JPH0668441B2 - Sheet thickness measuring device - Google Patents

Sheet thickness measuring device

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JPH0668441B2
JPH0668441B2 JP9514886A JP9514886A JPH0668441B2 JP H0668441 B2 JPH0668441 B2 JP H0668441B2 JP 9514886 A JP9514886 A JP 9514886A JP 9514886 A JP9514886 A JP 9514886A JP H0668441 B2 JPH0668441 B2 JP H0668441B2
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JP
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sheet
target
substance
pressure
tension
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健二 磯崎
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、空気吹出によりシート状物質から一定量浮上
している上部検出ヘッドと、前記シート状物質の下側に
配置されたセンサコイルを有する下部検出ヘッドとを備
えた、前記シート状物質の厚さをオンラインで測定する
装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial field of application> The present invention provides an upper detection head that is levitated from a sheet-like substance by a certain amount by air blowing, and a sensor coil disposed below the sheet-like substance. An apparatus for measuring the thickness of the sheet-shaped substance online, which comprises a lower detection head having the same.

<従来の技術> 第7図は従来装置の断面図である。図中、Aは上側の検
出ヘッドで、タンク・キャップ1の開口2の周縁にはダ
イアフラム3が固定され、このダイアフラムの中心部に
導体ターゲット4が取り付けられている。このターゲッ
トの内部には、第8図で示すように、室4aが設けられて
おり、ターゲット4の表面には第9図に示すように、複
数の空気吹出孔4bが設けられている。5は空気をターゲ
ット4に導くチューブ、6は空気をタンクキャップ1内
に導くチューブである。
<Prior Art> FIG. 7 is a sectional view of a conventional device. In the figure, A is an upper detection head, a diaphragm 3 is fixed to the periphery of the opening 2 of the tank cap 1, and a conductor target 4 is attached to the center of the diaphragm. A chamber 4a is provided inside the target as shown in FIG. 8, and a plurality of air outlets 4b are provided on the surface of the target 4 as shown in FIG. Reference numeral 5 is a tube that guides air to the target 4, and 6 is a tube that guides air into the tank cap 1.

Bは下側の検出ヘッドで、内部にはセンサコイル7が設
けられている。8は検出回路である。
B is a lower detection head, inside of which a sensor coil 7 is provided. Reference numeral 8 is a detection circuit.

Cは下側の検出ヘッドBに接して移送されるシート状物
質である。
C is a sheet-like substance transferred in contact with the lower detection head B.

このような構成で、シート状物質Cが矢印D1方向に移送
される場合、上側の検出ヘッドA並びに下側の検出ヘッ
ドBはシート状物質Cの幅方向(紙面に対し垂直方向)
に往復走行する。
With such a configuration, when the sheet material C is transported in the direction of the arrow D1, the upper detection head A and the lower detection head B are arranged in the width direction of the sheet material C (perpendicular to the paper surface).
Travel back and forth.

厚さの測定は、シート状物質Cを検出ヘッドAとB間に
挟み、タンク・キャップ1の内圧を高め、ターゲット4
をシート状物質Cの表面に対し垂直方向に押圧する。
To measure the thickness, the sheet-shaped substance C is sandwiched between the detection heads A and B, the internal pressure of the tank cap 1 is increased, and the target 4
Is pressed in the direction perpendicular to the surface of the sheet-like substance C.

ターゲット4にはチューブ5を介し空気が供給されてお
り、ターゲット4の自重、前記弾性支持手段の復元力、
チューブ6を通してタンクキャプ1内に導かれる空気圧
P2による押圧力、空気圧P1の空気吹出による浮上力とが
バランスし、ターゲット4をシート状物質Cより一定量
ε浮上させる。
Air is supplied to the target 4 through the tube 5, and the weight of the target 4 and the restoring force of the elastic support means
Air pressure introduced into the tank cap 1 through the tube 6.
The pressing force of P 2 and the levitation force of the air pressure P 1 due to the air blowing balance, and the target 4 is levitated from the sheet-like substance C by a certain amount ε.

下側の検出ヘッドB中のセンサコイル7には高周波電流
が流されており、磁束が生成される。センサコイル7に
対向して配置されたターゲット4は良導体であり、この
部分に渦電流が発生する。この渦電流によりセンサコイ
ル7の磁束が減少しコイル・インピーダンスが変化す
る。このインピーダンス変化はターゲット4とセンサコ
イル7間の距離に対応しており、この距離はまたシート
状物質Cの厚さaと一定浮上量εとの和で表わされる。
この為、前記インピーダンスの変化をブリッジ回路等を
用いた検出回路8により検出し、この信号より浮上量ε
を差引く演算を行えば、シート状物質Cの厚さaをオン
ラインで検知することが出来る。
A high frequency current is applied to the sensor coil 7 in the lower detection head B, and a magnetic flux is generated. The target 4 arranged so as to face the sensor coil 7 is a good conductor, and an eddy current is generated in this portion. This eddy current reduces the magnetic flux of the sensor coil 7 and changes the coil impedance. This impedance change corresponds to the distance between the target 4 and the sensor coil 7, and this distance is also represented by the sum of the thickness a of the sheet-like substance C and the constant flying height ε.
Therefore, the change in the impedance is detected by the detection circuit 8 using a bridge circuit or the like, and the flying height ε is detected from this signal.
The thickness a of the sheet-like substance C can be detected online by performing the subtraction calculation.

しかしながら、シート状物質Cの張力は幅方向の位置に
よって変化する。一般的に、シート状物質Cの中央部で
は張力は大きく、両端部では縁が解放されている為、張
力は小さくなる。シート状物質Cが例えば紙のような繊
維質の場合、張力が変ると紙の表面部分の繊維の配合具
合が変って、空気P1の吹出空気の流れが変る。この空気
流の変化によって、浮上量εが変化する。
However, the tension of the sheet material C changes depending on the position in the width direction. Generally, the tension is high in the central portion of the sheet-like material C and the edges are open at both ends, so the tension is low. When the sheet-like substance C is a fibrous material such as paper, when the tension is changed, the blending condition of the fibers on the surface portion of the paper is changed, and the flow of the air P 1 is changed. Due to the change in the air flow, the flying height ε changes.

第10図は浮上量の変化を示し、横軸はシート状物質Cの
張力Tを、縦軸はターゲット4とセンサコイル7との間
の距離(a+ε)を表わす。尚、シート状物質Cの厚さ
aは一定とする。図から明らかなように、張力Tが大き
くなると距離a+εは小さくなる。シート状物質Cの厚
さは一定であるから、ターゲット4の浮上量εが張力T
の増大に伴って減少することを表している。
FIG. 10 shows changes in the flying height, the horizontal axis represents the tension T of the sheet-like material C, and the vertical axis represents the distance (a + ε) between the target 4 and the sensor coil 7. The thickness a of the sheet-shaped substance C is constant. As is clear from the figure, the distance a + ε decreases as the tension T increases. Since the thickness of the sheet-like material C is constant, the flying height ε of the target 4 is equal to the tension T.
It shows that it decreases with the increase of.

シート状物質の厚さ測定装置では、浮上量εが一定であ
ることが条件となっており、測定の途中で浮上量が変化
すると指示誤差が発生する。従って、このような装置で
は、シート状物質Cの両端部において高めに誤差指示さ
れ、正しいプロフィールの測定が行えなかった <発明が解決しようとする問題点> 本発明が解決しようとする技術的課題は、このような装
置において、シート状物質Cの張力の変化に起因する指
示誤差が出力に現れないようにすることにある。
In the thickness measuring device for the sheet-like material, the flying height ε is constant, and if the flying height changes during the measurement, an instruction error occurs. Therefore, in such a device, a high error is indicated at both ends of the sheet-like material C, and a correct profile cannot be measured. <Problems to be solved by the invention> Technical problem to be solved by the present invention In such a device, an instruction error caused by a change in the tension of the sheet-shaped material C is prevented from appearing in the output.

<問題点を解決するための手段> 本発明の構成は、前記シート状物質の厚さを測定する装
置において、前記ターゲットの中央付近に空気吹出空気
圧を検出する手段を設け、この検出信号に基づき、前記
シート状物質の張力の変化に起因する指示誤差を補償す
るようにした。
<Means for Solving Problems> In the device for measuring the thickness of the sheet-like material, the structure of the present invention is provided with a means for detecting air blowing air pressure near the center of the target, and based on this detection signal. The pointing error caused by the change in the tension of the sheet material is compensated.

<作用> 前記の技術手段は次のように作用する。即ち、前記ター
ゲットの空気吹出圧の変化は、前記浮上量の変化に対応
している。前記ターゲットに、圧力計を設けて、前記吹
出圧を検出し、この検出信号に基づき、例えば演算処理
部に予め読込ませた浮上量をこの信号で書換え、この信
号と、前記検出回路で検出された前記シート状物質の厚
さと前記浮上量との和の信号とより、前記シート状物質
の厚さを演算する。
<Operation> The above-mentioned technical means operates as follows. That is, the change in the air blowing pressure of the target corresponds to the change in the flying height. A pressure gauge is provided on the target to detect the blowout pressure, and based on this detection signal, for example, the flying height read in advance by the arithmetic processing unit is rewritten with this signal, and this signal is detected with the detection circuit. The thickness of the sheet-shaped substance is calculated from the signal of the sum of the thickness of the sheet-shaped substance and the flying height.

<実施例> 以下図面に従い本発明の実施例を説明する。第1図は本
発明実施例装置を示す断面図、第2図は要部断面図、及
び第3図は要部平面図である。図中、第7図乃至第9図
における要素と同じ要素には同一符号を付し、これらに
ついての説明は省略する。4cはターゲット4の表面の中
央付近に設けられた導圧孔である。尚、この孔は中央付
近の複数個所に設けてもよい。9は導圧孔4cに接続され
たチューブ、10は、チューブ9より導かれたターゲット
4の吹出空気圧P3を検出する為の圧力計である。
<Example> An example of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of an essential part, and FIG. 3 is a plan view of an essential part. In the figure, the same elements as those in FIGS. 7 to 9 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Reference numeral 4c is a pressure guiding hole provided near the center of the surface of the target 4. The holes may be provided at a plurality of places near the center. Reference numeral 9 is a tube connected to the pressure guide hole 4c, and 10 is a pressure gauge for detecting the blown air pressure P 3 of the target 4 guided from the tube 9.

このような構成において、張力Tによる影響を考えなけ
れば、チューブ6を通してタンクキャプ1内に導かれる
空気圧P2と、チューブ5を介しターゲット4に加えられ
る空気圧P1とが一定ならば、浮上量εは常に一定であ
る。しかしながら、ターゲット4の浮上量εは張力Tの
変化に伴い変動する。導圧孔4cを通して圧力計10で検出
される吹出空気圧P3は、浮上量εの変化に対応してい
る。即ち、第4図は、第10図と同じ条件下での実験結果
で、横軸は張力Tを、縦軸は吹出空気圧P3を表わす。第
10図の場合、張力Tの増大に伴い浮上量εは減少する。
一方、第4図の場合、吹出空気圧P3は、張力Tの増大に
伴い増加している。なお、吹出圧力P3は、ターゲット4
の中央付近を測定して得られた値である。
In such a configuration, if the effect of the tension T is not considered, if the air pressure P 2 introduced into the tank cap 1 through the tube 6 and the air pressure P 1 applied to the target 4 through the tube 5 are constant, the flying height is increased. ε is always constant. However, the flying height ε of the target 4 changes as the tension T changes. The blown air pressure P 3 detected by the pressure gauge 10 through the pressure guiding hole 4c corresponds to the change in the flying height ε. That is, FIG. 4 shows the experimental results under the same conditions as FIG. 10, in which the horizontal axis represents the tension T and the vertical axis represents the blown air pressure P 3 . First
In the case of FIG. 10, the flying height ε decreases as the tension T increases.
On the other hand, in the case of FIG. 4, the blown air pressure P 3 increases as the tension T increases. The blowout pressure P 3 is the target 4
It is a value obtained by measuring near the center of.

ここで、圧力P1を一定とすると、張力Tの増大に伴う距
離a+εの低下はターゲット4と物質C間の平均吹出圧
力が張力Tの増大と共にロス(吹出抵抗の減少)が大き
くなって生じるものであるが、このロスはターゲット4
の複数の吹出孔4bから流出した空気がターゲット周囲の
大気中へ逃げ出す際の流出抵抗分の減少と考えられる。
Here, assuming that the pressure P 1 is constant, the decrease in the distance a + ε with the increase in the tension T occurs because the average blowout pressure between the target 4 and the substance C increases with the increase in the tension T (loss of the blowout resistance). This loss is target 4 though
This is considered to be a decrease in the amount of outflow resistance when the air flowing out from the plurality of air outlets 4b escapes into the atmosphere around the target.

そして、細かい部分で考えると、このロスが一番大きく
変化するのは、ターゲットの周辺部で大気中に流出する
部分である。このことは、吹出孔4bからの空気は周辺に
流れるに従い紙との接触面積が増え、紙の表面の影響を
受けやすくなるからである。
Considering the details, the largest change in this loss is the part that flows into the atmosphere around the target. This is because the air from the blowout holes 4b has a larger contact area with the paper as it flows to the periphery and is easily affected by the surface of the paper.

つまり、周縁部では平均吹出圧力の低下によりεが低下
した以上の浮上圧力の低下を生じていると考えられる。
In other words, it is considered that the levitation pressure is decreased more than ε is decreased due to the decrease in the average blowout pressure at the peripheral portion.

一方、ターゲット中央部を考えると吹出空気は淀んで流
れが少なく、紙の表面状態が変化しても流出抵抗への影
響はは少ない。つまり、張力の増大に起因するロスは周
縁部よりも少ないと考えられる。
On the other hand, considering the central part of the target, the blown air stagnates and the flow is small, and even if the surface condition of the paper changes, the influence on the outflow resistance is small. That is, it is considered that the loss due to the increase in tension is smaller than that in the peripheral portion.

そして、小孔4bからの吹出空気量はほぼ一定なので、紙
との距離εが小さくなった分だけ中央付近の圧力P3は増
大する(第4図参照)。
Since the amount of air blown out from the small holes 4b is almost constant, the pressure P 3 in the vicinity of the center increases as the distance ε with the paper decreases (see FIG. 4).

第5図は、第4図及び第10図の結果から導いた、吹出し
空気圧P3、張力T(直線C1)、距離a+εの関係を示す
もので、張力Tの増大により距離a+εが減少するとと
もに吹出空気圧P3が上昇している。
FIG. 5 shows the relationship between the blowout air pressure P 3 , the tension T (straight line C 1 ), and the distance a + ε derived from the results of FIGS. 4 and 10, and the distance a + ε decreases as the tension T increases. At the same time, the blowout air pressure P 3 is rising.

検出された吹出空気圧P3を用いて、図示されていない演
算処理部に予め読込ませた浮上量εを書換える。検出回
路8の出力はシート状物質Cの厚さaと現実の浮上量ε
の和に対応しており、前記演算処理部で検出信号より、
書換えられた浮上量ε信号を減算することにより、シー
ト状物質Cの厚さaに正確に対応した信号を得ることが
出来る。
Using the detected blown air pressure P 3 , the flying height ε that has been read in advance by an arithmetic processing unit (not shown) is rewritten. The output of the detection circuit 8 is the thickness a of the sheet material C and the actual flying height ε.
It corresponds to the sum of, from the detection signal in the arithmetic processing unit,
By subtracting the rewritten flying height ε signal, a signal that accurately corresponds to the thickness a of the sheet-shaped material C can be obtained.

第6図は本発明の他の実施例装置を示す断面図である。
図中、第1図における要素と同じ要素には同一符号を付
し、これらについての説明は省略する。11は吹出空気圧
P3を基準圧Psと比較し、これら圧力の差に対応した圧力
を出力する差圧変換器である。12は減算器で、タンクキ
ャプ1へ供給される空気圧P2から、差圧変換器11の出力
圧を減算する。
FIG. 6 is a sectional view showing an apparatus according to another embodiment of the present invention.
In the figure, the same elements as the elements in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. 11 is blown air pressure
It is a differential pressure converter that compares P 3 with a reference pressure Ps and outputs a pressure corresponding to the difference between these pressures. A subtracter 12 subtracts the output pressure of the differential pressure converter 11 from the air pressure P 2 supplied to the tank cap 1.

第1図の本発明の第1の実施例装置の場合、浮上量εの
変化による誤差の補償は演算処理部においてソフト的に
行っているが、吹出空気圧P3を検出し、タンクキャプ1
へ空気圧P2を供給する回路に帰還し、浮上量εが常に一
定となるように制御しても良い。即ち、シート状物質C
の張力が増大し、浮上量εが減少し、吹出空気圧P3が増
加した場合、差圧変換器11でk(P3−Ps)なる差圧を出
力する(但し、k:ゲイン)。
In the case of the device of the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the compensation of the error due to the change of the flying height ε is performed by software in the arithmetic processing unit, but the outlet air pressure P 3 is detected and the tank cap 1
The flying height ε may be controlled so that the flying height ε is always constant by returning to the circuit that supplies the air pressure P 2 . That is, the sheet-like substance C
When the tension of No. 1 increases, the flying height ε decreases, and the blown air pressure P 3 increases, the differential pressure converter 11 outputs a differential pressure k (P 3 −Ps) (where k is a gain).

この圧力信号は減算器12に減算入力として加えられ、 P2′=P2−k(P3−Ps) …(1) なる空気圧がタンクキャプ1に供給される。この結果、
ターゲット4の内側から外側に向かう押圧力を減らさ
れ、浮上量εは一定に保持される。このような方法によ
っても、シート状物質Cの張力の変化に起因する指示誤
差を補償することが出来る。
This pressure signal is applied to the subtractor 12 as a subtraction input, and the air pressure P 2 ′ = P 2 −k (P 3 −Ps) (1) is supplied to the tank cap 1. As a result,
The pressing force from the inside to the outside of the target 4 is reduced, and the flying height ε is kept constant. Even with such a method, it is possible to compensate the pointing error due to the change in the tension of the sheet-shaped material C.

<発明の効果> 本発明によれば、前記シート状物質の張力の変化に起因
する指示誤差が発生しない。
<Effects of the Invention> According to the present invention, an indication error due to a change in the tension of the sheet-like substance does not occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明実施例装置を示す断面図、第2図は第1
図の本発明実施例装置の要部断面図、第3図は第1図の
本発明実施例装置の要部平面図、第4図及び第5図は第
1図の本発明実施例装置の動作説明図、第6図は本発明
の他の実施例装置を示す断面図、第7図は従来装置の断
面図、第8図は第7図の従来装置の要部断面図、第9図
は第7図の従来装置の要部平面図、第10図は第7図の従
来装置の動作説明図である。 A……上側の検出ヘッド、B……下側の検出ヘッド、C
……シート状物質、1……タンクキャプ、4……ターゲ
ット、4b……空気吹出孔、4c……導圧孔、5……ターゲ
ット4へ空気圧P1を導くチューブ、6……タンクキャプ
1へ空気圧P2を導くチューブ、7……センサコイル、8
……検出回路、9……吹出空気圧P3を導くチューブ、10
……圧力計、11……差圧変換器、、12……減算器、ε…
…浮上量、a……シート状物質の厚さ
FIG. 1 is a sectional view showing an apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a sectional view of an essential part of the device according to the present invention in FIG. 3, FIG. 3 is a plan view of the essential part of the device according to the present invention in FIG. 1, and FIGS. 4 and 5 are views of the device according to the present invention in FIG. FIG. 6 is a sectional view showing an apparatus according to another embodiment of the present invention, FIG. 7 is a sectional view of a conventional apparatus, FIG. 8 is a sectional view of a main portion of the conventional apparatus of FIG. 7, and FIG. FIG. 7 is a plan view of a main part of the conventional device shown in FIG. 7, and FIG. A: upper detection head, B: lower detection head, C
...... Sheet-like material, 1 ... Tank cap, 4 ... Target, 4b ... Air outlet hole, 4c ... Pressure guide hole, 5 ... Tube that guides air pressure P 1 to the target 4, 6 ... Tank cap 1 Tube that guides air pressure P 2 to, 7 ... Sensor coil, 8
...... Detection circuit, 9 ...... Tube that guides blown air pressure P 3 , 10
…… Pressure gauge, 11 …… Differential pressure converter, 12 …… Subtractor, ε ...
… Float, a …… Thickness of sheet material

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】シート状の物質を挟んで一対の検出ヘッド
を対向配置し、下側の検出ヘッドにセンサコイルを設
け、上側の検出ヘッドに、表面に複数の空気吹き出孔を
持つ導体ターゲットを弾性支持すると共に、前記シート
状物質の表面に対し垂直方向に押圧し、前記ターゲット
の空気吹き出しによる浮上力と、ターゲットの自重及び
前記押圧力とをバランスさせ、前記ターゲットを前記シ
ート状物質表面より一定量浮上させるようにし、前記セ
ンサコイルのインピーダンスの変化から前記シート状物
質の厚さを測定するようにした装置において、前記ター
ゲットの空気吹出圧を検出する手段を設け、この検出信
号に基づき、前記シート状物質の張力の変化に起因する
浮上量の変化による指示誤差を補償するようにしたこと
を特徴とするシート状物質の厚さ測定装置。
1. A pair of detection heads are arranged to face each other with a sheet-like substance sandwiched therebetween, a sensor coil is provided on the lower detection head, and a conductor target having a plurality of air blowout holes on the surface is provided on the upper detection head. While elastically supporting, pressing in a direction perpendicular to the surface of the sheet-like substance, the levitation force by the air blowing of the target, the weight of the target and the pressing force are balanced, the target from the sheet-like substance surface. In a device that floats a certain amount and measures the thickness of the sheet-like material from the change in impedance of the sensor coil, a means for detecting the air blowing pressure of the target is provided, and based on this detection signal, A sheet characterized by compensating an indication error due to a change in the flying height caused by a change in the tension of the sheet-like substance Thickness measuring device materials.
JP9514886A 1986-04-24 1986-04-24 Sheet thickness measuring device Expired - Lifetime JPH0668441B2 (en)

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