JPH0650193B2 - Underfloor duct structure in a clean room - Google Patents
Underfloor duct structure in a clean roomInfo
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- JPH0650193B2 JPH0650193B2 JP30567388A JP30567388A JPH0650193B2 JP H0650193 B2 JPH0650193 B2 JP H0650193B2 JP 30567388 A JP30567388 A JP 30567388A JP 30567388 A JP30567388 A JP 30567388A JP H0650193 B2 JPH0650193 B2 JP H0650193B2
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- room
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームの床下ダクト構造に係り、特に
半導体製造工場等のクリーンルームに適したクリーンル
ームの床下ダクト構造に関する。The present invention relates to an underfloor duct structure for a clean room, and more particularly to an underfloor duct structure for a clean room suitable for a clean room such as a semiconductor manufacturing factory.
従来、この種の装置は、床面グレーチングの開口率を調
整してエア流を調整したり、また、生産装置の位置を調
整して、ルーム内のエア乱流を極力抑制していた。Conventionally, in this type of device, the opening ratio of the floor grating is adjusted to adjust the air flow, and the position of the production device is adjusted to suppress the air turbulence in the room as much as possible.
しかしながら、前記従来の装置では、ルーム内に配置さ
れた生産装置等の増加及び縮小等のレイアウト変更が行
われた場合、グレーチングのレイアウト変更が必要とさ
れていた。また、場合によっては、床下チャンバ内に配
設されたエア吸込用ダクトの配管変え工事が行われ、工
事に莫大なコストが費やされる欠点があった。However, in the above-mentioned conventional apparatus, when the layout change such as increase or decrease of the production apparatus arranged in the room is performed, it is necessary to change the layout of grating. In addition, in some cases, the piping for the air suction duct arranged in the underfloor chamber is changed, which results in a huge cost.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、生
産装置を任意の位置にレイアウト変更した場合であって
も、グレーチングの変更及び設備の改修工事等を行わず
に、クリーンルーム内のエア層流化を容易に実施するこ
とができるクリーンルームの床下ダクト構造を提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and even when the layout of the production apparatus is changed to an arbitrary position, the air in the clean room is not changed without changing the grating and repairing the equipment. An object of the present invention is to provide an underfloor duct structure for a clean room in which laminar flow can be easily performed.
本発明は、前記目的を達成する為に、天井面に取付けら
れた高性能フイルタを通して清浄エアをルーム内に吹き
出すと共に、床下チャンバに備えたダクトで、ルーム内
のエアを吸い込んで排気するクリーンルームに於いて、
前記ダクトの側面に形成したエア吸込口にスライド移動
自在な複数の扉を設け、ルーム内に配置される生産装置
等の配置位置に応じて前記扉をエア吸込口にスライド移
動させてエア吸込口の位置及び面積を調節自在にしたこ
とを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a clean room in which clean air is blown into a room through a high-performance filter attached to a ceiling surface, and a duct provided in an underfloor chamber sucks and exhausts air in the room. At
A plurality of slidable doors are provided in the air suction port formed on the side surface of the duct, and the doors are slid to the air suction port according to the arrangement position of the production device or the like arranged in the room. The position and area of are adjustable.
本発明によれば、床下のエア吸込用ダクトの側面にエア
吸込口を形成し、また、前記エア吸込口に複数の扉をス
ライド移動自在に取付ける。そして、ルーム内に配置さ
れた生産装置の位置に応じて、前記扉をスライドさせ
て、エア吸込口の位置及び面積を適宜調節しルーム内の
エア層流を保つようにする。これにより、生産装置等が
任意の位置にレイアウト変更された場合であっても扉の
前記作動によって、ルーム内のエアを層流状態に保つこ
とができるようになる。According to the present invention, the air suction port is formed on the side surface of the air suction duct under the floor, and a plurality of doors are slidably attached to the air suction port. Then, the door is slid in accordance with the position of the production device arranged in the room, and the position and area of the air suction port are appropriately adjusted to maintain the laminar air flow in the room. As a result, even when the layout of the production device or the like is changed to an arbitrary position, the air in the room can be kept in a laminar flow state by the operation of the door.
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの床
下ダクト構造の好ましい実施例を詳説する。A preferred embodiment of an underfloor duct structure for a clean room according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第１図は本発明に係るクリーンルームの床下ダクト構造
がクリーンルームに使用された場合の実施例を示す斜視
図が示されている。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment in which the underfloor duct structure for a clean room according to the present invention is used in the clean room.
第１図に於いて、クリーンルーム４０は、グレーチング
１８によってクリーンエリア３０と床下チャンバ３５と
が仕切られている。また、エリア３０上部には高性能フ
イルタ（図示せず）が取付けられ、このフイルタを通し
て清浄エアがエリア３０に吹き出され、この吹き出され
たエアはエリア３０内で層流となりグレーチング１８を
通してエア吸込用システムダクト１０に吸いこまれてい
る。また、前記グレーチング１８上には適宜に生産装置
２５が設置される。In FIG. 1, the clean room 40 is divided by a grating 18 into a clean area 30 and an underfloor chamber 35. A high performance filter (not shown) is attached to the upper part of the area 30, and clean air is blown to the area 30 through the filter, and the blown air becomes a laminar flow in the area 30 and is used for sucking air through the grating 18. It is sucked into the system duct 10. Further, a production device 25 is appropriately installed on the grating 18.
前記エア吸込用システムダクト１０は、第１図及び第２
図に示すように断面矩形状に形成されて、その側面にエ
ア吸込口１５が形成されている。更に、複数の扉１２、
１２…が第３図及び第４図に示すように、前記システム
ダクト１０の底部１０Ａに取付けられたレール部１４の
凹部１４Ａ、１４Ｂをすべり面としてエア吸込口１５に
対しスライド移動自在に取付けられている。また、エア
吸込用システムダクト１０は引込ダクト２０に取付けら
れて、固定サポート１６によって床下チャンバ３５に支
持されている。The air suction system duct 10 is shown in FIGS.
As shown in the figure, it has a rectangular cross section, and an air suction port 15 is formed on the side surface thereof. Furthermore, a plurality of doors 12,
12 ... As shown in FIGS. 3 and 4, the rails 14 mounted on the bottom 10A of the system duct 10 are slidably mounted on the air suction port 15 with the recesses 14A, 14B of the rails 14 as sliding surfaces. ing. The air intake system duct 10 is attached to the intake duct 20 and is supported by the fixed support 16 in the underfloor chamber 35.
次に、前記の如く構成されたクリーンルームの床下ダク
ト構造の作用について説明する。Next, the operation of the underfloor duct structure of the clean room configured as described above will be described.
エア吸込用システムダクト１０に形成されたエア吸込口
１５上に対して扉１２、１２…を、適宜にスライド移動
させる。この作動によって、エア吸込口１５上には複数
のエア吸込口１５、１５…が形成されるようになり、ま
た、前記システムダクト１０上に対しエア吸込口１５、
１５…の位置及び面積を適宜に変化させることができる
ようになる。これによって、クリーンルーム４０内の全
体エア量を調整することができるようになる。The doors 12, 12, ... Are slidably moved with respect to the air suction port 15 formed in the air suction system duct 10. By this operation, a plurality of air suction ports 15, 15, ... Are formed on the air suction port 15, and the air suction port 15, 15 is formed on the system duct 10.
The positions and areas of 15 ... Can be changed appropriately. This makes it possible to adjust the total amount of air in the clean room 40.
従って、生産装置２５を任意の位置に変更した場合であ
っても、前記扉１２、１２…を適宜に移動させることに
よってクリーンルーム４０内のエア流を安定に保つこと
ができるようになる。Therefore, even when the production device 25 is changed to an arbitrary position, the air flow in the clean room 40 can be stably maintained by appropriately moving the doors 12, 12, ....
尚、本件実施例では１段構成のエア吸込用システムダク
ト１０について説明したが、第５図に示す第２実施例で
示すようにエア吸込用システムダクト１０、１０を２段
構成配置しても良い。これによってクリーンルーム４０
内の全体エア量をこまかく調整することができるように
なる。In the present embodiment, the air suction system duct 10 having a one-stage configuration has been described. However, even if the air suction system ducts 10 and 10 are arranged in two stages as shown in the second embodiment shown in FIG. good. Clean room 40
It becomes possible to finely adjust the total amount of air inside.
以上説明したように本発明に係るクリーンルームの床下
ダクト構造によれば、エア吸込ダクトのエア吸込口にス
ライド移動自在な扉を設け、生産装置の位置に応じて前
記扉を移動し、エア吸込口の位置及び面積を適宜に調節
するようにしたので、生産装置が任意位置に変更した場
合であっても、ルーム内のエア層流化を容易に実施する
ことができる。As described above, according to the underfloor duct structure of the clean room according to the present invention, a slidably movable door is provided at the air suction port of the air suction duct, and the door is moved according to the position of the production device to obtain the air suction port. Since the position and the area are adjusted appropriately, even when the production apparatus is changed to an arbitrary position, the air laminarization in the room can be easily performed.
第１図は本発明に係るクリーンルームの床下ダクト構造
がクリーンルームに使用された場合の一実施例を示す斜
視図、第２図は本発明に係るクリーンルームの床下ダク
ト構造の第１実施例を示す正面、第３図は第２図におけ
るＡ−Ａ斜視図、第４図は第３図におけるＢ部要部構造
図、第５図は本発明に係るクリーンルームの床下ダクト
構造の第２実施例を示す正面図である。 １０……システムダクト、１２……扉、１４……レール
部、１５……吸気口、１６……固定サポート、１８……
グレーチング、２０……吸込ダクト、２５……生産装
置、３０……エリア。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment in which the underfloor duct structure for a clean room according to the present invention is used in a clean room, and FIG. 2 is a front view showing a first embodiment for an underfloor duct structure for a clean room according to the present invention. 3, FIG. 3 is a perspective view taken along the line AA in FIG. 2, FIG. 4 is a structural view of an essential part of B in FIG. 3, and FIG. 5 shows a second embodiment of the underfloor duct structure of the clean room according to the present invention. It is a front view. 10 ... System duct, 12 ... Door, 14 ... Rail part, 15 ... Intake port, 16 ... Fixed support, 18 ...
Grating, 20 ... Suction duct, 25 ... Production equipment, 30 ... Area.
Claims (1)
して清浄エアをルーム内に吹き出すと共に、床下チャン
バに備えたダクトで、ルーム内のエアを吸い込んで排気
するクリーンルームに於いて、 前記ダクトの側面に形成したエア吸込口にスライド移動
自在な複数の扉を設け、ルーム内に配置される生産装置
等の配置位置に応じて前記扉をエア吸込口にスライド移
動させてエア吸込口の位置及び面積を調節自在にしたこ
とを特徴とするクリーンルームの床下ダクト構造。1. A clean room in which clean air is blown into a room through a high-performance filter attached to a ceiling surface, and a duct provided in an underfloor chamber sucks in and exhausts air in the room, and a side surface of the duct. A plurality of slidable doors are provided at the air suction port formed in the above, and the position and area of the air suction port are slid to the air suction port according to the position of the production equipment etc. arranged in the room. An underfloor duct structure in a clean room, which is characterized by being adjustable.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30567388A JPH0650193B2 (en) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | Underfloor duct structure in a clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30567388A JPH0650193B2 (en) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | Underfloor duct structure in a clean room |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02150656A JPH02150656A (en) | 1990-06-08 |
| JPH0650193B2 true JPH0650193B2 (en) | 1994-06-29 |
Family
ID=17947977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30567388A Expired - Fee Related JPH0650193B2 (en) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | Underfloor duct structure in a clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650193B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4328995C2 (en) * | 1993-08-28 | 1997-01-23 | Meissner & Wurst | Clean room system |
| US5681219A (en) * | 1995-03-28 | 1997-10-28 | Advanced Micro Devices | Exhaust shroud and skirt apparatus and method |
-
1988
- 1988-12-01 JP JP30567388A patent/JPH0650193B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02150656A (en) | 1990-06-08 |
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