JPH0650654Y2 - 静圧気体軸受摺動装置 - Google Patents
静圧気体軸受摺動装置Info
- Publication number
- JPH0650654Y2 JPH0650654Y2 JP1988101238U JP10123888U JPH0650654Y2 JP H0650654 Y2 JPH0650654 Y2 JP H0650654Y2 JP 1988101238 U JP1988101238 U JP 1988101238U JP 10123888 U JP10123888 U JP 10123888U JP H0650654 Y2 JPH0650654 Y2 JP H0650654Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide shaft
- sliding body
- piston
- gas bearing
- static pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、精密加工装置や精密測定装置などに使用さ
れ、摺動体を静圧間隙を介してガイド軸上に浮上させ、
これを精密移送するようにした静圧気体軸受摺動装置に
関する。
れ、摺動体を静圧間隙を介してガイド軸上に浮上させ、
これを精密移送するようにした静圧気体軸受摺動装置に
関する。
［従来の技術］ 従来、第３図に示す如く、ガイド軸41上に静圧気体によ
り浮上する摺動体44を設け、基台45の側板46、47に回転
自在に軸受けされたネジ棒48を前記一方の側板46に固定
されたモータ49により駆動する如く成すと共に、前記摺
動体44に設けた軸受50と前記ネジ棒48とをボールネジ方
式で駆動連結して、前記モータ49の駆動を制御して摺動
体44をガイド軸41上に移動調整する駆動装置を備えた静
圧気体軸受摺動装置が提供されている。
り浮上する摺動体44を設け、基台45の側板46、47に回転
自在に軸受けされたネジ棒48を前記一方の側板46に固定
されたモータ49により駆動する如く成すと共に、前記摺
動体44に設けた軸受50と前記ネジ棒48とをボールネジ方
式で駆動連結して、前記モータ49の駆動を制御して摺動
体44をガイド軸41上に移動調整する駆動装置を備えた静
圧気体軸受摺動装置が提供されている。
また、第４図に示す如く、基台55上に固定するガイド軸
51に静圧気体により浮上する摺動体54を設け、該摺動体
54の一側面に可動コイル52を備える一方、該可動コイル
52に対向して前記基台55の側部に固定した固定コイル53
を備え、この固定コイル53の磁器的制御により摺動体54
をガイド軸51上に移動調整するようにしたリニアモータ
方式の静圧気体軸受摺動装置が提供されている。
51に静圧気体により浮上する摺動体54を設け、該摺動体
54の一側面に可動コイル52を備える一方、該可動コイル
52に対向して前記基台55の側部に固定した固定コイル53
を備え、この固定コイル53の磁器的制御により摺動体54
をガイド軸51上に移動調整するようにしたリニアモータ
方式の静圧気体軸受摺動装置が提供されている。
さらに、第５図に示す如く、ガイド軸61上に静圧気体に
より浮上する摺動体64を設ける一方、基台65に設けた駆
動用モータ69と前記摺動体64とをワイヤー62及びプーリ
ー63を介して連結して、前記モータ69の駆動制御により
摺動体64をガイド軸61上に移動調整するようにした駆動
装置を備えた静圧気体軸受摺動装置が提供されている。
より浮上する摺動体64を設ける一方、基台65に設けた駆
動用モータ69と前記摺動体64とをワイヤー62及びプーリ
ー63を介して連結して、前記モータ69の駆動制御により
摺動体64をガイド軸61上に移動調整するようにした駆動
装置を備えた静圧気体軸受摺動装置が提供されている。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、前記ボールネジ方式は一般にネジ棒48の
直線精度、ボールの真球度等のバラツキにより摺動体44
の駆動時に振動が生じ易く、この振動が摺動体44の精密
移動に悪影響を及ぼすという問題があり、またボールネ
ジ自体が高価でかつモータ49が必要となるためコストア
ップにつながる。また、前記リニアモータ方式では装置
が複雑かつ高価となると共に、ガイド軸51の側部に固定
コイル53をガイド軸51の移動長さ分（摺動体の移動量
分）もうける必要があり、広い組立てスペースが必要と
なる。さらに、第５図に示すモータ69の駆動をワイヤー
62、62とプーリー63、63とを介して摺動体64を駆動する
方式は、モータ69の振動がプーリー63、63及びワイヤー
62、62に伝わりワイヤー62、62がプーリー63、63上でス
リップしたり、またワイヤー62、62の取付け時に位置決
め誤差が生じ易く、さらに摺動体64とワイヤ62、62との
連結にスプリング66、66を使用する場合、駆動伝搬速度
が遅延する等の欠点があった。
直線精度、ボールの真球度等のバラツキにより摺動体44
の駆動時に振動が生じ易く、この振動が摺動体44の精密
移動に悪影響を及ぼすという問題があり、またボールネ
ジ自体が高価でかつモータ49が必要となるためコストア
ップにつながる。また、前記リニアモータ方式では装置
が複雑かつ高価となると共に、ガイド軸51の側部に固定
コイル53をガイド軸51の移動長さ分（摺動体の移動量
分）もうける必要があり、広い組立てスペースが必要と
なる。さらに、第５図に示すモータ69の駆動をワイヤー
62、62とプーリー63、63とを介して摺動体64を駆動する
方式は、モータ69の振動がプーリー63、63及びワイヤー
62、62に伝わりワイヤー62、62がプーリー63、63上でス
リップしたり、またワイヤー62、62の取付け時に位置決
め誤差が生じ易く、さらに摺動体64とワイヤ62、62との
連結にスプリング66、66を使用する場合、駆動伝搬速度
が遅延する等の欠点があった。
［課題を解決するための手段］ そこで、本発明は上記課題に鑑み、ガイド軸の内部に摺
動体と駆動連結するピストンを設けるとともに、前記摺
動体に供給する供給気体を流体制御回路により分岐して
ガイド軸の内部に供給し、ピストンを流体制御すること
により、摺動体の精密移動に悪影響を及ぼすような駆動
伝達構造を使用せずに摺動体の精密移動ができ、かつ構
造が極めて簡潔となる静圧気体軸受摺動装置を提供す
る。
動体と駆動連結するピストンを設けるとともに、前記摺
動体に供給する供給気体を流体制御回路により分岐して
ガイド軸の内部に供給し、ピストンを流体制御すること
により、摺動体の精密移動に悪影響を及ぼすような駆動
伝達構造を使用せずに摺動体の精密移動ができ、かつ構
造が極めて簡潔となる静圧気体軸受摺動装置を提供す
る。
［実施例１］ 以下、本考案の実施例を図面にもとずき説明する。本考
案の静圧気体軸受摺動装置は、第１図に示す如く、アル
ミナ焼結体からなる筒状ガイド軸１に静圧間隙２を介し
て該軸周囲を囲繞しかつこの静圧間隙２に連通する空気
供給路３を内部に形成した摺動体４を設けている。一方
筒状ガイド軸１の内部にピストン５を設けると共に、筒
状のガイド軸１の両端開孔部６、７、に側板８、９を嵌
合して筒内部を密閉する。さらに密閉された筒状ガイド
軸１内部のピストン５で仕切られた空気室Ａ、Ｂにそれ
ぞれ連通する空気供給路10、11を前記側板８、９内に形
成する。また、前記摺動体４とピストン５とは前記側板
８、９に回転自在に設けたプーリー12、13に懸架するワ
イヤー14、15を介して駆動連結している。このワイヤー
14、15は前記側板８、９に開設した微小な孔17、18に貫
通するようにしている。さらに、空気供給源Ｓから、そ
の空気の供給及び流量等を調整する流体制御回路16を介
して、前記摺動体４の空気供給路３及び筒状ガイド軸１
内部の空気室Ａ、Ｂに連通する空気供給路10、11に夫々
分岐して空気を制御して供給するようにしている。
案の静圧気体軸受摺動装置は、第１図に示す如く、アル
ミナ焼結体からなる筒状ガイド軸１に静圧間隙２を介し
て該軸周囲を囲繞しかつこの静圧間隙２に連通する空気
供給路３を内部に形成した摺動体４を設けている。一方
筒状ガイド軸１の内部にピストン５を設けると共に、筒
状のガイド軸１の両端開孔部６、７、に側板８、９を嵌
合して筒内部を密閉する。さらに密閉された筒状ガイド
軸１内部のピストン５で仕切られた空気室Ａ、Ｂにそれ
ぞれ連通する空気供給路10、11を前記側板８、９内に形
成する。また、前記摺動体４とピストン５とは前記側板
８、９に回転自在に設けたプーリー12、13に懸架するワ
イヤー14、15を介して駆動連結している。このワイヤー
14、15は前記側板８、９に開設した微小な孔17、18に貫
通するようにしている。さらに、空気供給源Ｓから、そ
の空気の供給及び流量等を調整する流体制御回路16を介
して、前記摺動体４の空気供給路３及び筒状ガイド軸１
内部の空気室Ａ、Ｂに連通する空気供給路10、11に夫々
分岐して空気を制御して供給するようにしている。
この様にして、摺動体４を流体制御回路16から供給され
る空気圧によりガイド軸１上を浮上させる一方、流体制
御回路16から適宜空気の供給を分岐してガイド軸１内の
空気室Ａと空気室Ｂとに空気圧を設けることによりピス
トン５を左右に移動させ、同時に前記プーリー12、13に
懸架したワイヤー14、15を介して摺動体４を精密移動す
る様にしている。尚、プーリー12、13及びワイヤー14、
15による摺動体４とピストン５との駆動連結は、前記第
５図の従来例に示すプーリー63、63に懸架したワイヤー
62、62の摩擦抵抗でのみ駆動伝達される方式と異なり、
本考案ではガイド軸１内に左右に移動するピストン５と
摺動体４とをワイヤー14、15が直接的に連結しているの
で、ワイヤー14、15がプーリー12、13上でスリップする
などによる悪影響を摺動体の精密移動に及ぼすことは全
く生じ得ない。
る空気圧によりガイド軸１上を浮上させる一方、流体制
御回路16から適宜空気の供給を分岐してガイド軸１内の
空気室Ａと空気室Ｂとに空気圧を設けることによりピス
トン５を左右に移動させ、同時に前記プーリー12、13に
懸架したワイヤー14、15を介して摺動体４を精密移動す
る様にしている。尚、プーリー12、13及びワイヤー14、
15による摺動体４とピストン５との駆動連結は、前記第
５図の従来例に示すプーリー63、63に懸架したワイヤー
62、62の摩擦抵抗でのみ駆動伝達される方式と異なり、
本考案ではガイド軸１内に左右に移動するピストン５と
摺動体４とをワイヤー14、15が直接的に連結しているの
で、ワイヤー14、15がプーリー12、13上でスリップする
などによる悪影響を摺動体の精密移動に及ぼすことは全
く生じ得ない。
［実施例２］ 第２図は本考案の他の実施例を示すものであり、前記実
施例と同様アルミナ焼結体からなる筒状ガイド軸21に静
圧間隙22を介して該軸21周囲を囲繞しかつこの静圧間隙
22に連通する空気供給路23を内部に形成した摺動体24を
設けている。一方筒状ガイド軸21の内部にピストン25を
設けると共に、筒状のガイド軸21の両端開孔部26、27、
に側板28、29を嵌合して筒内部を密閉する。さらに該側
板28、29内部に筒状ガイド軸21内部のピストン25で仕切
られた空気室Ｃ、Ｄにそれぞれ連通する空気供給路30、
31を形成している。また、前記摺動体24とピストン25と
は前記ガイド軸21下方の長手方向に微小な幅で開設した
スリット33に貫挿する連結片34を介して駆動連結してい
る。
施例と同様アルミナ焼結体からなる筒状ガイド軸21に静
圧間隙22を介して該軸21周囲を囲繞しかつこの静圧間隙
22に連通する空気供給路23を内部に形成した摺動体24を
設けている。一方筒状ガイド軸21の内部にピストン25を
設けると共に、筒状のガイド軸21の両端開孔部26、27、
に側板28、29を嵌合して筒内部を密閉する。さらに該側
板28、29内部に筒状ガイド軸21内部のピストン25で仕切
られた空気室Ｃ、Ｄにそれぞれ連通する空気供給路30、
31を形成している。また、前記摺動体24とピストン25と
は前記ガイド軸21下方の長手方向に微小な幅で開設した
スリット33に貫挿する連結片34を介して駆動連結してい
る。
そして、空気供給源Ｓから、その空気の供給及び流量等
を調整する流体制御回路36を介して、前記摺動体24の空
気供給路23及び筒状ガイド軸21内部の空気室Ｃ、Ｄに連
通する空気供給路30、31に夫々分岐して空気を制御して
供給するようにしている。
を調整する流体制御回路36を介して、前記摺動体24の空
気供給路23及び筒状ガイド軸21内部の空気室Ｃ、Ｄに連
通する空気供給路30、31に夫々分岐して空気を制御して
供給するようにしている。
この様にして、摺動体24を流体制御回路36から供給され
る空気圧によりガイド軸21上を浮上させる一方、流体制
御回路36から適宜空気の供給を分岐してガイド軸21内の
空気室Ｃと空気室Ｄとに空気圧差を設けることによりピ
ストン25を左右に移動させ、同時に前記連結片34を介し
て摺動体24を精密移送する様にしている。
る空気圧によりガイド軸21上を浮上させる一方、流体制
御回路36から適宜空気の供給を分岐してガイド軸21内の
空気室Ｃと空気室Ｄとに空気圧差を設けることによりピ
ストン25を左右に移動させ、同時に前記連結片34を介し
て摺動体24を精密移送する様にしている。
［考案の効果］ 本考案ではガイド軸の内部に摺動体と駆動連結するピス
トンを設けるとともに、前記摺動体に給する供給気体を
流体制御回路により分岐してガイド軸の内部に供給し、
ピストンを流体制御で前記摺動体をガイド軸上に移動調
整するようにしたので、摺動体の精密移動に悪影響を及
ぼすような駆動伝達構造を構成せずに摺動体を極めて精
密に移動させることができ、かつ構造が極めて簡潔とな
るなどの効果がある。
トンを設けるとともに、前記摺動体に給する供給気体を
流体制御回路により分岐してガイド軸の内部に供給し、
ピストンを流体制御で前記摺動体をガイド軸上に移動調
整するようにしたので、摺動体の精密移動に悪影響を及
ぼすような駆動伝達構造を構成せずに摺動体を極めて精
密に移動させることができ、かつ構造が極めて簡潔とな
るなどの効果がある。
第１図は本考案の実施例１の静圧気体軸受摺動装置の縦
断面図、第２図は本考案に係る実施例２の静圧気体軸受
摺動装置の縦断面図、第３図は従来例を示すボールネジ
方式を採用した静圧気体軸受摺動装置の側面図、第４図
は従来例を示すリニアモータ方式の静圧気体軸受摺動装
置の斜視図、第５図は従来のワイヤーとプーリーとによ
り駆動伝達する方式を用いた静圧気体軸受摺動装置の側
面図である。 １、21……筒状ガイド軸 ２、22……静圧間隙 ４、24……摺動体 ５、25……ピストン ８、９、28、29……側板 16、36……流体制御回路 33……スリット Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ……空気室 Ｓ、……空気供給源
断面図、第２図は本考案に係る実施例２の静圧気体軸受
摺動装置の縦断面図、第３図は従来例を示すボールネジ
方式を採用した静圧気体軸受摺動装置の側面図、第４図
は従来例を示すリニアモータ方式の静圧気体軸受摺動装
置の斜視図、第５図は従来のワイヤーとプーリーとによ
り駆動伝達する方式を用いた静圧気体軸受摺動装置の側
面図である。 １、21……筒状ガイド軸 ２、22……静圧間隙 ４、24……摺動体 ５、25……ピストン ８、９、28、29……側板 16、36……流体制御回路 33……スリット Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ……空気室 Ｓ、……空気供給源
Claims (1)
- 【請求項１】ガイド軸内に流体制御により駆動するピス
トンと、前記ガイド軸上に気体の静圧で浮上する摺動体
と、上記摺動体に供給する供給気体を調整分配する流体
制御回路とを備えてなり、前記ピストンと摺動体とを駆
動連結するとともに、上記流体制御回路により分配した
供給気体をガイド軸内に供給してピストンを流体制御
し、摺動体をガイド軸上で移動するようにしたことを特
徴とする静圧気体軸受摺動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988101238U JPH0650654Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 静圧気体軸受摺動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988101238U JPH0650654Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 静圧気体軸受摺動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222418U JPH0222418U (ja) | 1990-02-14 |
| JPH0650654Y2 true JPH0650654Y2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=31330052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988101238U Expired - Lifetime JPH0650654Y2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 静圧気体軸受摺動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650654Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014002165A (ja) * | 2013-08-08 | 2014-01-09 | Nippon Thompson Co Ltd | 小型スライド装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5615428Y2 (ja) * | 1978-06-10 | 1981-04-10 | ||
| JPS5535019Y2 (ja) * | 1978-07-19 | 1980-08-19 |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP1988101238U patent/JPH0650654Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0222418U (ja) | 1990-02-14 |
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