JPH0662356U - 光吸収セル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光が透過する絞りの加工に際し基本的にバリ
が発生せず，押圧や熱による孔の変形がなく性能の向上
をはかった光吸収セルを提供する。 【構成】 所定の長さと直径を有する第１流路と，該第
１流路の上流側に接続された第２流路と，前記第１流路
の下流側に接続された第３流路と，前記第１流路の両端
に設けられ少なくとも前記第１流路に接する側に弾性部
材が設けられ前記第１流路を気密にシールする光透過部
材と，前記光透過部材の下流側の弾性部材に形成された
光透過用の小径の貫通孔とを具備し，前記第２流路から
前記第１流路を経て前記第３流路に試料を流すと共に，
前記第１流路の下流側から上流側へ向かって前記小径の
貫通孔を介して光を照射して前記試料の成分を分析する
ようにした光吸収セルにおいて，前記下流側の弾性部材
に形成された小径の貫通孔を前記第１流路と同程度に大
きくすると共に前記光透過部材の表面に前記小径の貫通
孔に相当する窓を残して蒸着若しくはスパッタにより光
遮蔽部材を形成した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は，例えば高速液体クロマトグラフ等の検出器として使用され，セル内 を流れる試料に紫外光等を照射してその光の減衰量から試料中の被測定成分を検 出する光吸収セルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図２は従来の光吸収セルを示す断面構成図である。図２において１は例えばス テンレス鋼からなるボディである。２，３はボディの中央付近に対向して形成さ れた第１，第２穴（例えば１０ｍｍ程度）である。この第１，第２穴２，３の入 口にはねじが形成され底部はこれら第１，第２穴とは小径（例えば１．５ｍｍ程 度）に形成された所定の長さ（例えば８ｍｍ程度）を有する第１流路４により連 通している。５は第１流路４の上流側に形成された第２流路，６は第１流路４の 下流側に形成された第３流路でありこれらの流路の直径は例えば０．８ｍｍ程度 である。

【０００３】 ８ａは第２穴と同程度の直径で中央に２ｍｍ程度の貫通孔が形成され，第２穴 ３の底部に第１流路４に接して配置された例えば厚さ０．３ｍｍ程度のテフロン からなる弾性部材，８ｂは第１穴２の底部に第１流路４に接して配置された弾性 部材８ａと同様に形成されたテフロンからなる弾性部材であるが，この弾性部材 ８ａには中央に０．８ｍｍ程度の小径の貫通孔（以下絞りという）１０が形成さ れている。１１は第２穴と同程度の直径で厚さ２ｍｍ程度に形成された石英板か らなる光透過部材，８ｃは弾性部材８ａと同様に形成されたテフロンからなる弾 性部材であり，石英板１１を挟んで配置されている。

【０００４】 １５は第２穴と同程度の直径で中央に２ｍｍ程度の貫通孔が形成された厚さ１ ．５ｍｍ程度の例えばステンレス鋼からなるスペーサ，１６は第２穴と同程度の 直径で中央に５ｍｍ程度の貫通孔が形成された複数の皿ばねである。１７は第１ ，第２穴にそれぞれ螺合する止めねじであり，この止めねじをねじ込むことによ り第１流路４の両端が気密にシールされる。 なお，図では省略するが第２流路５の前段には試料に含まれる測定成分を分離 する分離カラムが配置され，分離した液体を注入する装置が設けられており，更 に矢印Ａ側には紫外線照射手段，矢印Ｂ側には光電変換装置が設けられている。

【０００５】 上記の構成において，第２流路５側から分離カラムにより成分を分離した試料 を注入するとその試料は第１流路４を経て第３流路６側へ流出する。試料を流し た状態で矢印Ａ側から紫外線を照射するとその紫外線は絞り１０を通って矢印Ｂ 側に出射するが紫外線の強度は試料に含まれる成分によって減衰の度合が異なる 。そしてその減衰の度合に基づいて成分を同定する。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところで，上記従来例において紫外線を絞り１０で絞って照射するのは，第１ 流路４内でキャリア流体と測定成分が置き変わるときの液の屈折率の違いに基づ く屈折率効果（光が屈折率の異なる複数の物質中を透過するとその境界面で光が 反射されて，その光を光電変換素子が感知して成分とは関係のないピークが検出 される）を改善するためである。

【０００７】 そして従来は絞りの材料として厚さ０．３ｍｍ程度のテフロン円板を用い，そ の中心に０．８ｍｍ程度の貫通孔を機械加工により形成しているが，孔の周辺に 微細なバリをが生じることがある。そのバリに流体に含まれる微細な気泡が付着 して取れなくなる現象があった。その結果，この気泡に紫外線が当たって散乱し 正確な成分の同定が出来ないという問題があった。そのため孔加工したテフロン 板８ｂを顕微鏡で検査してバリのないものを選択して使用するが，検査工数がか かり歩留まりも悪いという問題があった。

【０００８】 更にこのテフロン８ｂは気密にシールするために止めねじ１７で押圧されるが ，押圧されて少しつぶれるので孔が変形するし，また，熱によっても多少変形す る。このような孔の変形は光電変換器のノイズやドリフトの原因となり検出器の 性能に悪影響を及ぼすという問題があった。 本考案は上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので，光が透過す る絞りの加工に際し基本的にバリが発生せず，押圧や熱による孔の変形がなく性 能の向上をはかった光吸収セルを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案は，所定の長さと直径を有する第１流路と， 該第１流路の上流側に接続された第２流路と，前記第１流路の下流側に接続され た第３流路と，前記第１流路の両端に設けられ少なくとも前記第１流路に接する 側に弾性部材が設けられ前記第１流路を気密にシールする光透過部材と，前記光 透過部材の下流側の弾性部材に形成された光透過用の小径の貫通孔とを具備し， 前記第２流路から前記第１流路を経て前記第３流路に試料を流すと共に，前記第 １流路の下流側から上流側へ向かって前記小径の貫通孔を介して光を照射して前 記試料の成分を分析するようにした光吸収セルにおいて，前記下流側の弾性部材 に形成された絞りを前記第１流路と同程度に大きくすると共に前記光透過部材の 表面に前記小径の貫通孔に相当する窓を残して蒸着若しくはスパッタにより光遮 蔽部材を形成したことを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】

光透過部材に蒸着若しくはスパッタにより形成された窓（絞り）は本質的にバ リがなく押圧されたり熱が加えられても変形しない。

【００１１】

【実施例】

図１は本考案の一実施例を示す光吸収セルの概略を示す構成説明図である。図 １において，図３と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略するが， 本考案は従来例で第１流路４の下流側に用いていた弾性部材８ｂの替りに孔径の 大きな８ａを用い，光透過部材の表面に絞りに相当する窓を残して蒸着若しくは スパッタにより光遮蔽部材を形成したことにある。

【００１２】 図１において，８ａは中心に２ｍｍ程度の貫通孔が形成されたテフロンシート （弾性部材）であり，１１ａは窓（絞り）１１ｃを残して蒸着若しくはスパッタ により遮蔽部材（例えば金，白金，クロム等）１１ｂを形成した光透過部材であ る。 上記の構成によれば，窓（絞り）を蒸着若しくはスパッタで形成しているので 本質的にバリのないものとすることができ，押圧や熱によって窓が変形すること もない。また，蒸着若しくはスパッタを用いた窓加工は半導体技術を用いること ができるので大量に安価に製作可能である。

【００１３】 なお，本考案では従来例を含めて具体的寸法を示して説明したが，それらの数 値に限定するものではない。また，形状も請求範囲を逸脱しない範囲で任意に設 計することができる。また，透過光は紫外線として説明したが例えば放射線のよ うなものであってもよい。

【００１４】

【考案の効果】

以上実施例とともに具体的に説明したように本考案によれば，第１流路の下流 側の弾性部材に形成された絞りの径を第１流路と同程度に大きくすると共に光透 過部材の表面に絞りに相当する窓を残して蒸着若しくはスパッタにより光遮蔽部 材を形成しているので，本質的にバリが発生せず，押圧されたり熱による変形も ない。従ってバリを検査するための検査工数が不要となり，流体に含まれる微細 な気泡も付着することがない。その結果，性能の向上をはかった光吸収セルを実 現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面構成図である。

【図２】従来例を示す断面構成図である。

【符号の説明】

１ ボディ ２ 第１穴 ３ 第２穴 ４ 第１流路 ５ 第２流路 ６ 第３流路 ８ａ，８ｂ，８ｃ テフロンシート（弾性部材） １０ 絞り（小径の貫通孔） １１，１１ａ 石英板（光透過部材） １１ｂ 遮蔽部材 １１ｃ 窓（絞り） １５ スペーサ １６ 皿ばね １７ 止めねじ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の長さと直径を有する第１流路と，
   該第１流路の上流側に接続された第２流路と，前記第１
   流路の下流側に接続された第３流路と，前記第１流路の
   両端に設けられ少なくとも前記第１流路に接する側に弾
   性部材が設けられ前記第１流路を気密にシールする光透
   過部材と，前記光透過部材の下流側の弾性部材に形成さ
   れた光透過用の小径の貫通孔とを具備し，前記第２流路
   から前記第１流路を経て前記第３流路に試料を流すと共
   に，前記第１流路の下流側から上流側へ向かって前記小
   径の貫通孔を介して光を照射して前記試料の成分を分析
   するようにした光吸収セルにおいて，前記下流側の弾性
   部材に形成された小径の貫通孔を前記第１流路と同程度
   に大きくすると共に前記光透過部材の表面に前記小径の
   貫通孔に相当する窓を残して蒸着若しくはスパッタによ
   り光遮蔽部材を形成したことを特徴とする光吸収セル。