JPH0672241B2 - Mechanical alloying device - Google Patents

Mechanical alloying device

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JPH0672241B2
JPH0672241B2 JP1084315A JP8431589A JPH0672241B2 JP H0672241 B2 JPH0672241 B2 JP H0672241B2 JP 1084315 A JP1084315 A JP 1084315A JP 8431589 A JP8431589 A JP 8431589A JP H0672241 B2 JPH0672241 B2 JP H0672241B2
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JP
Japan
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container
mechanical alloying
inner container
outer container
gas
Prior art date
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JP1084315A
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Japanese (ja)
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JPH02263902A (en
Inventor
健児 高木
捷範 菊地
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Nissin Giken Co Ltd
Original Assignee
Nissin Giken Co Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は複数種類の金属粉をボールミル処理して合金化
するメカニカルアロイング装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to a mechanical alloying apparatus for ball-milling a plurality of types of metal powder to alloy them.

(従来の技術) アモルファス合金を形成する手段としては、従来は液体
急冷法やスパッタ法が広く用いられていたが、最近固相
拡散を利用したメカニカルアロイング法によるアモルフ
ァス相の形成が注目を集めている。このメカニカルアロ
イング法はボールミルなどの方法により機械的エネルギ
を金属粉末に加えて合金化を行なう方法である。このた
めの装置として、従来は通常のボールミル装置を用いて
おり、特にメカニカルアロイングのための諸条件を配慮
した専用のボールミル装置は開発されていなかった。こ
のため合金化する金属粉とボールミル加工のための硬球
とを別体のグローブボックス内で容器内を真空にするか
または不活性ガスを封入した後に、振動させて加工を行
なっていた。また加工中に発生する熱の冷却については
配慮されておらず、従来は試料の温度上昇を防ぐため、
一定の時間ボールミル加工を行なった後に一定の時間加
工を休止するようにしていた。従って作業時間が長くか
かり、しかも試料が酸化するおそれがあるという問題が
あった。さらに、容器内を真空にするための真空ポンプ
はボールミル装置と別体であったため、装置の占める面
積も広い面積を必要とし、移動も困難となるという欠点
もあった。
(Prior art) Liquid quenching method and sputtering method have been widely used as a method for forming an amorphous alloy, but recently, the formation of an amorphous phase by a mechanical alloying method utilizing solid phase diffusion has attracted attention. ing. This mechanical alloying method is a method in which mechanical energy is added to metal powder by a method such as a ball mill for alloying. Conventionally, a normal ball mill device has been used as a device for this purpose, and no special ball mill device has been developed in consideration of various conditions for mechanical alloying. Therefore, the metal powder to be alloyed and the hard spheres for ball milling are evacuated in a separate glove box or filled with an inert gas, and then vibrated for machining. In addition, no consideration was given to the cooling of heat generated during processing.
After performing ball milling for a certain period of time, the machining was stopped for a certain period of time. Therefore, there is a problem that the working time is long and the sample may be oxidized. Further, since the vacuum pump for evacuating the inside of the container is separate from the ball mill device, there is a drawback that the device occupies a large area and is difficult to move.

(発明が解決しようとする課題) 上述したように、従来のメカニカルアロイング装置は単
にボールミル装置を転用したものであり、専用装置とし
ての配慮がなされていなかった。このため試料が酸化し
たり、作業時間が長くなったり、装置が大型化するなど
の問題があった。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, the conventional mechanical alloying device is merely a diversion of a ball mill device, and has not been considered as a dedicated device. Therefore, there are problems that the sample is oxidized, the working time is long, and the apparatus is large.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、試料の
酸化や温度上昇を防止して短時間にアモルファス合金を
形成することのできる、操作性のよいコンパクトな構造
のメカニカルアロイング装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a mechanical alloying device having a compact structure with good operability, which is capable of forming an amorphous alloy in a short time while preventing oxidation and temperature rise of a sample. The purpose is to do.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は上記目的を達成するために、複数種類の金属粉
と複数個の硬球とを密閉容器内に収納し、この容器を振
動させてアモルファス合金を形成するメカニカルアロイ
ング装置において、筐体内に弾性部材を介して支持され
た取付台と、この取付台に固定されたモータと、この取
付台に回転自在に支持されて前記モータによって回転駆
動され、かつ先端が所定角度で傾斜した傾斜軸と、この
傾斜軸の先端に軸受を介して揺動可能に支持され前記容
器が取り付けられた振動板と、前記筐体内に設けられ可
撓性チューブ及び弁を介して前記容器に各種ガスの供給
と真空ポンプとを設けたものである。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention stores a plurality of types of metal powder and a plurality of hard balls in a closed container, and vibrates the container. In a mechanical alloying device that forms an amorphous alloy, a mounting base supported by an elastic member in a housing, a motor fixed to the mounting base, and a rotation supported by the mounting base and rotated by the motor. A tilted shaft that is driven and has its tip tilted at a predetermined angle, a vibration plate that is swingably supported by a tip of this tilted shaft via a bearing and has the container attached thereto, and a flexible member provided in the housing. The container is provided with a supply of various gases and a vacuum pump through a tube and a valve.

さらに、この容器は外容器と内容器と筐体とにより構成
され、外容器は振動板に固定され、内容器を外容器に着
脱可能に装着されている。また内容器と外容器との間に
は冷却手段または加熱手段が設けられている。
Further, this container is composed of an outer container, an inner container, and a housing, the outer container is fixed to a diaphragm, and the inner container is detachably attached to the outer container. Further, cooling means or heating means is provided between the inner container and the outer container.

また、可撓性チューブの一端を内容器に接続し、他端を
真空ポンプ及び活性ガスまたは不活性ガスの供給源に接
続してもよい。
Further, one end of the flexible tube may be connected to the inner container, and the other end may be connected to a vacuum pump and a supply source of active gas or inert gas.

(作用) 上記の構成によると、容器内に収納された金属粉を真空
引きしながら、または各種ガス雰囲気中もしくは流れの
状態でボールミル加工を行なうことができる。また容器
を冷却または加熱することにより試料を適正な温度に保
持して良好なアモルファス合金を連続して短時間に形成
することができる。さらに容器を外容器と内容器とで構
成することにより、金属粉が収納された内容器を真空ま
たはガス雰囲気を保持したまま運搬及び保存が可能とな
り、金属粉または合金の酸化を防止することができる。
しかも真空ポンプは筐体内に設けられているので、装置
がコンパクトな構造となり、運搬も容易となる。
(Operation) According to the above configuration, the ball milling can be performed while vacuuming the metal powder contained in the container, or in various gas atmospheres or in a flow state. Further, by cooling or heating the container, the sample can be maintained at an appropriate temperature and a good amorphous alloy can be continuously formed in a short time. Furthermore, by configuring the container with an outer container and an inner container, it is possible to transport and store the inner container containing the metal powder while maintaining a vacuum or gas atmosphere, and prevent oxidation of the metal powder or alloy. it can.
Moreover, since the vacuum pump is provided in the housing, the apparatus has a compact structure and is easy to carry.

(実施例) 以下、本発明に係るメカニカルアロイング装置の一実施
例を図面を参照して説明する。
Embodiment An embodiment of the mechanical alloying device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図乃至第4図に本発明の一実施例を示す。第1図及
び第2図において、筐体1の下面四隅にはそれぞれ脚部
2が設けられており、上部内側の対向面には1対のリブ
3が平行に一体に形成されている。これらのリブ3上に
はそれぞれ防振ゴム4を介して取付台5の四隅が上下動
可能に取り付けられている。この取付台5の中心には軸
受6が設けられており、この軸受6には傾斜軸7が取付
台5に対して直角方向に回転自在に支持されており、こ
の傾斜軸7の取付板5の上部に突出する先端には、軸方
向に対し所定の角度で傾斜した傾斜部7aが延設されてい
る。また取付台5の下面にはこの取付台5に対し直角に
ブラケット8が固定されており、このブラケット8の下
端には傾斜軸7の下端近傍を回転自在に支持する軸受9
が設けられている。そしてこれらの軸受6,9の外輪間に
はパイプ10が装着されており、軸受6,9間の間隔を保持
するようになっている。また、ブラケット8の側面には
モータ台11を介してモータ12が固定されており、このモ
ータ12の駆動軸13と傾斜軸7の下端にはそれぞれプーリ
14,15が取り付けられていて、これらのプーリ14,15間に
ベルト16が張架されて、モータ12の駆動軸13の回転が傾
斜軸7に伝達されるようになっている。
1 to 4 show an embodiment of the present invention. In FIGS. 1 and 2, legs 2 are provided at four corners of the lower surface of the housing 1, and a pair of ribs 3 are integrally formed in parallel on opposite surfaces inside the upper part. Four corners of a mounting base 5 are mounted on the ribs 3 via vibration-proof rubbers 4 so as to be vertically movable. A bearing 6 is provided at the center of the mount 5, and a tilt shaft 7 is rotatably supported by the bearing 6 in a direction perpendicular to the mount 5. An inclined portion 7a that is inclined at a predetermined angle with respect to the axial direction is provided at the tip protruding upward from the. A bracket 8 is fixed to the lower surface of the mounting base 5 at a right angle to the mounting base 5, and a bearing 9 for rotatably supporting the vicinity of the lower end of the tilt shaft 7 is attached to the lower end of the bracket 8.
Is provided. A pipe 10 is mounted between the outer rings of the bearings 6 and 9 so as to maintain the gap between the bearings 6 and 9. A motor 12 is fixed to the side surface of the bracket 8 via a motor base 11. The drive shaft 13 of the motor 12 and the lower end of the tilt shaft 7 are respectively provided with pulleys.
14, 15 are attached, and a belt 16 is stretched between these pulleys 14, 15 so that the rotation of the drive shaft 13 of the motor 12 is transmitted to the tilt shaft 7.

一方、傾斜軸7の先端の傾斜部7aには、軸受17を介して
振動板18の中心がこの傾斜部7aに対して直角に回転自在
に装着されており、この振動板18の長手方向の対向する
二辺にはそれぞれスプリング軸19が突出して設けられて
いる。そしてスプリング軸19にはそれぞれ2個のスプリ
ング20の一端が係止されており、これらのスプリング20
の他端はそれぞれ前記取付台5の四隅近傍に係止されて
いて、振動板18を取付台5に対して弾性的に位置決め保
持している。また振動板18は傾斜部7aに対してカラー21
及びナット22により軸方向の抜けが防止されており、振
動板18上には傾斜部7aに対して対称の位置に容器23が取
り付けられている。さらに筐体1の上部はカバー24によ
って被覆されており、筐体1内には真空ポンプ25が設け
られている。
On the other hand, the center of the diaphragm 18 is rotatably mounted on the inclined portion 7a at the tip of the inclined shaft 7 through a bearing 17 at a right angle to the inclined portion 7a. A spring shaft 19 is provided so as to project from each of the two opposite sides. And, one end of each of two springs 20 is locked to each of the spring shafts 19.
The other ends of the diaphragms are respectively locked near the four corners of the mounting base 5, and elastically position and hold the diaphragm 18 with respect to the mounting base 5. Further, the diaphragm 18 has a collar 21 for the inclined portion 7a.
Also, the nut 22 prevents the container from coming off in the axial direction, and the container 23 is attached on the vibration plate 18 at a position symmetrical with respect to the inclined portion 7a. Further, the top of the housing 1 is covered with a cover 24, and a vacuum pump 25 is provided in the housing 1.

次に容器23の構成を第3図及び第4図を参照して説明す
る。容器23はそれぞれステンレス鋼などにより有底円筒
状に形成された外容器26及び内容器27と、同じくステン
レス鋼などで円板状に形成された蓋体28とからなってい
る。内容器27の外径は外容器26の内径とほぼ等しくなっ
ており、内容器27は外容器26内に着脱可能に嵌合されて
いる。また内容器27の上端面には外側に向って鍔部27a
が一体に形成されており、この鍔部27aには同心上にそ
れぞれ4個の取付孔29と4個のねじ孔30とが等ピッチで
交互に設けられている。また外容器26の上端面にはこれ
らの取付孔29に整合する位置に4個のねじ孔31が設けら
れている。さらに蓋体28にも内容器27の鍔部27aに設け
られた取付孔29及びねじ孔30に整合する位置に8個の取
付孔32が設けられている。そしてこれらの取付孔32と内
容器27のねじ孔30とにボルト33を挿入螺着することによ
り蓋体28が内容器27に固定され、蓋体28の取付孔32と内
容器27の取付孔29とを貫通してボルト34を挿入し、外容
器26のねじ孔31に螺着することにより、蓋体28、内容器
27及び外容器26が一体に固定されるようになっている。
また外容器26の端面と内容器27の鍔部27aの内面との間
にはOリング35が装着され、鍔部27aの外面と蓋体28と
の間にはOリング36がそれぞれ装着されている。さらに
外容器26は複数本のボルト37により振動板18に取り付け
られている。
Next, the structure of the container 23 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The container 23 is composed of an outer container 26 and an inner container 27 each formed of stainless steel or the like in a cylindrical shape with a bottom, and a lid body 28 also formed of stainless steel or the like in a disk shape. The outer diameter of the inner container 27 is substantially equal to the inner diameter of the outer container 26, and the inner container 27 is detachably fitted in the outer container 26. Further, on the upper end surface of the inner container 27, the collar portion 27a faces outward.
Are integrally formed, and the collar portion 27a is concentrically provided with four mounting holes 29 and four screw holes 30 alternately at equal pitches. Further, on the upper end surface of the outer container 26, four screw holes 31 are provided at positions aligned with these mounting holes 29. Further, the lid 28 is also provided with eight mounting holes 32 at positions aligned with the mounting holes 29 and the screw holes 30 provided in the flange portion 27a of the inner container 27. Then, the bolts 33 are inserted and screwed into the mounting holes 32 and the screw holes 30 of the inner container 27 to fix the lid body 28 to the inner container 27, and the mounting holes 32 of the lid body 28 and the mounting holes of the inner container 27. By inserting the bolt 34 through 29 and screwing into the screw hole 31 of the outer container 26, the lid 28, the inner container
The outer container 27 and the outer container 26 are integrally fixed.
An O-ring 35 is mounted between the end surface of the outer container 26 and the inner surface of the collar portion 27a of the inner container 27, and an O-ring 36 is mounted between the outer surface of the collar portion 27a and the lid 28. There is. Further, the outer container 26 is attached to the diaphragm 18 by a plurality of bolts 37.

一方、外容器26と内容器27との間には軸方向及び半径方
向に連通した冷却水通路38が形成されており、この冷却
水通路38は振動板18に形成された冷却水通路39に連通し
ている。そしてこの冷却水通路39は振動板18の外周に形
成されたポート40を介して図示せぬ冷却水供給源に接続
されている。また蓋体28の中心には二方ニードル弁41が
取り付けられており、このニードル弁41は内容器27内及
び蓋体28の外周に設けられたポート42に連通している。
そしてポート42は可撓性チューブ43を介して筐体1に設
けられた配管マニホールド44に接続されており、さらに
配管マニホールド44は可撓性チューブ45と開閉弁50,51
を介して真空ポンプ25の吸気口と、ガス供給口52に接続
されている。
On the other hand, a cooling water passage 38 that communicates in the axial direction and the radial direction is formed between the outer container 26 and the inner container 27, and this cooling water passage 38 is connected to the cooling water passage 39 formed in the vibration plate 18. It is in communication. The cooling water passage 39 is connected to a cooling water supply source (not shown) via a port 40 formed on the outer circumference of the diaphragm 18. A two-way needle valve 41 is attached to the center of the lid 28, and the needle valve 41 communicates with a port 42 provided inside the inner container 27 and on the outer circumference of the lid 28.
The port 42 is connected to a piping manifold 44 provided in the housing 1 via a flexible tube 43, and the piping manifold 44 further includes a flexible tube 45 and opening / closing valves 50, 51.
Is connected to the intake port of the vacuum pump 25 and the gas supply port 52 via.

なお、第2図における符号46はモータ12の回転を制御す
るインバータ、符号47はカバー24の開閉の支点となる蝶
番、符号48は振動板18の回転を係止するストッパ、符号
49は振動板18に取り付けられストッパ48と係合する防振
ゴムである。
In FIG. 2, reference numeral 46 is an inverter for controlling the rotation of the motor 12, reference numeral 47 is a hinge serving as a fulcrum for opening and closing the cover 24, reference numeral 48 is a stopper for locking the rotation of the diaphragm 18, and reference numeral is shown.
Reference numeral 49 is a vibration-proof rubber attached to the diaphragm 18 and engaged with the stopper 48.

次に本実施例の作用を説明する。内容器27内にアモルフ
ァス合金を形成するための複数種類の金属粉と、例えば
直径11mmのステンレス鋼で形成された多数の鋼球とを収
納し、蓋体28を取り付けてボルト33で締結固定する。次
にこの内容器27を外容器26内に嵌合装着し、ボルト34で
一体に締結固定する。さらに蓋体28及び内容器27が固定
された外容器26をボルト37で振動板18に締結固定し、蓋
体28に設けられたポート42と配管マニホールド44とを可
撓性チューブ43で接続する。このとき配管マニホールド
44と真空ポンプ25とは開閉弁50を介し可撓性チューブ45
で接続されている。同時に開閉弁51を介し各種ガス供給
とも接続している。次にニードル弁41を開いた後真空ポ
ンプ25を駆動し、開閉弁50を開き容器内を真空状態とす
る。その後開閉弁50を閉じ開閉弁51により、ガスを充填
しニードル弁41を閉じる。カバー24で筐体1の上部を被
覆し、モータ12を駆動する。この結果振動板18はストッ
パ48により回転が係止されながら、傾斜軸7の傾斜部7a
の首振り運動によって揺動する。一方、振動板18に形成
されたポート40からは冷却水が注入され、冷却水通路3
9,38を流れるので容器23は冷却される。従ってボールミ
ル加工による容器23の温度上昇を抑えることができ、試
料を所定の温度に維持して良好なアモルファス合金を形
成することができる。
Next, the operation of this embodiment will be described. A plurality of types of metal powder for forming an amorphous alloy and a large number of steel balls formed of stainless steel having a diameter of 11 mm, for example, are housed in the inner container 27, and a lid 28 is attached and fastened with bolts 33. . Next, the inner container 27 is fitted and mounted in the outer container 26, and is integrally fastened and fixed by the bolts 34. Further, the outer container 26 to which the lid 28 and the inner container 27 are fixed is fastened and fixed to the diaphragm 18 with bolts 37, and the port 42 provided in the lid 28 and the piping manifold 44 are connected by the flexible tube 43. . At this time the piping manifold
44 and the vacuum pump 25 are connected to the flexible tube 45 via the opening / closing valve 50.
Connected by. At the same time, it is connected to various gas supplies via the on-off valve 51. Next, after opening the needle valve 41, the vacuum pump 25 is driven to open the opening / closing valve 50 to bring the inside of the container into a vacuum state. After that, the opening / closing valve 50 is closed and the opening / closing valve 51 is filled with gas to close the needle valve 41. The cover 24 covers the upper part of the housing 1 to drive the motor 12. As a result, the vibration plate 18 is locked against rotation by the stopper 48, and the inclined portion 7a of the inclined shaft 7 is
It swings due to its swinging motion. On the other hand, the cooling water is injected from the port 40 formed in the vibration plate 18, and the cooling water passage 3
Since it flows through 9,38, the container 23 is cooled. Therefore, the temperature rise of the container 23 due to the ball milling can be suppressed, and the sample can be maintained at a predetermined temperature to form a good amorphous alloy.

一方、容器23は偏心した状態で揺動されるため、この振
動エネルギーにより防振ゴム4を介して取付台5が振動
し、ボールミル加工を効率よく行なうことができる。ま
たこの振動エネルギーはモータ12の回転数をインバータ
46の制御により切り替えることにより任意に選ぶことが
できる。また内容器26内で形成されたアモルファス合金
は、蓋体28で密閉されガス雰囲気状態を維持したまま外
容器26から取り外し、運搬保管することもでき、長期に
わたって酸化を防止することもできる。
On the other hand, since the container 23 is rocked in an eccentric state, the vibration energy causes the mounting base 5 to vibrate via the vibration isolating rubber 4, and ball milling can be efficiently performed. In addition, this vibration energy changes the rotation speed of the motor 12 into the inverter.
It can be arbitrarily selected by switching under the control of 46. In addition, the amorphous alloy formed in the inner container 26 can be removed from the outer container 26 while being sealed with the lid 28 while maintaining the gas atmosphere, transported and stored, and oxidation can be prevented for a long time.

本実施例によれば、ガス雰囲気でボールミル加工がで
き、水冷により試料の温度上昇を防止することができる
ので、試料の酸化を防止し良好なアモルファス合金を得
ることができる。しかも内容器27内のガス雰囲気状態を
維持したまま運搬保管ができるので、さらに試料の酸化
を長期にわたって防止できる。また、真空ポンプ25は筐
体1内に収納されているので、装置がコンパクトにな
り、設置及び運搬が容易となる。
According to this embodiment, ball milling can be performed in a gas atmosphere, and the temperature rise of the sample can be prevented by cooling with water. Therefore, oxidation of the sample can be prevented and a good amorphous alloy can be obtained. Moreover, since the sample can be transported and stored while maintaining the gas atmosphere in the inner container 27, the sample can be further prevented from being oxidized for a long period of time. Further, since the vacuum pump 25 is housed in the housing 1, the device becomes compact, and installation and transportation are easy.

上記実施例では内容器27内をガス雰囲気にしてボールミ
ル加工を行なう場合について説明したが、容器と真空ポ
ンプは可撓性チューブにより常時接続しているので容器
内を常時真空排気した状態でもボールミルする事ができ
る。また容器の蓋体にニードル弁41を2個付ける事によ
り、ガス供給と排出が可能になり、ガスを流通させてガ
スフロー中でボールミル加工を行なうこともできる。さ
らに容器23をヒータで被覆して加熱したり、容器23を液
体窒素を流通させて冷却することもできる。
In the above embodiment, the case where ball milling is performed with the inner container 27 in a gas atmosphere has been described. However, since the container and the vacuum pump are constantly connected by a flexible tube, ball milling is performed even when the container is constantly evacuated. I can do things. Further, by attaching two needle valves 41 to the lid of the container, gas can be supplied and discharged, and gas can be circulated to perform ball milling in a gas flow. Further, the container 23 can be covered with a heater to be heated, or the container 23 can be cooled by circulating liquid nitrogen.

[発明の効果] 以上詳細に説明したように、本発明に係るメカニカルア
ロイング装置によれば、金属粉と硬球を内容器内に密閉
収納し、冷却または加熱しつつ真空引きまたはガス充填
を行なってボールミル加工を行なうようにしたので、試
料の酸化を防止して良好なアモルファス合金を形成する
ことができ、しかも操作性の向上と装置のコンパクト化
を図ることができる。
[Effects of the Invention] As described in detail above, according to the mechanical alloying device of the present invention, metal powder and hard balls are hermetically housed in an inner container, and vacuuming or gas filling is performed while cooling or heating. Since the ball mill processing is performed by using the ball mill, it is possible to prevent oxidation of the sample, form a good amorphous alloy, and improve the operability and downsize the apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す正面図、第2図は同じ
く平面図、第3図は第1図の容器を示す縦断面図、第4
図は同じく平面図である。 1……筐体、4……防振ゴム(弾性部材) 5……取付台、6……軸受 7……傾斜軸、12……モータ 18……振動板、23……容器 25……真空ポンプ、26……外容器 27……内容器、28……蓋体 38,39……冷却水通路(冷却手段) 41……ニードル弁、43,45……可撓性チューブ 50,51……開閉弁
1 is a front view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the same, FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the container of FIG. 1, and FIG.
The figure is also a plan view. 1 ... Case, 4 ... Anti-vibration rubber (elastic member) 5 ... Mounting base, 6 ... Bearing 7 ... Tilt shaft, 12 ... Motor 18 ... Vibration plate, 23 ... Container 25 ... Vacuum Pump, 26 …… Outer container 27 …… Inner container, 28 …… Lid body 38,39 …… Cooling water passage (cooling means) 41 …… Needle valve, 43,45 …… Flexible tube 50,51 …… Open / close valve

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数種類の金属粉と複数個の硬球とを密閉
容器内に収納し、この容器を振動させてアモルファス合
金を形成するメカニカルアロイング装置において、筐体
内に弾性部材を介して支持された取付台と、この取付台
に固定されたモータと、この取付台に回転自在に支持さ
れて前記モータによって回転駆動され、かつ先端が所定
角度で傾斜した傾斜軸と、この傾斜軸の先端に軸受を介
して揺動可能に支持され前記容器が取り付けられた振動
板と、前記筐体内に設けられ可撓性チューブ及び弁を介
して前記容器に接続された真空ポンプとを設けたことを
特徴とするメカニカルアロイング装置。
1. A mechanical alloying apparatus for accommodating a plurality of kinds of metal powder and a plurality of hard spheres in a hermetically sealed container and vibrating the container to form an amorphous alloy. Mounted mount, a motor fixed to the mount, a tilt shaft rotatably supported by the mount and driven to rotate by the motor, and a tip inclined at a predetermined angle, and a tip of the tilt shaft. A vibration plate, which is swingably supported via bearings and to which the container is attached, and a vacuum pump, which is provided in the housing and is connected to the container via a flexible tube and a valve, are provided. A characteristic mechanical alloying device.
【請求項2】容器は外容器と内容器と筐体とにより構成
され、外容器は振動板に固定され、内容器は外容器に着
脱可能に装着されたことを特徴とする請求項(1)記載
のメカニカルアロイング装置。
2. The container is composed of an outer container, an inner container and a casing, the outer container is fixed to a vibrating plate, and the inner container is detachably mounted on the outer container. ) The mechanical alloying device described.
【請求項3】外容器の内周面には冷却手段または加熱手
段が設けられたことを特徴とする請求項(1)または
(2)記載のメカニカルアロイング装置。
3. The mechanical alloying device according to claim 1, wherein the inner peripheral surface of the outer container is provided with cooling means or heating means.
【請求項4】可撓性チューブの一端は内容器に接続さ
れ、他端は真空ポンプと活性ガスまたは不活性ガス供給
源に接続されガスを流通させてガスフロー中でのボール
ミルを可能にさせたことを特徴とする請求項(1)また
は(2)または(3)記載のメカニカルアロイング装
置。
4. One end of the flexible tube is connected to an inner container, and the other end is connected to a vacuum pump and an active gas or inert gas supply source to allow the gas to flow to enable a ball mill in a gas flow. The mechanical alloying device according to claim 1, characterized in that
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