JPH06503180A - Microspheres, spherical spacers for liquid crystal display elements, and liquid crystal display elements using the same - Google Patents

Microspheres, spherical spacers for liquid crystal display elements, and liquid crystal display elements using the same

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JPH06503180A
JPH06503180A JP3515810A JP51581091A JPH06503180A JP H06503180 A JPH06503180 A JP H06503180A JP 3515810 A JP3515810 A JP 3515810A JP 51581091 A JP51581091 A JP 51581091A JP H06503180 A JPH06503180 A JP H06503180A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 微球体、液晶表示素子用球状スペーサー、およびそれを用いた液晶表示素子 皮肛立旦 本発明は、液晶表示素子用球状スペーサーおよび導電性微球体などに使用される 微球体に関する。さらに詳細には、液晶表示素子用球状スペーサー及びその液晶 表示素子用球状スペーサーを用いた液晶表示素子と、導電性微球体に関する。[Detailed description of the invention] Microspheres, spherical spacers for liquid crystal display elements, and liquid crystal display elements using the same skin anal standing The present invention is used for spherical spacers for liquid crystal display elements, conductive microspheres, etc. Concerning microspheres. More specifically, spherical spacers for liquid crystal display elements and their liquid crystal The present invention relates to a liquid crystal display element using a spherical spacer for display elements and conductive microspheres.

Lt艮困 従来のスペーサーを用いたTN(ツイステンドネマチノク)モードの液晶表示素 子の代表的な例を図7に示す。Lt trouble TN (twisted nematic) mode liquid crystal display element using conventional spacers A typical example of a child is shown in FIG.

この液晶表示素子は、一対の基板37.39と、該一対の基板37.39のギャ ップを一定に保持するために一対の基板37.39の間に配設されたスペーサー 38及びネマチック液晶41と、一対の基板37.39間の周囲に充填されたシ ール部材30と、各基板37.390表面に被覆された偏光/−ト42.43と を有している。This liquid crystal display element includes a pair of substrates 37.39 and a gap between the pair of substrates 37.39. A spacer placed between a pair of substrates 37 and 39 to keep the top constant. 38 and nematic liquid crystal 41, and a cylinder filled around the space between the pair of substrates 37 and 39. the polarized light beam 42.43 coated on the surface of each substrate 37.390; have.

上記基板37.39は、ガラスからなる透明基板31.34の片面にITO(I ndium−Tin−Oxide)膜などからなる透明電極32.35をパター ン形成し、この透明電極32.35および透明基板31,34の表面にポリイミ ド膜などからなる配向制御膜33.36を被覆して構成されている。その配向制 御膜33.36はラビングによって配向制御処理されている。The substrate 37.39 has ITO (ITO) on one side of a transparent substrate 31.34 made of glass. A transparent electrode 32.35 made of a ndium-Tin-Oxide film or the like is patterned. Polyimide is formed on the surfaces of the transparent electrodes 32, 35 and the transparent substrates 31, 34. The alignment control film 33, 36 is formed by covering the alignment control film 33, 36 made of a metal film or the like. its orientation system The films 33 and 36 are subjected to orientation control treatment by rubbing.

上記スペーサー38は、酸化アルミ、二酸化硅素などを含む無機質材料あるいは ベンゾグアナミン、ポリスチレン系ポリマーなどを含む合成樹脂材料から形成さ れている。無機質材料からなるスペーサーは、例えば、特開昭63−73225 号公報、特開平1−59974号公報などに開示されており、合成樹脂材料から なるスペーサーは、特開昭60−200228号公報、特開平1−293316 号公報などに開示されている。The spacer 38 is made of an inorganic material containing aluminum oxide, silicon dioxide, etc. Made from synthetic resin materials including benzoguanamine, polystyrene polymers, etc. It is. A spacer made of an inorganic material is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-73225. No. 1, Japanese Patent Application Laid-open No. 1-59974, etc., from synthetic resin materials. The spacer is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-200228 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-293316. It is disclosed in the publication number etc.

上記構成の液晶表示素子は、通常以下のようにして作製される。The liquid crystal display element having the above structure is usually manufactured as follows.

上記一方の基板37の配向制御膜33の上に、スペーサー38を散布し、基板3 7の周縁部にシール用の樹脂を印刷で塗布する。次いで、一対の基板37.39 をその配向制御膜33.36同志が対向するように重ねて加圧する。次に、シー ル用樹脂を加熱硬化させることによってシール部材を形成して一対の基板37. 39を相互に固着させる。次に、シール部材に設けた孔部から一対の基板37. 39のギヤノブに、ネマチック液晶41を充填し、その後孔部を閉塞する。そし て、透明基板31.34の外側面にそれぞれ偏光シート42.43を積層する。Spacers 38 are sprinkled on the alignment control film 33 of the one substrate 37, and the substrate 3 Apply sealing resin to the peripheral edge of 7 by printing. Next, a pair of substrates 37.39 are stacked so that the orientation control films 33 and 36 face each other and pressurized. Next, the sea A sealing member is formed by heating and curing the resin for a pair of substrates 37. 39 are fixed together. Next, a pair of substrates 37. The gear knob 39 is filled with nematic liquid crystal 41, and the hole is then closed. stop Then, polarizing sheets 42 and 43 are laminated on the outer surfaces of the transparent substrates 31 and 34, respectively.

このような液晶表示素子に使用されるスペーサーとして、着色された球状スペー サーが以下の理由でしばしば使用される。Colored spherical spacers are used as spacers for such liquid crystal display elements. Servers are often used for the following reasons:

液晶表示素子において、透明電極間に電圧を印加することにより、液晶は光学的 変化を生じて画像を形成する。しかし、スペーサーはその電圧印加によって光学 的変化を示さない。In a liquid crystal display element, by applying a voltage between transparent electrodes, the liquid crystal becomes optically A change occurs to form an image. However, the spacer can be optically Does not show any significant change.

従って、画像を表示させた時の画像の暗部において、無着色のスペーサーは輝点 として視認されることがあり、その結果、画像の表示のフントラストが低下する 。Therefore, when an image is displayed, uncolored spacers are bright spots in the dark areas of the image. as a result, the image display quality is reduced. .

無機質材料からなる着色球状スペーサーは、特開昭62−66228号公報、特 開昭63−89408号公報、特開昭63−89890号公報などに開示されて おり、合成樹脂材料からなる着色球状スペーサーは、特開平1−20227号公 報、特開平1−2007719号公報、特開平2−214781号公報に開示さ れている。A colored spherical spacer made of an inorganic material is disclosed in JP-A No. 62-66228, Disclosed in JP-A-63-89408, JP-A-63-89890, etc. A colored spherical spacer made of a synthetic resin material is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-20227. disclosed in JP-A-1-2007719 and JP-A-2-214781. It is.

さらに、接着性を有しないスペーサーは透明基板に固着されないので以下に示す 欠点を有しており、従って、接着性球状スペーサーがしばしば使用される。Furthermore, spacers that do not have adhesive properties will not adhere to the transparent substrate, so as shown below However, adhesive spherical spacers are often used.

■液晶表示セルを組み立てる工程において、基板上への空気の吹き付けまたは基 板上からの空気の吸引が行われる。このとき、基板上に配置されたスペーサーが 飛散して消失し得る。■In the process of assembling liquid crystal display cells, air is blown onto the substrate or Air is sucked from above the board. At this time, the spacer placed on the board It can scatter and disappear.

■液晶表示セルに液晶を注入する工程において、スペーサーが基板上を移動し、 基板上のスペーサーの配置に偏りが生じ得る。■In the process of injecting liquid crystal into the liquid crystal display cell, the spacer moves on the substrate, Unbalanced placement of spacers on the substrate may occur.

■液晶表示セルを駆動させるときに、電気的、流体力学的な力によりスペーサー が移動し得る。■When driving a liquid crystal display cell, spacers are used by electrical and hydrodynamic forces. can move.

■液晶表示セルに外部からの機械的振動が作用すると、スペーサーが移動し得る 。このような液晶表示セルの内部におけるスペーサーの移動は、基板間のギャッ プ精度を低下させ、表示画像の画質を著しく低下させる。■If external mechanical vibrations act on the liquid crystal display cell, the spacer may move. . The movement of the spacer inside the liquid crystal display cell reduces the gap between the substrates. This will reduce the precision of the image and the quality of the displayed image.

接着性を有する球状スペーサーは、例えば、実開昭51−22453号公報、特 開昭63−44631号公報、特開昭63−94224号公報、特開昭63−2 00126号公報、特開平1−247154号公報、特開平1−247155号 公報、特開平1−261537号公報に開示されている。Spherical spacers with adhesive properties are described, for example, in Japanese Utility Model Application Publication No. 51-22453, JP-A-63-44631, JP-A-63-94224, JP-A-63-2 00126, JP 1-247154, JP 1-247155 It is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-261537.

しかし、液晶表示素子用のスペーサーとして上記した従来の無機質材料からなる スペーサーあるいは合成樹脂材料からなルスペーサーを用いた場合には、次に述 べるような欠点があった。However, as a spacer for liquid crystal display elements, the conventional inorganic materials mentioned above are used. When using a spacer or a spacer made of synthetic resin material, the following It had some notable flaws.

図8に示すように、無機質スペーサー38を用いて液晶表示素子を作製した場合 には、このスペーサー38が硬すぎるために両基板37.39が加圧される際に 配向制御膜33を傷つける。配向制御膜33の傷付けられた部分33aでは、液 晶41の分子配列を所望の状態に保つことができなくなるので、例えば、透過形 の液晶表示素子においては、その傷の部分33aが表示欠陥となって出現する。As shown in FIG. 8, when a liquid crystal display element is manufactured using an inorganic spacer 38 In this case, this spacer 38 is too hard, so when both substrates 37 and 39 are pressurized, This damages the alignment control film 33. In the damaged portion 33a of the alignment control film 33, the liquid Since it becomes impossible to maintain the molecular arrangement of crystal 41 in the desired state, for example, the transmission type In the liquid crystal display element, the scratched portion 33a appears as a display defect.

さらに、無機質スペーサー38は変形するには硬すぎるので、スペーサー38は 両基板37.39の各々の内面に一点で接触することになる。その結果、スペー サー38は液晶41の存在するギヤノブにおいて重力や微小な振動によって移動 しやすくなる。この問題は、最近急速に普及しつつあるラップトツブタイプのパ ーソナルコンピュータやワードプロセッサー、壁掛はテレビなどに用いられる大 型の液晶表示素子においては、その表示面が垂直または斜め状態で使用されるの で、大変顕著に表れる。例えば、スペーサー38の大部分が液晶表示素子の下側 部分へ移動することにより、液晶層の厚さに不均一を生じさせ、その結果鮮明な 画像を得ることが困難になる。また、そのスペーサー38の移動によって配rl 制御膜33が傷つけられるので、上述した画像の表示欠陥を生じさせる。Furthermore, since the inorganic spacer 38 is too hard to deform, the spacer 38 It will contact the inner surface of each of both substrates 37, 39 at one point. As a result, the space The sensor 38 is moved by gravity or minute vibrations in the gear knob where the liquid crystal 41 is located. It becomes easier to do. This problem is caused by laptop-type computers, which are becoming rapidly popular these days. - Sonal computers, word processors, and wall-mounted devices are similar to those used for TVs, etc. type of liquid crystal display element, whether the display surface is used vertically or diagonally. And it's very noticeable. For example, most of the spacer 38 is below the liquid crystal display element. This causes non-uniformity in the thickness of the liquid crystal layer, resulting in sharp It becomes difficult to obtain images. Also, by moving the spacer 38, the distribution Since the control film 33 is damaged, the above-mentioned image display defects occur.

他方、軟らかすぎるスペーサーを液晶表示素子に用いると次のような不都合を招 く。On the other hand, using spacers that are too soft for liquid crystal display elements may cause the following problems. Ku.

基板37.39の表面にスペーサー38を散布する際に、スペーサー38を完全 に均一に散布することは不可能で散布密度にかなりのバラツキを生じる。すると 、一対の基板37.39を互いに向い合う方向に加圧する際に、スペーサー38 の散布密度の小さい部分ではスペーサー38の一個当りに受ける圧力が非常に大 きくなるので、スペーサー38は大きく変形する。反対に、スペーサー38の散 布密度の大きい部分ではスペーサー38の一個当りに受ける圧力が小さいので、 スペーサー38はほとんど変形しない。このようにして、図9に示すように、ス ペーサー38の散布密度のバラツキが、一対の基板37.39間に設けられた液 晶層の厚みのムラを生じさせ、その結果、鮮明な画像が得られなくなる。When dispersing the spacers 38 on the surface of the substrate 37, 39, make sure the spacers 38 are completely It is impossible to spread the powder uniformly, resulting in considerable variation in the density of the spray. Then , when pressing the pair of substrates 37 and 39 in directions facing each other, the spacer 38 In areas where the distribution density is low, the pressure applied to each spacer 38 is extremely large. The spacer 38 deforms greatly because the spacer 38 becomes hard. On the other hand, if the spacer 38 is In areas where the fabric density is high, the pressure applied to each spacer 38 is small, so The spacer 38 hardly deforms. In this way, as shown in FIG. The variation in the dispersion density of the pacer 38 is caused by the This causes unevenness in the thickness of the crystal layer, and as a result, it becomes impossible to obtain a clear image.

さらに、一対の基板37.39に圧力をかける際に、実際には基板37.39全 体に均一に圧力をかけることは不可能で基板37.39は面の異なる位置では異 なる圧力を受けことになる。従って、軟らかすぎるスペーサー38を用いた場合 には、各々のスペーサー38が受ける圧力の差によって、スペーサー38の変形 する程度に不均一が生じるために、液晶層の厚みにムラが生じる。そのことによ って表示される画像の質が著しく低下する。Furthermore, when applying pressure to a pair of substrates 37.39, actually all of the substrates 37.39 are It is impossible to apply pressure uniformly to the body, and the substrate 37.39 will be different at different positions on the surface. You will be under a lot of pressure. Therefore, if the spacer 38 is too soft, In this case, the spacers 38 are deformed due to the difference in pressure that each spacer 38 receives. As a result, the thickness of the liquid crystal layer becomes uneven. Because of that The quality of the displayed image will deteriorate significantly.

ところで、エレクトロニクス実装分野において、一対の微細電極を接続するため に、金、銀、ニッケル等の金属粒子とバインダー樹脂とを混合して導電性ペース トを調製し、このペーストを一対の微細電極間に充填することにより微細電極間 を接続させることが行われる。しかし、このような金属粒子は形状が不均一であ り、かつバインダー樹脂に比べて比重が大きいために、バインダー樹脂に均一に 分散させることが困難であった。By the way, in the field of electronics packaging, in order to connect a pair of fine electrodes, A conductive paste is created by mixing metal particles such as gold, silver, or nickel with a binder resin. By preparing a paste and filling this paste between a pair of fine electrodes, It is done to connect. However, these metal particles have non-uniform shapes. and has a higher specific gravity than the binder resin, so it is applied evenly to the binder resin. It was difficult to disperse.

このような欠点を解決するために、特開昭59−28185号公報には、粒径が 比較的揃ったガラスピーズ、シリカビーズ、グラスファイバー等の粒子の表面に 、金属メッキ層を設けて導電性微球体を形成することが開示されている。しかし ながら、上記公報に開示された導電性微球体は、その基材微球体が硬すぎるため に、圧縮変形させることが困難である。In order to solve these drawbacks, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-28185 discloses that the particle size On the surface of relatively uniform particles such as glass beads, silica beads, glass fibers, etc. discloses forming conductive microspheres by providing a metal plating layer. but However, the conductive microspheres disclosed in the above publication have problems because the base material microspheres are too hard. Therefore, it is difficult to compress and deform it.

そのため、この導電性微球体を使用して電極間を接続しようとすると、導電性微 球体と電極表面との接触面積が広がらないので、接触抵抗値を低減させることが 困難となる。Therefore, when trying to connect between electrodes using these conductive microspheres, the conductive microspheres Since the contact area between the sphere and the electrode surface does not expand, the contact resistance value can be reduced. It becomes difficult.

特開昭62−185749号公報及び特開平1−225776号公報には、基材 微球体として、ポリフェニレンスルフィド粒子やフェノール樹脂粒子等を用いた 導電性微球体が開示されている。しかし、このような合成樹脂粒子を基材微球体 として用いた導電性微球体は、圧縮変形後の変形回復性に乏しい。そのため、該 導電性微球体を使用して電極間の接続を行う際に、両電極に作用する圧縮荷重を 取り除くと、該導電性微球体と電極表面との界面にわずかなギヤノブが形成され 、その結果接触不良を起こす。In JP-A-62-185749 and JP-A-1-225776, the base material Polyphenylene sulfide particles, phenol resin particles, etc. were used as microspheres. Conductive microspheres are disclosed. However, when such synthetic resin particles are used as base microspheres, The conductive microspheres used as the material have poor deformation recovery properties after compression deformation. Therefore, the applicable When connecting between electrodes using conductive microspheres, the compressive load acting on both electrodes is When removed, a slight gear knob is formed at the interface between the conductive microspheres and the electrode surface. , resulting in poor contact.

免肚立!ぬ 本発明の微球体は上記の欠点を解消するためになされたもので、K= (3/7 2)・F 、 3−3/2・R−1/2にこに、F、Sはそれぞれ微球体の10 %圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位(mm)であり、Rは該微球体 の半径(mm)である〕で定義されるKの値が、20℃において2SOkgf/ mm2〜Took g f/ m m2の範囲であり、且つ圧縮変形後の回復率 が20°Cにおいて30%〜80%の範囲である。Excuse me! Nu The microspheres of the present invention were made to eliminate the above-mentioned drawbacks, and K = (3/7 2)・F, 3-3/2・R-1/2 smile, F, S are each 10 of microsphere % load value (kgf) and compressive displacement (mm) in compressive deformation, R is the microsphere radius (mm)] at 20°C is 2SOkgf/ It is in the range of mm2 to Took g f / m m2, and the recovery rate after compression deformation is in the range of 30% to 80% at 20°C.

好ましい実施態様においては、上記に値が350kgf/mm2〜550kgf /mm2である。In a preferred embodiment, the above value is 350 kgf/mm2 to 550 kgf /mm2.

好ましい実施態様においては、上記圧縮変形後の@復率が、20°Cにおいて4 0%〜70%の範囲である。In a preferred embodiment, the recovery rate after the compression deformation is 4 at 20°C. It ranges from 0% to 70%.

好ましい実施態様においては、上記微球体が、ジビニルベンゼン重合体、ジビニ ルベンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステル共重合 体、およびジアリルフタレート重合体からなる群から選ばれた少なくとも一種の 樹脂から形成される。In a preferred embodiment, the microspheres are divinylbenzene polymer, divinylbenzene Rubenzene-styrene copolymer, divinylbenzene-acrylic acid ester copolymer and at least one selected from the group consisting of diallyl phthalate polymers. Formed from resin.

好ましい実施態様においては、上記微球体が真球状であり、その直径は0. 1 〜100μmの範囲である。In a preferred embodiment, the microspheres are perfectly spherical and have a diameter of 0. 1 It is in the range of ~100 μm.

さらに好ましい実施態様においては、上記微球体の直径は0.5〜50μmの範 囲である。In a further preferred embodiment, the microspheres have a diameter in the range of 0.5 to 50 μm. It is surrounded.

さらに好ましい実施態様においては、上記微球体の直径は1.0〜20μmの範 囲である。In a further preferred embodiment, the microspheres have a diameter in the range of 1.0 to 20 μm. It is surrounded.

本発明の液晶表示素子用球状スペーサーは、K= (3/42)・F、3−3/ 2・R−1/2(ここに、F、Sはそれぞれ球状スペーサ・ −の10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位(mm)であり、Rは 該スペーサーの半径(mm)である〕で定義されるKの値が、20°Cにおいて 250 k g f/ m m 2〜700 kgf/mm2の範囲であり、且 つ圧縮変形後の回復率が20°Cにおいて30%〜80%の範囲である。The spherical spacer for liquid crystal display elements of the present invention has K=(3/42)・F, 3-3/ 2.R-1/2 (here, F and S are spherical spacers, respectively) - is the load value (kgf) and compression displacement (mm) at 10% compression deformation, and R is The value of K defined as the radius (mm) of the spacer is at 20°C. The range is 250 kgf/mm2 to 700 kgf/mm2, and The recovery rate after compression deformation is in the range of 30% to 80% at 20°C.

本発明の液晶表示素子用着色球状スペーサーは、着色された基材微球体を含み、 かつに= (3/、/−2)・F、S−3/2・R−1′2〔ここに、F、Sは それぞれ着色球状スペーサーの10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮 変位(m m )であり、Rは該スペーサーの半径(mm)である〕で定義され るKの値が、20℃において250k gf/mm”〜700kgf/mm2の 範囲であり、且つ圧縮変形後の回復率が20°Cにおいて30%〜80%の範囲 である。The colored spherical spacer for a liquid crystal display element of the present invention includes colored base material microspheres, Katsuni = (3/, /-2)・F, S-3/2・R-1'2 [Here, F, S are Load value (kgf) at 10% compression deformation of colored spherical spacer, compression is the displacement (mm), and R is the radius (mm) of the spacer. The value of K is between 250kgf/mm” and 700kgf/mm2 at 20°C. range, and the recovery rate after compression deformation is in the range of 30% to 80% at 20°C It is.

本発明の液晶表示素子用接着性球状スペーサーは、基材微球体と、該基材微球体 の表面に設けられた接着層とを有し、かッに= (3/ J2) ・F−3−” ”R−”” C1: コニ、F、Sitそれぞれ接着性球状スペーサーの10% 圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位(mm)であり、Rは該スペーサ ーの半径(mm)である〕で定義されるKの値が、20℃において250k g  r/ mm2〜700k g f/ mm2の範囲であり、且つ圧縮変形後の 回復率が20°Cにおいて30%〜80%の範囲である。The adhesive spherical spacer for liquid crystal display elements of the present invention comprises a base material microsphere and a base material microsphere. and an adhesive layer provided on the surface of the crab=(3/J2)・F-3-" "R-"" C1: 10% of each of Koni, F, and Sit adhesive spherical spacers Load value (kgf) and compression displacement (mm) in compression deformation, R is the spacer The value of K defined as the radius (mm) of 250 kg at 20°C r/ mm2~700k g / mm2, and after compressive deformation Recovery rates range from 30% to 80% at 20°C.

本発明の液晶表示素子は、上記各球状スペーサーを用いて作製される。The liquid crystal display element of the present invention is manufactured using each of the above-mentioned spherical spacers.

本発明の導電性微球体は、上記微球体と、該微球体の表面に設けられた導電層と を有する。The conductive microspheres of the present invention include the above microspheres and a conductive layer provided on the surface of the microspheres. has.

好ましい実施態様においては、その導isがインジウムメッキ層である。In a preferred embodiment, the conductor is an indium plated layer.

そのことにより、ここに記載の本発明は以下の目的を達成し得る; (1)液晶表示素子の配向制御膜を傷付けて液晶の配向特性の変調を誘起したり 、表示画像の質を低下させることがない球状スペーサーを提供すること; (2)液晶表示素子の液晶層ギャップの寸法の乱れを生じさせて表示画像の鮮明 度を低下させることのない球状スペーサーを提供すること; (3)重力や微小な振動によって移動することがない球状スペーサーとそれを用 いた液晶表示素子を提供すること;(4)表示画像の欠陥がなく鮮明な画像が得 られる液晶表示素子を提供すること; く5)適度の圧縮変形性と変形回復性を有する導電性微球体を提供すること; (6)接続信頼性に優れた導電性微球体を提供すること;乱l二i里五翌ユ 図1は本発明の液晶表示素子の一実施例の断面図である。Thereby, the invention described herein may achieve the following objectives; (1) Damaging the alignment control film of the liquid crystal display element and inducing modulation of the alignment characteristics of the liquid crystal. , to provide a spherical spacer that does not degrade the quality of displayed images; (2) Disturbing the dimension of the liquid crystal layer gap of the liquid crystal display element to make the displayed image clearer To provide a spherical spacer that does not reduce the degree of (3) A spherical spacer that does not move due to gravity or minute vibrations, and its use. (4) To provide a liquid crystal display element that can display a clear image without any defects; To provide a liquid crystal display element that can be used; 5) To provide conductive microspheres having appropriate compressive deformability and deformation recovery properties; (6) To provide conductive microspheres with excellent connection reliability; FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of the liquid crystal display element of the present invention.

図2は荷重とスペーサーの圧縮変位との関係を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing the relationship between load and compressive displacement of the spacer.

図3はに値とスペーサーの圧縮歪みとの関係を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the value and the compressive strain of the spacer.

図4はスペーサーの圧縮変形後の回復率の測定方法を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a method of measuring the recovery rate after compressive deformation of a spacer.

図5は導電性微球体を用いて得られた素子の要部の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part of an element obtained using conductive microspheres.

図6は実施例13で作製した試験片の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the test piece produced in Example 13.

図7は一般的な液晶表示素子を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a general liquid crystal display element.

図8は硬すぎる球状スペーサーを用いた場合の液晶表示素子の断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element using a spherical spacer that is too hard.

図9は軟らかすぎるスペーサーを用いた場合の液晶表示素子の断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a liquid crystal display element using a spacer that is too soft.

(以下余白) ましい 、の81] ′球体、 晶 六素 球 スペーサー、1 六球状スペーサー、および゛ 8  六素 球 スベーi二 本発明の微球体は、所定範囲のに値と、所定範囲の圧縮変形後の回復率を有して おり、これは液晶表示素子用球状スペーサーとして使用することができる。(Margin below) 81] ′ Sphere, crystal hexagonal sphere spacer, 1 hexaspherical spacer, and ゛ 8 Hexagonal sphere sube i2 The microspheres of the present invention have a value in a predetermined range and a recovery rate after compression deformation in a predetermined range. This can be used as a spherical spacer for liquid crystal display devices.

また、本発明の液晶表示素子用着色球状スペーサーは、所定範囲のに値と、所定 範囲の圧縮変形後の回復率を有し、かつ着色されたものである。本発明の液晶表 示素子用接着性球状スペーサーは、所定範囲のに値と、所定範囲の圧縮変形後の 回復率を有し、かつ加熱によって接着性を有するものである。Further, the colored spherical spacer for liquid crystal display elements of the present invention has a value in a predetermined range and a predetermined value. It has a recovery rate after compression deformation within a range and is colored. Liquid crystal display of the present invention Adhesive spherical spacers for display devices have a predetermined range of values and a predetermined range of compressive deformation values. It has a recovery rate and has adhesive properties when heated.

まず、本発明で定義するに値について説明する。First, the values defined in the present invention will be explained.

ランダウーリフシノツ理論物理学教程「弾性理論」 (東京図書1972年発行 )42頁によれば、半径がそれぞれR,R’の二つの弾性球体が接触した際、h は次式により与えられる。Landau Rifshinotsu Theoretical Physics Course “Elasticity Theory” (published by Tokyo Tosho in 1972) ), page 42, when two elastic spheres with radii R and R' come into contact, h is given by the following equation.

h=F2′3[D2(1/R+l/R’ )] 1′3 ・・・(1)D=(3 /4)[(1−σ2)/E+(1−σ”)/E’ ] ・・・(2)ここに、h はR+R’ と両法の中心間の距離の差、Fは圧縮力、E、E’ は二つの弾性 球体の弾性率、σ、σ゛は弾性球のポアッソン比を表す。h=F2'3[D2(1/R+l/R')]1'3...(1)D=(3 /4) [(1-σ2)/E+(1-σ")/E']...(2) Here, h is the difference between R+R' and the center of both methods, F is the compressive force, and E and E' are the two elasticities. The elastic modulus of the sphere, σ, σ゛, represents the Poisson's ratio of the elastic sphere.

一方、球を剛体の板の上に置いて、かつ両側から圧縮する場合、R′−の、 E)E’ とすると、近似的に次式が得られる。On the other hand, if the ball is placed on a rigid plate and compressed from both sides, R'- E) If E', then the following equation can be obtained approximately.

F = (2”/ 3 )(S ”)(E −R”)(1−σ2) ・・・(3 )ここに、Sは圧縮変形量を表す。この式を変形すると容易に次式が得られる。F = (2" / 3) (S") (E - R") (1 - σ2) ... (3 ) Here, S represents the amount of compressive deformation. By transforming this equation, the following equation can be easily obtained.

K=E/(1−σ2) ・・・(4) よ−)で、K値を表す式: K= (3/v’2)・F 、 3−3/2・R− 1/2・・・(5) が得られる。K=E/(1-σ2)...(4) yo-), the formula expressing the K value: K=(3/v'2)・F, 3-3/2・R- 1/2...(5) is obtained.

このに値は球体の硬さを普遍的かつ定量的に表すものである。このに値を用いる ことにより、微球体またはスペーサー(以下、スペーサー等という)の好適な硬 さを定量的、かつ一義的に表すことが可能となる。This value is a universal and quantitative expression of the hardness of a sphere. use this value The suitable hardness of the microspheres or spacers (hereinafter referred to as spacers etc.) It becomes possible to quantitatively and unambiguously express the

そして、10%圧縮歪におけるに値は250k g f 7mm2〜700k  g f 7’m m2の範囲であり、この範囲内にあるスペーサー等を用いるこ とにより、例えば、液晶表示素子を作製するときに、配向制御膜をスペーサー等 で傷付けるようなことがなく、また加圧プレスにより両電極間のギャップ出しを 行う際に、ギャップコントロールを容易に行うことができる。より好ましい10 %圧縮歪におけるに値は350k g f / m m2〜550k g f  7mm2である。And the value at 10% compressive strain is 250k g f 7mm2 ~ 700k g f 7’m m2 range, and spacers etc. within this range can be used. For example, when manufacturing a liquid crystal display element, the alignment control film is coated with a spacer, etc. There is no damage caused by the press, and the gap between both electrodes can be created using a pressure press. When doing so, gap control can be easily performed. More preferable 10 The value at % compression strain is 350 k g f / m m2 ~ 550 k g f It is 7mm2.

K値が700k g f 7mm2を超えるスペーサー等を用いると、液晶表示 素子の製造工程において、液晶配向制御膜面に傷を付ける欠点があり、さらに作 製された液晶表示素子において、温度が低下した際に液晶の収縮に対してスペー サー等の圧縮変形が生じ難いため液晶セル中に減圧に起因する気泡が発生する。If a spacer etc. with a K value exceeding 700 kg f 7 mm2 is used, the liquid crystal display The element manufacturing process has the drawback of damaging the surface of the liquid crystal alignment control film, making the manufacturing process even more difficult. In manufactured liquid crystal display elements, space is required to prevent the liquid crystal from shrinking when the temperature drops. Since compressive deformation such as a sensor is difficult to occur, air bubbles are generated in the liquid crystal cell due to the reduced pressure.

K値カ250k g f / mm2未満のスペーサー等を用いた場合、セルの ギャップコントロールが困難となる。When using a spacer etc. with a K value of less than 250 k g f / mm2, the cell Gap control becomes difficult.

ところで、液晶表示素子に用いられるスペーサー等の好適な硬さを規定するだけ では好適なスペーサー等の材料力学的な性質を完全に表現することはできない。By the way, it only specifies the suitable hardness of spacers, etc. used in liquid crystal display elements. However, it is not possible to completely express the mechanical properties of suitable materials such as spacers.

もう一つの重要な性質はスペーサー等の弾性を示す値である圧縮変形後の回復率 が所定範囲内にあることである。圧縮変形後の回復率を規定することによってス ペーサー等の弾性ないし塑性を定量的に且つ一義的に表すことが可能となるので ある。Another important property is the recovery rate after compression deformation, which is a value that indicates the elasticity of spacers etc. is within a predetermined range. By specifying the recovery rate after compressive deformation, This makes it possible to quantitatively and uniquely represent the elasticity or plasticity of pacers, etc. be.

本発明のスペーサー等において、スペーサー等の圧縮変形後の回復率は、20℃ において30%〜80%の範囲が好ましい。In the spacer etc. of the present invention, the recovery rate after compressive deformation of the spacer etc. is 20°C The range of 30% to 80% is preferable.

特に好ましい圧縮変形後の回復率は40%〜70%の範囲である。A particularly preferable recovery rate after compression deformation is in the range of 40% to 70%.

回復率が80%を超えるスペーサー等を用いると、液晶セル製造工程において、 加圧プレスにより側基板間のギヤ、プ出しを行った後除圧した際に、圧縮変形さ れたスペーサー等が弾性回復し易いために取り出された液晶セルのギャップが乱 れてしまう。If a spacer etc. with a recovery rate of over 80% is used, in the liquid crystal cell manufacturing process, When the gear between the side boards is pressed out using a pressure press and the pressure is removed, the compressive deformation occurs. The gap of the liquid crystal cell taken out may be disturbed because the spacers etc. that have been removed tend to recover elastically. It gets lost.

回復率が30%を未満のスペーサー等を用いると、加圧プレスにより側基板間の ギヤノブ出しを行う際に、局部的に圧力が過大に加わった場合、スペーサー等が 圧縮変形されたままの状態であるため、その箇所でギヤノブが元に戻らず、その ためにギヤノブむらを生じる。If a spacer etc. with a recovery rate of less than 30% is used, the space between the side substrates will be removed by pressure pressing. If excessive pressure is applied locally when extending the gear knob, the spacer etc. Since the gear knob is still compressed and deformed, the gear knob will not return to its original state at that point. This causes the gear knob to become uneven.

次に、K値ならびに圧縮変形後の回復率の測定法について説明する。Next, a method for measuring the K value and the recovery rate after compression deformation will be explained.

(A)K値の測定方法及び条件 (i)測定方法 室温において、平滑表面を有する鋼板の上にスペーサー等を散布し、その中から 1個のスペーサー等を選ぶ。次に、微小圧縮試験機(PCT−200型 島津製 作所製)を用いて、ダイヤモンド製の直径50μmの円柱の平滑な端面でスペー サー等を圧縮する。この際、圧縮荷重を電磁力として電気的に検出し、圧縮変位 を作動トランスによる変位として電気的に検出する。(A) K value measurement method and conditions (i) Measurement method Spread spacers etc. on a steel plate with a smooth surface at room temperature, and Select one spacer etc. Next, a micro compression tester (PCT-200 model manufactured by Shimadzu) Seisakusho) was used to create a space with the smooth end of a diamond cylinder with a diameter of 50 μm. Compress servers etc. At this time, the compressive load is electrically detected as an electromagnetic force, and the compressive displacement is is electrically detected as the displacement caused by the operating transformer.

そして、図2に示すような圧縮変位−荷重の関係がめられる。図2から、スペー サー等の10%圧縮変形における荷重値、圧縮変位がそれぞれめられ、これらの 値と(5)式とから図3に示すようなに値と圧縮歪との関係がめられる。A relationship between compressive displacement and load as shown in FIG. 2 can be seen. From Figure 2, the space The load value and compression displacement at 10% compression deformation of the The relationship between the value and the compressive strain can be seen from the value and equation (5) as shown in FIG.

但し、圧縮歪は圧縮変位をスペーサー等の粒子径で割った値を%で表したもので ある。However, the compressive strain is the value obtained by dividing the compressive displacement by the particle diameter of the spacer, etc., expressed as a percentage. be.

(ii>圧縮速度 定負荷速度圧縮方式で行った。毎秒の0.27グラム重(grf)の割合で荷重 が増加した。(ii> Compression speed A constant load speed compression method was used. Load at a rate of 0.27 grams force per second (grf) increased.

(iii)試験荷重 最大10grfとした。(iii) Test load The maximum was 10grf.

(B)圧縮変形後の回復率の測定方法及び条件(i>測定方法 室温において、平滑表面を有する鋼板の上にスペーサー等を散布し、その中から 1個のスペーサー等を選ぶ。次に、微小圧縮試験機(PCT−200型 島津製 作所製)を用いて、ダイヤモンド製の直径50μmの円柱の平滑な端面でスペー サー等を圧縮する。この際、圧縮荷重を電磁力として電気的に検出し、圧縮変位 を作動トランスによる変位として電気的に検出する。(B) Measuring method and conditions for recovery rate after compression deformation (i>Measurement method Spread spacers etc. on a steel plate with a smooth surface at room temperature, and Select one spacer etc. Next, a micro compression tester (PCT-200 model manufactured by Shimadzu) Seisakusho) was used to create a space with the smooth end of a diamond cylinder with a diameter of 50 μm. Compress servers etc. At this time, the compressive load is electrically detected as an electromagnetic force, and the compressive displacement is is electrically detected as the displacement caused by the operating transformer.

そして、図4に示すように、スペーサー等を反転荷重値まで圧縮した後(図4中 、曲線(a)で示す)、逆に荷重を減らしていく(図4中、曲線(b)で示す) 。この際、荷重と圧縮変位との関係を測定する。ただし、除荷型における終点は 荷重値ゼロではなく、O,1g以上の原点荷重値とする。回復率は反転の点まで の変位し1と反転の点から原点荷重値を取る点までの変位差L2の比(L 2/  L 1)を%で表した値で定義する。Then, as shown in Figure 4, after compressing the spacer etc. to the reverse load value (in Figure 4 , shown by curve (a)), and conversely reduce the load (shown by curve (b) in Figure 4). . At this time, the relationship between load and compressive displacement is measured. However, the end point in the unloading type is The load value is not zero, but the origin load value is O,1g or more. Recovery rate reaches point of reversal Ratio of displacement 1 and displacement difference L2 from the point of reversal to the point where the origin load value is taken (L2/ L1) is defined as a value expressed in %.

(ii)測定条件 反転荷重値 1grf 原点荷重値 0.1grf 負荷および除負荷における圧縮速度 0.27g r f /see 測定室温度 20°C 本発明のスペーサー等は上記に値及び回復率を満たすものであれば、無機質粒子 あるいは合成樹脂粒子のいずれでも用いることができる。特に、上記に値及び回 復率を上記範囲内に調整することが容易に行える点で合成樹脂製の粒子が好まし く用いられる。(ii) Measurement conditions Reversal load value 1grf Origin load value 0.1grf Compression speed at loading and unloading 0.27g r f /see Measurement room temperature 20°C The spacer, etc. of the present invention is made of inorganic particles as long as it satisfies the above values and recovery rate. Alternatively, any synthetic resin particles can be used. In particular, the values and times listed above Particles made of synthetic resin are preferred because the recovery rate can be easily adjusted within the above range. Often used.

スペーサー等を形成するのに適している合成樹脂としては、以下の各種プラスチ ック材料を含む。ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリ塩 化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレ ート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアミド 、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール等 の線状または架橋高分子;エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、不飽 和ポリエステル樹脂、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共 重合体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステル共重合体、ジアリルフタレート 重合体、トリアリルイソシアヌレート重合体、ベンゾグアナミン重合体等の網目 構造を有する樹脂。The following various plastics are suitable as synthetic resins for forming spacers etc. Contains bulk materials. Polyethylene, polypropylene, polymethylpentene, polysalt vinyl chloride, polytetrafluoroethylene, polystyrene, polymethyl methacrylate polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyamide , polyimide, polysulfone, polyphenylene oxide, polyacetal, etc. linear or cross-linked polymers; epoxy resins, phenolic resins, melamine resins, unsaturated Japanese polyester resin, divinylbenzene polymer, divinylbenzene-styrene co Polymer, divinylbenzene-acrylic acid ester copolymer, diallyl phthalate Networks of polymers, triallylisocyanurate polymers, benzoguanamine polymers, etc. A resin with a structure.

これらの樹脂のうちで、特に好ましいものは、ジビニルベンゼン重合体、ジビニ ルベンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステル共重合 体、ジアリルフタレート重合体等の網目構造を有する樹脂である。Among these resins, particularly preferred are divinylbenzene polymers and divinylbenzene polymers. Rubenzene-styrene copolymer, divinylbenzene-acrylic acid ester copolymer It is a resin having a network structure such as polyester, diallyl phthalate polymer, etc.

無機質としては、特に限定するものではな〈従来公知のものを使用することがで きる。There are no particular limitations on the inorganic substance, and conventionally known inorganic substances can be used. Wear.

スペーサー等の形状としては、例えば、球状のものが好ましい。直径は、好まし くは0.1〜100μ頂の範囲であり、特に好ましい直径は0.5〜50μmで あり、さらに好ましい直径は1〜20μmである。The shape of the spacer etc. is preferably spherical, for example. The diameter is preferably The diameter is preferably in the range of 0.1 to 100 μm, and the particularly preferred diameter is 0.5 to 50 μm. A more preferable diameter is 1 to 20 μm.

本発明の液晶表示素子用着色球状スペーサーは、着色されたものである。着色方 法は、例えば、染料、顔料混入、染料モノマーの重合、およびスペーサー上に金 属薄膜を形成してこれを酸化する方法等があげられる。着色方法は、例えば、特 開昭57−189117号公報、特開昭63−89890号公報、特開平1−1 44021号公報、特開平1−144429号公報、特開昭63−66228号 公報、特開昭63−89408号公報、特開平1−200227号公報、特開平 1−2007719号公報、特開平2−214781号公報などに開示されてお り、これらに開示された着色方法を本発明に採用することができる。The colored spherical spacer for liquid crystal display elements of the present invention is colored. How to color Methods include, for example, dyes, pigment incorporation, polymerization of dye monomers, and gold on spacers. Examples include a method of forming a metal thin film and oxidizing it. For example, the coloring method may be JP-A-57-189117, JP-A-63-89890, JP-A-1-1 44021, JP 1-144429, JP 63-66228 Publication, JP-A-63-89408, JP-A-1-200227, JP-A-Hei 1-2007719, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-214781, etc. Therefore, the coloring methods disclosed therein can be employed in the present invention.

本発明において、液晶表示素子用スペーサーとして、着色された球状スペーサー を用いることが好ましい理由は次の通りである。In the present invention, a colored spherical spacer is used as a spacer for a liquid crystal display element. The reason why it is preferable to use is as follows.

液晶表示素子において、透明電極間に電圧を印加することにより、液晶は光学的 変化を生じて画像を形成する。これに対し、スペーサーはその印加によって光学 的変化を示さない。In a liquid crystal display element, by applying a voltage between transparent electrodes, the liquid crystal becomes optically A change occurs to form an image. On the other hand, when a spacer is applied, the optical Does not show any significant change.

従って、画像を表示させた時の暗部において、無着色のスペーサーは輝点として 視認されるCとがあり、その結果画像表示のコントラストを低下させることがあ るからである。Therefore, uncolored spacers appear as bright spots in dark areas when displaying images. There may be visible C, which may reduce the contrast of the image display. This is because that.

本発明の液晶表示素子用接着性球状スペーサーは加熱した際に接着性を有してい る。スペーサーに接着性を付与する方法には、基材微球体の表面にポリエチレン ワックスの層やホットメルト接着剤層、エポキシ接着剤層を設ける方法等が含ま れる。The adhesive spherical spacer for liquid crystal display elements of the present invention has adhesive properties when heated. Ru. The method of imparting adhesiveness to the spacer involves applying polyethylene to the surface of the base microspheres. Includes methods for applying wax layers, hot melt adhesive layers, and epoxy adhesive layers. It will be done.

接着性を付与する方法は、例えば、実開昭51−22435号公報、特開昭63 −44631号公報、特開昭63−94224号公報、特開昭63−20012 6号公報、特開平1−247154号公報、特開平1−247155号公報、特 開平2−261537号公報に開示されており、これらに開示された方法を本発 明に採用することができる。Methods for imparting adhesive properties are described, for example, in Japanese Utility Model Application Publication No. 51-22435 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-1989. -44631, JP-A-63-94224, JP-A-63-20012 No. 6, JP-A-1-247154, JP-A-1-247155, This method is disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-261537, and the methods disclosed therein are applied to the present invention. It can be adopted clearly.

液晶表示素子用スペーサーとして、接着性を有する球状スペーサーを用いること により、前述のような基板のギャップにおいてスペーサ、−が移動することを防 止できる。その結果、配向制御膜を傷つけるどいった不都合な現象を積極的に防 止して、表示画像の画質を向上し、かつ基板間のギヤノブ精度を向上することが できる。Use of adhesive spherical spacers as spacers for liquid crystal display elements This prevents the spacer from moving in the substrate gap as described above. Can be stopped. As a result, it actively prevents inconvenient phenomena such as damage to the alignment control film. It is possible to stop the display, improve the quality of the displayed image, and improve the precision of the gear knob between the boards. can.

着色された球状スペーサーおよび接着性球状スペーサーに使われる基材微粒子は 、上述のスペーサー等から作製することができる。The base material particles used for colored spherical spacers and adhesive spherical spacers are , the above-mentioned spacers, etc.

以上のように、本発明のスペーサー等は、所定範囲のに値と、所定範囲の圧縮変 形後の回復率を有していることにより、液晶表示素子のスペーサーとして好適な 物性を有している。As described above, the spacer etc. of the present invention has a predetermined range of values and a predetermined range of compression changes. It has a good recovery rate after molding, making it suitable as a spacer for liquid crystal display elements. It has physical properties.

すなわち、該スペ一サーの硬さが適当であるので、液晶表示素子の製造工程にお いて、基板が加圧されるときに配向制御膜を傷つけることがない。In other words, since the spacer has an appropriate hardness, it can be used in the manufacturing process of liquid crystal display elements. Therefore, the alignment control film will not be damaged when the substrate is pressurized.

さらに、スペーサーは適度の変形性を有するので、基板とスペーサーとは広い面 積で接触することになる。その結果、スペーサーは基板の表面上で重力や微小な 振動によって移動し難くなる。また、そのスペーサーの移動によって配向制御膜 を傷つけるようなことも防ぎ得る。Furthermore, since the spacer has moderate deformability, the substrate and spacer have a large surface area. They will come into contact with each other. As a result, the spacer is placed on the surface of the substrate by gravity and microscopic forces. Vibrations make it difficult to move. In addition, by moving the spacer, the orientation control film can be It can also prevent damage to the person.

スペーサーは適度な硬さを育するので、一対の基板を互いに向い合う方向に加圧 する際に、その加圧力をスペーサーで支持して、基材間のギャップを一定に保つ ことができる。従って、液晶層の厚みのムラを従来に比べて低減することができ る。The spacer develops appropriate hardness, so it presses the pair of boards in the direction that they face each other. When applying pressure, support the pressure with a spacer to keep the gap between the base materials constant. be able to. Therefore, unevenness in the thickness of the liquid crystal layer can be reduced compared to conventional methods. Ru.

夜通」jL1五 次に、本発明の液晶表示素子の一例を図面を参照して説明する。本発明の液晶表 示素子は、上記球状スペーサーを用いたこと以外は、図7で示したものと同じ構 成とすることができる。Night Vigil”jL15 Next, an example of the liquid crystal display element of the present invention will be explained with reference to the drawings. Liquid crystal display of the present invention The display element has the same structure as that shown in Fig. 7, except for using the spherical spacer described above. It can be made into

すなわち、図1に示すように、液晶表示素子Aは、一対の基板7.9と、該一対 の基板7.9のギャップを一定に保持するために一対の基板7.9の間に配設さ れたスペーサー8及びネマチック液晶11と、一対の基板7.9間の周囲に充填 されたシール部材IOと、各基板7.9の表面に被覆された偏光ンート12.1 3と、を有している。That is, as shown in FIG. 1, the liquid crystal display element A includes a pair of substrates 7.9 and is arranged between a pair of substrates 7.9 to maintain a constant gap between the substrates 7.9. The area between the spacer 8 and the nematic liquid crystal 11 and the pair of substrates 7 and 9 is filled. a polarizing channel 12.1 coated on the surface of each substrate 7.9; It has 3 and.

上記基板7.9は、ガラスからなる透明基板1.4の片面にITO(Indiu m−Tin−Oxide)膜などからなる透明電極2.5をパターン形成し、こ の透明電極2.5および透明基板1.4の表面にポリイミド膜などからなる配向 制御膜3.6を被覆して構成されている。その配向制御膜3.6はラビングによ っで配向制御処理されている。The substrate 7.9 has a transparent substrate 1.4 made of glass with ITO (Indium Ind. A transparent electrode 2.5 made of a film such as m-Tin-Oxide is formed into a pattern. The transparent electrode 2.5 and the transparent substrate 1.4 have an alignment layer made of a polyimide film or the like on the surface of the transparent electrode 2.5 and the transparent substrate 1.4. It is constructed by covering a control membrane 3.6. The orientation control film 3.6 is formed by rubbing. Orientation control processing is performed.

上記スペーサー8は、−に記した所定範囲のに値と、所定範囲の圧縮変形後の回 復率を有しているものである。このスペーサー8は、着色スペーサーでもよく、 および/または接着性スペーサーでもよい。The spacer 8 has a value in a predetermined range indicated by - and a rotation value after compression deformation in a predetermined range. It has a recovery rate. This spacer 8 may be a colored spacer, and/or adhesive spacers.

よっで、本発明によれば、表示画像の欠陥がなく鮮明な画像が得られる液晶表示 素子を得るこ七ができる。Therefore, according to the present invention, there is provided a liquid crystal display that can provide clear images without display image defects. It is possible to obtain elements.

導電性微球体 本発明の導電性微球体は、上記微球体と、該微球体の表面に設けられた導電層と を有する。この導電性微球体は、エレクトロニクス実装分野における微細電極間 の導電接続に用いることができる。conductive microspheres The conductive microspheres of the present invention include the above microspheres and a conductive layer provided on the surface of the microspheres. has. These conductive microspheres are used between fine electrodes in the electronics packaging field. Can be used for conductive connections.

この導電性微球体においては、上記したように、10%圧縮歪におけるに値は2 50k g f /’mm” 〜700k g f /mm2の範囲であり、こ の範囲内にある導電性微球体を用いることにより、例えば、一対の電極が導電性 微球体で接続されている素子の!8!造工程において、対向電極面を導電性微球 体で傷付けるようなことがなく、また加圧プレスにより両電極間のギャップ出し を行う際に、ギヤノブコントロールを容易に行うことができる。より好ましい1 0%圧縮歪におけるに値は350k g f 、mm2〜550k g f /  mm2である。In this conductive microsphere, as mentioned above, the value at 10% compressive strain is 2. The range is 50k gf/’mm” to 700k gf/mm2, and this For example, by using conductive microspheres within the range of Of elements connected by microspheres! 8! During the manufacturing process, conductive microspheres are placed on the opposing electrode surface. There is no need to injure the body, and the gap between both electrodes can be created using a pressure press. When doing this, you can easily control the gear knob. More preferable 1 The value at 0% compressive strain is 350 k g f, mm2 ~ 550 k g f / It is mm2.

K値が700kgf、・・’mm2を超える場合、この導電性微球体を二つの電 極間に挟んで圧縮荷重を加えても、導電性微球体は容易に変形せず、その結果導 電性微球体と電極表面との接触面積が広がらず、接触抵抗値を低減させることが 困難となる。また、導電性微球体を変形させるべく無理に荷重を加えると、導電 性微球体表面の導電層の破れや剥がれが生じたり、素子の製造工程において、電 極面に傷を付けるおそれがある。If the K value exceeds 700 kgf,...’mm2, the conductive microspheres are Even if a compressive load is applied between the electrodes, the conductive microspheres do not deform easily, and as a result, the conductive The contact area between the electrically conductive microspheres and the electrode surface does not expand, reducing the contact resistance value. It becomes difficult. Also, if you forcefully apply a load to deform the conductive microspheres, the conductivity The conductive layer on the surface of the microspheres may be torn or peeled off, or the conductive layer may be damaged during the device manufacturing process. There is a risk of damaging the surface.

K値が250k g f / mm2未満の場合、この導電性微球体を二つの電 極間に挟んで圧縮荷重を加えると、しばしば圧縮変形が大きくなるため、導電性 微球体表面の導電層がこの変形に追従できなくなり、その結果、導電層の破れや 剥がれが発生するという危険性がある。また、圧縮変形量が過大となって導電性 微球体が偏平になると、電極同志が直接に接触し、充分な微細接続ができな(な るという問題も生ずる。If the K value is less than 250kgf/mm2, the conductive microspheres are When a compressive load is applied between poles, the compressive deformation often increases, so conductive The conductive layer on the surface of the microsphere cannot follow this deformation, and as a result, the conductive layer may be torn or There is a risk that peeling will occur. In addition, the amount of compressive deformation may become excessive, resulting in poor conductivity. If the microspheres become flat, the electrodes will come into direct contact with each other, making it impossible to make a sufficient fine connection. Another problem arises:

さらに、本発明の導電性微球体において、導電性微球体の圧縮変形後の回復率の 範囲は、20℃において30%〜80%である。特に好ましい圧縮変形後の回復 率の範囲は40%〜70%である。Furthermore, in the conductive microspheres of the present invention, the recovery rate after compressive deformation of the conductive microspheres is The range is 30% to 80% at 20°C. Particularly favorable recovery after compressive deformation The rate ranges from 40% to 70%.

この導電性微球体の圧縮変形後のの回復率が80%を超える場合、この導電性微 球体を分散させた接着剤を二つの電極間に挟んで加圧接着し、接着剤が硬化後に 除圧すると、圧縮変形した導電性微球体は弾性回復し易いため、接着剤層が電極 表面から引き剥されるおそれがある。If the recovery rate of the conductive microspheres after compression deformation exceeds 80%, the conductive microspheres An adhesive containing dispersed spheres is sandwiched between two electrodes and bonded under pressure, and after the adhesive hardens, When the pressure is removed, the compressively deformed conductive microspheres easily recover elastically, so the adhesive layer becomes the electrode. There is a risk of it being peeled off from the surface.

回復率が30%未満の場合、この導電性微球体を分散させた接着剤を二つの電極 間に充填して加圧接着し、接着剤が硬化後に除圧するという方法で作製した素子 は、冷熱繰り返しの環境下において接着剤層が収縮と膨張を繰り返すが、導電性 微球体は圧縮変形されたままの状態であるため、接着剤層の膨張時に電極表面と の間にギヤノブを生じ、接触不良を引き起こす。If the recovery rate is less than 30%, apply the adhesive containing the conductive microspheres to two electrodes. Elements manufactured by filling the gap and bonding under pressure, and then removing the pressure after the adhesive hardens. The adhesive layer repeatedly contracts and expands in an environment of repeated heating and cooling, but it is not conductive. Since the microspheres remain compressed and deformed, they do not touch the electrode surface when the adhesive layer expands. This will cause the gear knob to become loose between the two, causing poor contact.

本発明の導電性微球体は、上記範囲のに値及び回復率を満たすものであれば、無 機質材料から作られたもの、あるいは合成樹脂から作られたもののいずれでも用 いることができる。The conductive microspheres of the present invention are free as long as they satisfy the value and recovery rate within the above ranges. Either made from organic materials or synthetic resins. I can be there.

この導電性微球体を形成する微球体としては、上記スペーサー等と同じものを使 用することができる。微球体を形成する好ましい樹脂は、ジビニルベンゼン重合 体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体、ンビニルベンゼンーアクリル酸エス テル共重合体、ジアリルフタレート重合体等の網目構造を有する樹脂である。The microspheres that form these conductive microspheres are the same as the spacers mentioned above. can be used. A preferred resin for forming microspheres is divinylbenzene polymerization. divinylbenzene-styrene copolymer, divinylbenzene-acrylic acid ester It is a resin having a network structure such as a polyester copolymer or a diallyl phthalate polymer.

微球体の粒子径の範囲は、0.1〜100μmが好ましく、特に好ましい直径は 0.5〜50μmであり、さらに好ましい直径は1〜20μmである。The particle size range of the microspheres is preferably 0.1 to 100 μm, and the particularly preferable diameter is The diameter is 0.5 to 50 μm, and a more preferable diameter is 1 to 20 μm.

また、導電層の厚みは、0.02〜5μmの範囲が好ましい。導電層の厚みが0 .02μm未満の場合、所望の導電性が得られ難くなり、5μmを超えると微球 体と導電層との熱膨張率との差により導電層が微球体の表面から剥離し易(なる 。Moreover, the thickness of the conductive layer is preferably in the range of 0.02 to 5 μm. The thickness of the conductive layer is 0 .. If it is less than 0.2 μm, it will be difficult to obtain the desired conductivity, and if it exceeds 5 μm, microspheres will form. Due to the difference in thermal expansion coefficient between the conductive layer and the conductive layer, the conductive layer easily peels off from the surface of the microsphere. .

導電層に使用される金属としては、例えば、二、ケル、金、銀、銅、コバルト錫 、インジウム等あるいはこれらを主成分とする合金があげられる。特にインジウ ムが好ましい。Metals used for the conductive layer include, for example, nickel, gold, silver, copper, cobalt and tin. , indium, etc., or alloys containing these as main components. Especially injiu is preferred.

上記微球体の表面に金属層を形成する方法としては、例えば、無電解メッキ(化 学メッキ法ともいう)による方法;金属微粉を単独あるいはバインダーに混ぜ合 わせて得られるペーストを微球体にコーティングする方法;真空蒸着、イオンブ レーティング、イオンスパッタリング等の物理的蒸着方法などが含まれる。Examples of methods for forming a metal layer on the surface of the microspheres include electroless plating (chemical plating). (Also called the scientific plating method); metal fine powder alone or mixed with a binder. Method for coating microspheres with the paste obtained; vacuum evaporation, ion-bubbling This includes physical vapor deposition methods such as rating and ion sputtering.

無電解メッキ法による金属層の形成方法を、全置換メッキの場合を例に挙げて以 下に説明する。The following describes how to form a metal layer using electroless plating, using total displacement plating as an example. Explained below.

この方法は、以下のエツチング液程、アクチベーシコン工程、化学二、ケルメノ キ工程及び全置換メッキ工程に分けられる。This method consists of the following etching process, activating process, chemistry process, and chemistries. The plating process is divided into a plating process and a total displacement plating process.

工、チング工程は、微球体の表面に凹凸を形成させることによりメッキ層を微球 体に付着させる工程であり、エツチング液としては、例えば、カセイソーダ水溶 液、濃塩酸、濃硫酸または無水クロム酸が含まれる。The coating and ching process forms the plating layer into microspheres by forming unevenness on the surface of the microspheres. This is the process of adhering it to the body, and the etching solution is, for example, a caustic soda solution. liquid, concentrated hydrochloric acid, concentrated sulfuric acid or chromic anhydride.

アクチベーンヨン工程は、二ノチングされた微球体の表面に触媒層を形成させる と共に、ごの触媒層を活性化させるための工程である。触媒層の活性化により後 述の化学ニッケルメノキ工程における金属ニッケルの析出が促進される。微球体 の表面のPd2ゝおよびSn”を含む触媒層を濃硫酸または濃塩酸で処理し、S n2“のみを溶解除去してPd2“の金属化を行う。金属化されたパラジウムは 、カセイソーダ濃厚溶液等のパラジウム活性剤により活性化されて増感される。The activation process forms a catalyst layer on the surface of the notched microspheres. This is also a step for activating the catalyst layer. After activation of the catalyst layer The precipitation of metallic nickel in the chemical nickel agate process described above is promoted. microsphere The catalyst layer containing Pd2'' and Sn'' on the surface of is treated with concentrated sulfuric acid or concentrated hydrochloric acid. Only n2" is dissolved and removed to metallize Pd2". metallized palladium , activated and sensitized with a palladium activator such as a concentrated solution of caustic soda.

化学二、ケルメノキ工程は、触媒層が形成された微球体の表面に、さらに金属ニ ッケル層を形成させる工程であり、例えば、塩化ニッケルを次亜リン酸ナトリウ ムによって還元し、ニッケルを微球体の表面に析出させる。Chemistry 2. In the Kermenoki process, metal nitrogen is added to the surface of the microspheres on which the catalyst layer has been formed. This is the process of forming a nickel layer, for example, by mixing nickel chloride with sodium hypophosphite. nickel is reduced on the surface of the microspheres.

全置換メッキ工程では、このようにしてニッケルが被覆された微球体を金シアン 化カリウム水溶液に入れ、昇温させなから二、ゲルを溶出させ、金を微球体表面 に析出させる。In the total displacement plating process, the nickel-coated microspheres are coated with gold and cyanide. Place the gold in an aqueous solution of potassium chloride and heat the microspheres to dissolve the gel. Let it precipitate.

また、導電層をインジウム−メッキ層から形成される場合には、その導電層の厚 みの範囲は、0.02〜5μmが特に好ましい。導電層の厚みが0.02μm未 満の場合、所望の導電性が得られ難く、また5μmを上回ると、導電性微球体を 一対の電極間に挟んで両電極を加圧する際に、導電性微球体の弾性的な性質が有 効に発現されなくなる。導電層の厚みが5μmを超えると導電性微球体同志の凝 集が起こり易くなる。In addition, when the conductive layer is formed from an indium plating layer, the thickness of the conductive layer is The range of the thickness is particularly preferably 0.02 to 5 μm. The thickness of the conductive layer is less than 0.02μm If it is less than 5 μm, it is difficult to obtain the desired conductivity, and if it exceeds 5 μm, the conductive microspheres may be difficult to obtain. When sandwiched between a pair of electrodes and pressurizing both electrodes, the elastic properties of conductive microspheres effect is no longer expressed. If the thickness of the conductive layer exceeds 5 μm, the conductive microspheres will aggregate together. Gathering is more likely to occur.

インジウムメッキ層を微球体表面に形成する方法としては、例えば、以Fの方法 かあげられる。Examples of methods for forming an indium plating layer on the surface of microspheres include the method F below. I can give it to you.

■無電解メッキ法によりインジウムメッキ層を形成する方法 予め微球体の表面にインジウムよりイオン化傾向の大きい別の金属(例えば、銅 など)の薄膜を形成させた後、この金属を次式のようにインジウムに置換するメ ッキ法である。■Method of forming an indium plating layer using electroless plating method Another metal (for example, copper) that has a higher ionization tendency than indium is applied to the surface of the microspheres in advance. After forming a thin film of (e.g.), this metal is replaced with indium as shown in This is the method of

3Cu+2 In”” →3Cu”+21 n↓■還元メ、キ法 インジウム塩の水溶液に還元剤を添加して還元反応によりインジウムを微球体の 表面に析出させることにより、インジウムメッキ層を形成させるメッキ法である 。3Cu+2 In””→3Cu”+21 n↓■Reduction method, Ki method A reducing agent is added to an aqueous solution of indium salt to transform indium into microspheres through a reduction reaction. This is a plating method that forms an indium plating layer by depositing it on the surface. .

あるいは、予め微球体の表面にニッケルなどの別の金属の薄膜を形成させた後、 この表面にインジウムを還元反応により析出させ、薄膜を形成させることもでき る。Alternatively, after forming a thin film of another metal such as nickel on the surface of the microspheres, It is also possible to deposit indium on this surface through a reduction reaction to form a thin film. Ru.

■機械的、物理的方法によるインジウムメッキ層の形成方法 微球体とインジウム微粒子とを混ぜ合わせた後、ハイブリダイゼーシヨンまたは メカノヒユーシコン法によりインジウム微粒子を微球体表面に衝突させたり、あ るいは微球体表面にインジウム微粒子を擦りイ」()ることによりインジウム薄 膜を微粒子表面に形成させる。あるいは、微球体とインジウム微粒子とを混ぜ合 わせた後、これを加熱することにより、インジウムを溶融さゼて微球体表面にイ ンジウム薄膜を被覆させてもよい。■Mechanical and physical method for forming indium plating layer After mixing microspheres and indium particles, hybridization or By using the mechano-hydraulic method, indium particles are collided with the surface of microspheres. Indium is thinned by rubbing indium fine particles on the surface of microspheres. A film is formed on the surface of the fine particles. Alternatively, mix microspheres and indium particles. By heating this, the indium is melted and imprinted on the surface of the microspheres. It may also be coated with a thin film of indium.

このようにして得られた導電性微球体を用いて、素子を作製することができる。A device can be manufactured using the conductive microspheres obtained in this way.

この素子は、例えば、次のようにして作製することができる。This element can be manufactured, for example, as follows.

すなわち、図5に示すように、絶縁性のバインダー28中に導電性微球体29を 均一に分散したものをスクリーン印刷またはディスペンサーで一方の電極24上 に、塗布する。あるいはバインダー28を使用せずに導電性微球体29のみを電 極24上に配置する。後者の場合、導電性微球体29は電極24の上方から散布 してもよく、あるいは導電性微球体29を荷電させて静電気的に電極24上に付 着させてもよい。That is, as shown in FIG. 5, conductive microspheres 29 are placed in an insulating binder 28. Apply the uniformly dispersed material onto one electrode 24 using screen printing or a dispenser. Apply to. Alternatively, only the conductive microspheres 29 can be electrified without using the binder 28. Placed on pole 24. In the latter case, the conductive microspheres 29 are dispersed from above the electrodes 24. Alternatively, the conductive microspheres 29 may be charged and electrostatically attached to the electrodes 24. You may wear it.

次に、もう一方の電極25を上記電極24の上に重ね合わせる。この状態で両電 極24.25を加圧する。ここでは、特に大きな加圧力を必要としない。導電性 微球体29と電極24.25面との接触状態が保たれる程度の圧力でよい。次に 、一対の電極24.25間に導電性微球体29が挟持された積層体を加熱する。Next, the other electrode 25 is placed on top of the electrode 24. In this state, both electric Pressurize poles 24.25. Here, no particularly large pressing force is required. Conductivity The pressure may be sufficient to maintain contact between the microsphere 29 and the surfaces of the electrodes 24 and 25. next , a laminate in which conductive microspheres 29 are sandwiched between a pair of electrodes 24 and 25 is heated.

加熱方法としてはプレス加熱が好ましい。このようにして、図5に示すような素 子Bが得られる。Press heating is preferred as the heating method. In this way, an element like the one shown in Figure 5 can be created. Child B is obtained.

上記素子において使用される電極としては、例えば、ガラス板上にITO薄膜が 形成された電極、ガラス板上にアルミニウム薄膜が形成された電極、プラスチッ クフィルム上に銅ンートを貼付けこれをエツチングして作成された電極、および フィルム上に銀ペースト、カーボンブラックを印刷して作成した電極等が含まれ る。このように、導電性微球体を用いることにより、液晶表示素子等の電極間の 所定の箇所を電気的に接続することができる。The electrodes used in the above device include, for example, an ITO thin film on a glass plate. formed electrodes, electrodes with aluminum thin films formed on glass plates, plastic Electrodes made by pasting copper notes on a film and etching them; Contains electrodes made by printing silver paste and carbon black on a film. Ru. In this way, by using conductive microspheres, it is possible to improve the Predetermined locations can be electrically connected.

本発明の導電性微球体は、適度に圧縮変形させることが可能であるため、導電性 微球体を使用17て電極間を接続させる際に、導電性微球体と電極表面との接触 面積を拡大して接触抵抗値を低減させることができる。さらに、圧縮変形後の変 形回復性も適度であるため、導電性微球体を使用して電極間の接続を行う工程に おいて、両電極に作用する圧縮荷重を取り除いた際、該導電性微球体と電極表面 との界面にギャップが形成されることもなく、接触不良を起こすとこともない。The conductive microspheres of the present invention can be appropriately compressed and deformed, so they have conductive properties. When connecting electrodes using microspheres17, contact between the conductive microspheres and the electrode surface The contact resistance value can be reduced by expanding the area. Furthermore, the change after compression deformation Because the shape recovery property is also moderate, it is suitable for the process of connecting between electrodes using conductive microspheres. When the compressive load acting on both electrodes is removed, the conductive microspheres and the electrode surface There will be no gap formed at the interface between the two and no contact failure will occur.

以上のように、本発明の導電性微粒子は、適度の圧縮変形性と変形回復性を有す るので、二つの電極間に挟んで使用された場合、優れた異方導電性能と接続信頼 性能を発揮することができ、以下に挙げるような用途に好適である。As described above, the conductive fine particles of the present invention have appropriate compressive deformability and deformation recovery properties. Therefore, when used between two electrodes, it has excellent anisotropic conductive performance and connection reliability. It is suitable for the following applications.

■液晶表示素子における上下基板電極間の電気的接続のためのトランスファー材 料。■Transfer material for electrical connection between upper and lower substrate electrodes in liquid crystal display elements fee.

■液晶表示素子におけるLSIとガラス配線基板とのC0G(チップオングラス )接続用材料。■C0G (chip-on-glass) between LSI and glass wiring board in liquid crystal display elements ) Connection materials.

■液晶表示素子におけるガラス配線基板とフレキシブルプリント回線との電気的 接続材料。■Electrical relationship between glass wiring board and flexible printed circuit in liquid crystal display element connection material.

■板状基板あるいはフィルム状基板とLSIとのCOG (チップオングラス) あるいはCOF (チIブオンフイルム)接続用材料。■COG (chip-on-glass) between a plate-like substrate or a film-like substrate and an LSI Or COF (chip-on-film) connection material.

(以下余白) 及旌旦。(Margin below) New Year's Day.

以下に本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。The present invention will be explained in detail below based on examples.

なお、本試験方法は以下の通りである。The test method is as follows.

(A)粒子径の測定 コールタ−カウンター7B/C−1000型粒子サイズ測定機(」−ルターエレ クトロニクス社製)を使用して行った。(A) Measurement of particle size Coulter Counter 7B/C-1000 type particle size measuring machine (''-Luther Ele (manufactured by Cutronics).

CB)スペーサーの圧縮試験 微小圧縮試験機(島津製作(株)製)を使用して行った。CB) Spacer compression test The test was carried out using a micro compression tester (manufactured by Shimadzu Manufacturing Co., Ltd.).

(C)if晶セルの上下基板間のギャップの測定液晶セルギャップ測定装置(オ ーク製作新製TFM−12OAFT型)を使用して行った。(C) Measuring the gap between the upper and lower substrates of the if crystal cell Liquid crystal cell gap measuring device (optional) The test was carried out using a newly manufactured TFM-12OAFT model).

(D)液晶表示素子の表示性能 液晶セルに当てた光の反射光の色調がオリーブ色を呈するように、液晶セルの上 下の両面に偏光シートを貼付+する。(D) Display performance of liquid crystal display element Place the top of the liquid crystal cell so that the color of the light reflected from the liquid crystal cell is olive-colored. Attach polarizing sheets to both sides of the bottom.

この時、偏光シートの背景色に色ムラを観察した。さらに、液晶表示素子に電源 を接続して点灯させ、その画像を観察1゜た。At this time, color unevenness was observed in the background color of the polarizing sheet. In addition, power is supplied to the liquid crystal display element. I connected it, turned it on, and observed the image for 1 degree.

X1l引上 テトラメチロールメタンテトラアクリレートを懸濁重合さゼた後、分級により平 均粒子径703μ七、標準偏差0.2771mのスペーサーを得た。X1l lift After suspension polymerization of tetramethylolmethanetetraacrylate, it is flattened by classification. A spacer with an average particle diameter of 703 μm and a standard deviation of 0.2771 m was obtained.

このスペーサーの圧縮試験を行ったところ、圧縮歪10%におlt6に値は55 0 k gf/mm2であった。また、反転荷重値1 grfの場合の圧縮変形 後の回復率は65%であった。When this spacer was subjected to a compression test, the value was 55 at 10% compression strain and lt6. It was 0kgf/mm2. Also, compressive deformation when the reverse load value is 1 grf The subsequent recovery rate was 65%.

厚さ0.7mmのガラス板上に低温スパッタ法によって約500オングストロー ムの厚さの酸化インジウム−酸化スズ系の透明導電膜を形成した後、フォトリソ グラフィーにより所定の電極パターンを形成した。次いで、この上に配向剤を塗 布した後、加熱して配向制御膜を形成した。次に、このガラス板を5 cmx  12.5 cmの寸法に裁断して液晶表示素子用のガラス基板を得た。Approximately 500 angstroms of straw was deposited on a glass plate with a thickness of 0.7 mm by low-temperature sputtering. After forming an indium oxide-tin oxide transparent conductive film with a thickness of A predetermined electrode pattern was formed by lithography. Next, apply an alignment agent on top of this. After coating, it was heated to form an alignment control film. Next, this glass plate is 5 cm x It was cut into a size of 12.5 cm to obtain a glass substrate for a liquid crystal display element.

このガラス基板の周囲にスクリーン印刷によりガラスファイバースペーサーを混 入させたエポキシ接着剤を幅1mmで印刷した。Mix glass fiber spacers by screen printing around this glass substrate. The epoxy adhesive was printed with a width of 1 mm.

ガラス基板を水平に配置した後、上方から該スペーサーを加圧窒素ガスにより飛 散させて均一にガラス基板上に落下させた。ガラス基板上におけるスペーサーの 散布濃度が約100個/ m m 2になるように散布時間を調整した。After placing the glass substrate horizontally, the spacer is blown from above using pressurized nitrogen gas. It was scattered and dropped uniformly onto a glass substrate. spacer on glass substrate The spraying time was adjusted so that the spraying concentration was about 100 particles/m2.

別のガラス基板をスペーサーが散布された上記ガラス基板上に重ね合わせた後、 プレス機により1kg*/crn2の荷重をガラス基板全体に均一にかかるよう に加えた。同時に、このものを160°Cの温度で20分間加熱して周囲のエポ キシ接着剤を硬化させた。After superimposing another glass substrate on the above glass substrate on which spacers are scattered, A press machine applies a load of 1 kg*/crn2 evenly to the entire glass substrate. added to. At the same time, heat this thing at a temperature of 160°C for 20 minutes to remove the surrounding epoxy. The glue was cured.

このようにして作成したセルの内部を吸引して真空とした後、周辺のシール部の 一部に設けた孔部から液晶を内部へ注入した。このようにして作成した液晶セル の上下基板間のギャップ未満のを測定した結果、ギヤノブ値は6.98±0.0 3μmの範囲であった。After creating a vacuum by suctioning the inside of the cell created in this way, the surrounding seal area is Liquid crystal was injected into the inside through holes provided in some parts. Liquid crystal cell created in this way As a result of measuring the gap between the upper and lower boards, the gear knob value was 6.98±0.0 It was in the range of 3 μm.

液晶セルに当てた光の反射光の色調がオリーブ色を呈するように、この液晶セル の上下の両面に偏光シートを貼付けた。この時、このオリーブ色は均一で濃度に 色ムラが認めれなかった。このようにして作成した液晶表示素子に電源を接続し て点灯させた結果、充分な表示性能が得られた。This liquid crystal cell is designed so that the color tone of the light reflected from the liquid crystal cell is olive-colored. Polarizing sheets were pasted on both the top and bottom sides. At this time, this olive color is uniform and concentrated. No color unevenness was observed. Connect the power supply to the liquid crystal display element created in this way. As a result, sufficient display performance was obtained.

1皿五且 テトラメチロールメタンテトラアクリレート75重量%及びジビニルベンゼン2 5重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.05μm、標準偏差o 、25μmのスペーサーを得た。5 pieces per plate 75% by weight of tetramethylolmethanetetraacrylate and 2% of divinylbenzene After suspension polymerization of 5% by weight, the average particle diameter was 7.05μm, standard deviation o , a 25 μm spacer was obtained.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は450kgf/mrn2であった 。また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は54%であった。The value of this spacer at 10% compressive strain was 450 kgf/mrn2. . Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 54%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は6.88±0.03μmの範囲であった。また、実施F!AI 1と同様 にして液晶セルに偏光ソートを貼付けた状態での濃度に色むらは見られず、点灯 状態での表示状態も良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 6.88±0.03 μm. Also, implementation F! Same as AI 1 There was no color unevenness in the density when the polarization sorting was pasted on the liquid crystal cell, and it turned on. The display condition was also good.

友監巴ユ テトラメチロールメタンテトラアクリレート50重量%及びジビニルベンゼン5 0重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径702μm、標準偏差0. 26μmのスペーサーを得た。Tomoe Superintendent Tomoe 50% by weight of tetramethylolmethanetetraacrylate and 5% of divinylbenzene After suspension polymerization of 0% by weight, the particles were classified to have an average particle size of 702 μm and a standard deviation of 0. A 26 μm spacer was obtained.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は390kgf/mm2であった。The value of this spacer at 10% compressive strain was 390 kgf/mm2.

また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は50%であった。Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 50%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は683±0.04μ爾の範囲であった。また、実施例1と同様にし゛で液 晶セルに偏光シートを貼付けた状態での濃度に色むらは見られず、点灯状態での 表示状態も良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 683±0.04μ. In addition, in the same manner as in Example 1, There was no color unevenness in the density when the polarizing sheet was attached to the crystal cell, and it was The display condition was also good.

及嵐丘エ テトラメチロールメタンテトラアクリレート25重量%及びジビニルベンゼン7 5重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.03μm、標準偏差0 .28μ眉のスペーサーを得た。Arashi Hill E 25% by weight of tetramethylolmethanetetraacrylate and 7% of divinylbenzene After suspension polymerization of 5% by weight, the average particle size was 7.03 μm and the standard deviation was 0 by classification. .. A 28μ eyebrow spacer was obtained.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は380kgf/m m 2であっ た。また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は45%であった。The value of this spacer at 10% compressive strain is 380 kgf/m m2. Ta. Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 45%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギャッ プ値は6.80±0.03μ閣の範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けた状態での濃度に色むらは見られず、点灯状態での 表示状態も良好であった。The gap of a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except that this spacer was used. The value was in the range of 6.80±0.03 μm. Also, in the same manner as in Example 1, There was no color unevenness in the density when the polarizing sheet was attached to the crystal cell, and it was The display condition was also good.

支意匠l ジビニルベンゼンを懸濁重合させた後、分級により平均粒子径705μm、標準 偏差0.29μmのスペーサーを得た。Support design l After suspension polymerization of divinylbenzene, the average particle size was 705 μm, standard by classification. A spacer with a deviation of 0.29 μm was obtained.

このスペーサーの圧縮歪lO%におけるに値は280kgr/m m 2であっ た。また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は35%であった。The value of this spacer at compressive strain 1O% is 280 kgr/m m2. Ta. Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 35%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は678±0.06μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶 セルに偏光シートを貼付けた状態でa度に色むらは見られず、点灯状態での表示 状態も良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 678±0.06 μm. Also, in the same manner as in Example 1, the liquid crystal With the polarizing sheet pasted on the cell, no color unevenness was observed, and the display was displayed when the cell was lit. It was in good condition.

よ木!Dユ ベンゾグアナミン重合体からなる平均粒子径6.98μm、標準偏差0.25μ mのスペーサーを用いた池は、実施例1と同様にして液晶表示素子を得た。Yo tree! D Yu Average particle size of benzoguanamine polymer: 6.98 μm, standard deviation: 0.25 μm A liquid crystal display element was obtained in the same manner as in Example 1 using a spacer of m.

使用したスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は600kgf/mm2であり 、またスペーサーの圧縮変形後の回復率は】3%であった。The value of the spacer used at 10% compressive strain is 600 kgf/mm2. , and the recovery rate of the spacer after compression deformation was 3%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギャッ プ値は692±0.07μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶 セルに偏光ソートを貼付けたところ、濃度に色むらが認められ、点灯状態での表 示状態は不充分であった。The gap of a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except that this spacer was used. The drop value was in the range of 692±0.07 μm. Also, in the same manner as in Example 1, the liquid crystal When I pasted polarized sorting on the cell, I noticed some color unevenness in the density, and the display with the lights on. The display conditions were insufficient.

比較例2 トリアリルイソンアヌレート30重量%及びジアリルフタレート70重量%を懸 濁重合させた後、分級により平均粒子径703μm 、 [幅偏差0.26μm のスペーサーを得た。Comparative example 2 Containing 30% by weight of triallylison annulate and 70% by weight of diallyl phthalate. After turbid polymerization, the average particle diameter was 703 μm, [width deviation 0.26 μm] by classification. I got a spacer.

このスペーサーの圧縮歪lO%におけるに値1t240 k gf/mm”であ った。また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は12%であった。The value of this spacer at compressive strain 1O% is 1t240k gf/mm”. It was. Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 12%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は6.89±0.03μ糟の範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けたところ、濃度に色むらが認められ、点灯状態での 表示状態も不充分であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 6.89±0.03 μm. Also, in the same manner as in Example 1, When a polarizing sheet was attached to the crystal cell, color unevenness was observed in the density, and it was difficult to see when the light was on. The display condition was also insufficient.

堤較五ユ ポリスチレンからなる平均粒子径6698μm5標準偏差025μmのスペーサ ーを用いた他は、実施例1と同様にして球状のスペーサーを得た。Tsutsumi comparison five Yu Spacer made of polystyrene with an average particle diameter of 6698 μm and a standard deviation of 025 μm. A spherical spacer was obtained in the same manner as in Example 1, except that a spherical spacer was used.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は105kgf/m m 2であっ た。またスペーサーの圧縮変形後の回復率は測定不能であった。The value of this spacer at 10% compressive strain is 105 kgf/m m2. Ta. Furthermore, the recovery rate of the spacer after compression deformation could not be measured.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は675±O,07μIの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶 セルに偏光シートを貼付けたところ、濃度に色むらが認められ、点灯状態での表 示状態は不充分であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The values were in the range of 675±O, 07μI. Also, in the same manner as in Example 1, the liquid crystal When a polarizing sheet was attached to the cell, color unevenness was observed in the density, and the display in the lit state The display conditions were inadequate.

匿Δ匹エ ベンゾグアナミン重合体からなる平均粒子径7.05μm、標準偏差0.25  l1mのスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして液晶表示素子を得た。Anonymous Δ Average particle diameter of benzoguanamine polymer: 7.05 μm, standard deviation: 0.25 A liquid crystal display element was obtained in the same manner as in Example 1 except that a 11 m spacer was used.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は620kg17mm2であり、ス ペーサーの圧縮変形後の回復率は13%であった。The value of this spacer at 10% compressive strain is 620 kg 17 mm2, and the spacer The recovery rate of the pacer after compression deformation was 13%.

このスペーサーを用いた池は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は688±0.05μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶 セルに偏光シートを貼付けたところ、濃度に色むらが認められ、点灯状態での表 示状態は不充分であった。The pond using this spacer was created in the same way as in Example 1. The value was in the range of 688±0.05 μm. Also, in the same manner as in Example 1, the liquid crystal When a polarizing sheet was attached to the cell, color unevenness was observed in the density, and the display in the lit state The display conditions were insufficient.

匿秋興旦 二酸化ケイ素からなる平均粒子径7.01μm5標準偏差019μmのスペーサ ーを用いた池は、実施例1と同様にして液晶表示素子を得た。Hakushu Xingdan Spacer made of silicon dioxide with an average particle diameter of 7.01 μm and a standard deviation of 019 μm. A liquid crystal display element was obtained in the same manner as in Example 1.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は5000kgf/mm2であり、 またスペーサーの圧縮変形後の回復率は85%であった。The value of this spacer at 10% compressive strain is 5000 kgf/mm2, The recovery rate of the spacer after compression deformation was 85%.

このスペーサーを用いた池は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は699±010μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶セ ルに偏光シートを貼付けたところ、濃度に色むらが認められ、点灯状態での表示 状態は不充分であった。The pond using this spacer was created in the same way as in Example 1. The value was in the range of 699±010 μm. In addition, a liquid crystal cell was prepared in the same manner as in Example 1. When a polarizing sheet was pasted on the light, color unevenness was observed in the density, and the display when the light was on. The condition was unsatisfactory.

支監五l テトラメチロールメタントリアクリレートを懸濁重合させた後、分級により平均 粒子径7,03μm、標準偏差0.27μmの樹脂微粒子を得た。この微粒子1 0g:こ濃硫酸100gを加え、55℃で6時間反応させた。Branch Superintendent Gol After suspension polymerization of tetramethylolmethane triacrylate, the average Resin fine particles with a particle diameter of 7.03 μm and a standard deviation of 0.27 μm were obtained. This fine particle 1 0g: 100g of this concentrated sulfuric acid was added and reacted at 55°C for 6 hours.

一方、塩基性染料力チロンブラノク5BH(保止ケ谷化学(株)製)6gを30 0m1の水に溶解I7、酢酸を加えてpH4に調製した染浴を得た。これに上記 酸処理微粒子を加え、95℃で6時間染色して黒色の球状スペーサーを得た。こ の球状スペーサーの平均粒子径は7.38μm、標準偏差は0゜29μmであっ た。On the other hand, 6 g of basic dye Chiron Buranok 5BH (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) was added to 30 I7 was dissolved in 0 ml of water and acetic acid was added to obtain a dye bath adjusted to pH 4. This above Acid-treated fine particles were added and dyed at 95° C. for 6 hours to obtain black spherical spacers. child The average particle diameter of the spherical spacer was 7.38 μm, and the standard deviation was 0°29 μm. Ta.

この着色スペーサーの圧縮歪10%におけるに値は520kgf/mm2であっ た。また、この着色スペーサーの反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復 率は55%であった。The value of this colored spacer at 10% compressive strain is 520 kgf/mm2. Ta. Also, the recovery after compressive deformation of this colored spacer when the reverse load value is 1grf. The rate was 55%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして液晶表示素子を得た。液晶 セルのギャップ値は6.98±0.03μ種の範囲であった。A liquid crystal display element was obtained in the same manner as in Example 1 except that this spacer was used. liquid crystal The cell gap values were in the range of 6.98±0.03μ species.

また、実施例1と同様にして液晶セルに偏光シートを貼付けたところ、この黄緑 色の濃度には全く濃度に色ムラが認めれなかった。このようにして作成した液晶 表示素子に電源を接続して点灯させた結果、充分な表示性能が得られた。In addition, when a polarizing sheet was attached to the liquid crystal cell in the same manner as in Example 1, the yellow-green color was No color unevenness was observed in the color density. LCD created in this way When the display element was connected to a power source and turned on, sufficient display performance was obtained.

友直鳳エ テトラメチロールメタンテトラアクリレート75!量%及びジビニルベンゼン2 5重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.05μm、標準偏差0 .25μmのスペーサーを得た。Tomonao Otori Tetramethylolmethanetetraacrylate 75! Amount% and divinylbenzene2 After suspension polymerization of 5% by weight, the average particle size was 7.05 μm and the standard deviation was 0 by classification. .. A 25 μm spacer was obtained.

このスペーサーを実施例6と同様に染色して、黒色の球状スペーサーを得た。こ の球状スペーサーの平均粒子径は7.04μm、標準偏差は0.27μmであっ た。この着色スペーサーの圧縮歪10%におけるに値は420 k gf/mm 2であった。This spacer was dyed in the same manner as in Example 6 to obtain a black spherical spacer. child The average particle diameter of the spherical spacer was 7.04 μm, and the standard deviation was 0.27 μm. Ta. The value of this colored spacer at 10% compressive strain is 420 k gf/mm It was 2.

また、圧縮変形後の回復率は51%であった。Moreover, the recovery rate after compression deformation was 51%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は7.22±0.03μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けた状態での背景色に色むらは全く見られず、点灯状 態での表示状態ら良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 7.22±0.03 μm. Also, in the same manner as in Example 1, There is no unevenness in the background color when the polarizing sheet is attached to the crystal cell, and the lighting condition is The display condition was also good.

支血匠盈 テトラメチロールメタンテトラアクリレ−hsofij1%及びジビニルベンゼ ン50重量%を懸濁重合させた後、分級(こより平均粒子径702μm、標準偏 差0.26μmのスペーサーを得た。このスペーサーを実施例6と同様1こ染色 して、黒色の球状スペーサーを得た。この球状スペーサーの平均粒子径は7.4 771m、、tm準偏差は0.28μmであった。Bloodline Takumi Ei Tetramethylolmethanetetraacryle-hsofij 1% and divinylbenze After suspension polymerization of 50% by weight of Spacers with a difference of 0.26 μm were obtained. This spacer was dyed once as in Example 6. A black spherical spacer was obtained. The average particle diameter of this spherical spacer is 7.4 771 m, tm standard deviation was 0.28 μm.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は370kgf/mm2であった。The value of this spacer at 10% compressive strain was 370 kgf/mm2.

また、スペーサーの圧縮変形後の回復率(よ47%であった。Furthermore, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 47%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は6.83±0.04μmの範囲であった1、また、実施例1と同様に1. て液晶セル(こ偏光シートを貼付けた状態での背景色に色むらは全く見られず、 点灯状態での表示状態も良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was 1, which was in the range of 6.83±0.04 μm, and 1. There is no unevenness in the background color of the liquid crystal cell (with the polarizing sheet attached). The display condition in the lit state was also good.

及皿匹且 テトラメチロールメタンテトラアクリレート25fi量%及びジビニルベンゼン 75重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.03μm1標準偏差 0.28μmのスペーサーを得た。このスペーサーを実施例6と同様に染色して 、黒色の球状スペーサーを得た。この球状スペーサーの平均粒子径は745μm 、標準偏差は0.30μmであった。A plateful of fish Tetramethylolmethane tetraacrylate 25fi amount% and divinylbenzene After suspension polymerization of 75% by weight, the average particle diameter was 7.03μm1 standard deviation by classification. A 0.28 μm spacer was obtained. This spacer was dyed in the same manner as in Example 6. , a black spherical spacer was obtained. The average particle diameter of this spherical spacer is 745 μm , the standard deviation was 0.30 μm.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は360kgf/mm2であった。The value of this spacer at 10% compressive strain was 360 kgf/mm2.

また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は45%であった。Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 45%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は680±0.03μIの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶 セルに偏光シートを貼付けた状態での背景色に色むらは全く見られず、点灯状態 での表示状態も良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The values were in the range of 680±0.03μI. Also, in the same manner as in Example 1, the liquid crystal There is no unevenness in the background color when the polarizing sheet is attached to the cell, and it is lit. The display condition was also good.

11匠上立 ジビニルベンゼンを懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.05μm、t *jli偏差0.29μmのスペーサーを得た。11th master craftsmanship After suspension polymerization of divinylbenzene, the average particle size was 7.05 μm, t by classification. *A spacer with a jli deviation of 0.29 μm was obtained.

このスペーサーを実施例6と同様に染色して、黒色の球状スペーサーを得た。こ の球状スペーサーの平均粒子径は7.40μm、標準偏差は0.30μmであっ た。This spacer was dyed in the same manner as in Example 6 to obtain a black spherical spacer. child The average particle diameter of the spherical spacer was 7.40 μm, and the standard deviation was 0.30 μm. Ta.

このスペーサーの圧縮歪10%におけるに値は270kgf/mm2であった。The value of this spacer at 10% compressive strain was 270 kgf/mm2.

また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は40%であった。Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 40%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は7.12±0.05μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けた状態で背景色に色むらは全く見られず、点灯状態 での表示状態も良好であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 7.12±0.05 μm. Also, in the same manner as in Example 1, With the polarizing sheet attached to the crystal cell, there is no unevenness in the background color, and the light is on. The display condition was also good.

埼Δ匠エ ベンゾグアナミン重合体からなる平均粒子径6.98μm、標準偏差025μ糟 のスペーサーを、酸性染料で赤色に染色して着色スペーサーを得た。この着色ス ペーサーの平均粒子径は7.01μm1標準偏差027μmであった。Saitaku Takumi Average particle size of benzoguanamine polymer: 6.98 μm, standard deviation: 025 μm The spacer was dyed red with an acid dye to obtain a colored spacer. This coloring strip The average particle size of the pacer was 7.01 μm with a standard deviation of 027 μm.

このスペーサーの圧縮歪lO%におけるに値は580kgf/mm2であった。The value of this spacer at compressive strain lO% was 580 kgf/mm2.

また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は11%であった。Further, the recovery rate of the spacer after compression deformation was 11%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成12だ液晶セルのギヤ ノブ値は6.96±0.08μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして 液晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に色むらが認められ、点灯状態 での表示状態は不充分であった。A gear for a liquid crystal cell was prepared in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. Knob values ranged from 6.96±0.08 μm. Also, in the same manner as in Example 1, When a polarizing sheet was pasted on the liquid crystal cell, color unevenness was observed in the background color, and the lighting state The display condition was insufficient.

比較例7 トリアリルイソノアスレート30重量%及びジアリルフタレート70重1%を懸 濁重合させた後、分級により平均粒子径703μva、yAe偏差026μmの スペーサーを得た。Comparative example 7 Suspending 30% by weight of triallylisonoaslate and 1% by weight of 70% diallylphthalate. After turbid polymerization, the average particle size was 703 μva and the yAe deviation was 026 μm by classification. Got a spacer.

このスペーサーを実施例6と同様に染色して、赤色の球状スペーサーを得た。こ の球状スペーサーの平均粒子径は7.38Jim、標準偏差は027μ彌であっ た。This spacer was dyed in the same manner as in Example 6 to obtain a red spherical spacer. child The average particle diameter of the spherical spacer was 7.38 Jim, and the standard deviation was 027 μm. Ta.

このスペーサーの圧縮歪lO%におけるに値は220kg特表十〇−50318 0(12) f / m m 2であった。また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は12% であった。The value of this spacer at compressive strain 1O% is 220kg Special Table 10-50318 0 (12) It was f / m m2. In addition, the recovery rate after compressive deformation of the spacer is 12%. Met.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は7.23±0.04μ讃の範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に色むらが認められ、点灯状態で の表示状態も不充分であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 7.23±0.04μ. Also, in the same manner as in Example 1, When a polarizing sheet was pasted on the crystal cell, color unevenness was observed in the background color, and when the light was on, The display condition was also insufficient.

匿蝮鳳旦 ポリスチレンからなる平均粒子径6.98μm、標準偏差025μmのスペーサ ーを用いた他は、実施例6と同様に染色して黒色の球状スペーサーを得た。この 着色スペーサーの平均粒子径は7.47μ慣、標準偏差は029μ重であった。Anonymous Phoenix Spacer made of polystyrene with an average particle diameter of 6.98 μm and a standard deviation of 025 μm. A black spherical spacer was obtained by dyeing in the same manner as in Example 6, except that a black spherical spacer was used. this The average particle diameter of the colored spacer was 7.47 μm, and the standard deviation was 0.29 μm.

この着色スペーサーの圧縮歪10%におけるに値は100kgf/mm2であっ た。スペーサーの圧縮変形後の回復率は測定不能であった。The value of this colored spacer at 10% compressive strain is 100 kgf/mm2. Ta. The recovery rate of the spacer after compressive deformation could not be measured.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は6.75±0.07μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に色むらが認められ、点灯状態で の表示状態は不充分であった。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 6.75±0.07 μm. Also, in the same manner as in Example 1, When a polarizing sheet was pasted on the crystal cell, color unevenness was observed in the background color, and when the light was on, The display condition was insufficient.

匿暫匠l ベンゾグアナミン重合体からなる平均粒子径7.05μ重、tfil偏差0.2 5μmのスペーサーを用いた他は、比較例6と同様に染色して、赤色の球状スペ ーサーを得た。この球状スペーサーの平均粒子径は708μm1標準偏差は0. 27μmであった。この着色スペーサーの圧縮歪10%におけるに値は605  k gf/mm2てあり、着色スペーサーの圧縮変形後の回復率はti%であっ た。Hidden temporary craftsman Made of benzoguanamine polymer, average particle diameter 7.05μ, Tfil deviation 0.2 A red spherical spacer was dyed in the same manner as in Comparative Example 6 except that a 5 μm spacer was used. I got a sir. The average particle diameter of this spherical spacer is 708 μm and the standard deviation is 0. It was 27 μm. The value of this colored spacer at 10% compressive strain is 605 k gf/mm2, and the recovery rate after compression deformation of the colored spacer is ti%. Ta.

このスペーサーを用いた池は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は6.91±0.08μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液 晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に色むらが認められ、点灯状態で の表示状態は不充分であった。The pond using this spacer was created in the same way as in Example 1. The value was in the range of 6.91±0.08 μm. Also, in the same manner as in Example 1, When a polarizing sheet was pasted on the crystal cell, color unevenness was observed in the background color, and when the light was on, The display condition was insufficient.

よ蟇をローに 酸化ケイ素からなる平均粒子径701μm、標準偏差019μmのスペーサーを 塩基性染料で染色して青色の球状スペーサーを得た。この着色スペーサーの平均 粒子径は7.04μm、tf1m偏差は021μmであった。この着色スペーサ ーの圧縮歪10%におけるに値は5000 k gf/mm2であり、またスペ ーサーの圧縮変形後の回復率は85%であった。Let the toad be low A spacer made of silicon oxide with an average particle diameter of 701 μm and a standard deviation of 019 μm. A blue spherical spacer was obtained by staining with a basic dye. This colored spacer average The particle diameter was 7.04 μm, and the tf1m deviation was 021 μm. This colored spacer The value at 10% compressive strain is 5000 k gf/mm2, and the The recovery rate after compression deformation of the cer was 85%.

このスペーサーを用いた他は、実施例1と同様にして作成した液晶セルのギヤノ ブ値は7.00±010μmの範囲であった。また、実施例1と同様にして液晶 セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に色むらが認められ、点灯状態での 表示状態は不充分であ−】た。A gear valve for a liquid crystal cell made in the same manner as in Example 1 except for using this spacer. The value was in the range of 7.00±010 μm. Also, in the same manner as in Example 1, the liquid crystal When a polarizing sheet was pasted on the cell, uneven color was observed in the background color, and it was difficult to see when the cell was lit. The display condition was inadequate.

支監丘工エ テトラメチロールメタンテトラアクリレ−1−75Ii量%及びジビニルベンゼ ン25重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径10.00μm、標準 偏差0.40μmの微粒子を得た。Branch Hill Works Tetramethylolmethanetetraacryle-1-75Ii amount% and divinylbenze After suspension polymerization of 25% by weight of Fine particles with a deviation of 0.40 μm were obtained.

このスペーサー10gに対して、テトラプロポキンチタン(日本曹達(株)製、 商品名A−1)0.]、5gを15mlのn−へ牛サンに溶解させた溶液を加え 、スパチュラにて良く混合した後、n−ヘキサンを蒸発させた。次いで、この混 合物を乳鉢にて十分に練り潰し、塊をなくした。For 10 g of this spacer, tetrapropoquine titanium (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), Product name A-1) 0. ], add a solution of 5 g dissolved in beef sun to 15 ml of n- After mixing well with a spatula, n-hexane was evaporated. Then this mixture The mixture was thoroughly kneaded in a mortar to eliminate lumps.

一方、ホットメルト型接着製樹脂として、ポリエチレンワックス(三洋化成工業 (株)製、商品名サンワックス151−P)2.6gをトルエン中に加え、80 °C温浴中で溶解させた。この溶液に、上記有機チタン化合物で処理した上記樹 脂微粒子を加え、完全に乳状になるまで分散させた後、90°C130C13O 0減圧下で加熱乾燥させた。On the other hand, polyethylene wax (Sanyo Chemical Industries, Ltd.) is used as a hot-melt adhesive resin. Co., Ltd., product name Sunwax 151-P) was added to toluene, and 80 Dissolved in a °C warm bath. The above tree treated with the above organic titanium compound is added to this solution. Add fine fat particles and disperse until completely milky, then heat at 90°C130C13O It was dried by heating under 0 reduced pressure.

このようにして樹脂微粒子をホットメルト型接着性樹脂により被覆したものが塊 と17で得られた。次に、この塊にグリセリン20m1を加え、乳鉢中で十分に 塊を練り潰1−1さらに3本ロールに通して塊を完全に分解した。In this way, resin particles coated with hot-melt adhesive resin form a mass. and 17. Next, add 20ml of glycerin to this mass and thoroughly mix it in a mortar. The mass was kneaded 1-1 and passed through three more rolls to completely break up the mass.

次に、この分解された塊を1リツトルのエタノールを用いてガラスフィルタ上で 洗浄した後、エタノール/フレオン113混合溶液(容積比で2対1)に懸濁さ せた。次に、この混合物を15時間静置し、上澄みをデカンチーシコンすること により、ポリエチレンワックスの微細片を取り除いた。残った塊を再びガラスフ ィルターで濾過した後、フレオン113にて洗浄した。これを60℃にてギヤオ ーブン中で乾燥させることにより、被覆樹脂微粒子を得た。Next, this decomposed mass was filtered onto a glass filter using 1 liter of ethanol. After washing, it was suspended in an ethanol/Freon 113 mixed solution (2:1 by volume). I set it. Next, this mixture was allowed to stand for 15 hours, and the supernatant was decanted. Microscopic pieces of polyethylene wax were removed. Put the remaining lumps back into the glass. After filtering with a filter, it was washed with Freon 113. Heat this at 60℃. By drying in an oven, coated resin fine particles were obtained.

この被覆樹脂微粒子の平均粒子径は10.32μm、標準偏差は0843μmで あった。この結果より、ポリエチレンワックスは平均0.16μmの厚みで樹脂 微粒子の表面に形成されていることがわかった。また走査型電子顕微鏡により被 覆樹脂微粒子の表面を観察した結果、樹脂微粒子の表面には隙間なくポリエチレ ンワックスが均一に被覆されていることがわかった。The average particle diameter of the coated resin fine particles was 10.32 μm, and the standard deviation was 0843 μm. there were. From this result, polyethylene wax has an average thickness of 0.16 μm and resin It was found that it was formed on the surface of fine particles. Also, it has been exposed to scanning electron microscopes. As a result of observing the surface of the resin-coated fine particles, it was found that the surface of the resin fine particles was coated with polyethylene without any gaps. It was found that the wax was evenly coated.

この被覆樹脂微粒子の圧縮歪10%におけるに値は450kgf、’mm2であ り、またこの微粒子の反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は63% であった。The value of the coated resin fine particles at 10% compressive strain is 450 kgf, ’mm2. Furthermore, the recovery rate after compressive deformation of this fine particle when the reversal load value is 1 grf is 63%. Met.

この被覆樹脂微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例1と同様にして液晶 表示素子を得た。液晶セルのギャップ値は9.95±0.03μmの範囲であっ た。The liquid crystal display was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coated resin fine particles were used as spacers. A display element was obtained. The gap value of the liquid crystal cell was in the range of 9.95±0.03 μm. Ta.

また、実施例1と同様にして液晶セルに偏光シートを貼付けたところ、この黄緑 色の背景色には全く色ムラが認めれなかった。このようにして作成した液晶表示 素子に電源を接続して点灯させた結果、良好な表示性能が得られた大1目i上」 ニ ジビニルベンゼンを懸濁重合させた後、分級により平均粒子径9.90μm、標 準偏差0.36μmの微粒子を得た。この微粒子10gに対して、テトラプロポ キシチタン(日本曹達(株)製、商品名A−1)0.15gを15m1のn−ヘ キサンに溶解させた溶液を加え、スパチュラにて良く混合した後、n−へキサン を蒸発させた。次いで、この混合物を乳鉢にて十分に練り潰し、塊をなくした。In addition, when a polarizing sheet was attached to the liquid crystal cell in the same manner as in Example 1, the yellow-green color was No color unevenness was observed in the background color. LCD display created in this way As a result of connecting a power source to the element and lighting it up, good display performance was obtained.'' D After suspension polymerization of divinylbenzene, it was classified to have an average particle size of 9.90 μm and a standard Fine particles with a standard deviation of 0.36 μm were obtained. For 10 g of these fine particles, tetrapropyl 0.15 g of oxytitanium (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., trade name A-1) was added to 15 ml of n- Add the solution dissolved in xane and mix well with a spatula, then add n-hexane. was evaporated. Next, this mixture was thoroughly kneaded in a mortar to eliminate lumps.

一方、エポキシ当量が480、軟化点が68℃の固形エポキシ樹脂(油化ンエル エポキシ(株)製、商品名エピコートtool)2gをアセトン40m1中に加 え溶解させた後、水6ml、上記微粒子10g、および硬化剤として、2−エチ ル−4−メチルイミダゾール2E4M2 0.4gを添加し十分混合した後、攪 拌しながらアセトンを蒸発させた。それから、乾燥物を乳鉢で捻り潰し、塊を完 全に分解した。On the other hand, a solid epoxy resin with an epoxy equivalent of 480 and a softening point of 68°C Add 2g of Epoxy Co., Ltd. (trade name: Epicoat tool) to 40ml of acetone. After dissolving in water, 6 ml of water, 10 g of the above fine particles, and 2-ethyl as a hardening agent. After adding 0.4 g of Ru-4-methylimidazole 2E4M2 and mixing thoroughly, stir Acetone was evaporated while stirring. Then, mash the dried material in a mortar to break up the lumps. Completely disassembled.

このようにして得られた被覆樹脂微粒子の平均粒子径は10.32μm、標準偏 差は0.46μmであった。この結果より、接着性エポキシ樹脂層の厚みは0. 21μ■と計算された。また走査型電子顕微鏡によりこの被覆樹脂微粒子の表面 を観察した結果、樹脂微粒子の表面には隙間なくエポキシ樹脂層が均一に被覆さ れていることがわかった。The average particle diameter of the coated resin fine particles thus obtained was 10.32 μm, with a standard deviation of The difference was 0.46 μm. From this result, the thickness of the adhesive epoxy resin layer is 0. It was calculated to be 21μ■. The surface of the coated resin particles was also examined using a scanning electron microscope. As a result of observation, it was found that the surface of the resin particles was coated uniformly with an epoxy resin layer without any gaps. It was found that

この被覆樹脂微粒子の圧縮歪10%におけるに値は420kgf/mm2であり 、また、この微粒子の反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は52% であった。The value of the coated resin fine particles at 10% compressive strain is 420 kgf/mm2. , and the recovery rate after compressive deformation of this fine particle when the reversal load value is 1 grf is 52%. Met.

この被覆樹脂微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例1と同様にして液晶 表示素子を得た。液晶セルのギヤノブ値は9.83±0.03μmの範囲であっ た。The liquid crystal display was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coated resin fine particles were used as spacers. A display element was obtained. The gear knob value of the liquid crystal cell was in the range of 9.83 ± 0.03 μm. Ta.

また、実施例1と同様にして液晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に 色ムラが認めれなかった。このようにして作成した液晶表示素子に電源を接続し て点灯させた結果、良好な表示性能が得られた。In addition, when a polarizing sheet was attached to the liquid crystal cell in the same manner as in Example 1, the background color changed. No color unevenness was observed. Connect the power supply to the liquid crystal display element created in this way. As a result, good display performance was obtained.

±J ケイ酸ガラスからなる平均粒子径7.30μm、標準偏差032I1mの無機微 粒子を得た。この無機微粒子10gに対して、テトラプロポキノチタン(日本曹 達(株)製、商品名B−1)0.35gを15m1のn−ヘキサンに溶解させた 溶液を加え、スパチュラにて良く混合した後、n−へ牛サンを蒸発させた。次い で、このものを乳鉢にて十分に練り潰し、塊をなくLJ二。±J Inorganic fine particles made of silicate glass with an average particle diameter of 7.30μm and a standard deviation of 032I1m. Particles were obtained. For 10 g of these inorganic fine particles, tetrapropoquinotitanium (Japanese soda) 0.35g of B-1 (manufactured by Tatsu Co., Ltd., trade name) was dissolved in 15ml of n-hexane. After adding the solution and mixing well with a spatula, the n-beef san was evaporated. next Then, thoroughly knead this mixture in a mortar to remove any lumps.

一方、ホ、!1−メルト型接着性樹脂として、カルボキシi含宵エチ1/ンー酢 酸ビニル共重合体(我国薬品工業(株)製、商品名デュラミンC−2280)2 .9gを用いた。On the other hand, ho! 1-As a melt-type adhesive resin, carboxylic acid-containing 1/-vinegar Acid vinyl copolymer (manufactured by Gakoku Yakuhin Kogyo Co., Ltd., trade name Duramin C-2280) 2 .. 9g was used.

上記し、た以外は、実施例11と同様にして被覆無機微粒子を得た。走査型電子 顕微鏡により被覆樹脂微粒子の表面を観察した結果、被覆無機微粒子上に形成さ れたホットメルト型接骨材層の厚みは0.43μmであることがわかった。Coated inorganic fine particles were obtained in the same manner as in Example 11 except as described above. scanning electronic As a result of observing the surface of the coated resin fine particles using a microscope, it was found that the particles formed on the coated inorganic fine particles It was found that the thickness of the hot melt type aggregate layer was 0.43 μm.

この被覆無機微粒子の圧縮歪io%におけるに値は5500 k g f 、y ”’m m2であり、また、この微粒子の反転荷重値1grrの場合の圧縮変形 後の回復率は85%であった。The value of the compressive strain io% of this coated inorganic fine particle is 5500 k g f, y ”’m m2, and the compressive deformation of this fine particle when the reversal load value is 1grr. The subsequent recovery rate was 85%.

、−の被覆樹脂微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例1と同様にして液 晶表示素子を得た。The liquid was prepared in the same manner as in Example 1, except that coated resin fine particles of , - were used as spacers. A crystal display element was obtained.

液晶セルのギヤ、ブ値は7.25±003μmの範囲であった。The gear value of the liquid crystal cell was in the range of 7.25±003 μm.

また、実施例1と同様にして液晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に 色むらが認められ、点灯状態での表示状態は不充分であった。In addition, when a polarizing sheet was attached to the liquid crystal cell in the same manner as in Example 1, the background color changed. Color unevenness was observed, and the display condition in the lit state was insufficient.

塩蚊匠上主 固体粒子として、ケイ酸ガラスからなる平均粒子径730μm、標準偏差0.3 2μmの無機微粒子を得た。この無機微粒子logに対して、テトラプロポキン チタン(日本曹達(株)製、商品名B−1)0.35gを15m1のil−ヘキ サンに溶解させた溶液を加え、スパチュラにて良く混合した後、n−へ牛サンを 蒸発させた。次いで、このものを乳鉢にて1−分に練り潰し、塊をなくした。Salt Mosquito Master Solid particles are made of silicate glass with an average particle diameter of 730 μm and a standard deviation of 0.3. Inorganic fine particles of 2 μm were obtained. For this inorganic fine particle log, tetrapropoquine 0.35 g of titanium (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., trade name B-1) was added to 15 ml of il-hexane. Add the solution dissolved in San and mix well with a spatula, then add beef San to n-. Evaporated. Next, this material was kneaded in a mortar for 1 minute to eliminate lumps.

一方、硬化剤として、ジシアンジアミド(油化シェルエポキシ(株)、商品名D ICY−7) 0. 2 g及び2−フェニルイミダゾール−4,5−ジイルジ メタツール(四国化成工業(株)製、商品名2PHz)0.2gを用いた。On the other hand, as a curing agent, dicyandiamide (Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., trade name D ICY-7) 0. 2 g and 2-phenylimidazole-4,5-diyldi 0.2 g of Metatool (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name 2PHZ) was used.

上記した以外は、実施例12と同様にして被覆無機微粒子を得た。走査型電子顕 微鏡により被3樹脂微粒子の表面を観察した結果、被覆無機微粒子上に形成され た接着製エポキシ樹脂層の厚みは0.41μmであることがわかった。Coated inorganic fine particles were obtained in the same manner as in Example 12 except for the above. scanning electron microscope As a result of observing the surface of the coated resin fine particles using a microscope, it was found that they were formed on the coated inorganic fine particles. The thickness of the adhesive epoxy resin layer was found to be 0.41 μm.

この被覆無機微粒子の圧縮歪10%におけるに値は5300kgf/mm2であ り、また、この微粒子の反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は87 %であった。The value of the coated inorganic fine particles at 10% compressive strain is 5300 kgf/mm2. Moreover, the recovery rate after compressive deformation of this fine particle when the reversal load value is 1 grf is 87. %Met.

この被覆樹脂微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例1と同様にして液晶 表示素子を得た。液晶セルのギヤ、ブ値は7.23±003μmの範囲であった 。The liquid crystal display was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coated resin fine particles were used as spacers. A display element was obtained. The gear value of the liquid crystal cell was in the range of 7.23 ± 003 μm. .

また、実施例1と同様にして液晶セルに偏光シートを貼付けたところ、背景色に 色むらが認められ、点灯状態での表示状態は不充分であった。In addition, when a polarizing sheet was attached to the liquid crystal cell in the same manner as in Example 1, the background color changed. Color unevenness was observed, and the display condition in the lit state was insufficient.

支監丘上主 テトラメチロールメタンテトラアクリレートを懸濁重合させた後、分級により平 均粒子径6.98μm、標準偏差0.23μ糟の微粒子を得た。この微粒子の圧 縮歪lO%におけるに値は633kgf/mm2であり、反転荷重値1grfの 場合の圧縮変形後の回復率は63%であった。Branch Chief Okaue After suspension polymerization of tetramethylolmethanetetraacrylate, it is flattened by classification. Fine particles with an average particle diameter of 6.98 μm and a standard deviation of 0.23 μm were obtained. The pressure of this particulate The value at shrinkage strain lO% is 633 kgf/mm2, and the reversal load value is 1 grf. The recovery rate after compression deformation in this case was 63%.

この樹脂微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、全置換反応により二、ケル ー金メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したと ころ、金含有率は28.0重量%、ニッケル含有率は23.8重量%であった。After performing electroless nickel plating on these resin particles, a total substitution reaction - Conductive fine particles on which a gold plating layer was formed were obtained. When we analyzed these conductive particles, The gold content was 28.0% by weight, and the nickel content was 23.8% by weight.

また、平均粒子径は7.24μm、標準偏差0.28μ■であった。Moreover, the average particle diameter was 7.24 μm, and the standard deviation was 0.28 μm.

この導電性微粒子1g及びガラスファイバー(直径5.5μ瑠、平均長さ27. 5μm)0.5gを、エポキシ樹脂(吉川化工製、SE−4500)75g及び その硬化剤25gに混ぜ合わせてペーストを作成1.た。次に、図6に示すよう に、[TO膜が内面に形成されたガラス電極12上に、上記ペースト13を所定 厚みで塗布した後、別のITO1!極14を重ね合わせた。次に、この積層体を プレス機に挟み、35kg/′Cm 2の圧力、160°Cの温度で30分間加 熱圧着した。1 g of these conductive fine particles and glass fiber (diameter 5.5 μm, average length 27 mm). 5 μm), 75 g of epoxy resin (manufactured by Yoshikawa Kako, SE-4500) and Mix it with 25g of hardening agent to make a paste 1. Ta. Next, as shown in Figure 6 [The above paste 13 is applied in a prescribed manner on the glass electrode 12 on which the TO film is formed on the inner surface.] After applying it in thickness, another ITO1! The poles 14 were superimposed. Next, this laminate is Place it in a press and heat it for 30 minutes at a pressure of 35 kg/'Cm2 and a temperature of 160°C. It was heat-pressed.

このようにして作製した試験片Cを、高温側が90°C11時間、低温側が一4 0’C,1時間で作動する熱衝撃試験器(タバイエスペック(株)製TSV−4 0型)にセットして、240サイクルまで試験した。The test piece C thus prepared was heated at 90°C for 11 hours on the high temperature side and for 14 hours on the low temperature side. Thermal shock tester (TSV-4 manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.) operates at 0'C for 1 hour. 0 type) and tested up to 240 cycles.

また、上記と同様にして作成した別の試験片を、80 ’C・90%RHの条件 で作動する恒温恒湿器(タバイエスペック(株)、PR−3F型)に入れ、50 0時間試験した。この冷熱衝撃試験の前後と、耐湿試験前後における該2枚の電 極間の接触抵抗値を、四端子法により測定したところ、表1に示す結果が得られ た。この結果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れているこ とがわかった。In addition, another test piece prepared in the same manner as above was tested under the conditions of 80'C and 90% RH. Place it in a constant temperature and humidity chamber (Tabai Espec Co., Ltd., model PR-3F) operated at 50 Tested for 0 hours. The two sheets were tested before and after this thermal shock test and before and after the humidity test. When the contact resistance between the electrodes was measured using the four-terminal method, the results shown in Table 1 were obtained. Ta. These results show that the connection reliability of these conductive particles is extremely high. I found out.

支五匠上土 テトラメチロールメタンテトラアクリレート751111%及びジビニルベンゼ ン25重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7,05μm、標準偏 差0.25μ墓の微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は52 7kgf/mm”であり、反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は5 5%であった。Shigosho Jodo Tetramethylolmethane tetraacrylate 751111% and divinylbenze After suspension polymerization of 25% by weight, the particles were classified to have an average particle size of 7.05 μm, standard deviation. Fine particles with a difference of 0.25μ were obtained. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 52 7kgf/mm", and the recovery rate after compressive deformation when the reverse load value is 1grf is 5. It was 5%.

この樹脂微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、全置換反応によりニッケル ー金メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したと ころ、金含有率は29.1重量%、ニッケル含有率は23.4重量%であった。After performing electroless nickel plating on these resin particles, nickel is removed by a total substitution reaction. - Conductive fine particles on which a gold plating layer was formed were obtained. When we analyzed these conductive particles, The gold content was 29.1% by weight, and the nickel content was 23.4% by weight.

また、平均粒子径は7.29μ11標準偏差0.29μ論であった。Further, the average particle diameter was 7.29μ11 with a standard deviation of 0.29μ.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例13と同様にして試験片を得、この試 験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果が得られた。この結 果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわかっ た。A test piece was obtained in the same manner as in Example 13 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 1 were obtained. This conclusion The results showed that the connection reliability using these conductive particles was extremely high. Ta.

爽惣」LLl テトラメチロールメタンテトラアクリレート50fi1%及びジビニルベンゼン 50重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7,01μm、標準偏差 0.25μmの微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は468 kgf、・mm2であり、反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は5 2%であった。Soso” LLl Tetramethylolmethane tetraacrylate 50fi1% and divinylbenzene After suspension polymerization of 50% by weight, the average particle diameter was 7.01 μm, standard deviation by classification. Fine particles of 0.25 μm were obtained. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 468 kgf, mm2, and the recovery rate after compressive deformation when the reverse load value is 1 grf is 5 It was 2%.

この樹脂微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、全置換反応ニよりニッケル ー金メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したと ころ、金含有率は30.5重量%、ニッケル含有率は19.5重量%であった。After performing electroless nickel plating on these resin particles, nickel is removed by total substitution reaction. - Conductive fine particles on which a gold plating layer was formed were obtained. When we analyzed these conductive particles, The gold content was 30.5% by weight, and the nickel content was 19.5% by weight.

また、平均粒子径は7.25μm、標準偏差0.29μmであった。Moreover, the average particle diameter was 7.25 μm, and the standard deviation was 0.29 μm.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例13と同様にして試験片を得、この試 験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果か得られた。この結 果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわかっ た。A test piece was obtained in the same manner as in Example 13 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 1 were obtained. This conclusion The results showed that the connection reliability using these conductive particles was extremely high. Ta.

友] テトラメチロールメタンテトラアクリレート25を量%及びジビニルベンゼン7 5重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.03μm、標準偏差0 .28μ■の微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は448k gf/mrn2であり、反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は52 %であった。friend] Tetramethylolmethanetetraacrylate 25% by weight and divinylbenzene 7% After suspension polymerization of 5% by weight, the average particle size was 7.03 μm and the standard deviation was 0 by classification. .. Fine particles of 28 μι were obtained. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 448k gf/mrn2, and the recovery rate after compressive deformation when the reverse load value is 1grf is 52 %Met.

この樹脂微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、全置換反応によりニッケル ー金メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したと ころ、金含有率は27.6重量%、ニッケル含有率は24.3重量%であった。After performing electroless nickel plating on these resin particles, nickel is removed by a total substitution reaction. - Conductive fine particles on which a gold plating layer was formed were obtained. When we analyzed these conductive particles, The gold content was 27.6% by weight, and the nickel content was 24.3% by weight.

また、平均粒子径は7.27μm1標準偏差0.29μmであった。Further, the average particle diameter was 7.27 μm with a standard deviation of 0.29 μm.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例13と同様にして試験片を得、この試 験片について、信頼性試験を行ったとごろ、表1に示す結果が得られた。この結 果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわかっ た。A test piece was obtained in the same manner as in Example 13 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 1 were obtained. This conclusion The results showed that the connection reliability using these conductive particles was extremely high. Ta.

大1ヱLLL ジビニルベンゼンを懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.05μm、標 準偏差0.29μmの微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪lO%におけるに値は 330kgf/mm2であり、反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率 は38%であった。Dai 1ヱLLL After suspension polymerization of divinylbenzene, it was classified to have an average particle size of 7.05 μm and a standard particle size of 7.05 μm. Fine particles with a standard deviation of 0.29 μm were obtained. The value of this fine particle at compressive strain lO% is Recovery rate after compressive deformation at 330 kgf/mm2 and reverse load value 1 grf was 38%.

この樹脂微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、全置換反応によりニッケル ー金メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したと ころ、金含有率は25.6重量%、ニッケル含有率は18.3重量%であった。After performing electroless nickel plating on these resin particles, nickel is removed by a total substitution reaction. - Conductive fine particles on which a gold plating layer was formed were obtained. When we analyzed these conductive particles, The gold content was 25.6% by weight, and the nickel content was 18.3% by weight.

また、平均粒子径は7.30μm、標準偏差0.32μmであった。Moreover, the average particle diameter was 7.30 μm, and the standard deviation was 0.32 μm.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例13と同様にして試験片を(辱、この 試験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果が得られた。この 結果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわか った。A test piece was prepared in the same manner as in Example 13 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 1 were obtained. this The results show that the connection reliability of these conductive particles is extremely high. It was.

よ木ヱ[Ll ベン/グアナミン重合体からなる平均粒子径6.98μm、標準偏差025μm のスペーサーに無電解ニッケルメッキを行った後、金置換反応によりニッケルー 金メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したとこ ろ、金含有率は30,4重量%、ニッケル含有率は19.6重1%であった。ま た、平均粒子径は7.23μm、標準偏差027μmであった。この導電性微粒 子の圧縮歪10%におけるに値は690 k g f/mrn2であり、圧縮変 形後の回復率は12%であった。Yokie [Ll Average particle size of ben/guanamine polymer: 6.98 μm, standard deviation: 025 μm After electroless nickel plating on the spacer, nickel is removed by gold substitution reaction. Conductive fine particles on which a gold plating layer was formed were obtained. When we analyzed these conductive particles, The gold content was 30.4% by weight, and the nickel content was 19.6% by weight. Ma In addition, the average particle diameter was 7.23 μm, and the standard deviation was 027 μm. This conductive fine particle The value at 10% compression strain of the child is 690 k g f / mrn2, and the compression strain The recovery rate after molding was 12%.

この導電性微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例13と同様にして試験 片を得、この試験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果が得 られた。この結果から、この導電性微粒子による接続信頼性は不良であることが わかった。The test was carried out in the same manner as in Example 13, except that the conductive fine particles were used as a spacer. A reliability test was conducted on this test piece, and the results shown in Table 1 were obtained. It was done. From this result, it can be concluded that the connection reliability due to these conductive particles is poor. Understood.

よuLL± トリアリルイソシアヌレート3o重璽%及びジアリルフタレート70重量%を懸 濁重合させた後、分級により平均粒子径700μl、標準偏差0.28μmの微 粒子を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は245 k g f/r nm”であり、また、スペーサーの圧縮変形後の回復率は12%であった。YouLL± 30% by weight of triallyl isocyanurate and 70% by weight of diallyl phthalate were added. After turbid polymerization, fine particles with an average particle size of 700 μl and a standard deviation of 0.28 μm were obtained by classification. Particles were obtained. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 245 k g f/r nm", and the recovery rate of the spacer after compression deformation was 12%.

この微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、金置換反応によりニッケルー金 メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したところ 、金含有率は29゜3重量%、ニッケル含有率は20.9重量%であった。また 、平均粒子径は7.23μm、標準偏差0.30μmであった。After electroless nickel plating is applied to these fine particles, nickel-gold is formed by a gold substitution reaction. Conductive fine particles on which a plating layer was formed were obtained. Analysis of these conductive particles The gold content was 29.3% by weight, and the nickel content was 20.9% by weight. Also The average particle diameter was 7.23 μm, and the standard deviation was 0.30 μm.

この導電性微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例13と同様にして試験 片を得、この試験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果が得 られた。この結果から、この導電性微粒子による接続信頼性は不良であることポ リスチレンからなる平均粒子径6.98μm、標準偏差027μmの微粒子に無 電解ニッケルメッキを行った後、金置換反応によりニッケルー金メッキ層が形成 された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したところ、金含有率は3 2.2重量%、ニッケル含有率は18.3重量%であった。The test was carried out in the same manner as in Example 13, except that the conductive fine particles were used as a spacer. A reliability test was conducted on this test piece, and the results shown in Table 1 were obtained. It was done. This result indicates that the connection reliability due to these conductive particles is poor. There was no difference in fine particles made of listyrene with an average particle diameter of 6.98 μm and a standard deviation of 027 μm. After electrolytic nickel plating, a nickel-gold plating layer is formed by a gold substitution reaction. conductive fine particles were obtained. When this conductive fine particle was analyzed, the gold content was found to be 3. The nickel content was 2.2% by weight, and the nickel content was 18.3% by weight.

また、平均粒子径は7.23μm、標準偏差0.29μmであった。この導電性 微粒子の圧縮歪10%におけるに値は116 k g f/mm2であり、圧縮 変形後の回復率は測定不能であった。Moreover, the average particle diameter was 7.23 μm, and the standard deviation was 0.29 μm. This conductivity The value of fine particles at 10% compression strain is 116 kg f/mm2, and the compression The recovery rate after deformation was not measurable.

この導電性微粒子を不ペーサ−として用いた他は、実施例13と同様にして試験 片を得、この試験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果が得 られた。この結果から、ごの導電性微粒子による接続信頼性は不良であることが わかった。The test was conducted in the same manner as in Example 13, except that the conductive fine particles were used as an impasser. A reliability test was conducted on this test piece, and the results shown in Table 1 were obtained. It was done. From this result, it is concluded that the connection reliability due to conductive particles is poor. Understood.

土木下[ 二酸化ケイ素からなる平均粒子径7.01μm、標準偏差O19l1mの微粒子 を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は5100 k gf/mrn 2であり、また、微粒子の圧縮変形後の回復率は85%であった。Under construction [ Fine particles made of silicon dioxide with an average particle diameter of 7.01μm and a standard deviation of 019l1m I got it. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 5100 k gf/mrn 2, and the recovery rate of the fine particles after compression deformation was 85%.

この微粒子に無電解ニッケルメッキを行った後、全置換反応ニヨリ二ノケルー金 メッキ層が形成された導電性微粒子を得た。この導電性微粒子を分析したところ 、金含有率は27゜4重1%、ニッケル含有率は19.6重量%であった。また 、平均粒子径は7.25μmS襟準偏差0.20μmであった。After performing electroless nickel plating on these fine particles, a total substitution reaction is performed. Conductive fine particles on which a plating layer was formed were obtained. Analysis of these conductive particles The gold content was 27°4% by weight, and the nickel content was 19.6% by weight. Also The average particle diameter was 7.25 μm with a standard deviation of 0.20 μm.

この導電性微粒子をスペーサーとして用いた他は、実施例1;3と同様にして試 験片を得、この試験片について、信頼性試験を行ったところ、表1に示す結果が 得られた。この結果から、この導電性微粒子による接続信頼性は不良であること がわかった。Experiments were carried out in the same manner as in Examples 1 and 3, except that these conductive fine particles were used as spacers. A test piece was obtained, and a reliability test was conducted on this test piece, and the results shown in Table 1 were obtained. Obtained. From this result, the connection reliability due to these conductive particles is poor. I understand.

寒m テトラメチロールメタンテトラアクリレートを懸濁8合させた後、分級により平 均粒子径6.98μ肩、標準偏差0.23μ讃の微粒子を得た。この微粒子の圧 縮歪10%におけるに値は570kgf/rnm2であり、微粒子の反転荷重値 1grfの場合の圧縮変形後の回復率は63%であった。cold m After suspending 8 portions of tetramethylolmethane tetraacrylate, it was clarified by classification. Fine particles with an average particle diameter of 6.98μ and a standard deviation of 0.23μ were obtained. The pressure of this particulate The value at 10% shrinkage strain is 570 kgf/rnm2, and the reversal load value of fine particles The recovery rate after compression deformation in the case of 1 grf was 63%.

この樹脂微粒子に無電解銅メッキを行った後、銅メッキ層を置換反応によりイン ジウムに置換させた。この導電性微粒子を分析したところ、インジウムの含有率 は23.4%テアった。After electroless copper plating is applied to these resin particles, the copper plating layer is injected by a substitution reaction. It was replaced with dium. Analysis of these conductive fine particles revealed that the indium content was was torn 23.4%.

この導電性微粒子1g及びガラスファイバー(直径5.5μ彎、平均長さ27. 5μm)0.5gを、エポキシ樹脂(吉川化学工業製、SE−4500)75g および硬化剤25gに混ぜ合わせてペーストを作成した。次に、図6に示したよ うに、ITO膜が内面に形成されたガラス電極12上に、上記ペースト13を所 定厚みで塗布した後、別のITO電極14を重ね合わせた。次に、この積層体を プレス機に挟み、35kg/’Cm2の圧力、160°Cの温度で30分間加熱 圧着した。1 g of these conductive fine particles and glass fiber (diameter 5.5μ, average length 27mm). 5 μm), 75 g of epoxy resin (manufactured by Yoshikawa Chemical Industry, SE-4500) and 25 g of a hardening agent to prepare a paste. Next, as shown in Figure 6. First, the paste 13 is placed on the glass electrode 12 with an ITO film formed on the inner surface. After coating with a constant thickness, another ITO electrode 14 was superimposed. Next, this laminate is Place in a press and heat at a pressure of 35 kg/'Cm2 and a temperature of 160°C for 30 minutes. It was crimped.

ごのようにして作製した試験片Cを、高温側が90℃、1時間、低温側が一40 °C11時間で作動する熱衝撃試験器(タバイエスペlり(株)製TSv−40 型)にセットして、240サイクルまで試験した。Test piece C prepared as described above was heated at 90°C for 1 hour on the high temperature side and 140°C on the low temperature side. Thermal shock tester (TSv-40 manufactured by Tabai Espeli Co., Ltd.) that operates for 11 hours at °C. The test was carried out for up to 240 cycles.

また、上記と同様にして作成した別の試験片を、80℃・90%RHの条件で作 動する恒温恒湿器(タバイエスペック(株)、PR−3F型)に入れ、500時 間試験した。この冷熱衝撃試験の前後と、耐湿試験前後における該2枚の電極間 の接触抵抗値を、四端子法により測定したところ、表2に示す結果が得られた。In addition, another test piece prepared in the same manner as above was prepared at 80°C and 90% RH. Place it in a constant temperature and humidity chamber (Tabai Espec Co., Ltd., PR-3F type) and leave it at 500 hours. Tested for a while. Between the two electrodes before and after this thermal shock test and before and after the humidity test When the contact resistance value was measured by the four-terminal method, the results shown in Table 2 were obtained.

この結果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることが わかった。These results show that the connection reliability of these conductive particles is extremely high. Understood.

支嵐丘工主 テトラメチロールメタンテトラアクリレ−)75重1%及びジビニルベンゼン2 5重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.05μm1標準偏差0 .25μlの微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪lO%におけるに値は475k gf/mm2であり、この微粒子の反転荷重値1grfの場合の圧縮変形後の回 復率は55%であった。Shigaran Hill Builder Tetramethylolmethanetetraacrylate) 75% by weight and 2% divinylbenzene After suspension polymerization of 5% by weight, the average particle diameter was 7.05μm1 standard deviation 0 by classification. .. 25 μl of microparticles were obtained. The value of this fine particle at compressive strain lO% is 475k gf/mm2, and the rotation after compressive deformation when the reversal load value of this fine particle is 1grf. The recovery rate was 55%.

この樹脂微粒子に無電解銅メッキを行った後、銅メッキ層を置換反応によりイン ジュウムに置換させた。この樹脂微粒子を分析したところ、インジュウムの含有 率は19.8%であった。After electroless copper plating is applied to these resin particles, the copper plating layer is injected by a substitution reaction. Replaced with dium. Analysis of these resin particles revealed that they contained indium. The rate was 19.8%.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例18と同様にして試験片を得、この試 験片について、信頼性試験を行ったところ、表2に示す結果が得られた。この結 果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわかっ た。A test piece was obtained in the same manner as in Example 18 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 2 were obtained. This conclusion The results showed that the connection reliability using these conductive particles was extremely high. Ta.

テトラメチロールメタンテトラアクリレート50重量%及びジビニルベンゼン5 0重量%を懸濁重合させた後、分級により平均粒子径7.0171m、標準偏差 0.25μmの微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は422 kgf/mrr+2であり、また、この微粒子の反転荷重値1grfの場合の圧 縮変形後の回復率は52%であった。50% by weight of tetramethylolmethanetetraacrylate and 5% of divinylbenzene After suspension polymerization of 0% by weight, the average particle diameter was 7.0171 m, standard deviation was determined by classification. Fine particles of 0.25 μm were obtained. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 422 kgf/mrr+2, and the pressure when the reversal load value of this fine particle is 1grf The recovery rate after shrinkage deformation was 52%.

この樹脂微粒子に無電解銅メッキを行った後、銅メッキ層を置換反応によりイン ジュウムに置換させた。この樹脂微粒子を分析したところ、インジュウムの含有 率は20.3%であった。After electroless copper plating is applied to these resin particles, the copper plating layer is injected by a substitution reaction. Replaced with dium. Analysis of these resin particles revealed that they contained indium. The rate was 20.3%.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例18と同様にして試験片を得、この試 験片について、信頼性試験を行ったところ、表2に示す結果が得られた。この結 果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわかっ た。A test piece was obtained in the same manner as in Example 18 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 2 were obtained. This conclusion The results showed that the connection reliability using these conductive particles was extremely high. Ta.

1議1 テトラメチロールメタントリアクリレートを@濁重合させた後、分級により平均 粒子径7.53μm、標準偏差028μmの微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪 10%におけるに値は282kgf/mm2であり、また、この微粒子の反転荷 重値1grfの場合の圧縮変形後の回復率は58%であった。1 discussion 1 After turbid polymerization of tetramethylolmethane triacrylate, the average Fine particles with a particle diameter of 7.53 μm and a standard deviation of 028 μm were obtained. Compressive strain of this fine particle The value at 10% is 282 kgf/mm2, and the reverse load of this fine particle is The recovery rate after compression deformation when the weight value was 1 grf was 58%.

この樹脂微粒子に無電解銅メッキを行った後、銅メッキ層を置換反応によりイン ジウムに置換させた。このものを分析したところ、インジウムの含有率は19. 6%であった。After electroless copper plating is applied to these resin particles, the copper plating layer is injected by a substitution reaction. It was replaced with dium. When this material was analyzed, the indium content was 19. It was 6%.

この導電性微粒子を用いた以外は、実施例18と同様にして試験片を得、この試 験片について、信頼性試験を行ったところ、表2に示す結果が得られた。この結 果から、この導電性微粒子による接続信頼性はきわめて優れていることがわかっ た。A test piece was obtained in the same manner as in Example 18 except that this conductive fine particle was used. When a reliability test was conducted on the test piece, the results shown in Table 2 were obtained. This conclusion The results showed that the connection reliability using these conductive particles was extremely high. Ta.

塩11 ベンゾグアナミン重合体からなる平均粒子径6.98μl、標準偏差0.25μ mの微粒子を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は620kgf/m m2であり、反転荷重値Igrfの場合の圧縮変形後の回復率は12%であった 。この微粒子に無電解銅メッキを行った後、銅メッキ層を置換反応によりインジ ウムに置換させた。この微粒子を分析したところ、インジウムの含有率は22. 6%であった。salt 11 Average particle size of benzoguanamine polymer: 6.98 μl, standard deviation: 0.25 μl m fine particles were obtained. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 620 kgf/m m2, and the recovery rate after compressive deformation when the reverse load value Igrf was 12%. . After electroless copper plating is applied to these fine particles, the copper plating layer is transformed into an ink layer by a substitution reaction. It was replaced with um. When this fine particle was analyzed, the indium content was 22. It was 6%.

この導電性微粒子を用いた池は、実施例18と同様にして試験片を得、この試験 片について、信頼性試験を行ったところ、表2に示す結果が得られた。この結果 から、この導電性微粒子による接続信頼性は不良であることがわかった。A test piece using this conductive fine particle was obtained in the same manner as in Example 18, and this test When a reliability test was conducted on the piece, the results shown in Table 2 were obtained. As a result It was found that the connection reliability due to these conductive particles was poor.

比」■1上」− 二酸化ケイ素からなる平均粒子径7.01μm、標準偏差0.19μmの微粒子 を得た。この微粒子の圧縮歪10%におけるに値は4590 k gf/mm2 であった。また、この微粒子の圧縮変形後の回復率は85%であった。Ratio "■1 above" - Fine particles made of silicon dioxide with an average particle diameter of 7.01 μm and a standard deviation of 0.19 μm. I got it. The value of this fine particle at 10% compressive strain is 4590 kgf/mm2 Met. Further, the recovery rate of the fine particles after compression deformation was 85%.

この微粒子に無電解銅メッキを行った後、銅メッキ層を置換反応によりインジュ ウムに置換させた。この微粒子を分析したところ、インジュウムの含有率は9. 8重量%であった。After electroless copper plating is applied to these fine particles, the copper plating layer is injected by a substitution reaction. It was replaced with um. When this fine particle was analyzed, the indium content was 9. It was 8% by weight.

この導電性微粒子を用いた他は、実施例18と同様にして試験片を得、この試験 片について、信頼性試験を行ったところ、表2に示す結果が得られた。この結果 から、この導電性微粒子による接続信頼性は不良であることがゎがった。A test piece was obtained in the same manner as in Example 18 except that this conductive fine particle was used, and this test When a reliability test was conducted on the piece, the results shown in Table 2 were obtained. As a result Therefore, it was found that the connection reliability due to these conductive particles was poor.

(以下余白) 第1図 ↑ だ己を稽゛ 宣イす口 誦3図 ↑ 第4図 窮6図 国際調査報告 +mwpm*++m11aevrltalImII&PCT/JP 91101 285国際調査報告 フロントベージの続き (31)優先権主張番号 特願平3−104299(32)優先日 平3 (1 991) 5月9日(33)優先権主張国 日本(J P)(31)優先権主張 番号 特願平3−104300(32)優先日 平3 (1991) 5月9日 (33)優先権主張国 日本(J P)(81)指定国 EP(AT、BE、C H,DE。(Margin below) Figure 1 ↑ A mouth that teaches oneself Recitation 3 ↑ Figure 4 6th figure international search report +mwpm*++m11aevrtalImII&PCT/JP 91101 285 International Search Report Continuation of front page (31) Priority claim number: Patent application Hei 3-104299 (32) Priority date: Hei 3 (1) 991) May 9th (33) Priority claim country Japan (JP) (31) Priority claim Number: Patent Application Hei 3-104300 (32) Priority Date: May 9, 1991 (33) Priority claim country Japan (JP) (81) Designated country EP (AT, BE, C H, DE.

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2〔ここに、F、Sはそれぞ れ該微球体の10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位(mm)であ り、Rは該微球体の半径(mm)である〕で定義されるKの値が、20℃におい て250kgf/mm2〜700kgf/mm2の範囲であり、且つ圧縮変形後 の回復率が20℃において30%〜80%の範囲である微球体。1. K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2 [Here, F and S are respectively The load value (kgf) and compressive displacement (mm) at 10% compressive deformation of the microspheres are and R is the radius (mm) of the microsphere] at 20°C. range of 250 kgf/mm2 to 700 kgf/mm2, and after compression deformation. A microsphere whose recovery rate is in the range of 30% to 80% at 20°C. 2.請求項1に記載の微球体であって、前記K値が350kgf/mm2〜55 0kgf/mm2の範囲である。2. The microspheres according to claim 1, wherein the K value is 350 kgf/mm2 to 55. The range is 0 kgf/mm2. 3.請求項1に記載の微球体であって、前記圧縮変形後の回復率が、20℃にお いて40%〜70%の範囲である。3. The microspheres according to claim 1, wherein the recovery rate after compressive deformation is at 20°C. It is in the range of 40% to 70%. 4.請求項1に記載の微球体であって、前記微球体が、ジビニルベンゼン重合体 、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステ ル共重合体、およびジアリルフタレート重合体からなる群から選ばれた少なくと も一種の樹脂から形成される。4. The microspheres according to claim 1, wherein the microspheres are divinylbenzene polymers. , divinylbenzene-styrene copolymer, divinylbenzene-acrylic acid ester and diallyl phthalate polymers. It is also formed from a type of resin. 5.請求項1に記載の微球体であって、該微球体が真球状であり、その直径は0 .1〜100μmの範囲である。5. The microsphere according to claim 1, wherein the microsphere is perfectly spherical and has a diameter of 0. .. It is in the range of 1 to 100 μm. 6.請求項5に記載の微球体であって、該微球体の直径は0.5〜50μmの範 囲である。6. The microsphere according to claim 5, wherein the microsphere has a diameter in the range of 0.5 to 50 μm. It is surrounded. 7.請求項6に記載の微球体であって、該微球体の直径は1.0〜20μmの範 囲である。7. The microsphere according to claim 6, wherein the microsphere has a diameter in the range of 1.0 to 20 μm. It is surrounded. 8.K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2〔ここに、F、Sはそれぞ れ該球状スペーサーの10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位(m m)であり、Rは該スペーサーの半径(mm)である〕で定義されるKの値が、 20℃において250kgf/mm2〜700kgf/mm2の範囲であり、且 つ圧縮変形後の回復率が20℃において30%〜80%の範囲である液晶表示素 子用球状スペーサー。8. K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2 [Here, F and S are respectively The load value (kgf) and compression displacement (m) at 10% compression deformation of the spherical spacer are m) and R is the radius (mm) of the spacer]. It is in the range of 250 kgf/mm2 to 700 kgf/mm2 at 20°C, and A liquid crystal display element whose recovery rate after compression deformation is in the range of 30% to 80% at 20°C Spherical spacer for children. 9.着色された基材微球体を含有する液晶表示素子用着色球状スペーサーであっ て、K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2〔ここに、F、Sはそれぞ れ該着色球状スペーサーの10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位 (mm)であり、Rは該スペーサーの半径(mm)である〕で定義されるKの値 が、20℃において250kgf/mm2〜700kgf/mm2の範囲であり 、且つ圧縮変形後の回復率が20℃において30%〜80%の範囲である液晶表 示素子用着色球状スペーサー。9. A colored spherical spacer for liquid crystal display elements containing colored base material microspheres. Then, K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2 [Here, F and S are respectively Load value (kgf) and compression displacement at 10% compression deformation of the colored spherical spacer (mm) and R is the radius (mm) of the spacer] is in the range of 250 kgf/mm2 to 700 kgf/mm2 at 20°C. , and the recovery rate after compression deformation is in the range of 30% to 80% at 20°C. Colored spherical spacer for display devices. 10.基材微球体と、該基材微球体の表面に設けられた接着層とを含有する液晶 表示素子用接着性球状スペーサーであって、 K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2〔ここに、F、Sはそれぞれ該 接着性球状スペーサーの10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位( mm)であり、Rは該スペーサーの半径(mm)である〕で定義されるKの値が 、20℃において250kgf/mm2〜700kgf/mm2の範囲であり、 且つ圧縮変形後の回復率が20℃において30%〜80%の範囲である液晶表示 素子用接着性球状スペーサー。10. A liquid crystal containing a base microsphere and an adhesive layer provided on the surface of the base microsphere. An adhesive spherical spacer for display elements, K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2 [Here, F and S are respectively applicable. Load value (kgf) at 10% compression deformation of adhesive spherical spacer, compression displacement ( mm) and R is the radius (mm) of the spacer. , in the range of 250 kgf/mm2 to 700 kgf/mm2 at 20°C, A liquid crystal display whose recovery rate after compression deformation is in the range of 30% to 80% at 20°C. Adhesive spherical spacer for elements. 11.請求項8に記載の球状スペーサーを用いた液晶表示素子。11. A liquid crystal display element using the spherical spacer according to claim 8. 12.請求項9に記載の着色球状スペーサーを用いた液晶表示素子。12. A liquid crystal display element using the colored spherical spacer according to claim 9. 13.請求項10に記載の接着性球状スペーサーを用いた液晶表示素子。13. A liquid crystal display element using the adhesive spherical spacer according to claim 10. 14.請求項1記載の微球体と、該微球体の表面に設けられた導電層とを含有す る導電性徴球体。14. A microsphere comprising the microspheres according to claim 1 and a conductive layer provided on the surface of the microspheres. conductive sphere. 15.前記導電層がインジウムメッキ層である、請求項14記載の導電性微球体 。15. The conductive microspheres according to claim 14, wherein the conductive layer is an indium plating layer. .
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