JPH0661564A - 短パルス光源及び短パルス光発生方法 - Google Patents

短パルス光源及び短パルス光発生方法

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JPH0661564A
JPH0661564A JP21302092A JP21302092A JPH0661564A JP H0661564 A JPH0661564 A JP H0661564A JP 21302092 A JP21302092 A JP 21302092A JP 21302092 A JP21302092 A JP 21302092A JP H0661564 A JPH0661564 A JP H0661564A
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JP
Japan
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resonator
optical
light
auxiliary
refractive index
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Application number
JP21302092A
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English (en)
Inventor
Takeo Miyazawa
丈夫 宮澤
Atsushi Wakatsuki
温 若月
Hidetoshi Iwamura
英俊 岩村
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 より高い周波数で短光パルスを発生すること
のできる短パルス光源及び短パルス光発生方法を提供す
る。 【構成】 半導体ダブルヘテロ接合と該接合面に垂直で
互いに平行な二つの光反射面より形成される光共振器2
1,22を二つ有し、該光共振器21,22がそれぞれ
の持つ光反射面の内一つが向かい合って接するように並
んで複合共振器を形成し、主共振器である一方の光共振
器21の光学長が補助共振器であるもう一方の光共振器
22の光学長の1/2であり、短い方の光共振器21は
該ダブルヘテロ接合に直流電流を注入することにより光
学利得を持つことができ、長い方の共振器22は、該ダ
ブルヘテロ接合の一部に高周波電流または直流電流を重
畳した高周波電流を注入すること、または高周波電圧ま
たは直流電圧を重畳した高周波電圧を印加することによ
り、該主共振器21で発生増幅された光の波長で時間に
対し屈折率を周期的に変化させられる屈折率変調領域及
び受動または活性導波路領域を持つようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超高速光通信(〜100G
Hz) に必要な、電気信号に同期した短光パルス列による
高繰り返しクロック信号を、モード同期法によって発生
するための短パルス光源及びその短パルス光発生方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】モードロックにより短光パルスを発生す
るための光素子としては、図7のような光増幅領域1と
光導波路2が集積されたものが、最も基本的であり最初
に実現された。光増幅領域1および光導波路2は、結晶
端面3によって構成されるファブリペロー共振器内に直
列に配置されている。光増幅領域1の活性層4は、波長
1.5 μmのInGaAsP であり、光導波路2のコア5は波長
1.3 μmのInGaAsP である。光パルスを発生するには、
光増幅領域1で発生した光の光共振器内の往復時間に等
しい周期ないしはその整数分の一の周期の高周波電流
で、光増幅領域1の利得を変調する。これによって、レ
ーザ光の各縦モードが結合し位相がそろうこと(モード
ロック)によって、短光パルスが形成される。このよう
なモードロックレーザで幅4.4ps 、繰り返し周波数40GH
z の短パルス列が得られたことを、S.TuckerがElectron
ics Letters V.25 p.621(1989)に発表している。
【0003】図8は、最近発表されたモードロックレー
ザの断面図である。図7に示されたと同様構造の光導波
路7の端に、可飽和吸収領域8が付け加えられている。
可飽和吸収領域8は、電流注入を行なわないレーザ構造
であり、光導波路7は閾値以上の直流電流を印加した活
性導波路である。この素子では、図7に述べたのと同じ
光増幅領域6のパルス形成機構に加えて、可飽和吸収領
域8がパルスを急峻化する作用をもっている。これは、
可飽和吸収領域8にパルスが入射した時、パルスの前半
部が可飽和吸収領域8の吸収によって削り取られるのに
対し、ピーク近傍及びパルスの後半部では、ピーク近傍
の強い光によって、吸収が飽和しパルスはそのまま通過
することによる。この構造によって、図7に示された構
造より、短い1.4ps のパルス幅(繰り返し周波数15GHz
)が得られることを、P.A.Mortonらが、Applied Physi
cs Letters V.56 p.111(1990)に発表している。
【0004】
【発明を解決しようとする課題】ところで、現在の光通
信は、半導体レーザの直接変調ないしは変調器によって
半導体レーザ光を変調し信号光を形成し、光ファイバに
入力している。この方法では、20Gbit/sec程度までの光
信号を得ることができるが、それ以上の高速伝送はレー
ザ及び変調器の変調帯域を越え、変調不可能になる。こ
の限界を越える方法として、図9(a) の様に半導体レー
ザ9のゲインスイッチ等によって短光パルスによる光信
号10を形成し、これを光ファイバを用いた遅延線路1
1によって少しずつ時間遅れさせた後、合波するして信
号光12を得る方法がある。この方法によると、半導体
レーザ9の数を増やすことによって、光パルスが重なる
まで、信号の周波数を上げることができる。しかし、合
波によりパルス間隔が狭くなってくると、各パルスの遅
延時間の誤差によるパルス間隔のバラツキが問題になっ
てくる。
【0005】そこで図9(b) のように、光信号12を合
波したのちモードロックレーザ13のクロックパルス光
14と信号光12とをAND素子(非線形材料のカー効
果等を利用する)15によってANDをとると、パルス
間隔が一定になり更にパルス幅も狭くなった信号光16
を得ることができる。
【0006】このクロックパルス光に要求される条件
は、パルス幅が狭いことと信号光と同期していることで
ある。同期をとるためには、自励発振している短パルス
光源を用いることも可能であるが、外部の回路からの高
周波電気信号によって駆動される短パルス光源を用いた
方がシステムの構成が容易になる。
【0007】現在あるもっとも周波数の高い外部駆動型
の短パルス光源は、モノリシック半導体能動モード同期
レーザであり、現在までの最高周波数は40GHz である。
【0008】本発明の目的は、より高い周波数で短光パ
ルスを発生することのできる短パルス光源及び短パルス
光発生方法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による半導体ダブルヘテロ接合と該接合面に
垂直で互いに平行な二つの光反射面より形成される光共
振器を二つ有し、該光共振器がそれぞれの持つ光反射面
の内一つが向かい合って接するように並んで複合共振器
を形成し、主共振器である一方の光共振器の光学長が補
助共振器であるもう一方の光共振器の光学長の1/2で
あり、短い方の光共振器は該ダブルヘテロ接合に直流電
流を注入することにより光学利得を持つことができ、長
い方の共振器は、該ダブルヘテロ接合の一部に高周波電
流ないしは直流電流を重畳した高周波電流を注入するこ
と、または高周波電圧または直流電圧を重畳したものを
高周波電圧印加することにより、該主共振器で発生増幅
された光の波長で時間に対し屈折率を周期的に変化させ
られる屈折率変調領域及び受動ないしは活性導波路領域
を持つ。また請求項2では、請求項1に記載の短パルス
光源の補助共振器において、ダブルヘテロ接合に直流電
流を注入ないしは直流電圧を印加することによって、主
共振器で発生増幅された光に対する屈折率を変化調節さ
せられる領域を持つ。また請求項3では、請求項1から
2に記載の短パルス光源において、補助共振器のダブル
ヘテロ接合に直流電流を注入することによって、光学利
得を持つ領域がある。また請求項4では、請求項1から
3までの短パルス光源において、主共振器の光学長が補
助共振器の光学長の偶数分の一あるいはその奇数倍であ
る。また請求項5では、請求項1から3までの短パルス
光源において、主共振器の光学長が補助共振器の光学長
のある整数分の一ある整数倍である。また請求項6で
は、請求項1から5までの短パルス光源において、主共
振器と補助共振器を構成する反射面の内、互いに向いあ
った反射面を一つの回折格子で置き換えた。また請求項
7では、請求項1から5までの短パルス光源において、
補助共振器内にある屈折率変調領域に注入する高周波電
流または印加する高周波電圧の周期を、光が補助共振器
内を往復する時間またはその整数分の一に一致させる。
【0010】
【作 用】まず強度変調(AM)タイプについて説明す
る。
【0011】上で説明したモノリシック半導体モード同
期レーザでは、光共振器内に利得領域を設け、この利得
領域を光の共振器内の往復時間に同期するように変調す
ることによってモード同期を達成している。これ以外に
も色素モード同期レーザの様に、光共振器内に利得媒質
と光変調器を置き、この変調器の損失を変調することに
よって、光共振器全体の利得(=利得−損失)を変調し
ても、モード同期が起こる。
【0012】図1に本発明による短光パルス光源のもっ
とも基本的な構造を示す。図に示すように、本発明によ
る短光パルス光源の基本構造は、ファブリペロー半導体
レーザによって構成される主共振器21および、光導波
路23と屈折率変調領域24によって構成される補助共
振器22によるモノリシック複合共振器半導体レーザで
あり、主共振器21の光学長が補助共振器22の光学長
の1/2である。
【0013】この基本構造を用いて、本発明による短パ
ルス光源の動作原理を説明する。屈折率変調領域24の
屈折率を変えると、光が補助共振器22内を一往復する
間に受ける位相シフト量φが変化する(φ=4πI1
1 /λ+4πI2 ・n2 /λ,I1 ,I2 はそれぞれ
導波路23及び屈折率変調領域24の長さ、n1 ,n2
はそれぞれ導波路23および屈折率変調領域24の屈折
率、λは補助共振器22内を走行する光の波長)。補助
共振器22はファブリペロー共振器であるので位相シフ
ト量φが変わると図2のように、反射率が変化する。主
共振器21で発生したレーザ光が補助共振器22に入射
すると、補助共振器22内で多重反射を繰り返し一部は
再度主共振器21に入射し戻り光となる。この時の戻り
光が補助共振器22からの反射光であるから、屈折率変
調領域24の屈折率が変化し反射率が変わると、主共振
器21への戻り光が変化する。従って、主共振器21を
構成しているレーザの端面25の反射率が等価的に変化
し、結果として主共振器21のミラーロスが変わり、主
共振器全体での利得(=利得−損失)が変わる。
【0014】以上は屈折率変化が静的な場合の説明であ
る。光は補助共振器22内で多重反射するが、屈折率変
化が速い場合には、光が共振器内を一往復し再び屈折率
変調領域24に達したときには、屈折率が変わっており
往復前に受けた位相変化量(=4πΔn2 (t) /λ,t
は時間)と異なった位相シフトを受ける。従って、静的
な場合のような大きな反射率変化は起きない。この現象
をさけるためには、屈折率を光の補助共振器22内の走
行時間(往復に要する時間)に等しい周期ないしはその
整数分の一の周期で変調すればよい。この様な場合に
は、屈折率変化と光の往復時間が同期しているので、光
は毎回同じ位相シフトを屈折率変化と光の往復時間が同
期しているので光は毎回同じ位相シフトを屈折率変調領
域で受け、静的な場合と同じ大きな反射率変化が起こ
る。
【0015】ここで、屈折率変調領域24の屈折率をn
2 (t) =n20+Δn2 sin(2πfm t)とおく(fm
は変調周波数、1/fm =光の補助共振器22内の走行
時間)。今、t=0の時に位相変調領域を通過する光の
一往復当りの位相変化量(4πI1 ・n1 /λ+4πI
2 ・n20/λ)が、πの整数倍であると図3の様に反射
率は2fm の周波数で変調される。従って、主共振器2
1の光学長を補助共振器22の光学長の1/2にして、
主共振器21内の光の走行時間を反射率の変調周期に一
致させると、モード同期が起き短光パルスが発生する。
なお、補助共振器22の屈折率変調領域24の変調周期
をfm の整数倍(M倍)で変調してもモード同期のおこ
ることは明らかであり、その時の光パルスの周期は2M
m である。 既に述べたように、補助共振器22はフ
ァブリペローエタロンであるから、反射光強度は共振器
内部の僅かの屈折変化に対しても大きく変化する。従っ
て、十分に大きな変調信号が得にくい様な高周波領域
(〜40GHz 以上)においても、モード同期を起こすこと
ができる。更に、上に述べたように補助共振器22から
の戻り光の周波数は、屈折率を変調する電気信号の周波
数の2倍であるから、100GHz以上の高繰り返し光パルス
列を、外部電気信号に同期させながら発生することが可
能である。
【0016】主共振器21の光学長を補助共振器22の
光学長と同じにしても、主共振器21内の光パルスの走
行時間は補助共振器22の変調周期の整数倍(この場合
は2倍)になるので、光は主共振器21の反射面25に
来るたびに同じ量の強度変調を受け、2fm の周期でモ
ード同期が起こる様に考えられる。しかし、補助共振器
22からの戻り光は強度が変調されているだけでなく、
位相シフトφの時間変化(dφ/dt)よる周波数もシ
フト受けているため、変調を繰り返すたびに、主共振器
21内のパルス光の波長は増加し(ないし減少し)、つ
いにはレーザの利得帯域の外に出てしまいパルスは消滅
してしまう。従って、安定に短光パルスを発生すること
は難しい。これに対して、主共振器21の光学長が補助
共振器22の光学長の1/2であるような、本発明の場
合はプラスとマイナスの周波数シフトを交互に受けるの
で、光パルスは消滅する事なく継続的に、パルスが発生
しつづける。以上の考えに従えば、主共振器21の光学
長としては、補助共振器22の光学長の1/2の奇数倍
であれば良いことがわかる。
【0017】また、変調領域をfm の整数倍(M倍)の
周期で変調した場合には、主共振器21の光学長を補助
共振器22の光学長の1/(2M)あるいはその奇数倍
であればよい。
【0018】次に、周波数変調(FM)タイプについて
説明する。
【0019】AMタイプのモード同期では、主共振器2
1の光学長が補助共振器22の光学長の偶数分の一の奇
数倍である必要があり、主共振器21と補助共振器22
の光学長が同じ場合には安定なモード同期はおこりにく
い。しかし、図4の様に補助共振器22の反射率が屈折
変化が、極大(ないしは極小)の時に大きくなる様にし
ておけば、dφ/dt=0であるので周波数シフトは起
らずモード同期が可能になる。この時は、周波数変調に
よるパルス形成機構と強度変調によるパルス形成機構が
同時に起っているが、ここでは前述したAMタイプのモ
ードと区別するため、周波数変調(FM)タイプと呼ぶ
ことにする。
【0020】FMタイプでは、図4から明らかなように
発生するパルスの周期は変調周期と同じであるが、特別
な条件(屈折率の極大及び極小点の両方で反射率が最大
になる場合=図4の破線)では周期は2倍になる。
【0021】この様なFMタイプのモード同期の起こる
のは、光の補助共振器22内の走行時間を1/fm と置
き、屈折率変調領域24の変調周波数をfm のM倍(M
は整数)とすると、主共振器21の光学長が補助共振器
22の光学長のN/M(Nは整数)であるときである。
【0022】本発明による短パルス光源の基本形は図1
に示したが、これに対して図5に示す様な色々な機能を
持つ領域を加えることによって素子の機能は向上する。
図5に示した素子は、補助共振器21及び主共振器22
のいずれも同一の半導体レーザ構造で構成された場合で
あり、各領域は電気的に分割された電極によって構成さ
れている(活性層は、単一の半導体層でも量子井戸でも
可能)。 この素子には、補助共振器22内には屈折率
調整領域27及び利得領域28が、主共振器21には可
飽和吸収領域26が基本形に追加されている。なお、図
中の25は主共振器の利得領域である。
【0023】変調信号を印加しない時の一往復当りの位
相シフト量φは、AMタイプ、FMタイプいずれの場合
でも、適切に調節されていなければならない。この調節
は、屈折率変調領域24のバイアス電流を調節すること
によっても得られるが、図5のように、更に屈折率調整
領域27を設けこの電流値を変えるようにすると容易に
なる。この領域は補助共振器22の光学長を微調整する
ことにも使える。
【0024】補助共振器22には、活性層29に注入さ
れたキャリヤによる光吸収や反射端面からの光の放射等
種々の光損失がある。この損失は、補助共振器22の主
共振器21への反射率を低下させる。これを補うため
に、補助共振器22内に利得領域28を設けると損失を
補うことができる。なお、この利得領域28は利得を持
った導波路と考えることができ、請求項1中で言ってい
る導波路の特殊な場合に当たる。
【0025】主共振器21内に図5の様に可飽和吸収領
域26を設けると、可飽和吸収体による波形整形機能が
加わりパルス幅は狭くなる。
【0026】図5には、種々の領域があるが補助共振器
22の屈折率変調領域24と主共振器21の利得領域2
5が本発明に必須のものであり、他の領域は必要に応じ
て組み合わせ図1の基本形に組み込むことができる。
【0027】図5で説明した素子は、一種類のレーザ構
造からできている。この素子では、屈折率を変調したり
調節するためには、活性層のキャリヤ密度の違いによっ
て屈折率が変化する現象を用いている。従って、注入電
流を変調ないしは調整することによって、屈折率の変調
と調整は行なわれる。また、可飽和吸収領域26は、ビ
ルトイン電圧以下の電圧印加ないしはしきい値電流密度
以下の電流を注入することによって、可飽和体として働
かせることができる。
【0028】図5は一種類の半導体レーザ構造よりでき
ているが、屈折率調整領域27及び屈折率変調領域24
は活性層29を主共振器21で発生した光にして透明な
半導体層(量子井戸を含む)にすると、電流注入による
屈折率の変化以外にも、電界印加による屈折率変化を利
用する事もできる。
【0029】図5に示した素子では、主共振器21及び
補助共振器22とも光反射面32,33,34,35に
よって構成されるファブリペロー共振器である。この光
反射面の一部ないしは全部を回折格子に置き換えても、
本発明による機能を備えたモードロックレーザとして働
かせられる。更に回折格子を設けることによって、発振
波長を選択することも可能になる。また、図6の様に反
射面33,34を一つの回折格子36に置き換えると素
子の製作は容易になる。
【0030】以上の説明で明らかな様に、本発明は補助
共振器を用いて、半導体モノリシックモード同期レーザ
を実現している点が従来技術と異なる。この構造によ
り、従来の素子ではモード同期できなかった高周波でも
モード同期が可能になる上、発生パルスの周波数を変調
信号の周波数の2倍にすることもできる。
【0031】
【実施例】図5は本発明による短光パルス光源の実施例
1の概略図である。主共振器21及び補助共振器22い
ずれも同一の半導体レーザ構造であり、異なった機能を
持つ領域が、電気的に分割された電極によって形成され
ている。主共振器21の長さは0.4 mmであり、補助共
振器22の長さは0.8 mmである。主共振器21と補助
共振器22は、同一のレーザ構造を劈開によって分離し
て形成する。素子の裏面には厚い金の膜31をメッキし
ておき、劈開後も両共振器が接していられるように保持
する。補助共振器22内には、長さ150 μmの屈折率変
調領域24と長さ315 μmの屈折率調整領域27及び長
さ315 μmの利得領域(利得導波路)28が、主共振器
21には長さ340 μmの利得領域25と長さ50μmの可
飽和領域26がある。なお、各領域の間隔は10μmであ
る。
【0032】この素子を作っているレーザ構造は、グレ
ーデッドインデックスInGaAs/InGaAsP量子井戸レーザ構
造であり、活性層29は量子井戸構造でありInGaAs井戸
層の厚さは10nm、InGaAsP(吸収端波長1.2 μm)障
壁層の厚さは4nmであり、層数はそれぞれ6層と5層
である。クラッド層30はInP であり、エピ層最上部
は、InGaAsキャップ層となっている。電極間のキャップ
層は、電気分離のため除去されている。
【0033】主共振器21の利得領域25には、主共振
器単体での閾値電流以上の直流電流を注入する。補助共
振器22の利得領域28には、この領域が利得を持つの
に十分な直流電流を注入し、屈折率調整領域27には利
得をもつより小さい電流を注入し、これを調整すること
によって屈折率を調整した。屈折率変調領域24には、
直流電流に重畳して高周波電流を印加する。主共振器2
1の可飽和領域26には、ビルトイン電圧以下の定電圧
を印加し可飽和吸収体として動作させた。
【0034】補助共振器22の利得領域28への注入電
流を、補助共振器22全体で利得が-0.5dBとなるように
調整し、屈折率調整領域27への注入電流の調節により
光が往復する間に受ける位相シフトφをπの整数倍に合
わせ、屈折率変調領域24へ50GHz2.43dBmの高周波電力
を印加したところ、AMタイプのモード同期が起こり繰
り返し周波数100GHzパルス幅0.53psの短光パルス列が発
生した。
【0035】図5の例では、主共振器21の長さは補助
共振器22の長さの1/2であるが、補助共振器22の
長さの偶数分(2m)の一の奇数倍(2n+1)であっ
てもよい。この場合には、補助共振器22を屈折率変調
領域24の変調周波数は補助共振器22内の光のラウン
ドトリップ周波数fm のm倍として、2mfm を繰り返
し周波数とする光パルス列を発生することができる。
【0036】図5の素子の主共振器21の長さを補助共
振器22の長さに等しい0.8 mmとすると、FMタイプ
のモード同期が起こり、変調周波数50GHz で繰り返し周
波数50GHz パルス幅1ps の光パルス列が発生した。ま
た、補助共振器22の屈折率変調領域24に印加する高
周波電力を増し、更にバイアス電流を調整することによ
って、100GHz光パルスを発生することもできた。主共振
器21の長さを補助共振器22の長さのある整数(a) 分
のある整数倍(b) であってもよい。この場合には、補助
共振器22の屈折率変調領域24の変調周波数は補助共
振器22内の光のラウンドトリップ周波数fm のa倍と
し、afm ないしは2afm を繰り返し周波数とする光
パルス列を発生することができる。
【0037】図6に、主共振器21及び補助共振器22
の向い合った2つの光反射面33,34(図5に示す)
を、一つの回折格子36に置き換えた素子の概略図を示
す。回折格子36の周期は、1.55μmの光で発振するよ
うにピッチを0.219 μmにしてある。
【0038】図5及び図6には、種々の領域があるが補
助共振器22の屈折率変調領域24と主共振器21の利
得領域25が本発明に必須のものであり、他の領域は必
要に応じて組合わせ図1の基本形に組み込むことができ
る。
【0039】図5において、補助共振器22の屈折率調
整領域27と屈折率変調領域24の活性層29を、InGa
As井戸層の厚さは8nm、InGaAsP(吸収端波長1.2 μ
m)障壁層の厚さは4nm、層数はそれぞれ6層と5層
の量子井戸に変えて、主共振器21で発生したレーザ光
に対して透明にした構造でもモード同期によって短光パ
ルスが発生した、この場合には、両領域は実施例1の様
に電流注入によって動作させることもできるが、ビルト
イン電圧以下の電圧を印加することによっても動作させ
ることができた。この場合には、屈折率調整領域27と
屈折率変調領域24には、それぞれ定電圧と定電圧を重
畳した高周波電圧を印加する。
【0040】なお、以上の実施例で補助共振器22の屈
折率変調領域24の変調周波数を、整数倍にてしてもよ
い、このときは発生する光パルスの周波も各実施例で示
した周波数のその整数倍(c)に変わる。
【0041】
【発明の効果】以上説明した如く本発明によれば、十分
に大きな変調信号が得にくい様な高周波領域(〜400GHz
以上)においても、能動モード同期を起こすことができ
る。また、本発明によれば変調信号の周波数の2倍の周
波数を持つ短光パルス列を発生することができる。従っ
て、100GHz以上の高繰り返し光パルス列を、外部電気信
号に同期させながら発生することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による短パルス光源(モード同期レー
ザ)の基本形の概略図
【図2】補助共振器の位相シフトに対する反射率の変化
の説明図
【図3】AMタイプのモード同期の説明図
【図4】FMタイプのモード同期の説明図
【図5】本発明によるモード同期レーザの概略図
【図6】回折格子を用いた本発明によるモード同期レー
ザの概略図
【図7】従来のモード同期レーザの例1
【図8】従来のモード同期レーザの例2
【図9】短光パルスを用いた光通信方式の説明図
【符号の説明】
21…主共振器、22…補助共振器、24…屈折率変調
領域、25…主共振器の利得領域、26…可飽和吸収領
域、27…屈折率調整領域、28…補助共振器の利得領
域、29…活性層、30…クラッド層、31…厚い金メ
ッキ層、32,33…主共振器の光反射面、34,35
…補助共振器の光反斜面。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体ダブルヘテロ接合と該接合面に垂
    直で互いに平行な二つの光反射面より形成される光共振
    器を二つ有し、 該光共振器がそれぞれの持つ光反射面の内一つが向かい
    合って接するように並んで複合共振器を形成し、 主共振器である一方の光共振器の光学長が補助共振器で
    あるもう一方の光共振器の光学長の1/2であり、 短い方の光共振器は該ダブルヘテロ接合に直流電流を注
    入することにより光学利得を持つことができ、長い方の
    共振器は、該ダブルヘテロ接合の一部に高周波電流また
    は直流電流を重畳した高周波電流を注入すること、また
    は高周波電圧または直流電圧を重畳した高周波電圧を印
    加することにより、該主共振器で発生増幅された光の波
    長で時間に対し屈折率を周期的に変化させられる屈折率
    変調領域及び受動または活性導波路領域を持つことを特
    徴とする半導体短パルス光源。
  2. 【請求項2】 補助共振器のダブルヘテロ接合に直流電
    流を注入または直流電圧を印加することによって、主共
    振器で発生増幅された光に対する屈折率を変化調節させ
    られる領域を持つことを特徴とする請求項1記載の短パ
    ルス光源。
  3. 【請求項3】 補助共振器のダブルヘテロ接合に直流電
    流を注入することによって、光学利得を持つ領域を持つ
    ことを特徴とする請求項1または2記載の短パルス光
    源。
  4. 【請求項4】 主共振器の光学長が、補助共振器の光学
    長の偶数分の一あるいはその奇数倍であることを特徴と
    する請求項1乃至3のいずれか1項記載の短パルス光
    源。
  5. 【請求項5】 主共振器の光学長が補助共振器の光学長
    のある整数分の一のある整数倍であることを特徴とする
    請求項1乃至3のいずれか1項記載の短パルス光源。
  6. 【請求項6】 主共振器と補助共振器を構成する反射面
    の内、互いに向いあった反射面を一つの回折格子で置き
    換えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項
    記載の短パルス光源。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれか1項記載の短
    パルス光源を用い、補助共振器内にある屈折率変調領域
    に注入する高周波電流または印加する高周波電圧の周期
    を、光が補助共振器内を往復する時間またはその整数分
    の一に一致させることを特徴とする短パルス光発生方
    法。
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