JPH0665189B2 - 軸受の寿命判定装置を備えたｘ線管 - Google Patents
軸受の寿命判定装置を備えたｘ線管Info
- Publication number
- JPH0665189B2 JPH0665189B2 JP61100987A JP10098786A JPH0665189B2 JP H0665189 B2 JPH0665189 B2 JP H0665189B2 JP 61100987 A JP61100987 A JP 61100987A JP 10098786 A JP10098786 A JP 10098786A JP H0665189 B2 JPH0665189 B2 JP H0665189B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- life
- ray tube
- rotation speed
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Rolling Contact Bearings (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はころがり軸受の寿命判定装置を備えたＸ線管に
係り、特に軸受の潤滑剤の寿命判定に好適な軸受の寿命
判定装置を備えたＸ線管に関するものである。
係り、特に軸受の潤滑剤の寿命判定に好適な軸受の寿命
判定装置を備えたＸ線管に関するものである。
〔従来の技術〕 従来、ころがり軸受の機械的な損傷による異常判定装置
は、特開昭51−136465や特開昭53−9584に記載のよう
に、軸受の損傷によつて発生する周期性でしかもパルス
状の高い衝撃加速度を振動加速度検出器で検出し、別に
検出した回転数情報に応じた判定規準値と比較判定した
り、更に衝撃加速度の大きさの経時的な増加の割合から
異常時期を予測するようになつていた。したがつて、軸
受の損傷による振動加速度が上記パターンと異なる場合
や潤滑剤不足等による寿命に対しては考慮されていなか
つた。
は、特開昭51−136465や特開昭53−9584に記載のよう
に、軸受の損傷によつて発生する周期性でしかもパルス
状の高い衝撃加速度を振動加速度検出器で検出し、別に
検出した回転数情報に応じた判定規準値と比較判定した
り、更に衝撃加速度の大きさの経時的な増加の割合から
異常時期を予測するようになつていた。したがつて、軸
受の損傷による振動加速度が上記パターンと異なる場合
や潤滑剤不足等による寿命に対しては考慮されていなか
つた。
上記のように従来技術による軸受の異常判定は、軸受の
振動加速度と軸の回転数の２つの検出情報を用いて行わ
れ、また振動加速度の波形も特定化して行われている。
しかるに、固体潤滑剤を用いた回転陽極Ｘ線管用の軸受
や、一般の真空用軸受のように、潤滑膜の部分的脱落と
再付着をくり返す場合や、不均一な摩耗による軸受軌道
及びボールの面荒れの場合には、そのときの振動加速度
の増加が必らずしも潤滑膜の寿命には結びつかず、また
波形や波形の経時変化も特定することは困難である。こ
のような場合に対する軸受寿命の判定。予測に関して
は、従来技術では考慮されておらず、軸受の使用者は軸
受の寿命の適確な判断と予知がむずかしく、このため軸
受の交換準備が遅れ業務に支障をきたすなどの問題があ
り、また振動加速度の測定が必須条件という点でも装置
及び演算処理の複雑化及びコスト高などの問題があつ
た。
振動加速度と軸の回転数の２つの検出情報を用いて行わ
れ、また振動加速度の波形も特定化して行われている。
しかるに、固体潤滑剤を用いた回転陽極Ｘ線管用の軸受
や、一般の真空用軸受のように、潤滑膜の部分的脱落と
再付着をくり返す場合や、不均一な摩耗による軸受軌道
及びボールの面荒れの場合には、そのときの振動加速度
の増加が必らずしも潤滑膜の寿命には結びつかず、また
波形や波形の経時変化も特定することは困難である。こ
のような場合に対する軸受寿命の判定。予測に関して
は、従来技術では考慮されておらず、軸受の使用者は軸
受の寿命の適確な判断と予知がむずかしく、このため軸
受の交換準備が遅れ業務に支障をきたすなどの問題があ
り、また振動加速度の測定が必須条件という点でも装置
及び演算処理の複雑化及びコスト高などの問題があつ
た。
本発明は、振動加速度の波形及びその大小には無関係に
軸受潤滑膜の寿命を判定・予知できるＸ線管用軸受の寿
命判定装置を提供することを目的とする。
軸受潤滑膜の寿命を判定・予知できるＸ線管用軸受の寿
命判定装置を提供することを目的とする。
上記の目的は、軸受の性状判定因子として振動加速度の
代りに惰性回転時の速度減少の割合から換算した軸受の
摩擦トルクを用い、このトルクの大小及び経時的変化を
監視することにより達成される。
代りに惰性回転時の速度減少の割合から換算した軸受の
摩擦トルクを用い、このトルクの大小及び経時的変化を
監視することにより達成される。
このため本発明は、軸の回転数を検出する回転数検出器
と、軸の惰性回転の時間に対する変化を検出し、この変
化を摩擦トルクに換算し、このトルクを基準値と比較し
異常の度合を判定する演算表示装置を具備することを特
徴とする。
と、軸の惰性回転の時間に対する変化を検出し、この変
化を摩擦トルクに換算し、このトルクを基準値と比較し
異常の度合を判定する演算表示装置を具備することを特
徴とする。
軸受の潤滑膜に摩耗や潤滑膜の損傷が生ずると、潤滑面
の摩擦係数μが増加する。いま軸受の内輪直径をｄ、軸
受に加わる荷重をＰ、軸受の摩擦トルクをＭとすると、 となり、摩擦係数μが増加するとそれに比例して軸受の
摩擦トルクＭも大きくなることになる。
の摩擦係数μが増加する。いま軸受の内輪直径をｄ、軸
受に加わる荷重をＰ、軸受の摩擦トルクをＭとすると、 となり、摩擦係数μが増加するとそれに比例して軸受の
摩擦トルクＭも大きくなることになる。
一方、慣性モーメントGD2（Kgf・m2）を有する回転体の
惰性回転時における一定回転数の低下ΔＮ（rpm）とそ
れに要した時間Δｔ（sec）がわかると、軸受の摩擦ト
ルクＭは次の式によつて求めることができる。
惰性回転時における一定回転数の低下ΔＮ（rpm）とそ
れに要した時間Δｔ（sec）がわかると、軸受の摩擦ト
ルクＭは次の式によつて求めることができる。
したがつて、回転陽極Ｘ線管のように定格回転数への昇
速と、一定時間後に惰性減速とを繰り返し使用されるも
のでは、惰性回転時の回転数変化ΔＮとその所要時間Δ
ｔとがわかれば、軸受の摩擦トルクＭがわかり、このト
ルクＭの増加から軸受の潤滑膜の摩耗や損傷の増加がわ
かることになり、したがつて軸受の寿命判定と予知が可
能となる。
速と、一定時間後に惰性減速とを繰り返し使用されるも
のでは、惰性回転時の回転数変化ΔＮとその所要時間Δ
ｔとがわかれば、軸受の摩擦トルクＭがわかり、このト
ルクＭの増加から軸受の潤滑膜の摩耗や損傷の増加がわ
かることになり、したがつて軸受の寿命判定と予知が可
能となる。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は医療用の回転陽極Ｘ線管におけるころがり軸受
の寿命判定装置を示すものである。回転陽極Ｘ線管はガ
ラス製の真空容器３の中に熱電子を発生する陰極２、熱
電子を受けてＸ線を発生するターゲツト７、ターゲツト
７を回転させるモータロータ１及び固定軸５に内嵌され
てモータロータ１を内部軸８で回転自在に支持している
軸受４が高真空の状態で封入されているものである。こ
のモータロータ１は真空容器３の外側よりモータステー
タ６により回転駆動を受けて高速回転する。この場合、
モータステータ６には駆動電力が連続的に加わるのでは
なく、第２図のように間欠的に短短時間のみ加わり、そ
のとき陰極２とターゲツト７との間に高電圧が印加され
て陰極２とターゲツト７の間に電流が流れてそのエネル
ギの数％がＸ線になり、残りは全て熱エネルギとなつて
ターゲツト７を始めとしてロータ１、軸受４などを高温
に加熱する。この温度上昇は軸受４の内輪側の内部軸８
と外輪側の固定軸５と間では異なるのでその熱伸び差が
生じ、軸受４にその影響が加わる。このため、軸受は耐
熱性のある固体潤滑剤が用いられるが、油潤滑の場合に
比し著しくその寿命が短い。９はモータロータの円周上
の一点にあけた孔で、10はこの孔９に対向して真空容器
３の外表面に貼りつけた電極板であり、モータロータ１
の回転に伴いモータロータ１を電極板10との間の静電容
量が孔９によつてパルス状の変化が生ずる。この静電容
量を静電容量形変位計11により電圧信号に変換し、これ
を上・下限の制定した回転数でON又はOFFする機械的接
点リレーを内蔵したデジタル回転計12により回転数に変
換する。モータロータ１の回転数は概略的には第２図の
ように変化するので、デジタル回転計12の上限回転数を
モータロータ１の定格回転数にセツトし、また下限回転
数を惰性回転時に必らず低下して到達する範囲における
回転数にセツトし、モータステータ６に駆動電力が入り
モータロータ１が定格回転数に達した後に駆動電力がOF
Fになつたときを常に時間の基点としてタイマー14をス
タートさせ、回転数が下限回転数に達したときタイマー
14をストツプさせ、下限回転数から上限回転数に至る回
転数ΔＮに対する所要時間Δｔをタイマー14にカウント
させる。次に演算処理器15によりΔＮとΔｔ及び別に計
算或いは実測により求めたモータロータ１、ターゲツト
７などの回転体の惰性モーメントGD2をもとに（１）式
の軸受の摩擦トルクＭを演算させ、その結果を予め入力
してある寿命判定基準値と寿命警戒基準値とで比較判定
する比較判定器16を介して表示器17にそれぞれの基準値
に対するラインと共に第３図のように経時変化として表
示させる。また摩擦トルクが各基準値を越えた場合には
警報器18により警告音を発生させる。
の寿命判定装置を示すものである。回転陽極Ｘ線管はガ
ラス製の真空容器３の中に熱電子を発生する陰極２、熱
電子を受けてＸ線を発生するターゲツト７、ターゲツト
７を回転させるモータロータ１及び固定軸５に内嵌され
てモータロータ１を内部軸８で回転自在に支持している
軸受４が高真空の状態で封入されているものである。こ
のモータロータ１は真空容器３の外側よりモータステー
タ６により回転駆動を受けて高速回転する。この場合、
モータステータ６には駆動電力が連続的に加わるのでは
なく、第２図のように間欠的に短短時間のみ加わり、そ
のとき陰極２とターゲツト７との間に高電圧が印加され
て陰極２とターゲツト７の間に電流が流れてそのエネル
ギの数％がＸ線になり、残りは全て熱エネルギとなつて
ターゲツト７を始めとしてロータ１、軸受４などを高温
に加熱する。この温度上昇は軸受４の内輪側の内部軸８
と外輪側の固定軸５と間では異なるのでその熱伸び差が
生じ、軸受４にその影響が加わる。このため、軸受は耐
熱性のある固体潤滑剤が用いられるが、油潤滑の場合に
比し著しくその寿命が短い。９はモータロータの円周上
の一点にあけた孔で、10はこの孔９に対向して真空容器
３の外表面に貼りつけた電極板であり、モータロータ１
の回転に伴いモータロータ１を電極板10との間の静電容
量が孔９によつてパルス状の変化が生ずる。この静電容
量を静電容量形変位計11により電圧信号に変換し、これ
を上・下限の制定した回転数でON又はOFFする機械的接
点リレーを内蔵したデジタル回転計12により回転数に変
換する。モータロータ１の回転数は概略的には第２図の
ように変化するので、デジタル回転計12の上限回転数を
モータロータ１の定格回転数にセツトし、また下限回転
数を惰性回転時に必らず低下して到達する範囲における
回転数にセツトし、モータステータ６に駆動電力が入り
モータロータ１が定格回転数に達した後に駆動電力がOF
Fになつたときを常に時間の基点としてタイマー14をス
タートさせ、回転数が下限回転数に達したときタイマー
14をストツプさせ、下限回転数から上限回転数に至る回
転数ΔＮに対する所要時間Δｔをタイマー14にカウント
させる。次に演算処理器15によりΔＮとΔｔ及び別に計
算或いは実測により求めたモータロータ１、ターゲツト
７などの回転体の惰性モーメントGD2をもとに（１）式
の軸受の摩擦トルクＭを演算させ、その結果を予め入力
してある寿命判定基準値と寿命警戒基準値とで比較判定
する比較判定器16を介して表示器17にそれぞれの基準値
に対するラインと共に第３図のように経時変化として表
示させる。また摩擦トルクが各基準値を越えた場合には
警報器18により警告音を発生させる。
本実施例によれば、軸受の摩擦トルクの経時変化が一目
瞭然にわかり、また寿命判定ライン及び寿命警戒ライン
により現在の摩擦トルク状態の良否も直ちに判定でき、
更に摩擦トルク増加傾向と寿命判定ラインに対する接近
の度合から寿命の予知も可能となり、寿命による極限状
態における事故を未然に防止できると同時に軸受交換の
時期もわかるので、Ｘ線管による医療業務に支障をきた
すことを最小限にとどめることができる。
瞭然にわかり、また寿命判定ライン及び寿命警戒ライン
により現在の摩擦トルク状態の良否も直ちに判定でき、
更に摩擦トルク増加傾向と寿命判定ラインに対する接近
の度合から寿命の予知も可能となり、寿命による極限状
態における事故を未然に防止できると同時に軸受交換の
時期もわかるので、Ｘ線管による医療業務に支障をきた
すことを最小限にとどめることができる。
なお、第１図の実施例においては、タイマー14、演算処
理器15、比較判定器16、表示器17及び警報器18としてハ
ードウエアの機器を用いたが、これらを１つのコンピュ
ータとしてソフトウエアで同様の処理を施すことは容易
であり、本発明は第１図のシステムと同等の機能を有す
るコンピユータシステムをも包含するものとする。
理器15、比較判定器16、表示器17及び警報器18としてハ
ードウエアの機器を用いたが、これらを１つのコンピュ
ータとしてソフトウエアで同様の処理を施すことは容易
であり、本発明は第１図のシステムと同等の機能を有す
るコンピユータシステムをも包含するものとする。
第４図は本発明の他の実施例を示すもので、第１図と異
なるのはリレーを内蔵したデジタル回転計12の代りにリ
レーを内蔵していないデジタル回転計13を用いたこと
と、現在のモータロータ１の回転数が上昇過程にあるか
減少過程つまり惰性回転中であるかを判定する回転性状
判定器19を追加したことである。本実施例では、タイマ
ーのスタートが惰性回転領域に入つたことを回転性状判
定器19により確認された場合のみタイマー14がスタート
し、演算処理器15によりΔＮだけ回転数が低下したとき
タイマー14をストツプさせるようにし、ΔＮだけ回転数
が低下するに要する時間Δｔをタイマー14でカウントさ
せる。したがつて、タイマー14のスタートが第２図にお
ける最大回転数つまり定格回転数より若干低い回転数で
ある以外は機能的に第１図の場合と同じである。この実
施例ではタイマー14をスタート及びストツプさせるため
のデジタル回転計12の内蔵リレーが不要となるため、リ
レーの接点部の損傷による動作不良がなくなる。また、
軸受４の摩擦や損傷が大きくなつて、第５図におけるよ
うに最大回転数がたとえ定格回転数に達していない状態
でモータステータ６への駆動電力がOFFになつて惰性回
転域に入つても、第５図のように定められた回転数低下
量ΔＮを確保できる効果がある。
なるのはリレーを内蔵したデジタル回転計12の代りにリ
レーを内蔵していないデジタル回転計13を用いたこと
と、現在のモータロータ１の回転数が上昇過程にあるか
減少過程つまり惰性回転中であるかを判定する回転性状
判定器19を追加したことである。本実施例では、タイマ
ーのスタートが惰性回転領域に入つたことを回転性状判
定器19により確認された場合のみタイマー14がスタート
し、演算処理器15によりΔＮだけ回転数が低下したとき
タイマー14をストツプさせるようにし、ΔＮだけ回転数
が低下するに要する時間Δｔをタイマー14でカウントさ
せる。したがつて、タイマー14のスタートが第２図にお
ける最大回転数つまり定格回転数より若干低い回転数で
ある以外は機能的に第１図の場合と同じである。この実
施例ではタイマー14をスタート及びストツプさせるため
のデジタル回転計12の内蔵リレーが不要となるため、リ
レーの接点部の損傷による動作不良がなくなる。また、
軸受４の摩擦や損傷が大きくなつて、第５図におけるよ
うに最大回転数がたとえ定格回転数に達していない状態
でモータステータ６への駆動電力がOFFになつて惰性回
転域に入つても、第５図のように定められた回転数低下
量ΔＮを確保できる効果がある。
本発明によれば、軸受潤滑膜の摩耗の形態や損傷による
振動加速度のパターンに関係なく、それらの影響を軸受
の摩擦トルクとしてまとめて検出判定できるので、軸受
の回転数情報のみの検出で軸受の寿命判定・予知ができ
る。したがつて、振動加速度計が不要となり、装置の低
コスト化が図られる。更に、振動加速度データの演算処
理が不要であるので、全体のデータ処理量を少くするこ
とができ、処理時間の短縮化と演算処理装置の小規模化
の効果がある。
振動加速度のパターンに関係なく、それらの影響を軸受
の摩擦トルクとしてまとめて検出判定できるので、軸受
の回転数情報のみの検出で軸受の寿命判定・予知ができ
る。したがつて、振動加速度計が不要となり、装置の低
コスト化が図られる。更に、振動加速度データの演算処
理が不要であるので、全体のデータ処理量を少くするこ
とができ、処理時間の短縮化と演算処理装置の小規模化
の効果がある。
第１図は本発明を適用した回転陽極Ｘ線管の部分断面図
とブロツク図である。第２図はモータの駆動電力と回転
数の変化を示した図、第３図はころがり軸受が正常の段
階から寿命状態になるまでの軸受の摩擦トルクの変化を
示した図である。第４図は本発明の他の実施例を示すブ
ロツク図、第５図は軸受に異常が生じたときのモータの
駆動電力と回転数の変化を示した図である。 12,13……デジタル回転計、14……タイマー、15……演
算処理器、16……比較判定器、17……表示器、18……警
報器、19……回転性状判定器。
とブロツク図である。第２図はモータの駆動電力と回転
数の変化を示した図、第３図はころがり軸受が正常の段
階から寿命状態になるまでの軸受の摩擦トルクの変化を
示した図である。第４図は本発明の他の実施例を示すブ
ロツク図、第５図は軸受に異常が生じたときのモータの
駆動電力と回転数の変化を示した図である。 12,13……デジタル回転計、14……タイマー、15……演
算処理器、16……比較判定器、17……表示器、18……警
報器、19……回転性状判定器。
Claims (1)
- 【請求項１】回転陽極軸受の潤滑的な寿命を判定する装
置を備えたＸ線管であつて、前記寿命判定装置として軸
の回転数を検出する回転数検出器と、軸の惰性回転時の
時間変化に対する回転数の変化の割合を検出し、これを
もとに軸受の摩擦トルクに換算し、更にこのトルクを判
定基準値と比較して軸受の異常の度合を判定する演算表
示装置とを備えたことを特徴とする軸受の寿命判定装置
を備えたＸ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61100987A JPH0665189B2 (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | 軸受の寿命判定装置を備えたｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61100987A JPH0665189B2 (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | 軸受の寿命判定装置を備えたｘ線管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62259397A JPS62259397A (ja) | 1987-11-11 |
| JPH0665189B2 true JPH0665189B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=14288671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61100987A Expired - Fee Related JPH0665189B2 (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | 軸受の寿命判定装置を備えたｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665189B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107702920A (zh) * | 2016-08-09 | 2018-02-16 | 大隈株式会社 | 轴承诊断装置 |
| JP2018028513A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | オークマ株式会社 | 回転軸装置における軸受の潤滑状態の確認方法及び回転軸装置 |
| US9933333B2 (en) | 2015-09-07 | 2018-04-03 | Okuma Corporation | Bearing diagnostic device for machine tool |
| US10081088B2 (en) | 2015-10-19 | 2018-09-25 | Okuma Corporation | Main spindle failure detection device for machine tool and method of detecting main spindle failure |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2570095Y2 (ja) * | 1992-02-25 | 1998-04-28 | 株式会社島津製作所 | 駆動装置 |
| KR101001428B1 (ko) * | 2004-12-27 | 2010-12-14 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | Ｘ선관 및 ｘ선원 |
| JP2006262679A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 機器診断装置、機器診断システム、及び機器診断方法 |
| US20120210694A1 (en) * | 2007-04-11 | 2012-08-23 | Holmquist Eric B | Turbo machine spool parameter detection |
| JP2016038965A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | 株式会社日立メディコ | Ｘ線装置およびその制御方法 |
| JP6294262B2 (ja) * | 2015-05-19 | 2018-03-14 | ファナック株式会社 | 工作機械の異常検出機能を備えた異常検出装置、及び異常検出方法 |
| JP6873870B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2021-05-19 | オークマ株式会社 | 回転軸装置における軸受の潤滑状態診断装置及び潤滑状態診断方法 |
| US11051388B2 (en) * | 2018-06-30 | 2021-06-29 | Varex Imaging Corporation | X-ray tube diagnostic system including a circuit to generate a phase signal and/or an indication of a status of a motor |
| JP7222204B2 (ja) * | 2018-09-05 | 2023-02-15 | 富士電機株式会社 | 機械診断装置及び機械診断プログラム |
-
1986
- 1986-05-02 JP JP61100987A patent/JPH0665189B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9933333B2 (en) | 2015-09-07 | 2018-04-03 | Okuma Corporation | Bearing diagnostic device for machine tool |
| US10081088B2 (en) | 2015-10-19 | 2018-09-25 | Okuma Corporation | Main spindle failure detection device for machine tool and method of detecting main spindle failure |
| CN107702920A (zh) * | 2016-08-09 | 2018-02-16 | 大隈株式会社 | 轴承诊断装置 |
| JP2018028513A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | オークマ株式会社 | 回転軸装置における軸受の潤滑状態の確認方法及び回転軸装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62259397A (ja) | 1987-11-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0665189B2 (ja) | 軸受の寿命判定装置を備えたｘ線管 | |
| TW201710656A (zh) | 工作機械的軸承診斷裝置 | |
| CN106168534B (zh) | 具备机床的异常检测功能的异常检测装置及异常检测方法 | |
| JP5725833B2 (ja) | 転がり軸受の異常診断装置、風力発電装置および異常診断システム | |
| JP2005345277A (ja) | 監視装置及び監視方法 | |
| JP2005074545A (ja) | 工作機械の状態監視装置 | |
| EP0536415A1 (en) | Device for sensing abnormality in bearing of blower for gas laser | |
| WO2017145687A1 (ja) | 異常診断装置および異常診断方法 | |
| US20030178515A1 (en) | System and method of monitoring a crushing device | |
| US5747680A (en) | Multiple parameter sensor and method of operation thereof | |
| JP2007044586A (ja) | 遠心分離機 | |
| JP5516839B2 (ja) | 主軸装置用異常検出装置、主軸装置用異常検出方法、及び主軸装置、並びに工作機械 | |
| JP2006017291A (ja) | 監視装置及び監視方法 | |
| JP6967495B2 (ja) | 軸受装置 | |
| JP2018159623A (ja) | 状態監視装置 | |
| JP2005344842A (ja) | 監視装置及び監視方法 | |
| JPS588823A (ja) | 軸受異常の診断方法 | |
| WO2021009973A1 (ja) | データ収集装置 | |
| US6412339B1 (en) | Monitoring of bearing performance | |
| JP6639265B2 (ja) | 異常診断装置および異常診断方法 | |
| CN111989162B (zh) | 监控离心机上的润滑剂流量的方法 | |
| US4992964A (en) | Control apparatus and method for preventing seizure in a spindle apparatus of a machine tool | |
| JPS6232327A (ja) | 回転体の異常診断装置 | |
| JPH03163214A (ja) | 軸受装置 | |
| JPS6330983Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |