JPH0656600U - Gas supply system - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 常用ガス装置から予備ガス装置への切替時に
おける圧力低下を効果的に防止して、安定したガス供給
を行い得るガス供給システムを提供する。
【構成】 圧力調節計６からシグナルレス・クローズ形
の自動圧力調節弁５に至る圧力信号路７にハイセレクタ
１０が介設されている。制御ガス供給源９からバッファ
タンク１２を経てハイセレクタ１０に至る第２制御ガス
供給路１１及びタンク排気路１２ａに、異常発生信号Ｓ
により開，閉される常閉形の電磁弁１３，１５及び常開
形の電磁弁１４が配設されている。減圧弁１７により、
タンク１２内は弁５を全開させる信号圧力以上の圧力に
保持される。信号Ｓが発せられると、遮断弁４による常
用ガス装置２からのガス供給が停止されると同時に、ハ
イセレクタ１０により選択されたタンク１２からの圧力
信号により、弁５が全開される。
(57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a gas supply system capable of performing stable gas supply by effectively preventing a pressure drop at the time of switching from a regular gas device to a backup gas device. [Structure] A high selector 10 is provided in a pressure signal path 7 extending from a pressure regulator 6 to a signalless / closed automatic pressure regulating valve 5. An abnormality occurrence signal S is sent to the second control gas supply path 11 and the tank exhaust path 12a from the control gas supply source 9 to the high selector 10 via the buffer tank 12.
Normally-closed solenoid valves 13 and 15 that are opened and closed by the above and normally-open solenoid valves 14 are provided. By the pressure reducing valve 17,
The inside of the tank 12 is maintained at a pressure equal to or higher than the signal pressure for fully opening the valve 5. When the signal S is issued, the gas supply from the service gas device 2 by the shutoff valve 4 is stopped, and at the same time, the valve 5 is fully opened by the pressure signal from the tank 12 selected by the high selector 10.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、主として窒素ガス等の工業ガスを供給させるためのシステムであっ て、常用ガス供給装置に何らかの異常が発生した場合に、ガス供給源が常用ガス 供給装置から予備ガス供給装置に自動的に切替わるように構成されたガス供給シ ステムに関するものである。 The present invention is mainly a system for supplying industrial gas such as nitrogen gas, and when some abnormality occurs in the service gas supply device, the gas supply source automatically switches from the service gas supply device to the backup gas supply device. The present invention relates to a gas supply system configured to be switched to.
【０００２】[0002]
一般に、この種のガス供給システムとしては、図３に示す如く、ガス供給ライ ン１に、常用ガス供給装置２及び予備ガス供給装置３のガス出口部２ａ，３ａを 分岐接続し、常用ガス供給装置２の出口部２ａに、常用ガス供給装置２に異常が 生じたときに発せられる異常発生信号Ｓにより閉制御される遮断弁４を配設する と共に、予備ガス供給装置３のガス出口部３ａに、圧力調節計６から入力される 圧力信号により制御される他力式の自動圧力調節弁５を配設したものがよく知ら れている。 Generally, in this type of gas supply system, as shown in FIG. 3, the gas supply line 1 is connected to the gas outlets 2a and 3a of the service gas supply device 2 and the backup gas supply device 3 in a branched manner to supply the service gas. At the outlet 2a of the device 2, a shut-off valve 4 that is controlled to be closed by an abnormality occurrence signal S generated when an abnormality occurs in the regular gas supply device 2 is arranged, and at the same time, a gas outlet 3a of the auxiliary gas supply device 3 It is well known that the automatic pressure control valve 5 of the other force type, which is controlled by the pressure signal input from the pressure regulator 6, is provided.
【０００３】 而して、かかるガス供給システムにあっては、常用ガス供給装置２に何らかの 異常が発生すると、遮断弁４により常用ガス供給装置２からのガス供給が緊急停 止され、爾後、ガス供給ライン１のライン圧力Ｐが低下していく。そして、ライ ン圧力Ｐが圧力調節計６における設定圧力Ｐ0 より低下するようになると、これ を圧力調節計６が検知して、圧力調節計６から入力される圧力信号によって自動 圧力調節弁５が徐々に開動されていき、予備ガス供給装置３からのガス供給が開 始されることになる。ところで、圧力調節計６の圧力設定値Ｐ0 はライン圧力Ｐ より低く設定されていることから、圧力調節計６の圧力信号は常時は全閉信号に 一致しない極限状態にあり、全閉信号に至るまでに或る程度の時間が必要となる 。一方、圧力調節弁５の開動は、かかる全閉信号に至った後に開始される。した がって、遮断弁４による常用ガスの供給停止から自動圧力調節弁５による予備ガ スの供給開始までにタイムラグを生じるのは止むを得ないところである。In such a gas supply system, therefore, if any abnormality occurs in the service gas supply device 2, the cutoff valve 4 causes the gas supply from the service gas supply device 2 to be stopped urgently, and then the gas supply is stopped. The line pressure P of the supply line 1 decreases. When the line pressure P becomes lower than the set pressure P 0 in the pressure controller 6, the pressure controller 6 detects this and the pressure signal input from the pressure controller 6 causes the automatic pressure control valve 5 to operate. Is gradually opened, and the gas supply from the auxiliary gas supply device 3 is started. By the way, since the pressure set value P 0 of the pressure controller 6 is set lower than the line pressure P, the pressure signal of the pressure controller 6 is always in an extreme state where it does not match the fully closed signal, and the It will take some time to get there. On the other hand, the opening operation of the pressure control valve 5 is started after reaching the full closing signal. Therefore, there is an unavoidable time lag between the stop of the supply of the normal gas by the shutoff valve 4 and the start of the supply of the preliminary gas by the automatic pressure control valve 5.
【０００４】[0004]
しかし、このようなタイムラグが生じると、一時的にガス流れが停止すること になる。このため、常用ガス供給装置から予備ガス供給装置への切替時において 大幅な圧力低下が生じて、ガス供給ラインの末端側装置でトリップする等の問題 がある。なお、ガス供給ライン１に圧力低下緩衝用のサージタンク３１を配設し ておくことも試みられてはいるが、切替時にガス供給が一時的に停止するため、 圧力低下を効果的に防止するには大容量のサージタンク３１が必要となり、設置 スペースや設備費等の面での不利は避け難い。 However, when such a time lag occurs, the gas flow will be temporarily stopped. For this reason, there is a problem that a large pressure drop occurs at the time of switching from the regular gas supply device to the backup gas supply device, and a trip occurs at the terminal side device of the gas supply line. Although it has been attempted to arrange a surge tank 31 for buffering the pressure drop in the gas supply line 1, since the gas supply is temporarily stopped at the time of switching, the pressure drop is effectively prevented. Requires a large-capacity surge tank 31, which is inevitable in terms of installation space and equipment costs.
【０００５】 本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、常用ガス装置から予備ガス 装置への切替時における圧力低下を効果的に防止して、安定したガス供給を行い 得るガス供給システムを提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to effectively prevent a pressure drop at the time of switching from a regular gas device to a backup gas device and to provide a stable gas supply. The purpose is to provide a system.
【０００６】[0006]
この課題を解決した本考案のガス供給システムにあっては、ガス供給ライン１ に、常用ガス供給装置２及び予備ガス供給装置３のガス出口部２ａ，３ａを分岐 接続すると共にガス供給ライン１のライン圧力Ｐに応じて制御ガスによる圧力信 号を出力する圧力調節計６を配設し、常用ガス供給装置２の出口部２ａに、常用 ガス供給装置２に異常が生じたときに発せられる異常発生信号Ｓにより閉制御さ れる遮断弁４を配設し、予備ガス供給装置３のガス出口部３ａに、圧力調節計６ から入力される圧力信号により制御される他力式の自動圧力調節弁５を配設し、 圧力調節計６から自動圧力調節弁５に至る圧力信号路７に切替時圧力低下防止装 置８を介設してあり、特に、自動圧力調節弁５，圧力調節計６，切替時圧力低下 防止装置８を次のように構成しておくことを提案する。 In the gas supply system of the present invention which has solved this problem, the gas supply line 1 is connected to the gas outlets 2a and 3a of the normal gas supply device 2 and the auxiliary gas supply device 3 in a branched manner, and A pressure regulator 6 that outputs a pressure signal by control gas according to the line pressure P is provided, and an abnormality is generated at the outlet 2a of the service gas supply device 2 when a problem occurs in the service gas supply device 2. A shut-off valve 4 that is controlled to be closed by a generation signal S is provided, and a self-powered automatic pressure control valve that is controlled by a pressure signal input from a pressure regulator 6 at a gas outlet portion 3a of a preliminary gas supply device 3 is provided. 5 is provided, and a pressure drop prevention device 8 at the time of switching is provided in a pressure signal path 7 from the pressure regulator 6 to the automatic pressure regulator 5, and particularly, the automatic pressure regulator 5, the pressure regulator 6 , Switching pressure drop prevention device 8 We propose that you configured.
【０００７】 すなわち、請求項１のガス供給システムでは、自動圧力調節弁５は、これに入 力される圧力信号が上限設定圧たる全開圧力Ｑ1 以上である場合に全開され且つ 下限設定圧たる全閉圧力Ｑ2 以下である場合に全閉されるシグナルレス・クロー ズ形のものである。また、圧力調節計６は、前記ライン圧力Ｐが設定圧力Ｐ0 以 下に低下したときにおいて両圧力Ｐ，Ｐ0 の差に対して出力信号の圧力を増大さ せるものである。さらに、切換時圧力低下防止装置８は、一次側に供給された制 御ガスのうち、より高圧の制御ガスのみを二次側へと通過させるハイセレクタ１ ０と、ハイセレクタ１０の二次側から自動圧力調節弁５に至る、前記圧力信号路 ７の入力側部分で構成される制御ガス供給路７ａと、圧力調節計６からハイセレ クタ１０の一次側に至る、前記圧力信号路７の出力側部分で構成される第１制御 ガス供給路７ｂと、制御ガス供給源９からハイセレクタ１０の一次側に至る第２ 制御ガス供給路１１と、第２制御ガス供給路１１に介設されたバッファタンク１ ２と、第２制御ガス供給路１１におけるバッファタンク１２の二次側部分１１ａ に配設された常閉形の電磁弁であって、前記異常発生信号Ｓにより開制御される 第１開閉弁１３と、第２制御ガス供給路１１におけるバッファタンク１２の一次 側部分１１ｂに配設された常開形の電磁弁であって、前記異常発生信号Ｓにより 閉制御される第２開閉弁１４と、バッファタンク１２の排気部１２ａに配設され た常閉形の電磁弁であって、前記異常発生信号Ｓにより開制御される第３開閉弁 １５と、バッファタンク１２の排気部１２ａに配設されており、第３開閉弁１５ が開動されたときにおいてバッファタンク１２からの急激なガス流出を防止する ニードル弁等の流量制限器１６と、各開閉弁１３，１４，１５が常態にあるとき におけるバッファタンク１２内の圧力を前記全開圧力Ｑ1 以上の所定圧力に保持 する圧力保持器１７と、を具備するものである。That is, in the gas supply system according to the first aspect, the automatic pressure control valve 5 is fully opened and is the lower limit set pressure when the pressure signal input thereto is equal to or higher than the fully open pressure Q 1 which is the upper limit set pressure. It is a signalless close type that is fully closed when the full closing pressure Q 2 or less. The pressure controller 6 increases the pressure of the output signal with respect to the difference between the two pressures P and P 0 when the line pressure P drops below the set pressure P 0 . Further, the switching-time pressure drop prevention device 8 includes a high selector 10 that passes only the higher-pressure control gas of the control gas supplied to the primary side to the secondary side, and a secondary side of the high selector 10. From the pressure regulator 6 to the automatic pressure control valve 5 and the output of the pressure signal channel 7 from the pressure regulator 6 to the primary side of the high selector 10 and the control gas supply channel 7a formed by the input side portion of the pressure signal channel 7. The first control gas supply passage 7b formed by a side portion, the second control gas supply passage 11 extending from the control gas supply source 9 to the primary side of the high selector 10, and the second control gas supply passage 11 are provided. A normally closed solenoid valve disposed in the buffer tank 12 and the secondary side portion 11a of the buffer tank 12 in the second control gas supply path 11, the first opening / closing control being performed by the abnormality occurrence signal S. The valve 13 and the second control gas A normally open solenoid valve disposed in the primary portion 11b of the buffer tank 12 in the supply path 11, which is a second opening / closing valve 14 that is controlled to be closed by the abnormality occurrence signal S, and an exhaust portion of the buffer tank 12. A normally-closed solenoid valve provided in 12a, which is a third opening / closing valve 15 that is controlled to be opened by the abnormality occurrence signal S, and a third opening / closing valve that is provided in the exhaust section 12a of the buffer tank 12. The flow restrictor 16 such as a needle valve that prevents a sudden outflow of gas from the buffer tank 12 when the valve 15 is opened, and the pressure in the buffer tank 12 when the on-off valves 13, 14, 15 are in the normal state. A pressure retainer 17 for maintaining a predetermined pressure equal to or higher than the full opening pressure Q 1 .
【０００８】 また、請求項２のガス供給システムでは、自動圧力調節弁５は、これに入力さ れる圧力信号が下限設定圧たる全開圧力Ｑ´1 以下である場合に全開され且つ上 限設定圧たる全閉圧力Ｑ´2 以上である場合に全閉されるシグナルレス・オープ ン形のものである。また、圧力調節計６は、前記ライン圧力Ｐが設定圧力Ｐ以上 である場合において前記全閉圧力Ｑ´2 の圧力信号を出力しており、ライン圧力 Ｐが設定圧力Ｐ0 以下に低下したときにおいて両圧力Ｐ，Ｐ0 の差に対して出力 信号の圧力を減少させるものである。さらに、切換時圧力低下防止装置８は、一 次側に供給された制御ガスのうち、より低圧の制御ガスのみを二次側へと通過さ せるローセレクタ２０と、ローセレクタ２０の二次側から自動圧力調節弁５に至 る、前記圧力信号路７の入力側部分で構成される制御ガス供給路７ａと、圧力調 節計６からローセレクタ２０の一次側に至る、前記圧力信号路７の出力側部分で 構成される第１制御ガス供給路７ｂと、制御ガス供給源９からローセレクタ２０ の一次側に至る第２制御ガス供給路２１と、第２制御ガス供給路２１に配設され た常開形の電磁弁であって、前記異常発生信号Ｓにより閉制御される第１開閉弁 ２３と、第２制御ガス供給路２１における第１開閉弁２３の一次側部分と二次側 部分とを接続する迂回路３０と、迂回路３０に介設されたバッファタンク１２と 、迂回路３０におけるバッファタンク１２の両側に配設された常閉形の電磁弁で あって、前記異常発生信号Ｓにより開制御される一対の第２開閉弁２４と、迂回 路３０におけるバッファタンク１２の一次側部分である補給路３０ａに配設され ており、第２開閉弁２４が開動されたときにおいて補給路３０ａからバッファタ ンク１２への急激なガス流入を防止するニードル弁等の流量制限器１６と、バッ ファタンク１２の排気部１２ａに配設された常開形の電磁弁であって、前記異常 発生信号Ｓにより閉制御される第３開閉弁２５と、各開閉弁２３，２４，２５が 常態にあるときにおける第２制御ガス供給路２１からローセレクタ２０に流入す るガス圧力及び第３開閉弁２５が閉状態にあるときにおけるバッファタンク１２ 内の圧力を前記全閉圧力Ｑ´2 以上の所定圧力に保持する圧力保持器１７と、を 具備するものである。なお、以下の説明においては、便宜上、圧力信号ないしガ ス圧力についての単位は省略する。Further, in the gas supply system according to the second aspect, the automatic pressure control valve 5 is fully opened and the upper limit set pressure is set when the pressure signal input thereto is equal to or lower than the fully open pressure Q ′ 1 which is the lower limit set pressure. those of the signal-less open type which is fully closed when upcoming is full closing pressure Q'2 or more. Further, the pressure controller 6 outputs a pressure signal of the fully closed pressure Q ′ 2 when the line pressure P is equal to or higher than the set pressure P, and when the line pressure P falls below the set pressure P 0. In the above, the pressure of the output signal is reduced with respect to the difference between the two pressures P and P 0 . Further, the switching-time pressure drop prevention device 8 includes a low selector 20 that allows only a lower pressure control gas of the control gas supplied to the primary side to pass to the secondary side, and a secondary side of the row selector 20. From the pressure regulator 6 to the automatic pressure control valve 5, and the pressure signal channel 7 from the pressure regulator 6 to the primary side of the row selector 20. The first control gas supply passage 7b composed of the output side portion of the second control gas supply passage 7b, the second control gas supply passage 21 extending from the control gas supply source 9 to the primary side of the row selector 20, and the second control gas supply passage 21 are provided. A normally open solenoid valve, which is a first open / close valve 23 controlled to be closed by the abnormality occurrence signal S, and a primary side part and a secondary side of the first open / close valve 23 in the second control gas supply passage 21. Detour 30 that connects the part and the detour 30 Buffer tank 12 and a pair of second on-off valves 24, which are normally closed solenoid valves disposed on both sides of the buffer tank 12 in the bypass 30, and which are controlled to open by the abnormality occurrence signal S, and a bypass A needle that is arranged in the supply passage 30a that is the primary side portion of the buffer tank 12 in the passage 30 and that prevents a sudden gas flow from the supply passage 30a to the buffer tank 12 when the second opening / closing valve 24 is opened. A flow restrictor 16 such as a valve, a third open / close valve 25 which is a normally open solenoid valve disposed in the exhaust portion 12a of the buffer tank 12, and is closed and controlled by the abnormality occurrence signal S, and each open / close valve. The gas pressure flowing into the low selector 20 from the second control gas supply passage 21 when the valves 23, 24, 25 are in the normal state and the valve pressure when the third opening / closing valve 25 is in the closed state. The pressure retainer 17 for holding the pressure Atanku 12 to the full closing pressure Q'2 or more predetermined pressure, those having a. In the following description, the unit for the pressure signal or the gas pressure is omitted for convenience.
【０００９】[0009]
請求項１のガス供給システムにあって、異常発生信号Ｓが発せられない常態に おいては、第１及び第２制御ガス供給路７ｂ，１１からハイセレクタ１０に入力 される圧力信号は０であり、自動圧力調節弁５は全閉状態にある。したがって、 ガス供給ライン１へのガス供給は常用ガス供給装置２のみによって行われる。こ のとき、第１及び第３開閉弁１３，１５が閉状態にあり且つ第２開閉弁１４が開 状態にあるから、圧力保持器１７によりバッファタンク１２内の圧力は全開圧力 Ｑ1 以上に保持される。In the gas supply system according to claim 1, in a normal state in which the abnormality occurrence signal S is not emitted, the pressure signal input to the high selector 10 from the first and second control gas supply paths 7b and 11 is 0. Yes, the automatic pressure control valve 5 is fully closed. Therefore, the gas supply to the gas supply line 1 is performed only by the regular gas supply device 2. At this time, since the first and third on-off valves 13 and 15 are closed and the second on-off valve 14 is open, the pressure in the buffer tank 12 is increased to the fully open pressure Q 1 or more by the pressure retainer 17. Retained.
【００１０】 かかる状態から異常発生信号Ｓが発せられると、遮断弁４が閉動作されて常用 ガス供給装置２によるガス供給は停止され、これと同時に、第１開閉弁１３が開 動作されて、ハイセレクタ１０にはバッファタンク１２から全開圧力Ｑ1 以上の 圧力信号が入力される。一方、圧力調節計６からハイセレクタ１０に入力される 圧力信号は０のままである。When the abnormality occurrence signal S is issued from such a state, the shutoff valve 4 is closed and the gas supply by the service gas supply device 2 is stopped, and at the same time, the first opening / closing valve 13 is opened, A pressure signal equal to or higher than the full opening pressure Q 1 is input to the high selector 10 from the buffer tank 12. On the other hand, the pressure signal input from the pressure regulator 6 to the high selector 10 remains 0.
【００１１】 したがって、ハイセレクタ１０による選択により、自動圧力調節弁５にバッフ ァタンク１２からの圧力信号が入力されて、該弁５が全開されることになる。す なわち、遮断弁４による常用ガスの供給停止と自動圧力調整弁５による予備ガス の供給開始とが同時に行われる。その結果、ガス供給ライン１におけるガス流れ が停止せず、従来システムにおけるようなタイムラグによる圧力低下はこれが殆 ど生じない。Therefore, by the selection by the high selector 10, the pressure signal from the buffer tank 12 is input to the automatic pressure control valve 5, and the valve 5 is fully opened. That is, the stop of the supply of the normal gas by the shutoff valve 4 and the start of the supply of the preliminary gas by the automatic pressure adjusting valve 5 are simultaneously performed. As a result, the gas flow in the gas supply line 1 does not stop, and the pressure drop due to the time lag as in the conventional system hardly occurs.
【００１２】 予備ガスへの切替が終了した後においては、第２開閉弁１４が閉状態にあり且 つ第３開閉弁１５が開状態にあることから、バッファタンク１２内の圧力は流量 制限器１６により徐々に減圧されていき、したがってバッファタンク１２からハ イセレクタ１０を経て自動圧力調節弁５に入力される信号圧力は除々に低下して いき、自動圧力調節弁５の開度は小さくなっていく。これに伴って、ライン圧力 Ｐが低下していき、圧力調節計６から出力される信号圧力が上昇していく。そし て、バッファタンク１２からの信号圧力が圧力調節計６からの信号圧力を下回る 状態となると、圧力調節計６からの出力信号がハイセレクタ１０により選択され て、自動圧力調節弁５に入力される。After the switching to the reserve gas is completed, the second on-off valve 14 is closed and the third on-off valve 15 is open, so that the pressure in the buffer tank 12 is the flow restrictor. The pressure is gradually reduced by 16. Therefore, the signal pressure input from the buffer tank 12 through the high selector 10 to the automatic pressure control valve 5 gradually decreases, and the opening degree of the automatic pressure control valve 5 decreases. Go. Along with this, the line pressure P decreases, and the signal pressure output from the pressure regulator 6 increases. When the signal pressure from the buffer tank 12 becomes lower than the signal pressure from the pressure regulator 6, the output signal from the pressure regulator 6 is selected by the high selector 10 and input to the automatic pressure regulating valve 5. It
【００１３】 爾後、バッファタンク１２内の圧力は０となり、自動圧力調節弁５は専ら圧力 調節計６からの出力信号により制御されることになる。つまり、図３に示す従来 システムと同様の制御が行われることになる。After that, the pressure in the buffer tank 12 becomes 0, and the automatic pressure regulating valve 5 is controlled exclusively by the output signal from the pressure regulator 6. That is, the same control as that of the conventional system shown in FIG. 3 is performed.
【００１４】 また、請求項２のガス供給システムにあって、異常発生信号Ｓが発せられない 常態においては、第１及び第２制御ガス供給路７ｂ，２１からローセレクタ２０ への入力信号は全閉圧力Ｑ´2 以上であるから、自動圧力調節弁５は全閉状態に あり、ガス供給ライン１へのガス供給は常用ガス供給装置２のみによって行われ る。このとき、第２開閉弁２４，２４が閉状態にあり且つ第３開閉弁２５が開状 態にあるから、バッファタンク１２内の圧力は０である。Further, in the gas supply system according to claim 2, in a normal state in which the abnormality occurrence signal S is not emitted, all the input signals from the first and second control gas supply paths 7b and 21 to the row selector 20 are all transmitted. since it is closing pressure Q'2 or more, the automatic pressure regulating valve 5 is fully closed, the gas supply to the gas supply line 1 is Ru done only by conventional gas supply device 2. At this time, since the second on-off valves 24, 24 are closed and the third on-off valve 25 is open, the pressure in the buffer tank 12 is zero.
【００１５】 異常発生信号Ｓが発せられて、遮断弁４が閉動作されて常用ガス供給装置２に よるガス供給が停止されると、これと同時に、常開弁２３，２５が閉動作される と共に常閉弁２４，２４が開動作されて、ローセレクタ２０には、バッファタン ク１２からの圧力信号と圧力調節計６からの圧力信号が入力されるが、前者の圧 力は０であり、後者の圧力はＱ´2 以上であるから、ローセレクタ２０により前 者が選択されて、自動圧力調節弁５に入力される。When the abnormality occurrence signal S is issued and the shutoff valve 4 is closed to stop the gas supply by the regular gas supply device 2, at the same time, the normally open valves 23 and 25 are closed. At the same time, the normally closed valves 24, 24 are opened, and the pressure signal from the buffer tank 12 and the pressure signal from the pressure regulator 6 are input to the low selector 20, but the former pressure is 0. since the latter pressure is Q'2 or more, and the former is selected by the row selector 20 is input to the automatic pressure regulating valve 5.
【００１６】 したがって、異常発生信号Ｓが発せられると、自動圧力調節弁５はバッファタ ンク１２からの圧力信号により全開されることになり、遮断弁４による常用ガス の供給停止と自動圧力調整弁５による予備ガスの供給開始とが同時に行われる。Therefore, when the abnormality occurrence signal S is issued, the automatic pressure control valve 5 is fully opened by the pressure signal from the buffer tank 12, and the shutoff valve 4 stops the supply of the working gas and the automatic pressure control valve 5 At the same time, the supply of the preliminary gas is started.
【００１７】 しかる後、流量制限器１６により、補給路３０ａからバッファタンク１２に徐 々に制御ガスが供給されていき、バッファタンク１２からローセレクタ２０に入 力される信号圧力は漸次上昇していく。一方、圧力調節計６から出力される信号 圧力は漸次低下していき、バッファタンク１２からの信号圧力が圧力調節計６か らの信号圧力を上回る状態となると、圧力調節計６からの出力信号がローセレク タ２０により選択されて、自動圧力調節弁５に入力される。Thereafter, the flow restrictor 16 gradually supplies the control gas from the replenishment path 30a to the buffer tank 12, and the signal pressure input from the buffer tank 12 to the row selector 20 gradually rises. Go. On the other hand, the signal pressure output from the pressure regulator 6 gradually decreases, and when the signal pressure from the buffer tank 12 exceeds the signal pressure from the pressure regulator 6, the output signal from the pressure regulator 6 is output. Is selected by the low selector 20 and input to the automatic pressure control valve 5.
【００１８】 爾後、バッファタンク１２からの信号圧力はＱ´2 以上となり、そのまま圧力 保持器１７により保持されるから、ローセレクタ２０の選択により、自動圧力調 節弁５には専ら圧力調節計６からの圧力信号が入力されることになる。すなわち 、圧力調節計６によりライン圧力Ｐに基づいて自動圧力調節弁５が制御されるこ とになる。After that, the signal pressure from the buffer tank 12 becomes equal to or higher than Q ′ 2 and is held by the pressure retainer 17 as it is. Therefore, by the selection of the low selector 20, the automatic pressure regulating valve 5 is exclusively provided with the pressure regulator 6. The pressure signal from will be input. That is, the pressure regulator 6 controls the automatic pressure regulating valve 5 based on the line pressure P.
【００１９】[0019]
以下、本考案の構成を図１及び図２に示す各実施例に基づいて具体的に説明す る。 Hereinafter, the configuration of the present invention will be specifically described based on each embodiment shown in FIGS.
【００２０】 図１は本考案に係るガス供給システムの第１実施例を示しており、この実施例 のガス供給システムにあっては、ガス供給ライン１に、常用ガス供給装置２及び 予備ガス供給装置３のガス出口部２ａ，３ａを分岐接続し、常用ガス供給装置２ の出口部２ａに遮断弁４を配設し、予備ガス供給装置３のガス出口部３ａに、圧 力調節計６から入力された圧力信号により開度制御される他力式の自動圧力調節 弁５を配設し、更に圧力調節計６から自動圧力調節弁５に至る圧力信号路７に切 替時圧力低下防止装置８を介設してある。FIG. 1 shows a first embodiment of a gas supply system according to the present invention. In the gas supply system of this embodiment, a gas supply line 1 is connected to a service gas supply device 2 and a backup gas supply. The gas outlets 2a, 3a of the device 3 are branched and connected, the shutoff valve 4 is arranged at the outlet 2a of the regular gas supply device 2, and the pressure regulator 6 is connected to the gas outlet 3a of the auxiliary gas supply device 3. A pressure reducing device at the time of switching is provided with another force type automatic pressure control valve 5 whose opening is controlled by the input pressure signal, and a pressure signal path 7 from the pressure controller 6 to the automatic pressure control valve 5. 8 is installed.
【００２１】 遮断弁４は、常用ガス供給装置２に何らかの異常が生じたときに発せられる異 常発生信号Ｓにより閉動作されるものである。なお、異常発生信号Ｓはプラント 停止信号等であり、停電による断電も含む。The shut-off valve 4 is operated to be closed by an abnormality generation signal S which is generated when the service gas supply device 2 has some abnormality. The abnormality occurrence signal S is a plant stop signal or the like, and also includes disconnection due to power failure.
【００２２】 自動圧力調節弁５は、これに入力される圧力信号が上限設定圧たる全開圧力Ｑ 1 以上である場合に全開され且つ下限設定圧たる全閉圧力Ｑ2 以下である場合に 全閉されるシグナルレス・クローズ形のものである。The automatic pressure control valve 5 has a full-open pressure Q at which the pressure signal input to the automatic pressure control valve 5 is the upper limit set pressure. 1 When it is above, the fully closed pressure Q is fully opened and is the lower limit set pressure.2It is a signalless closed type that is fully closed when:
【００２３】 圧力調節計６は、ガス供給ライン１のライン圧力Ｐを検出し、これに基づいて 、制御ガス供給源９からの制御ガスを圧力信号として出力するものであり、ライ ン圧力Ｐが設定圧力Ｐ0 以下に低下したときにおいて両圧力Ｐ，Ｐ0 の差に対し て出力信号の圧力を増大させるものである。すなわち、圧力調節計６から出力さ れる圧力信号（制御ガスの圧力）は、ライン圧力Ｐが設定圧力Ｐ0 以上の常態で は０に保持されているが、ライン圧力Ｐが設定圧力Ｐ0 以下に低下するようにな ると、爾後、両圧力Ｐ，Ｐ0 の差に対して増大され、その圧力差を減少させるの であり、圧力差を０とする圧力で一定となるのである。なお、設定圧力Ｐ0 は、 常用ガス供給装置２による供給圧力より若干低圧とされている。The pressure controller 6 detects the line pressure P of the gas supply line 1 and outputs the control gas from the control gas supply source 9 as a pressure signal based on the detected line pressure P. When the pressure falls below the set pressure P 0, the pressure of the output signal is increased with respect to the difference between the two pressures P and P 0 . That is, the pressure signal (control gas pressure) output from the pressure regulator 6 is maintained at 0 in the normal state where the line pressure P is equal to or higher than the set pressure P 0, but the line pressure P is equal to or lower than the set pressure P 0. When the pressure decreases to 0 , the pressure increases thereafter with respect to the difference between the two pressures P and P 0 , and the pressure difference decreases, and the pressure becomes 0 at a constant pressure. The set pressure P 0 is slightly lower than the supply pressure of the regular gas supply device 2.
【００２４】 切替時圧力低下防止装置８は、図１に示す如く、圧力信号路７に介設されたハ イセレクタ１０と、ハイセレクタ１０の二次側から自動圧力調節弁５に至る、圧 力信号路７の入力側部分で構成される制御ガス供給路７ａと、圧力調節計６から ハイセレクタ１０の一次側に至る、圧力信号路７の出力側部分で構成される第１ 制御ガス供給路７ｂと、前記制御ガス供給源９からハイセレクタ１０の一次側に 至る第２制御ガス供給路１１と、第２制御ガス供給路１１に配設されたバッファ タンク１２と、第２制御ガス供給路１１及びバッファタンク１２の排気部１２ａ に配設された第１〜第３開閉弁１３，１４，１５、流量制限器１６及び圧力保持 器１７とを具備する。As shown in FIG. 1, the switching-time pressure drop prevention device 8 includes a high selector 10 provided in the pressure signal path 7 and a pressure force from the secondary side of the high selector 10 to the automatic pressure control valve 5. A control gas supply path 7a composed of the input side part of the signal path 7 and a first control gas supply path composed of the output side part of the pressure signal path 7 from the pressure regulator 6 to the primary side of the high selector 10. 7b, a second control gas supply path 11 from the control gas supply source 9 to the primary side of the high selector 10, a buffer tank 12 arranged in the second control gas supply path 11, and a second control gas supply path 11 and the first to third on-off valves 13, 14, 15 arranged in the exhaust part 12a of the buffer tank 12, the flow restrictor 16 and the pressure retainer 17.
【００２５】 ハイセレクタ１０は公知のものであるから、その詳細な構造は省略するが、第 １及び第２制御ガス供給路７ｂ，１１から供給される制御ガスのうち、より高圧 のもののみを、制御ガス供給路７ａから自動圧力調節弁９に圧力信号として入力 させるものである。Since the high selector 10 is a known one, its detailed structure will be omitted, but only the higher pressure control gas supplied from the first and second control gas supply paths 7b and 11 will be described. The pressure signal is input from the control gas supply passage 7a to the automatic pressure control valve 9.
【００２６】 第１開閉弁１３は、第２制御ガス供給路１１におけるバッファタンク１２の二 次側部分１２ａに配設されており、また第３開閉弁１５は、バッファタンク１２ の排気部１２ａに配設されている。これらの開閉弁１３，１５は、何れも、通電 された常態において閉状態にある常閉形の電磁弁であり、前記異常発生信号Ｓに より開動作されるものである。The first opening / closing valve 13 is arranged in the secondary side portion 12 a of the buffer tank 12 in the second control gas supply passage 11, and the third opening / closing valve 15 is arranged in the exhaust portion 12 a of the buffer tank 12. It is arranged. Each of these on-off valves 13 and 15 is a normally-closed solenoid valve which is in a closed state in a normal state when energized, and is opened by the abnormality occurrence signal S.
【００２７】 第２開閉弁１４は、第２制御ガス供給路１１におけるバッファタンク１２の二 次側部分１２ｂに配設されている。この開閉弁１４は、通電された常態において 開状態にある常開形の電磁弁であり、前記異常発生信号Ｓにより閉動作されるも のである。The second opening / closing valve 14 is arranged in the secondary side portion 12 b of the buffer tank 12 in the second control gas supply passage 11. The on-off valve 14 is a normally open solenoid valve which is in an open state when energized and is closed by the abnormality occurrence signal S.
【００２８】 流量制限器１６は、バッファタンク１２の排気部１２ａに配設されたニードル 弁であり、第３開閉弁１５が開動されたときにおいてバッファタンク１２からの 急激なガス流出を防止するものである。すなわち、第３開閉弁１５が開動された ときに、排気部１２からの排気によるバッファタンク１２内の圧力降下を徐々に 行わしめるべく機能するものである。かかる機能を有する限りにおいて、ニード ル弁以外のもの（オリフィス等）を使用することも可能である。なお、１８は圧 力計である。The flow restrictor 16 is a needle valve arranged in the exhaust portion 12a of the buffer tank 12 and prevents a sudden outflow of gas from the buffer tank 12 when the third opening / closing valve 15 is opened. Is. That is, when the third opening / closing valve 15 is opened, it functions to gradually reduce the pressure in the buffer tank 12 due to the exhaust from the exhaust unit 12. Other than the need valve (orifice, etc.) can be used as long as they have such a function. In addition, 18 is a pressure gauge.
【００２９】 圧力保持器１７は、第２制御ガス供給路１１における第２開閉弁１４の二次側 部分に配設された減圧弁であり、開閉弁１４，１５，１６が常態にあるときにお けるバッファタンク１２内の圧力を前記全開圧力Ｑ1 以上の所定圧力に保持する 。圧力保持器１７は、上記機能を発揮するものであればよく、減圧弁に限定され ない。なお、１９は圧力計である。The pressure retainer 17 is a pressure reducing valve disposed on the secondary side portion of the second on-off valve 14 in the second control gas supply passage 11, and when the on-off valves 14, 15, 16 are in the normal state. The pressure inside the buffer tank 12 is maintained at a predetermined pressure equal to or higher than the full-open pressure Q 1 . The pressure retainer 17 is not limited to the pressure reducing valve as long as it exhibits the above function. In addition, 19 is a pressure gauge.
【００３０】 以上のように構成されたガス供給システムにあって、異常発生信号Ｓが発せら れない常態においては、第１及び第２制御ガス供給路７ｂ，１１からハイセレク タ１０に供給されるガス圧力は０であるから、ハイセレクタ１０の選択によって 制御ガス供給路７ａから自動圧力調節弁５に入力される信号圧力も０（全閉圧力 Ｑ2 以下）である。したがって、自動圧力調節弁５は全閉状態にあり、ガス供給 ライン１へのガス供給は常用ガス供給装置２のみによって行われる。In the gas supply system configured as described above, in a normal state where the abnormality occurrence signal S is not emitted, the gas is supplied from the first and second control gas supply paths 7b and 11 to the high selector 10. Since the gas pressure is 0, the signal pressure input from the control gas supply passage 7a to the automatic pressure control valve 5 by the selection of the high selector 10 is also 0 (fully closed pressure Q 2 or less). Therefore, the automatic pressure control valve 5 is in a fully closed state, and gas is supplied to the gas supply line 1 only by the regular gas supply device 2.
【００３１】 このとき、第１及び第３開閉弁１３，１５が閉状態にあり且つ第２開閉弁１４ が開状態にあるから、バッファタンク１２内には制御ガスが充満して、タンク１ ２内は減圧弁１７により全開圧力Ｑ1 以上に保持される。At this time, since the first and third on-off valves 13 and 15 are closed and the second on-off valve 14 is open, the buffer tank 12 is filled with the control gas and the tank 12 The inside is maintained at a full opening pressure Q 1 or more by a pressure reducing valve 17.
【００３２】 かかる状態から異常発生信号Ｓが発せられると、遮断弁４が閉動作されて常用 ガス供給装置２によるガス供給は停止されるが、圧力調節計６の制御ガス圧は０ から徐々に上昇するため、全閉圧力Ｑ2 以上となるまでに時間を必要とする。し かし、異常発生信号Ｓにより第１開閉弁１３が開動作されることから、ハイセレ クタ１０にはバッファタンク１２からＱ1 以上の圧力が供給される。When the abnormality occurrence signal S is issued from such a state, the shutoff valve 4 is closed and the gas supply by the service gas supply device 2 is stopped, but the control gas pressure of the pressure regulator 6 gradually starts from 0. Since it rises, it takes time to reach the full closing pressure Q 2 or more. However, since the first on-off valve 13 is opened by the abnormality occurrence signal S, the pressure higher than Q 1 is supplied from the buffer tank 12 to the high selector 10.
【００３３】 したがって、ハイセレクタ１０の選択により、バッファタンク１２からの圧力 信号が自動圧力調節弁５に入力されて、該弁５が全開されることになり、遮断弁 ４による常用ガスの供給停止と自動圧力調整弁５による予備ガスの供給開始とが 同時に行われる。その結果、ガス供給ライン１におけるガス流れが停止せず、従 来システムにおけるようなタイムラグによる圧力低下はこれが殆ど生じない。Therefore, by the selection of the high selector 10, the pressure signal from the buffer tank 12 is input to the automatic pressure control valve 5, and the valve 5 is fully opened, so that the supply of the normal gas by the shutoff valve 4 is stopped. At the same time, the supply of the preliminary gas by the automatic pressure control valve 5 is started. As a result, the gas flow in the gas supply line 1 is not stopped, and the pressure drop due to the time lag as in the conventional system hardly occurs.
【００３４】 予備ガスへの切替が終了した後においては、第２開閉弁１４が閉状態にあり且 つ第３開閉弁１５が開状態にあることから、バッファタンク１２内の圧力はニー ドル弁１６により徐々に減圧されていき、したがってバッファタンク１２からハ イセレクタ１０を経て自動圧力調節弁５に入力される信号圧力は除々に低下して いき、自動圧力調節弁５の開度は小さくなっていく。これに伴って、ライン圧力 Ｐが低下していき、圧力調節計６から出力される信号圧力が上昇していく。そし て、バッファタンク１２からの信号圧力が圧力調節計６からの信号圧力を下回る 状態となると、圧力調節計６からの出力信号がハイセレクタ１０により選択され て、自動圧力調節弁５に入力される。After the switching to the reserve gas is completed, the second on-off valve 14 is closed and the third on-off valve 15 is open, so that the pressure in the buffer tank 12 is the needle valve. The pressure is gradually reduced by 16. Therefore, the signal pressure input from the buffer tank 12 through the high selector 10 to the automatic pressure control valve 5 gradually decreases, and the opening degree of the automatic pressure control valve 5 decreases. Go. Along with this, the line pressure P decreases, and the signal pressure output from the pressure regulator 6 increases. When the signal pressure from the buffer tank 12 becomes lower than the signal pressure from the pressure regulator 6, the output signal from the pressure regulator 6 is selected by the high selector 10 and input to the automatic pressure regulating valve 5. It
【００３５】 爾後、バッファタンク１２内の圧力は０となり、自動圧力調節弁５は専ら圧力 調節計６からの出力信号により制御されることになる。つまり、図３に示す従来 システムと同様の制御が行われることになる。After that, the pressure in the buffer tank 12 becomes 0, and the automatic pressure control valve 5 is controlled exclusively by the output signal from the pressure regulator 6. That is, the same control as that of the conventional system shown in FIG. 3 is performed.
【００３６】 また、図２は本考案に係るガス供給システムの第２実施例を示したもので、こ の実施例のものでは、自動圧力調節弁５として、これに入力される圧力信号が下 限設定圧たる全開圧力Ｑ´1 以下である場合に全開され且つ上限設定圧たる全閉 圧力Ｑ´2 以上である場合に全閉されるシグナルレス・オープン形のものを使用 している。そして、シグナルレス・オープン形の自動圧力調節弁５によるガス供 給系統の切り替えを上記したと同様に行わしめるべく、圧力調節計６を、ライン 圧力Ｐが設定圧力Ｐ0 以上である場合において前記全閉圧力Ｑ´2 の圧力信号を 出力しており、ライン圧力Ｐが設定圧力Ｐ0 以下に低下したときにおいて両圧力 Ｐ，Ｐ0 の差に対して出力信号の圧力を減少させるものとし、更に圧力調節計６ から自動圧力調節弁５に至る圧力信号路７に介設した切換時圧力低下防止装置８ を、一次側に供給された制御ガスのうち、より低圧の制御ガスのみを二次側へと 通過させるローセレクタ２０を具備するものに構成してある。FIG. 2 shows a second embodiment of the gas supply system according to the present invention. In this embodiment, the pressure signal input to the automatic pressure control valve 5 is lower than that of the automatic pressure control valve 5. using those signal-less open type which is fully closed when fully opened is and upper limit set pressure serving fully closed pressure Q'2 or more when limited set is pressure serving fully open pressure Q'1 below. Then, in order to perform the switching of the gas supply system by the signalless open type automatic pressure control valve 5 in the same manner as described above, the pressure regulator 6 is used when the line pressure P is equal to or higher than the set pressure P 0. and outputs a pressure signal of all the closing pressure Q'2, and at the time when the line pressure P falls below the set pressure P 0 both pressure P, a thing that reduces the pressure of the output signal to the difference between P 0, Further, the switching pressure drop prevention device 8 provided on the pressure signal path 7 from the pressure controller 6 to the automatic pressure control valve 5 is used to control only the lower pressure control gas of the control gas supplied to the primary side. It is configured to include a row selector 20 that passes the light to the side.
【００３７】 すなわち、切換時圧力低下防止装置８は、図２に示す如く、上記した機能を有 する公知のローセレクタ２０と、ローセレクタ２０の二次側から自動圧力調節弁 ５に至る、前記圧力信号路７の入力側部分で構成される制御ガス供給路７ａと、 圧力調節計６からローセレクタ２０の一次側に至る、前記圧力信号路７の出力側 部分で構成される第１制御ガス供給路７ｂと、制御ガス供給源９からローセレク タ２０の一次側に至る第２制御ガス供給路２１と、第２制御ガス供給路２１に配 設された常開形の電磁弁であって、前記異常発生信号Ｓにより閉制御される第１ 開閉弁２３と、第２制御ガス供給路２１における第１開閉弁２３の一次側部分と 二次側部分とを接続する迂回路３０と、迂回路３０に介設されたバッファタンク １２と、迂回路３０におけるバッファタンク１２の両側に配設された常閉形の電 磁弁であって、前記異常発生信号Ｓにより開制御される一対の第２開閉弁２４， ２４と、迂回路３０におけるバッファタンク１２の一次側部分である補給路３０ ａに配設されており、第２開閉弁２４が開動されたときにおいて補給路３０ａか らバッファタンク１２への急激なガス流入を防止する流量制限器たるニードル弁 １６と、バッファタンク１２の排気部１２ａに配設された常開形の電磁弁であっ て、前記異常発生信号Ｓにより閉制御される第３開閉弁２５と、各開閉弁２３， ２４，２５が常態にあるときにおける第２制御ガス供給路２１からローセレクタ ２０に流入するガス圧力及び第３開閉弁２５が閉状態にあるときにおけるバッフ ァタンク１２内の圧力を前記全閉圧力Ｑ´2 以上の所定圧力に保持する圧力保持 器たる減圧弁１７と、を具備する。That is, as shown in FIG. 2, the switching-time pressure drop prevention device 8 includes a well-known row selector 20 having the above-described function, and the automatic pressure control valve 5 from the secondary side of the row selector 20 to the automatic pressure control valve 5. A control gas supply passage 7a composed of an input side portion of the pressure signal passage 7 and a first control gas composed of an output side portion of the pressure signal passage 7 from the pressure controller 6 to the primary side of the low selector 20. A supply path 7b, a second control gas supply path 21 from the control gas supply source 9 to the primary side of the low selector 20, and a normally open solenoid valve arranged in the second control gas supply path 21. A first opening / closing valve 23 that is controlled to be closed by the abnormality occurrence signal S, a bypass 30 that connects a primary side portion and a secondary side portion of the first opening / closing valve 23 in the second control gas supply passage 21, and a bypass path. Buffer tank 1 installed at 30 2, a pair of second on-off valves 24, 24, which are normally closed electromagnetic valves provided on both sides of the buffer tank 12 in the bypass 30 and whose opening is controlled by the abnormality occurrence signal S; The refueling passage 30a, which is a primary side portion of the buffer tank 12 of the refueling tank 30, prevents a sudden gas flow from the replenishing passage 30a to the buffer tank 12 when the second opening / closing valve 24 is opened. A needle valve 16 as a flow rate limiter, a normally open solenoid valve provided in the exhaust section 12a of the buffer tank 12, and a third opening / closing valve 25 which is closed and controlled by the abnormality occurrence signal S, and each opening / closing Gas pressure flowing into the low selector 20 from the second control gas supply passage 21 when the valves 23, 24 and 25 are in the normal state, and inside the buffer tank 12 when the third opening / closing valve 25 is in the closed state. Comprising a pressure cage serving reducing valve 17 to maintain the pressure on the entire closing pressure Q'2 or more predetermined pressure, the.
【００３８】 以上のように構成されたガス供給システムによれば、第１及び第２制御ガス供 給路７ｂ，１１から入力される圧力信号のうち、より低圧のものをローセレクタ ２０で選択して自動圧力調節弁５に入力させることによって、ガス供給系統の切 り替えを、第１実施例のものと同様にして、タイムラグを生じることなく良好に 行うことができる。According to the gas supply system configured as described above, of the pressure signals input from the first and second control gas supply paths 7b and 11, the one having a lower pressure is selected by the low selector 20. By inputting it to the automatic pressure control valve 5 by switching the gas supply system, the gas supply system can be switched satisfactorily without any time lag in the same manner as in the first embodiment.
【００３９】 すなわち、異常発生信号Ｓが発せられない常態においては、第１及び第２制御 ガス供給路７ｂ，２１からローセレクタ２０に入力される信号圧力は全閉圧力Ｑ ´2 以上であるから、自動圧力調節弁５は全閉状態にあり、ガス供給ライン１へ のガス供給は常用ガス供給装置２のみによって行われる。このとき、第２開閉弁 ２４，２４が閉状態にあり且つ第３開閉弁２５が開状態にあるから、バッファタ ンク１２内の圧力は０である。That is, in the normal state in which the abnormality occurrence signal S is not emitted, the signal pressure input to the row selector 20 from the first and second control gas supply passages 7b and 21 is equal to or higher than the fully closed pressure Q ′ 2. The automatic pressure control valve 5 is fully closed, and gas is supplied to the gas supply line 1 only by the regular gas supply device 2. At this time, since the second on-off valves 24, 24 are closed and the third on-off valve 25 is open, the pressure in the buffer tank 12 is zero.
【００４０】 異常発生信号Ｓが発せられて、遮断弁４により常用ガスの供給が停止されると 、これと同時に、常開弁２３，２５が閉動作されると共に常閉弁２４，２４が開 動作されて、ローセレクタ２０には、バッファタンク１２からの圧力信号と圧力 調節計６からの圧力信号が入力される。このとき、前者の圧力は０（全開圧力Ｑ ´1 以下）であり、後者の圧力はＱ´2 以上であるから、ローセレクタ２０によ り前者が選択されて自動圧力調節弁５に入力される。When the abnormality occurrence signal S is issued and the supply of the normal gas is stopped by the shutoff valve 4, at the same time, the normally open valves 23 and 25 are closed and the normally closed valves 24 and 24 are opened. In operation, the pressure signal from the buffer tank 12 and the pressure signal from the pressure regulator 6 are input to the row selector 20. At this time, the former pressure is 0 (fully open pressure Q '1 or less), the latter pressure since it is Q'2 or more, which is input to the automatic pressure regulating valve 5 is former Ri by the row selector 20 selects It
【００４１】 したがって、異常発生信号Ｓが発せられると、自動圧力調節弁５はバッファタ ンク１２からの圧力信号により全開されることになり、遮断弁４による常用ガス の供給停止と自動圧力調節弁５による予備ガスの供給開始とが同時に行われる。Therefore, when the abnormality occurrence signal S is issued, the automatic pressure adjusting valve 5 is fully opened by the pressure signal from the buffer tank 12, and the shutoff valve 4 stops the supply of the working gas and the automatic pressure adjusting valve 5 At the same time, the supply of the preliminary gas is started.
【００４２】 しかる後、補給路３０ａからニードル弁１６を経てバッファタンク１２に徐々 に制御ガスが供給されていき、バッファタンク１２からローセレクタ２０に入力 される信号圧力は漸次上昇していく。一方、圧力調節計６から出力される信号圧 力はライン圧力Ｐに基づいて漸次低下していき、この信号圧力がバッファタンク １２からの信号圧力を下回る状態となると、圧力調節計６からの出力信号がロー セレクタ２０により選択されて、自動圧力調節弁５に入力される。Thereafter, the control gas is gradually supplied from the replenishment path 30a to the buffer tank 12 via the needle valve 16, and the signal pressure input from the buffer tank 12 to the row selector 20 gradually rises. On the other hand, the signal pressure output from the pressure controller 6 gradually decreases based on the line pressure P, and when this signal pressure falls below the signal pressure from the buffer tank 12, the output from the pressure controller 6 The signal is selected by the low selector 20 and input to the automatic pressure control valve 5.
【００４３】 爾後、バッファタンク１２からの信号圧力はＱ´2 以上となり、減圧弁１７に よりそのまま保持されるから、ローセレクタ２０の選択により、自動圧力調節弁 ５には専ら圧力調節計６からの圧力信号が入力されることになる。すなわち、圧 力調節計６によりライン圧力Ｐに基づいて自動圧力調節弁５が制御されることに なる。After that, the signal pressure from the buffer tank 12 becomes equal to or higher than Q ′ 2 and is held as it is by the pressure reducing valve 17, so that the automatic selector valve 5 is selected from the pressure controller 6 only by the selection of the low selector 20. Will be input. That is, the pressure regulator 6 controls the automatic pressure regulating valve 5 based on the line pressure P.
【００４４】 なお、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、本考案の基本原理を逸 脱しない範囲において適宜に改良・変更することができる。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and can be appropriately improved and changed within the range not deviating from the basic principle of the present invention.
【００４５】 例えば、上記各実施例では、制御ガス供給源９を、圧力調節計６用のものと第 ２制御ガス供給経路１１，２１用のものとに共用したが、各別に設けるようにし てもよい。また、制御ガス供給源９は格別に設けず、例えばガス供給ライン１の ガス又は予備ガス供給装置３のガスを利用するようにしてもよい。この場合、ラ イン１の末端側又は予備ガス供給ライン３ａからガスを圧力調節計６又は第２制 御ガス供給経路１１，２１に導くようにすることが望ましい。For example, in each of the above-mentioned embodiments, the control gas supply source 9 is shared by the pressure regulator 6 and the second control gas supply paths 11 and 21, but they may be provided separately. Good. Further, the control gas supply source 9 may not be specially provided and, for example, the gas of the gas supply line 1 or the gas of the auxiliary gas supply device 3 may be used. In this case, it is desirable to introduce the gas from the terminal side of the line 1 or the auxiliary gas supply line 3a to the pressure regulator 6 or the second control gas supply paths 11 and 21.
【００４６】 また上記実施例では、停電時においても対応できるような、異常発生信号Ｓ及 び各電磁弁の通電時の動作を選定したが、これらは任意である。例えば、停電で 切り替わらないシステムを選択する場合には、異常発生信号Ｓを通電とし、且つ 各電磁弁の通電時の動作を上記したと逆にすればよい。Further, in the above embodiment, the abnormality occurrence signal S and the operation at the time of energizing each solenoid valve are selected so as to be able to cope with a power failure, but these are arbitrary. For example, when selecting a system that does not switch due to a power failure, the abnormality occurrence signal S may be energized and the operation when energizing each solenoid valve may be reversed.
【００４７】 また、本考案に係るガス供給システムにあっても、従来システムにおけると同 様の理由から、ガス供給ライン１にサージタンクを設けておくことは可能であり 、また望ましい場合がある。但し、上記した如く切替時におけるタイムラグを生 じないことから、大容量のサージタンクを設けておく必要はなく、極く小さなも ので足りる。Also in the gas supply system according to the present invention, it is possible and desirable to provide a surge tank in the gas supply line 1 for the same reason as in the conventional system. However, since there is no time lag at the time of switching as described above, it is not necessary to provide a large capacity surge tank, and only a very small one is sufficient.
【００４８】[0048]
以上の説明から明らかなように、本考案によれば、常用ガス供給装置２に異常 が生じて、遮断弁４により常用ガスの供給が緊急停止された場合にも、これと同 時に予備ガス供給装置３からのガス供給を開始させ、圧力調節計６による自動圧 力調節弁５の制御が開始されるまで間における圧力低下を有効に防止することが できる。したがって、停電等の不測の事態が発生した場合にも、システムを安定 して継続運転させることができる。 As is apparent from the above description, according to the present invention, even when the service gas supply device 2 is abnormal and the supply of the service gas is urgently stopped by the shutoff valve 4, the backup gas supply is performed at the same time. It is possible to effectively prevent the pressure drop during the time when the gas supply from the device 3 is started and the control of the automatic pressure control valve 5 by the pressure regulator 6 is started. Therefore, the system can be stably operated continuously even if an unexpected situation such as a power failure occurs.
【図１】本考案に係るガス供給システムの第１実施例を
示す系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing a first embodiment of a gas supply system according to the present invention.
【図２】同システムの第２実施例を示す系統図である。FIG. 2 is a system diagram showing a second embodiment of the system.
【図３】従来システムを示す系統図である。FIG. 3 is a system diagram showing a conventional system.
１…ガス供給ライン、２…常用ガス供給装置、３…予備
ガス供給装置、２ａ，３ｂ…ガス出口部、４…遮断弁、
５…自動圧力調節弁、６…圧力調節計、７…圧力信号
路、７ａ…制御ガス供給路、７ｂ…第１制御ガス供給
路、８…切替時圧力低下防止装置、９…制御ガス供給
源、１０…ハイセレクタ、１１，２１…第２制御ガス供
給路、１２…バッファタンク、１２ａ…排気部、１３，
１５，２４…常閉形の電磁弁、１４，２３，２５…常開
形の電磁弁、１６…ニードル弁（流量制限器）、１７…
減圧弁（圧力保持器）、２０…ローセレクタ、３０…迂
回路、３０ａ…補給路、Ｓ…異常発生信号。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Gas supply line, 2 ... Regular gas supply apparatus, 3 ... Preliminary gas supply apparatus, 2a, 3b ... Gas outlet part, 4 ... Shut-off valve,
5 ... Automatic pressure control valve, 6 ... Pressure regulator, 7 ... Pressure signal path, 7a ... Control gas supply path, 7b ... First control gas supply path, 8 ... Switching pressure drop prevention device, 9 ... Control gas supply source 10 ... High selector 11, 21 ... 2nd control gas supply path, 12 ... Buffer tank, 12a ... Exhaust part, 13,
15, 24 ... Normally closed solenoid valve, 14, 23, 25 ... Normally opened solenoid valve, 16 ... Needle valve (flow restrictor), 17 ...
Pressure reducing valve (pressure retainer), 20 ... Low selector, 30 ... Detour, 30a ... Supply path, S ... Abnormality occurrence signal.
Claims (2)
装置（２）及び予備ガス供給装置（３）のガス出口部
（２ａ，３ａ）を分岐接続すると共にガス供給ライン
（１）のライン圧力（Ｐ）に応じて制御ガスによる圧力
信号を出力する圧力調節計（６）を配設し、常用ガス供
給装置（２）の出口部（２ａ）に、常用ガス供給装置
（２）に異常が生じたときに発せられる異常発生信号
（Ｓ）により閉制御される遮断弁（４）を配設し、予備
ガス供給装置（３）のガス出口部（３ａ）に、圧力調節
計（６）から入力される圧力信号により制御される他力
式の自動圧力調節弁（５）を配設してあるガス供給シス
テムにおいて、 自動圧力調節弁（５）が、これに入力される圧力信号が
上限設定圧たる全開圧力（Ｑ1 ）以上である場合に全開
され且つ下限設定圧たる全閉圧力（Ｑ2 ）以下である場
合に全閉されるシグナルレス・クローズ形のものであ
り、 圧力調節計（６）が、前記ライン圧力（Ｐ）が設定圧力
（Ｐ0 ）以下に低下したときにおいて両圧力（Ｐ，
Ｐ0 ）の差に対して出力信号の圧力を増大させるもので
あり、 圧力調節計（６）から自動圧力調節弁（５）に至る圧力
信号路（７）に切替時圧力低下防止装置（８）が介設さ
れており、 この切換時圧力低下防止装置（８）が、一次側に供給さ
れた制御ガスのうち、より高圧の制御ガスのみを二次側
へと通過させるハイセレクタ（１０）と、ハイセレクタ
（１０）の二次側から自動圧力調節弁（５）に至る、前
記圧力信号路（７）の入力側部分で構成される制御ガス
供給路（７ａ）と、圧力調節計（６）からハイセレクタ
（１０）の一次側に至る、前記圧力信号路（７）の出力
側部分で構成される第１制御ガス供給路（７ｂ）と、制
御ガス供給源（９）からハイセレクタ（１０）の一次側
に至る第２制御ガス供給路（１１）と、第２制御ガス供
給路（１１）に介設されたバッファタンク（１２）と、
第２制御ガス供給路（１１）におけるバッファタンク
（１２）の二次側部分（１１ａ）に配設された常閉形の
電磁弁であって、前記異常発生信号（Ｓ）により開制御
される第１開閉弁（１３）と、第２制御ガス供給路（１
１）におけるバッファタンク（１２）の一次側部分（１
１ｂ）に配設された常開形の電磁弁であって、前記異常
発生信号（Ｓ）により閉制御される第２開閉弁（１４）
と、バッファタンク（１２）の排気部（１２ａ）に配設
された常閉形の電磁弁であって、前記異常発生信号
（Ｓ）により開制御される第３開閉弁（１５）と、バッ
ファタンク（１２）の排気部（１２ａ）に配設されてお
り、第３開閉弁（１５）が開動されたときにおいてバッ
ファタンク（１２）からの急激なガス流出を防止するニ
ードル弁等の流量制限器（１６）と、各開閉弁（１３，
１４，１５）が常態にあるときにおけるバッファタンク
（１２）内の圧力を前記全開圧力（Ｑ1 ）以上の所定圧
力に保持する圧力保持器（１７）と、を具備するもので
あることを特徴とするガス供給システム。1. The gas supply line (1) is branched from the gas outlets (2a, 3a) of the normal gas supply device (2) and the auxiliary gas supply device (3), and the gas supply line (1) is also connected. A pressure regulator (6) that outputs a pressure signal by the control gas according to the pressure (P) is arranged, and the outlet (2a) of the service gas supply device (2) has an abnormality in the service gas supply device (2). A shut-off valve (4), which is controlled to be closed by an abnormality occurrence signal (S) that is issued when the occurrence of the above occurs, is arranged, and a pressure controller (6) is provided at the gas outlet (3a) of the auxiliary gas supply device (3). In a gas supply system in which a self-powered automatic pressure control valve (5) controlled by a pressure signal input from the gas supply system is provided, the automatic pressure control valve (5) has an upper limit of the pressure signal input thereto. it is fully opened when setting is pressure serving fully open pressure (Q 1) or more and below Set pressure serving all closing pressure (Q 2) is of a signal-less closed type which is fully closed when it is less, the pressure controllers (6), said line pressure (P) is the set pressure (P 0) Both pressures (P,
The pressure of the output signal is increased with respect to the difference of P 0 ), and the pressure drop prevention device (8) at the time of switching is connected to the pressure signal path (7) from the pressure controller (6) to the automatic pressure control valve (5). ) Is installed, and this switching pressure drop prevention device (8) is a high selector (10) that allows only the higher pressure control gas of the control gas supplied to the primary side to pass to the secondary side. And a control gas supply path (7a) comprising an input side portion of the pressure signal path (7) from the secondary side of the high selector (10) to the automatic pressure control valve (5), and a pressure controller ( 6) to the primary side of the high selector (10), a first control gas supply path (7b) constituted by the output side portion of the pressure signal path (7), and a high selector from the control gas supply source (9). (10) Second control gas supply path (11) reaching the primary side, and second control gas Buffer tank which is interposed in the supply passage (11) and (12),
A normally-closed solenoid valve disposed in the secondary side portion (11a) of the buffer tank (12) in the second control gas supply path (11), the opening control being performed by the abnormality occurrence signal (S). 1 on-off valve (13) and second control gas supply path (1
The primary side portion (1) of the buffer tank (12) in (1)
1b) a normally open solenoid valve, the second on-off valve (14) being controlled to be closed by the abnormality occurrence signal (S)
A normally-closed solenoid valve disposed in the exhaust part (12a) of the buffer tank (12), the third on-off valve (15) being open-controlled by the abnormality occurrence signal (S), and the buffer tank A flow restrictor, such as a needle valve, which is disposed in the exhaust section (12a) of (12) and prevents sudden gas outflow from the buffer tank (12) when the third opening / closing valve (15) is opened. (16) and each on-off valve (13,
Pressure retainer (17) for maintaining the pressure in the buffer tank (12) at a predetermined pressure equal to or higher than the full-open pressure (Q 1 ) when the pressure control device (14, 15) is in a normal state. And gas supply system.
装置（２）及び予備ガス供給装置（３）のガス出口部
（２ａ，３ａ）を分岐接続すると共にガス供給ライン
（１）のライン圧力（Ｐ）に応じて制御ガスによる圧力
信号を出力する圧力調節計（６）を配設し、常用ガス供
給装置（２）の出口部（２ａ）に、常用ガス供給装置
（２）に異常が生じたときに発せられる異常発生信号
（Ｓ）により閉制御される遮断弁（４）を配設し、予備
ガス供給装置（３）のガス出口部（３ａ）に、圧力調節
計（６）から入力される圧力信号により制御される他力
式の自動圧力調節弁（５）を配設してあるガス供給シス
テムにおいて、 自動圧力調節弁（５）が、これに入力される圧力信号が
下限設定圧たる全開圧力（Ｑ´1 ）以下である場合に全
開され且つ上限設定圧たる全閉圧力（Ｑ´2 ）以上であ
る場合に全閉されるシグナルレス・オープン形のもので
あり、 圧力調節計（６）が、前記ライン圧力（Ｐ）が設定圧力
（Ｐ）以上である場合において前記全閉圧力（Ｑ´2 ）
の圧力信号を出力しており、ライン圧力（Ｐ）が設定圧
力（Ｐ0 ）以下に低下したときにおいて両圧力（Ｐ，Ｐ
0 ）の差に対して出力信号の圧力を減少させるものであ
り、 圧力調節計（６）から自動圧力調節弁（５）に至る圧力
信号路（７）に切替時圧力低下防止装置（８）が介設さ
れており、 この切換時圧力低下防止装置（８）が、一次側に供給さ
れた制御ガスのうち、より低圧の制御ガスのみを二次側
へと通過させるローセレクタ（２０）と、ローセレクタ
（２０）の二次側から自動圧力調節弁（５）に至る、前
記圧力信号路（７）の入力側部分で構成される制御ガス
供給路（７ａ）と、圧力調節計（６）からローセレクタ
（２０）の一次側に至る、前記圧力信号路（７）の出力
側部分で構成される第１制御ガス供給路（７ｂ）と、制
御ガス供給源（９）からローセレクタ（２０）の一次側
に至る第２制御ガス供給路（２１）と、第２制御ガス供
給路（２１）に配設された常開形の電磁弁であって、前
記異常発生信号（Ｓ）により閉制御される第１開閉弁
（２３）と、第２制御ガス供給路（２１）における第１
開閉弁（２３）の一次側部分と二次側部分とを接続する
迂回路（３０）と、迂回路（３０）に介設されたバッフ
ァタンク（１２）と、迂回路（３０）におけるバッファ
タンク（１２）の両側に配設された常閉形の電磁弁であ
って、前記異常発生信号（Ｓ）により開制御される一対
の第２開閉弁（２４）と、迂回路（３０）におけるバッ
ファタンク（１２）の一次側部分である補給路（３０
ａ）に配設されており、第２開閉弁（２４）が開動され
たときにおいて補給路（３０ａ）からバッファタンク
（１２）への急激なガス流入を防止するニードル弁等の
流量制限器（１６）と、バッファタンク（１２）の排気
部（１２ａ）に配設された常開形の電磁弁であって、前
記異常発生信号（Ｓ）により閉制御される第３開閉弁
（２５）と、各開閉弁（２３，２４，２５）が常態にあ
るときにおける第２制御ガス供給路（２１）からローセ
レクタ（２０）に流入するガス圧力及び第３開閉弁（２
５）が閉状態にあるときにおけるバッファタンク（１
２）内の圧力を前記全閉圧力（Ｑ´2 ）以上の所定圧力
に保持する圧力保持器（１７）と、を具備するものであ
ることを特徴とするガス供給システム。2. The gas supply line (1) is branched from the gas outlets (2a, 3a) of the normal gas supply device (2) and the auxiliary gas supply device (3), and the gas supply line (1) is also connected. A pressure regulator (6) that outputs a pressure signal by the control gas according to the pressure (P) is arranged, and the outlet (2a) of the service gas supply device (2) has an abnormality in the service gas supply device (2). A shut-off valve (4), which is controlled to be closed by an abnormality occurrence signal (S) that is issued when the occurrence of the above occurs, is arranged, and a pressure controller (6) is provided at the gas outlet portion (3a) of the auxiliary gas supply device (3). In a gas supply system in which a self-powered automatic pressure control valve (5) controlled by a pressure signal input from the gas supply system is provided, the automatic pressure control valve (5) has a lower limit of the pressure signal input thereto. When it is less than the set pressure full opening pressure (Q ' 1 ), it is fully opened and A signalless open type in which the line pressure (P) is fully closed when the full-closed pressure (Q ' 2 ) which is the limit set pressure is exceeded, and the line pressure (P) is set to the set pressure (P). ) Or more, the full closing pressure (Q ' 2 )
Is output, and when the line pressure (P) drops below the set pressure (P 0 ), both pressures (P, P
The pressure of the output signal is reduced with respect to the difference of 0 ), and the pressure drop prevention device (8) at the time of switching to the pressure signal path (7) from the pressure controller (6) to the automatic pressure control valve (5). And a low selector (20) for allowing only the lower pressure control gas of the control gas supplied to the primary side to pass to the secondary side. , A control gas supply path (7a) comprising an input side portion of the pressure signal path (7) from the secondary side of the low selector (20) to the automatic pressure control valve (5), and a pressure controller (6) ) To the primary side of the low selector (20) and a first control gas supply path (7b) constituted by an output side portion of the pressure signal path (7), and a low selector (9) from the control gas supply source (9). 20) second control gas supply path (21) to the primary side, and second control gas supply In the normally open solenoid valve disposed in the passage (21), the first opening / closing valve (23) closed and controlled by the abnormality occurrence signal (S) and the second control gas supply passage (21) First
A bypass (30) connecting the primary side part and the secondary side part of the on-off valve (23), a buffer tank (12) interposed in the bypass (30), and a buffer tank in the bypass (30) A pair of second on-off valves (24), which are normally-closed solenoid valves disposed on both sides of (12) and whose opening is controlled by the abnormality occurrence signal (S), and a buffer tank in the detour (30). (12) The supply path (30
A flow restrictor (such as a needle valve) which is disposed in a) and which prevents a sudden gas flow from the replenishment passage (30a) to the buffer tank (12) when the second opening / closing valve (24) is opened. 16), and a third open / close valve (25) which is a normally open solenoid valve disposed in the exhaust part (12a) of the buffer tank (12) and which is closed and controlled by the abnormality occurrence signal (S). , The gas pressure flowing into the row selector (20) from the second control gas supply passage (21) and the third on-off valve (2) when the on-off valves (23, 24, 25) are in the normal state.
5) When the buffer tank (1) is closed
2. A gas supply system, comprising: a pressure retainer (17) for maintaining the internal pressure at a predetermined pressure equal to or higher than the fully closed pressure (Q ' 2 ).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62193U JP2528363Y2 (en) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | Gas supply system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62193U JP2528363Y2 (en) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | Gas supply system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0656600U true JPH0656600U (en) | 1994-08-05 |
| JP2528363Y2 JP2528363Y2 (en) | 1997-03-12 |
Family
ID=11478806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62193U Expired - Lifetime JP2528363Y2 (en) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | Gas supply system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2528363Y2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101307495B1 (en) * | 2013-05-31 | 2013-09-10 | (주) 클릭이엔지 | Gas supply apparatus |
| JP2015212565A (en) * | 2014-05-07 | 2015-11-26 | 大陽日酸株式会社 | Cylinder cabinet |
| CN106249771A (en) * | 2016-08-26 | 2016-12-21 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 | Helium pressure tuner pressure accurate control device and method |
| CN113090417A (en) * | 2021-03-29 | 2021-07-09 | 招商局重工(深圳)有限公司 | LPG gas-liquid separation jar and fuel control system |
-
1993
- 1993-01-13 JP JP62193U patent/JP2528363Y2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101307495B1 (en) * | 2013-05-31 | 2013-09-10 | (주) 클릭이엔지 | Gas supply apparatus |
| JP2015212565A (en) * | 2014-05-07 | 2015-11-26 | 大陽日酸株式会社 | Cylinder cabinet |
| CN106249771A (en) * | 2016-08-26 | 2016-12-21 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 | Helium pressure tuner pressure accurate control device and method |
| CN106249771B (en) * | 2016-08-26 | 2023-06-16 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 | Helium pressure tuner pressure precise control device and method |
| CN113090417A (en) * | 2021-03-29 | 2021-07-09 | 招商局重工(深圳)有限公司 | LPG gas-liquid separation jar and fuel control system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2528363Y2 (en) | 1997-03-12 |
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