallel with the transverse direction of both main surfaces of the metal thin plate, And, the peripheral speed ratio of the doctor roll to the miya bar, the peripheral speed of the miya bar to the feed speed of the metal sheet,
Alternatively, by controlling any one or more of the intervals between the mill bar and the doctor roll, the coating amount of the resist liquid applied to each of the both main surfaces is regulated so that the coating is performed at an arbitrary film thickness at the same time. It is a method characterized by doing.

【0013】[0013]

【作用】本発明においては、金属薄板の両主面の横断方
向に平行に接するようにドクターロールを付属させた溝
付きロールを配置して、両主面に塗布されるレジスト液
の塗布量を規制してレジスト膜を塗布しているので、ミ
ヤバーを用いる場合と同様、ドクターロールにて溝付き
ロール上のレジスト液が平滑化され、均一なレジスト膜
が塗布でき、塗布されるレジスト液の粘度及び塗布スピ
ードが変化しても、塗布膜の塗布ムラが発生せず均一な
レジスト膜が両主面に塗布される。
In the present invention, a grooved roll with a doctor roll is disposed so as to be in parallel contact with both main surfaces of the metal thin plate in parallel with each other, and the coating amount of the resist solution applied to both main surfaces is set. Since the resist film is regulated and applied, the resist solution on the grooved roll is smoothed by the doctor roll, and a uniform resist film can be applied, as in the case of using the mill bar, and the viscosity of the applied resist solution Also, even if the coating speed is changed, coating unevenness does not occur in the coating film, and a uniform resist film is coated on both main surfaces.

【0014】しかも、ミヤバーより容易に高精度の溝付
きロールが構成できるので、その塗布精度はより向上す
る。そして、溝付きロールに対するドクターロールの周
速比、金属薄板の送り速度に対する溝付きロールの周
速、又は、溝付きロールとドクターロールの間隔の何れ
か1つ以上を制御するだけで、レジスト液の粘度調整等
の時間のかかる作業を必要とせずに、金属薄板の両主面
の各々に任意の膜厚で同時に容易に塗布できる。なお、
この膜厚制御は、ミヤバーを用いる場合にも適用でき
る。
Moreover, since a grooved roll with high precision can be constructed more easily than the mill bar, its coating precision is further improved. Then, by controlling only one or more of the peripheral speed ratio of the doctor roll with respect to the grooved roll, the peripheral speed of the grooved roll with respect to the feed rate of the thin metal plate, or the interval between the grooved roll and the doctor roll, the resist solution It is possible to easily apply a desired film thickness to each of both main surfaces of the metal thin plate at the same time without requiring time-consuming work such as viscosity adjustment. In addition,
This film thickness control can also be applied to the case of using a miya bar.

【0015】なお、本発明はこれらの方法を実施する装
置も含むものである。
The present invention also includes an apparatus for carrying out these methods.

【0016】[0016]

【実施例】次に、本発明の連続金属薄板面へのレジスト
膜塗布方法及び装置を図面を参照にして説明する。図1
は、本発明の膜塗布方法を実施する装置の概略側面図で
あり、金属薄板1をレジスト液ディップ槽2に浸漬して
その両主面にレジスト液3を塗布後、溝付きロール4及
び5を金属薄板1の両主面の横断方向に平行に接触させ
てレジスト液3の塗布量を規制するようにする。このと
き、溝付きロール4、5それぞれの表面にドクターロー
ル6、7を接触させ、溝付きロール4、5の表面に付着
しているレジスト液を平滑化させることによって、レジ
スト液3の粘度及び塗布スピードが変化しても、両主面
の塗布量が規制された塗布膜の塗布ムラが発生すること
なく、金属薄板1上に均一なレジスト膜が形成されるよ
うになる。上記のドクターロール6、7を用いず、単に
溝付きロール4、5のみによって塗布量を規制すると、
金属薄板1の両主面に塗布されるレジスト膜の横断方向
の厚みにバラツキが発生し、レジスト膜として使用でき
ないものとなる。
The method and apparatus for applying a resist film on the surface of a continuous thin metal plate of the present invention will be described with reference to the drawings. Figure 1
FIG. 1 is a schematic side view of an apparatus for carrying out the film coating method of the present invention, in which a thin metal plate 1 is dipped in a resist solution dipping tank 2 and resist solution 3 is applied to both main surfaces thereof, and then grooved rolls 4 and 5 are used. Are contacted in parallel with the transverse direction of both main surfaces of the metal thin plate 1 to regulate the coating amount of the resist solution 3. At this time, the doctor rolls 6 and 7 are brought into contact with the respective surfaces of the grooved rolls 4 and 5 to smooth the resist solution adhering to the surfaces of the grooved rolls 4 and 5, thereby to obtain the viscosity of the resist solution 3 and Even if the coating speed is changed, a uniform resist film is formed on the thin metal plate 1 without causing uneven coating of the coating film in which the coating amount on both main surfaces is regulated. If the coating amount is regulated only by the grooved rolls 4 and 5 without using the doctor rolls 6 and 7,
The thickness of the resist film applied to both main surfaces of the metal thin plate 1 varies in the transverse direction, and it cannot be used as a resist film.

【0017】ところで、溝付きロール4、5は、図2に
その一部の断面を示すように、ロール10の周囲円周方
向にピッチが例えば1mm(溝11の幅が0.5m
m)、深さが例えば0.2mm程度の溝11を設けてな
るものであり、従来のミヤバーと同様に、レジスト液3
の塗布量を規制する作用をする。しかも、このような溝
付きロール4、5は、ミヤバーと異なり、機械精度上か
らその径を大きくしても、溝11の精度を高く維持した
まま容易に製造することができるため、塗布する膜厚分
布の精度をより精密に制御することができる。
By the way, the grooved rolls 4 and 5 have a pitch of, for example, 1 mm in the circumferential direction around the roll 10 (the width of the groove 11 is 0.5 m, as shown in the partial cross section of FIG. 2).
m) and a groove 11 having a depth of, for example, about 0.2 mm is provided.
Acts to regulate the amount of coating. Moreover, unlike the bar, the grooved rolls 4 and 5 can be easily manufactured while maintaining the accuracy of the groove 11 high even if the diameter is increased from the viewpoint of mechanical accuracy. The accuracy of the thickness distribution can be controlled more precisely.

【0018】さて、従来は、塗布膜の厚さは、ミヤバー
のワイヤーの径を換えることによって、金属薄板の両主
面の各々に塗布する膜厚を制御していたが、本発明にお
いては、溝付きロール4、5に対するドクターロール
6、7の周速比を制御することにより、塗布膜厚を任意
に制御することが可能になる。
Conventionally, the thickness of the coating film is controlled by changing the diameter of the wire of the mill bar to control the thickness of the coating on each of the two main surfaces of the metal thin plate. However, in the present invention, By controlling the peripheral speed ratio of the doctor rolls 6 and 7 with respect to the grooved rolls 4 and 5, the coating film thickness can be arbitrarily controlled.

【0019】図3は、溝付きロール4、5の周速に対す
るドクターロール6、7の周速比を変化させた場合の実
際の測定結果を示すもので、明らかに周速比を変化させ
ることにより塗布膜厚を制御することができることが分
る。なお、図3は、ドクターロール6、7と溝付きロー
ル4、5が逆方向に(連れ回り)回転する場合である
が、両者が同じ方向に回転する場合も同様に制御でき
る。
FIG. 3 shows the actual measurement results when the peripheral speed ratio of the doctor rolls 6, 7 with respect to the peripheral speed of the grooved rolls 4, 5 is changed. Obviously, the peripheral speed ratio should be changed. It can be seen that the coating film thickness can be controlled by. Although FIG. 3 shows the case where the doctor rolls 6 and 7 and the grooved rolls 4 and 5 rotate in the opposite directions (together with each other), the same control can be performed when both rotate in the same direction.

【0020】このように、上記周速比を変化させること
により、金属薄板1上に塗布されるレジスト膜の膜厚が
変わるのは、ドクターロール6、7の表面が溝付きロー
ル4、5の溝付き面から離れるとき、両者の速度差に応
じて両者に分配されるレジスト量の割合が異なることに
よると考えられる。図4に一方の溝付きロールaとドク
ターロールbからなるレジスト塗布量規制部の塗布量規
制の様子を示す。金属薄板1から溝付きロールaへ転移
したレジスト液3は、一部ドクターロールbへ分配さ
れ、そのレジスト液3はドクターブレードcにより除か
れ、レジスト液受けパンd上に落下する。
As described above, by changing the peripheral speed ratio, the film thickness of the resist film applied on the thin metal plate 1 is changed because the surfaces of the doctor rolls 6 and 7 are grooved rolls 4 and 5. It is considered that the ratio of the amount of resist distributed to the two when they are separated from the grooved surface is different depending on the speed difference between the two. FIG. 4 shows how the coating amount is regulated by the resist coating amount regulating portion including the grooved roll a and the doctor roll b. The resist solution 3 transferred from the metal thin plate 1 to the grooved roll a is partially distributed to the doctor roll b, the resist solution 3 is removed by the doctor blade c, and drops onto the resist solution receiving pan d.

【0021】なお、塗布するレジスト膜の膜厚は、溝付
きロールaの周速に対するドクターロールbの周速比を
変化させるだけでなく、溝付きロールaの金属薄板1に
対する速度、溝付きロールaとドクターロールbの間の
ギャップを変えることによっても変更できる。
The film thickness of the resist film to be applied not only changes the peripheral speed ratio of the doctor roll b to the peripheral speed of the grooved roll a, but also the speed of the grooved roll a with respect to the metal thin plate 1 and the grooved roll. It can also be changed by changing the gap between a and the doctor roll b.

【0022】ところで、このような膜厚制御は、溝付き
ロール4、5の代わりに、従来(特願平2−50752
号)と同様、ミヤバーを用いる場合にも適用でき、ミヤ
バーのワイヤー径を換えなくとも、ドクターロール6、
7の周速比を変化させるだけで、金属薄板1の両主面の
各々に塗布する膜厚を任意に制御できる。
By the way, in such a film thickness control, instead of the grooved rolls 4 and 5, the conventional method (Japanese Patent Application No. 2-50752) is used.
No.), it can also be applied to the case of using a mill bar, without changing the wire diameter of the mill bar, doctor roll 6,
The film thickness to be applied to each of both main surfaces of the metal thin plate 1 can be arbitrarily controlled only by changing the peripheral speed ratio of 7.

【0023】このように、レジスト塗布膜厚が制御され
た金属薄板1は、次いで乾燥ユニット8において遠赤外
線ヒーター及び送風等によって乾燥された後、特願平2
−50752号に示されるように、膜厚、膜厚分布が測
定され、その測定データをもとに、溝付きロール4、5
の金属薄板1の主面に対する平行度及びギャップが自動
的に調整される。なお、この構成は必ずしも必要なもの
ではない。
As described above, the metal thin plate 1 whose resist coating film thickness is controlled is then dried in the drying unit 8 by a far infrared heater, air blow, etc.
No. 50752, the film thickness and film thickness distribution are measured, and the grooved rolls 4, 5 are based on the measured data.
The parallelism with respect to the main surface of the metal thin plate 1 and the gap are automatically adjusted. Note that this configuration is not always necessary.

【0024】以上の実施例においては、金属薄膜1への
最初のレジスト液3の塗布のために、ディップ槽2を用
いたディップコーティング法を採用しているが、他の公
知のコーティング法を採用してもよいことは明らかであ
ろう。
In the above embodiments, the dip coating method using the dip tank 2 is adopted for the first application of the resist solution 3 to the metal thin film 1, but other known coating methods are adopted. It will be clear that it is okay.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の連続金属薄板面へのレジスト膜塗布方法及び装置によ
ると、金属薄板の両主面の横断方向に平行に接するよう
にドクターロールを付属させた溝付きロールを配置し
て、両主面に塗布されるレジスト液の塗布量を規制して
レジスト膜を塗布しているので、ミヤバーを用いる場合
と同様、ドクターロールにて溝付きロール上のレジスト
液が平滑化され、均一なレジスト膜が塗布でき、塗布さ
れるレジスト液の粘度及び塗布スピードが変化しても、
塗布膜の塗布ムラが発生せず均一なレジスト膜が両主面
に塗布される。
As is apparent from the above description, according to the method and apparatus for coating a resist film on the surface of a continuous thin metal plate of the present invention, a doctor roll is contacted so as to be in contact with both major surfaces of the thin metal plate in parallel with each other. With the attached grooved rolls, the resist film is applied by controlling the amount of resist liquid applied to both main surfaces, so as with the case of using a mill bar, the grooved rolls can be used with a doctor roll. The above resist solution is smoothed, a uniform resist film can be applied, and even if the viscosity and application speed of the applied resist solution change,
A uniform resist film is applied to both main surfaces without causing coating unevenness.

【0026】しかも、ミヤバーより容易に高精度の溝付
きロールが構成できるので、その塗布精度はより向上す
る。そして、溝付きロールに対するドクターロールの周
速比、金属薄板の送り速度に対する溝付きロールの周
速、又は、溝付きロールとドクターロールの間隔の何れ
か1つ以上を制御するだけで、レジスト液の粘度調整等
の時間のかかる作業を必要とせずに、金属薄板の両主面
の各々に任意の膜厚で同時に容易に塗布できる。なお、
この膜厚制御は、ミヤバーを用いる場合にも適用でき
る。
In addition, since the grooved roll with high precision can be constructed more easily than the mill bar, the coating precision is further improved. Then, by controlling only one or more of the peripheral speed ratio of the doctor roll with respect to the grooved roll, the peripheral speed of the grooved roll with respect to the feed rate of the thin metal plate, or the interval between the grooved roll and the doctor roll, the resist solution It is possible to easily apply a desired film thickness to each of both main surfaces of the metal thin plate at the same time without requiring time-consuming work such as viscosity adjustment. In addition,
This film thickness control can also be applied to the case of using a miya bar.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の膜塗布方法を実施する装置の概略側面
図である。
FIG. 1 is a schematic side view of an apparatus for carrying out a film coating method of the present invention.

【図2】溝付きロールの部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a grooved roll.

【図3】溝付きロールに対するドクターロールの周速比
を変化させた場合の実際の測定結果を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an actual measurement result when a peripheral speed ratio of a doctor roll to a grooved roll is changed.

【図4】溝付きロールとドクターロールからなるレジス
ト塗布量規制部の塗布量規制の様子を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing how the resist coating amount is regulated by a resist coating amount regulating unit including a grooved roll and a doctor roll.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…金属薄板 2…レジスト液ディップ槽 3…レジスト液 4、5、a…溝付きロール 6、7、b…ドクターロール 8…乾燥ユニット 10…ロール 11…溝 c…ドクターブレード d…レジスト液受けパン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal thin plate 2 ... Resist liquid dipping tank 3 ... Resist liquid 4, 5, a ... Roll with groove 6, 7, b ... Doctor roll 8 ... Drying unit 10 ... Roll 11 ... Groove c ... Doctor blade d ... Resist liquid receiver Bread

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属薄板に所定のパターンをケミカルエ
ッチングして製作する金属薄板製品の製造工程におい
て、連続した金属薄板の両主面にレジスト膜を塗布する
方法であって、両主面にレジスト液を塗布した後に、金
属薄板の両主面の横断方向に平行に接するようにドクタ
ーロールを付属させた溝付きロールを配置して、両主面
に塗布されるレジスト液の塗布量を規制してレジスト膜
を塗布することを特徴とする連続金属薄板面へのレジス
ト膜塗布方法。
1. A method for applying a resist film to both main surfaces of a continuous metal thin plate in a manufacturing process of a metal thin plate product which is manufactured by chemically etching a predetermined pattern on a metal thin plate, wherein the resist is applied to both main surfaces. After applying the liquid, a grooved roll with a doctor roll is placed so that it is in contact with both main surfaces of the thin metal plate in parallel to the transverse direction, and the amount of resist liquid applied on both main surfaces is regulated. A method for applying a resist film to a surface of a continuous thin metal plate, which comprises applying a resist film by applying the resist film.
【請求項2】 前記溝付きロールに対する前記ドクター
ロールの周速比、金属薄板の送り速度に対する前記溝付
きロールの周速、又は、前記溝付きロールと前記ドクタ
ーロールの間隔の何れか1つ以上を制御することによ
り、金属薄板の両主面の各々に任意の膜厚で同時に塗布
するようにしたことを特徴とする請求項1記載の連続金
属薄板面へのレジスト膜塗布方法。
2. A peripheral speed ratio of the doctor roll with respect to the grooved roll, a peripheral speed of the grooved roll with respect to a feed rate of a thin metal plate, or a gap between the grooved roll and the doctor roll. 2. The method for coating a resist film on a surface of a continuous thin metal plate according to claim 1, wherein both main surfaces of the thin metal plate are simultaneously coated with an arbitrary film thickness by controlling the above.
【請求項3】 金属薄板に所定のパターンをケミカルエ
ッチングして製作する金属薄板製品の製造工程におい
て、連続した金属薄板の両主面にレジスト膜を塗布する
方法であって、両主面にレジスト液を塗布した後に、金
属薄板の両主面の横断方向に平行に接するようにドクタ
ーロールを付属させたミヤバーを配置し、かつ、前記ミ
ヤバーに対する前記ドクターロールの周速比、金属薄板
の送り速度に対する前記ミヤバーの周速、又は、前記ミ
ヤバーと前記ドクターロールの間隔の何れか1つ以上を
制御することにより、両主面の各々に塗布されるレジス
ト液の塗布量を規制して任意の膜厚で同時に塗布するよ
うにしたことを特徴とする連続金属薄板面へのレジスト
膜塗布方法。
3. A method of coating a resist film on both main surfaces of a continuous metal thin plate in a manufacturing process of a metal thin plate product which is manufactured by chemically etching a predetermined pattern on a metal thin plate, wherein the resist is applied to both main surfaces. After applying the liquid, arrange a bar with a doctor roll attached so as to be in parallel contact with the transverse directions of both main surfaces of the metal sheet, and the peripheral speed ratio of the doctor roll to the bar, the feed rate of the metal sheet. By controlling at least one of the peripheral speed of the mill bar or the interval between the mill bar and the doctor roll, the coating amount of the resist solution coated on each of the two main surfaces is regulated to an arbitrary film. A method for coating a resist film on a continuous thin metal plate surface, characterized in that the coating is carried out simultaneously in a thick manner.
【請求項4】 金属薄板に所定のパターンをケミカルエ
ッチングして製作する金属薄板製品の製造工程におい
て、連続した金属薄板の両主面にレジスト膜を塗布する
装置であって、両主面にレジスト液を塗布する手段と、
両主面にレジスト液が塗布された金属薄板の両主面の横
断方向に平行に接するように配置されたドクターロール
を付属させた2つの溝付きロールと、溝付きロールによ
って規制されたレジスト膜を乾燥する手段とからなり、
前記ドクターロールにて溝付きロール上のレジスト液を
平滑化させることによって均一なレジスト膜を塗布し、
かつ、前記溝付きロールに対する前記ドクターロールの
周速比、金属薄板の送り速度に対する前記溝付きロール
の周速、又は、前記溝付きロールと前記ドクターロール
の間隔の何れか1つ以上を制御することによって金属薄
板の両主面の各々に任意の膜厚を同時に塗布できるよう
に構成したことを特徴とするレジスト膜塗布装置。
4. An apparatus for applying a resist film to both main surfaces of a continuous metal thin plate in a manufacturing process of a metal thin plate product which is produced by chemically etching a predetermined pattern on a metal thin plate, wherein the resist is applied to both main surfaces. Means for applying the liquid,
Two grooved rolls with attached doctor rolls arranged so as to contact in parallel to the transverse directions of both main surfaces of a metal thin plate having the resist liquid applied on both main surfaces, and a resist film regulated by the grooved rolls And means for drying the
Apply a uniform resist film by smoothing the resist solution on the grooved roll with the doctor roll,
And, any one or more of the peripheral speed ratio of the doctor roll with respect to the grooved roll, the peripheral speed of the grooved roll with respect to the feeding speed of the thin metal plate, or the interval between the grooved roll and the doctor roll is controlled. Thus, the resist film coating apparatus is characterized in that it is configured such that an arbitrary film thickness can be simultaneously applied to both main surfaces of the thin metal plate.
【請求項5】 金属薄板に所定のパターンをケミカルエ
ッチングして製作する金属薄板製品の製造工程におい
て、連続した金属薄板の両主面にレジスト膜を塗布する
装置であって、両主面にレジスト液を塗布する手段と、
両主面にレジスト液が塗布された金属薄板の両主面の横
断方向に平行に接するように配置されたドクターロール
を付属させた2つのミヤバーと、ミヤバーによって規制
されたレジスト膜を乾燥する手段とからなり、前記ドク
ターロールにてミヤバー上のレジスト液を平滑化させる
ことによって均一なレジスト膜を塗布し、かつ、前記ミ
ヤバーに対する前記ドクターロールの周速比、金属薄板
の送り速度に対する前記ミヤバーの周速、又は、前記ミ
ヤバーと前記ドクターロールの間隔の何れか1つ以上を
制御することによって金属薄板の両主面の各々に任意の
膜厚を同時に塗布できるように構成したことを特徴とす
るレジスト膜塗布装置。
5. A device for coating a resist film on both main surfaces of a continuous metal thin plate in a manufacturing process of a metal thin plate product which is manufactured by chemically etching a predetermined pattern on a metal thin plate, wherein the resist is applied on both main surfaces. Means for applying the liquid,
Means for drying the resist film regulated by the miller bar, which has two doctor bars attached so as to be in contact with the two principal surfaces of the thin metal plate with the resist solution applied to the both principal faces in parallel with each other in the transverse direction Consisting of and applying a uniform resist film by smoothing the resist liquid on the bar with the doctor roll, and the peripheral speed ratio of the doctor roll to the bar, the feed rate of the metal sheet of the bar. By controlling at least one of the peripheral speed or the interval between the mill bar and the doctor roll, an arbitrary film thickness can be simultaneously applied to each of both main surfaces of the metal thin plate. Resist film coating device.
JP17320092A 1992-06-30 1992-06-30 Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet Pending JPH067725A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17320092A JPH067725A (en) 1992-06-30 1992-06-30 Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17320092A JPH067725A (en) 1992-06-30 1992-06-30 Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH067725A true JPH067725A (en) 1994-01-18

Family

ID=15955966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17320092A Pending JPH067725A (en) 1992-06-30 1992-06-30 Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH067725A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5683754A (en) * 1994-08-31 1997-11-04 Teijin Limited Process for forming coating on running film and apparatus therefor
JP2002177838A (en) * 2000-12-07 2002-06-25 Dainippon Printing Co Ltd Coating apparatus
KR20140100520A (en) * 2011-12-13 2014-08-14 다이오세이시가부시끼가이샤 Absorbent article
US8834440B2 (en) 2008-01-16 2014-09-16 Uni-Charm Corporation Pants type disposable diaper

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5683754A (en) * 1994-08-31 1997-11-04 Teijin Limited Process for forming coating on running film and apparatus therefor
JP2002177838A (en) * 2000-12-07 2002-06-25 Dainippon Printing Co Ltd Coating apparatus
US8834440B2 (en) 2008-01-16 2014-09-16 Uni-Charm Corporation Pants type disposable diaper
KR20140100520A (en) * 2011-12-13 2014-08-14 다이오세이시가부시끼가이샤 Absorbent article

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3951102A (en) Roller coating apparatus
WO1993020275A1 (en) Roll gap controller
JPS62163773A (en) Coating method
JPH067725A (en) Method and apparatus for coating resist film on face of continuous thin metal sheet
JPH06316896A (en) Method and apparatus for coating of paper or card-board by means of size press roll
JP3108422B2 (en) Method and apparatus for applying resist film to continuous metal sheet
US3187716A (en) Coating machinery
JPH03114564A (en) Method and device for multicolor gravure coating
JP2676634B2 (en) Method for manufacturing coating device rod
JPH01203075A (en) Applicator of magnetic recording medium
JPH02119977A (en) Gravure coating method
CA1104887A (en) Pan for coating apparatus
JPH0461959A (en) Strip coating method
KR100301989B1 (en) Method for controlling width of plate during hot rolling of plate
JPH0414152Y2 (en)
JPH0745023B2 (en) Roll coater
GB2171338A (en) Bar coating apparatus
JPS637326Y2 (en)
JPS6242764A (en) Method for coating both faces of film or sheet
JPS59225772A (en) Coating method
KR830002119B1 (en) Web applicator
JPH05337418A (en) Coating method and coating device
JP4276369B2 (en) Uniform application method of liquid to steel plate
JPH04156969A (en) Coating device
JP2578183B2 (en) Coating equipment