JPH0670572B2

JPH0670572B2 - 物質の質量流量を測定する装置および物質の質量流量を測定する方法

Info

Publication number: JPH0670572B2
Application number: JP63183421A
Authority: JP
Inventors: アラン・エム・ヤング; イー・ロナルド・ブレーク
Original assignee: イグザク・コーポレーシヨン
Priority date: 1987-07-22
Filing date: 1988-07-22
Publication date: 1994-09-07
Anticipated expiration: 2009-09-07
Also published as: EP0300301B2; JPH01138419A; US4914956A; AU595124B2; ATE75310T1; EP0300301B1; AU1879788A; DE3870341D1; EP0300301A1

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はコリオリ型質量流量計に関するものであり、更
に詳しくいえば、流れる質量を通す１本または複数の円
筒状の管へ結合され、コリオリ加速度を受けるよう駆動
すなわち励振される運動検出器から得た２つの電気信号
を処理する改良した方法および回路に関するものであ
る。

〔従来の技術とこの発明が解決しようとする課題〕

まっすぐな管、曲がった管またはループ状にされた管中
にひき起こされるコリオリ力またはそのコリオリ力から
の作用を測定することにより得られる情報を処理するす
るために数多くの技術が知られている。たとえば米国特
許第3,329,019号、第3,355,944号および第3,485,098号
の各明細書に記載されている技術においては、「駆動」
点の両側における管の変位速度が測定され、それらの測
定値の差が、質量流量を指示するよう較正されている交
流電圧計を用いて読取られる。しかし、後で指摘するよ
うに、質量流量を指示する手段として２つの速度信号の
差を用いると、駆動周波数（Hz）に対応する駆動振動
数ｗ（＝２π）が含まれることになる。駆動振動数ｗ
が一定でないとすると、質量流量の決定に誤差が生じて
しまう。また共振運動の下においては、駆動振動数ｗは
流体の密度とともに変化し、それらの変化により質量流
量測定に大きな誤差が生ずる。前記米国特許に開示され
ている技術ではそのような誤差の発生源は認識されてい
ない。

前記米国特許に開示されている技術では、測定した２つ
の「速度」信号の和に比例する信号で駆動手段の制御も
行っている。しかし、類似の回路の使用において、回路
の部品が老化すると、または部品を交換すると、あるい
は管の駆動手段（たとえば磁石とコイルの少なくとも一
方）を交換すると、速度信号の和は一定の駆動レベルを
供給しない。したがって、質量流量測定の誤差は駆動振
幅の変化に正比例するから、流量計の再較正が必要とな
る。

米国特許第4,660,421号および第4,655,089号の各明細書
には、コリオリ力と管の変位との相互間における位相差
の非直線的な変化を検出する技術が開示されている。そ
れらの技術は有効であるが、信号処理の観点からは望ま
しくない。前記米国特許第4,655,089号明細書には、米
国再発行特許第RE31,450号、米国特許第4,422,338号、
第4,491,025号の各明細書に開示されている時間差法
が、駆動振動数の変化に伴う諸問題を正しく考慮に入れ
ることに失敗した理由も述べられている。前記米国特許
に開示されている各装置は、運動検出器中にスプリアス
信号を生じさせる過大な震動ノイズまたは油圧ノイズに
より悪影響を受けることがある。それらのノイズは円筒
状管内に望ましくない共震震動モードを励振し、そのた
めに信号の測定が悪影響を受ける。

振動の中心平面またはその近くで正確に測定するため
に、前記米国特許第4,422,338号明細書に記載されてい
る技術は、運動の全範囲にわたつて実際の運動を直線的
に表すアナログセンサを使用することを要求している。
しかし、そのためにその技術を実現するコストが高くな
り、構成が複雑になる。

米国特許第3,132,512号および第3,276,257号の各明細書
には、「速度」ピツクアツプ装置から得たアナログ信号
を処理する方法が開示されている。しかし、その方法
は、信号処理のための基準信号を得るために駆動モー
タ、または別の速度ピツクアツプを必要とする。一対の
検出コイルと一対の基準コイルを必要とする以外に、検
出コイルを逆直列に接続する。これは、電流量における
無流量信号を得るために検出ピツクアツプを正確に整合
させることを必要とする。

したがつて、本発明の目的は、震動させられる管に固定
されている２個のセンサから得られ、震動数に依存せ
ず、かつ流体の密度に悪く依存しない情報を用いて質量
流量を測定する新規な方法および新規な回路を得ること
である。

本発明の別の目的は、経年変化や部品パラメータのドリ
フトによりひき起される駆動レベルの変化により較正が
悪影響を受けることがない前記した種類の方法および回
路を得ることである。

本発明の目的は、質量流量とともに直線的に変化する連
続出力信号が得られる前記した種類の方法および回路を
得ることである。

本発明の目的は、外部の機械的なノイズ、または内部の
油圧ノイズ、あるいは装置の動作周波数に近い周波数に
おける共振動作モードによる悪影響を受けない前記した
種類の方法および回路を得ることである。

本発明の別の目的は、全測定範囲にわたつて直線的に応
答する運動ピツクアツプ装置を必要としない、前記した
種類の方法および回路を得ることである。

本発明の更に別の目的は、基準入力を得るために付加信
号の発生を必要としない前記した種類の方法および回路
を得ることである。

〔課題を解決するための手段〕

要約すれば、本発明の好適な実施例は、２個の運動ピツ
クアツプ装置から受けた入力に応答して、それらの入力
の差に正比例する「差」信号を発生する減算回路と、周
波数依存性を１桁だけ低くし、差信号の位相を90度だけ
推移させる積分器回路と、２個のピツクアツプにより発
生された信号に応答し、それらの信号の和に比例する
「和」信号を発生する加算回路と、積分された差信号を
和信号で除して、２個のピツクアツプが取付けられてい
る管を流れる質量の流量に正比例する出力信号を発生す
る割算回路とを含む。

本発明に従つて、非常に正確な質量流量測定値を得るた
めに「速度測定値」が利用される。これは、前記米国再
発行特許RE31,450号に開示されている、「速度測定値」
が「たかだか最少の結果」を与えることとは対照的であ
る。更に詳しくいえば、前記米国特許第3,485,098号お
よびRE31,450号には、開示されている方法と装置は、
「２つの測定されない対抗する力、すなわち、質量の速
度ひつぱり力および加速度により発生される力を最小に
したり、なくしたりするためにとくに構成される。この
試みは、それらの力が、ねじればねの力の0.2％より少
い累積量まで存在するような点まで成功している。」こ
とが示されている。前記米国再発行特許RE31,450号に開
示されている技術とは対照的に、本発明は、十分に大き
い競合する力が存在する場合にも質量流量を測定する方
法を提供するものである。たとえば、管の駆動振動によ
り、管が静止位置にある時の零から、コリオリの力によ
りひき起される質量流量の大きさを、管が最も大きく動
いている時の大きさより何桁も大きくこえた値まで変化
する慣性加速度を生ずる。また、前記米国特許第4,660,
421号に開示されているようならせん管は、それを「ね
じる」すなわち歪ませる力をらせん管に加えることがで
きる流体の静圧および遠心力の結果として生ずる余分の
力を受ける。そのような管、または三次元の性質を持つ
その他の管を前記米国再発行特許RE31,450号に開示され
ている技術範囲内で用いたとすると、質量流量測定の確
度に悪影響を及ぼす。

また、前記米国再発行特許RE31,450号に開示されている
技術と更に対照的に、その米国再発行特許に開示されて
いる技術の「測定されない対抗する力」を最小にしなけ
ればならないという制限なしに、震動する管の振動サイ
クル全体にわたつて質量流量を測定する新規な方法を提
供するものである。

本発明の重要な利点は、２個のピツクアツプ装置の応答
特性の高調波の内容を正確に一致させる必要がない信号
処理回路が得られることである。

本発明の別の利点は、電気的なノイズ源、機械的なノイ
ズ源、油圧的なノイズ源の少くとも一方から運動ピツク
アツプに導入される余分な電気的ノイズ除去できる回路
が得られることである。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。

まず、センサ管10を含んでいるコリオリ質量流量測定装
置が簡略に示されている第１図を参照する。センサ管10
は任意の形にできるが、説明のために、米国特許第4,66
0,421号に開示されている種類のクロスオーバループと
して示してある。しかし、センサ管は任意の形のものを
利用できることを理解すべきである。図示のように、セ
ンサ管10は細長い全体としてらせん形に巻かれたクロス
オーバループ12を含む。そのループの各端部は支持体1
4,16へ適当に取付けられる。ループ12の駆動部18へルー
プを励振する磁気駆動源Ｄが結合される。その磁気駆動
源は矢印20で示すようにループ12を上下に震動させる。

ループの左端部22と右端部24へピツクアツプP1,P2がそ
れぞれ取付けられる。ここで説明している実施例におい
ては、それらのピツクアツプは「速度型」ピツクアツプ
である。しかし、たとえば「位置」型または「加速度」
型ピツクアツプのような他の適当な種類のピツクアツプ
を使用できることがわかるであろう。また、ピツクアツ
プP1,P2は管の向き合う位置または「対称的に向き合
う」位置に配置する必要はないことがわかるであろう。

駆動源Ｄの駆動エネルギー、典型的には交流電圧の態様
の駆動エネルギーが電子駆動制御およびモニタ装置26に
より供給される。この装置26はピツクアツプP1,P2によ
り発生される信号も受け、それらの信号に応答して、記
録または表示のために質量流量情報を発生する。従来か
ら周知のように、駆動エネルギー源Ｄによりループ12へ
加えられる振動力に応答して、対応する運動がループ端
部22,24へ伝えられて、ピツクアツプP1,P2により検出さ
れる。また、周知のように、ループ12の中を質量が流れ
ると、それぞれのピツクアツプにより発生される信号
は、ループ12の中を流れる物質の質量流量に関連する量
だけ異なる。

上記のように、振動の中間平面を通る管運動検出点の通
過時間差を測定すること（前記米国特許第4,422,338
号，第4,491,025号または米国再発行特許RE31,450
号）、または検出された２つの信号の間の位相差を測定
すること（前記米国特許第4,660,421号）、あるいは駆
動エネルギー源Ｄへの入力が一定に保たれた時に質量流
量の測定値として、２個のセンサの出力の間の電圧差を
測定すること（前記米国特許第3,329,019号，第3,355,9
44号，第3,485,098号）、が従来行われてきた。しか
し、先に述べたように、それらの測定技術にはある欠点
がある。

第２図には、本発明の新規な信号処理回路および方法が
全体としてブロツク図で示されている。この信号処理回
路は差を求める要素すなわち減算器30と、加算器32と、
積分器34と、割算器36とを含む。図からわかるように、
減算器30は、ピツクアツプP1,P2により発生された電圧
信号V1,V2に応答して差信号V3を発生する。

V3＝V1−V2 （１）その差信号V3は積分器34により時間積分されて電圧V5を
発生する。

V5＝∫^t（V1−V2）dt （２）それと同時に、加算器32は電圧V1とV2に応答して和電圧
V4を発生する。

V4＝V1＋V2 （３）それらの電圧V4とV5は割算器36へ入力される。割算器36
は電圧V5を電圧V4で除して出力電圧V6を発生する。

V6＝V5／V4 （４）この出力電圧V6は質量流量に正比例する。しかし、従来
の技術とは対照的に、その出力信号には、前記した種類
の擾乱により生ずる誤差が含まれない。

本発明の技術的思想を説明するために、下記の例につい
て考えてみることにする。流れがない条件で、励振電圧
がAe w cos wtとする。

ここに、ｗ＝駆動「点」Ｄに加えられる駆動周波数または励振周
波数、 Ae＝ピツクアツプP1,P2が取付けられている場所におけ
る「励振」振幅すなわち駆動振幅、である。

速度ピツクアツプP1,P2により発生される電圧信号は、
次式で表されるように相互に、かつ励振電圧に等しい。

V1＝V2＝Ae w cos wt （５）しかし、管10の中を質量が流れると、次式のように示す
ことができる。

V1＝ｗ〔（Ae cos wt）＋（Ar sin wt）〕およびV2＝ｗ〔（Ae cos wt）＋（Ar sin wt）〕（７）ここに、Ar＝ピツクアツプP1,P2が設けられている場所
における「応答」振幅（すなわち、「コリオリ」振幅）
である。

円筒状の管の構造がコリオリ力に応答してフツクの法則
に従うと仮定すると、次式のように示すこともできる。

Ar＝k Ae w Qm したがつて、 Qm＝Ar／k Ae w （８）ここに、ｋは比例定数（温度に依存する）、Qmは決定す
べき質量流量である。

したがつて、式（６）と（７）からV3とV4を求めること
ができる。

V3＝V1−V2＝−2w Ar sin wt （９） V4＝V1＋V2＝2w Ae cos wt （10）および V5＝∫^t（V1−V2）dt＝2Ar cos wt （11） V6＝V5／V4＝Ar／w Ae （12）であるから、V6はQmに直接関連することがわかる。

すなわち、 Qm＝（１／ｋ）V6 （13）運動応答検出器から互いに逆位相の信号、すなわち、
（５）式でV1が−V2に等しい、を発生するように、第１
図に示されている管が振動するようにして励振される場
合には、質量流量に比例する信号を発生するための信号
の処理においては、積分された和信号を差信号で除さな
ければならない。あるいは、検出器の一方のコイルを巻
く向きを逆にすることにより同じ機能を行うことができ
る。

したがつて、第２図にブロツク図で示されている装置は
純粋にアナログであつて、タイミング測定を含まないこ
とがわかるであろう。

本発明の要旨は差信号V3＝V1−V2を用いることで始ま
る。

信号V3の性質，特徴および情報内容は、前記米国特許第
3,355,944号および第3,485,098号の各明細書に添附され
ている図面の第10図に示されている差動増幅器の出力に
完全に類似する。この差信号に対して本発明により行わ
れる付加処理、すなわち、積分と、積分された結果のV1
とV2の和による除算とが、流体密度の変化と、駆動振幅
の変化と、周波数の変化とが質量流量Qmの測定確度に及
ぼす悪影響を解消することにより、上記米国特許により
開示されている方法が大きく改良される。

第３図には、本発明の装置の実際の構成例を示すブロツ
ク図が示されている。この実施例においては、２つの速
度ピツクアツプP1,P2の出力が増幅器U1,U2により増幅さ
れる。可変抵抗Ｒで示すように、それらの増幅器の出力
の振幅がほぼ等しくなるように、等しくない検出された
速度信号を補償するために各入力チヤネルの利得が調節
される。増幅器U1,U2の出力は差増幅器U3と和増幅器U4
へ加えられる。差増幅器U3と和増幅器U4にはいくらか利
得があるが、差増幅器U3の差信号出力は２つの入力電圧
の差に比例し、和増幅器U4による和信号出力は２つの入
力電圧の和に比例する。

差信号は、積分増幅器U5を用いて積分することにより更
に処理され、積分された差信号は第１のロツクイン増幅
器U7へ加えられる。和チヤネルにおいては、和増幅器U4
による和信号出力は第２のロツクイン増幅器U8へ加えら
れる。それら２つのロツクイン増幅器U7とU8は、和増幅
器U4の出力を０ボルトでバイアスされている比較器U6で
処理して、和信号と同じ周波数を持つ方形波を構成して
得た共通基準信号を使用する。その方形波は両方のロツ
クイン増幅器への基準入力として用いられる。第３図に
示す実施例は２つのロツクイン増幅器U7,U8を含むが、
増幅器U8の代りに精密な増幅器またはピーク検波器等を
使用できることを指摘しておく。

ロツクイン増幅器の動作を知る１つの方法は、ロツクイ
ン増幅器が非常に狭帯域の周波数選択整流器に似ている
ことである。基準周波数以外に、余分な信号を運動検出
ピツクアツプP1,P2中に含ませる外部の機械的ノイズま
たは装置内の油圧の脈動による付加信号のような任意の
周波数が信号中に存在すると、それらの周波数はロツク
イン増幅器により除去される。ロツクイン増幅器の出力
は直流電圧である。それらの電圧はバツフア段U9,U10に
より増幅されてから、基準チヤネル内の電圧−周波数変
換器U11とU12によりその電圧に比例する周波数に変換さ
れる。

電圧−周波数変換器U11,U12からの各サイクル出力をカ
ウントするためにカウンタU13とU14が用いられる。それ
らのカウンタの出力はマイクロプロセツサMPへ送られ
る。このマイクロプロセツサはカウンタU13のカウント
出力をカウンタU14のカウント出力で除す。すなわち、
カウンタU13のカウント値N1がカウンタU14のカウント値
N2で除される。その商は質量流量に直線的に関連する。
マイクロプロセツサMPの出力は適当な読出し器Ｒへ入力
される。この読出し器は電流，電圧，周波数のかたちで
出力信号を発生し、または可視表示器で表示される。

第４図には、本発明にロツクイン増幅器を使用すること
により達成されるある利点を理解する助けとして、ロツ
クイン増幅器の主な部品を示す回路図が示されている。
基本的には、ロツクイン増幅器は位相検出器である。こ
の位相検出器は、特性のそろつた抵抗R1,R2（利得＝−
１に対して）と、利得反転スイツチ増幅器52と、RCフイ
ルタ54とを含むものと考えることができる。スイツチの
位置は基準入力の極性により決定される。入力端子56へ
の信号入力がノイズを含まない正弦波であつて、それの
位相が、回路点58へ加えられた基準信号の位相と同じで
あるとすると、利得反転スイツチ52の出力は全波整流さ
れた正弦波の形を有する。その出力は低域フイルタ54に
より波される。その出力は利得反転スイツチ増幅器52
の出力の値に比例する。しかし、入力信号と基準出力の
位相が互いに90度異なると、スイツチ増幅器52の波さ
れた出力は零である。したがつて、積分器の出力は入力
信号の基本成分のRMS値と、入力信号と基準信号の間の
位相角の余弦とに比例する。したがつて、ロツクイン増
幅器の全伝達関数は、 E_out＝E_incosφ （14）で与えられる。ここに、φは入力信号と基準信号の間の
位相角である。

利得反転スイツチ増幅器52と出力フイルタはそれの入力
周波数からの信号情報を直流電圧へ伝えるから、そのフ
イルタの時定数は、信号に伴うノイズを除去するために
必要な狭い帯域幅を得るために必要な限り長くされる。
ノイズは出力中の信号の真値を中心として対称的に変化
するから、ノイズは出力中には含まれない。

電圧−周波数変換器U11,U12は典型的には電圧制御発振
器であつて、それの出力が入力電圧に比例して変化す
る。積分（二重勾配）アナログ−デジタル（Ａ−Ｄ）変
換器のような他の種類の「変換器」または比率計Ａ−Ｄ
変換器をこの機能のために採用できる。

コリオリ質量流量測定装置においては、流量計を通る流
体の脈動の形の油圧ノイズが含まれることがあり、した
がつて望ましくない電気ノイズが配線により拾われるこ
とがある。流量計が組込まれているパイプ中に存在する
ことがある機械的な性質の電気ノイズを除去し、基準信
号の周波数と同じ周波数の信号のみを選択的に通し、基
準信号と同相でない信号は同じ周波数であつても（cos
φだけ）減衰するロツクイン増幅器の性能により、純粋
にデジタルである位相測定装置の震動およびノイズより
もはるかに高いレベルの震動とノイズを本発明が取扱う
ことができる。

また、電気的、機械的または油圧的なノイズ源から運動
ピツクアツプP1,P2に導入されたノイズを除去する能力
の他に、運動ピツクアツプP1,P2の設計において調波応
答特性を正確に一致させないこともできる。その結果と
して、一方のピツクアツプにより発生させられた調波ひ
ずみが他方のピツクアツプにより発生されたそれとは異
なることがあり得る。このことは、差増幅器への２つの
各波形入力の調波ひずみが異なる場合にとくにそうであ
る。したがつて、ピツクアツプP1とP2の間の調波ひずみ
により、ピツクアツプP1とP2の出力信号が大きく異なる
ようにされることがある。

差信号への基本波の寄与が（前記したように増幅器U2の
利得調節により）最小にされているから、調波ひずみが
存在すると、第２図に示す回路においては、V6対質量流
量の応答が非直線的となることがある。しかし、差チヤ
ネルと和チヤネルにロツクイン増幅器を含ませたことに
より、全ての調波ひずみが効果的に除去されるから、運
動の全範囲にわたつて直線的であるピツクアツプを設計
するための余分の費用を支出することなしに、応答の直
線性を改善できる。したがつて、ロツクイン増幅器は、
機械的，電気的または油圧的なノイズ源から生ずる電気
ノイズ／電子ノイズを除去することに加えて、多くの目
的を果す。

第５図には第２図に示す回路の別の実施例が示されてい
る。この実施例では、差増幅器U3とロツクイン増幅器U7
の間の回路に積分器U5を用いる代りに、和増幅器U4の入
力端子とロツクイン増幅器U8の入力端子を接続する回路
に微分器U5′を用いる。いずれの実施例でも、得られる
結果は同じであることがわかるであろう。

第６図には、電圧−周波数変換器およびカウンタU11−U
13,U12−U14の代りに、アナログ−デジタル変換器を用
いてバツフアU9とU10のアナログ出力をプロセツサが処
理できるデジタル信号に変換するためにアナログ−デジ
タル変換回路を用いる、第２図の回路の別の実施例が示
されている。

読出し装置により表示すべき出力信号を発生するため
に、バツフアU9とU10の出力が比率計アナログ−デジタ
ル変換器へ加えられる、別の実施例が第８図に示されて
いる。

第７図は、バツフアU9とU10の出力が割算器へ加えら
れ、その割算器の出力が電圧−電流変換器または電流−
周波数変換器へ加えられ、その変換器の出力が読取り器
により表示されるように構成された、第２図に示す回路
の更に別の実施例を示す。

先に指摘したように、本発明の信号処理法の目的は、Ar
／wAeに比例する信号を得るように運動ピツクアツプP1,
P2からの信号を取扱うことである。これを行う別のやり
方は、周波数ｗの測定と一緒に、差信号V3を和信号V4で
除すことである。差信号と和信号は時間的に４分の１ず
れているから、ロツクイン増幅器のための基準信号は、
第９図に示されている積分器または微分器を用いて位相
を90度ずらさなければならない。図示のように、この別
の実施例は、N1に比例する差信号をN2に比例する和信号
で除し、その商を周波数ｗで除してN1／wN2を得る手段
を与えるものである。その値は質量流量に直線的に関連
する。

第10図は、第２図に示されている積分器を用いる代り
に、第１の割算器で電圧V3をV4で除して電圧V5＝V3／V4
を得るようにした本発明の別の実施例を示す。この電圧
と、駆動周波数値ｗに比例する周波数値とが第２の割算
器へ入力される。この第２の割算器は質量流量に比例す
る出力電圧V6＝V5／ｗを発生する。２つの割算器の代り
に、適切にプログラムされたマイクロプロセツサを使用
できることがもちろんわかるであろう。そのマイクロプ
ロセツサは入力V3,V4とｗに応答して電圧V6を発生す
る。

先に述べたように、前記米国特許第3,329,019号、第3,3
55,944号および第3,485,098号に開示されている技術
は、２つの速度ピツクアツプから得た信号の差を交流電
圧計へ供給し、ピツクアツプから得た同じ２つの信号の
和で駆動手段の駆動振幅を制御する。それらの技術の２
つの容易に明らかな２つの欠点のうちの１つは（９）式
により示されている。詳しくいえば、電圧V3の振幅に周
波数ｗが含まれていることがわかる。その周波数は駆動
電圧の周波数であつて、その周波数が少しでも変化する
とその変化が、指示される質量流量中に誤差として現わ
れる。流量計が共振状態で動作しているとすると、駆動
周波数は流体密度に応じてもちろん変化する。したがつ
て、駆動周波数への望ましくない依存性に加えて、共振
動作中の駆動周波数が流体の密度とともに変化して、許
容できない誤差を生ずる。

それとは逆に、駆動周波数を制御するために和信号を用
いると、上記３つの米国特許に開示されている技術に
は、部品が経年変化したり、たとえば駆動手段を交換し
たりすると、駆動レベルが変化し、かつ（８）式に示さ
れているように、励振振幅が変化すると応答振幅も変化
するという第２の問題が起る。したがつて、２つの入力
信号の和を基にして駆動信号を制御すると、部品の経年
変化または交換、あるいは何らかの理由で部品の特性が
変化した場合に較正誤差が生ずることがある。従来技術
のそれら２つの欠点は、本発明において、差信号を積分
して望ましくない周波数依存性を除去することにより解
消される。したがつて、駆動信号の振幅が質量流量測定
値に及ぼす影響２つの信号の和を基にして制御しようと
するよりは、積分された差信号を和信号で除す方が好ま
しい。

前記米国特許第4,660,421号明細書に記載されている技
術は、質量流量への測定された位相差の正接依存性に関
するものである。この非直線関係は、当然のことである
が、質量流量に対して直線的な関係を有する信号を発生
したいと望んでいる人の立場からみれば好ましくない。
なんとなれば電子技術の立場からは非直線信号を取扱う
よりは直線信号を取扱うことが容易であるからである。
本発明はそのような直線関係を提供するものである。

前記米国特許第4,655,089号に開示されている技術は、
移相量を質量流量に関連づける位相測定技術に関するも
のであつて、差速度測定値または差電圧測定値を用いる
差信号技術が、３度より大きくないことがある小さい移
相範囲においてのみ直線的である。本発明は、速度差法
についての上記米国特許の欠点を同様に解消するもので
ある。

この米国特許には、米国再発行特許RE31,450、米国特許
第4,422,338号および第4,491,025号に開示されている方
法が、質量流量の測定に誤差を生じさせることがある周
波数または周波数変化を正しく考慮に入れることに失敗
した理由も述べられている。また、本発明は、測定され
る信号に対する周波数の影響を正しく考慮に入れ、問題
が起きないようにその依存性を除去するものである。

前記米国特許第4,422,338号と第4,491,025号および米国
再発行特許RE31,450に開示されている時間差測定技術も
間欠型測定技術であつて、それの確度は信号中の調波ひ
ずみにより影響を受けることがある。米国特許第4,422,
338号明細書には、振動の中心面を常に「追従する」た
めに、運動検出ピツクアツプは、全運動範囲にわたつて
直線的な出力を生じなければならないことが示されてい
る。したがつて、直線的なセンサの出力を用いることが
求められた。本発明においてはそのような制約は課され
ず、ピツクアツプの応答特性が直線的であるという要求
もされない。

米国特許第4,422,338号、第4,491,025号および米国再発
行特許RE31,450に開示されている技術は、他の非コリオ
リ力が最小される特定の時点で管の状態を間欠的に短時
間で測定する、時間をベースとするやり方である。いず
れにしても間欠的な性質である質量流量の測定値を供給
するのではなくて、本発明は、管の震動サイクル全体に
わたつて間欠的にのみ記録される出力ではなく、管の震
動サイクル全体にわたつて連続である性質の測定値を供
給するものである。したがつて、本発明は信号処理法自
体が基本的に異なる技術である。

前記米国特許第4,422,338号、第4,491,025号および米国
再発行特許RE31,450に開示されている技術は、２つの信
号が中心平面を横切る時間差を測定するが、本発明では
同時に検出した２つの信号の電位差を決定し、かつ差増
幅器を用いてその決定を行う。その点から、ピツクアツ
プP1,P2からの２つの入力信号の任意の相対的なタイミ
ング情報は失われる。更に、積分された差信号と和信号
は常に同相であるから、本発明においてはピツクアツプ
P1とP2の出力の間でどのような位相測定も行われない。

前記米国特許第3,132,512号および第3,276,257号には、
コリオリ力がひき起した運動のみに応答する「速度」型
ピツクアツプから得たアナログ信号を処理する方法が開
示されている。したがつて、この方法は、信号の比較に
用いる同期復調器用の基準信号を発生するために、駆動
運動だけに応答する２つのピツクアツプを更に必要とす
る。あるいは、管を駆動するために用いる電動機から基
準信号が得られる。本発明は、測定信号と基準信号を同
じピツクアツプから得る点がその方法とは異なる。

また、前記米国特許第3,132,512号と第3,276,257号に
は、２つのピツクアツプコイルを逆直列に接続すること
が開示されている。こうすると、センサの応答特性を非
常に良く一致させること、および非常に対称的に挙動す
る管構造を要するから、そのように接続したピツクアツ
プコイルは実際には機能しない。

前記米国再発行特許RE31,450の明細書に添附されている
図面の第12図には、ブリツジ回路と増幅器に信号を供給
する一対のストレンゲージを含む実施例が示されてい
る。この実施例では、同期復調器へ基準信号が送られ
る。この技術は、本発明が決して含まれない、力を零に
する技術の一部である。前記米国特許第3,132,512号お
よび第3,276,257号に開示されている技術と全く同様
に、米国特許第4,422,338号、第4,491,025号および米国
再発行特許RE31,450は別々の検出手段すなわち検出トラ
ンスデユーサと、基準信号発生用の付加トランスデユー
サとを設ける。本発明では測定信号と基準信号は同じセ
ンサから得られる。

【図面の簡単な説明】第１図はコリオリ質量流量計の主な動作部品を示す概略
線図、第２図は本発明の回路と処理法を全体的に示すブ
ロツク図、第３図は本発明の信号処理法と信号処理装置
の好適な実施例を示す概略ブロツク図、第４図は第３図
の実施例で用いられる種類のロツクイン増幅器（L.I.
A.）の機能部品を示す概略線図、第５図は差信号の積分
器の代りに微分器を用い、ロツクイン増幅器の出力は第
３図に示す回路と同じである、第３図の回路の一部を示
すブロツク図、第６図，第７図および第８図は第２図に
示す信号割算機能を行う別の回路構成を示し、第９図は
本発明の一部の別の実施例を示すブロツク図、第10図は
本発明の別の実施例を示すブロツク図である。 10……センサ管、12……交差ループ、26……駆動制御お
よびモニタ装置、30……減算器、32……加算器、34……
積分器、36……割算器、Ｄ……駆動源、P1,P2……ピツ
クアツプ、U7,U8……ロツクイン増幅器、U13,U14……カ
ウンタ、MP……プロセツサ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少くとも１本の震動する管に沿う別々の点
に配置されて、その管の動きを検出し、第１の運動応答
アナログ電圧信号と第２の運動応答アナログ電圧信号を
発生する一対の運動検出器と、前記第１のアナログ電圧信号と前記第２のアナログ電圧
信号に応答して、それら２つのアナログ電圧信号の間の
電圧差に比例する差信号を発生する差を求める手段と、前記第１のアナログ電圧信号と前記第２のアナログ電圧
信号に応答して、それら２つのアナログ電圧信号の電圧
の和に比例する和信号を発生する加算手段と、前記差信号を積分する積分手段と、積分された差信号を前記和信号により除して、前記管を
流れる物質の質量流量に比例する出力信号を発生する割
算手段と、を備えることを特徴とする少くとも１本の震動する管を
流れる物質の質量流量を測定する装置。
【請求項２】少くとも１本の震動する管に沿う別々の点
に配置されて、その管の動きを検出し、第１の運動応答
アナログ電圧信号と第２の運動応答アナログ電圧信号を
発生する一対の運動検出器と、前記第１のアナログ電圧信号と前記第２のアナログ電圧
信号に応答して、それら２つのアナログ電圧信号の間の
電圧差に比例する差信号を発生する差を求める手段と、前記第１のアナログ電圧信号と前記第２のアナログ電圧
信号に応答して、それら２つのアナログ電圧信号の電圧
の和に比例する和信号を発生する加算手段と、前記和信号を積分する積分手段と、前記積分された和信号に応答して第１の基準信号を発生
する第１の比較器手段と、前記差信号と前記第１の基準信号に応答して、先行する
信号伝送部品の機械的な特性、油圧特性または電気的特
性により発生される高調波歪の作用をほとんど受けない
第１の直流信号を発生する第１のロツクイン増幅器手段
と、積分された和信号に応答して第２の基準信号を発生する
第２の比較器手段と、前記和信号と前記第２の基準信号に応答して、先行する
信号伝送部品の機械的な特性、油圧特性または電気的特
性により発生される高調波歪の作用をほとんど受けない
第２の直流信号を発生する第２のロツクイン増幅器手段
と、前記第１の直流信号を前記第２の直流信号で除して、前
記管を流れる物質の質量流量に比例する出力信号を発生
する割算手段と、を備えることを特徴とする少くとも１本の震動する管を
流れる物質の質量流量を測定する装置。
【請求項３】少くとも１本の管の一部を震動させて休止
位置に対して変位させる過程と、管の前記部分に沿う少くとも２つの分離されている点の
震動運動を検出して、対応する第１の運動応答アナログ
電圧信号第２の運動応答アナログ電圧信号を発生する過
程と、前記第２の信号から前記第１の信号を差し引いて、それ
らの信号の電圧の差に比例する差信号を発生する過程
と、前記第１の信号と前記第２の信号を加え合わせて、それ
らの信号の電圧の和に比例する和信号を発生する過程
と、前記差信号を積分して、積分された差信号を発生する過
程と、積分された差信号を前記和信号で除して、少くとも１本
の管を流れる物質の質量流量に比例する出力信号を発生
する過程と、を備えることを特徴とする少くとも１本の管を流れる物
質の質量流量を測定する方法。
【請求項４】少くとも１本の管の一部を静止位置に対し
て振動数ｗで振動させる過程と、管の前記部分に沿う別々の点において管の振動運動を検
出し、第１の運動応答アナログ電圧信号と第２の運動応
答アナログ電圧信号を発生する過程と、前記第２の信号から前記第１の信号を差し引いて、それ
ら２つの信号の間の電圧差に比例する差信号を発生する
過程と、前記第１の信号と前記第２の信号を加え合わせて、それ
ら２つの信号の電圧の和に比例する和信号を発生する過
程と、前記和信号に比例する信号の位相を90度だけ推移させ
て、前記差信号を同期検波する基準信号を発生し、前記
基準信号と同相でない信号成分を除去する過程と、検波された差信号を前記和信号で除して対応する第１の
商信号を発生する過程と、前記管が震動させられる振動数ｗに比例する周波数信号
を発生する過程と、前記第１の商信号を前記振動数で除して、前記管を流れ
る物質の質量流量に比例する第２の商信号を発生する過
程と、を備えることを特徴とする少くとも１本の震動する管を
流れる物質の質量流量を測定する方法。
【請求項５】少くとも１本の管の一部を静止位置に対し
て振動数ｗで振動させる過程と、管の前記部分に沿う別々の点において管の振動運動を検
出し、第１の運動応答アナログ電圧信号と第２の運動応
答アナログ電圧信号を発生する過程と、前記第２の信号から前記第１の信号を差し引いて、それ
ら２つの信号の間の電圧差に比例する差信号を発生する
過程と、前記第１の信号と前記第２の信号を加え合わせて、それ
ら２つの信号の電圧の和に比例する和信号を発生する過
程と、前記差信号を前記和信号で除して対応する第１の商信号
を発生する過程と、前記管が震動させられる振動数ｗに比例する値を有する
周波数信号を発生する過程と、前記第１の商信号を前記周波数信号で除して、前記管を
流れる物質の質量流量に比例する第２の商信号を発生す
る過程と、を備えることを特徴とする少くとも１本の震動する管を
流れる物質の質量流量を測定する方法。