JPH0647844U - 移動分析システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】半導体産業に使用される工業ガス（Ｎ_２，Ａ
ｒ，Ｈ_２等）中の水分、不純物粒子、水分等を現場で分
析するための移動分析システムを提供する。 【構成】１はトラック、２は荷台の覆い、３はサイドド
ア、４はサンプリングポートである。分析計として覆い
２の中に大気下イオン化質量分析装置、超高感度露点
計、パーティクルカウンター等の高感度な分析装置を搭
載し、内部に必要な配管を付設し、サンプリングポート
を設けたもので、この移動分析車を現場に運び（現場ま
で運転し）サンプリングポートに分析すべきポンベ又は
タンクからホースをつなぐことによって現場で分析を行
なうことができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】 産業上利用分野 本考案は半導体産業に使用される工業ガス（Ｎ₂ 、Ａｒ、Ｈ₂ 等）中の水分、 不純物粒子、水分等を現場で分析するための移動分析システムに関する。

【０００２】 考案の背景 半導体産業で使用される工業ガス（Ｎ₂ 、Ａｒ、Ｈ₂ 等）の純度は、歩止まり の向上を目的として、増々厳しくなってきている。

【０００３】 ガス会社はこれらのガスを半導体メーカーであるユーザーに販売している。ガ ス会社は従来現地でガスをサンプリングし、ガス会社に持ち帰り、分析を行なう ことによって、ガスの品質保証を行なっていた。最近ではｐｐｂ〜ｐｐｔ

【０００４】 レベルの現地分析技術を要求される様になってきた。 高感度な分析装置（大気圧イオン化質量分析装置、超高感度露点計、パーティ クルカウンター等）を現地で短時間で立上げ、ｐｐｂ〜ｐｐｔレベルの高感度分 析を実施する為に、移動分析システムを作成した。

【０００５】 本考案はエアーサスペンション付きのトラック、バス等の自動車に例えば大気 下イオン化質量分析装置、超高感度露点計、パーティクルカウンター等の高感度 な分析装置を搭載し、内部に必要な配管を付設し、パワーゲート及びサンプリン グポートを設けた移動分析システムに関する。

【０００６】 考案の特徴 （１）移動分析車にガスサンプリング配管を装備し、複数の高感度分析装置と接 続して、同時に測定する事ができる。 （２）分析車のボディーにサンプリングポートを設け、サンポルガスを分析装置 に供給する事ができる。 （３）分析装置を車の振動から守る為、エアサスペンションを装備した。 （４）分析装置を半導体工場のクリーンルーム内へ搬入できる様に、車にはパワ ーゲートを装備し、各分析装置にもキャスターを設けた。

【０００７】 移動分析車のもう一つの効果としては、顧客に対するイメージアップ、顧客に なり得る可能性がある半導体メーカーへのピーアール効果も大きいと考えられる 。

【０００８】 内部に載する装置はＡＰＩＭＳ（ＵＧ３０２Ｐ）、ＲＧＡ−ＩＩＩ、ＨＹＣＯ ＳＭＯ及びＨＥＲＳＣＨ Ｙ等である。

【０００９】 具体的にはエアサスペンション付きのトラックの荷台に上記装置を搭載し、適 宜配管を行ない、荷台を覆うカバーを設ける。カバーにサンプリングポートを設 ける。

【００１０】 好ましい図面によって本考案を説明する。

【００１１】 図１は本考案の移動分析車の側面図である。１はトラック、２は荷台の覆い、 ３はサイドドア、４はサンプリングポートである。分析計（図示せず）は覆いの 中に設置されている。移動分析車を現場に運び（現場まで運転し）サンプリング ポートに分析すべきポンベ又はタンクからホースをつなぐことによって現場で分 析を行なうことができる。

【００１２】 本考案の移動分析車をガス会社が保持し、顧客の所へ出向いて、分析を行なう ことによって、顧客へのガスの品質保証を完全に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】移動分析車の側面図。

【符号の説明】

１…トラック ２…荷台の覆い ３…サイドドア ４…サンプリングポート

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 エアーサスペンション付きの自動車に例
   えば大気下イオン化質量分析装置、超高感度露点計、パ
   ーティクルカウンター等の高感度な分析装置を搭載し、
   内部に必要な配管を付設し、サンプリングポートを設け
   た移動分析システム。