JPH0652534A - Magnetic head and its manufacture - Google Patents
Magnetic head and its manufactureInfo
- Publication number
- JPH0652534A JPH0652534A JP4204119A JP20411992A JPH0652534A JP H0652534 A JPH0652534 A JP H0652534A JP 4204119 A JP4204119 A JP 4204119A JP 20411992 A JP20411992 A JP 20411992A JP H0652534 A JPH0652534 A JP H0652534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- magnetic
- slider
- air
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド及びその製造
方法に係り、特にハードディスク装置に搭載される磁気
ヘッド及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head and a manufacturing method thereof, and more particularly to a magnetic head mounted on a hard disk drive and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般にコンピュータ，ワードプロセッサ
等の記憶装置としてハードディスクドライブ装置が知ら
れている。従来、このハードディスクドライブ装置に搭
載されていた磁気ヘッドの構造を図１５に示す。同図に
示す磁気ヘッド１はモノリシックタイプと呼ばれている
ものである。2. Description of the Related Art Generally, a hard disk drive device is known as a storage device for computers, word processors and the like. FIG. 15 shows the structure of a magnetic head conventionally mounted in this hard disk drive device. The magnetic head 1 shown in the figure is called a monolithic type.
【０００３】同図中、２はヨーク、３は磁気ヘッドをデ
ィスク面から浮上させるためスライダであり、このスラ
イダ３は磁気ヘッドのコアとしても機能する。従って、
ヨーク２及びスライダ３は共に磁性体（フェライト等）
により構成されている。In the figure, 2 is a yoke, 3 is a slider for floating the magnetic head from the disk surface, and this slider 3 also functions as the core of the magnetic head. Therefore,
Both the yoke 2 and the slider 3 are magnetic materials (ferrite etc.)
It is composed by.
【０００４】また、スライダ３には浮動を行うための空
気ベアリング面４，５が形成されると共に、浮動時にお
ける安定性を向上させるための断面矩形状の空気溝６，
７が形成されている。また、各空気ベアリング面４，５
の角部及び空気溝６，７の角部４ａ〜７ａには夫々空気
の流れの円滑化を図るための面取り加工が行われてい
た。尚、８，９は磁気記録再生時に磁気ディスクの回転
により生じる空気の流れを空気ベアリング面４，５に導
くための傾斜面、２ａはヨーク２と協働して磁気ギャッ
プを形成するセンターレールである。Further, the slider 3 is formed with air bearing surfaces 4 and 5 for floating, and an air groove 6 having a rectangular cross section for improving stability during floating.
7 are formed. Also, each air bearing surface 4, 5
The chamfering process for smoothing the flow of air has been performed on the corners and the corners 4a to 7a of the air grooves 6 and 7, respectively. Numerals 8 and 9 are inclined surfaces for guiding the air flow generated by the rotation of the magnetic disk during magnetic recording and reproduction to the air bearing surfaces 4,5, and 2a is a center rail that cooperates with the yoke 2 to form a magnetic gap. is there.
【０００５】また図１６は、磁気ヘッド１を搭載するハ
ードディスク装置１０の概略構成を示している。同図に
おいて、１１はケース，１２は磁気ディスク，１３はア
クチュエータを示している。アクチュエータ１３は、軸
１４に回動自在に軸承されたアーム１５，このアーム１
４を回動駆動するボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１６，
アーム１５の先端に取り付けられたスプリングアーム１
７，磁気ディスクを回転するスピンドルモータ１８等に
より構成されており、磁気ヘッド１はスプリングアーム
１７の先端に設けられたジンバルプレート１９に取り付
けられている。FIG. 16 shows a schematic structure of a hard disk device 10 having the magnetic head 1 mounted thereon. In the figure, 11 is a case, 12 is a magnetic disk, and 13 is an actuator. The actuator 13 includes an arm 15 rotatably supported by a shaft 14, and the arm 1.
4, a voice coil motor (VCM) 16 for rotationally driving 4,
Spring arm 1 attached to the tip of arm 15
7, a spindle motor 18 for rotating a magnetic disk, etc., and the magnetic head 1 is attached to a gimbal plate 19 provided at the tip of a spring arm 17.
【０００６】ＶＣＭ１６が駆動することによりアーム１
５は軸１４を中心として同図中矢印Ａ１，Ａ２方向に回
動し、これに伴い磁気ヘッド１も移動する。よって磁気
ヘッド１は磁気ディスク１２に形成されている所定トラ
ックに位置決めされる構成とされている。The arm 1 is driven by the VCM 16 being driven.
Reference numeral 5 rotates about the shaft 14 in the directions of arrows A1 and A2 in the figure, and the magnetic head 1 also moves accordingly. Therefore, the magnetic head 1 is configured to be positioned on a predetermined track formed on the magnetic disk 12.
【０００７】また、スピンドルモータ１８により磁気デ
ィスク１２が回動されることにより、磁気ディスク１２
上には周方向に対する空気の流れが発生する。磁気ヘッ
ド１には前記のように空気ベアリング面４，５が形成さ
れており、この空気ベアリング面４，５により磁気ヘッ
ド１と磁気ディスク１２との間には上記空気の流れが進
入し、よって磁気ヘッド１は浮上し、この浮上状態で磁
気記録再生処理を行う構成とされていた。Further, when the magnetic disk 12 is rotated by the spindle motor 18, the magnetic disk 12
An air flow in the circumferential direction is generated above. The air bearing surfaces 4 and 5 are formed on the magnetic head 1 as described above, and the air flow enters between the magnetic head 1 and the magnetic disk 12 by the air bearing surfaces 4 and 5, and The magnetic head 1 is levitated, and the magnetic recording / reproducing process is performed in this levitated state.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかるに上記従来構成
の磁気ヘッド１は、ヨーク２とスライダ３とを合わせた
長手方向の全長（図中、矢印ａで示す）が 3.430mm、ヨ
ーク２の幅寸法（図中、矢印ｂで示す）が 2.230mmと比
較的大きな形状を有し、これに伴いその重量も約20mgと
重かった。よって、この磁気ヘッド１の構造に起因し
て、次に述べるような種々の問題点を生じていた。 スライダ３の形状が大きいため材料費が高くなり、
製品コストが上昇する。 磁気ヘッド１が磁気ディスク１２上の図１６中のＡ
１方向限位置及びＡ２方向限位置に移動した時、スライ
ダ３が大なる形状を有しているため磁気ディスク１２の
各方向限位置において記録再生処理が行えないデッドス
ペースが広く存在してしまい、磁気ディスク１２の利用
効率が低下してしまう。 スライダ３の形状が大きいため、磁気ヘッド１をア
クチュエータ１３に配設する際に取り付け誤差があった
場合には、これに起因したロールが大きく発生してしま
い、安定した浮上が行えない。特に、磁気ディスク１２
の内周側（Ａ１方向側）と外周側（Ａ２方向側）では磁
気ディスク１２の周速度が異なる（外周の方が速い）た
め、この速度差に起因して各空気ベアリング面４，５に
発生する浮上力が異なってしまい、磁気ヘッド１の安定
浮上を妨げる。 スライダ３の形状が大きいことに伴い、空気ベアリ
ング面４，５の面積も大となり、よって大きな浮上力が
発生する。このように広い空気ベアリング面４，５を有
する磁気ヘッド１を安定して浮上させるには、スプリン
グアーム１７のバネ圧を相当に大きくする必要がある。
しかるに、スプリングアーム１７のバネ圧を大とした場
合には、浮上時における安定性は向上するものの、装置
１０の停止時及びコンタクトスタートストップ時にスプ
リングアーム１７の大なるバネ圧により磁気ヘッド１は
磁気ディスク１２に強く押し付けられる。これにより、
上記停止時にスプリングアーム１７により磁気ヘッド１
は磁気ディスク１２に押圧されることにより吸着されて
しまい、磁気ディスク１２の回転開始時に磁気ヘッド１
が損傷するおそれがある。更に、スプリングアーム１７
が大なるバネ圧を有する構成とするためには、スプリン
グアーム１７を大型化しなければならず、装置１０の小
型化を妨げ、またコストの上昇につながるという問題点
がある。 スライダ３の重量が重いことにより、磁気ヘッド１
をＶＣＭ１６で移動させる際の慣性重力が大きくなり、
磁気ディスク１２の面振れや外部からの加速等に対応す
るスライダ３の安定した浮上量の確保が困難である（即
ち、ディスクの追随性が悪い）。However, in the magnetic head 1 having the above-described conventional structure, the total length (indicated by an arrow a in the figure) of the yoke 2 and the slider 3 in the longitudinal direction is 3.430 mm, and the width dimension of the yoke 2 is 3. (Indicated by arrow b in the figure) had a relatively large shape of 2.230 mm, and the weight thereof was also heavy at about 20 mg. Therefore, the structure of the magnetic head 1 causes various problems as described below. Since the shape of the slider 3 is large, the material cost is high,
Product cost rises. The magnetic head 1 is located on the magnetic disk 12 at A in FIG.
Since the slider 3 has a large shape when it is moved to the one-direction limit position and the A2 direction limit position, there is a large dead space where the recording / reproducing process cannot be performed at each direction limit position of the magnetic disk 12. The utilization efficiency of the magnetic disk 12 is reduced. Since the slider 3 has a large shape, if there is an attachment error when the magnetic head 1 is mounted on the actuator 13, a large roll is generated due to this and stable flying cannot be performed. In particular, the magnetic disk 12
Since the peripheral speed of the magnetic disk 12 is different between the inner peripheral side (A1 direction side) and the outer peripheral side (A2 direction side) (the outer peripheral side is faster), this speed difference causes the air bearing surfaces 4 and 5 to face each other. The generated levitation force is different, which hinders stable levitation of the magnetic head 1. As the shape of the slider 3 becomes large, the areas of the air bearing surfaces 4 and 5 also become large, so that a large levitation force is generated. In order to stably levitate the magnetic head 1 having such wide air bearing surfaces 4 and 5, it is necessary to considerably increase the spring pressure of the spring arm 17.
However, when the spring pressure of the spring arm 17 is large, the magnetic head 1 is not magnetically affected by the large spring pressure of the spring arm 17 when the apparatus 10 is stopped and when the contact start / stop is performed, although the stability during floating is improved. It is strongly pressed against the disk 12. This allows
When stopped, the magnetic head 1 is moved by the spring arm 17.
Is attracted by being pressed by the magnetic disk 12, and when the magnetic disk 12 starts rotating, the magnetic head 1
May be damaged. Furthermore, the spring arm 17
In order to obtain a structure having a large spring pressure, the spring arm 17 must be upsized, which hinders downsizing of the device 10 and leads to an increase in cost. Due to the heavy weight of the slider 3, the magnetic head 1
The inertial gravity when moving the VCM16 increases,
It is difficult to secure a stable flying height of the slider 3 in response to surface wobbling of the magnetic disk 12 or acceleration from the outside (that is, the trackability of the disk is poor).
【０００９】以上のように従来の磁気ヘッド１は、スラ
イダ３の構造に起因して種々の問題点を有していた。一
方、従来の磁気ヘッド１は、その製造方法においても次
に述べるような問題点を有していた。 従来の磁気ヘッド１は、先ず断面矩形状の空気溝
６，７が形成され、その後に各空気ベアリング面４，５
及び空気溝６，７の角部６ａ〜９ａに面取り加工が行わ
れていたため、製造工程が複雑化してしまう（これにつ
いては後に詳述する）。 空気ベアリング面４，５は精度の高い平坦性を要求
されるが、スライダ３の形状が大きいことに起因して空
気ベアリング面４，５の面積も大となり、このように広
い面積を有する空気ベアリング面４，５を精度良く平坦
に加工するのは困難である。As described above, the conventional magnetic head 1 has various problems due to the structure of the slider 3. On the other hand, the conventional magnetic head 1 also has the following problems in its manufacturing method. In the conventional magnetic head 1, first, the air grooves 6, 7 having a rectangular cross section are formed, and then the air bearing surfaces 4, 5 are formed.
Since the corners 6a to 9a of the air grooves 6 and 7 are chamfered, the manufacturing process is complicated (this will be described later in detail). Although the air bearing surfaces 4 and 5 are required to have high precision flatness, the area of the air bearing surfaces 4 and 5 also becomes large due to the large shape of the slider 3, and thus the air bearing having such a large area. It is difficult to accurately process the surfaces 4 and 5 to be flat.
【００１０】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、低コスト化，浮上特性の安定化及び製造工程の簡
単化等を図り得る磁気ヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a magnetic head and a method of manufacturing the same, which can reduce the cost, stabilize the flying characteristics, and simplify the manufacturing process. To do.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、磁気ヘッドの構造を、少なくとも一部が
磁性材により形成されると共に浮動を行うための空気ベ
アリング面が形成されてなるスライダと、磁性材よりな
りスライダの上記磁性材配設部位と突き合わされて磁気
ギャップを形成するヨークとにより構成されており、上
記スライダとヨークを合わせた長手方向の長さをＡ、上
記スライダの幅方向の長さをＢとしたとき、上記長さＡ
に対する長さＢの比（Ｂ／Ａ）を 0.4〜 0.2に設定する
と共に、該スライダに浮上時における安定化を図るため
の一対のＶ字溝を該磁気ギャップを挟んで形成したこと
を特徴とするものである。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the structure of a magnetic head comprises at least a part formed of a magnetic material and an air bearing surface for floating. The slider and a yoke that is made of a magnetic material and abuts on the magnetic material-disposed portion of the slider to form a magnetic gap, and the total length of the slider and the yoke in the longitudinal direction is A. When the length in the width direction is B, the above length A
The ratio (B / A) of the length B to the length is set to 0.4 to 0.2, and a pair of V-shaped grooves for stabilizing the flying are formed on the slider so as to sandwich the magnetic gap. To do.
【００１２】また、磁気ヘッドの製造方法においては、
少なくとも一部が磁性材により形成されると共に浮動を
行うための空気ベアリング面が形成されてなるスライダ
を、磁性材よりなるヨークに接合することにより磁気ギ
ャップを形成した後、上記磁気ギャップ形成位置を挟ん
で一対のＶ字溝を形成することにより磁気ギャップの幅
を所定トラック幅とすることを特徴とするものである。In the method of manufacturing the magnetic head,
After forming a magnetic gap by joining a slider, at least a part of which is made of a magnetic material and having an air bearing surface for floating, to a yoke made of a magnetic material, the magnetic gap formation position is set. It is characterized in that the width of the magnetic gap is set to a predetermined track width by forming a pair of V-shaped grooves sandwiched therebetween.
【００１３】[0013]
【作用】スライダとヨークを合わせた長手方向の長さを
Ａ、上記スライダの幅方向の長さをＢとしたときの長さ
Ａに対する長さＢの比（Ｂ／Ａ）を 0.4〜 0.2に設定す
ることにより、磁気ヘッドの長手方向の全長に対して幅
寸法、即ちスライダの幅寸法は小さくなる。また、周知
のように浮上型磁気ヘッドの長手方向の全長Ａは、浮上
時におけるピッチング（図１７に矢印で示す方向の揺れ
をいう）を低減させる点より所定の長さ（略4.0mm)以上
とすることはできない。従って、上記構成とすることに
より、磁気ヘッドの形状は小さくなる。The ratio (B / A) of the length B to the length A is 0.4 to 0.2, where A is the total length in the longitudinal direction of the slider and yoke and B is the length in the width direction of the slider. By setting the width, the width, that is, the width of the slider becomes smaller than the entire length of the magnetic head in the longitudinal direction. Further, as is well known, the total length A in the longitudinal direction of the floating magnetic head is a predetermined length (approximately 4.0 mm) or more from the point of reducing pitching during flying (referred to as shaking in the direction indicated by the arrow in FIG. 17). Can not be. Therefore, with the above configuration, the shape of the magnetic head becomes smaller.
【００１４】上記のようにスライダの幅寸法が小さくな
り、これに伴い磁気ヘッドの形状が小さくなることによ
り、材料費が安くなり製品コストの低減を図ることがで
きる。また、磁気ヘッドが磁気ディスク上の移動限位置
に達した時におけるデッドスペースを小さくすることが
できるため、磁気ディスクの利用効率を向上させること
ができる。As described above, the width of the slider is reduced and the shape of the magnetic head is reduced accordingly, so that the material cost is reduced and the product cost can be reduced. Further, since the dead space when the magnetic head reaches the movement limit position on the magnetic disk can be reduced, the utilization efficiency of the magnetic disk can be improved.
【００１５】また、スライダの幅寸法が小さくなること
により、浮上時におけるロールの発生を抑制でき、安定
した浮上を実現できる。また、空気ベアリング面の面積
も小さくなるため、スプリングアームのバネ圧を小さく
設定することが可能となり、よって磁気ディスクの回転
開始時における磁気ヘッドの損傷発生を防止でき、更に
はスプリングアームの小型化を図ることができる。加え
て、スライダの重量が軽くなることにより、磁気ヘッド
を磁気ディスク上で移動させる際の慣性重力は小さくな
り、よってスライダの安定した浮上動作を確保すること
ができる。Further, since the width of the slider is reduced, it is possible to suppress the generation of rolls at the time of flying, and to realize stable flying. Also, since the area of the air bearing surface is also small, it is possible to set the spring pressure of the spring arm to a small value, thus preventing damage to the magnetic head at the start of rotation of the magnetic disk, and further reducing the size of the spring arm. Can be achieved. In addition, since the weight of the slider is reduced, the inertial gravity when moving the magnetic head on the magnetic disk is reduced, and thus a stable floating operation of the slider can be secured.
【００１６】[0016]
【実施例】次に発明の実施例について図面と共に説明す
る。図１及び図２は本発明の一実施例である磁気ヘッド
２０を示している。各図に示される磁気ヘッド２０はハ
ードディスクドライブ装置に搭載されるものであり、記
録再生時には磁気ディスクの回転によりディスク面より
若干浮上し、この状態で記録再生処理を行う構成の磁気
ヘッドである。この磁気ヘッド２０は、大略するとヨー
ク２１及びスライダ２２とにより構成されている（尚、
図２にはコイルボビン２３が配設された磁気ヘッド２０
を示している）。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 1 and 2 show a magnetic head 20 which is an embodiment of the present invention. The magnetic head 20 shown in each drawing is mounted on a hard disk drive device, and is a magnetic head configured to perform recording / reproduction processing in such a state that it slightly floats above the disk surface due to rotation of the magnetic disk during recording / reproduction. The magnetic head 20 is roughly composed of a yoke 21 and a slider 22.
FIG. 2 shows a magnetic head 20 provided with a coil bobbin 23.
Is shown).
【００１７】ヨーク２１はフェライトにより構成されて
おり、コイル巻回用溝２４を形成することにより、側面
から見て略コ字状の形状に成形されている。また、その
上部の磁気ディスクと対向する位置は、後述する溝加工
により所定のトラック幅（各図に、矢印Ｄで示す）に形
成されている。The yoke 21 is made of ferrite and is formed into a substantially U shape when viewed from the side by forming a coil winding groove 24. Further, a position facing the magnetic disk on the upper side is formed with a predetermined track width (indicated by an arrow D in each figure) by groove processing described later.
【００１８】一方、スライダ２２はヨーク２１と同様に
フェライトにより形成されており、磁気ディスク上で磁
気ヘッド２０が浮動するよう空気ベアリング面２５，２
６が形成されると共に、この空気ベアリング面２５，２
６の間位置には浮動時に空気が流通することにより磁気
ヘッド２０の安定化を図る断面Ｖ字状のＶ字溝２７，２
８が形成されている。また、スライダ２２の中央位置に
はヨーク２１と一体的に連続したセンターレール２９が
形成されている。このセンターレール２９も後述するよ
うに一対のＶ字溝２７，２８加工を行うことにより同時
に形成される。尚、３０，３１は記録再生処理時に磁気
ディスクが回転することにより発生する空気の流れを空
気ベアリング面２５，２６に導くための傾斜面である。On the other hand, the slider 22 is made of ferrite similarly to the yoke 21, and the air bearing surfaces 25 and 2 are arranged so that the magnetic head 20 floats on the magnetic disk.
6 is formed and the air bearing surfaces 25, 2
At the position between 6, the air flows during the floating, so that the magnetic head 20 is stabilized and V-shaped grooves 27 and 2 having a V-shaped cross section are provided.
8 is formed. Further, a center rail 29 integrally formed with the yoke 21 is formed at a central position of the slider 22. The center rail 29 is also simultaneously formed by processing a pair of V-shaped grooves 27, 28 as described later. Reference numerals 30 and 31 are inclined surfaces for guiding the air flow generated by the rotation of the magnetic disk during the recording / reproducing processing to the air bearing surfaces 25 and 26.
【００１９】上記構成を有するヨーク２１とスライダ２
２は、ギャップ形成位置に非磁性材のギャップ材を介在
させた上で例えば低融点ガラス等の接合材３２，３３
（梨地で示す）により接合されて、磁気ギャップ３４が
形成されると共に図１，図２に示す磁気ヘッド２０が形
成される。The yoke 21 and the slider 2 having the above structure
2 is a bonding material 32, 33 made of, for example, low-melting-point glass or the like, with a non-magnetic material gap material interposed at the gap formation position.
The magnetic gap 34 is formed by joining (shown in satin) and the magnetic head 20 shown in FIGS. 1 and 2 is formed.
【００２０】上記構成を有する磁気ヘッド２０はその形
状及び寸法に特徴を有する。以下、磁気ヘッド２０の形
状及び寸法について、前記の図１，図２に加えて図３，
図４を用いて説明する。The magnetic head 20 having the above structure is characterized by its shape and dimensions. Hereinafter, the shape and dimensions of the magnetic head 20 will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.
【００２１】図３は、本発明に係る磁気ヘッド２０の形
状及び大きさを従来構成の磁気ヘッドと比較して示した
図である。同図において、（Ａ）で示すのは従来におけ
るモノリシックタイプの磁気ヘッドであり、先に図１５
を用いて説明した磁気ヘッド１と同一構成を有するもの
である（図１５で示した構成と同一構成については同一
符号を付してある）。また、（Ｂ）で示すのは従来にお
けるコンポジットタイプの磁気ヘッド３５である。この
コンポジットタイプの磁気ヘッド３５は、磁気ヘッドと
して機能する磁気ヘッドコア３６と、この磁気ヘッドコ
ア３６を装着する装着溝３７を有したセラミック製のス
ライダ３８とにより構成されており、装着溝３７に磁気
ヘッドコア３６をガラス材等で装着固定した構造とされ
ている。更に、（Ｃ）で示すのは本発明に係る磁気ヘッ
ド２０である。FIG. 3 is a diagram showing the shape and size of the magnetic head 20 according to the present invention in comparison with a conventional magnetic head. In FIG. 15, (A) shows a conventional monolithic type magnetic head.
The magnetic head 1 has the same configuration as that described with reference to FIG. 15 (the same components as those shown in FIG. 15 are designated by the same reference numerals). Further, (B) shows a conventional composite type magnetic head 35. The composite type magnetic head 35 includes a magnetic head core 36 functioning as a magnetic head and a ceramic slider 38 having a mounting groove 37 into which the magnetic head core 36 is mounted. It has a structure in which 36 is attached and fixed with a glass material or the like. Further, (C) shows the magnetic head 20 according to the present invention.
【００２２】図３においては、各磁気ヘッド１，３５，
２０の寸法を同一の縮尺にて示しており、従って同図に
より各磁気ヘッド１，３５，２０の大きさを判断するこ
とができる。同図より、本発明に係る磁気ヘッド２０
は、従来の各磁気ヘッド１，３６に比べて大幅に小型化
されていることが判る。In FIG. 3, each magnetic head 1, 35,
The size of the magnetic heads 1, 35, and 20 can be determined by referring to the drawing, since the size of the magnetic heads 20 is shown at the same scale. From the figure, the magnetic head 20 according to the present invention
It can be seen that is much smaller than the conventional magnetic heads 1 and 36.
【００２３】図４は、本発明に係る磁気ヘッド２０が小
型化されたことを定量的に示すための図であり、図３に
矢印で示す各寸法，縦横比，各部の面積，及び重量をま
とめて示してある。図３に示されるように、ヨーク２１
とスライダ２２とを合わせた長手方向の長さをＡ、スラ
イダ２２の幅方向の長さをＢとしたとき、本発明に係る
磁気ヘッド２０は上記長さＡに対する長さＢの比である
縦横比（Ｂ／Ａ）は0.26となっており、従来の磁気ヘッ
ド１，３５が0.65、0.71であるのに比べて小さな値とな
っている。FIG. 4 is a diagram for quantitatively showing that the magnetic head 20 according to the present invention has been miniaturized. The dimensions, the aspect ratio, the area of each part, and the weight indicated by arrows in FIG. It is shown collectively. As shown in FIG. 3, the yoke 21
When the total length of the slider 22 and the slider 22 in the longitudinal direction is A, and the length of the slider 22 in the width direction is B, the magnetic head 20 according to the present invention is the ratio of the length B to the length A. The ratio (B / A) is 0.26, which is a small value compared to 0.65 and 0.71 for the conventional magnetic heads 1 and 35.
【００２４】一方、周知のように浮上型磁気ヘッドの長
手方向の全長Ａは、浮上時におけるピッチング（図２
（Ｂ）に矢印Ｘで示す方向の揺れをいう）を低減させる
点より所定の長さ（略4.0mm)以上とすることはできな
い。即ち、これ以上全長Ａを長くすると、微小なピッチ
ングの発生によっても磁気ヘッドは磁気ディスクに衝突
してしまうからである。また、逆に全長Ａを所定の長さ
（略4.0mm)以下とすると、十分な浮上力が得られないこ
とが知られている。従って、浮上型磁気ヘッドにおいて
は、長手方向の全長Ａは4.0mm 前後の長さに設定せざる
おえない。よって、従来の磁気ヘッド１，３５において
も、また本発明に係る磁気ヘッド２０においても長手方
向の全長Ａは略4.0mm 程度に選定されており、この長手
方向の全長Ａについては従来構成の磁気ヘッド１，３５
も本発明に係る磁気ヘッド２０も大きく変わるところは
ない。On the other hand, as is well known, the total length A of the floating magnetic head in the longitudinal direction is determined by the pitching during the floating (see FIG. 2).
From the point of reducing the fluctuation in the direction indicated by the arrow X in (B), the length cannot be set to a predetermined length (approximately 4.0 mm) or more. That is, if the total length A is made longer than this, the magnetic head collides with the magnetic disk even if minute pitching occurs. On the contrary, it is known that if the total length A is a predetermined length (approximately 4.0 mm) or less, a sufficient levitation force cannot be obtained. Therefore, in the flying type magnetic head, the total length A in the longitudinal direction must be set to about 4.0 mm. Therefore, in the conventional magnetic heads 1 and 35 as well as in the magnetic head 20 according to the present invention, the total length A in the longitudinal direction is selected to be about 4.0 mm. Head 1,35
However, the magnetic head 20 according to the present invention does not change much.
【００２５】このように、長手方向の全長Ａが略同一で
あるにも拘わらず、磁気ヘッド１，３５に比べて本発明
に係る磁気ヘッド２０は縦横比（Ｂ／Ａ）が小さく設定
されているため、本発明に係る磁気ヘッド２０のスライ
ダ２２の幅寸法Ｂは従来構成の磁気ヘッド１，３５に比
べて小さくなっている。具体的には、従来構成の磁気ヘ
ッド１，３５の幅寸法が2.230mm,2.235mm であったのに
対し、本発明に係る磁気ヘッド２０の幅寸法は0.838mm
とされている。As described above, the magnetic head 20 according to the present invention is set to have a smaller aspect ratio (B / A) than the magnetic heads 1 and 35, although the longitudinal total length A is substantially the same. Therefore, the width dimension B of the slider 22 of the magnetic head 20 according to the present invention is smaller than that of the magnetic heads 1 and 35 having the conventional configuration. Specifically, while the width dimensions of the magnetic heads 1 and 35 of the conventional configuration are 2.230 mm and 2.235 mm, the width dimension of the magnetic head 20 according to the present invention is 0.838 mm.
It is said that.
【００２６】上記の如くスライダ２２の幅寸法を小さく
すると、これに伴い空気ベアリング面２５，２６の面積
も小となり、磁気ヘッド２０の浮上力が低下することが
考えられる。そこで本発明者は、本発明に係る磁気ヘッ
ド２０をハードディスク装置に実装し、その浮上特性を
測定した。その結果を図５に示す。If the width of the slider 22 is reduced as described above, the areas of the air bearing surfaces 25 and 26 are reduced accordingly, and the flying force of the magnetic head 20 may be reduced. Therefore, the present inventor mounted the magnetic head 20 according to the present invention in a hard disk device and measured its flying characteristics. The result is shown in FIG.
【００２７】同図において、実線で示すのは従来構成の
磁気ヘッド１（モノリシックタイプを用いた）の浮上特
性を示しており、一点鎖線で示すのは本発明に係る磁気
ヘッド２０の浮上特性を示している。この実験結果よ
り、本発明に係る磁気ヘッド２０は従来構成の磁気ヘッ
ド１に比べて同一走行速度における浮上量は少ないもの
の、浮上していることが判る。また浮上量は走行速度が
10m/sec において85nmであり、ハードディスク装置の磁
気ヘッドとして十分な浮上特性を実現している。In the figure, the solid line shows the levitation characteristics of the magnetic head 1 (using a monolithic type) of the conventional structure, and the one-dot chain line shows the levitation characteristics of the magnetic head 20 according to the present invention. Shows. From this experimental result, it can be seen that the magnetic head 20 according to the present invention has a smaller flying amount at the same traveling speed than the magnetic head 1 having the conventional structure, but is flying. In addition, the flying speed depends on the running speed
It is 85 nm at 10 m / sec, which realizes sufficient levitation characteristics as a magnetic head for hard disk drives.
【００２８】このようにスライダ２２の幅寸法を小さく
し、これに伴い空気ベアリング面２５，２６の面積が小
さくなっても磁気ヘッド２０が確実に浮上するのは、ス
ライダ２２の小型化に伴い磁気ヘッド２０の重量も低減
していることに起因しているものと思われる。また、本
発明者の実験では、ハードディスク装置の磁気ヘッドと
して十分な浮上特性を実現できるのは、上記の縦横比
（Ｂ／Ａ）が 0.2以上の範囲であった。縦横比（Ｂ／
Ａ）が 0.2未満において十分な浮上特性が実現できない
のは、縦横比（Ｂ／Ａ）が 0.2未満となると空気ベアリ
ング面の面積が小さくなりすぎ、浮上力が得られなくな
ることに起因すると思われる。As described above, the magnetic head 20 reliably floats even if the width of the slider 22 is reduced and the areas of the air bearing surfaces 25 and 26 are reduced accordingly. It is thought that this is because the weight of the head 20 is also reduced. In addition, in the experiments conducted by the inventor of the present invention, it was only when the above aspect ratio (B / A) was 0.2 or more that the sufficient flying characteristics could be realized as the magnetic head of the hard disk drive. Aspect ratio (B /
When A) is less than 0.2, it is considered that sufficient levitation characteristics cannot be realized because when the aspect ratio (B / A) is less than 0.2, the area of the air bearing surface becomes too small and the levitation force cannot be obtained. .
【００２９】一方、従来の磁気ヘッドでは浮上量が大き
くなり過ぎる傾向があり、スプリングアーム１７のバネ
定数を適宜調整することにより低浮上量化を図ってい
た。これは、浮上量が大きくなり磁気ヘッドと磁気ディ
スクとの離間距離が大きくなると、記録再生特性が劣化
することによる。しかるに、本発明に係る磁気ヘッド２
０は低い浮上距量で安定化するため、上記のような面倒
な調整作業を不要とすることができ、容易に良好な磁気
記録再生特性を得ることができる。本発明者の実験で
は、このように磁気ヘッドの低浮上量化を実現できるの
は、上記の縦横比（Ｂ／Ａ）が 0.4以下の範囲であっ
た。縦横比（Ｂ／Ａ）が 0.4を越えると、浮上特性は従
来の磁気ヘッドと近似した特性となり、浮上力が大とな
るためスプリングアーム１７の調整等が必要となる。On the other hand, the flying height of the conventional magnetic head tends to be too large, and the flying height is reduced by appropriately adjusting the spring constant of the spring arm 17. This is because the recording / reproducing characteristics deteriorate when the flying height increases and the distance between the magnetic head and the magnetic disk increases. However, the magnetic head 2 according to the present invention
Since 0 stabilizes at a low flying distance, the troublesome adjustment work as described above is unnecessary, and good magnetic recording / reproducing characteristics can be easily obtained. In the experiments conducted by the inventor of the present invention, the reduction in the flying height of the magnetic head can be realized in the range of the aspect ratio (B / A) of 0.4 or less. When the aspect ratio (B / A) exceeds 0.4, the levitation characteristic becomes similar to that of the conventional magnetic head, and the levitation force becomes large, so that the spring arm 17 needs to be adjusted.
【００３０】また、上記の如くスライダ２２の幅寸法を
小さくすることにより、磁気ヘッド２０の機械的強度が
弱くなり、信頼性の低下が生じることが考えられる。特
に、浮上型の磁気ヘッドにおいては、磁気ディスクとの
対向面に浮上時における磁気ヘッドの安定化を図るため
の空気溝を形成せねばならないため、この対向面におけ
る機械的強度が問題となる。しかるに、本発明に係る磁
気ヘッド２０では、この空気溝をＶ字溝２７，２８とす
ることにより上記の問題点を解決している。これについ
て、図６を用いて説明する。Further, by reducing the width of the slider 22 as described above, it is considered that the mechanical strength of the magnetic head 20 is weakened and the reliability is lowered. In particular, in a flying type magnetic head, an air groove for stabilizing the magnetic head at the time of flying must be formed in the surface facing the magnetic disk, so that the mechanical strength of this facing surface becomes a problem. However, in the magnetic head 20 according to the present invention, the above-mentioned problems are solved by using the air grooves as the V-shaped grooves 27 and 28. This will be described with reference to FIG.
【００３１】図６（Ａ）は、本発明に係る磁気ヘッド２
０を示す図２における左側面図である。同図に示される
ように、スライダ２０の磁気ディスクとの対向面には一
対のＶ字溝２７，２８が形成されている。いま、仮に本
発明の如く幅寸法が小さい磁気ディスク２０において、
Ｖ字溝２７，２８に代えて断面矩形の矩形溝３９を形成
した場合を同図（Ｂ）に、また同様にＶ字溝２７，２８
に代えて断面Ｕ字状のＵ字溝４０を形成した場合を同図
（Ｃ）に夫々示す。尚、この矩形溝３９及びＵ字溝４０
は、従来における磁気ヘッドにおいて空気溝として一般
に用いられているものである。FIG. 6A shows a magnetic head 2 according to the present invention.
It is a left side view in FIG. 2 which shows 0. As shown in the figure, a pair of V-shaped grooves 27 and 28 are formed on the surface of the slider 20 facing the magnetic disk. Now, assuming that the magnetic disk 20 having a small width dimension as in the present invention,
A case where a rectangular groove 39 having a rectangular cross section is formed instead of the V-shaped grooves 27 and 28 is shown in FIG.
Instead of the above, a case where a U-shaped groove 40 having a U-shaped cross section is formed is shown in FIG. The rectangular groove 39 and the U-shaped groove 40
Is generally used as an air groove in a conventional magnetic head.
【００３２】矩形溝３９及びＵ字溝４０を形成した磁気
ヘッドでは、Ｖ字溝２７，２８を設けた磁気ヘッドに比
べて図中ハッチングで示す部分が取り除かれたと等しい
構造である。従って、矩形溝３９及びＵ字溝４０を形成
した磁気ヘッドは、Ｖ字溝２７，２８を設けた磁気ヘッ
ドに比べて機械的強度は弱く、特に同図（Ｂ），（Ｃ）
に矢印Ｈで示す部位の強度が弱くなっている。これに対
して、Ｖ字溝２７，２８を設けた本発明に係る磁気ヘッ
ド２０では、強度が弱くなりがちな部位Ｈが参照符号２
７-1，２８-1で示す部分により補強された構造となるっ
ている。従って、スライダ２２の幅寸法を小さくしても
磁気ヘッド２０の機械的強度は維持されており、磁気ヘ
ッド２０の信頼性が低下するようなことはない。The magnetic head having the rectangular groove 39 and the U-shaped groove 40 has the same structure as that of the magnetic head having the V-shaped grooves 27 and 28 in which the hatched portion in the drawing is removed. Therefore, the magnetic head in which the rectangular groove 39 and the U-shaped groove 40 are formed has a lower mechanical strength than the magnetic head in which the V-shaped grooves 27 and 28 are provided, and particularly, FIGS.
The strength of the portion indicated by the arrow H is weakened. On the other hand, in the magnetic head 20 according to the present invention in which the V-shaped grooves 27 and 28 are provided, the portion H, which is apt to be weak in strength, is denoted by reference numeral 2.
The structure is reinforced by the parts indicated by 7-1 and 28-1. Therefore, even if the width of the slider 22 is reduced, the mechanical strength of the magnetic head 20 is maintained and the reliability of the magnetic head 20 does not deteriorate.
【００３３】上記の如く構成された磁気ヘッド２０で
は、スライダ２２の幅寸法Ｂが小さくなり、これに伴い
磁気ヘッド２０の形状が小さくなることにより、磁気ヘ
ッド２０を形成するために要するフェライトの量を少な
くすることができ、よって材料費が安くなり製品コスト
の低減を図ることができる。また、これに加えて磁気ヘ
ッド２０が磁気ディスク上の移動限位置（図１６におけ
るＡ１方向限或いはＡ２方向限）に達した時におけるデ
ッドスペースを小さくすることができるため、磁気ディ
スクの磁気記録領域を大きくすることができ、磁気ディ
スクの利用効率を向上させることができる。In the magnetic head 20 constructed as described above, the width dimension B of the slider 22 becomes smaller, and the shape of the magnetic head 20 becomes smaller accordingly, so that the amount of ferrite required to form the magnetic head 20 is reduced. Therefore, the material cost can be reduced and the product cost can be reduced. In addition to this, the dead space when the magnetic head 20 reaches the movement limit position (A1 direction limit or A2 direction limit in FIG. 16) on the magnetic disk can be reduced, so that the magnetic recording area of the magnetic disk. Can be increased and the utilization efficiency of the magnetic disk can be improved.
【００３４】また、スライダ２２の幅寸法が小さくな
り、これに伴い空気ベアリング面２５，２６の面積が小
さくなることにより、各空気ベアリング面２５，２６に
作用する空気の流れのバラツキを低減でき、浮上時にお
けるロール（図２（Ｃ）に矢印Ｙで示す方向の揺れをい
う）の発生が抑制され、安定した浮上を実現できる。更
に、空気ベアリング面２５，２６の面積が小さくなるこ
とにより、スプリングアーム１７のバネ圧を小さく設定
することが可能となり、よって磁気ディスクの回転開始
時における磁気ヘッド２０の損傷発生を防止でき、加え
てスプリングアームの小型化を図ることができる。Further, since the width of the slider 22 is reduced and the area of the air bearing surfaces 25, 26 is reduced accordingly, the variation in the air flow acting on the air bearing surfaces 25, 26 can be reduced. The occurrence of rolls (referred to as shaking in the direction indicated by the arrow Y in FIG. 2C) at the time of floating is suppressed, and stable floating can be realized. Further, since the areas of the air bearing surfaces 25 and 26 are reduced, it is possible to set the spring pressure of the spring arm 17 to be small, thereby preventing the magnetic head 20 from being damaged at the start of rotation of the magnetic disk. The spring arm can be downsized.
【００３５】一方、スライダ２２の幅寸法が小さくなり
磁気ヘッド２０が小型化することにより、磁気ヘッド２
０の自重も従来に比べて軽くなる。具体的には、図４に
示されるように、従来構成の磁気ヘッド１，３５では2
0.1mg或いは16.1mgあった自重が本発明に係る磁気ヘッ
ド２０では6.4mg と低減される。これにより、磁気ヘッ
ド２０を磁気ディスク上で移動させる際の慣性重力は小
さくなり、よってスライダ２２の安定した浮上動作を確
保することができる。On the other hand, since the width of the slider 22 is reduced and the magnetic head 20 is downsized, the magnetic head 2
The own weight of 0 is also lighter than the conventional one. Specifically, as shown in FIG. 4, in the conventional magnetic heads 1 and 35, 2
The self-weight of 0.1 mg or 16.1 mg is reduced to 6.4 mg in the magnetic head 20 according to the present invention. As a result, the inertial gravitational force when moving the magnetic head 20 on the magnetic disk is reduced, and thus a stable floating operation of the slider 22 can be ensured.
【００３６】続いて、上記構成とされた磁気ヘッド２０
の製造方法について説明する。尚、磁気ヘッド２０の製
造工程において、フェライトブロックよりヨーク２１及
びスライダ２２を製造する工程，ヨーク２１とスライダ
２２を接合し磁気ギャップを形成する工程等の大部分の
工程は従来用いられている工程と同一であるため、以下
の説明においては、本発明の特徴となるＶ字溝の形成工
程について詳述し、他の工程についてはその説明を省略
するものとする。Subsequently, the magnetic head 20 having the above structure
The manufacturing method of will be described. In the manufacturing process of the magnetic head 20, most of the processes such as the process of manufacturing the yoke 21 and the slider 22 from the ferrite block and the process of joining the yoke 21 and the slider 22 to form a magnetic gap are conventionally used. Therefore, in the following description, the step of forming the V-shaped groove, which is a feature of the present invention, will be described in detail, and the description of the other steps will be omitted.
【００３７】図７及び図８は、本発明方法の特徴となる
Ｖ字溝２７，２８の形成工程を、従来の空気溝６，７の
形成工程と比較して示す図である。各図において、
（Ａ）で示すのは従来の空気溝６，７の形成工程であ
り、（Ｂ）で示すのは本発明方法によるＶ字溝２７，２
８の形成工程である。説明の便宜上、先ず従来の空気溝
６，７の形成工程について図７（Ａ）及び図８（Ａ）を
用いて説明する。7 and 8 are views showing the process of forming the V-shaped grooves 27 and 28, which is a feature of the method of the present invention, in comparison with the conventional process of forming the air grooves 6 and 7. In each figure,
Shown in (A) is a conventional process for forming the air grooves 6, 7, and shown in (B) is a V-shaped groove 27, 2 formed by the method of the present invention.
8 is a forming process. For convenience of description, first, a conventional process of forming the air grooves 6 and 7 will be described with reference to FIGS. 7 (A) and 8 (A).
【００３８】空気溝６，７を形成するには、先ず第１の
加工装置にワーク（溝加工前の磁気ヘッドをいう）を装
着する（第１工程）。続いて、空気溝６の溝加工を行い
（第２工程。尚、図７において、各工程により形成され
る部位に二点鎖線を付し、合わせて工程番号を付す）、
次に空気溝７の溝加工を行う（第３工程）。空気溝６，
７の加工が終了すると、ワークを第２の加工装置に装着
する（第４工程）。To form the air grooves 6 and 7, first, a work (referred to as a magnetic head before groove processing) is mounted on the first processing device (first step). Subsequently, the air groove 6 is processed (second step. In addition, in FIG. 7, a part formed by each step is indicated by a chain double-dashed line and a step number is also added).
Next, the air grooves 7 are processed (third step). Air groove 6,
When the machining of 7 is completed, the work is mounted on the second machining device (fourth step).
【００３９】第２の加工装置では、空気溝７の傾斜面の
形成加工を行う（第５工程）。続いて、ワークを１８０
度反転して第２の加工装置に再び装着し（第６工程）、
空気溝６の傾斜面の形成加工を行う（第７工程）。In the second processing apparatus, the inclined surface of the air groove 7 is formed (fifth step). Then, work 180
Reversed and reattached to the second processing device (sixth step),
Formation processing of the inclined surface of the air groove 6 is performed (seventh step).
【００４０】上記傾斜面加工が終了すると、ワークは第
２の加工装置から取り外され、第３の加工装置に装着さ
れる（第８工程）。第３の加工装置にワークが装着され
ると、センターレール２ａに第１の傾斜面が加工され
（第９工程）、続いてワークを１８０度反転（第１０工
程）した上で、センターレール２ａの第２の傾斜面の加
工を行う（第１１工程）。When the processing of the inclined surface is completed, the work is removed from the second processing device and mounted on the third processing device (eighth step). When the work is mounted on the third processing device, the first inclined surface is processed on the center rail 2a (the ninth step), the work is subsequently inverted by 180 degrees (the tenth step), and then the center rail 2a is processed. The second inclined surface is processed (11th step).
【００４１】上記の如く第１及び第２の傾斜面の加工が
終了すると、ワークは第４の加工装置に装着され（第１
２工程）、センターレール２ａに形成された第１の傾斜
面に対し鏡面研磨加工が実施される（第１３工程）。続
いて、ワークを１８０度反転して第４の加工装置に再び
装着し（第１４工程）、センターレール２ａに形成され
た第２の傾斜面に対し鏡面研磨加工が実施される（第１
５工程）。When the processing of the first and second inclined surfaces is completed as described above, the work is mounted on the fourth processing device (first processing).
(2 step), mirror polishing is performed on the first inclined surface formed on the center rail 2a (13th step). Subsequently, the work is inverted by 180 degrees and mounted again on the fourth processing apparatus (14th step), and mirror polishing is performed on the second inclined surface formed on the center rail 2a (first step).
5 steps).
【００４２】上記のように、従来の空気溝６，７の形成
方法では、溝形成を行うまでに１５もの工程を必要とし
製造工程が複雑であり製造効率が悪く、またこれに起因
して製品コストが上昇してしまうという問題点があっ
た。更に、空気溝６，７の形成に必要とする加工装置も
４台必要であり、各加工装置に対してワークの装着及び
取り外し作業が必要となり、これによっても製造効率の
悪化及び製品コストの上昇が生じてしまう。As described above, the conventional method for forming the air grooves 6 and 7 requires as many as 15 steps before forming the grooves, and the manufacturing process is complicated and the manufacturing efficiency is poor. There was a problem that the cost would rise. Furthermore, four processing devices are required to form the air grooves 6 and 7, and work mounting and dismounting work is required for each processing device, which also deteriorates manufacturing efficiency and increases product cost. Will occur.
【００４３】次に、本発明方法の特徴となるＶ字溝２
７，２８の形成工程について図７（Ｂ）及び図８（Ｂ）
を用いて説明する。Next, the V-shaped groove 2 which is a feature of the method of the present invention.
7 (B) and 8 (B) regarding the formation process of 7, 28
Will be explained.
【００４４】Ｖ字溝２７，２８を形成するには、先ず第
１の加工装置にワークを装着する（第１工程）。続い
て、Ｖ字溝２７の溝加工を行い（第２工程）、これによ
り空気ベアリング面２５寄りの傾斜面と、センターレー
ル２９の第１の傾斜面とを同時に加工する。このＶ字溝
２７の溝加工が終了すると、ワークを第１の加工装置に
維持させたままＶ字溝２８の溝加工を行う（第３工
程）。このＶ字溝２８の溝加工により空気ベアリング面
２６寄りの傾斜面と、センターレール２９の第２の傾斜
面が同時に加工される。To form the V-shaped grooves 27, 28, first, the work is mounted on the first processing device (first step). Subsequently, the V-shaped groove 27 is processed (second step), whereby the inclined surface near the air bearing surface 25 and the first inclined surface of the center rail 29 are simultaneously processed. When the machining of the V-shaped groove 27 is completed, the machining of the V-shaped groove 28 is performed while the work is kept in the first machining device (third step). By the groove processing of the V-shaped groove 28, the inclined surface near the air bearing surface 26 and the second inclined surface of the center rail 29 are simultaneously processed.
【００４５】本発明方法によれば、以上の３工程により
空気溝として機能するＶ字溝２７，２８が形成され、合
わせて磁気ギャップ３４近傍におけるトラック幅が所定
の幅Ｄに規制される。即ち本発明によれば、空気溝とし
て機能するばかりではなくトラック幅規制溝としても機
能するＶ字溝２７，２８を僅か３工程により形成するこ
とができる。According to the method of the present invention, the V-shaped grooves 27 and 28 functioning as air grooves are formed by the above three steps, and the track width in the vicinity of the magnetic gap 34 is also regulated to the predetermined width D. That is, according to the present invention, the V-shaped grooves 27 and 28 that function not only as the air groove but also as the track width regulating groove can be formed in only three steps.
【００４６】上記したように、従来１５の工程が必要で
あった溝加工の工程数を本発明方法によれば３工程に大
幅に減らすことができ、よって磁気ヘッド２０の製造効
率の向上及び製品コストの低減を実現することができ
る。また、本発明方法によれば、１台の加工装置でＶ字
溝２７，２８の溝加工が行えるため、加工装置に対する
ワークへの装着作業は１回だけで済む。よって、装着時
に発生するおそれのある取付誤差，位置決め誤差の発生
を抑制でき、精度の高い溝加工を行うことができる。ま
た、加工装置は１台で済み、また各Ｖ字溝２７，２８は
同一構成の溝であるため、溝加工に用いる工具（バイ
ト）も同じもので済むため、加工装置及び工具の確保及
び管理を容易化することができる。As described above, according to the method of the present invention, the number of groove machining steps, which conventionally required 15 steps, can be greatly reduced to three steps, and therefore the manufacturing efficiency of the magnetic head 20 can be improved and the product can be manufactured. Cost reduction can be realized. Further, according to the method of the present invention, since the V-shaped grooves 27 and 28 can be processed by one processing apparatus, the work for mounting the processing apparatus on the work can be performed only once. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of mounting errors and positioning errors that may occur during mounting, and it is possible to perform highly accurate groove processing. Further, since only one processing device is required, and since each V-shaped groove 27, 28 has the same configuration, the tool (bite) used for groove processing is also the same, so securing and management of the processing device and tool Can be facilitated.
【００４７】更に、前記した図４の溝断面積の値からも
判るように、各Ｖ字溝２７，２８の断面積は0.020mm2で
あり、従来の磁気ヘッド１，３５に設けられている空気
溝の断面積（0.176mm2,0.106mm2)に比べて小さいため、
工具をワーク上を１回の走査させるだけの切削加工（１
パス）のみで各Ｖ字溝２７，２８を形成することができ
る。よって、これによっても製造効率を向上させること
ができる。Further, as can be seen from the value of the groove cross-sectional area of FIG. 4, the cross-sectional area of each V-shaped groove 27, 28 is 0.020 mm 2, which is provided in the conventional magnetic heads 1, 35. Since it is smaller than the cross-sectional area of the air groove (0.176mm 2 , 0.106mm 2 ),
Cutting process that requires the tool to scan the workpiece once (1
Each V-shaped groove 27, 28 can be formed only by a pass). Therefore, also by this, the manufacturing efficiency can be improved.
【００４８】上記の如く形成されるＶ字溝２７，２８
は、前記のように磁気ヘッド浮上時における安定化を図
る空気溝、及び磁気ギャップ３４を所定トラック幅とす
るためのトラック幅規制溝として機能することに加え
て、スライダ２２を負圧スライダとする機能をも有して
いる。以下、これについて説明する。V-shaped grooves 27, 28 formed as described above
In addition to functioning as an air groove for stabilizing the magnetic head when the magnetic head is flying and a track width regulating groove for making the magnetic gap 34 have a predetermined track width as described above, the slider 22 is a negative pressure slider. It also has a function. This will be described below.
【００４９】図１６を用いて説明したように、ハードデ
ィスク装置１０は、磁気ヘッドが搭載されたアーム１５
を軸１４を中心として図中矢印Ａ１，Ａ２で示す方向に
回動変位させることにより、磁気ヘッドを磁気ディスク
上の所定のトラックに位置決めする構成とされている。
従って、磁気ヘッド２０は常に磁気ディスク１２の回転
により生じる空気の流れに沿った方向に向くのではな
く、この方向に対し斜めに磁気ヘッド２０が向く場合が
生じる。即ち、図９に示すように、空気の流れ方向（同
図に矢印Ｆで示す）が磁気ヘッド２０に形成されている
Ｖ字溝２７，２８の延在方向と異なる方向となる場合が
生じる。As described with reference to FIG. 16, the hard disk device 10 includes the arm 15 on which the magnetic head is mounted.
The magnetic head is positioned on a predetermined track on the magnetic disk by rotationally displacing the shaft 14 around the shaft 14 in the directions indicated by arrows A1 and A2 in the figure.
Therefore, the magnetic head 20 does not always face the direction along the air flow generated by the rotation of the magnetic disk 12, but the magnetic head 20 may face obliquely to this direction. That is, as shown in FIG. 9, the air flow direction (indicated by arrow F in the figure) may be different from the extending direction of the V-shaped grooves 27, 28 formed in the magnetic head 20.
【００５０】このように、Ｖ字溝２７，２８の延在方向
と異なる方向に空気が流れる場合、図１０に示すように
磁気ディスク１２の回転により流れる空気（同図中、参
照符号４０で示す）により、Ｖ字溝２７，２８内に存在
する空気は吸い出され（吸い出される空気を同図中、参
照符号４１，４２で示す）、Ｖ字溝２７，２８内には負
圧が発生する。即ち、Ｖ字溝２７，２８が設けられてい
るスライダ２２は負圧スライダーとして機能する。Thus, when the air flows in a direction different from the extending direction of the V-shaped grooves 27, 28, the air flowing by the rotation of the magnetic disk 12 as shown in FIG. 10 (indicated by reference numeral 40 in the figure). ), Air existing in the V-shaped grooves 27, 28 is sucked (the sucked air is indicated by reference numerals 41, 42 in the figure), and negative pressure is generated in the V-shaped grooves 27, 28. To do. That is, the slider 22 provided with the V-shaped grooves 27 and 28 functions as a negative pressure slider.
【００５１】上記の如く発生する負圧は、磁気ヘッド２
０を磁気ディスク１２に吸引する力として作用する。従
って、磁気ヘッド２０の浮動量は低く制御され安定した
浮上特性を得ることができ、磁気記録再生特性の安定化
を図ることができる。The negative pressure generated as described above is applied to the magnetic head 2
It acts as a force to attract 0 to the magnetic disk 12. Therefore, the floating amount of the magnetic head 20 is controlled to be low, stable flying characteristics can be obtained, and the magnetic recording / reproducing characteristics can be stabilized.
【００５２】上記した実施例では、Ｖ字溝２７，２８を
平行に且つその全体にわたり同一形状，同一深さに形成
した例を示した。しかるに、この溝形状を変化させるこ
とにより発生する負圧の値は変化する。従って、Ｖ字溝
２７，２８の溝形状を適宜選定して発生する負圧を制御
することにより、浮上時において磁気ヘッド２０をより
安定化させることができる。In the above-mentioned embodiment, the V-shaped grooves 27 and 28 are formed in parallel with each other and have the same shape and the same depth. However, the value of the negative pressure generated by changing the groove shape changes. Therefore, by properly selecting the groove shapes of the V-shaped grooves 27 and 28 to control the negative pressure generated, the magnetic head 20 can be more stabilized during the floating.
【００５３】図１１乃至図１３はＶ字溝２７，２８の溝
形状を変化させた例を示している。図１１では、Ｖ字溝
２７ａ，２８ａを同一の深さ及び同一の形状で非平行に
形成したことを特徴とするものである。また、図１２は
Ｖ字溝２７ｂ，２８ｂを平行に配設すると共にその深さ
を磁気ギャップ３４ｂに近くなるに従い深くなるよう形
成したものである。更に、図１３はＶ字溝２７ｃ，２８
ｃを平行に配設すると共にその深さを所定位置にて磁気
ギャップ３４ｃ側が深くなるよう形成したものである。11 to 13 show examples in which the groove shapes of the V-shaped grooves 27 and 28 are changed. FIG. 11 is characterized in that the V-shaped grooves 27a and 28a are formed non-parallel with the same depth and the same shape. Further, in FIG. 12, the V-shaped grooves 27b and 28b are arranged in parallel, and the depth thereof is formed so as to become closer to the magnetic gap 34b. Further, FIG. 13 shows V-shaped grooves 27c and 28.
c are arranged in parallel and the depth is formed so that the magnetic gap 34c side becomes deep at a predetermined position.
【００５４】各図に示される構成とすることにより、磁
気ギャツプ３４ａ〜３４ｃ形成位置における負圧は大き
くなり、よって磁気ギャツプ３４ａ〜３４ｃと磁気ディ
スクとの離間距離を近接することができるため、磁気記
録再生特性を向上させることができる。また、浮上特性
を調整できるため、設計時における浮上特性設計を容易
に行うことができる。With the configuration shown in each figure, the negative pressure at the magnetic gap 34a-34c forming positions becomes large, and therefore the separation distance between the magnetic gaps 34a-34c and the magnetic disk can be made close to each other. The recording / reproducing characteristics can be improved. Further, since the levitation characteristic can be adjusted, the levitation characteristic can be easily designed at the time of design.
【００５５】図１４は図１に示した磁気ヘッド２０の変
形例である磁気ヘッド５０を示している。尚、同図にお
いて図１に示した構成と同一構成については同一符号を
付してその説明を省略する。FIG. 14 shows a magnetic head 50 which is a modification of the magnetic head 20 shown in FIG. In the figure, the same components as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００５６】同図に示す磁気ヘッド５０は、スライダ５
１を二つのスライダ部５１ａ，５１ｂにより構成すると
共に、このスライダ部５１ａ，５１ｂ間に非磁性層５２
を設けたことを特徴とするものである。このように、ス
ライダ５１内に非磁性層５２を設けることにより、スラ
イダ部５１ａとスライダ部５１ｂは磁気的に分離された
構成となる。従って、実際に磁気ヘッドとして機能する
スライダ部５１ｂ及びヨーク２１のインダクタンスを低
い値とすることができるため、高周波領域における磁気
記録再生特性を向上でき高密度記録を可能とすることが
できる。また、非磁性層５２の幅寸法を適宜制御するこ
とによりインダクタンスを調整することも可能である。The magnetic head 50 shown in FIG.
1 is composed of two slider portions 51a and 51b, and the non-magnetic layer 52 is provided between the slider portions 51a and 51b.
Is provided. By thus providing the nonmagnetic layer 52 in the slider 51, the slider portion 51a and the slider portion 51b are magnetically separated. Therefore, since the inductance of the slider portion 51b and the yoke 21 that actually function as a magnetic head can be set to low values, the magnetic recording / reproducing characteristics in the high frequency region can be improved and high density recording can be realized. Further, the inductance can be adjusted by appropriately controlling the width dimension of the nonmagnetic layer 52.
【００５７】尚、上記した実施例においては、磁気ヘッ
ド２０としてモノリシックタイプの磁気ヘッドを例に挙
げて説明したが、本発明はコンポジットタイプの磁気ヘ
ッドに対しても適用することは可能である。In the above embodiment, the monolithic type magnetic head was used as an example of the magnetic head 20. However, the present invention can also be applied to a composite type magnetic head.
【００５８】[0058]
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、スライダの
幅寸法が小さくなりこれに伴い磁気ヘッドの形状が小さ
くなることにより、材料費が安くなり製品コストの低減
を図ることができる。また、磁気ヘッドが磁気ディスク
上の移動限位置に達した時におけるデッドスペースを小
さくすることができるため、磁気ディスクの利用効率を
向上させることができる。As described above, according to the present invention, the width dimension of the slider is reduced and the shape of the magnetic head is reduced accordingly, so that the material cost is reduced and the product cost can be reduced. Further, since the dead space when the magnetic head reaches the movement limit position on the magnetic disk can be reduced, the utilization efficiency of the magnetic disk can be improved.
【００５９】また、スライダの幅寸法が小さくなること
により、浮上時におけるロールの発生を抑制でき、安定
した浮上を実現できる。また、空気ベアリング面の面積
も小さくなるため、スプリングアームのバネ圧を小さく
設定することが可能となり、よって磁気ディスクの回転
開始時における磁気ヘッドの損傷発生を防止でき、更に
はスプリングアームの小型化を図ることができる。加え
て、スライダの重量が軽くなることにより、磁気ヘッド
を磁気ディスク上で移動させる際の慣性重力は小さくな
り、よってスライダの安定した浮上動作を確保すること
ができる。Further, since the width of the slider is reduced, it is possible to suppress the generation of rolls during flying, and to realize stable flying. Also, since the area of the air bearing surface is also small, it is possible to set the spring pressure of the spring arm to a small value, thus preventing damage to the magnetic head at the start of rotation of the magnetic disk, and further reducing the size of the spring arm. Can be achieved. In addition, since the weight of the slider is reduced, the inertial gravity when moving the magnetic head on the magnetic disk is reduced, and thus a stable floating operation of the slider can be secured.
【図１】本発明の一実施例である磁気ヘッドの斜視図で
ある。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例である磁気ヘッドの平面図，
正面図，右側面図である。FIG. 2 is a plan view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention,
It is a front view and a right side view.
【図３】図１に示す磁気ヘッドを従来の磁気ヘッドと対
比するための図である。FIG. 3 is a diagram for comparing the magnetic head shown in FIG. 1 with a conventional magnetic head.
【図４】図１に示す磁気ヘッドを従来の磁気ヘッドと対
比するための図である。FIG. 4 is a diagram for comparing the magnetic head shown in FIG. 1 with a conventional magnetic head.
【図５】図１に示す磁気ヘッドの浮上特性を従来の磁気
ヘッドと対比しつつ示す図である。5 is a diagram showing the flying characteristics of the magnetic head shown in FIG. 1 in comparison with a conventional magnetic head.
【図６】図１に示す磁気ヘッドの機械的強度を従来の磁
気ヘッドと対比しつつ説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the mechanical strength of the magnetic head shown in FIG. 1 in comparison with a conventional magnetic head.
【図７】本発明の一実施例である磁気ヘッドの製造方法
を説明するための図である。FIG. 7 is a drawing for explaining the manufacturing method of the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の一実施例である磁気ヘッドの製造方法
を説明するための図である。FIG. 8 is a drawing for explaining the manufacturing method of the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図９】負圧スライダを説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a negative pressure slider.
【図１０】負圧スライダを説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a negative pressure slider.
【図１１】Ｖ字溝の変形例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a modification of the V-shaped groove.
【図１２】Ｖ字溝の変形例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a modification of a V-shaped groove.
【図１３】Ｖ字溝の変形例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a modification of the V-shaped groove.
【図１４】図１に示す磁気ヘッドの変形例を示す図であ
る。FIG. 14 is a diagram showing a modification of the magnetic head shown in FIG.
【図１５】従来における磁気ヘッドの一例を示す図であ
る。FIG. 15 is a diagram showing an example of a conventional magnetic head.
【図１６】ハードディスク装置を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a hard disk device.
【図１７】磁気ヘッドのピッチングを説明するための図
である。FIG. 17 is a diagram for explaining pitching of the magnetic head.
２０，５０ 磁気ヘッド ２１ ヨーク ２２，５１ スライダ ５１ａ，５１ｂ スライダ部 ２５，２６ 空気ベアリング面 ２７，２８ Ｖ字溝 ２９ センターレール ３４ 磁気ギャップ ５２ 非磁性層 20, 50 Magnetic head 21 Yoke 22, 51 Slider 51a, 51b Slider part 25, 26 Air bearing surface 27, 28 V-shaped groove 29 Center rail 34 Magnetic gap 52 Non-magnetic layer
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年１２月２８日[Submission date] December 28, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１[Name of item to be corrected] Figure 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１】 ─────────────────────────────────────────────────────
[Figure 1] ─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年１２月２８日[Submission date] December 28, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【書類名】 明細書[Document name] Statement
【発明の名称】 磁気ヘッド及びその製造方法Title: Magnetic head and method of manufacturing the same
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド及びその製造
方法に係り、特にハードディスク装置に搭載される磁気
ヘッド及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head and a manufacturing method thereof, and more particularly to a magnetic head mounted on a hard disk drive and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般にコンピュータ，ワードプロセッサ
等の記憶装置としてハードディスクドライブ装置が知ら
れている。従来、このハードディスクドライブ装置に搭
載されていた磁気ヘッドの構造を図１５に示す。同図に
示す磁気ヘッド１はモノリシックタイプと呼ばれている
ものである。2. Description of the Related Art Generally, a hard disk drive device is known as a storage device for computers, word processors and the like. FIG. 15 shows the structure of a magnetic head conventionally mounted in this hard disk drive device. The magnetic head 1 shown in the figure is called a monolithic type.
【０００３】同図中、２はヨーク、３は磁気ヘッドをデ
ィスク面から浮上させるためスライダであり、このスラ
イダ３は磁気ヘッドのコアとしても機能する。従って、
ヨーク２及びスライダ３は共に磁性体（フェライト等）
により構成されている。In the figure, 2 is a yoke, 3 is a slider for floating the magnetic head from the disk surface, and this slider 3 also functions as the core of the magnetic head. Therefore,
Both the yoke 2 and the slider 3 are magnetic materials (ferrite etc.)
It is composed by.
【０００４】また、スライダ３には浮動を行うための空
気ベアリング面４，５が形成されると共に、浮動時にお
ける安定性を向上させるための断面矩形状の空気溝６，
７が形成されている。また、各空気ベアリング面４，５
の角部及び空気溝６，７の角部４ａ〜７ａには夫々欠け
のない稜線及び平滑な面を創生し、空気の流れの円滑化
及び対磁気ディスク摺動の円滑化を図るための面取り加
工が行われていた。尚、８，９は磁気記録再生時に磁気
ディスクの回転により生じる空気の流れを空気ベアリン
グ面４，５に導くための傾斜面、２ａはヨーク２と協働
して磁気ギャップを形成するセンターレールである。Further, the slider 3 is formed with air bearing surfaces 4 and 5 for floating, and an air groove 6 having a rectangular cross section for improving stability during floating.
7 are formed. Also, each air bearing surface 4, 5
And the corners 4a to 7a of the air grooves 6 and 7 are missing.
Create smooth edges and smooth surfaces to smooth the air flow
Also , chamfering was performed to smooth the sliding of the magnetic disk . Numerals 8 and 9 are inclined surfaces for guiding the air flow generated by the rotation of the magnetic disk during magnetic recording and reproduction to the air bearing surfaces 4,5, and 2a is a center rail that cooperates with the yoke 2 to form a magnetic gap. is there.
【０００５】また図１６は、磁気ヘッド１を搭載するハ
ードディスク装置１０の概略構成を示している。同図に
おいて、１１はケース，１２は磁気ディスク，１３はア
クチュエータを示している。アクチュエータ１３は、軸
１４に回動自在に軸承されたアーム１５，このアーム１
５を回動駆動するボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１６，
アーム１５の先端に取り付けられたスプリングアーム１
７，磁気ディスクを回転するスピンドルモータ１８等に
より構成されており、磁気ヘッド１はスプリングアーム
１７の先端に設けられたジンバルプレート１９に取り付
けられている。FIG. 16 shows a schematic structure of a hard disk device 10 having the magnetic head 1 mounted thereon. In the figure, 11 is a case, 12 is a magnetic disk, and 13 is an actuator. The actuator 13 includes an arm 15 rotatably supported by a shaft 14, and the arm 1.
Voice coil motor (VCM) 16 for rotating 5
Spring arm 1 attached to the tip of arm 15
7, a spindle motor 18 for rotating a magnetic disk, etc., and the magnetic head 1 is attached to a gimbal plate 19 provided at the tip of a spring arm 17.
【０００６】ＶＣＭ１６が駆動することによりアーム１
５は軸１４を中心として同図中矢印Ａ１，Ａ２方向に回
動し、これに伴い磁気ヘッド１も移動する。よって磁気
ヘッド１は磁気ディスク１２に形成されている所定トラ
ックに位置決めされる構成とされている。The arm 1 is driven by the VCM 16 being driven.
Reference numeral 5 rotates about the shaft 14 in the directions of arrows A1 and A2 in the figure, and the magnetic head 1 also moves accordingly. Therefore, the magnetic head 1 is configured to be positioned on a predetermined track formed on the magnetic disk 12.
【０００７】また、スピンドルモータ１８により磁気デ
ィスク１２が回動されることにより、磁気ディスク１２
上には周方向に対する空気の流れが発生する。磁気ヘッ
ド１には前記のように空気ベアリング面４，５が形成さ
れており、この空気ベアリング面４，５により磁気ヘッ
ド１と磁気ディスク１２との間には上記空気の流れが進
入し、よって磁気ヘッド１は浮上し、この浮上状態で磁
気記録再生処理を行う構成とされていた。Further, when the magnetic disk 12 is rotated by the spindle motor 18, the magnetic disk 12
An air flow in the circumferential direction is generated above. The air bearing surfaces 4 and 5 are formed on the magnetic head 1 as described above, and the air flow enters between the magnetic head 1 and the magnetic disk 12 by the air bearing surfaces 4 and 5, and The magnetic head 1 is levitated, and the magnetic recording / reproducing process is performed in this levitated state.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかるに上記従来構成
の磁気ヘッド１は、ヨーク２とスライダ３とを合わせた
長手方向の全長（図中、矢印ａで示す）が 3.430mm、ヨ
ーク２の幅寸法（図中、矢印ｂで示す）が 2.230mmと比
較的大きな形状を有し、これに伴いその重量も約20mgと
重かった。よって、この磁気ヘッド１の構造に起因し
て、次に述べるような種々の問題点を生じていた。 スライダ３の形状が大きいため材料費が高くなり、
製品コストが上昇する。 磁気ヘッド１が磁気ディスク１２上の図１６中のＡ
１方向限位置及びＡ２方向限位置に移動した時、スライ
ダ３が大なる形状を有しているため磁気ディスク１２の
各方向限位置において記録再生処理が行えないデッドス
ペースが広く存在してしまい、磁気ディスク１２の利用
効率が低下してしまう。 スライダ３の形状が大きいため、磁気ディスク１２
の内周側（Ａ１方向側）と外周側（Ａ２方向側）では磁
気ディスク１２の周速度が異なる（外周の方が速い）た
め、この速度差に起因して各空気ベアリング面４，５に
発生する浮上力が異なってしまい、磁気ヘッド１の安定
浮上を妨げる。更に、磁気ヘッド１をジンバルプレート
１９に配設する際に、ロール方向角度取付誤差があった
場合には、これに起因したロールが大きく発生してしま
い、安定した浮上が行えない。 スライダ３の形状が大きいことに伴い、空気ベアリ
ング面４，５の面積も大となり、よって大きな浮上力が
発生する。このように広い空気ベアリング面４，５を有
する磁気ヘッド１を安定して浮上させるには、スプリン
グアーム１７のバネ圧を相当に大きくする必要がある。
しかるに、スプリングアーム１７のバネ圧を大とした場
合には、浮上時における安定性は向上するものの、装置
１０の停止時及びコンタクトスタートストップ時にスプ
リングアーム１７の大なるバネ圧により磁気ヘッド１は
磁気ディスク１２に強く押し付けられる。これにより、
上記停止時にスプリングアーム１７により磁気ヘッド１
は磁気ディスク１２に押圧されることにより吸着され磁
気ディスク始動時の摩擦抵抗が増大し、かつ吸着され易
くなり、磁気ディスク１２の回転開始時に磁気ヘッド１
が損傷するおそれがある。更に、スプリングアーム１７
が大なるバネ圧を有する構成とするためには、スプリン
グアーム１７を大型化しなければならず、装置１０の小
型化を妨げ、またコストの上昇につながるという問題点
がある。 スライダ３の重量が重いことにより、磁気ヘッド１
をＶＣＭ１６で移動させる際の慣性力が大きくなるため
速い移動が困難となり、磁気ディスク１２の面振れや外
部からの加速等に対応するスライダ３の安定した浮上量
の確保が困難である（即ち、ディスクの追随性が悪
い）。However, in the magnetic head 1 having the above-described conventional structure, the total length (indicated by an arrow a in the figure) of the yoke 2 and the slider 3 in the longitudinal direction is 3.430 mm, and the width dimension of the yoke 2 is 3. (Indicated by arrow b in the figure) had a relatively large shape of 2.230 mm, and the weight thereof was also heavy at about 20 mg. Therefore, the structure of the magnetic head 1 causes various problems as described below. Since the shape of the slider 3 is large, the material cost is high,
Product cost rises. The magnetic head 1 is located on the magnetic disk 12 at A in FIG.
Since the slider 3 has a large shape when it is moved to the one-direction limit position and the A2 direction limit position, there is a large dead space where the recording / reproducing process cannot be performed at each direction limit position of the magnetic disk 12. The utilization efficiency of the magnetic disk 12 is reduced. Because the shape of the slider 3 is not large, the magnetic disk 12
Since the peripheral speed of the magnetic disk 12 is different between the inner peripheral side (A1 direction side) and the outer peripheral side (A2 direction side) (the outer peripheral side is faster), this speed difference causes the air bearing surfaces 4 and 5 to face each other. The generated levitation force is different, which hinders stable levitation of the magnetic head 1. Furthermore, the magnetic head 1 is attached to a gimbal plate.
There was an angle mounting error in the roll direction when it was installed in 19
In some cases, this causes a large amount of rolls.
No, I cannot achieve stable levitation. As the shape of the slider 3 becomes large, the areas of the air bearing surfaces 4 and 5 also become large, so that a large levitation force is generated. In order to stably levitate the magnetic head 1 having such wide air bearing surfaces 4 and 5, it is necessary to considerably increase the spring pressure of the spring arm 17.
However, when the spring pressure of the spring arm 17 is large, the magnetic head 1 is not magnetically affected by the large spring pressure of the spring arm 17 when the apparatus 10 is stopped and when the contact start / stop is performed, although the stability during floating is improved. It is strongly pressed against the disk 12. This allows
When stopped, the magnetic head 1 is moved by the spring arm 17.
Is attracted by being pressed by the magnetic disk 12 and magnetized.
The friction resistance at the time of starting the air disk increases and it is easily adsorbed.
The magnetic head 1 when the magnetic disk 12 starts to rotate.
May be damaged. Furthermore, the spring arm 17
In order to obtain a structure having a large spring pressure, the spring arm 17 must be upsized, which hinders downsizing of the device 10 and leads to an increase in cost. Due to the heavy weight of the slider 3, the magnetic head 1
The order inertia forces when moving increases in VCM16
It becomes difficult to move quickly, and it is difficult to secure a stable flying height of the slider 3 in response to surface wobbling of the magnetic disk 12 or acceleration from the outside (that is, trackability of the disk is poor).
【０００９】以上のように従来の磁気ヘッド１は、スラ
イダ３の構造に起因して種々の問題点を有していた。一
方、従来の磁気ヘッド１は、その製造方法においても次
に述べるような問題点を有していた。 従来の磁気ヘッド１は、先ず断面矩形状の空気溝
６，７が形成され、その後に各空気ベアリング面４，５
及び空気溝６，７の角部６ａ〜９ａに面取り加工が行わ
れていたため、製造工程が複雑化してしまう（これにつ
いては後に詳述する）。 空気ベアリング面４，５は精度の高い平坦性を要求
されるが、スライダ３の形状が大きいことに起因して空
気ベアリング面４，５の面積も大となり、このように広
い面積を有する空気ベアリング面４，５を精度良く平坦
に加工するのは困難である。As described above, the conventional magnetic head 1 has various problems due to the structure of the slider 3. On the other hand, the conventional magnetic head 1 also has the following problems in its manufacturing method. In the conventional magnetic head 1, first, the air grooves 6, 7 having a rectangular cross section are formed, and then the air bearing surfaces 4, 5 are formed.
Since the corners 6a to 9a of the air grooves 6 and 7 are chamfered, the manufacturing process is complicated (this will be described later in detail). Although the air bearing surfaces 4 and 5 are required to have high precision flatness, the area of the air bearing surfaces 4 and 5 also becomes large due to the large shape of the slider 3, and thus the air bearing having such a large area. It is difficult to accurately process the surfaces 4 and 5 to be flat.
【００１０】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、低コスト化，浮上特性の安定化及び製造工程の簡
単化等を図り得る磁気ヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a magnetic head and a method of manufacturing the same, which can reduce the cost, stabilize the flying characteristics, and simplify the manufacturing process. To do.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、磁気ヘッドの構造を、少なくとも一部が
磁性材により形成されると共に浮動を行うための空気ベ
アリング面が形成されてなるスライダと、磁性材よりな
りスライダの上記磁性材配設部位と突き合わされて磁気
ギャップを形成するヨークとにより構成されており、上
記スライダとヨークを合わせた長手方向の長さをＡ、上
記スライダの幅方向の長さをＢとしたとき、上記長さＡ
に対する長さＢの比（Ｂ／Ａ）を 0.5〜 0.2に設定する
と共に、該スライダに浮上時における安定化を図るため
の一対のＶ字溝を該磁気ギャップを挟んで形成したこと
を特徴とするものである。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the structure of a magnetic head comprises at least a part formed of a magnetic material and an air bearing surface for floating. The slider and a yoke that is made of a magnetic material and abuts on the magnetic material-disposed portion of the slider to form a magnetic gap, and the total length of the slider and the yoke in the longitudinal direction is A. When the length in the width direction is B, the above length A
The ratio (B / A) of the length B to the length is set to 0.5 to 0.2, and a pair of V-shaped grooves for stabilizing the flying are formed on the slider so as to sandwich the magnetic gap. To do.
【００１２】また、磁気ヘッドの製造方法においては、
少なくとも一部が磁性材により形成されると共に浮動を
行うための空気ベアリング面が形成されてなるスライダ
を、磁性材よりなるヨークに接合することにより磁気ギ
ャップを形成した後、上記磁気ギャップ形成位置を挟ん
で一対のＶ字溝を形成することにより磁気ギャップの幅
を所定トラック幅とし、同時に空気ベアリング面を所定
幅とすることを特徴とするものである。In the method of manufacturing the magnetic head,
After forming a magnetic gap by joining a slider, at least a part of which is made of a magnetic material and having an air bearing surface for floating, to a yoke made of a magnetic material, the magnetic gap formation position is set. By forming a pair of V-shaped grooves sandwiching them, the width of the magnetic gap is set to a predetermined track width, and at the same time, the air bearing surface is set to a predetermined width.
It is characterized by having a width .
【００１３】[0013]
【作用】スライダとヨークを合わせた長手方向の長さを
Ａ、上記スライダの幅方向の長さをＢとしたときの長さ
Ａに対する長さＢの比（Ｂ／Ａ）を 0.5〜 0.2に設定す
ることにより、磁気ヘッドの長手方向の全長に対して幅
寸法、即ちスライダの幅寸法は小さくなる。また、周知
のように浮上型磁気ヘッドの長手方向の全長Ａは、浮上
時におけるピッチング（図１７に矢印で示す方向の揺れ
をいう）を低減させる点より所定の長さ（この例に於い
ては略0.2mm)に保つことが望ましい。従って、上記構成
とすることにより、磁気ヘッドの形状は小さくなる。When the total length of the slider and the yoke in the longitudinal direction is A, and the length of the slider in the width direction is B, the ratio of the length B to the length A (B / A) is 0.5 to 0.2. By setting the width, the width, that is, the width of the slider becomes smaller than the entire length of the magnetic head in the longitudinal direction. Further, as is well known, the total length A in the longitudinal direction of the floating magnetic head is a predetermined length (in this example, from the viewpoint of reducing pitching during flying (which means shaking in the direction indicated by the arrow in FIG. 17)).
It is desirable to keep it at about 0.2 mm). Therefore, with the above configuration, the shape of the magnetic head becomes smaller.
【００１４】上記のようにスライダの幅寸法が小さくな
り、これに伴い磁気ヘッドの形状が小さくなることによ
り、材料費が安くなり製品コストの低減を図ることがで
きる。また、磁気ヘッドが磁気ディスク上の移動限位置
に達した時におけるデッドスペースを小さくすることが
できるため、磁気ディスクの利用効率を向上させること
ができる。As described above, the width of the slider is reduced and the shape of the magnetic head is reduced accordingly, so that the material cost is reduced and the product cost can be reduced. Further, since the dead space when the magnetic head reaches the movement limit position on the magnetic disk can be reduced, the utilization efficiency of the magnetic disk can be improved.
【００１５】また、スライダの幅寸法が小さくなること
により、浮上時におけるロールの発生を抑制でき、安定
した浮上を実現できる。また、重量が低減することに伴
う慣性力の低減により、空気ベアリング面の面積とスプ
リングアームのバネ圧を小さく設定することが可能とな
り、よって磁気ディスクの回転開始時における磁気ヘッ
ドの損傷発生を防止でき、更にはスプリングアームの小
型化を図ることができる。加えて、スライダの重量が軽
くなることにより、磁気ヘッドを磁気ディスク上で移動
させる際の慣性力は小さくなり、よってスライダの安定
した浮上動作を確保することができる。Further, since the width of the slider is reduced, it is possible to suppress the generation of rolls at the time of flying, and to realize stable flying. Also, as the weight is reduced
Air bearing surface area and sp
It is possible to set the spring pressure of the ring arm to a small value.
Ri, thus prevents the occurrence of damage of the magnetic head in the rotation start of the magnetic disk, and further can reduce the size of the spring arm. In addition, since the weight of the slider is reduced, the inertial force when the magnetic head is moved on the magnetic disk is reduced, so that the stable floating operation of the slider can be ensured.
【００１６】[0016]
【実施例】次に発明の実施例について図面と共に説明す
る。図１及び図２は本発明の一実施例である磁気ヘッド
２０を示している。各図に示される磁気ヘッド２０はハ
ードディスクドライブ装置に搭載されるものであり、記
録再生時には磁気ディスクの回転によりディスク面より
若干浮上し、この状態で記録再生処理を行う構成の磁気
ヘッドである。この磁気ヘッド２０は、大略するとヨー
ク２１及びスライダ２２とにより構成されている（尚、
図２にはコイルボビン２３が配設された磁気ヘッド２０
を示している）。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 1 and 2 show a magnetic head 20 which is an embodiment of the present invention. The magnetic head 20 shown in each drawing is mounted on a hard disk drive device, and is a magnetic head configured to perform recording / reproduction processing in such a state that it slightly floats above the disk surface due to rotation of the magnetic disk during recording / reproduction. The magnetic head 20 is roughly composed of a yoke 21 and a slider 22.
FIG. 2 shows a magnetic head 20 provided with a coil bobbin 23.
Is shown).
【００１７】ヨーク２１はフェライトにより構成されて
おり、コイル巻回用溝２４を形成することにより、側面
から見て略コ字状の形状に成形されている。また、その
上部の磁気ディスクと対向する位置は、後述する溝加工
により所定のトラック幅（各図に、矢印Ｄで示す）に形
成されている。The yoke 21 is made of ferrite and is formed into a substantially U shape when viewed from the side by forming a coil winding groove 24. Further, a position facing the magnetic disk on the upper side is formed with a predetermined track width (indicated by an arrow D in each figure) by groove processing described later.
【００１８】一方、スライダ２２はヨーク２１と同様に
フェライトにより形成されており、磁気ディスク上で磁
気ヘッド２０が浮動するよう空気ベアリング面２５，２
６が形成されると共に、この空気ベアリング面２５，２
６の間位置には浮動時に空気が流通することにより磁気
ヘッド２０の安定化を図る断面Ｖ字状のＶ字溝２７，２
８が形成されている。また、スライダ２２の中央位置に
はヨーク２１と一体的に連続したセンターレール２９が
形成されている。このセンターレール２９も後述するよ
うに一対のＶ字溝２７，２８加工を行うことにより同時
に形成される。尚、３０，３１は記録再生処理時に磁気
ディスクが回転することにより発生する空気の流れを空
気ベアリング面２５，２６に導くための傾斜面である。On the other hand, the slider 22 is made of ferrite similarly to the yoke 21, and the air bearing surfaces 25 and 2 are arranged so that the magnetic head 20 floats on the magnetic disk.
6 is formed and the air bearing surfaces 25, 2
At the position between 6, the air flows during the floating, so that the magnetic head 20 is stabilized and V-shaped grooves 27 and 2 having a V-shaped cross section are provided.
8 is formed. Further, a center rail 29 integrally formed with the yoke 21 is formed at a central position of the slider 22. The center rail 29 is also simultaneously formed by processing a pair of V-shaped grooves 27, 28 as described later. Reference numerals 30 and 31 are inclined surfaces for guiding the air flow generated by the rotation of the magnetic disk during the recording / reproducing processing to the air bearing surfaces 25 and 26.
【００１９】上記構成を有するヨーク２１とスライダ２
２は、ギャップ形成位置に非磁性材のギャップ材を介在
させた上で例えば低融点ガラス等の接合材３２，３３
（梨地で示す）により接合されて、磁気ギャップ３４が
形成されると共に図１，図２に示す磁気ヘッド２０が形
成される。The yoke 21 and the slider 2 having the above structure
2 is a bonding material 32, 33 made of, for example, low-melting-point glass or the like, with a non-magnetic material gap material interposed at the gap formation position.
The magnetic gap 34 is formed by joining (shown in satin) and the magnetic head 20 shown in FIGS. 1 and 2 is formed.
【００２０】上記構成を有する磁気ヘッド２０はその形
状及び寸法に特徴を有する。以下、磁気ヘッド２０の形
状及び寸法について、前記の図１，図２に加えて図３，
図４を用いて説明する。The magnetic head 20 having the above structure is characterized by its shape and dimensions. Hereinafter, the shape and dimensions of the magnetic head 20 will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.
【００２１】図３は、本発明に係る磁気ヘッド２０の形
状及び大きさを従来構成の磁気ヘッドと比較して示した
図である。同図において、（Ａ）で示すのは従来におけ
るモノリシックタイプの磁気ヘッドであり、先に図１５
を用いて説明した磁気ヘッド１と同一構成を有するもの
である（図１５で示した構成と同一構成については同一
符号を付してある）。また、（Ｂ）で示すのは従来にお
けるコンポジットタイプの磁気ヘッド３５である。この
コンポジットタイプの磁気ヘッド３５は、磁気ヘッドと
して機能する磁気ヘッドコア３６と、この磁気ヘッドコ
ア３６を装着する装着溝３７を有したセラミック製のス
ライダ３８とにより構成されており、装着溝３７に磁気
ヘッドコア３６をガラス材等で装着固定した構造とされ
ている。更に、（Ｃ）で示すのは本発明に係る磁気ヘッ
ド２０である。FIG. 3 is a diagram showing the shape and size of the magnetic head 20 according to the present invention in comparison with a conventional magnetic head. In FIG. 15, (A) shows a conventional monolithic type magnetic head.
The magnetic head 1 has the same configuration as that described with reference to FIG. 15 (the same components as those shown in FIG. 15 are designated by the same reference numerals). Further, (B) shows a conventional composite type magnetic head 35. The composite type magnetic head 35 includes a magnetic head core 36 functioning as a magnetic head and a ceramic slider 38 having a mounting groove 37 into which the magnetic head core 36 is mounted. It has a structure in which 36 is attached and fixed with a glass material or the like. Further, (C) shows the magnetic head 20 according to the present invention.
【００２２】図３においては、各磁気ヘッド１，３５，
２０の寸法を同一の縮尺にて示しており、従って同図に
より各磁気ヘッド１，３５，２０の大きさを判断するこ
とができる。同図より、本発明に係る磁気ヘッド２０
は、従来の各磁気ヘッド１，３６に比べて大幅に小型化
されていることが判る。In FIG. 3, each magnetic head 1, 35,
The size of the magnetic heads 1, 35, and 20 can be determined by referring to the drawing, since the size of the magnetic heads 20 is shown at the same scale. From the figure, the magnetic head 20 according to the present invention
It can be seen that is much smaller than the conventional magnetic heads 1 and 36.
【００２３】図４は、本発明に係る磁気ヘッド２０が小
型化されたことを定量的に示すための図であり、図３に
矢印で示す各寸法，縦横比，各部の面積，及び重量をま
とめて示してある。図３に示されるように、ヨーク２１
とスライダ２２とを合わせた長手方向の長さをＡ、スラ
イダ２２の幅方向の長さをＢとしたとき、本発明に係る
磁気ヘッド２０は上記長さＡに対する長さＢの比である
縦横比（Ｂ／Ａ）は0.26となっており、従来の磁気ヘッ
ド１，３５が0.65、0.71であるのに比べて小さな値とな
っている。FIG. 4 is a diagram for quantitatively showing that the magnetic head 20 according to the present invention has been miniaturized. The dimensions, the aspect ratio, the area of each part, and the weight indicated by arrows in FIG. It is shown collectively. As shown in FIG. 3, the yoke 21
When the total length of the slider 22 and the slider 22 in the longitudinal direction is A, and the length of the slider 22 in the width direction is B, the magnetic head 20 according to the present invention is the ratio of the length B to the length A. The ratio (B / A) is 0.26, which is a small value compared to 0.65 and 0.71 for the conventional magnetic heads 1 and 35.
【００２４】一方、周知のように浮上型磁気ヘッドの長
手方向の全長Ａは、浮上時におけるピッチング（図２
（Ｂ）に矢印Ｘで示す方向の揺れをいう）を低減させる
点より所定の長さ（この例に於いては略3.2mm)に保つこ
とが望ましい。即ち、これ以上全長Ａを短くすると、微
小なピッチングの発生によっても磁気ヘッドは磁気ディ
スクに衝突してしまうからである。また、逆に全長Ａを
所定の長さ（この例に於いては略3.2mm)以上とすると、
ディスク上の凹凸または突起等に対する浮上追随性が必
要以上に悪くなり、ディスクとのクラッシュを起こし易
くなることが知られている。従って、浮上型磁気ヘッド
においては、長手方向の全長Ａは所定の長さ（この例に
於いては略3.2mm)に保つことが望ましい。よって、従来
の磁気ヘッド１，３５においても、また本発明に係る磁
気ヘッド２０においても長手方向の全長Ａは略3.2mm 程
度に選定されており、この長手方向の全長Ａについては
従来構成の磁気ヘッド１，３５も本発明に係る磁気ヘッ
ド２０も大きく変わるところはない。On the other hand, as is well known, the total length A of the floating magnetic head in the longitudinal direction is determined by the pitching during the floating (see FIG. 2).
From the point of reducing the shaking in the direction indicated by arrow X in (B), keep it at a predetermined length (approximately 3.2 mm in this example).
And is desirable. That is, if the total length A is further shortened, the magnetic head will collide with the magnetic disk even if minute pitching occurs. On the contrary, the total length A
If the length is more than the specified length (approximately 3.2 mm in this example),
Levitation followability for irregularities or protrusions on the disc is required.
It's worse than it should be, and it's easy to cause a crash with the disk.
It is known to become. Therefore, in the floating magnetic head, the total length A in the longitudinal direction is a predetermined length (in this example,
In that case, it is desirable to keep it at about 3.2 mm. Therefore, in the conventional magnetic heads 1 and 35 as well as in the magnetic head 20 according to the present invention, the total length A in the longitudinal direction is selected to be approximately 3.2 mm. The heads 1 and 35 and the magnetic head 20 according to the present invention are not significantly changed.
【００２５】このように、長手方向の全長Ａが略同一で
あるにも拘わらず、磁気ヘッド１，３５に比べて本発明
に係る磁気ヘッド２０は縦横比（Ｂ／Ａ）が小さく設定
されているため、本発明に係る磁気ヘッド２０のスライ
ダ２２の幅寸法Ｂは従来構成の磁気ヘッド１，３５に比
べて小さくなっている。具体的には、従来構成の磁気ヘ
ッド１，３５の幅寸法が2.230mm,2.235mm であったのに
対し、本発明に係る磁気ヘッド２０の幅寸法は0.838mm
とされている。As described above, the magnetic head 20 according to the present invention is set to have a smaller aspect ratio (B / A) than the magnetic heads 1 and 35, although the longitudinal total length A is substantially the same. Therefore, the width dimension B of the slider 22 of the magnetic head 20 according to the present invention is smaller than that of the magnetic heads 1 and 35 having the conventional configuration. Specifically, while the width dimensions of the magnetic heads 1 and 35 of the conventional configuration are 2.230 mm and 2.235 mm, the width dimension of the magnetic head 20 according to the present invention is 0.838 mm.
It is said that.
【００２６】上記の如くスライダ２２の幅寸法を小さく
すると、これに伴い空気ベアリング面２５，２６の面積
も小となり、磁気ヘッド２０の浮上力が低下することが
考えられる。そこで本発明者は、本発明に係る磁気ヘッ
ド２０をハードディスク装置に実装し、その浮上特性を
測定した。その結果を図５に示す。If the width of the slider 22 is reduced as described above, the areas of the air bearing surfaces 25 and 26 are reduced accordingly, and the flying force of the magnetic head 20 may be reduced. Therefore, the present inventor mounted the magnetic head 20 according to the present invention in a hard disk device and measured its flying characteristics. The result is shown in FIG.
【００２７】同図において、実線で示すのは従来構成の
磁気ヘッド１（モノリシックタイプを用いた）の浮上特
性を示しており、一点鎖線で示すのは本発明に係る磁気
ヘッド２０の浮上特性を示している。この実験結果よ
り、本発明に係る磁気ヘッド２０は従来構成の磁気ヘッ
ド１に比べて同一走行速度における浮上量は少ないもの
の、安定した浮上の得られることが判る。また浮上量は
走行速度が10m/sec において85nmであり、ハードディス
ク装置の磁気ヘッドとして十分な浮上特性を実現してい
る。 また、本発明者の実験では、ハードディスク装置
の磁気ヘッドとして十分な浮上特性を実現できるのは、
上記の縦横比（Ｂ／Ａ）が 0.2以上の範囲であった。縦
横比（Ｂ／Ａ）が 0.2未満において十分な浮上特性が実
現できないのは、縦横比（Ｂ／Ａ）が 0.2未満となると
空気ベアリング面の面積が小さくなりすぎ、浮上力が得
られなくなることに起因すると思われる。In the figure, the solid line shows the levitation characteristics of the magnetic head 1 (using a monolithic type) of the conventional structure, and the one-dot chain line shows the levitation characteristics of the magnetic head 20 according to the present invention. Shows. From this experimental result, it can be seen that the magnetic head 20 according to the present invention has a smaller flying height at the same traveling speed than the magnetic head 1 having the conventional structure, but stable flying can be obtained. The flying height is 85 nm at a running speed of 10 m / sec, which realizes sufficient flying characteristics as a magnetic head for a hard disk drive. Also, in the present inventor's experiments, it can achieve a satisfactory flying performance as a magnetic head of a hard disk device,
The above aspect ratio (B / A) was in the range of 0.2 or more. If the aspect ratio (B / A) is less than 0.2, sufficient levitation characteristics cannot be realized. If the aspect ratio (B / A) is less than 0.2, the air bearing surface area becomes too small and the levitation force cannot be obtained. It seems to be due to.
【００２８】また、上記の如くスライダ２２の幅寸法を
小さくすることにより、磁気ヘッド２０の機械的強度が
弱くなり、信頼性の低下が生じることが考えられる。特
に、浮上型の磁気ヘッドにおいては、磁気ディスクとの
対向面に浮上時における磁気ヘッドの安定化を図るため
の空気溝を形成せねばならないため、この対向面におけ
る浮上面の高精度な平坦度を得るための機械的強度が問
題となる。しかるに、本発明に係る磁気ヘッド２０で
は、この空気溝をＶ字溝２７，２８とすることにより上
記の問題点を解決している。これについて、図６を用い
て説明する。Further, by reducing the width of the slider 22 as described above, it is considered that the mechanical strength of the magnetic head 20 is weakened and the reliability is lowered. In particular, in a floating magnetic head, an air groove must be formed on the surface facing the magnetic disk to stabilize the magnetic head when flying, so the air bearing surface on this facing surface has a high degree of flatness. The mechanical strength for obtaining is a problem. However, in the magnetic head 20 according to the present invention, the above-mentioned problems are solved by using the air grooves as the V-shaped grooves 27 and 28. This will be described with reference to FIG.
【００２９】図６（Ａ）は、本発明に係る磁気ヘッド２
０を示す図２における左側面図である。同図に示される
ように、スライダ２０の磁気ディスクとの対向面には一
対のＶ字溝２７，２８が形成されている。いま、仮に本
発明の如く幅寸法が小さい磁気ディスク２０において、
Ｖ字溝２７，２８に代えて断面矩形の矩形溝３９を形成
した場合を同図（Ｂ）に、また同様にＶ字溝２７，２８
に代えて断面Ｕ字状のＵ字溝４０を形成した場合を同図
（Ｃ）に夫々示す。尚、この矩形溝３９及びＵ字溝４０
は、従来における磁気ヘッドにおいて空気溝として一般
に用いられているものである。FIG. 6A shows a magnetic head 2 according to the present invention.
It is a left side view in FIG. 2 which shows 0. As shown in the figure, a pair of V-shaped grooves 27 and 28 are formed on the surface of the slider 20 facing the magnetic disk. Now, assuming that the magnetic disk 20 having a small width dimension as in the present invention,
A case where a rectangular groove 39 having a rectangular cross section is formed instead of the V-shaped grooves 27 and 28 is shown in FIG.
Instead of the above, a case where a U-shaped groove 40 having a U-shaped cross section is formed is shown in FIG. The rectangular groove 39 and the U-shaped groove 40
Is generally used as an air groove in a conventional magnetic head.
【００３０】上記の如く構成された磁気ヘッド２０で
は、スライダ２２の幅寸法Ｂが小さくなり、これに伴い
磁気ヘッド２０の形状が小さくなることにより、磁気ヘ
ッド２０を形成するために要するフェライトの量を少な
くすることができ、よって材料費が安くなり製品コスト
の低減を図ることができる。また、これに加えて磁気ヘ
ッド２０が磁気ディスク上の移動限位置（図１６におけ
るＡ１方向限或いはＡ２方向限）に達した時におけるデ
ッドスペースを小さくすることができるため、磁気ディ
スクの磁気記録領域を大きくすることができ、磁気ディ
スクの利用効率を向上させることができる。In the magnetic head 20 constructed as described above, the width dimension B of the slider 22 becomes smaller, and the shape of the magnetic head 20 becomes smaller accordingly, so that the amount of ferrite required to form the magnetic head 20 is reduced. Therefore, the material cost can be reduced and the product cost can be reduced. In addition to this, the dead space when the magnetic head 20 reaches the movement limit position (A1 direction limit or A2 direction limit in FIG. 16) on the magnetic disk can be reduced, so that the magnetic recording area of the magnetic disk. Can be increased and the utilization efficiency of the magnetic disk can be improved.
【００３１】また、スライダ２２の幅寸法が小さくな
り、これに伴いスライダ幅が小さいことによって左右の
空気ベアリング間ピッチも小さくなり、各空気ベアリン
グ面２５，２６に作用する空気の流れの差（周速差に起
因する）を低減でき、浮上時におけるロール（図２
（Ｃ）に矢印Ｙで示す方向の揺れをいう）の発生が抑制
され、安定した浮上を実現できる。更に、空気ベアリン
グ面２５，２６の面積が小さくなることにより、スプリ
ングアーム１７のバネ圧を小さく設定することが可能と
なり、よって磁気ディスクの回転開始時における磁気ヘ
ッド２０の損傷発生を防止でき、加えてスプリングアー
ムの小型化を図ることができる。Further, the width dimension of the slider 22 becomes smaller, and the width of the slider becomes smaller accordingly.
The pitch between air bearings is also reduced, and each air bearing
Difference in the air flow acting on the ring surfaces 25 and 26
Caused by the roll (Fig. 2).
The occurrence of (a shake in the direction indicated by arrow Y in (C)) is suppressed, and stable levitation can be realized. Further, since the areas of the air bearing surfaces 25 and 26 are reduced, it is possible to set the spring pressure of the spring arm 17 to be small, thereby preventing the magnetic head 20 from being damaged at the start of rotation of the magnetic disk. The spring arm can be downsized.
【００３２】一方、スライダ２２の幅寸法が小さくなり
磁気ヘッド２０が小型化することにより、磁気ヘッド２
０の自重も従来に比べて軽くなる。具体的には、図４に
示されるように、従来構成の磁気ヘッド１，３５では2
0.1mg或いは16.1mgあった自重が本発明に係る磁気ヘッ
ド２０では6.4mg と低減される。これにより、磁気ヘッ
ド２０を磁気ディスク上で移動させる際の慣性力は小さ
くなり、よってスライダ２２の高速移動性能及び安定し
た浮上動作を確保することができる。On the other hand, since the width of the slider 22 is reduced and the magnetic head 20 is downsized, the magnetic head 2
The own weight of 0 is also lighter than the conventional one. Specifically, as shown in FIG. 4, in the conventional magnetic heads 1 and 35, 2
The self-weight of 0.1 mg or 16.1 mg is reduced to 6.4 mg in the magnetic head 20 according to the present invention. As a result, the inertial force when the magnetic head 20 is moved on the magnetic disk becomes small, so that the high speed movement performance of the slider 22 and the stable flying operation can be secured.
【００３３】続いて、上記構成とされた磁気ヘッド２０
の製造方法について説明する。尚、磁気ヘッド２０の製
造工程において、フェライトブロックよりヨーク２１及
びスライダ２２を製造する工程，ヨーク２１とスライダ
２２を接合し磁気ギャップを形成する工程等の大部分の
工程は従来用いられている工程と同一であるため、以下
の説明においては、本発明の特徴となるＶ字溝の形成工
程について詳述し、他の工程についてはその説明を省略
するものとする。Subsequently, the magnetic head 20 having the above-mentioned structure
The manufacturing method of will be described. In the manufacturing process of the magnetic head 20, most of the processes such as the process of manufacturing the yoke 21 and the slider 22 from the ferrite block and the process of joining the yoke 21 and the slider 22 to form a magnetic gap are conventionally used. Therefore, in the following description, the step of forming the V-shaped groove, which is a feature of the present invention, will be described in detail, and the description of the other steps will be omitted.
【００３４】図７及び図８は、本発明方法の特徴となる
Ｖ字溝２７，２８の形成工程を、従来の空気溝６，７の
形成工程と比較して示す図である。各図において、
（Ａ）で示すのは従来の空気溝６，７の形成工程であ
り、（Ｂ）で示すのは本発明方法によるＶ字溝２７，２
８の形成工程である。説明の便宜上、先ず従来の空気溝
６，７の形成工程について図７（Ａ）及び図８（Ａ）を
用いて説明する。FIGS. 7 and 8 are views showing the step of forming the V-shaped grooves 27 and 28, which is a feature of the method of the present invention, in comparison with the step of forming the conventional air grooves 6 and 7. In each figure,
Shown in (A) is a conventional process for forming the air grooves 6, 7, and shown in (B) is a V-shaped groove 27, 2 formed by the method of the present invention.
8 is a forming process. For convenience of description, first, a conventional process of forming the air grooves 6 and 7 will be described with reference to FIGS. 7 (A) and 8 (A).
【００３５】空気溝６，７を形成するには、先ず第１の
加工装置にワーク（溝加工前の磁気ヘッドをいう）を装
着する（第１工程）。続いて、空気溝６の溝加工を行い
（第２工程。尚、図７において、各工程により形成され
る部位に二点鎖線を付し、合わせて工程番号を付す）、
次に空気溝７の溝加工を行う（第３工程）。空気溝６，
７の加工が終了すると、ワークを第２の加工装置に装着
する（第４工程）。To form the air grooves 6 and 7, first, a work (referred to as a magnetic head before groove processing) is mounted on the first processing device (first step). Subsequently, the air groove 6 is processed (second step. In addition, in FIG. 7, a part formed by each step is indicated by a chain double-dashed line and a step number is also added).
Next, the air grooves 7 are processed (third step). Air groove 6,
When the machining of 7 is completed, the work is mounted on the second machining device (fourth step).
【００３６】第２の加工装置では、空気溝７の傾斜面の
形成加工を行う（第５工程）。続いて、ワークを１８０
度反転して第２の加工装置に再び装着し（第６工程）、
空気溝６の傾斜面の形成加工を行う（第７工程）。In the second processing device, the inclined surface of the air groove 7 is formed (fifth step). Then, work 180
Reversed and reattached to the second processing device (sixth step),
Formation processing of the inclined surface of the air groove 6 is performed (seventh step).
【００３７】上記傾斜面加工が終了すると、ワークは第
２の加工装置から取り外され、第３の加工装置に装着さ
れる（第８工程）。第３の加工装置にワークが装着され
ると、センターレール２ａに第１の傾斜面が加工され
（第９工程）、続いてワークを１８０度反転（第１０工
程）した上で、センターレール２ａの第２の傾斜面の加
工を行う（第１１工程）。When the processing of the inclined surface is completed, the work is removed from the second processing device and mounted on the third processing device (eighth step). When the work is mounted on the third processing device, the first inclined surface is processed on the center rail 2a (the ninth step), the work is subsequently inverted by 180 degrees (the tenth step), and then the center rail 2a is processed. The second inclined surface is processed (11th step).
【００３８】上記の如く第１及び第２の傾斜面の加工が
終了すると、ワークは第４の加工装置に装着され（第１
２工程）、センターレール２ａに形成された第１の傾斜
面に対し鏡面研磨加工が実施される（第１３工程）。続
いて、ワークを１８０度反転して第４の加工装置に再び
装着し（第１４工程）、センターレール２ａに形成され
た第２の傾斜面に対し鏡面研磨加工が実施される（第１
５工程）。When the processing of the first and second inclined surfaces is completed as described above, the work is mounted on the fourth processing device (first processing).
(2 step), mirror polishing is performed on the first inclined surface formed on the center rail 2a (13th step). Subsequently, the work is inverted by 180 degrees and mounted again on the fourth processing apparatus (14th step), and mirror polishing is performed on the second inclined surface formed on the center rail 2a (first step).
5 steps).
【００３９】上記のように、従来の空気溝６，７の形成
方法では、溝形成を行うまでに１５もの工程を必要とし
製造工程が複雑であり製造効率及び加工精度が悪く、ま
たこれに起因して製品コストが上昇してしまうという問
題点があった。更に、空気溝６，７の形成に必要とする
加工装置も４台必要であり、各加工装置に対してワーク
の装着及び取り外し作業が必要となり、これによっても
製造効率の悪化及び製品コストの上昇が生じてしまう。As described above, the conventional method for forming the air grooves 6 and 7 requires as many as 15 steps before forming the grooves, which complicates the manufacturing process and deteriorates the manufacturing efficiency and processing accuracy. Then, there was a problem that the product cost increased. Furthermore, four processing devices are required to form the air grooves 6 and 7, and work mounting and dismounting work is required for each processing device, which also deteriorates manufacturing efficiency and increases product cost. Will occur.
【００４０】次に、本発明方法の特徴となるＶ字溝２
７，２８の形成工程について図７（Ｂ）及び図８（Ｂ）
を用いて説明する。Next, the V-shaped groove 2 which is a feature of the method of the present invention.
7 (B) and 8 (B) regarding the formation process of 7, 28
Will be explained.
【００４１】Ｖ字溝２７，２８を形成するには、先ず第
１の加工装置にワークを装着する（第１工程）。続い
て、Ｖ字溝２７の溝加工を行い（第２工程）、これによ
り空気ベアリング面２５寄りの傾斜面と、センターレー
ル２９の第１の傾斜面とを同時に加工する。このＶ字溝
２７の溝加工が終了すると、ワークを第１の加工装置に
維持させたままＶ字溝２８の溝加工を行う（第３工
程）。このＶ字溝２８の溝加工により空気ベアリング面
２６寄りの傾斜面と、センターレール２９の第２の傾斜
面が同時に加工される。To form the V-shaped grooves 27, 28, first, the work is mounted on the first processing device (first step). Subsequently, the V-shaped groove 27 is processed (second step), whereby the inclined surface near the air bearing surface 25 and the first inclined surface of the center rail 29 are simultaneously processed. When the machining of the V-shaped groove 27 is completed, the machining of the V-shaped groove 28 is performed while the work is kept in the first machining device (third step). By the groove processing of the V-shaped groove 28, the inclined surface near the air bearing surface 26 and the second inclined surface of the center rail 29 are simultaneously processed.
【００４２】本発明方法によれば、以上の３工程により
空気溝として機能するＶ字溝２７，２８が形成され、合
わせて磁気ギャップ３４近傍におけるトラック幅が所定
の幅Ｄに規制される。即ち本発明によれば、空気溝とし
て機能するばかりではなくトラック幅規制溝としても機
能するＶ字溝２７，２８を僅か３工程により形成するこ
とができる。According to the method of the present invention, the V-shaped grooves 27 and 28 functioning as air grooves are formed by the above three steps, and the track width in the vicinity of the magnetic gap 34 is also regulated to the predetermined width D. That is, according to the present invention, the V-shaped grooves 27 and 28 that function not only as the air groove but also as the track width regulating groove can be formed in only three steps.
【００４３】上記したように、従来１５の工程が必要で
あった溝加工の工程数を本発明方法によれば３工程に大
幅に減らすことができ、よって磁気ヘッド２０の製造効
率の向上及び製品コストの低減を実現することができ
る。また、本発明方法によれば、１台の加工装置でＶ字
溝２７，２８の溝加工が行えるため、加工装置に対する
ワークへの装着作業は１回だけで済む。よって、装着時
に発生するおそれのある取付誤差，位置決め誤差の発生
を抑制でき、精度の高い溝加工を行うことができる。ま
た、加工装置は１台で済み、また各Ｖ字溝２７，２８は
同一構成の溝であるため、溝加工に用いる工具（ダイヤ
モンドホイール）も同じもので済むため、加工装置及び
工具の確保及び管理を容易化することができる。As described above, according to the method of the present invention, the number of groove machining steps, which conventionally required 15 steps, can be greatly reduced to three steps. Therefore, the manufacturing efficiency of the magnetic head 20 is improved and the product is manufactured. Cost reduction can be realized. Further, according to the method of the present invention, since the V-shaped grooves 27 and 28 can be processed by one processing apparatus, the work for mounting the processing apparatus on the work can be performed only once. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of mounting errors and positioning errors that may occur during mounting, and it is possible to perform highly accurate groove processing. Further, since only one processing device is required and each V-shaped groove 27, 28 has the same configuration, a tool ( diamond used for groove processing)
(Mondo wheel ) is the same, so it is possible to easily secure and manage the processing equipment and tools.
【００４４】更に、前記した図４の溝断面積の値からも
判るように、各Ｖ字溝２７，２８の断面積は0.020mm2で
あり、従来の磁気ヘッド１，３５に設けられている空気
溝の断面積（0.176mm2,0.106mm2)に比べて小さいため、
工具をワーク上を１回の走査させるだけの切削加工（１
パス）のみで各Ｖ字溝２７，２８を形成することができ
る。よって、これによっても製造効率を向上させること
ができる。Further, as can be seen from the value of the groove cross-sectional area shown in FIG. 4, the cross-sectional area of each V-shaped groove 27, 28 is 0.020 mm 2, which is provided in the conventional magnetic heads 1, 35. Since it is smaller than the cross-sectional area of the air groove (0.176mm 2 , 0.106mm 2 ),
Cutting process that requires the tool to scan the workpiece once (1
Each V-shaped groove 27, 28 can be formed only by a pass). Therefore, also by this, the manufacturing efficiency can be improved.
【００４５】上記の如く形成されるＶ字溝２７，２８
は、前記のように磁気ヘッド浮上時における安定化を図
る空気溝、及び磁気ギャップ３４を所定トラック幅とす
るためのトラック幅規制溝として機能することに加え
て、スライダ２２を負圧スライダとする機能をも有して
いる。以下、これについて説明する。V-shaped grooves 27, 28 formed as described above
In addition to functioning as an air groove for stabilizing the magnetic head when the magnetic head is flying and a track width regulating groove for making the magnetic gap 34 have a predetermined track width as described above, the slider 22 is a negative pressure slider. It also has a function. This will be described below.
【００４６】図１６を用いて説明したように、ハードデ
ィスク装置１０は、磁気ヘッドが搭載されたアーム１５
を軸１４を中心として図中矢印Ａ１，Ａ２で示す方向に
回動変位させることにより、磁気ヘッドを磁気ディスク
上の所定のトラックに位置決めする構成とされている。
従って、磁気ヘッド２０は常に磁気ディスク１２の回転
により生じる空気の流れに沿った方向に向くのではな
く、この方向に対し斜めに磁気ヘッド２０が向く場合が
生じる。即ち、図９に示すように、空気の流れ方向（同
図に矢印Ｆで示す）が磁気ヘッド２０に形成されている
Ｖ字溝２７，２８の延在方向と異なる方向となる場合が
生じる。As described with reference to FIG. 16, the hard disk device 10 includes the arm 15 on which the magnetic head is mounted.
The magnetic head is positioned on a predetermined track on the magnetic disk by rotationally displacing the shaft 14 around the shaft 14 in the directions indicated by arrows A1 and A2 in the figure.
Therefore, the magnetic head 20 does not always face the direction along the air flow generated by the rotation of the magnetic disk 12, but the magnetic head 20 may face obliquely to this direction. That is, as shown in FIG. 9, the air flow direction (indicated by arrow F in the figure) may be different from the extending direction of the V-shaped grooves 27, 28 formed in the magnetic head 20.
【００４７】このように、Ｖ字溝２７，２８の延在方向
と異なる方向に空気が流れる場合、図１０に示すように
磁気ディスク１２の回転により流れる空気（同図中、参
照符号４０で示す）により、Ｖ字溝２７，２８内に存在
する空気は吸い出され（吸い出される空気を同図中、参
照符号４１，４２で示す）、Ｖ字溝２７，２８内には負
圧が発生する。即ち、Ｖ字溝２７，２８が設けられてい
るスライダ２２は負圧スライダーとして機能する。Thus, when the air flows in a direction different from the extending direction of the V-shaped grooves 27, 28, the air flowing by the rotation of the magnetic disk 12 as shown in FIG. 10 (indicated by reference numeral 40 in the figure). ), Air existing in the V-shaped grooves 27, 28 is sucked (the sucked air is indicated by reference numerals 41, 42 in the figure), and negative pressure is generated in the V-shaped grooves 27, 28. To do. That is, the slider 22 provided with the V-shaped grooves 27 and 28 functions as a negative pressure slider.
【００４８】上記の如く発生する負圧は、磁気ヘッド２
０を磁気ディスク１２に吸引する力として作用する。従
って、磁気ヘッド２０の浮動量は低く制御され安定した
浮上特性を得ることができ、磁気記録再生特性の安定化
を図ることができる。The negative pressure generated as described above is applied to the magnetic head 2
It acts as a force to attract 0 to the magnetic disk 12. Therefore, the floating amount of the magnetic head 20 is controlled to be low, stable flying characteristics can be obtained, and the magnetic recording / reproducing characteristics can be stabilized.
【００４９】上記した実施例では、Ｖ字溝２７，２８を
平行に且つその全体にわたり同一形状，同一深さに形成
した例を示した。しかるに、この溝形状を変化させるこ
とにより発生する負圧及び浮上力の値は変化する。従っ
て、Ｖ字溝２７，２８の溝形状を適宜選定して発生する
負圧及び浮上力を制御することにより、浮上時において
磁気ヘッド２０をより安定化させることができる。In the above-mentioned embodiment, the V-shaped grooves 27, 28 are formed in parallel with each other and have the same shape and the same depth. However, the negative pressure and the levitation force generated by changing the groove shape change. Therefore, by appropriately selecting the groove shapes of the V-shaped grooves 27 and 28 and controlling the negative pressure and the levitation force generated, the magnetic head 20 can be more stabilized during the levitation.
【００５０】図１１乃至図１３はＶ字溝２７，２８の溝
形状を変化させた例を示している。図１１では、Ｖ字溝
２７ａ，２８ａを同一の深さ及び同一の形状で非平行に
形成したことを特徴とするものである。また、図１２は
Ｖ字溝２７ｂ，２８ｂを平行に配設すると共にその深さ
を磁気ギャップ３４ｂに近くなるに従い深くなるよう形
成したものである。更に、図１３はＶ字溝２７ｃ，２８
ｃを平行に配設すると共にその深さを所定位置にて磁気
ギャップ３４ｃ側が深くなるよう形成したものである。11 to 13 show examples in which the groove shapes of the V-shaped grooves 27 and 28 are changed. FIG. 11 is characterized in that the V-shaped grooves 27a and 28a are formed non-parallel with the same depth and the same shape. Further, in FIG. 12, the V-shaped grooves 27b and 28b are arranged in parallel, and the depth thereof is formed so as to become closer to the magnetic gap 34b. Further, FIG. 13 shows V-shaped grooves 27c and 28.
c are arranged in parallel and the depth is formed so that the magnetic gap 34c side becomes deep at a predetermined position.
【００５１】各図に示される構成とすることにより、磁
気ギャツプ３４ａ〜３４ｃ形成位置における浮上量はよ
り安定に制御され、よって磁気ギャツプ３４ａ〜３４ｃ
と磁気ディスクとの離間距離をより安定に近接すること
ができるため、磁気記録再生特性を向上させることがで
きる。また、浮上特性を調整できるため、設計時におけ
る浮上特性設計を容易に行うことができる。By adopting the configuration shown in each figure, the flying height at the magnetic gaps 34a to 34c forming positions is improved .
The magnetic gaps 34a to 34c are controlled stably.
Since the distance between the magnetic disk and the magnetic disk can be more stably approached, the magnetic recording / reproducing characteristics can be improved. Further, since the levitation characteristic can be adjusted, the levitation characteristic can be easily designed at the time of design.
【００５２】図１４は図１に示した磁気ヘッド２０の変
形例である磁気ヘッド５０を示している。尚、同図にお
いて図１に示した構成と同一構成については同一符号を
付してその説明を省略する。FIG. 14 shows a magnetic head 50 which is a modification of the magnetic head 20 shown in FIG. In the figure, the same components as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００５３】同図に示す磁気ヘッド５０は、スライダ５
１を二つのスライダ部５１ａ，５１ｂにより構成すると
共に、このスライダ部５１ａ，５１ｂ間に非磁性層５２
を設けたことを特徴とするものである。このように、ス
ライダ５１内に非磁性層５２を設けることにより、スラ
イダ部５１ａとスライダ部５１ｂは磁気的に分離された
構成となる。従って、実際に磁気ヘッドとして機能する
スライダ部５１ｂ及びヨーク２１の出力に対するインダ
クタンスの比を低い値とすることができるため、高周波
領域における磁気記録再生特性を向上でき高密度記録を
可能とすることができる。また、非磁性層５２の幅寸法
を適宜制御することにより出力に対するインダクタンス
の比を調整することも可能である。The magnetic head 50 shown in FIG.
1 is composed of two slider portions 51a and 51b, and the non-magnetic layer 52 is provided between the slider portions 51a and 51b.
Is provided. By thus providing the nonmagnetic layer 52 in the slider 51, the slider portion 51a and the slider portion 51b are magnetically separated. Therefore, the slider portion 51b that actually functions as the magnetic head and the index for the output of the yoke 21 are
Since the ratio of the conductance can be set to a low value, the magnetic recording / reproducing characteristics in the high frequency region can be improved and high density recording can be realized. In addition, by controlling the width of the non-magnetic layer 52 as appropriate , the inductance with respect to the output
It is also possible to adjust the ratio of
【００５４】[0054]
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、スライダの
幅寸法が小さくなりこれに伴い磁気ヘッドの形状が小さ
くなることにより、材料費が安くなり製品コストの低減
を図ることができる。また、磁気ヘッドが磁気ディスク
上の移動限位置に達した時におけるデッドスペースを小
さくすることができるため、磁気ディスクの利用効率を
向上させることができる。As described above, according to the present invention, the width dimension of the slider is reduced and the shape of the magnetic head is reduced accordingly, so that the material cost is reduced and the product cost can be reduced. Further, since the dead space when the magnetic head reaches the movement limit position on the magnetic disk can be reduced, the utilization efficiency of the magnetic disk can be improved.
【００５５】また、スライダの幅寸法が小さくなること
により、浮上時におけるロールの発生を抑制でき、安定
した浮上を実現できる。また、空気ベアリング面の面積
も小さくなるため、スプリングアームのバネ圧を小さく
設定することが可能となり、よって磁気ディスクの回転
開始時における磁気ヘッドの損傷発生を防止でき、更に
はスプリングアームの小型化を図ることができる。加え
て、スライダの重量が軽くなることにより、磁気ヘッド
を磁気ディスク上で移動させる際の慣性力は小さくな
り、より速い磁気ヘッドの位置決めができると共に、デ
ィスクの面振れ・外部衝突に影響されない安定したディ
スク追随性が得られ、よってスライダの安定した浮上動
作を確保することができる。Further, since the width of the slider is reduced, it is possible to suppress the generation of rolls during flying, and to realize stable flying. Also, since the area of the air bearing surface is also small, it is possible to set the spring pressure of the spring arm to a small value, thus preventing damage to the magnetic head at the start of rotation of the magnetic disk, and further reducing the size of the spring arm. Can be achieved. Additionally, by weight of the slider becomes lighter, inertial force when moving the magnetic head over the magnetic disk is reduced, it is faster positioning of the magnetic head, de
Stable disk that is not affected by surface wobbling or external collision
The track followability is obtained, so that the stable floating operation of the slider can be secured.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の一実施例である磁気ヘッドの斜視図で
ある。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例である磁気ヘッドの平面図，
正面図，右側面図である。FIG. 2 is a plan view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention,
It is a front view and a right side view.
【図３】図１に示す磁気ヘッドを従来の磁気ヘッドと対
比するための図である。FIG. 3 is a diagram for comparing the magnetic head shown in FIG. 1 with a conventional magnetic head.
【図４】図１に示す磁気ヘッドを従来の磁気ヘッドと対
比するための図である。FIG. 4 is a diagram for comparing the magnetic head shown in FIG. 1 with a conventional magnetic head.
【図５】図１に示す磁気ヘッドの浮上特性を従来の磁気
ヘッドと対比しつつ示す図である。5 is a diagram showing the flying characteristics of the magnetic head shown in FIG. 1 in comparison with a conventional magnetic head.
【図６】図１に示す磁気ヘッドの機械的強度を従来の磁
気ヘッドと対比しつつ説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the mechanical strength of the magnetic head shown in FIG. 1 in comparison with a conventional magnetic head.
【図７】本発明の一実施例である磁気ヘッドの製造方法
を説明するための図である。FIG. 7 is a drawing for explaining the manufacturing method of the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の一実施例である磁気ヘッドの製造方法
を説明するための図である。FIG. 8 is a drawing for explaining the manufacturing method of the magnetic head according to the embodiment of the present invention.
【図９】負圧スライダを説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a negative pressure slider.
【図１０】負圧スライダを説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a negative pressure slider.
【図１１】Ｖ字溝の変形例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a modification of the V-shaped groove.
【図１２】Ｖ字溝の変形例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a modification of a V-shaped groove.
【図１３】Ｖ字溝の変形例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a modification of the V-shaped groove.
【図１４】図１に示す磁気ヘッドの変形例を示す図であ
る。FIG. 14 is a diagram showing a modification of the magnetic head shown in FIG.
【図１５】従来における磁気ヘッドの一例を示す図であ
る。FIG. 15 is a diagram showing an example of a conventional magnetic head.
【図１６】ハードディスク装置を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a hard disk device.
【図１７】磁気ヘッドのピッチングを説明するための図
である。FIG. 17 is a diagram for explaining pitching of the magnetic head.
【符号の説明】 ２０，５０ 磁気ヘッド ２１ ヨーク ２２，５１ スライダ ５１ａ，５１ｂ スライダ部 ２５，２６ 空気ベアリング面 ２７，２８ Ｖ字溝 ２９ センターレール ３４ 磁気ギャップ ５２ 非磁性層[Explanation of reference numerals] 20,50 magnetic head 21 yoke 22,51 slider 51a, 51b slider portion 25,26 air bearing surface 27,28 V-shaped groove 29 center rail 34 magnetic gap 52 non-magnetic layer
Claims (2)
ると共に浮動を行うための空気ベアリング面が形成され
てなるスライダと、磁性材よりなり該スライダの上記磁
性材配設部位と突き合わされて磁気ギャップを形成する
ヨークとにより構成されており、 該スライダと該ヨークを合わせた長手方向の長さをＡ、
該スライダの幅方向の長さをＢとしたとき、上記長さＡ
に対する長さＢの比（Ｂ／Ａ）を 0.4〜 0.2に設定する
と共に、 該スライダに浮上時における安定化を図るための一対の
Ｖ字溝を該磁気ギャップを挟んで形成したことを特徴と
する磁気ヘッド。1. A slider, at least a part of which is formed of a magnetic material, and an air bearing surface for floating, is formed, and a slider made of a magnetic material is abutted against the magnetic material-disposed portion of the slider so as to be magnetic. And a yoke that forms a gap, and the total length of the slider and the yoke in the longitudinal direction is A,
When the length in the width direction of the slider is B, the length A
The ratio (B / A) of the length B to the length is set to 0.4 to 0.2, and a pair of V-shaped grooves for stabilizing the flying are formed on the slider so as to sandwich the magnetic gap. Magnetic head.
ると共に浮動を行うための空気ベアリング面が形成され
てなるスライダを、磁性材よりなるヨークに接合するこ
とにより磁気ギャップを形成した後、 該磁気ギャップ形成位置を挟んで一対のＶ字溝を形成す
ることにより該磁気ギャップの幅を所定トラック幅とす
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。2. A magnetic gap is formed by joining a slider, at least a part of which is made of a magnetic material and having an air bearing surface for floating, to a yoke made of the magnetic material to form a magnetic gap. A method of manufacturing a magnetic head, characterized in that a pair of V-shaped grooves are formed so as to sandwich a magnetic gap formation position so that the width of the magnetic gap becomes a predetermined track width.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204119A JP3057918B2 (en) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Magnetic head and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204119A JP3057918B2 (en) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Magnetic head and method of manufacturing the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0652534A true JPH0652534A (en) | 1994-02-25 |
| JP3057918B2 JP3057918B2 (en) | 2000-07-04 |
Family
ID=16485136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4204119A Expired - Lifetime JP3057918B2 (en) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | Magnetic head and method of manufacturing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3057918B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100748844B1 (en) * | 1999-10-05 | 2007-08-13 | 아크조 노벨 엔.브이. | Method for colour matching by means of an electronic imaging device |
-
1992
- 1992-07-30 JP JP4204119A patent/JP3057918B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100748844B1 (en) * | 1999-10-05 | 2007-08-13 | 아크조 노벨 엔.브이. | Method for colour matching by means of an electronic imaging device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3057918B2 (en) | 2000-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7280316B1 (en) | Hard disk drive suspension employing a vertical offset to reduce track mis-registration induced by disk vibration | |
| JP4374841B2 (en) | Method and apparatus for attaching a microactuator to a slider device | |
| US7061722B2 (en) | Magnetic head gimbal assembly and magnetic disk unit | |
| JPH0652534A (en) | Magnetic head and its manufacture | |
| JP2002237160A (en) | Head support device | |
| JP2003223769A (en) | Disk device | |
| JP3303336B2 (en) | Magnetic disk drive | |
| JPH11353773A (en) | Magnetic head | |
| JPH07307069A (en) | Magnetic head and magnetic disk device using it | |
| JPH11144418A (en) | Levitation head slider and magnetic disk device | |
| JPH0696429A (en) | Magnetic head and its production | |
| JP2642589B2 (en) | Magnetic head, magnetic head device, and magnetic disk device | |
| US7095592B2 (en) | Head slider and disk drive apparatus | |
| US6680820B2 (en) | Method of maintaining a constant flying height of a magnetic head and a magnetic disk drive utilized therefor | |
| JPH08255330A (en) | Magnetic head and actuator for magnetic disk device and magnetic disk device | |
| JP3309149B2 (en) | Method of manufacturing slider for floating magnetic head | |
| JPH1011729A (en) | Magnetic head and production thereof | |
| JPH08249623A (en) | Magnetic head and magnetic disk device | |
| JPH06150597A (en) | Production of floating type magnetic head device | |
| JPH06215339A (en) | Magnetic disk device as well as actuator and spindle | |
| KR20000070081A (en) | Taperless/crown free/air bearing design | |
| JP2002117517A (en) | Combined magnetic head device | |
| JP2006059473A (en) | Magnetic tape drive apparatus | |
| JPH08124140A (en) | Negative pressure slider | |
| JPH1049822A (en) | Manufacture of magnetic head |