JPH065200U - Window device for emitting SOR light in synchrotron - Google Patents
Window device for emitting SOR light in synchrotronInfo
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 SOR光12を出射させるための出射窓13
に装着するベリリウムの薄板30を曲面状に湾曲させる
とともに、その薄板の曲率を、この薄板各部を透過する
SOR光の強度との関連において設定して、薄板各部に
おけるSOR光の透過光路長dが異なるように設定して
おく。すなわち、高強度のSOR光が透過する部分ほど
透過光路長が大きくなるように薄板の曲率を設定してお
く。
【効果】 薄板各部におけるSOR光の透過光路長が異
なることから、それに応じて薄板各部でのSOR光の透
過減衰量の差が生じ、その結果、SOR光が薄板を透過
することで透過前の強度むらが自ずと解消する。
(57) [Summary] [Configuration] An emission window 13 for emitting the SOR light 12
The beryllium thin plate 30 to be mounted on the thin plate is curved to have a curved surface, and the curvature of the thin plate is set in relation to the intensity of the SOR light transmitted through each part of the thin plate so that the transmitted optical path length d of the SOR light at each part of the thin plate is Set differently. That is, the curvature of the thin plate is set so that the transmission optical path length becomes larger at the portion where the high intensity SOR light is transmitted. [Effect] Since the transmission optical path length of the SOR light in each part of the thin plate is different, a difference in the transmission attenuation amount of the SOR light in each part of the thin plate occurs accordingly. The strength unevenness is eliminated by itself.
Description
【0001】[0001]
この考案は、シンクロトロンにおけるSOR光取り出しラインに係り、特にそ の先端に設けられるSOR光の出射用窓装置に関するものである。 The present invention relates to an SOR light extraction line in a synchrotron, and more particularly to a window device for emitting SOR light provided at its tip.
【0002】[0002]
近年、直径が10m以下の比較的小型の粒子加速器としてシンクロトロンが開 発されつつあり、そのようなシンクロトロンから放射されるシンクロトロン放射 光(SOR光)を利用して、たとえば超LSIの微細加工、医療分野における診 断、分子解析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されている。 In recent years, a synchrotron is being developed as a relatively small particle accelerator having a diameter of 10 m or less, and synchrotron radiation (SOR light) emitted from such a synchrotron is used to, for example, a micro LSI of VLSI. It is expected to be applied to various fields such as processing, diagnosis in the medical field, molecular analysis, and structural analysis.
【0003】 図6はシンクロトロンの概要を示すものであって、電子銃等の電子発生装置1 で発生させた電子ビームを線形加速器(ライナック)2で光速近くまで加速し、 偏向電磁石3で偏向させてインフレクタ4を介して蓄積リングである真空ダクト 5に入射させる。真空ダクト5に入射した電子ビームは高周波加速空洞6により エネルギを与えられながら収束電磁石7で収束され、偏向電磁石8で偏向されて 真空ダクト5内を周回し続ける。そして、偏向電磁石8で偏向される際にSOR 光が発生し、それが光取り出しライン9を介してたとえば露光装置10に出射さ れて利用される。FIG. 6 shows an outline of a synchrotron. An electron beam generated by an electron generator 1 such as an electron gun is accelerated by a linear accelerator (linac) 2 to near the speed of light and deflected by a deflection electromagnet 3. Then, it is incident on the vacuum duct 5 which is a storage ring through the inflector 4. The electron beam incident on the vacuum duct 5 is converged by the converging electromagnet 7 while being given energy by the high-frequency accelerating cavity 6, and is deflected by the deflection electromagnet 8 to continue to orbit the vacuum duct 5. Then, when deflected by the deflecting electromagnet 8, SOR light is generated and emitted through the light extraction line 9 to, for example, the exposure device 10 for use.
【0004】 図7は上記シンクロトロンにおける光取り出しライン9を示すものである。 この光取り出しライン9の途中には斜入射ミラー11が配置されている。該斜 入射ミラー11は無酸素銅、SiC、Au、Pt等の平面鏡もしくはたとえば放 物面鏡等の曲面鏡で構成され、SOR光12を反射してライン9の端部に設けら れている出射窓13から出射させるようになっている。上記の斜入射ミラー11 は軸14を支点として上下方向に揺動自在に支持されている。その斜入射ミラー 11の端部にはミラー揺動機構15のロッド16が取り付けられていて、そのロ ッド16はモータ17で駆動されるカム18の回転により上下方向に動作し、こ れによって、斜入射ミラー11を上下方向に揺動させてSOR光12の反射光を 上下方向に揺動させるようになっている。そのように構成しているのは、蓄積リ ングから出射されたSOR光12は本来垂直方向の広がりが小さいので、上記の ような斜入射ミラー11の揺動により垂直方向に露光域を拡大させてLSI露光 用の露光面積を大きく確保するためである。FIG. 7 shows a light extraction line 9 in the synchrotron. An oblique incidence mirror 11 is arranged in the middle of the light extraction line 9. The oblique incidence mirror 11 is composed of a plane mirror of oxygen-free copper, SiC, Au, Pt, or the like, or a curved mirror such as a parabolic mirror, and is provided at the end of the line 9 by reflecting the SOR light 12. The light is emitted from the emission window 13. The oblique incidence mirror 11 is supported so as to be swingable in the vertical direction about a shaft 14 as a fulcrum. A rod 16 of a mirror swing mechanism 15 is attached to the end of the oblique incidence mirror 11, and the rod 16 moves in the vertical direction by the rotation of a cam 18 driven by a motor 17. The oblique incidence mirror 11 is swung in the vertical direction so that the reflected light of the SOR light 12 is swung in the vertical direction. Since the SOR light 12 emitted from the accumulation ring originally has a small spread in the vertical direction, the exposure area is expanded in the vertical direction by swinging the grazing incidence mirror 11 as described above. This is to secure a large exposure area for LSI exposure.
【0005】 ところで、SOR光12の出射窓13は、光取り出しライン9内部の高真空を 維持しつつSOR光12を大気中(もしくは内圧が大気圧程度に維持されるヘリ ウムチャンバ内)に出射させる機能を必要とするので、SOR光12の透過率が 高くかつ機械的強度に優れたベリリウムの薄板19が装着されるが、従来の窓1 3は、図8に示すように、ミラー11の揺動により拡大される全露光面積に対応 した大きな面積のものとされているので、そのような大きな窓13に装着される ベリリウムの薄板19は機械的強度を確保するためにその板厚が厚くなってしま い、その結果、SOR光12の透過率が低下してしまうという不具合があった。By the way, the emission window 13 for the SOR light 12 emits the SOR light 12 into the atmosphere (or inside the helium chamber where the internal pressure is maintained at about atmospheric pressure) while maintaining a high vacuum inside the light extraction line 9. Since a beryllium thin plate 19 having a high transmittance of SOR light 12 and an excellent mechanical strength is mounted because it requires a function, the conventional window 13 is mounted on the window 13 of the mirror 11 as shown in FIG. The beryllium thin plate 19 mounted on such a large window 13 has a large thickness in order to ensure mechanical strength because it has a large area corresponding to the entire exposed area enlarged by movement. As a result, there is a problem that the transmittance of the SOR light 12 is reduced.
【0006】 このため、たとえば図9および図10に示すように、光取り出しライン9の先 端部にベローズ20を介装して、斜入射ミラー11によるSOR光12の上下方 向の揺動に同期させてライン9の先端部を揺動させることで窓13を上下に変位 させるように構成し、それによって図11に示すように窓13の面積をSOR光 12の照射範囲と同程度にまで小さくし、それによって窓13に装着するベリリ ウムの薄板19を小型化するとともに薄くすることも提案されている。Therefore, as shown in FIGS. 9 and 10, for example, a bellows 20 is provided at the front end of the light extraction line 9 so that the oblique incidence mirror 11 can swing the SOR light 12 upward and downward. By oscillating the tip of the line 9 in synchronism, the window 13 is vertically displaced so that the area of the window 13 becomes approximately equal to the irradiation range of the SOR light 12 as shown in FIG. It has also been proposed to reduce the size of the beryllium thin plate 19 that is mounted on the window 13 to be smaller and thinner.
【0007】 また、X線リソグラフィにおいては、SOR光に対してマスクとウェハとを一 体化した状態で走査させる方法が提案されている。この方法では、たとえば図1 2に示すように、SOR光21の短波長側をカットしかつ集光するために、鏡面 が円筒面状の曲面からなる集光ミラー22を該SOR光21の光路上に配置する 。この場合、窓23の形状は、図13に示すようにSOR光21の照射範囲24 より広い円形状とされ、したがって窓23に装着するベリリウムの薄板25も円 形状のものが用いられる。Further, in X-ray lithography, a method has been proposed in which scanning is performed with SOR light in a state where a mask and a wafer are integrated. In this method, for example, as shown in FIG. 12, in order to cut the short wavelength side of the SOR light 21 and collect the light, a light collecting mirror 22 whose mirror surface is a cylindrical curved surface is used. Place it on the street. In this case, the window 23 has a circular shape wider than the irradiation range 24 of the SOR light 21 as shown in FIG. 13. Therefore, the beryllium thin plate 25 mounted on the window 23 also has a circular shape.
【0008】[0008]
ところで、上記のような光取り出しライン9における斜入射ミラー11として 放物面鏡等の曲面鏡を用いた場合、そのミラー11により反射される反射光には 強度むらが生じてしまうという問題を生じている。これは、図14に示すように 、ミラー11として放物面鏡を用いた場合には反射光は平行光となるが、その反 射光は図14から明らかなように上部側で密となり下部側で疎となるような疎密 状態が生じることが避けられず、それに起因して反射光の強度が上部側ほど大き くなってしまって、実際に利用されるSOR光に強度むらが生じてしまうのであ る。 By the way, when a curved mirror such as a parabolic mirror is used as the oblique incidence mirror 11 in the light extraction line 9 as described above, there arises a problem that the reflected light reflected by the mirror 11 has uneven intensity. ing. As shown in FIG. 14, when a parabolic mirror is used as the mirror 11, the reflected light becomes parallel light, but the reflected light becomes dense on the upper side and becomes lower on the lower side as shown in FIG. It is unavoidable that there is a sparse and dense state in which the intensity of the reflected light becomes higher toward the upper side, which causes unevenness in the intensity of the SOR light that is actually used. is there.
【0009】 また、X線リソグラフィにおいても同様に、鏡面が円筒面状の曲面からなる集 光ミラー22を用いているために、図12に示すようにSOR光21の中央部分 の光強度が弱く、この中央部分から外側にかけて順次光強度が強くなるような、 曲面状の強度むらが生じてしまうという問題がある。これは、集光ミラー22に より反射される反射光は平行光であるが、その反射光は中心部よりも周辺部の方 が反射角が大きく、したがって、該反射光は中央部で疎となり周辺部で密となる ような疎密状態が生じることが避けられず、その光強度は中心部では疎となり該 中心部から周辺部に向かって漸次密となるような強度分布を示すこととなり、実 際に利用されるSOR光に強度むらが生じてしまうのである。Similarly, in X-ray lithography, since the collecting mirror 22 whose mirror surface is a cylindrical curved surface is used, the light intensity at the central portion of the SOR light 21 is weak as shown in FIG. However, there is a problem that curved intensity unevenness is generated such that the light intensity becomes stronger from the central portion to the outside. This is because the reflected light reflected by the condenser mirror 22 is parallel light, but the reflected light has a larger reflection angle in the peripheral portion than in the central portion, and therefore the reflected light is sparse in the central portion. It is unavoidable that a dense and dense state occurs in the peripheral part, and the light intensity becomes sparse in the central part and shows an intensity distribution that gradually becomes denser from the central part to the peripheral part. Intensity unevenness occurs in the SOR light used at that time.
【0010】[0010]
本考案は、上記のような問題点を解決するために、シンクロトロンの光取り出 しラインの先端にSOR光を出射させるための出射窓を設けるとともに、その出 射窓に、ライン内の真空を保持するとともにSOR光を透過させるためのベリリ ウムの薄板を装着してなるSOR光出射用窓装置において、前記ベリリウムの薄 板を湾曲させるとともに、その曲率を、この薄板の各部を透過するSOR光の強 度に対応して透過後のSOR光の強度を均等とするべく薄板の各部におけるSO R光の透過光路長が異なるように設定したことを特徴としている。 In order to solve the above problems, the present invention provides an emission window for emitting SOR light at the tip of a line for extracting light from a synchrotron, and the emission window is provided with a vacuum in the line. In a window device for emitting SOR light, which is equipped with a beryllium thin plate for holding the SOR light and transmitting the SOR light, the beryllium thin plate is curved, and the curvature of the SOR light is transmitted through each part of the thin plate. It is characterized in that the transmission optical path length of the SOR light in each part of the thin plate is set to be different so as to make the intensity of the SOR light after transmission equal to the intensity of the light.
【0011】[0011]
本考案の装置におけるベリリウムの薄板は湾曲していることから、その薄板の 各部におけるSOR光の透過光路長が異なるものである。そして、透過光路長が 大きいほどSOR光の減衰量が大きいので、薄板各部に入射するSOR光の強度 に応じてその部分の透過光路長が最適となるように薄板の曲率を設定しておくこ とにより、つまり、高強度のSOR光が透過する部分ほど透過光路長が大きくな るように薄板の曲率を設定しておくことにより、薄板を透過する前におけるSO R光の強度のばらつきを薄板を透過させることのみで自ずと解消させ得る。 Since the beryllium thin plate in the device of the present invention is curved, the transmission optical path length of the SOR light in each part of the thin plate is different. The larger the transmitted optical path length, the greater the amount of attenuation of the SOR light. Therefore, the curvature of the thin plate should be set according to the intensity of the SOR light incident on each part of the thin plate so that the transmitted optical path length of that part is optimal. In other words, by setting the curvature of the thin plate so that the transmission optical path length becomes larger in the portion through which the high intensity SOR light is transmitted, the variation in the intensity of the SOR light before passing through the thin plate is reduced. It is possible to eliminate it by only transmitting
【0012】[0012]
以下、本考案の各実施例について図面を参照して説明する。 (第1実施例) 図1および図2は、本考案の第1実施例のシンクロトロンにおけるSOR光出 射用窓装置であって、たとえば図9ないし図11に示したような光取り出しライ ン9に適用されるものである。図1はその光取り出しライン9の先端部を示すも ので、符号5は真空ダクト、13はその先端に設けられているSOR光12の出 射窓、30はその出射窓13に装着されているベリリウムの薄板30である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIGS. 1 and 2 show a window device for SOR light emission in a synchrotron according to a first embodiment of the present invention, which has a light extraction line as shown in FIGS. 9 to 11, for example. 9 is applied. FIG. 1 shows the tip of the light extraction line 9. Reference numeral 5 is a vacuum duct, 13 is an emission window for the SOR light 12 provided at the tip, and 30 is attached to the emission window 13. It is a beryllium thin plate 30.
【0013】 本実施例におけるベリリウムの薄板30は、従来のものと同様に真空ダクト5 内の高真空を保持し得る機械的な強度を有するものであるが、従来の薄板19が 平板状であったのに対し、本実施例のものは真空ダクト5側に凸となるように湾 曲したものとなっている。そして、その上部側の半分程度が出射窓13に装着さ れていて、その部分をSOR光12が透過するようになっている。The beryllium thin plate 30 in this embodiment has a mechanical strength capable of holding a high vacuum in the vacuum duct 5 as in the conventional one, but the conventional thin plate 19 is a flat plate. On the other hand, in the present embodiment, the vacuum duct 5 is bent so as to be convex. Then, about half of the upper side thereof is attached to the emission window 13, and the SOR light 12 is transmitted therethrough.
【0014】 また、このベリリウムの薄板30の厚みは全体にわたって一定とされているが 、その曲率は、この薄板30の各部を透過するSOR光12の強度に対応して、 透過後のSOR光12の強度を均等とするべく、薄板30各部におけるSOR光 12の透過光路長が異なるように設定されている。The thickness of the thin plate 30 of beryllium is constant throughout, but the curvature thereof corresponds to the intensity of the SOR light 12 transmitted through each part of the thin plate 30, and the SOR light 12 after the transmission. In order to equalize the intensity of the SOR light 12, the transmission optical path length of the SOR light 12 in each part of the thin plate 30 is set to be different.
【0015】 すなわち、既に述べたように、出射窓13に入射するSOR光12は、その前 段で斜入射ミラー11により反射されているため、その強度が図1中に示すよう に上部側ほど大きくなってしまっており、従来においてはそのように強度がばら ついたままで出射窓13を透過してしまい、透過後も強度にばらつきが残ってし まうものである。That is, as described above, since the SOR light 12 entering the exit window 13 is reflected by the oblique incidence mirror 11 in the preceding stage, its intensity is higher toward the upper side as shown in FIG. It has become large, and in the prior art, it is transmitted through the emission window 13 with such variations in intensity, and variations in intensity remain after transmission.
【0016】 ところが、本実施例の装置においては、薄板30が湾曲していることから、薄 板30の各部を通過するSOR光12の透過光路長dは均等にならず、図2に示 すように出射窓13の上部側を透過するものほど透過光路長dが長くなるもので ある。図2には模式的に3本のSOR光12a,12b,12cを示しているが 、出射窓13の最下部を透過するSOR光12aの透過光路長d1が最も短く( この場合には薄板30の厚みに等しい)、最上部を透過するSOR光12bの透 過光路長d2が最も長く、出射窓13の中間部分を透過するSOR光12cの透 過光路長d3はそれらの中間となる。However, in the apparatus of this embodiment, since the thin plate 30 is curved, the transmission optical path length d of the SOR light 12 passing through each part of the thin plate 30 is not uniform, which is shown in FIG. Thus, the transmitted light path length d becomes longer as it passes through the upper side of the exit window 13. Although FIG. 2 schematically shows the three SOR lights 12a, 12b, 12c, the transmission optical path length d1 of the SOR light 12a transmitted through the lowermost part of the emission window 13 is the shortest (in this case, the thin plate 30). Of the SOR light 12b having the longest length, and the transmission optical path length d2 of the SOR light 12b passing through the uppermost portion is the longest, and the transmission optical path length d3 of the SOR light 12c passing through the middle portion of the emission window 13 is in the middle thereof.
【0017】 そして、透過光路長dが長くなるほどSOR光12は減衰するので、出射窓1 3の上部側を透過する高強度のSOR光12ほど減衰量が大きくなる。したがっ て、薄板30各部における透過光路長dとその部分における減衰率を考慮しつつ 、透過前における各部のSOR光12の強度に応じて、各部の透過光路長dが最 適となるように薄板30の曲率を設定しておくことにより、この薄板30を透過 させることのみで透過前の強度の不均一を自ずと解消させることができるのであ る。換言すれば、透過後における各部のSOR光12の強度を均等とするべく、 薄板30の各部における透過光路長dが最適となるように、つまり、高強度のS OR光12が透過する部分ほど透過光路長dが大きくなるように、薄板30の曲 率を設定しておけば良いのである。そのように設定される薄板30の曲面形状は 、出射窓13の形状やその大きさ、薄板30の減衰率等により決定されるもので あるが、近似的にはたとえば球面や円筒面、放物面とすることができる。Since the SOR light 12 is attenuated as the transmitted light path length d is longer, the higher the intensity of the SOR light 12 transmitted through the upper side of the emission window 13 is, the larger the attenuation amount is. Therefore, while considering the transmitted light path length d in each part of the thin plate 30 and the attenuation rate in that part, the thin plate 30 is optimized so that the transmitted light path length d in each part becomes optimum according to the intensity of the SOR light 12 in each part before transmission. By setting the curvature of 30, it is possible to eliminate the nonuniformity of the strength before the transmission only by transmitting the thin plate 30. In other words, in order to make the intensity of the SOR light 12 in each part after transmission uniform, the transmitted light path length d in each part of the thin plate 30 should be optimized, that is, the higher the intensity of the SOR light 12 is, The bending ratio of the thin plate 30 may be set so that the transmitted light path length d becomes large. The curved shape of the thin plate 30 set in this way is determined by the shape and size of the exit window 13, the attenuation factor of the thin plate 30, and the like. Approximately, for example, a spherical surface, a cylindrical surface, or a parabola. It can be a face.
【0018】 なお、薄板を平板状としたままで各部の厚みを増減する(つまり、薄板の厚み を窓の上部側程厚くする)ことによっても同様の効果が得られるであろうが、そ のようなことはベリリウムの薄板の加工精度を考慮すると現実的ではない。また 、上記実施例では、ベリリウムの薄板を真空ダクト側に凸となるように湾曲させ たが逆向きに湾曲させても良い。さらに、出射窓に対する薄板の装着構造も適宜 変更して良いことは勿論である。It should be noted that the same effect may be obtained by increasing or decreasing the thickness of each part while keeping the thin plate flat (that is, increasing the thickness of the thin plate toward the upper side of the window). This is not realistic considering the processing accuracy of the beryllium thin plate. Further, in the above embodiment, the thin plate of beryllium is curved so as to be convex toward the vacuum duct, but it may be curved in the opposite direction. Further, it goes without saying that the mounting structure of the thin plate on the emission window may be changed as appropriate.
【0019】 (第2実施例) 図3は、本考案の第2実施例のシンクロトロンにおけるSOR光出射用窓装置 であって、たとえば図12に示したような光取り出しライン9に適用されるもの である。図3はその光取り出しライン9の先端部を示すもので、符号5は真空ダ クト、23はその先端に設けられているSOR光21の出射窓、31はその出射 窓23に装着されているベリリウムの薄板である。Second Embodiment FIG. 3 shows a window device for SOR light emission in a synchrotron according to a second embodiment of the present invention, which is applied to a light extraction line 9 as shown in FIG. 12, for example. It is a thing. FIG. 3 shows the tip of the light extraction line 9. Reference numeral 5 is a vacuum duct, 23 is an emission window for the SOR light 21 provided at the tip, and 31 is attached to the emission window 23. It is a thin plate of beryllium.
【0020】 本実施例におけるベリリウムの薄板31は、上記第1実施例の薄板30と同様 に真空ダクト5内の高真空を保持し得る機械的な強度を有するものであり、上述 した薄板30と異なる点は、真空ダクト5側に凸となるように湾曲した状態でそ の全体が出射窓23に装着され、該出射窓23全体をSOR光21が透過するよ うになっている点である。The thin plate 31 of beryllium in the present embodiment has mechanical strength capable of holding a high vacuum in the vacuum duct 5 like the thin plate 30 of the first embodiment, and is the same as the thin plate 30 described above. The different point is that the whole is attached to the emission window 23 in a curved state so as to be convex toward the vacuum duct 5, and the SOR light 21 is transmitted through the entire emission window 23.
【0021】 また、このベリリウムの薄板31の厚みは全体にわたって一定とされ、その曲 率は、この薄板31の各部を透過するSOR光21の強度に対応して、透過後の SOR光21の強度を均等とするべく、薄板31各部におけるSOR光21の透 過光路長が異なるように設定されている点も前記薄板30と同様である。Further, the thickness of the beryllium thin plate 31 is made constant throughout, and the curvature thereof corresponds to the intensity of the SOR light 21 transmitted through each part of the thin plate 31, and the intensity of the SOR light 21 after transmission. In order to equalize the above, the transparent optical path length of the SOR light 21 in each part of the thin plate 31 is set to be different, which is also similar to the thin plate 30.
【0022】 ここで、前記薄板31にSOR光21を入射させる場合について説明する。 出射窓23に入射するSOR光21は、その反射光強度が図3中に示すように SOR光21の中央部分の光強度が弱く、この中央部分から外側にかけて順次光 強度が強くなるような曲面状の強度むらを有するが、薄板31各部における透過 光路長とその部分における減衰率を考慮しつつ、透過前における各部のSOR光 21の強度に応じて、各部の透過光路長が最適となるように薄板31の曲率を設 定しておくことにより、薄板31の各部を通過するSOR光21は出射窓23の 中心部から周辺部にかけて漸次減衰量が大きくなり、したがって、透過後におけ る各部のSOR光21の透過光強度は面方向に均一となる。Here, a case where the SOR light 21 is incident on the thin plate 31 will be described. The reflected light intensity of the SOR light 21 entering the exit window 23 is such that the light intensity at the central portion of the SOR light 21 is weak as shown in FIG. 3, and the light intensity is gradually increased from the central portion to the outside. Although it has a uniform intensity unevenness, the transmission optical path length of each part is optimized according to the intensity of the SOR light 21 of each part before transmission while taking into consideration the transmission optical path length in each part of the thin plate 31 and the attenuation rate in that part. By setting the curvature of the thin plate 31 on the SOR light 21, the attenuation amount of the SOR light 21 passing through each part of the thin plate 31 gradually increases from the central part to the peripheral part of the exit window 23. The transmitted light intensity of the SOR light 21 becomes uniform in the surface direction.
【0023】 次に、前記SOR光出射用窓装置のシミュレーション解析を行なった結果につ いて説明する。 図4は薄板31に入射する前の径方向(D)のSOR光21の反射光強度分布 (R)を示し、また、図5は、薄板31を透過した後の径方向(D)のSOR光 21の透過光強度分布(T)を示したものである。なお、これらの目盛りは任意 である。 ここで、SOR光21は1.2GeVの光の7m地点でのレジスト表面出力が 370mW/cm2のものを用い、また、薄板31は径が50mm、厚みが30 μm、曲率半径が85mmのものを用いた。 これらの結果から、SOR光21の反射光強度は中央部分の光強度が弱く、こ の中央部分から外側にかけて順次光強度が強くなるような曲面状の強度むらを呈 しているが、薄板31を透過させることにより該SOR光21の透過光強度は面 方向に均一となることが明らかである。Next, the result of the simulation analysis of the SOR light emitting window device will be described. 4 shows the reflected light intensity distribution (R) of the SOR light 21 in the radial direction (D) before entering the thin plate 31, and FIG. 5 shows the SOR in the radial direction (D) after passing through the thin plate 31. 3 shows a transmitted light intensity distribution (T) of the light 21. These scales are arbitrary. Here, the SOR light 21 has a resist surface output of 370 mW / cm 2 at a 7 m point of 1.2 GeV light, and the thin plate 31 has a diameter of 50 mm, a thickness of 30 μm, and a radius of curvature of 85 mm. Was used. From these results, the reflected light intensity of the SOR light 21 has a weak intensity in the central portion and a curved intensity unevenness in which the light intensity gradually increases from the central portion to the outside. It is apparent that the transmitted light intensity of the SOR light 21 becomes uniform in the in-plane direction by transmitting the light.
【0024】 以上説明した様に、本第2実施例の薄板31によれば、真空ダクト5側に凸と なるように湾曲した状態でその全体が出射窓22に装着され、該出射窓22全体 をSOR光12が透過するように構成することとしたので、出射窓23に入射す るSOR光21の反射光強度が中央部分が弱く、この中央部分から外側にかけて 順次強くなるような曲面状の強度むらを有する場合であっても、該薄板31の各 部を通過するSOR光21の透過光強度を面方向に均一とすることができ、透過 後の光強度分布を極めて均一にすることができる。As described above, according to the thin plate 31 of the second embodiment, the whole of the emission plate 22 is attached to the emission window 22 while being curved so as to be convex toward the vacuum duct 5 side. Since the SOR light 12 is configured to pass therethrough, the intensity of the reflected light of the SOR light 21 entering the exit window 23 is weak in the central portion and gradually increases from the central portion to the outside. Even if there is intensity unevenness, the transmitted light intensity of the SOR light 21 passing through each part of the thin plate 31 can be made uniform in the surface direction, and the light intensity distribution after transmission can be made extremely uniform. it can.
【0025】[0025]
【考案の効果】 以上で説明したように、本考案は、SOR光を出射させるための出射窓に装着 するベリリウムの薄板を湾曲させるとともに、その薄板の曲率を、この薄板の各 部を透過するSOR光の強度に対応して透過後の強度を均等とするべく薄板各部 における透過光路長が異なるように設定したものであるから、透過光路長が異な ることによる減衰量の差により透過後のSOR光の強度むらを自ずと解消させる ことができ、出射窓から出射するSOR光の強度を均等にならしめることができ るという効果を奏する。As described above, according to the present invention, the beryllium thin plate attached to the emission window for emitting the SOR light is curved, and the curvature of the thin plate is transmitted through each part of the thin plate. Since the transmission optical path lengths in each part of the thin plate are set to be different so as to equalize the intensity after transmission corresponding to the intensity of SOR light, there is a difference in the attenuation amount due to the difference in the transmission optical path length. It is possible to eliminate the unevenness of the intensity of the SOR light by itself and to even out the intensity of the SOR light emitted from the emission window.
【図1】本考案の第1実施例であるSOR光出射用窓装
置の概略構成を示す側断面図である。FIG. 1 is a side sectional view showing a schematic configuration of a window device for emitting SOR light which is a first embodiment of the present invention.
【図2】同装置の要部拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a main part of the device.
【図3】本考案の第2実施例であるSOR光出射用窓装
置の概略構成を示す側断面図である。FIG. 3 is a side sectional view showing a schematic configuration of a SOR light emitting window device according to a second embodiment of the present invention.
【図4】本考案の薄板に入射する前の径方向(D)のS
OR光の反射光強度分布(R)を示す図である。FIG. 4 S in the radial direction (D) before entering the thin plate of the present invention
It is a figure which shows the reflected light intensity distribution (R) of OR light.
【図5】本考案の薄板を透過した後の径方向(D)のS
OR光の透過光強度分布(T)を示す図である。FIG. 5: S in the radial direction (D) after passing through the thin plate of the present invention
It is a figure which shows the transmitted light intensity distribution (T) of OR light.
【図6】シンクロトロンの概要を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an outline of a synchrotron.
【図7】同シンクロトロンにおける光取り出しラインの
一例を示す概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an example of a light extraction line in the synchrotron.
【図8】同ラインにおけるSOR光の出射窓を示す図で
ある。FIG. 8 is a view showing an emission window of SOR light on the same line.
【図9】同シンクロトンにおける光取り出しラインの他
の例を示す概略構成図である。FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing another example of a light extraction line in the same synchroton.
【図10】同ラインの動作状態を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an operating state of the same line.
【図11】同ラインにおけるSOR光の出射窓を示す図
である。FIG. 11 is a view showing an emission window of SOR light on the same line.
【図12】同シンクロトロンにおける光取り出しライン
の他の一例を示す概略構成図である。FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing another example of a light extraction line in the synchrotron.
【図13】同ラインにおけるSOR光の出射窓を示す図
である。FIG. 13 is a view showing an emission window of SOR light on the same line.
【図14】斜入射ミラーによるSOR光の反射の状況を
説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a situation of reflection of SOR light by an oblique incidence mirror.
d,d1,d2,d3 透過光路長 5 真空ダクト 9 光取り出しライン 12,12a,12b,12c SOR光 13 出射窓 23 出射窓 30 薄板 31 薄板 d, d1, d2, d3 transmission optical path length 5 vacuum duct 9 light extraction line 12, 12a, 12b, 12c SOR light 13 emission window 23 emission window 30 thin plate 31 thin plate
Claims (1)
端にSOR光を出射させるための出射窓を設けるととも
に、その出射窓に、ライン内の真空を保持するとともに
SOR光を透過させるためのベリリウムの薄板を装着し
てなるSOR光出射用窓装置において、前記ベリリウム
の薄板を湾曲させるとともに、その曲率を、この薄板の
各部を透過するSOR光の強度に対応して透過後のSO
R光の強度を均等とするべく薄板の各部におけるSOR
光の透過光路長が異なるように設定したことを特徴とす
るシンクロトロンにおけるSOR光出射用窓装置。1. A beryllium thin plate for providing an exit window for emitting SOR light at the tip of a light extraction line of a synchrotron and for holding the vacuum in the line and transmitting the SOR light at the exit window. In the window device for emitting SOR light, the thin plate of beryllium is curved, and the curvature thereof corresponds to the intensity of SOR light transmitted through each part of the thin plate.
SOR in each part of the thin plate to make the intensity of R light uniform
A window device for SOR light emission in a synchrotron, characterized in that different transmission light path lengths of light are set.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1992066574U JP2584490Y2 (en) | 1991-12-12 | 1992-09-24 | Window device for SOR light emission in synchrotron |
Applications Claiming Priority (3)
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Publication Number | Publication Date |
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JPH065200U true JPH065200U (en) | 1994-01-21 |
JP2584490Y2 JP2584490Y2 (en) | 1998-11-05 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183252U (en) * | 1983-05-24 | 1984-12-06 | 積水化学工業株式会社 | hemorrhoid treatment device |
JP2014143089A (en) * | 2013-01-24 | 2014-08-07 | Jobu:Kk | X-ray generator |
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JPH03155116A (en) * | 1989-11-14 | 1991-07-03 | Sorutetsuku:Kk | Synchrotron radiation light exposure device and its exposure |
-
1992
- 1992-09-24 JP JP1992066574U patent/JP2584490Y2/en not_active Expired - Fee Related
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JP2584490Y2 (en) | 1998-11-05 |
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