JPH02263902A - Mechanical alloying apparatus - Google Patents

Mechanical alloying apparatus

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JPH02263902A
JPH02263902A JP1084315A JP8431589A JPH02263902A JP H02263902 A JPH02263902 A JP H02263902A JP 1084315 A JP1084315 A JP 1084315A JP 8431589 A JP8431589 A JP 8431589A JP H02263902 A JPH02263902 A JP H02263902A
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JP
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container
mechanical alloying
metal powder
diaphragm
inner container
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JP1084315A
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Kenji Takagi
健児 高木
Katsunori Kikuchi
捷範 菊地
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Nissin Giken Co Ltd
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Nissin Giken Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prevent oxidation of metal powder and to form a good amorphous alloy by hermetically containing the metal powder and hard balls in a vessel and executing ball mill working while evacuating. CONSTITUTION:The vessel 23 hermetically containing plural kinds of the metal powder and the hard balls is fixed to an oscillating plate 18 and connected with a vacuum pump 25 through flexible tubes 43, 45, etc., to make the vacuum condition in the vessel. By driving a motor 12, the oscillating plate 18 is shaked with shaking movement of inclining part 8a in an inclining shaft 7 while being prevented to rotate with a stopper (not shown in the figure). On the other hand, as the vessel 23 is oscillated under eccentric condition, a fitting table 5 is oscillated through elastic member 4 with this oscillating energy and the ball mill working can be efficiently executed.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は複数種類の金属粉をボールミル処理して合金化
するメカニカルアロイング装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a mechanical alloying device for ball-milling and alloying a plurality of types of metal powder.

(従来の技術) アモルファス合金を形成する手段としては、従来は液体
急冷法やスパッタ法が広く用いられていたが、最近固相
拡散を利用したメカニカルアロインク法によるアモルフ
ァス相の形成が注目を集めている。このメカニカルアロ
イング法はボールミルなどの方法により機械的エネルギ
を金属粉末に加えて合金化を行なう方法である。このた
めの装置として、従来は通常のボールミル装置を用いて
おり、特にメカニカルアロイングのための諸条件を配慮
した専用のボールミル装置は開発されていなかった。こ
のため合金化する金属粉とボールミル加工のための硬球
とを別体のグローブボックス内で容器内を真空にするか
または不活性ガスを封入した後に、振動させて加工を行
なっていた。
(Prior art) Liquid quenching and sputtering methods have traditionally been widely used as means for forming amorphous alloys, but recently the formation of amorphous phases by mechanical alloying methods that utilize solid-phase diffusion has attracted attention. ing. This mechanical alloying method is a method in which mechanical energy is applied to metal powder using a method such as a ball mill to effect alloying. Conventionally, a normal ball mill device has been used as a device for this purpose, and a dedicated ball mill device that takes into account the various conditions for mechanical alloying has not been developed. For this reason, the metal powder to be alloyed and the hard balls for ball milling are placed in a separate glove box, the inside of which is evacuated or filled with inert gas, and then processed by vibration.

また加工中に発生する熱の冷却については配慮されてお
らず、従来は試料の温度上昇を防ぐため、一定の時間ボ
ールミル加工を行なった後に一定の時間加工を休止する
ようにしていた。従って作業時間が長くかかり、しかも
試料が酸化するおそれがあるという問題があった。さら
に、容器内を真空にするための真空ポンプはボールミル
装置と別体であったため、装置の占める面積も広い面積
を必要とし、移動も困難となるという欠点もあった。
Furthermore, no consideration has been given to cooling the heat generated during processing, and in the past, in order to prevent the temperature of the sample from rising, ball milling was performed for a certain period of time and then processing was stopped for a certain period of time. Therefore, there are problems in that the work takes a long time and there is a risk that the sample may be oxidized. Furthermore, since the vacuum pump for evacuating the inside of the container was separate from the ball mill device, there were also disadvantages in that the device occupied a large area and was difficult to move.

(発明が解決しようとする課題) 上述したように、従来のメカニカルアロイング装置は単
にボールミル装置を転用したものであり、専用装置とし
ての配慮がなされていなかった。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, the conventional mechanical alloying device is simply a repurposed ball mill device, and no consideration has been given to making it a dedicated device.

このため試料が酸化したり、作業時間が長くなったり、
装置が大型化するなどの問題があった。
This may result in oxidation of the sample, increased working time, or
There were problems such as the equipment becoming larger.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、試料の
酸化や温度上昇を防止して短時間にアモルファス合金を
形成することのできる、操作性のよいコンパクトな構造
のメカニカルアロイング装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a mechanical alloying device having a compact structure with good operability and capable of forming an amorphous alloy in a short time while preventing oxidation of the sample and temperature rise. The purpose is to

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は上記目的を達成するために、複数種類の金属粉
と複数個の硬球とを密閉容器内に収納し、この容器を振
動させてアモルファス合金を形成するメカニカルアロイ
ング装置において、筺体内に弾性部材を介して支持され
た取付台と、この取付台に固定されなモータと、この取
付台に回転自在に支持されて前記モータによってUgJ
転駆動駆動、かつ先端が所定角度で傾斜した傾斜軸と、
この傾斜軸の先端に軸受を介して揺動可能に支持され前
記容器が取り付けられた振動板と、前記筺体内に設けら
れ可撓性チューブ及び弁を介して前記容器に各種ガスの
供給と真空ポンプとを設けたものである。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problem) In order to achieve the above object, the present invention stores a plurality of types of metal powder and a plurality of hard balls in a closed container, and vibrates the container. A mechanical alloying device for forming an amorphous alloy includes a mounting base supported through an elastic member within a housing, a motor not fixed to the mounting base, and a UgJ
A tilted shaft with a rolling drive and whose tip is tilted at a predetermined angle,
A diaphragm is rotatably supported at the tip of the tilted shaft via a bearing, and the container is attached to the diaphragm, and various gases are supplied to the container through flexible tubes and valves provided inside the housing, and vacuum is supplied to the container. It is equipped with a pump.

さらに、この容器は外容器と内容器と筺体とにより構成
され、外容器は振動板に固定され、内容器を外容器に着
脱可能に装着されている。また内容器と外容器との間に
は冷却手段または加熱手段が設けられている。
Further, this container is composed of an outer container, an inner container, and a housing, the outer container is fixed to a diaphragm, and the inner container is detachably attached to the outer container. Further, a cooling means or a heating means is provided between the inner container and the outer container.

また、可撓性チューブの一端を内容器に接続し、他端を
真空ポンプ及び活性ガスまたは不活性ガスの供給源に接
続してもよい。
Alternatively, one end of the flexible tube may be connected to the inner container, and the other end may be connected to a vacuum pump and a source of active gas or inert gas.

(作用) 上記の構成によると、容器内に収納された金属粉を真空
引きしながら、または各種ガス雰囲気中もしくは流れの
状態でボールミル加工を行なうことができる。また容器
を冷却または加熱することにより試料を適正な温度に保
持して良好なアモルファス合金を連続して短時間に形成
することができる。さらに容器を外容器と内容器とで構
成することにより、金属粉が収納された内容器を真空ま
たはガス雲囲気を保持したまま運搬及び保存が可能とな
り、金属粉または合金の酸化を防止することができる。
(Function) According to the above configuration, ball milling can be performed while the metal powder stored in the container is being evacuated, or in various gas atmospheres or in a flow state. Furthermore, by cooling or heating the container, the sample can be maintained at an appropriate temperature, and a good amorphous alloy can be continuously formed in a short time. Furthermore, by constructing the container with an outer container and an inner container, the inner container containing the metal powder can be transported and stored while maintaining a vacuum or gas cloud atmosphere, thereby preventing oxidation of the metal powder or alloy. I can do it.

しかも真空ポンプは筺体内に設けられているので、装置
がコンパクトな構造となり、運搬も容易となる。
Furthermore, since the vacuum pump is provided within the housing, the device has a compact structure and is easy to transport.

(実施例) 以下、本発明に係るメカニカルアロイング装置の一実施
例を図面を参照して説明する。
(Example) Hereinafter, an example of a mechanical alloying device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図乃至第4図に本発明の一実施例を示す。An embodiment of the present invention is shown in FIGS. 1 to 4.

第1図及び第2図において、筺体1の下面四隅にはそれ
ぞれ脚部2が設けられており、上部内側の対向面には1
対のリブ3が平行に一体に形成されている。これらのリ
ブ3上にはそれぞれ防振ゴム4を介して取付台5の四隅
が上下動可能に収り付けられている。この取付台5の中
心には軸受6が設けられており、この軸受6には傾斜軸
7が取付台5に対して直角方向に回転自在に支持されて
おリ、この傾斜軸7の取付板5の上部に突出する先端に
は、軸方向に対し所定の角度で傾斜した傾斜部7aが延
設されている。また取付台5の下面にはこの取付台5に
対し直角にブラケット8が固定されており、こめブラケ
ット8の下端には傾斜軸7の下端近傍を回転自在に支持
する軸受9が設けられている。そしてこれらの軸受6,
9の外輪間にはパイプ10が装着されており、軸受6,
9間のra7隔を保持するようになっている。また、ブ
ラケット8の側面にはモータ台11を介してモータ12
が固定されており、このモータ12の駆動軸13と傾斜
軸7の下端にはそれぞれブー1月4.15が取り付けら
れていて、これらのプーリ14.15間にベルト16が
張架されて、モータ12の駆動軸13の回転が傾斜軸7
に伝達されるようになっている。
In FIGS. 1 and 2, legs 2 are provided at each of the four corners of the lower surface of the housing 1, and legs 2 are provided on the opposing surface inside the upper part.
A pair of ribs 3 are integrally formed in parallel. The four corners of a mounting base 5 are vertically movably housed on these ribs 3 via anti-vibration rubber 4, respectively. A bearing 6 is provided at the center of the mounting base 5, and a tilting shaft 7 is rotatably supported by the bearing 6 in a direction perpendicular to the mounting base 5. An inclined portion 7a that is inclined at a predetermined angle with respect to the axial direction is provided at the tip of the tip 5 that projects upwardly. A bracket 8 is fixed to the lower surface of the mount 5 at a right angle to the mount 5, and a bearing 9 is provided at the lower end of the bracket 8 to rotatably support the vicinity of the lower end of the inclined shaft 7. . And these bearings 6,
A pipe 10 is installed between the outer rings of the bearings 6 and 9.
It is designed to maintain an ra7 spacing of 9. Further, a motor 12 is connected to the side surface of the bracket 8 via a motor stand 11.
is fixed, a pulley 4.15 is attached to the lower end of the drive shaft 13 of the motor 12 and the tilting shaft 7, respectively, and a belt 16 is stretched between these pulleys 14.15. The rotation of the drive shaft 13 of the motor 12 is caused by the tilt axis 7.
It is intended to be transmitted to

一方、傾斜軸7の先端の傾斜部7aには、軸受17を介
して振動板18の中心がこの傾斜部7aに対して直角に
回転自在に装着されており、この振動板18の長手方向
の対向する二辺にはそれぞれスプリング$l1119が
突出して設けられている。そしてスプリング軸19には
それぞれ2個のスプリング20の一端が係止されており
、これらのスプリング20の他端はそれぞれ前記取付台
5の四隅近傍に係止されていて、振動板18を取付台5
に対して弾性的に位置決め保持している。また振動板1
8は傾斜部7aに対してカラー21及びナツト22によ
り軸方向の抜けが防止されており、振動板18上には傾
斜部7aに対して対称の位置に容器23が取り付けられ
ている。さらに筺体1の上部はカバー24によって被覆
されており、筺体1内には真空ポンプ25が設けられて
いる。
On the other hand, the center of a diaphragm 18 is rotatably mounted on the inclined portion 7a at the tip of the inclined shaft 7 via a bearing 17 at right angles to the inclined portion 7a. A spring $1119 is provided to protrude from each of the two opposing sides. One end of two springs 20 is fixed to each of the spring shafts 19, and the other ends of these springs 20 are respectively fixed near the four corners of the mounting base 5, and the diaphragm 18 is fixed to the mounting base. 5
It is elastically positioned and held. Also, diaphragm 1
8 is prevented from coming off in the axial direction with respect to the inclined portion 7a by a collar 21 and a nut 22, and a container 23 is mounted on the diaphragm 18 at a position symmetrical to the inclined portion 7a. Furthermore, the upper part of the housing 1 is covered with a cover 24, and a vacuum pump 25 is provided inside the housing 1.

次に容器23の構成を第3図及び第4図を参照して説明
する。容器23はそれぞれステンレス鋼などにより有底
円筒状に形成された外容器26及び内容器27と、同じ
くステンレス鋼などで円板状に形成された蓋体28とか
らなっている。内容器27の外径は外容器26の内径と
ほぼ等しくなっており、内容器27は外容器26内に着
脱可能に嵌合されている。
Next, the structure of the container 23 will be explained with reference to FIGS. 3 and 4. The container 23 is composed of an outer container 26 and an inner container 27, each of which is made of stainless steel or the like in a cylindrical shape with a bottom, and a lid 28 which is also made of stainless steel or the like and has a disc shape. The outer diameter of the inner container 27 is approximately equal to the inner diameter of the outer container 26, and the inner container 27 is removably fitted into the outer container 26.

また内容器27の上端面には外側に向って鍔部27aが
一体に形成されており、この鍔部27aには同心上にそ
れぞれ4個の取付孔29と4個のねじ孔30とが等ピッ
チで交互に設けられている。また外容器26の上端面に
はこれらの取付孔29に整合する位置に4個のねじ孔3
1が設けられている。さらに蓋体28にも内容器27の
鍔部27aに設けられた取付孔29及びねじ孔30に整
合する位置に8個の取付孔32が設けられている。そし
てこれらの取付孔32と内容器°27のねじ孔30とに
ボルト33を挿入螺着することにより蓋体28が内容器
27に固定され、蓋体28の取付孔32と内容器27の
取付孔29とを貫通してボルト34を挿入し、外容器2
6のねじ孔31に螺着することにより、蓋体28、内容
器27及び外容器26が一体に固定されるようになって
いる。また外容器26の端面と内容器27の鍔部27a
の内面との間には0リング35が装着され、鍔部27a
の外面と蓄体28との間にはOリング36がそれぞれ装
着されている。さらに外容器26は複数本のボルト37
により振動板18に取り付けられている。
Further, a flange portion 27a is integrally formed on the upper end surface of the inner container 27 toward the outside, and this flange portion 27a has four mounting holes 29 and four screw holes 30 concentrically arranged at equal intervals. They are arranged alternately with pitches. Additionally, four screw holes 3 are provided on the upper end surface of the outer container 26 at positions that align with these mounting holes 29.
1 is provided. Furthermore, eight attachment holes 32 are provided in the lid body 28 at positions that align with the attachment holes 29 and screw holes 30 provided in the flange portion 27a of the inner container 27. The lid 28 is fixed to the inner container 27 by inserting and screwing the bolts 33 into these mounting holes 32 and the screw holes 30 of the inner container 27, and the inner container 27 is attached to the mounting holes 32 of the lid 28 and the inner container 27. Insert the bolt 34 through the hole 29 and remove the outer container 2.
By screwing into the screw holes 31 of No. 6, the lid body 28, the inner container 27, and the outer container 26 are fixed together. In addition, the end face of the outer container 26 and the flange 27a of the inner container 27
An O-ring 35 is attached between the inner surface of the flange 27a and the inner surface of the flange 27a.
An O-ring 36 is installed between the outer surface of the storage body 28 and the storage body 28, respectively. Furthermore, the outer container 26 has a plurality of bolts 37.
is attached to the diaphragm 18 by.

一方、外容器26と内容器27との間には軸方向及び半
径方向に連通した冷却水通83Bが形成されており、こ
の冷却水通路38は振動板18に形成された冷却水通路
39に連通している。そしてこの冷却水通路39は振動
板18の外周に形成されたボート40を介して図示せぬ
冷却水供給源に接続されている。
On the other hand, a cooling water passage 83B communicating in the axial and radial directions is formed between the outer container 26 and the inner container 27, and this cooling water passage 38 connects to a cooling water passage 39 formed in the diaphragm 18. It's communicating. This cooling water passage 39 is connected to a cooling water supply source (not shown) via a boat 40 formed on the outer periphery of the diaphragm 18.

また蓋体28の中心にはニガニードル弁41が取り付け
られており、このニードル弁41は内容器27内及び蓋
体28の外周に設けられたボート42に連通している。
Further, a bitter needle valve 41 is attached to the center of the lid body 28, and this needle valve 41 communicates with a boat 42 provided inside the inner container 27 and on the outer periphery of the lid body 28.

そしてボート42は可撓性チューブ43を介して筺体1
に設けられた配管マニホールド44に接続されており、
さらに配管マニホールド44は可撓性チューブ45と開
閉弁50.51を介して真空ポンプ25の吸気口と、ガ
ス供給口52に接続されている。
The boat 42 is connected to the housing 1 via a flexible tube 43.
It is connected to a piping manifold 44 provided in
Furthermore, the piping manifold 44 is connected to the intake port of the vacuum pump 25 and the gas supply port 52 via a flexible tube 45 and on-off valves 50, 51.

なお、第2図における符号46はモータ12の回転を制
御するインバータ、符号47はカバー24の開閉の支点
となる蝶番、符号48は振動板18の回転を係止するス
トッパ、符号49は振動板18に取り付けられストッパ
48と係合する防振ゴムである。
In FIG. 2, reference numeral 46 is an inverter that controls the rotation of the motor 12, reference numeral 47 is a hinge that serves as a fulcrum for opening and closing the cover 24, reference numeral 48 is a stopper that stops the rotation of the diaphragm 18, and reference numeral 49 is a diaphragm. It is a vibration isolating rubber attached to the stopper 18 and engaged with the stopper 48.

次に本実施例の作用を説明する。内容器27内にアモル
ファス合金を形成するための複数種類の金属粉と、例え
ば直径11mmのステンレス鋼で形成された多数の鋼球
とを収納し、蓋体28を収り付けてボルト33で締結固
定する。次にこの内容器27を外容器26内に嵌合装着
し、ボルト34で一体に締結固定する。さらに蓋体28
及び内容器27が固定された外容器26をボルト37で
振動板18に締結固定し、蓋体28に設けられたボート
42と配管マニホールド44とを可撓性チューブ43で
接続する。このとき配管マニホールド44と真空ポンプ
25とは開閉弁50を介し可撓性チューブ45で接続さ
れている。同時に開閉弁51を介し各種ガス供給とも接
続している。次にニードル弁41を開いた後真空ポンプ
25を駆動し、開閉弁50を開き容器内を真空状態とす
る。その後開閉弁50を閉じ開閉弁51により、ガスを
充填しニードル弁41を閉じる。カバー24で筺体1の
上部を被覆し、モータ12を駆動する。この結果振動板
18はストッパ48により回転が係止されながら、傾斜
軸7の傾斜部7aの首振り運動によって揺動する。
Next, the operation of this embodiment will be explained. A plurality of types of metal powder for forming an amorphous alloy and a large number of steel balls made of stainless steel with a diameter of 11 mm, for example, are stored in the inner container 27, and the lid body 28 is installed and fastened with bolts 33. Fix it. Next, this inner container 27 is fitted into the outer container 26 and fastened and fixed together with bolts 34. Furthermore, the lid body 28
The outer container 26 to which the inner container 27 is fixed is fastened and fixed to the diaphragm 18 with bolts 37, and the boat 42 provided on the lid body 28 and the piping manifold 44 are connected with a flexible tube 43. At this time, the piping manifold 44 and the vacuum pump 25 are connected by a flexible tube 45 via an on-off valve 50. At the same time, it is also connected to various gas supplies via an on-off valve 51. Next, after opening the needle valve 41, the vacuum pump 25 is driven, and the on-off valve 50 is opened to bring the inside of the container into a vacuum state. Thereafter, the on-off valve 50 is closed, gas is filled with the on-off valve 51, and the needle valve 41 is closed. The upper part of the housing 1 is covered with a cover 24, and the motor 12 is driven. As a result, the diaphragm 18 is oscillated by the oscillating movement of the inclined portion 7a of the inclined shaft 7, while its rotation is stopped by the stopper 48.

一方、振動板18に形成されたポート40からは冷却水
が注入され、冷却水通路39.38を流れるので容器2
3は冷却される。従ってボールミル加工による容器23
の温度上昇を抑えることができ、試料を所定の温度に維
持して良好なアモルファス合金を形成することができる
On the other hand, cooling water is injected from the port 40 formed in the diaphragm 18 and flows through the cooling water passages 39 and 38, so the container 2
3 is cooled. Therefore, the container 23 by ball milling
temperature rise can be suppressed, and a good amorphous alloy can be formed by maintaining the sample at a predetermined temperature.

一方、容器23は偏心した状態で揺動されるため、この
振動エネルギーにより防振ゴム4を介して取付台5が振
動し、ボールミル加工を効率よく行なうことができる。
On the other hand, since the container 23 is oscillated in an eccentric state, the mounting base 5 is vibrated by the vibration energy through the vibration isolating rubber 4, and ball milling can be carried out efficiently.

またこの振動エネルギーはモータ12の回転数をインバ
ータ46の制御により切り替えることにより任意に選ぶ
ことができる。また内容器26内で形成されたアモルフ
ァス合金は、蓋体28で密閉されガス雰囲気状態を維持
したまま外容器26から取り外し、運搬保管することも
でき、長期にわたって酸化を防止することもできる。
Further, this vibration energy can be arbitrarily selected by changing the rotation speed of the motor 12 under control of the inverter 46. Further, the amorphous alloy formed in the inner container 26 can be removed from the outer container 26 and transported and stored while being sealed with the lid 28 and maintaining the gas atmosphere, and oxidation can be prevented over a long period of time.

本実施例によれば、ガス雰囲気でボールミル加工ができ
、水冷により試料の温度上昇を防止することができるの
で、試料の酸化を防止し良好なアモルファス合金を得る
ことができる。しかも内容器27内のガス雰囲気状態を
維持したまま運搬保管ができるので、さらに試料の酸化
を長期にわたって防止できる。また、真空ポンプ25は
筺体1内に収納されているので、装置がコンパクトにな
り、設置及び運搬が容易となる。
According to this example, ball milling can be performed in a gas atmosphere, and the temperature of the sample can be prevented from increasing by water cooling, so oxidation of the sample can be prevented and a good amorphous alloy can be obtained. Moreover, since the sample can be transported and stored while maintaining the gas atmosphere inside the inner container 27, oxidation of the sample can be further prevented for a long period of time. Further, since the vacuum pump 25 is housed within the housing 1, the device becomes compact and easy to install and transport.

上記実施例では内容器27内をガス雰囲気にしてボール
ミル加工を行なう場合について説明したが、容器と真空
ポンプは可撓性チューブにより常時接続しているので容
器内を常時真空排気した状態でもボールミルする事がで
きる。また容器の蓋体にニードル弁41を2個付ける事
により、ガス供給と排出が可能になり、ガスを流通させ
てガスフロー中でボールミル加工を行なうこともできる
。さらに容器23をヒータで被覆して加熱したり、容器
23を液体窒素を流通させて冷却することもできる。
In the above embodiment, a case has been described in which ball milling is performed in a gas atmosphere inside the inner container 27, but since the container and the vacuum pump are constantly connected through a flexible tube, ball milling can be performed even when the inside of the container is constantly evacuated. I can do things. Furthermore, by attaching two needle valves 41 to the lid of the container, gas can be supplied and discharged, and ball milling can be performed in a gas flow by circulating gas. Further, the container 23 can be heated by being covered with a heater, or the container 23 can be cooled by flowing liquid nitrogen.

[発明の効果] 以上詳細に説明したように、本発明に係るメカニカルア
ロイング装置によれば、金属粉と硬球を内容器内に密閉
収納し、冷却または加熱しつつ真空引きまたはガス充填
を行なってボールミル加工を行なうようにしたので、試
料の酸化を防止して良好なアモルファス合金を形成する
ことができ、しかも操作性の向上と装置のコンパクト化
を図ることができる。
[Effects of the Invention] As explained in detail above, according to the mechanical alloying device according to the present invention, metal powder and hard balls are hermetically stored in the inner container, and vacuuming or gas filling is performed while cooling or heating. Since the ball milling is carried out using the same method, oxidation of the sample can be prevented and a good amorphous alloy can be formed, and the operability can be improved and the apparatus can be made more compact.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す正面図、第2図は同じ
く平面図、第3図は第1図の容器を示す縦断面図、第4
図は同じく平面図である91・・・筺体     4・
・・防振ゴム(弾1部材)5・・・取付台    6・
・・軸受 7・・・傾斜軸    12・・・モータ18・・・振
動板    23・・・容器25・・・真空ポンプ  
26・・・外容器27・・・内容器    28・・・
蓋体38、39・・・冷却水通路(冷却手段)41・・
・ニードル弁  43.45・・・可撓性チューブ50
、51・・・開閉弁 代理人 弁理士 本 1)  崇
FIG. 1 is a front view showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view, FIG. 3 is a vertical sectional view showing the container of FIG. 1, and FIG.
The figure is also a plan view 91... Housing 4.
・・Vibration-proof rubber (bullet 1 component) 5・Mounting base 6・
... Bearing 7 ... Inclined shaft 12 ... Motor 18 ... Vibration plate 23 ... Container 25 ... Vacuum pump
26...Outer container 27...Inner container 28...
Lid bodies 38, 39...Cooling water passage (cooling means) 41...
・Needle valve 43.45...Flexible tube 50
, 51... Opening/closing valve agent Patent attorney Book 1) Takashi

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)複数種類の金属粉と複数個の硬球とを密閉容器内
に収納し、この容器を振動させてアモルファス合金を形
成するメカニカルアロイング装置において、筺体内に弾
性部材を介して支持された取付台と、この取付台に固定
されたモータと、この取付台に回転自在に支持されて前
記モータによって回転駆動され、かつ先端が所定角度で
傾斜した傾斜軸と、この傾斜軸の先端に軸受を介して揺
動可能に支持され前記容器が取り付けられた振動板と、
前記筺体内に設けられ可撓性チューブ及び弁を介して前
記容器に接続された真空ポンプとを設けたことを特徴と
するメカニカルアロイング装置。
(1) In a mechanical alloying device that stores multiple types of metal powder and multiple hard balls in a sealed container and vibrates the container to form an amorphous alloy, the metal powder is supported within the housing via an elastic member. a mounting base, a motor fixed to the mounting base, a tilted shaft that is rotatably supported by the mounting base and rotationally driven by the motor and whose tip is inclined at a predetermined angle, and a bearing at the tip of the tilted shaft. a diaphragm that is swingably supported through the diaphragm and to which the container is attached;
A mechanical alloying device comprising: a vacuum pump provided within the housing and connected to the container via a flexible tube and a valve.
(2)容器は外容器と内容器と筺体とにより構成され、
外容器は振動板に固定され、内容器は外容器に着脱可能
に装着されたことを特徴とする請求項(1)記載のメカ
ニカルアロイング装置。
(2) The container is composed of an outer container, an inner container, and a casing,
2. The mechanical alloying device according to claim 1, wherein the outer container is fixed to the diaphragm, and the inner container is detachably attached to the outer container.
(3)外容器の内周面には冷却手段または加熱手段が設
けられたことを特徴とする請求項(1)または(2)記
載のメカニカルアロイング装置。
(3) The mechanical alloying device according to claim (1) or (2), wherein a cooling means or a heating means is provided on the inner peripheral surface of the outer container.
(4)可撓性チューブの一端は内容器に接続され、他端
は真空ポンプと活性ガスまたは不活性ガス供給源に接続
されガスを流通させてガスフロー中でのボールミルを可
能にさせたことを特徴とする請求項(1)または(2)
または(3)記載のメカニカルアロイング装置。
(4) One end of the flexible tube was connected to the inner container, and the other end was connected to a vacuum pump and an active gas or inert gas supply source to allow gas to flow and enable ball milling in a gas flow. Claim (1) or (2) characterized by
Or the mechanical alloying device described in (3).
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