JPH0667730A - 液圧サーボ制御装置 - Google Patents
液圧サーボ制御装置Info
- Publication number
- JPH0667730A JPH0667730A JP22255592A JP22255592A JPH0667730A JP H0667730 A JPH0667730 A JP H0667730A JP 22255592 A JP22255592 A JP 22255592A JP 22255592 A JP22255592 A JP 22255592A JP H0667730 A JPH0667730 A JP H0667730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- acceleration
- servo
- displacement
- multiplier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 制御対象の加速度波形に生じる歪みを低減
し、動作を安定させる。 【構成】 減算器８は、入力信号Ｙ0 と、ロッド５の動
きを示す変位信号Ｙから偏差ｅを求める。倍率器９はこ
の偏差ｅに倍率を掛け、信号Ｖe を演算回路１２，加算
器１５に入力する。演算回路１２はこの信号Ｖe から規
範加速度αm を求め、減算器１３に入力する。減算器１
３は規範加速度αm と、テーブル６の加速度を示す加速
度信号αから偏差Δαを求める。倍率器１４は偏差Δα
に倍率を掛けて、信号Ｖαを求め、加算器１５に供給す
る。加算器１５は信号Ｖe と信号Ｖαから信号Ｖa を求
めて、サーボ増幅器１０に入力する。サーボ増幅器１０
は信号Ｖa に応答してサーボ弁電流ｉをサーボ弁２に供
給する。サーボ弁２は、このサーボ弁電流ｉによって油
の流量と方向を制御する。これにより、ロッド５，テー
ブル６の加速度を制御する。
し、動作を安定させる。 【構成】 減算器８は、入力信号Ｙ0 と、ロッド５の動
きを示す変位信号Ｙから偏差ｅを求める。倍率器９はこ
の偏差ｅに倍率を掛け、信号Ｖe を演算回路１２，加算
器１５に入力する。演算回路１２はこの信号Ｖe から規
範加速度αm を求め、減算器１３に入力する。減算器１
３は規範加速度αm と、テーブル６の加速度を示す加速
度信号αから偏差Δαを求める。倍率器１４は偏差Δα
に倍率を掛けて、信号Ｖαを求め、加算器１５に供給す
る。加算器１５は信号Ｖe と信号Ｖαから信号Ｖa を求
めて、サーボ増幅器１０に入力する。サーボ増幅器１０
は信号Ｖa に応答してサーボ弁電流ｉをサーボ弁２に供
給する。サーボ弁２は、このサーボ弁電流ｉによって油
の流量と方向を制御する。これにより、ロッド５，テー
ブル６の加速度を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば振動台、加振
機、シミュレータ等を制御対象とする液圧サーボ制御装
置に関する。
機、シミュレータ等を制御対象とする液圧サーボ制御装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来における液圧サーボ系の補償回路
は、図３に示すように構成されている。図３において、
１は液圧シリンダで、サーボ弁２を介して油圧ポンプ３
が連結される。また、サーボ弁２には、油タンク４が連
結される。上記液圧シリンダ１は、ロッド５の一端が制
御対象例えば加振機のテーブル６に連結され、ロッド５
の他端に変位計７が設置されている。
は、図３に示すように構成されている。図３において、
１は液圧シリンダで、サーボ弁２を介して油圧ポンプ３
が連結される。また、サーボ弁２には、油タンク４が連
結される。上記液圧シリンダ１は、ロッド５の一端が制
御対象例えば加振機のテーブル６に連結され、ロッド５
の他端に変位計７が設置されている。
【０００３】変位計７は、ロッド５の変位を検出し、そ
の変位信号Ｙを減算器８に入力する。また、この減算器
８には、入力信号（速度波形）Ｙ0 が与えられる。この
減算器８は、入力信号Ｙ0 と変位計７からの変位信号Ｙ
との偏差ｅを求め、倍率器９を介してサーボ増幅器１０
に入力する。サーボ増幅器１０は、倍率器９から出力さ
れる信号に応じてサーボ弁電流ｉをサーボ弁２に供給す
る。
の変位信号Ｙを減算器８に入力する。また、この減算器
８には、入力信号（速度波形）Ｙ0 が与えられる。この
減算器８は、入力信号Ｙ0 と変位計７からの変位信号Ｙ
との偏差ｅを求め、倍率器９を介してサーボ増幅器１０
に入力する。サーボ増幅器１０は、倍率器９から出力さ
れる信号に応じてサーボ弁電流ｉをサーボ弁２に供給す
る。
【０００４】上記のように構成された液圧サーボ制御装
置は、変位計７によりロッド５の変位を検出し、変位信
号Ｙを減算器８に入力する。減算器８は、この変位信号
Ｙと入力信号Ｙ0 から偏差ｅを求め、倍率器９に入力す
る。
置は、変位計７によりロッド５の変位を検出し、変位信
号Ｙを減算器８に入力する。減算器８は、この変位信号
Ｙと入力信号Ｙ0 から偏差ｅを求め、倍率器９に入力す
る。
【０００５】倍率器９は、この偏差ｅに所定の倍率（ゲ
イン）を掛け、その結果得られた信号をサーボ増幅器１
０に供給する。サーボ増幅器１０は、倍率器９の出力信
号に応答する出力電流ｉをサーボ弁２に供給し、サーボ
弁２の開閉を制御する。これより、液圧シリンダ１に対
する油の流量（供給排出油量）ＱL とその方向を切り替
え、ロッド５の動きを調整し、テーブル６の加速度を調
整する。
イン）を掛け、その結果得られた信号をサーボ増幅器１
０に供給する。サーボ増幅器１０は、倍率器９の出力信
号に応答する出力電流ｉをサーボ弁２に供給し、サーボ
弁２の開閉を制御する。これより、液圧シリンダ１に対
する油の流量（供給排出油量）ＱL とその方向を切り替
え、ロッド５の動きを調整し、テーブル６の加速度を調
整する。
【０００６】このように従来の液圧サーボ制御装置は、
変位計７によって検出したロッド５に関する変位信号Ｙ
のみをフィードバックし、サーボ弁２の開閉制御を行な
っている。
変位計７によって検出したロッド５に関する変位信号Ｙ
のみをフィードバックし、サーボ弁２の開閉制御を行な
っている。
【０００７】尚、油圧ポンプ３からサーボ弁２を介して
液圧シリンダ１内に送られる油は、再びサーボ弁２を介
して液圧シリンダ１の外部に排出され、油タンク４に貯
えられる。
液圧シリンダ１内に送られる油は、再びサーボ弁２を介
して液圧シリンダ１の外部に排出され、油タンク４に貯
えられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、サーボ
弁２はサーボ弁電流ｉに比例して開閉し、液圧シリンダ
１への供給排出油量（通過油量）ＱL を制御し、ロッド
５に連結したテーブル６を駆動する。そして、このサー
ボ弁電流ｉと液圧シリンダ１への供給排出油量ＱL の関
係は以下の（１）式によって示される。 ＱL ＝｛（ｋi ・ｉ）／（１＋ＴＳ）｝ ・｛１−ｓｇｎ（ｉ）・（ＰL ／ＰS ）｝1/2 ・・・（１） ＱL ：サーボ弁２から液圧シリンダ１に流れる油量 ｋi ：サーボ弁２の流量ゲイン ｉ：サーボ弁電流 Ｔ：サーボ弁２の応答時定数 ＰS ：供給圧力 ＰL ：シリンダ負荷圧 Ｓ：微分演算子 ｓｇｎ（ｉ）の値は、ｉ＞０のとき「１」であり，ｉ＜
０のとき「−１」であり，ｉ＝０のとき「０」である。
弁２はサーボ弁電流ｉに比例して開閉し、液圧シリンダ
１への供給排出油量（通過油量）ＱL を制御し、ロッド
５に連結したテーブル６を駆動する。そして、このサー
ボ弁電流ｉと液圧シリンダ１への供給排出油量ＱL の関
係は以下の（１）式によって示される。 ＱL ＝｛（ｋi ・ｉ）／（１＋ＴＳ）｝ ・｛１−ｓｇｎ（ｉ）・（ＰL ／ＰS ）｝1/2 ・・・（１） ＱL ：サーボ弁２から液圧シリンダ１に流れる油量 ｋi ：サーボ弁２の流量ゲイン ｉ：サーボ弁電流 Ｔ：サーボ弁２の応答時定数 ＰS ：供給圧力 ＰL ：シリンダ負荷圧 Ｓ：微分演算子 ｓｇｎ（ｉ）の値は、ｉ＞０のとき「１」であり，ｉ＜
０のとき「−１」であり，ｉ＝０のとき「０」である。
【０００９】上記（１）式から分かるように、サーボ弁
電流ｉと通過油量ＱL の関係は非線形となっている。こ
の為、液圧シリンダ１への油の供給排出、ロッド５の加
速度及びテーブル６の加速度にも、その非線形の影響が
与えられ、結果的には図４の波形図に示すように、テー
ブル６の加速度を示す加速度波形に歪みが生じるという
問題があった。
電流ｉと通過油量ＱL の関係は非線形となっている。こ
の為、液圧シリンダ１への油の供給排出、ロッド５の加
速度及びテーブル６の加速度にも、その非線形の影響が
与えられ、結果的には図４の波形図に示すように、テー
ブル６の加速度を示す加速度波形に歪みが生じるという
問題があった。
【００１０】この発明は、上記の問題を解決するために
なされたもので、制御対象に対する加速度波形の歪みを
大幅に低減し得る液圧サーボ制御装置を提供することを
目的とする。
なされたもので、制御対象に対する加速度波形の歪みを
大幅に低減し得る液圧サーボ制御装置を提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係る液圧サー
ボ制御装置は、シリンダロッドが制御対象に連結された
液圧シリンダと、上記シリンダロッドの変位を検出する
変位検出手段と、この手段により検出された変位信号と
外部入力信号との間の偏差値を求める手段と、この手段
により求めた偏差値に所定の倍率を掛ける第１の倍率器
と、この倍率器の出力信号から規範加速度を求める演算
手段と、上記制御対象又はシリンダロッドの加速度を検
出する加速度計と、上記演算手段により求めた規範加速
度と上記加速度計から出力される加速度との間の偏差値
を求める手段と、この手段により求めた偏差値に所定の
倍率を掛ける第２の倍率器と、上記第１及び第２の倍率
器の出力信号が加算されて入力されるサーボ増幅器と、
このサーボ増幅器の出力に応じて上記液圧シリンダを駆
動する駆動手段とを具備したことを特徴とする。
ボ制御装置は、シリンダロッドが制御対象に連結された
液圧シリンダと、上記シリンダロッドの変位を検出する
変位検出手段と、この手段により検出された変位信号と
外部入力信号との間の偏差値を求める手段と、この手段
により求めた偏差値に所定の倍率を掛ける第１の倍率器
と、この倍率器の出力信号から規範加速度を求める演算
手段と、上記制御対象又はシリンダロッドの加速度を検
出する加速度計と、上記演算手段により求めた規範加速
度と上記加速度計から出力される加速度との間の偏差値
を求める手段と、この手段により求めた偏差値に所定の
倍率を掛ける第２の倍率器と、上記第１及び第２の倍率
器の出力信号が加算されて入力されるサーボ増幅器と、
このサーボ増幅器の出力に応じて上記液圧シリンダを駆
動する駆動手段とを具備したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】変位検出手段は、シリンダロッドの変位を検出
し、その検出結果を示す変位信号を出力する。この変位
信号と外部入力信号を受けて、変位信号と外部入力信号
との間の偏差値を求める手段によって、この偏差値を求
める。第１の倍率器は、この偏差値に所定の倍率を掛け
る。そして、演算手段はこの第１の倍率器の出力信号か
ら規範加速度を求める。
し、その検出結果を示す変位信号を出力する。この変位
信号と外部入力信号を受けて、変位信号と外部入力信号
との間の偏差値を求める手段によって、この偏差値を求
める。第１の倍率器は、この偏差値に所定の倍率を掛け
る。そして、演算手段はこの第１の倍率器の出力信号か
ら規範加速度を求める。
【００１３】次いで、上記演算手段により求めた規範加
速度と加速度計から出力される加速度との間の偏差値を
求める手段によって、この偏差値を求める。第２の倍率
器は、この偏差値に所定の倍率を掛ける。
速度と加速度計から出力される加速度との間の偏差値を
求める手段によって、この偏差値を求める。第２の倍率
器は、この偏差値に所定の倍率を掛ける。
【００１４】サーボ増幅器には、上記第１及び第２の倍
率器の出力信号が加算されて入力される。このサーボ増
幅器の出力に応じて、駆動手段は上記液圧シリンダを駆
動する。
率器の出力信号が加算されて入力される。このサーボ増
幅器の出力に応じて、駆動手段は上記液圧シリンダを駆
動する。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例を
説明する。図１において、１は液圧シリンダで、サーボ
弁２を介して油圧ポンプ３が連結される。また、サーボ
弁２には、油タンク４が連結される。
説明する。図１において、１は液圧シリンダで、サーボ
弁２を介して油圧ポンプ３が連結される。また、サーボ
弁２には、油タンク４が連結される。
【００１６】上記液圧シリンダ１は、ロッド５の一端が
制御対象例えば加振機のテーブル６に連結され、ロッド
５の他端に変位計７が設置されている。また、テーブル
６には、加速度計１１が設けられている。
制御対象例えば加振機のテーブル６に連結され、ロッド
５の他端に変位計７が設置されている。また、テーブル
６には、加速度計１１が設けられている。
【００１７】変位計７は、ロッド５の変位を検出し、そ
の変位信号Ｙを減算器８に入力する。また、減算器８に
は入力信号（加速度波形）Ｙ0 が与えられている。減算
器８は、上記入力信号Ｙ0 と変位計７からの変位信号Ｙ
との偏差ｅを求め、倍率器９を介して演算回路１２及び
加算器１５に入力する。
の変位信号Ｙを減算器８に入力する。また、減算器８に
は入力信号（加速度波形）Ｙ0 が与えられている。減算
器８は、上記入力信号Ｙ0 と変位計７からの変位信号Ｙ
との偏差ｅを求め、倍率器９を介して演算回路１２及び
加算器１５に入力する。
【００１８】演算回路１２は、液圧駆動系について線形
のモデル式を作り、非線形特性を有するサーボ弁２の動
作特性を線形化したときのテーブル６の加速度応答αm
（規範加速度）を求める。この演算回路１２からの信号
（規範加速度）αm と加速度計１１からの加速度信号α
が減算器１３に入力されて、その偏差Δαが求められ
る。この偏差Δαは、倍率器９を介して加算器１５に入
力される。この加算器１５は、倍率器９からの信号Ｖe
と倍率器１４からの信号Ｖαとを加算し、その加算出力
信号Ｖa をサーボ増幅器１０に入力する。サーボ増幅器
１０は、加算器１５の出力信号Ｖa に応答して、サーボ
弁電流ｉをサーボ弁２に供給する。
のモデル式を作り、非線形特性を有するサーボ弁２の動
作特性を線形化したときのテーブル６の加速度応答αm
（規範加速度）を求める。この演算回路１２からの信号
（規範加速度）αm と加速度計１１からの加速度信号α
が減算器１３に入力されて、その偏差Δαが求められ
る。この偏差Δαは、倍率器９を介して加算器１５に入
力される。この加算器１５は、倍率器９からの信号Ｖe
と倍率器１４からの信号Ｖαとを加算し、その加算出力
信号Ｖa をサーボ増幅器１０に入力する。サーボ増幅器
１０は、加算器１５の出力信号Ｖa に応答して、サーボ
弁電流ｉをサーボ弁２に供給する。
【００１９】サーボ弁２は、サーボ増幅器１０からのサ
ーボ弁電流ｉに基づき、液圧シリンダ１への油の供給排
出通路面積（流量）と流れる方向を制御することによ
り、ロッド５の動作を制御する。次に、上記実施例の動
作を説明する。変位計７によって、ロッド５の変位が検
出され、その検出結果を示す変位信号Ｙが減算器８に入
力される。
ーボ弁電流ｉに基づき、液圧シリンダ１への油の供給排
出通路面積（流量）と流れる方向を制御することによ
り、ロッド５の動作を制御する。次に、上記実施例の動
作を説明する。変位計７によって、ロッド５の変位が検
出され、その検出結果を示す変位信号Ｙが減算器８に入
力される。
【００２０】減算器８は、入力信号Ｙ0 と変位信号Ｙと
の偏差ｅを求め、倍率器９に入力する。倍率器９は、偏
差ｅに所定の倍率を掛けて信号Ｖe を求め、この信号Ｖ
e を演算回路１２及び加算器１５に入力する。上記演算
回路１２は、倍率器９からの信号Ｖe を受けて、以下の
計算式（２）〜（６）によって、テーブル６の規範加速
度αm を求める。 ｉ1 ＝Ｖe ×Ｋｉ ・・・（２） ＱLm＝（ｋi ・ｉ1 ）／（１＋ＴＳ） ・・・（３） Ｐm ・ｄ／ｄｔ＝（２Ｋ／Ｖ）・｛（ＱLm−Ａ・（ｄ／ｄｔ）・Ｙm ）｝ ・・・（４） ｛Ｍ・（ｄ2 ／ｄｔ2 ）・Ｙm ｝＋｛Ｂ・（ｄ／ｄｔ）・Ｙm ｝＝ＡＰm ・・・（５） αm ＝（ｄ2 ／ｄｔ2 ）・Ｙm ・・・（６） 尚、（２）〜（６）式中の各符号は、 Ｋｉ：サーボ増幅器１０のゲイン ＱLm：サーボ弁２を線形化したときの通過油量 ｋi ：サーボ弁２の流量ゲイン Ｔ ：サーボ弁２の応答時定数 Ｐm ：計算上のシリンダ負荷圧 Ｋ ：作動液の体積弾性係数 Ｖ ：シリンダの片側容積 Ａ ：シリンダの有効面積 Ｙm ：計算上のシリンダ変位 Ｍ ：テーブルとシリンダ可動部の質量の和 Ｂ ：テーブルとシリンダ可動部の抵抗粘性係数の和 Ｓ ：微分演算子 を示している。
の偏差ｅを求め、倍率器９に入力する。倍率器９は、偏
差ｅに所定の倍率を掛けて信号Ｖe を求め、この信号Ｖ
e を演算回路１２及び加算器１５に入力する。上記演算
回路１２は、倍率器９からの信号Ｖe を受けて、以下の
計算式（２）〜（６）によって、テーブル６の規範加速
度αm を求める。 ｉ1 ＝Ｖe ×Ｋｉ ・・・（２） ＱLm＝（ｋi ・ｉ1 ）／（１＋ＴＳ） ・・・（３） Ｐm ・ｄ／ｄｔ＝（２Ｋ／Ｖ）・｛（ＱLm−Ａ・（ｄ／ｄｔ）・Ｙm ）｝ ・・・（４） ｛Ｍ・（ｄ2 ／ｄｔ2 ）・Ｙm ｝＋｛Ｂ・（ｄ／ｄｔ）・Ｙm ｝＝ＡＰm ・・・（５） αm ＝（ｄ2 ／ｄｔ2 ）・Ｙm ・・・（６） 尚、（２）〜（６）式中の各符号は、 Ｋｉ：サーボ増幅器１０のゲイン ＱLm：サーボ弁２を線形化したときの通過油量 ｋi ：サーボ弁２の流量ゲイン Ｔ ：サーボ弁２の応答時定数 Ｐm ：計算上のシリンダ負荷圧 Ｋ ：作動液の体積弾性係数 Ｖ ：シリンダの片側容積 Ａ ：シリンダの有効面積 Ｙm ：計算上のシリンダ変位 Ｍ ：テーブルとシリンダ可動部の質量の和 Ｂ ：テーブルとシリンダ可動部の抵抗粘性係数の和 Ｓ ：微分演算子 を示している。
【００２１】上述の（２）〜（６）式によって求められ
た規範加速度αm は、減算器１３に入力される。減算器
１３は、演算回路１２によって求めた規範加速度α
m と、加速度計１１からの加速度信号αから偏差Δα
（Δα＝αm −α）を求め、倍率器１４に入力する。倍
率器１４はこの偏差Δαに所定の倍率を掛け信号Ｖαを
求め、加算器１５に入力する。
た規範加速度αm は、減算器１３に入力される。減算器
１３は、演算回路１２によって求めた規範加速度α
m と、加速度計１１からの加速度信号αから偏差Δα
（Δα＝αm −α）を求め、倍率器１４に入力する。倍
率器１４はこの偏差Δαに所定の倍率を掛け信号Ｖαを
求め、加算器１５に入力する。
【００２２】加算器１５は、倍率器９からの信号Ｖe と
倍率器１４からの信号Ｖαを加算して、信号Ｖa を求め
てサーボ増幅器１０に入力する。サーボ増幅器１０は、
信号Ｖa に応答するサーボ弁電流ｉをサーボ弁２に供給
する。サーボ弁２はサーボ弁電流ｉに比例して、液圧シ
リンダ１内への油の供給排出通路面積（流量）と方向を
制御する。
倍率器１４からの信号Ｖαを加算して、信号Ｖa を求め
てサーボ増幅器１０に入力する。サーボ増幅器１０は、
信号Ｖa に応答するサーボ弁電流ｉをサーボ弁２に供給
する。サーボ弁２はサーボ弁電流ｉに比例して、液圧シ
リンダ１内への油の供給排出通路面積（流量）と方向を
制御する。
【００２３】上記のように演算回路１２でサーボ弁２の
動作特性が線形であるときの理想的な規範加速度αm が
求められ、これと差異のある実際の加速度との差に応じ
てその差が小さくなるように制御される。即ち、実際の
駆動系が演算回路１２の線形モデル式と一致するよう
に、制御系の補償が行なわれる。これより、図２の波形
図に示すように、テーブル６の加速度を示す加速度波形
は入力の正弦波に近付き、加速度波形に生じる歪を大幅
に低減できる。
動作特性が線形であるときの理想的な規範加速度αm が
求められ、これと差異のある実際の加速度との差に応じ
てその差が小さくなるように制御される。即ち、実際の
駆動系が演算回路１２の線形モデル式と一致するよう
に、制御系の補償が行なわれる。これより、図２の波形
図に示すように、テーブル６の加速度を示す加速度波形
は入力の正弦波に近付き、加速度波形に生じる歪を大幅
に低減できる。
【００２４】なお、上記実施例では、テーブル６の加速
度を検出するようにしたが、その他、ロッド５の加速度
を検出するようにしても、上記実施例と同様の効果を得
ることができる。
度を検出するようにしたが、その他、ロッド５の加速度
を検出するようにしても、上記実施例と同様の効果を得
ることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上詳記したようにこの発明によれば、
制御対象に対する加速度波形の歪みを大幅に低減し得る
液圧サーボ制御装置を提供することができる。
制御対象に対する加速度波形の歪みを大幅に低減し得る
液圧サーボ制御装置を提供することができる。
【図１】この発明の一実施例に係る液圧サーボ系の補償
回路を示す構成図。
回路を示す構成図。
【図２】同実施例のテーブルの加速度を示す波形図。
【図３】従来の液圧サーボ系の補償回路を示す構成図。
【図４】従来のテーブルの加速度を示す波形図。
１…液圧シリンダ、 ２…サーボ弁、 ３
…油圧ポンプ、４…油タンク、 ５…ロッド、
６…テーブル、７…変位計、
８…減算器、 ９…倍率器、１０…サーボ増
幅器、 １１…加速度計、 １２…演算回路、
１３…減算器、 １４…倍率器、 １
５…加算器。
…油圧ポンプ、４…油タンク、 ５…ロッド、
６…テーブル、７…変位計、
８…減算器、 ９…倍率器、１０…サーボ増
幅器、 １１…加速度計、 １２…演算回路、
１３…減算器、 １４…倍率器、 １
５…加算器。
Claims (1)
- 【請求項１】 シリンダロッドが制御対象に連結された
液圧シリンダと、 上記シリンダロッドの変位を検出する変位検出手段と、 この手段により検出された変位信号と外部入力信号との
間の偏差値を求める手段と、 この手段により求めた偏差値に所定の倍率を掛ける第１
の倍率器と、 この倍率器の出力信号から規範加速度を求める演算手段
と、 上記制御対象又はシリンダロッドの加速度を検出する加
速度計と、 上記演算手段により求めた規範加速度と上記加速度計か
ら出力される加速度との間の偏差値を求める手段と、 この手段により求めた偏差値に所定の倍率を掛ける第２
の倍率器と、 上記第１及び第２の倍率器の出力信号が加算されて入力
されるサーボ増幅器と、 このサーボ増幅器の出力に応じて上記液圧シリンダを駆
動する駆動手段とを具備したことを特徴とする液圧サー
ボ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22255592A JPH0667730A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 液圧サーボ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22255592A JPH0667730A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 液圧サーボ制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0667730A true JPH0667730A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16784289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22255592A Withdrawn JPH0667730A (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | 液圧サーボ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0667730A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000074780A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-03-14 | Kayaba Ind Co Ltd | 振動／加振試験機 |
| CN100386703C (zh) * | 2004-08-31 | 2008-05-07 | 龙得云 | 隔离式电子伺服控制器 |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP22255592A patent/JPH0667730A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000074780A (ja) * | 1998-06-16 | 2000-03-14 | Kayaba Ind Co Ltd | 振動／加振試験機 |
| CN100386703C (zh) * | 2004-08-31 | 2008-05-07 | 龙得云 | 隔离式电子伺服控制器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5424941A (en) | Apparatus and method for positioning a pneumatic actuator | |
| CN1688948B (zh) | 在质量流动控制器中用于压力补偿的方法和装置 | |
| EP0265911A2 (en) | Vibration control apparatus | |
| US8146481B2 (en) | Actuator, actuator control method, and actuator control program | |
| ATE248392T1 (de) | Verfahren und vorrichtung für einen proportional- integral-regler mit variabler verstärkung | |
| JPH031524B2 (ja) | ||
| JPH0133772B2 (ja) | ||
| US5031506A (en) | Device for controlling the position of a hydraulic feed drive, such as a hydraulic press or punch press | |
| US7265511B2 (en) | Motor control device | |
| JPH0667730A (ja) | 液圧サーボ制御装置 | |
| Burrows et al. | Further study of a low-pressure on-off pneumatic servomechanism | |
| JPH0984385A (ja) | モータ制御装置 | |
| JP2546238Y2 (ja) | 模擬負荷装置 | |
| JPS6267304A (ja) | デイジタル弁クロ−ズドル−プ制御装置 | |
| JPH0133919Y2 (ja) | ||
| JP2001141107A (ja) | バルブポジショナ | |
| JPH0512915U (ja) | 液圧サーボ系の線形化補償回路 | |
| JPH1058510A (ja) | 成形機の制御方法 | |
| JPH10197394A (ja) | 液圧駆動式振動試験機 | |
| JP2004102556A (ja) | 位置決め制御装置 | |
| KR100252716B1 (ko) | 가상현실운동재현기의구동제어장치 | |
| RU2628757C1 (ru) | Способ управления электроприводом и устройство для его реализации (варианты) | |
| JPH0695298B2 (ja) | 電気・油圧サーボ制御装置 | |
| JPH08145006A (ja) | 油圧サーボ装置 | |
| JPH0731554B2 (ja) | 流量制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |