JPH0667570B2 - セラミックグリーンシートの切欠き導入装置 - Google Patents
セラミックグリーンシートの切欠き導入装置Info
- Publication number
- JPH0667570B2 JPH0667570B2 JP25266987A JP25266987A JPH0667570B2 JP H0667570 B2 JPH0667570 B2 JP H0667570B2 JP 25266987 A JP25266987 A JP 25266987A JP 25266987 A JP25266987 A JP 25266987A JP H0667570 B2 JPH0667570 B2 JP H0667570B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- ceramic green
- piezoelectric element
- laminated piezoelectric
- notch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Description
この発明は、アルミナなどのセラミックグリーンシート
上に切欠きを精度良く導入する装置に関する。
上に切欠きを精度良く導入する装置に関する。
アルミナ製IC基板は、一般的にドクターブレード法で製
造されている。すなわち、アルミナ粉末とバインダ、溶
剤などを良く混合してスラリを作成し、このスラリをプ
ラスチック製のキャリアテープ上にキャスティングし
て、通常0.3〜0.8mmの薄板状のグリーンシート（生シー
ト）を形成し、さらにこのグリーンシートを適当な条件
で焼成することによって、所要のアルミナ基板を得てい
る。アルミナ以外のセラミック、例えば窒化アルミとか
アルミナ−ガラス複合材などについても、以上と同様の
工程でIC基板を得ることが可能である。 ところで、アルミナ製IC基板では、必要とする所定寸法
の小板は、セラミックグリーンシートに予め切欠きを入
れておいて焼成し、使用に際してこれを指先で割ること
によって得ている。 また、セラミックグリーンシートへの切欠きの導入は、
先端が鋭角状をしている超硬合金（例えば、WC−Co）や
高速度鋼などで製作したポンチをクランクプレスあるい
は油圧プレスに取り付け、その圧力（荷重）を制御しな
がらポンチをセラミックグリーンシートに押圧すること
によって行っている。 セラミックグリーンシートに対する切欠きの導入深さ
は、そのシートの厚さの20％前後が最適とされ、切欠き
の形状、深さなどにばらつきのないことが要求される。
切欠きの導入条件が不適切であると切欠きの先端に割れ
が発生し、またときには焼成の際にシートが割れたり、
あるいは使用中のごく僅かのショックで割れたりする。
造されている。すなわち、アルミナ粉末とバインダ、溶
剤などを良く混合してスラリを作成し、このスラリをプ
ラスチック製のキャリアテープ上にキャスティングし
て、通常0.3〜0.8mmの薄板状のグリーンシート（生シー
ト）を形成し、さらにこのグリーンシートを適当な条件
で焼成することによって、所要のアルミナ基板を得てい
る。アルミナ以外のセラミック、例えば窒化アルミとか
アルミナ−ガラス複合材などについても、以上と同様の
工程でIC基板を得ることが可能である。 ところで、アルミナ製IC基板では、必要とする所定寸法
の小板は、セラミックグリーンシートに予め切欠きを入
れておいて焼成し、使用に際してこれを指先で割ること
によって得ている。 また、セラミックグリーンシートへの切欠きの導入は、
先端が鋭角状をしている超硬合金（例えば、WC−Co）や
高速度鋼などで製作したポンチをクランクプレスあるい
は油圧プレスに取り付け、その圧力（荷重）を制御しな
がらポンチをセラミックグリーンシートに押圧すること
によって行っている。 セラミックグリーンシートに対する切欠きの導入深さ
は、そのシートの厚さの20％前後が最適とされ、切欠き
の形状、深さなどにばらつきのないことが要求される。
切欠きの導入条件が不適切であると切欠きの先端に割れ
が発生し、またときには焼成の際にシートが割れたり、
あるいは使用中のごく僅かのショックで割れたりする。
上述したように、クランクプレスあるいは油圧プレスを
使用する場合は、これらの変位を制御することによって
セラミックグリーンシートに対する切欠きの深さを精密
に調整することは困難であるので、予備実験によって予
め荷重と切欠き深さとの関係を求めておき、荷重を制御
することによって切欠きの深さを調整することが行われ
ている。 しかし、このような従来方法では、セラミックグリーン
シートの厚さとか材料定数が変化すると切欠きの形状、
深さなどが異なってしまい、その結果、上述のような不
具合が生じて製品の歩留りを低下させてしまうという問
題があった。 この発明は、セラミックグリーンシートに所要形状の切
欠きを精度良く導入できる装置を提供することを目的と
するものである。
使用する場合は、これらの変位を制御することによって
セラミックグリーンシートに対する切欠きの深さを精密
に調整することは困難であるので、予備実験によって予
め荷重と切欠き深さとの関係を求めておき、荷重を制御
することによって切欠きの深さを調整することが行われ
ている。 しかし、このような従来方法では、セラミックグリーン
シートの厚さとか材料定数が変化すると切欠きの形状、
深さなどが異なってしまい、その結果、上述のような不
具合が生じて製品の歩留りを低下させてしまうという問
題があった。 この発明は、セラミックグリーンシートに所要形状の切
欠きを精度良く導入できる装置を提供することを目的と
するものである。
この発明の装置は、一端が固定された積層圧電素子と、
この積層圧電素子の自由端で押圧操作されるポンチと、
このポンチを前記積層圧電素子側に押し戻すばねとを備
えるものとする。
この積層圧電素子の自由端で押圧操作されるポンチと、
このポンチを前記積層圧電素子側に押し戻すばねとを備
えるものとする。
この発明によれば、セラミックグリーンシートに対する
切欠き導入の駆動源として変位と発生力の制御性に優れ
た積層圧電素子を用いるので、セラミックグリーンシー
トに対する切欠きを常に精度良く導入することができ
る。
切欠き導入の駆動源として変位と発生力の制御性に優れ
た積層圧電素子を用いるので、セラミックグリーンシー
トに対する切欠きを常に精度良く導入することができ
る。
以下、図に基づいてこの発明の実施例を説明する。 図はこの発明の切欠き導入装置の実施例を示すもので、
第１図は斜視図、第２図はその正面図である。 図において、１は剛性を有する筐体で、枠状の頭部1aが
支柱1bより支台1cに直立支持された構成になっている。
２は積層圧電素子で、筐体頭部1aの天井下面に一端（上
端）をねじ締結、接着などの方法で固定して、垂直下方
に吊り下げるように設けられている。３は湾曲状の板ば
ねで、その両端を筐体頭部1aの下部両隅に嵌め込んで固
定されている。板ばねの材質としては、ばね特性と耐疲
労性の優れたりん青銅、ベリリウム銅、あるいはステン
レス鋼（17−7PH）などが適している。 板ばね３の中央部には貫通孔3aが形成されており、この
貫通孔3aにポンチ軸４が挿入されている。このポンチ軸
４は割りピン５により板ばね３に保持されている。ポン
チ軸４の上端面には球面座が形成されており、この球面
座と積層圧電素子２の自由端（下端）の端面との間に球
体６が挿入されている。球体６は、超硬合金、高速度
鋼、あるいは工具鋼などの高硬度で反発性の優れた材料
で作られている。このような状態において、球体６は積
層圧電素子２の端面にばね３により与圧されて接触して
いる。 ポンチ軸４はまた、筐体頭部1aの底部を貫通している。
そして、ポンチ軸４の貫通部には円筒状のすべり軸受管
７が設けられており、ポンチ軸４はこのすべり軸受管７
に案内されて矢印P,Q（第２図）に示すように上下に摺
動するようになっている。すべり軸受管７は、テフロン
チューブ、あるいは含油軸受合金などで構成される。 ポンチ軸４の先端には、セラミックグリーンシート８に
切欠きを導入するポンチ９がねじ締結などの手段で結合
されている。ポンチ９の材質は、耐磨耗性にすぐれた超
硬合金あるいは高速度鋼で、その先端は所要目的に応じ
た形状に加工されている。 筐体支台1cは、セラミックグリーンシート８の載置と搬
送のための作業台としての機能を持っている。セラミッ
クグリーンシート８は、図示しない搬送装置によって筐
体支台1c上を矢印Ｒ（第２図）方向にに移送され、その
際、これも図示しない積層圧電素子２の電源駆動装置と
のタイミングを調整することによって、連続的に切欠き
が導入できるように構成されている。 このように構成された装置において、積層圧電素子２に
直流電圧を印加すると、積層圧電素子２はその特性上か
ら下方に急速に伸び、積層圧電素子２に与圧接触してい
る球体６を介して、ポンチ軸４を下方へ押し下げる。そ
の結果、ポンチ軸４に直結しているポンチ９がセラミッ
クグリーンシート８に食い込み、これに切欠き10を導入
する。その際、板ばね３は割りピン５から力を受け、そ
の中央部が下方へ撓みばね力を発生する。 その後、電圧の印欠を停止すると、ポンチ軸４は割りピ
ン５を介して板ばね３のばね力を受け、図示の初期状態
まで押し戻される。セラミックグリーンシート８の搬送
とのタイミングを上述したように調整しながら、この工
程を繰り返すことにより、セラミックグリーンシート８
に連続的に切欠きが導入される。 この発明の装置で使用する積層圧電素子２は、変位が大
で、かつ発生力が大きいことが要求される。この観点か
ら、両面に電極を形成した厚さ0.5〜1.0mm程度の圧電セ
ラミックを多数枚積層し、各圧電体を電気的に並列接続
したいわゆるスタック型の積層圧電素子が適している。 積層圧電素子は、電圧によってその変位（分解能は0.01
μｍ）の発生力を微細に調整できるので、この積層圧電
素子の駆動電圧制御装置と、図示しないセラミックグリ
ーンシート８の厚み読み取り装置とを組み合わせれば、
切欠き10を極めて精度良く導入することができる。 なお、図示実施例では、積層圧電素子２が１個の場合に
ついて示したが、変位と発生力がさらに要求されるとき
は、積層圧電素子２を複数個用いて構成することも可能
である。
第１図は斜視図、第２図はその正面図である。 図において、１は剛性を有する筐体で、枠状の頭部1aが
支柱1bより支台1cに直立支持された構成になっている。
２は積層圧電素子で、筐体頭部1aの天井下面に一端（上
端）をねじ締結、接着などの方法で固定して、垂直下方
に吊り下げるように設けられている。３は湾曲状の板ば
ねで、その両端を筐体頭部1aの下部両隅に嵌め込んで固
定されている。板ばねの材質としては、ばね特性と耐疲
労性の優れたりん青銅、ベリリウム銅、あるいはステン
レス鋼（17−7PH）などが適している。 板ばね３の中央部には貫通孔3aが形成されており、この
貫通孔3aにポンチ軸４が挿入されている。このポンチ軸
４は割りピン５により板ばね３に保持されている。ポン
チ軸４の上端面には球面座が形成されており、この球面
座と積層圧電素子２の自由端（下端）の端面との間に球
体６が挿入されている。球体６は、超硬合金、高速度
鋼、あるいは工具鋼などの高硬度で反発性の優れた材料
で作られている。このような状態において、球体６は積
層圧電素子２の端面にばね３により与圧されて接触して
いる。 ポンチ軸４はまた、筐体頭部1aの底部を貫通している。
そして、ポンチ軸４の貫通部には円筒状のすべり軸受管
７が設けられており、ポンチ軸４はこのすべり軸受管７
に案内されて矢印P,Q（第２図）に示すように上下に摺
動するようになっている。すべり軸受管７は、テフロン
チューブ、あるいは含油軸受合金などで構成される。 ポンチ軸４の先端には、セラミックグリーンシート８に
切欠きを導入するポンチ９がねじ締結などの手段で結合
されている。ポンチ９の材質は、耐磨耗性にすぐれた超
硬合金あるいは高速度鋼で、その先端は所要目的に応じ
た形状に加工されている。 筐体支台1cは、セラミックグリーンシート８の載置と搬
送のための作業台としての機能を持っている。セラミッ
クグリーンシート８は、図示しない搬送装置によって筐
体支台1c上を矢印Ｒ（第２図）方向にに移送され、その
際、これも図示しない積層圧電素子２の電源駆動装置と
のタイミングを調整することによって、連続的に切欠き
が導入できるように構成されている。 このように構成された装置において、積層圧電素子２に
直流電圧を印加すると、積層圧電素子２はその特性上か
ら下方に急速に伸び、積層圧電素子２に与圧接触してい
る球体６を介して、ポンチ軸４を下方へ押し下げる。そ
の結果、ポンチ軸４に直結しているポンチ９がセラミッ
クグリーンシート８に食い込み、これに切欠き10を導入
する。その際、板ばね３は割りピン５から力を受け、そ
の中央部が下方へ撓みばね力を発生する。 その後、電圧の印欠を停止すると、ポンチ軸４は割りピ
ン５を介して板ばね３のばね力を受け、図示の初期状態
まで押し戻される。セラミックグリーンシート８の搬送
とのタイミングを上述したように調整しながら、この工
程を繰り返すことにより、セラミックグリーンシート８
に連続的に切欠きが導入される。 この発明の装置で使用する積層圧電素子２は、変位が大
で、かつ発生力が大きいことが要求される。この観点か
ら、両面に電極を形成した厚さ0.5〜1.0mm程度の圧電セ
ラミックを多数枚積層し、各圧電体を電気的に並列接続
したいわゆるスタック型の積層圧電素子が適している。 積層圧電素子は、電圧によってその変位（分解能は0.01
μｍ）の発生力を微細に調整できるので、この積層圧電
素子の駆動電圧制御装置と、図示しないセラミックグリ
ーンシート８の厚み読み取り装置とを組み合わせれば、
切欠き10を極めて精度良く導入することができる。 なお、図示実施例では、積層圧電素子２が１個の場合に
ついて示したが、変位と発生力がさらに要求されるとき
は、積層圧電素子２を複数個用いて構成することも可能
である。
この発明の装置は、一端が固定された積層圧電素子と、
この積層圧電素子の自由端で押圧操作されるポンチと、
このポンチを前記積層圧電素子側に押し戻すばねとを備
え、セラミックグリーンシートに対する切欠き導入の駆
動源として変位と発生力の制御性に優れた積層圧電素子
を用いるようにしたので、セラミックグリーンシートに
対する切欠きを常に精度良く導入することができ、製品
歩留りの向上と装置の小形化、簡素化に著しい効果を発
揮する。
この積層圧電素子の自由端で押圧操作されるポンチと、
このポンチを前記積層圧電素子側に押し戻すばねとを備
え、セラミックグリーンシートに対する切欠き導入の駆
動源として変位と発生力の制御性に優れた積層圧電素子
を用いるようにしたので、セラミックグリーンシートに
対する切欠きを常に精度良く導入することができ、製品
歩留りの向上と装置の小形化、簡素化に著しい効果を発
揮する。
図はこの発明の実施例を示し、第１図は斜視図、第２図
は第１図の正面図である。 2:積層圧電素子、3:ばね、8:セラミックグリーンシー
ト、9:ポンチ、10:切欠き。
は第１図の正面図である。 2:積層圧電素子、3:ばね、8:セラミックグリーンシー
ト、9:ポンチ、10:切欠き。
Claims (1)
- 【請求項１】一端が固定された積層圧電素子と、この積
層圧電素子の自由端で押圧操作されるポンチと、このポ
ンチを前記積層圧電素子側に押し戻すばねとを備えたこ
とを特徴とするセラミックグリーンシートの切欠き導入
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25266987A JPH0667570B2 (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 | セラミックグリーンシートの切欠き導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25266987A JPH0667570B2 (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 | セラミックグリーンシートの切欠き導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195006A JPH0195006A (ja) | 1989-04-13 |
| JPH0667570B2 true JPH0667570B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=17240586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25266987A Expired - Lifetime JPH0667570B2 (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 | セラミックグリーンシートの切欠き導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0667570B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000025030A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックス基板及びその製造方法 |
| FI105565B (fi) | 1999-02-05 | 2000-09-15 | Raisio Chem Oy | Polymeeridispersio ja menetelmä sen valmistamiseksi |
-
1987
- 1987-10-07 JP JP25266987A patent/JPH0667570B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0195006A (ja) | 1989-04-13 |
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