JPH06510599A - 光検出器信号補正方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 光検出器信号補正方法および装置 発明の背景 周知のように、利用されている光導電型検出器による分光分析において、発生さ れた電気信号と入射放射線間の非直線性のために、誤りの生じることがよ（ある 、そのような非直線性を補正する方法および装置は、１９９０年５月２２日発行 のキーンズ（Ｋｅｅｎｓ）他による米国特許第４９２７２６９号に開示されてい る。しかし、それは一連のやや恣意的な想定に基づいているために、キーンズ他 によって説明された技術は、限定された効用および価値を持つにすぎないと考え られている。

したがって、本発明の広義の目的は、光導電型検出器によって発生される電気信 号を補正して、出力信号を、入射放射線のエネルギーに関してほぼ直線性にする 、非常に有効な、しかも複雑でない方法および装置を提供することである。

本発明のより特定的な目的は、光導電型検出器応答現象の基礎となっている物理 的原理を利用し、かつ実現するような方法および装置を提供することである。

もう１つの特定目的は、光導電型検出器信号を直線化する新規アナログ回路が組 込まれているような装置を提供することである。

本発明の関連する目的は、利用しやすい方法を提供すること、そして製造するの に比較的費用のかからない装置を提供することである。

発明の概要 本発明の上述の、および関連する諸口的のいくらかは、一定のバイアス電圧を印 加された光導電型検出器を利用して、時変値Ｘｓを持つ電気信号を発生する方法 を備えることによって達成されるのでありで、この値Ｘｓは検出器に入射する電 磁放射線のエネルギーを表しているが、それに関して非直線的にする電気的ひず みを含んでいる。（Ｘｓ−Ｃ）”の値を持つ補正信号が発生され、この少なくと も端数は、少なくともＸｓの値を持つ信号に加算されて、電気的ひずみをほぼ除 去し、よって直線化出力信号を生成する。信号Ｘｓの本質に依存して、項ｒＣＪ は０あるいは、Ｘｓと同じ単位を持つ数値であり得る。Ｘｓが、干渉像のような 変調信号のＡ、　Ｃ，部分である場合、それはＯになるであろう、そして信号値 Ｘｓが検出器出力電圧を構成する場合、それは基準電圧値になるであろう。

この発生信号と補正信号は、通常、次の関係に従って結合される。

１／ａＸ　（Ｘｓ＋ｆ　［Ｘｓ−ｃｌ　”　）、但し、ｒｆＪは端数定数であり 、ｒａＪは１　（Ｘｓが検出器出力電圧である場合）、あるいはｒｔ’」　（Ｘ ｓが変調信号のＡ、　Ｃ，部分である場合）の値を持っている。この方法を実行 する場合、定数ｒｆＪの特定値「ｆｏ」は、結合信号において、電気的ひずみが ほぼ除去される場合、確立される。

本発明のその他の目的は、上述の光導電型検出器と、検出器に接続した「定バイ アス電圧」バイアス回路と、補正信号（Ｘｓ−Ｃ）”を生成する手段と、補正信 号の少な（とも端数を、少な（とも値Ｘｓを持つ信号に加算する手段、とを含む 装置を備えることによって達成される０発生信号と補正信号は、通常、上述の関 係に従って結合され、そして装置には、通常、「ｆｏ」の値を確立する手段が含 まれるであろう。

装置の若干の実施態様では、生成手段、加算手段、確立手段は、検出器信号電圧 に作用するよう接続されたアナログ電子回路を備えることになり、その場合、結 合関係は、Ｘｓ＋ｆ　（Ｘｓ−Ｃ）”となる、そのような装置において、「ｆｏ 」を確立する手段は、可変分圧器を備えると都合がよい。装置の加算手段および 、値（Ｘｓ−Ｃ）”を生成する手段は、分圧器が作動的に接続している集積回路 を備えると良好である。

装置の他の実施態様では、生成手段、加算手段および／または「ｆｏ」確立手段 は、電子データ処理手段を備えることになり、その場合、結合関係は、Ｘｓ／ｆ ＋　（Ｘｓ）”となり、そして検出器信号は変調信号のＡ、　Ｃ，部分の形にな るであろう。いずれにせよ、装置は通常、検出器にビームを投射するよう配置さ れた電磁放射線源を含み、そしてそれがフーリエ変換赤外線分光計（ＦＴ−ＩＲ ）を備えていると非常に望ましい。

図面の簡単な説明 図ＩＡおよびＩＢはそれぞれ、補正してない光導電型検出器発生信号のフーリエ 変換スペクトル、および本発明により直線化を受けた同じ信号の同様なスペクト ルを示す分光計トレースである。

図２は、本発明を具体化する装置の略図である。

図３は、本発明の装置で利用されるのに適したアナログ電子回路を示す略図であ る。

図４は、図３の回路で利用される半導体チップの機能特徴を示す略図である。

好ましい図解付実施態様の詳細な説明 先ず、添付の図面の図１ＡおよびＩＢでは、フーリエ処理されて単一ビームスペ クトルを発生する信号の曲線が示されている（この曲線では、横座標は波数の増 分を示し、縦座標の単位は任意である）。変換に利用される信号は、ポーメンマ イケルソン（Ｂｏｍｅｍ　Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ）モデル１ｔｏ　（ＦＴ−ＩＲ） 分光計で測定した干渉像であり、この分光計では、４３０ｃｍ”のしゃ断周波数 を持つ（すなわち、それ以下の周波数の放射線には応答しない）テルル化水銀カ ドミウム検出器が利用されている。市販のプラスチックラップが１０層に折り重 ねられ、そしてその結果の構造は干渉計からのビームの通路に保持されている。

図ＩＡは補正してない信号を表す。図ＩＢは本発明によって直線化された同じ信 号を示す、明らかに、プラスチックラップによる多くの吸収特徴が補正してない 信号曲線に見られ、０単位以下に下げている。これは当然、誤った表現である。

さらに、この曲線は４３０　ｃｍ”より低い、すなわち、検出器しゃ断周波数よ り小さい周波数において、正信号を示しており、これもまた、当然、誤り値であ る。図ＩＢの、本直線化方法論に従って補正された曲線は、先の矛盾が除去され たことを示す。

図２に例示された本発明の装置は、ビームを発生する放射線源を備えており、こ のビームは（適切な伝達光学装置によって）変調手段を通って光導電型検出器に 伝わる。検出器によって発生された電気信号Ｘｓは、直線化手段によって処理さ れて、線源で発する放射エネルギーの時変値に対してほぼ直線的な、ひずみのな い関係を持つ出力信号ｘ０を生成する。変調手段はＦＴ−ＩＲ分光計の干渉計で あってもよいこと、そして放射線源と直線化手段は、それぞれ、ＩＲ源（例えば 、グロバー）とそのコンピュータであってもよいことは理解されよう。また、線 源はスペクトルの他の領域内の、および／または単色光の、電磁放射線を発生で きること、変調手段はビームチョッピング装置を備え得ること、そして直線化手 段は、図３と４で示されるようなアナログ回路を備え得ることも理解されよう。

より特定すれば、これらの図は、本発明を実現する場合、数字１０で示される光 導電型検出器からの信号を直線化するのに適したアナログ回路を示す。そのよう な装置を利用して、上述の、図ＩＢの曲線で表される直線化信号を生成する。

バイアス回路１５は、検出器１０に定バイアス電圧を印加するために設けられて おり、そして装置はさらに、集積回路と、電圧従動部（基準電源）、およびり。

Ｃ４電源を含み、それぞれ、数字１２．１４および１６で表されている。集積回 路１２は、ブルーブラウン（Ｂｕｒｒ−Ｂｒｏｗｎ）リサーチコーポレーション （タスコン、アリシナ）から市場で入手可能なＭＰＹ６００チップが適しており 、そして電源１６は代表的に１２ボルト出力を持つであろう。

電圧従動部１４は基準電圧（Ｖｒ）を発生するのに利用され、この電圧はライン ３４を介して、回路の内部電圧限度を受け入れるチップ１２の端子３０と３２に 印加され、同様にその接地端子３１と３３に印加される。基準電圧の値は、定常 電源１６に作動的に接続した第２可変抵抗器３６の適切なセツティングによって 、決定されるであろう。接地電位は、当然、適切な場合に印加されるが、この場 合、Ｖｒの値は０になるであろう、チップ１２の端子３８と４０は出力ライン４ ２に連結され、そして電源１６はその端子４４と４６にかかつて接続されている 。

検出器１０は、端子１８と２２で、チップ１２に直接接続されており、従ってラ イン２０によってそこにその出力信号電圧（Ｖｓ）を印加する。基準電圧（Ｖｒ ）プラス、基準電圧に対する検出器電圧の端数　（ｆ　［Ｖｓ−Ｖｒｌ　）は、 ライン２６によってチップの端子２４に印加され、それは可変抵抗器２８によっ てライン２０に接続する。抵抗器２８を調整することによって、端数定数ｒｆＪ の値を決定する。

チップ１２の機能的特徴は図４に例示される。その伝達方程式はＶ、＝Ａ　［（ Ｘ、−Ｘ、）（Ｙ、−Ｙ、）／２Ｖ＋　（Ｚ、−Ｚ、）］、但し、「ｖｏ」はチ ップの出力電圧を表し、ｒＡＪはその増幅利得であり、そしてＸ、、Ｘ、、Ｙ、 、Ｙ、、Ｚ、およびＺ、は、それぞれ、端子２４．３２゜２２．３０．４Ｃ１よ び１８に印加される電圧である。積（Ｘ＋　−Ｘ−）（Ｙｌ−Ｙ＊　）の２ボル トでの除算は１乗算コア４８の固有特性である。したがって、値ｆ　（Ｖｓ−Ｖ ｒ）と（Ｖｓ−Ｖｒ）を持つ差動増幅器５２と５４の出力電圧は、チップのコア ４８において乗算されて、４ａｆ　（Ｖｓ−Ｖｒ）”を持つ信号を生成する。増 幅器５０において、その信号から、増幅器５６によって生成された信号（−Ｖｓ ）が減算されて、チップ１２の出力信号■。とじて、値Ｖｓ＋ｆ（Ｖｓ−Ｖｒ） ”を持つ電圧を生じる。理解されるように、これはすでに述べた一般直線化方程 式Ｘｓ＋ｆ　（Ｘｓ−Ｃ）”を満足させる、但し、ＶｓはＸｓ、ＶｒはＣ１そし てｆはｆｏであり、そして集積回路伝達方程式の除数値を具体化している。

端数定数ｒｆＪの固有値「ｆｏ」は、幾つかの方法のうちのどれによってでも、 確立することができる０例えば、検出器１０によって発生された干渉像信号の高 速フーリエ変換は、周波数の関数としての入射放射線のエネルギーレベルを示す ために図で較正されて、オシロスコープあるいは映像端末に表示することができ る。信号トレースが、光導電型検出器の既知のしゃ断周波数より低い周波数にお いて正のエネルギー値を示す場合には（補正してない信号において通常、発生す るように）、図３の回路における可変抵抗器２８の抵抗値は、しゃ断周波数より 低い（しかし、回路内にあるどのハイ・パス・フィルタのしゃ断点より高い）波 数における変換曲線の部分がほぼＯエネルギーレベルを示すまで、単純に調整さ れるであろう、もちろん、回路の限界が入射放射線強度の実用範囲以下に収まる ように、基準電圧（Ｖｒ）が（可変抵抗器３６を調整することによって）前もっ て設定される、と考えるならば、ｆｏのそのような経験的設定により、出力信号 を効果的に直線化し、それを検出器に当たる電磁放射線の時変強度に正確に関連 付けるであろう。

あるいはまた、または前述の手順に加えて、強い吸収性材料を機器ビームの通路 に置いて、干渉像のフーリエ変換において強い吸収帯を生成することができる。

そのような帯域がＯエネルギーレベルより下に下がる場合（主検出器信号におい て、またごく普通である）、再び、抵抗器２８の値は調整されて、曲線の異常な 部分を、ちょうどＯエネルギーレベルに持ってくることができる。そのようにす ると、回路の出力電圧信号は、光導電型検出器に当たる放射線の強度に対して非 常に直線的な関係を持つであろう。

利用できる別の技術には、検出器に当たる外部（変調されてない、Ｄ、　Ｃ，） 放射線のレベルが変わる間、高速フーリエ干渉像変換を観察することが含まれる 。内部（変調された、Ａ、　Ｃ，）放射線と検出器出力信号間に真に直線的な関 係が存在するならば、与えられた外部エネルギーのレベルの変化に関係なく、観 察したトレースの振幅には何の変化もないであろう、その結果、分圧器は、その ような振幅の変化が生じることがあればそれを除去するように調整することがで き、それによってｆｏを設定する。

上述の視覚的な手順に加えて、当業者には理解されるように、分析技術を利用し て、端数定数の値を確立することもできる。その決定は、変換曲線に反映された 、変則的エネルギー値の、あるいは可変比例定数（利得）の除去あるいは安定化 を必要とするので、指示的データを査定するために、この曲線を分析することが できる。一旦、それが行われると、変則的状態を補正するために必要に応じて、 アナログ回路を自動的に、または手動で、同調することができる。

もちろん、そのような分析および自動調整は、電子データ処理手段を使うと、最 も効果的に実行されるであろう。ＦＴ−ＩＲの備えるコンピュータは、もちろん 、その目的にとって非常に都合のよい手段を提供するであろう、実際に、（例え ば）干渉像信号（Ｉ　ｓ）を処理して、そこから上述の変則的特徴を除去するプ ログラムを使用するコンピュータ方法によって、直線化の全手順を実現できるこ とは、当業者によって理解されるであろう。そのように実現する動作アルゴリズ ムは、前述のように、生信号（Ｉ　ｓ）が決定された端数定数「ｆｏ」で除算さ れ（そしてＩｓより大きい値を持つ商を生成する）、そしてその信号の平方値（ Ｉｓ）”を加算される（一般式の項「Ｃ」は０である）ようなものとなっている 。定数ｒｆ、ｊの適切な値は、アナログ直線化回路に関して上で述べた基準を適 用することによって、確立することができる。

本方法および装置は、分散的かつ単色光の分光計に、さらにＦＴ−ＩＲ機器等に 適用し得ることが、強調されるべきであろう。そのような場合、外部線源を利用 して、検出器に当たる少なくとも２つの異なるり、　Ｃ，エネルギーレベルの放 射線を生成するような前述の手順を利用して「ｆｏ」を決定することができるの であるが、必要な時変エネルギー曲線を生成するために、振幅変調のための内部 ビームをチョップすることが必要なこともあり得る。

当業者には理解されるであろうが、端数定数を決定し、そして／または補正アル ゴリズムを実現するのに利用されるアナログ回路は、本発明の概念から逸脱する ことなく、ここに例示され、説明されたそれとは異なることができる。この回路 は、当然、製造者によって、光導電型検出器のための分光計あるいは前置増幅器 に組込むことができる、あるいはそれをアドオン装置として設計し、組立てるこ ともできる。同様に、直線化アルゴリズムを実現し、モして／または補正項を決 定するために、検出器信号の電子データ処理が実行される態様は、当業者には明 白であろう。したがって特に説明する必要はないであろう、ただ、利用できる補 正因子は、繰返し適切な値に収束させるためにニュートン・ラフソン技術によっ て決定することができる、ということを述べるに留める。

したがって、明らかに、本発明は、光導電型検出器によって発生された電気信号 を補正して、検出器応答を、入射放射線のエネルギーに関してほぼ直線的にする 、非常に効果的で、かつ複雑でない方法および装置を提供する０本発明によって もたらされる測光精度の優秀さは、仮定と近似に基づいてではなく、光導電型検 出器応答現象の基礎になっている物理的原理についての、理解および革新的利用 と実行に帰因するものと考えられる。発明の方法は利用しやすく、そして装置は 製造するのに比較的費用がかからない。

ＦＩ６．２ Ｆ／Ｇ、４ フロントページの続き （８１）指定国　ＥＰ（ＡＴ、ＢＥ、ＣＨ，ＤＥ。

ＤＫ、ＥＳ、ＦＲ，ＧＢ、ＧＲ，ＩＴ、ＬＵ、ＭＣ，ＮＬ、ＳＥ）、０Ａ（ＢＦ 、ＢＪ、ＣＦ、ＣＧ、ＣＩ、ＣＭ、ＧＡ、ＧＮ、ＭＬ、ＭＲ，ＳＮ、ＴＤ、ＴＧ ）、ＡＴ、　ＡＵ、　ＢＢ、　ＢＧ、　ＢＲ，ＣＡ、　ＣＨ，ＤＥ、　ＤＫ。

ＦＩ、ＧＢ、ＨＵ、ＪＰ、ＫＰ、ＫＲ，ＬＫ、ＬＵ、ＭＧ、ＭＷ、ＮＬ、Ｎｏ、 ＰＬ、ＲＯ，ＲＵ、ＳＤ、５Ｅ（７２）発明者　ハシブレン　デーピット　ジー 。

アメリカ合衆国、コネチカット州　０６４２４イースト　ハンプトン、ロック　 ランディング　ロード　３０５ （７２）発明者　ブルーレット　カール　アール。

アメリカ合衆国、コネチカット州　０６１０７ウエスト　ハートフォード、ブー ルバード　２１８１

Claims (27)

【特許請求の範囲】
1. １．光導電型検出器に当たる電磁放射線の時変強度にほぼ直線的に関係を有する 直線化電気信号を生成する方法であって、入射電磁放射線を変換して、放射線の エネルギーを表す電気信号を発生する光導電型検出器を設ける段階、 前記検出器に定バイアス電圧を印加する段階、電磁放射線をある時間区間、前記 検出器に衝突させて、この衝突放射線のエネルギーを表す時変値Ｘｓを持つ電気 信号であって、それを前記衝突放射線エネルギーに対して非直線的関係にする電 気的ひずみを含んでいるものを発生させる段階、 値（Ｘｓ−Ｃ）２を持つ補正信号（但し、Ｃは０あるいはＸｓと同様な単位の定 数）を生成する段階と、そして 前記補正信号値の少なくとも端数を、少なくとも値Ｘｓを持つ信号に加算して、 そこから前記電気的ひずみをほぼ除去し、それによってほぼ直線化した出力信号 を生成する段階、 を具備することを特徴とする、前記方法。
2. ２．前記発生信号と補正信号は次の関係、１／ａＸ〔Ｘｓ＋ｆ（Ｘｓ−Ｃ）２〕 但し、「ｆ」は端数定数、「ａ」は１と「ｆ」から成るクループから選択された 値を持つ に従って結合され、そして 特定値「ｆｏ」は端数定数「ｆ」に対して確立され、この特定値において、生成 された結合信号の電気的ひずみはほぼ除去される、ことを特徴とする、請求項１ の方法。
3. ３．前記発生電気信号は変調信号のＡ．Ｃ．部分であり、Ｃは０であり、そして 前記「ａ」の値は「ｆ」に等しいことを特徴とする、請求項２の方法。
4. ４．前記発生電気信号は検出器発生電圧を構成し、Ｃは基準電圧であり、そして 前記「ａ」の値は１であることを特徴とする、請求項２の方法。
5. ５．前記衝突放射線は干渉計ビームを構成し、前記結合信号はフーリエ変換され て変換信号を発生し、そして前記変換信号は「ｆ」の値が変化する際に監視され 、前記「ｆｏ」の特定値を決定することを特徴とする、請求項２の方法。
6. ６．前記検出器はあるしゃ断周波数値より低い周波数の放射線に対して非応答性 であり、そしてそのような監視は、 （ａ）前記変換信号が前記低い周波数ではほぼ何のエネルギーも示さない、と決 定する段階、 （ｂ）前記変換信号が０以下のレベルの前記衝突放射線のほぼ何の吸収も示さな い、と決定する段階、および （ｃ）前記衝突放射線を、少なくとも２つの異なるレベルの定常状態放射線エネ ルギーを発生するように変え、そして前記変換信号の振幅が、前記発生された異 なるエネルギーレベルにおいてほぼ変化しない、と決定する段階、から成るクル ープから選択された１段階によって実行される、ことを特徴とする、請求項５の 方法。
7. ７．前記結合信号は、「ｆ」の値および前記衝突放射線の定常状態エネルギーレ ベルが変化するにつれて監視されており、それによって「ｆｏ」は、前記結合信 号の振幅が、発生された異なるエネルギーレベルにおいてほぼ変化しない「ｆ」 の特定値として確立される、ことを特徴とする、請求項２の方法。
8. ８．前記発生信号はディジタル形式に変換され、そして前記補正信号を生成する 段階と前記信号を結合する段階は電子データ処理手段によって実行されることを 特徴とする、請求項３の方法。
9. ９．前記特定値「ｆｏ」は電子データ処理技術によって確立されることを特徴と する、請求項８の方法。
10. １０．前記Ａ．Ｃ．信号部分は干渉像であることを特徴とする、請求項３の方法 。
11. １１．前記補正信号を生成する段階と前記信号を結合する段階はアナログ電子回 路によって実行されることを特徴とする、請求項４の方法。
12. １２．前記特定値「ｆｏ」と前記基準電圧はそのような回路によって確立される ことを特徴とする、請求項１１の方法。
13. １３．前記衝突電磁放射線は赤外線領域のスペクトル放射線であることを特徴と する、請求項１の方法。
14. １４．電磁放射線を検出し、そして入射放射線の時変強度にほぼ直線的関係にあ る直線化電気出力信号を生成する装置であって、入射電磁放射線を変換して、そ のような放射線のエネルギーを表す時変値Ｘｓを持つ電気信号を発生し、そして 定バイアス電圧を印加する関連バイアス回路を有し、かつ検出器発生信号を衝突 放射線のエネルギーに非直線的に関連させる電気ひずみをもたらしがちであると いう特徴を有する光導電型検出器、値（Ｘｓ−Ｃ）２を持つ補正信号（但し、Ｃ は０または、Ｘｓと同様な単位の定数を生成する手段、および そのような補正信号の少なくとも端数を、少なくとも値Ｘｓを持つ信号に加算し て、そのような出力信号を発生する手段、を備えていることを特徴とする前記装 置。
15. １５．前記加算手段は発生信号と補正信号を、次の関係Ｘｓ＋ｆ（Ｘｓ−Ｃ）２ にしたがって結合し（但し、「ｆ」は端数定数である）、そして前記装置は前記 定数「ｆ」の特定値「ｆｏ」を確立する手段を含んでおり、その特定値において 、発生された出力信号における電気的ひずみはほぼ除去されていることを特徴と する、請求項１４の装置。
16. １６．前記生成手段、前記加算手段、および前記確立手段は前記検出器が接続し て、前記検出器によって発生された電気信号の電圧値に作用するアナログ電子回 路を備えており、前記関係のＸｓはそのような電圧値を表している。そして基準 電圧を発生しかつ前記回路に印加する手段が備えられており、前記関係のＣ項は そのような基準電圧を持つ定数である、ことを特徴とする、請求項１５の装置。
17. １７．前記確立手段は可変分圧器を備えていることを特徴とする、請求項１６の 装置。
18. １８．前記生成手段および前記加算手段は、前記分圧器が作動的に接続している 集積回路を備えていることを特徴とする、請求項１７の装置。
19. １９．前記集積回路は次の伝達方程式に従って動作する、Ｖｏ＝Ａ〔（Ｘ１−Ｘ ２）（Ｙ１−Ｙ２）／Ｂ＋（Ｚ２−Ｚ１）］、但し、Ｖｏは前記集積回路の出力 亀田Ａはその増幅利得、Ｂは一定値電圧項、そしてＸ１，Ｘ２，Ｙ１，Ｙ２，Ｚ １およびＺ２は可変電圧値であることを特徴とする、請求項１８の装置。
20. ２０．発生された電気信号は変調信号のＡ．Ｃ．部分であり、前記加算手段は次 の関係に従って、発生信号と補正信号を結合し、Ｘｓ／ｆ＋（Ｘｓ）２ 但し、ＸｓはＡ．Ｃ．信号部分、そして「ｆ」は端数定数である。 前記装置は前記定数「ｆ」の特定値「ｆｏ」を確立する手段を含んでおり、この 特定値では、生成された出力信号における電気的ひずみはほぼ除去されており、 そして前記生成手段、前記加算手段、および前記確立手段は電子データ処理手段 を備えていることを特徴とする、請求項１４の装置。
21. ２１．前記検出器はテルル化水銀カドミウム装置であることを特徴とする、請求 項１４の装置。
22. ２２．前記装置はさらに、前記検出器にビームを投射するように配置された電磁 放射線源を含んでいることを特徴とする、請求項１４の装置。
23. ２３．前記装置はさらに、前記線源と前記検出器間のビームの通路に作動的に配 置された干渉計を含んでいることを特徴とする、請求項２２の装置。
24. ２４．前記Ａ．Ｃ．信号部分は干渉像であることを特徴とする、請求項２３の装 置。
25. ２５．前記電磁放射線はスペクトル放射線であり、そしてスペクトルの赤外線領 域にあることを特徴とする、請求項２３の装置。
26. ２６．前記装置はフーリエ変換分光計を備えていることを特徴とする、請求項２ ５の装置。
27. ２７．前記装置はさらに、前記線源と前記検出器間のビームの通路に作動的に配 置されて、前記通路に沿って投射されるビームの振幅を変調するチョッパ手段を 含んでいることを特徴とする、請求項２２の装置。