JPH065429Y2 - 炉のガス流通装置 - Google Patents
炉のガス流通装置Info
- Publication number
- JPH065429Y2 JPH065429Y2 JP11190987U JP11190987U JPH065429Y2 JP H065429 Y2 JPH065429 Y2 JP H065429Y2 JP 11190987 U JP11190987 U JP 11190987U JP 11190987 U JP11190987 U JP 11190987U JP H065429 Y2 JPH065429 Y2 JP H065429Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- furnace
- furnace body
- inert gas
- jacket
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はガリウムなどの単結晶を製造するための真空炉
におけるガス流通装置に関するものである。
におけるガス流通装置に関するものである。
従来のこの種の真空炉においてはアルゴンガスのような
不活性ガスを炉内に直接に吹き込んでいた。
不活性ガスを炉内に直接に吹き込んでいた。
このために炉内においてガス雰囲気の均一化がむずかし
くまた不活性ガス流によって炉内の材料の液面が波打つ
などの不具合が生じていた。
くまた不活性ガス流によって炉内の材料の液面が波打つ
などの不具合が生じていた。
本考案は上記の事情に鑑みなされたもので、その目的と
することろはガス雰囲気を均一にするし不活性ガスが炉
本体内の材料の液面に吹きつけることがなく、この液面
の波打ちが防止できる炉のガス流通装置を提供すること
にある。
することろはガス雰囲気を均一にするし不活性ガスが炉
本体内の材料の液面に吹きつけることがなく、この液面
の波打ちが防止できる炉のガス流通装置を提供すること
にある。
上記の目的を達成するために本考案は、ガス雰囲気とな
る炉本体の水冷ジャケットに、不活性ガスを炉本体の内
部に噴出する噴出孔を周方向に複数個設け、炉本体の内
部に噴出孔より噴出された不活性ガス流を拡散する拡散
板を設けた構成にしてある。
る炉本体の水冷ジャケットに、不活性ガスを炉本体の内
部に噴出する噴出孔を周方向に複数個設け、炉本体の内
部に噴出孔より噴出された不活性ガス流を拡散する拡散
板を設けた構成にしてある。
そして、不活性ガスを噴出孔より炉本体内に噴出した後
拡散板に衝突させて拡散させるようにした。
拡散板に衝突させて拡散させるようにした。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
図面中１は炉本体であり、この炉本体１の上部の開口部
２に冷水ジャケット３がボルト４′で取付けてある。こ
の冷水ジャケット３は円板形状のジャケット本体４を備
えており、このジャケット本体４の中央には孔状部５が
形成してある。ジャケット本体４には環状の水路６が形
成してあり、またジャケット本体４には水路６から外周
面に抜ける流入孔７と流出孔８とが設けてある。
２に冷水ジャケット３がボルト４′で取付けてある。こ
の冷水ジャケット３は円板形状のジャケット本体４を備
えており、このジャケット本体４の中央には孔状部５が
形成してある。ジャケット本体４には環状の水路６が形
成してあり、またジャケット本体４には水路６から外周
面に抜ける流入孔７と流出孔８とが設けてある。
またジャケット本体４には水路６の外周方に位置させて
円弧状のガス通路９が形成してあり、またジャケット本
体４には周方向に所定の間隔をおいて複数個の噴出孔１
０が設けてあり、これら噴出孔１０は前記ガス通路９に
連通していてジャケット本体４の下面に開口している。
そして噴出孔１０は炉本体１の内方に向って傾斜してい
る。
円弧状のガス通路９が形成してあり、またジャケット本
体４には周方向に所定の間隔をおいて複数個の噴出孔１
０が設けてあり、これら噴出孔１０は前記ガス通路９に
連通していてジャケット本体４の下面に開口している。
そして噴出孔１０は炉本体１の内方に向って傾斜してい
る。
前記冷水ジャケット３の下面部には周方向に所定の間隔
をおいてナット部材より成る取付座１９が設けてあり、
これら取付座１９にスペーサ２０を介して拡散板２１が
取付ボルト２２により取付けてある。この拡散板２１は
円環状であって軸体１７を囲んでいる。
をおいてナット部材より成る取付座１９が設けてあり、
これら取付座１９にスペーサ２０を介して拡散板２１が
取付ボルト２２により取付けてある。この拡散板２１は
円環状であって軸体１７を囲んでいる。
前記冷水ジャケット３の上部にはホルダ１１が設けてあ
り、前記ガス通路９の上面開口部分はホルダ１１の底面
１１ａで閉塞されている。そしてホルダ１１の下部に
は、前記ガス通路９に通じるガス入口１２が設けてあ
り、このガス入口１２にガス供給管１３が接続してあ
る。また前記ホルダ１１の内側には磁気シール１４が設
けてあり、またホルダ１１内には軸受１５，１６を介し
て軸体１７が設けてあり、この軸体１７は前記冷水ジャ
ケット３の孔状部５を貫通して炉本体１内に挿入してあ
り、軸体１７の炉本体１からの出口側は前記磁気シール
１４によりシールされている。また前記軸体１７内には
種引上げ棒１８が設けてある。
り、前記ガス通路９の上面開口部分はホルダ１１の底面
１１ａで閉塞されている。そしてホルダ１１の下部に
は、前記ガス通路９に通じるガス入口１２が設けてあ
り、このガス入口１２にガス供給管１３が接続してあ
る。また前記ホルダ１１の内側には磁気シール１４が設
けてあり、またホルダ１１内には軸受１５，１６を介し
て軸体１７が設けてあり、この軸体１７は前記冷水ジャ
ケット３の孔状部５を貫通して炉本体１内に挿入してあ
り、軸体１７の炉本体１からの出口側は前記磁気シール
１４によりシールされている。また前記軸体１７内には
種引上げ棒１８が設けてある。
次に作動を説明する。
前記ガス供給管１３からガス通路９内にアルゴンガスの
ような不活性ガスを供給して、この不活性ガスを前記噴
出孔１０より炉本体１内に噴出させてこの不活性ガス流
を拡散板２１に衝突させてこの不活性ガスを拡散し、ガ
ス雰囲気を均一にする。
ような不活性ガスを供給して、この不活性ガスを前記噴
出孔１０より炉本体１内に噴出させてこの不活性ガス流
を拡散板２１に衝突させてこの不活性ガスを拡散し、ガ
ス雰囲気を均一にする。
このために炉本体１内にある材料の液面に直接に不活性
ガス流が衝突しないため、この液面の波打ちが防止され
る。
ガス流が衝突しないため、この液面の波打ちが防止され
る。
以上詳述したように、本考案に係る炉のガス流通装置
は、ガス雰囲気となる炉本体の水冷ジャケットに、不活
性ガスを炉本体の内部に噴出する噴出孔を周方向に複数
個設け、炉本体の内部に噴出孔より噴出された不活性ガ
ス流を拡散する拡散板を設けたことを特徴とするもので
ある。
は、ガス雰囲気となる炉本体の水冷ジャケットに、不活
性ガスを炉本体の内部に噴出する噴出孔を周方向に複数
個設け、炉本体の内部に噴出孔より噴出された不活性ガ
ス流を拡散する拡散板を設けたことを特徴とするもので
ある。
したがって、不活性ガスを噴出孔より炉本体内に噴出さ
れた後拡散板に衝突して拡散しガス雰囲気を均一にする
し不活性ガスが炉本体内の材料の液面に吹きつけること
がなく、この液面の波打ちが防止できる。
れた後拡散板に衝突して拡散しガス雰囲気を均一にする
し不活性ガスが炉本体内の材料の液面に吹きつけること
がなく、この液面の波打ちが防止できる。
第１図は本考案一実施例の縦断面図、第２図は水冷ジャ
ケットの平面図、第３図は第２図III−III線に沿う断面
図、第４図は水冷ジャケットの下面図である。 １は炉本体、３は水冷ジャケット、９はガス通路、１０
は噴出孔、１９は取付座、２２は拡散板。
ケットの平面図、第３図は第２図III−III線に沿う断面
図、第４図は水冷ジャケットの下面図である。 １は炉本体、３は水冷ジャケット、９はガス通路、１０
は噴出孔、１９は取付座、２２は拡散板。
Claims (1)
- 【請求項１】ガス雰囲気となる炉本体の水冷ジャケット
に、不活性ガスを炉本体の内部に噴出する噴出孔を周方
向に複数個設け、炉本体の内部に噴出孔より噴出された
不活性ガス流を拡散する拡散板を設けたことを特徴とす
る炉のガス流通装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11190987U JPH065429Y2 (ja) | 1987-07-23 | 1987-07-23 | 炉のガス流通装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11190987U JPH065429Y2 (ja) | 1987-07-23 | 1987-07-23 | 炉のガス流通装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418160U JPS6418160U (ja) | 1989-01-30 |
| JPH065429Y2 true JPH065429Y2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=31350372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11190987U Expired - Lifetime JPH065429Y2 (ja) | 1987-07-23 | 1987-07-23 | 炉のガス流通装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065429Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-07-23 JP JP11190987U patent/JPH065429Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6418160U (ja) | 1989-01-30 |
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