JPH0675096B2 - Inspection system - Google Patents
Inspection systemInfo
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- JPH0675096B2 JPH0675096B2 JP61232466A JP23246686A JPH0675096B2 JP H0675096 B2 JPH0675096 B2 JP H0675096B2 JP 61232466 A JP61232466 A JP 61232466A JP 23246686 A JP23246686 A JP 23246686A JP H0675096 B2 JPH0675096 B2 JP H0675096B2
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- test head
- test
- inspection
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- head positioner
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば半導体チップなどの被デバイスの電気
特性を検査する検査装置システムに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Industrial field of application) The present invention relates to an inspection apparatus system for inspecting electrical characteristics of a device such as a semiconductor chip.
（従来の技術） 半導体チップなどの被デバイスの電圧・電流・信号など
の入力をドライブするドライブ回路及び被デバイスの電
圧・電流・信号などの出力を判定するコンパレート回路
を含むピンエレクトロニクスボードが構成されているテ
ストヘッド（１）を、検査装置（２）例えばウエハプロ
ーバやハンドラーに設置する。この設置方法は、１つの
テストヘッドポジショナー（３）で１つのテストヘッド
（１）をアーム（４）で保持し、検査装置（２）の設置
範囲まで近づけアーム（４）の自由度を利用してテスト
ヘッド（１）を検査装置（２）の検査位置に設置する。(Prior Art) A pin electronics board including a drive circuit that drives the input of voltage, current, and signals of a device such as a semiconductor chip and a comparator circuit that determines the output of voltage, current, and signals of the device The test head (1) is installed on the inspection device (2) such as a wafer prober or handler. This installation method uses one test head positioner (3) to hold one test head (1) with an arm (4), and brings the inspection device (2) closer to the installation range and uses the degree of freedom of the arm (4). The test head (1) at the inspection position of the inspection device (2).
（発明が解決しようとする問題点） 上記テストヘッドポジショナー（３）のアーム（４）で
保持されたテストヘッド（１）を、検査装置（２）例え
ばウエハプローバやハンドラーに設置する際、１つのテ
ストヘッドポジショナー（３）で１つのテストヘッド
（１）を保持するように構成されている。以上のような
構成ではクリーンルーム内に並べられた検査装置（２）
にテストヘッドポジショナー（３）を１つずつ同数あて
がう必要がある。近年のクリーンルームは超LSI対応の
クラス10やクラス１に構成されているため、クリーンル
ームのスペース効率が非常に問題にされていて、テスト
ヘッドポジショナーの使用スペースの減少が要望されて
いる。(Problems to be Solved by the Invention) When the test head (1) held by the arm (4) of the test head positioner (3) is installed in the inspection apparatus (2) such as a wafer prober or handler, The test head positioner (3) is configured to hold one test head (1). With the above configuration, the inspection devices arranged in the clean room (2)
It is necessary to apply the same number of test head positioners (3) to each. Since the clean room in recent years is configured to class 10 or class 1 for VLSI, the space efficiency of the clean room is very problematic, and there is a demand to reduce the use space of the test head positioner.
本発明によれば、上記点を改善するためになされたもの
で１つのテストヘッドポジショナーに、複数のテストヘ
ッドを搭載可能にしたことにより、クリーンルームのス
ペース効率の向上による有効活用を得る検査装置システ
ムを提供するものである。According to the present invention, which is made to improve the above-mentioned points, a plurality of test heads can be mounted on one test head positioner, so that the inspection apparatus system can be effectively used by improving the space efficiency of a clean room. Is provided.
（問題を解決するための手段） この発明は、床等の設置面に設置された複数台の検査装
置と、これら検査装置の間で前記設置面に立設されたテ
ストヘッドポジショナーと、このテストヘッドポジショ
ナーに独立して少なくとも上下動可能に設けられた前記
検査装置の台数に相当する数のアームと、これらアーム
に設けられ前記検査装置の測定部に対して進退し、測定
部に載置された被検査部品を検査するテストヘッドとを
具備したことを特徴とする。(Means for Solving the Problem) The present invention relates to a plurality of inspection devices installed on an installation surface such as a floor, a test head positioner erected on the installation surface between the inspection devices, and this test. At least a number of arms, which are provided independently of the head positioner and are movable up and down, corresponding to the number of the above-mentioned inspection devices, and those arms, which are mounted on these measurement devices, move back and forth with respect to the measurement unit of the inspection device. And a test head for inspecting the inspected component.
（作用） 本発明のテストヘッドポジショナーでは、１つのテスト
ヘッドポジショナーに複数のテストヘッドを搭載可能に
したことにより、クリーンルームのスペース効率の向上
およびクリーンルームの有効活用が可能となる。(Operation) In the test head positioner of the present invention, a plurality of test heads can be mounted on one test head positioner, whereby the space efficiency of the clean room can be improved and the clean room can be effectively used.
（実施例） 次に本発明検査装置システムの一実施例を第１図・第２
図を参照して説明する。この実施例の特徴は、クリーン
ルーム内に設置された検査装置例えば半導体ウエハプロ
ーバ（11）の筐体上面にテストヘッド（12）を設置す
る。このテストヘッド（12）を保持しているテストヘッ
ドポジショナー（13）にテストヘッド（12）を複数搭載
可能にしたものである。(Embodiment) Next, one embodiment of the inspection apparatus system of the present invention is shown in FIGS.
It will be described with reference to the drawings. The feature of this embodiment is that a test head (12) is installed on the upper surface of the casing of an inspection apparatus, such as a semiconductor wafer prober (11) installed in a clean room. A plurality of test heads (12) can be mounted on a test head positioner (13) holding the test head (12).
テストヘッドポジショナー（13）は、クリーンルーム内
に設置されたウエハプローバ（11）のステージ（14）に
載置された半導体ウエハ（15）に形成されたチップを測
定するために、前もって決められた電圧・電流・信号な
どを出力したり、デバイスからの電圧・電流・信号など
を入力する基板例えばピンエレクトロニクスボードが構
成されているテストヘッド（12）をウエハプローバ（1
1）の上面部に取付ける。取付けられてテストヘッド（1
2）のピンエレクトロニクルボードからプローブカード
のプローブ針の先までは配線されて導通している。保守
点検の際は、テストヘッド（12）はテストヘッドポジシ
ョナー（13）の保持部のアーム（16）を動作することに
より着脱していた。このテストヘッド（12）を保持して
いるテストヘッドポジショナー（13）の設置スペースを
縮小することが課題である。この課題を解決するため
に、上記テストヘッドポジショナー（13）は例えば、縦
150mm・横150mm・高さ1700mmの四角柱にテストヘッド
（12）例えば重さ120kgまでを保持可能なアーム（16）
２つを構成する。このアーム（16）は、高さ（ｘ軸）例
えば700mm〜1200mmの間を上下動可能で、横方向（ｙ
軸）例えば100mmスライドし、前後方向（ｚ軸）にも100
mmスライド可能である。又ｘ軸に対して例えば90°,y軸
に対して例えば180°,z軸に対して例えば360°回転可能
に構成されている。このアーム（16）の構成された四角
柱を固定支持するために、底辺に５本床に接するように
支持機構（17）を設置し、この支持機構（17）の床との
接触部分に吸盤を設け吸着固定する。上記２つのアーム
（16）は背中合わせのように構成し、各々独立して上記
の動作が可能のように、２個のアーム（16）を支える四
角柱の中に構成されている支柱（18）を２本設けてい
る。The test head positioner (13) has a predetermined voltage for measuring chips formed on the semiconductor wafer (15) mounted on the stage (14) of the wafer prober (11) installed in the clean room. -The wafer prober (1) is equipped with a test head (12) configured to output a current / signal, etc. or input a voltage / current / signal, etc. from the device, such as a pin electronics board.
Install it on the upper surface of 1). Mounted test head (1
Wires are conducted from the pin electronic board of 2) to the tip of the probe needle of the probe card so that there is continuity. During maintenance and inspection, the test head (12) was attached and detached by operating the arm (16) of the holding portion of the test head positioner (13). The challenge is to reduce the installation space of the test head positioner (13) holding the test head (12). In order to solve this problem, the test head positioner (13) is
Test head (12), for example, an arm (16) that can hold up to 120 kg of weight in a square pole of 150 mm, width 150 mm, height 1700 mm
Make up two. This arm (16) can move up and down in a height (x axis), for example, between 700 mm and 1200 mm, and can move in the lateral direction (y
(Axis) For example, slide 100 mm, 100 in the front-back direction (z-axis)
mm can be slid. Further, it is configured to be rotatable, for example, 90 ° with respect to the x-axis, 180 °, for example, with respect to the y-axis, and 360 °, for example, with respect to the z-axis. In order to fix and support the quadrangular prism composed of the arms (16), a support mechanism (17) is installed at the bottom so as to be in contact with the five floors, and a suction cup is provided at the contact portion of the support mechanism (17) with the floor. Is attached and fixed by suction. The two arms (16) are constructed back-to-back, and the pillars (18) are formed in a square pillar that supports the two arms (16) so that the above-mentioned operations can be performed independently. Two are provided.
クリーンルーム内に設置された２つのプローバ筐体の間
に上記テストヘッドポジショナー（13）を設置する。該
テストヘッドポジショナー（13）のアーム（16）に保持
されている２つのテストヘッド（12）の夫々自由度を持
つアーム（16）を操作して夫々２つのプローバ筐体上面
の測定位置に設置し、プローバの測定部に載置されてい
る被デバイスを測定する。The test head positioner (13) is installed between the two prober housings installed in the clean room. The two test heads (12) held by the arm (16) of the test head positioner (13) are operated at the respective measurement positions on the upper surfaces of the two prober housings by operating the arms (16) having respective degrees of freedom. Then, the device under test mounted on the measuring section of the prober is measured.
上記テストヘッドポジショナーには、２つのテストヘッ
ドを保持可能に構成したがテストヘッドを３つ以上保持
可能に構成することも可能でありウエハプローバ（11）
のみならずハンドラーなど他の装置にもテストヘッドを
設置することは可能である。The test head positioner is configured to hold two test heads, but it is also possible to hold three or more test heads.
Not only can the test head be installed in other devices such as handlers.
以上のように本発明によれば、１つのテストヘッドポジ
ショナーに検査装置の台数に相当する数のアームを少な
くとも上下動可能に設け、これらアームにテストヘッド
を設けることにより、検査装置毎にテストヘッドポジシ
ョナーを設ける必要がなく、クリーンルームのスペース
効率が向上できる。As described above, according to the present invention, one test head positioner is provided with at least as many vertically movable arms as the number of inspection devices, and the test heads are provided on these arms, so that each test device has a test head. It is not necessary to provide a positioner, and the space efficiency of the clean room can be improved.
しかも、テストヘッドポジショナーを床等の設置面に設
けることにより、検査装置とは分離しているので、検査
装置の保守点検の際に設置位置から移動することが可能
となり、テストヘッドポジショナーやテストヘッドが作
業の邪魔になることはない。また、テストヘッドを独立
して移動できることにより、検査時間にバラツキがあっ
ても、待ち時間がなく、さらに故障した検査装置を交換
する際にも他の検査装置に影響を受けず、稼働させたま
まで交換することができ、ロスタイムがなく、稼働率を
向上できるという効果がある。Moreover, by installing the test head positioner on the installation surface such as the floor, it is separated from the inspection device, so it is possible to move from the installation position when performing maintenance of the inspection device. Does not interfere with work. In addition, since the test head can be moved independently, even if the inspection time varies, there is no waiting time, and when replacing a defective inspection device, it is not affected by other inspection devices and it can be operated. It can be replaced up to, there is no loss time, there is an effect that the operating rate can be improved.
第１図は本発明の一実施例を説明するためのテストヘッ
ドポジショナーの図、第２図は第１図をウエハプローバ
に設置した図、第３図は従来のテストヘッドポジショナ
ーの図である。 12…テストヘッド 13…テストヘッドポジショナー 16…アーム、18…支柱FIG. 1 is a diagram of a test head positioner for explaining an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram in which FIG. 1 is installed on a wafer prober, and FIG. 3 is a diagram of a conventional test head positioner. 12 ... Test head 13 ... Test head positioner 16 ... Arm, 18 ... Post
Claims (1)
置と、これら検査装置の間で前記設置面に立設されたテ
ストヘッドポジショナーと、このテストヘッドポジショ
ナーに独立して少なくとも上下動可能に設けられた前記
検査装置の台数に相当する数のアームと、これらアーム
に設けられ前記検査装置の測定部に対して進退し、測定
部に載置された被検査部品を検査するテストヘッドとを
具備したことを特徴とする検査装置システム。1. A plurality of inspection devices installed on an installation surface such as a floor, a test head positioner erected on the installation surface between these inspection devices, and at least a top and bottom independently of the test head positioner. A number of movably provided arms corresponding to the number of the inspection devices, and a test provided on these arms to move back and forth with respect to the measurement unit of the inspection device and inspect the inspected parts placed on the measurement unit. An inspection system comprising: a head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61232466A JPH0675096B2 (en) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | Inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61232466A JPH0675096B2 (en) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | Inspection system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6385374A JPS6385374A (en) | 1988-04-15 |
| JPH0675096B2 true JPH0675096B2 (en) | 1994-09-21 |
Family
ID=16939733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61232466A Expired - Fee Related JPH0675096B2 (en) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | Inspection system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675096B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58127340A (en) * | 1982-01-25 | 1983-07-29 | Hitachi Ltd | Carrier jig moving mechanism for handler |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP61232466A patent/JPH0675096B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6385374A (en) | 1988-04-15 |
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