JPH0666384B2 - Stocker for semiconductor wafer storage - Google Patents
Stocker for semiconductor wafer storageInfo
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- JPH0666384B2 JPH0666384B2 JP62005149A JP514987A JPH0666384B2 JP H0666384 B2 JPH0666384 B2 JP H0666384B2 JP 62005149 A JP62005149 A JP 62005149A JP 514987 A JP514987 A JP 514987A JP H0666384 B2 JPH0666384 B2 JP H0666384B2
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- stocker
- loading
- storage
- unloading
- carriers
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造工場等に配置して用いる半導体ウ
エハ収納用のストッカに関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a stocker for storing a semiconductor wafer, which is arranged and used in a semiconductor manufacturing factory or the like.
（従来技術とその問題点） 一般に、半導体工場においては、工程と工程との間に、
複数枚のウエハを格納したカセットを収納するストッカ
を配置して、ウエハの一時ストックやトラブル時のバッ
ファリング等のためにストッカが多く用いられている。(Prior art and its problems) Generally, in a semiconductor factory, between the processes,
A stocker for arranging a stocker for accommodating a cassette storing a plurality of wafers is often used for temporary stocking of wafers, buffering when trouble occurs, and the like.
従来のストッカは、いわゆるシングル・ポート型を採用
しており、各ストッカに対し投入払出口は１個しか設け
られていないので、工程間と工程内の搬送系（作業者や
ロボット等）が物理的に干渉してしまい、制御（排他制
御）が極めて面倒となるなどの問題があり、また、高ク
リーン度を要求されるストッカでは、フィルタの設置位
置に大きな制限を受けるため、いわゆるマルチ・ポート
型構造のストッカを設計・製造することが困難であっ
た。更には、ユーザにおける工場のレイアウトによっ
て、その都度、ストッカの投入払出口の方向を合せて個
別に製造しなければならない等の問題点が存在してい
た。The conventional stocker adopts the so-called single port type, and since there is only one loading / unloading port for each stocker, the transfer system (workers, robots, etc.) between processes and processes is physically However, there is a problem that control (exclusive control) is extremely troublesome, and in a stocker that requires high cleanliness, the installation position of the filter is greatly limited. It was difficult to design and manufacture a stocker having a mold structure. Further, depending on the layout of the factory by the user, there is a problem that the stocker loading / discharging direction must be matched and manufactured individually each time.
本発明は、上記した従来の問題点を解決するために開発
したものであり、その目的とするところは、工程間と工
程内の搬送手段間の物理的な干渉をなくし、かつ、スト
ツカをユニット構造にすることによりストッカの任意の
面に投入払出用ハンドラ機構を付設できるようにした半
導体ウエハ収納用ストッカを提供するものである。The present invention was developed in order to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to eliminate physical interference between processes and conveyance means in a process, and to provide a stocker unit. The present invention provides a stocker for storing semiconductor wafers, which has a structure so that a loading / dispensing handler mechanism can be attached to any surface of the stocker.
（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、複数枚のウエハ
を収容したキャリアを収納するストッカであって、多面
形状である枠部内に収納棚を内蔵して構成したストッカ
本体の複数の面に投入払出口を設け、何れかの投入払出
口を工程間搬送系からキャリアを搬入搬出する投入払出
口とし、他の投入払出口を複数の装置へキャリアを送る
工程内搬送系においてキャリアを搬入搬出する投入払出
口とし、このストッカ本体をユニット構造にしてストッ
カ本体の枠部の任意の面に投入払出用ハンドラ機構を付
設すると共に、上記した収納棚は、中央に開口部を有す
る円板状の収納板を多段に設け、かつ基台に設けた回転
機構で収納棚を回転可能に設け、収納棚の下方に設けた
ファンより収納板の開口部より空気を送給し、各収納板
に収納されているキャリアに対してフィルタを介して放
射状に空気を送るように構成した。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is a stocker that stores a carrier that stores a plurality of wafers, and has a storage rack built in a frame portion having a multifaceted shape. The loading and unloading outlets are provided on multiple surfaces of the stocker body configured as described above. As a loading and unloading port for loading and unloading the carrier in the transport system in the sending process, the stocker body is made into a unit structure, and a loading and unloading handler mechanism is attached to an arbitrary surface of the frame part of the stocker body, and the above-mentioned storage rack is A disk-shaped storage plate with an opening in the center is provided in multiple stages, and the storage shelf is rotatably provided by a rotating mechanism provided on the base, and air is supplied from the opening of the storage plate by a fan provided below the storage shelf. Send It is configured such that the air is supplied and air is radially sent to the carriers housed in each housing plate through the filter.
（作用） ウエハを収納するストッカにおいて、ストッカ本体に投
入払出口を複数個設けたので、搬送系の間で、干渉し合
う恐れがなく、しかも、投入払出口をストッカ本体の対
向面の位置に付けることができるので、工程間搬送系と
工程内搬送系との間のストッカとして利用することがで
き、ユーザのニーズに合ったストッカを簡単に提供する
ことが可能となる。(Function) In the stocker for storing wafers, since the stocker main body is provided with a plurality of loading / unloading ports, there is no risk of interference between the transfer systems, and the loading / unloading port is located on the opposite surface of the stocker body. Since it can be attached, it can be used as a stocker between the inter-process transport system and the intra-process transport system, and a stocker that meets the needs of the user can be easily provided.
（実施例） 本発明における半導体ウエハ収納用ストッカの実施例を
第１図乃至第５図に従って詳述する。(Embodiment) An embodiment of a stocker for storing a semiconductor wafer according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5.
第１図に示すように、例えばストッカ本体１の対向面に
２個の投入払出口２ａ、２ｂを設けることにより、工程
間搬送系（イ）と工程内搬送系（ロ）とが干渉すること
なく円滑に搬送することができることを特徴とするもの
であるが、具体的には以下の通りである。As shown in FIG. 1, the inter-process transport system (a) and the intra-process transport system (b) interfere with each other, for example, by providing two loading / unloading ports 2a and 2b on the opposing surfaces of the stocker body 1. It is characterized in that it can be transported smoothly without any particular problems, and is specifically as follows.
四角形の枠部３内に円筒形の収納棚４を回転可能に設け
てストッカ本体１を構成し、このストッカ本体１をユニ
ット構造にしてストッカ本体１の任意の面に投入払出用
ハンドラ機構５を付設できるようにしたものであり、収
納棚４は、中央部に開口部６を形成した円板状の収納板
４ａを多段に設けて、全体を円筒状に構成されている。
その他、この収納棚４は、縦型の棚を放射状に配置し
て、全体の収納棚４を略筒型形状に構成することもでき
る。更に、収納棚４は基台７に回転機構８を介して回転
可能に設けられている。そして、基台７に設けたファン
９により空気を送給して収納棚４の開口部６よりフィル
タ１０を介して各収納板４ａに放射状に空気が送られ、
ウエハ１１を格納したキャリア１２に清浄空気が送られ
る。A cylindrical storage shelf 4 is rotatably provided in a quadrangular frame portion 3 to form a stocker main body 1, and the stocker main body 1 is made into a unit structure, and a loading / dispensing handler mechanism 5 is provided on an arbitrary surface of the stocker main body 1. The storage rack 4 has a plurality of disc-shaped storage plates 4a each having an opening 6 formed in the center thereof in multiple stages, and has a cylindrical shape as a whole.
In addition, the storage shelves 4 can also be configured by arranging vertical shelves in a radial pattern so that the entire storage shelves 4 have a substantially tubular shape. Further, the storage shelf 4 is rotatably provided on the base 7 via a rotation mechanism 8. Then, air is sent by the fan 9 provided on the base 7 and is radially sent from the opening 6 of the storage shelf 4 to each storage plate 4a through the filter 10,
Clean air is sent to the carrier 12 that stores the wafer 11.
収納棚４の回りには、四角形状の枠部３が設けられてお
り、枠部３の四面のうち任意の面には、投入払出口２ａ
乃至２ｄを設けている。A quadrangular frame 3 is provided around the storage shelf 4, and the charging / discharging outlet 2a is provided on any of the four surfaces of the frame 3.
Through 2d.
ストッカ本体１に設けた投入払出用ハンドラ機構５は、
水平ガイド部材１３、１４を介して水平方向に移動自在
に設け、かつ垂直軸１５ａ、１５ｂに沿って昇降する昇
降部材１６に回動軸１７を設け、この回動軸１７にアー
ム部１８を取付けている。The loading / dispensing handler mechanism 5 provided in the stocker body 1 is
A rotating shaft 17 is provided on an elevating member 16 which is movable in the horizontal direction via horizontal guide members 13 and 14, and which is vertically movable along vertical shafts 15a and 15b. An arm portion 18 is attached to the rotating shaft 17. ing.
次に、上記実施例における投入払出口２ａ乃至２ｄの態
様について説明すると、第４図Ａはストッカ本体１の一
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、第４
図Ｂ、Ｃはストッカ本体１の二面に投入払出用ハンドラ
機構５を設けた例である。この第４図Ｂ、Ｃは、工程間
搬送（イ）と工程内搬送（ロ）との間のストッカとして
利用することができる。第４図Ｄはストッカ本体１の三
面に投入払出用ハンドラ機構５を設けた例であり、投入
払出口２ａは、対工程間搬送（イ）用に、投入払出口２
ｂは、オペレータによる投入払出用に利用し、更に、投
入払出口２ｃは、対工程内搬送（ロ）用に利用してお
り、投入払出口２ｄは、非常時におけるオペレータアク
セスサイドとして用いることができる。Next, the mode of the input / output outlets 2a to 2d in the above embodiment will be described. FIG. 4A is an example in which the input / output handler mechanism 5 is provided on one surface of the stocker body 1, and
FIGS. B and C are examples in which the stocker main body 1 is provided with the loading / dispensing handler mechanism 5 on two surfaces. These FIGS. 4B and 4C can be used as a stocker between the inter-process transportation (a) and the intra-process transportation (b). FIG. 4D shows an example in which a loading / dispensing handler mechanism 5 is provided on three sides of the stocker body 1, and the loading / discharging outlet 2a is used for the inter-process conveyance (a).
b is used for making and paying out by the operator, further, the making and paying outlet 2c is used for in-process transportation (b), and the making and paying outlet 2d can be used as an operator access side in an emergency. it can.
第５図Ａ、Ｂは別のレイアウトの例を示した説明図であ
り、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平面説明
図である。5A and 5B are explanatory views showing another layout example, and FIG. 6 is a plan explanatory view showing a state of the flat shelf type stocker.
（発明の効果） 以上のことから明らかなように、本発明によると、スト
ッカ本体に投入払出口を複数個設けたので、搬送系間
で、干渉し合う恐れがなく、しかも、投入払出口をスト
ッカ本体の対向面の位置に付けることができるため、工
程間搬送系と工程内搬送系とが干渉することなく円滑に
搬送可能となり、ユーザのニーズに合わせたストッカを
容易に提供することができる等の優れた効果がある。(Effect of the invention) As is clear from the above, according to the present invention, since the stocker main body is provided with a plurality of loading / unloading ports, there is no risk of interference between the transport systems, and the loading / unloading port is Since it can be attached to the position of the facing surface of the stocker body, the inter-process transport system and the intra-process transport system can be smoothly transported without interfering with each other, and the stocker that meets the needs of the user can be easily provided. And so on.
第１図乃至第６図は、本発明における半導体ウエハ収納
用ストッカの実施例を示したもので、第１図はストッカ
の配置例を示した平面説明図、第２図はストッカの縦断
面図、第３図は同上の拡大横断面図、第４図Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄはストッカのマルチ・ポートのバリエーションを
それぞれ示した平面説明図であり、第５図Ａは他の例を
示したストッカの平面説明図、該５図Ｂは第５図Ａのａ
部拡大図、第６図は平棚型のストッカの状態を示した平
面説明図である。 １……ストッカ本体、 ２ａ乃至２ｄ……投入払出口、 ３……枠部、 ４……収納棚、 ５……ハンドラ機構、 １１……ウエハ、 １２……キャリア。1 to 6 show an embodiment of a stocker for storing semiconductor wafers according to the present invention. FIG. 1 is an explanatory plan view showing an arrangement example of the stocker, and FIG. 2 is a vertical sectional view of the stocker. , Fig. 3 is an enlarged cross-sectional view of the above, Fig. 4 A, B,
C and D are plan explanatory views showing variations of the stocker multi-port respectively, FIG. 5A is a plan explanatory view of the stocker showing another example, and FIG. 5B is a in FIG. 5A.
FIG. 6 is an enlarged view of a part, and FIG. 6 is an explanatory plan view showing a state of a flat shelf type stocker. 1 ... Stocker main body, 2a to 2d ... Loading / unloading port, 3 ... Frame part, 4 ... Storage rack, 5 ... Handler mechanism, 11 ... Wafer, 12 ... Carrier.
Claims (1)
するストッカであって、多面形状である枠部内に収納棚
を内蔵して構成したストッカ本体の複数の面に投入払出
口を設け、何れかの投入払出口を工程間搬送系からキャ
リアを搬入搬出する投入払出口とし、他の投入払出口を
複数の装置へキャリアを送る工程内搬送系においてキャ
リアを搬入搬出する投入払出口とし、このストッカ本体
をユニット構造にしてストッカ本体の枠部の任意の面に
投入払出用ハンドラ機構を付設すると共に、上記した収
納棚は、中央に開口部を有する円板状の収納板を多段に
設け、かつ基台に設けた回転機構で収納棚を回転可能に
設け、収納棚の下方に設けたファンより収納板の開口部
より空気を送給し、各収納板に収納されているキャリア
に対してフィルタを介して放射状に空気を送るようにし
たことを特徴とする半導体ウエハ収納用ストッカ。1. A stocker for accommodating a carrier accommodating a plurality of wafers, wherein a stocker main body constituted by accommodating storage shelves in a frame portion having a multi-sided shape is provided with a plurality of loading / discharging outlets. One of the loading and unloading ports is a loading and unloading port for loading and unloading carriers from the inter-process transport system, and another loading and unloading port is a loading and unloading port for loading and unloading carriers in the in-process transport system for sending carriers to a plurality of devices. The stocker body is made into a unit structure, and a loading / dispensing handler mechanism is attached to an arbitrary surface of the frame part of the stocker body, and the above-mentioned storage rack is provided with a plurality of disc-shaped storage plates having an opening in the center, In addition, a storage mechanism is rotatably provided by a rotating mechanism provided on the base, and air is supplied from the opening of the storage plate by a fan provided below the storage shelf to the carriers stored in each storage plate. filter The semiconductor wafer storage stocker, characterized in that it has to send the air radially through.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005149A JPH0666384B2 (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Stocker for semiconductor wafer storage |
| KR1019880008596A KR960013626B1 (en) | 1987-01-14 | 1988-07-11 | Carrier accept type stocker |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP62005149A JPH0666384B2 (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Stocker for semiconductor wafer storage |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPS63174333A JPS63174333A (en) | 1988-07-18 |
| JPH0666384B2 true JPH0666384B2 (en) | 1994-08-24 |
Family
ID=11603226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62005149A Expired - Lifetime JPH0666384B2 (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Stocker for semiconductor wafer storage |
Country Status (2)
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| KR (1) | KR960013626B1 (en) |
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| DE10350517A1 (en) * | 2003-10-29 | 2005-06-09 | Sieghard Schiller Gmbh & Co. Kg | Holder for semiconductor wafer stack has robotic handling arm and separate stacks rotatable about a vertical axis for free access and transportation |
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| US20080112787A1 (en) | 2006-11-15 | 2008-05-15 | Dynamic Micro Systems | Removable compartments for workpiece stocker |
| JP5193220B2 (en) * | 2006-11-15 | 2013-05-08 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | Removable compartment for workpiece stocker |
Family Cites Families (1)
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1988
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Also Published As
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