JPH0644596Y2 - 金属研磨機の防護カバー装置 - Google Patents
金属研磨機の防護カバー装置Info
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- JPH0644596Y2 JPH0644596Y2 JP1991031294U JP3129491U JPH0644596Y2 JP H0644596 Y2 JPH0644596 Y2 JP H0644596Y2 JP 1991031294 U JP1991031294 U JP 1991031294U JP 3129491 U JP3129491 U JP 3129491U JP H0644596 Y2 JPH0644596 Y2 JP H0644596Y2
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この出願に係る考案は、金属研磨
機の作動機構を水等の研磨剤や金属の研磨屑から防護し
排出する装置に関するものであり、例えば特に、縦長大
直径で研磨量の多い角柱または円筒の金属素材の外径を
研磨するために、多量の冷却水を供給して多量の研磨屑
を共に排出するようにした金属研磨機において、作動機
構を冷却水と研磨屑とから保護して排出すると共に装置
全体の長手方向を短小としたものに関する
機の作動機構を水等の研磨剤や金属の研磨屑から防護し
排出する装置に関するものであり、例えば特に、縦長大
直径で研磨量の多い角柱または円筒の金属素材の外径を
研磨するために、多量の冷却水を供給して多量の研磨屑
を共に排出するようにした金属研磨機において、作動機
構を冷却水と研磨屑とから保護して排出すると共に装置
全体の長手方向を短小としたものに関する
【０００２】
【従来の技術】従来、小直径で短い円柱または円筒の通
常の金属素材の外径を研削する研磨機は、外径の研削量
が少ないから、小量の冷却水を供拾すれば足りるので、
研削屑による砥石の目づまりが起こることはなく、冷却
水や研削屑が研磨機の作動機構の摺動摩擦部へ飛散して
発錆や摩耗の悪影響を及ぼすことも少なく、研削屑や冷
却水の排出も容易であり、また、金属素材の長手方向の
寸法が短かいから、回転する砥石軸を支持する砥石台
は、素材外周に対して往復動するのみで素材の長手方向
へは移動せずににその静止位置を基準位置と称し、素材
を支持する支持台は、砥石台の基準位置を基準として、
素材を水平に支持して中心軸線を中心に回転しながら、
基準位置から中心軸線に沿って移動してからまた基準位
置へ復帰しても、装置仝体の長手方向の寸法は短小で足
りていた。
常の金属素材の外径を研削する研磨機は、外径の研削量
が少ないから、小量の冷却水を供拾すれば足りるので、
研削屑による砥石の目づまりが起こることはなく、冷却
水や研削屑が研磨機の作動機構の摺動摩擦部へ飛散して
発錆や摩耗の悪影響を及ぼすことも少なく、研削屑や冷
却水の排出も容易であり、また、金属素材の長手方向の
寸法が短かいから、回転する砥石軸を支持する砥石台
は、素材外周に対して往復動するのみで素材の長手方向
へは移動せずににその静止位置を基準位置と称し、素材
を支持する支持台は、砥石台の基準位置を基準として、
素材を水平に支持して中心軸線を中心に回転しながら、
基準位置から中心軸線に沿って移動してからまた基準位
置へ復帰しても、装置仝体の長手方向の寸法は短小で足
りていた。
【０００３】しかし、近時半導体集積回路チップに利用
するためには、珪素を中心核からメッキ生成のように結
晶成長によって、直径約２５センチメートルで長手方向
が約１．８メートルにも及ぶ大径縦長のシリコン円柱塊
に形成した後に、外周面を所要の大直径に研削し、中心
軸線に直交する薄円板に裁断し、小面積の板状に細分割
をする必要があるが、そのシリコン円柱は、結晶成長の
過程に応じて、長手方向における各部はその外直径の大
きさが相当に差違を生じて高低差の大きい波状を呈して
いるので、その外周面を同一直径に研削する際には、長
手方向の一研削行程で直径において５から１０ミリメー
トルの研削量を必要とすることがある。従って、多量の
研削屑が生じ、それを排出し且つ素材や砥石を冷却し目
詰まりを防ぐための供給液体は、シリコンの科学変化を
少くするように、油脂を使用できないので工業用水や水
道水等の真水を多量に供給する必要がある。
するためには、珪素を中心核からメッキ生成のように結
晶成長によって、直径約２５センチメートルで長手方向
が約１．８メートルにも及ぶ大径縦長のシリコン円柱塊
に形成した後に、外周面を所要の大直径に研削し、中心
軸線に直交する薄円板に裁断し、小面積の板状に細分割
をする必要があるが、そのシリコン円柱は、結晶成長の
過程に応じて、長手方向における各部はその外直径の大
きさが相当に差違を生じて高低差の大きい波状を呈して
いるので、その外周面を同一直径に研削する際には、長
手方向の一研削行程で直径において５から１０ミリメー
トルの研削量を必要とすることがある。従って、多量の
研削屑が生じ、それを排出し且つ素材や砥石を冷却し目
詰まりを防ぐための供給液体は、シリコンの科学変化を
少くするように、油脂を使用できないので工業用水や水
道水等の真水を多量に供給する必要がある。
【０００４】そして、前記のシリコン円柱の外周面を研
削するについて、前記の従来の研磨機を利用すると次の
欠陥を生ずる。先ず、従来の研磨機は、その砥石台が、
砥石軸を回転しながら素材の外周に対しその中心方向に
おいて往復動し且つ素材の長手方向へは静止し、その支
持台が、素材を長手方向に水平に支持し中心軸線を中心
として回転しながら、砥石台の静止位置を基準位置とし
て、素材をその中心軸線を中心に回転しながら、中心軸
線に沿って基準位置から一方向へ素材の一端部から他端
部まで往動した研削した後に、逆方向へ復動して一端部
を基準位置へ復帰して素材を支持台からとりはずすよう
に構成したものであるから、素材の支持台の長手方向の
長さは、少なくとも素材の長手方向の長さの二倍を要す
るので、研磨機の全体は長大なものとなり、その設置場
所が長大なものとなる欠陥を有する。次に、シリコン円
柱の外周面研削には多量の研削屑を生じ、それを排出し
素材や砥石を冷却し目詰まりを防ぐためには多量の真水
を供給する必要があるが、それら多量の研削屑と真水と
の悪影響から砥石台や特に長大な素材支持台を防護しそ
れらを排出する手段が不充分であったから、砥石台と支
持台はそれらに飛散する多量の研削屑と真水によって作
動機構の摺動摩擦部が摩耗し発錆するという欠陥を有す
る。
削するについて、前記の従来の研磨機を利用すると次の
欠陥を生ずる。先ず、従来の研磨機は、その砥石台が、
砥石軸を回転しながら素材の外周に対しその中心方向に
おいて往復動し且つ素材の長手方向へは静止し、その支
持台が、素材を長手方向に水平に支持し中心軸線を中心
として回転しながら、砥石台の静止位置を基準位置とし
て、素材をその中心軸線を中心に回転しながら、中心軸
線に沿って基準位置から一方向へ素材の一端部から他端
部まで往動した研削した後に、逆方向へ復動して一端部
を基準位置へ復帰して素材を支持台からとりはずすよう
に構成したものであるから、素材の支持台の長手方向の
長さは、少なくとも素材の長手方向の長さの二倍を要す
るので、研磨機の全体は長大なものとなり、その設置場
所が長大なものとなる欠陥を有する。次に、シリコン円
柱の外周面研削には多量の研削屑を生じ、それを排出し
素材や砥石を冷却し目詰まりを防ぐためには多量の真水
を供給する必要があるが、それら多量の研削屑と真水と
の悪影響から砥石台や特に長大な素材支持台を防護しそ
れらを排出する手段が不充分であったから、砥石台と支
持台はそれらに飛散する多量の研削屑と真水によって作
動機構の摺動摩擦部が摩耗し発錆するという欠陥を有す
る。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】本願考案は、前記の従
来の技術の欠陥──大径縦長のシリコン円柱塊の外周面
を前記従来の研磨機に研削するときは、素材の支持台の
長さが長大となり研磨機全体も長大となって長大な設置
場所を必要とし、多量の研削屑と真水との飛散により研
磨機の摺動摩擦部が摩耗し発錆する──を解消すること
を目的とする。
来の技術の欠陥──大径縦長のシリコン円柱塊の外周面
を前記従来の研磨機に研削するときは、素材の支持台の
長さが長大となり研磨機全体も長大となって長大な設置
場所を必要とし、多量の研削屑と真水との飛散により研
磨機の摺動摩擦部が摩耗し発錆する──を解消すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願考案は、素材の支持
台を短小として研磨機全体を短小化しその設置場所を短
小とするために、支持台を素材の長手方向へは移動させ
ずに静止し且つ素材をその中心軸を中心として回転する
のみとし、砥石台をして砥石軸を回転しながら砥石を素
材の外周面に接触し離脱するように素材の中心軸に直交
して往復動し且つ素材の中心軸に平行して素材の縦長範
囲を往復動するように構成したことを特徴とし、また、
研磨機の作動機構の摺動摩擦部を切削屑と供給水とによ
る摩耗と発錆とから防護するために、砥石台に砥石カバ
ーを固定して素材の中心軸にへ平行して往復動すると共
に、素材の全長にわたる蛇腹カバーを砥石カバーに伴わ
れて往復動して伸縮し且つ開閉可能として素材の全長を
覆って素材の支持台を移動するように構成したことを特
徴とする。
台を短小として研磨機全体を短小化しその設置場所を短
小とするために、支持台を素材の長手方向へは移動させ
ずに静止し且つ素材をその中心軸を中心として回転する
のみとし、砥石台をして砥石軸を回転しながら砥石を素
材の外周面に接触し離脱するように素材の中心軸に直交
して往復動し且つ素材の中心軸に平行して素材の縦長範
囲を往復動するように構成したことを特徴とし、また、
研磨機の作動機構の摺動摩擦部を切削屑と供給水とによ
る摩耗と発錆とから防護するために、砥石台に砥石カバ
ーを固定して素材の中心軸にへ平行して往復動すると共
に、素材の全長にわたる蛇腹カバーを砥石カバーに伴わ
れて往復動して伸縮し且つ開閉可能として素材の全長を
覆って素材の支持台を移動するように構成したことを特
徴とする。
【０００７】
【実施例】本願考案の実施例を図面の記載に基いて説明
すれば次のとおりである。第１図の図示のように、水平
に配置して静止した研磨機の基盤１の上に、大直径且つ
縦長のシリコン円柱塊などの素材２の長手方向の中心線
と平行し且つ中心軸線の長さよりもわずかに長く上を開
放し下を閉鎖し横断面をほぼＶ字形に形成した桶体３を
固定し、桶体３には底または長手方向の両端のいずれか
に図示しないが排出口を設け、桶体３の上には、前記の
素材をその長手方向の中心軸線を水平とし、且つ図示し
ないモータの一方向回転に中心軸線を中心に一定角速度
で一方向へ回転するように支持する素材の支持台４（図
１）を設ける。また、第２図の図示のように、基盤１の
上には、支持台４に支持した素材２に対向しその中心軸
線に平行して、図示しないモータの正逆方向の回転に連
動して左右に水平に往復摺動するように構成した移動台
５を支持し、移動台５の上には、移動台５に伴はれて往
復動し且つ図示しないモータの正逆方向の回転に連続し
て素材に対向しその中心軸線に水平に直交して前後に往
復摺動するように構成した砥石台６を支持し、砥石台６
の上には、移動台５と砥石台６とに連動して左右と前後
に往復摺動し、先端に固定した椀形の砥石７が素材２の
中心軸線と水平に直交する中心軸線をもつ砥石軸８を一
方向に回転するモータ９に連動して一方向へ回転するよ
うに構成した軸台１０を支持する。
すれば次のとおりである。第１図の図示のように、水平
に配置して静止した研磨機の基盤１の上に、大直径且つ
縦長のシリコン円柱塊などの素材２の長手方向の中心線
と平行し且つ中心軸線の長さよりもわずかに長く上を開
放し下を閉鎖し横断面をほぼＶ字形に形成した桶体３を
固定し、桶体３には底または長手方向の両端のいずれか
に図示しないが排出口を設け、桶体３の上には、前記の
素材をその長手方向の中心軸線を水平とし、且つ図示し
ないモータの一方向回転に中心軸線を中心に一定角速度
で一方向へ回転するように支持する素材の支持台４（図
１）を設ける。また、第２図の図示のように、基盤１の
上には、支持台４に支持した素材２に対向しその中心軸
線に平行して、図示しないモータの正逆方向の回転に連
動して左右に水平に往復摺動するように構成した移動台
５を支持し、移動台５の上には、移動台５に伴はれて往
復動し且つ図示しないモータの正逆方向の回転に連続し
て素材に対向しその中心軸線に水平に直交して前後に往
復摺動するように構成した砥石台６を支持し、砥石台６
の上には、移動台５と砥石台６とに連動して左右と前後
に往復摺動し、先端に固定した椀形の砥石７が素材２の
中心軸線と水平に直交する中心軸線をもつ砥石軸８を一
方向に回転するモータ９に連動して一方向へ回転するよ
うに構成した軸台１０を支持する。
【０００８】さらに、移動台５の素材２に対向する面に
は、素材２の上方と前後及び砥石７の手前とを閉鎖して
覆い且つ下方と左右側面を開放した砥石カバー１１の前
側部の下方を固定し、前後側部の下端を桶体３の前後側
部の上端よりも下の内側に位置させ、前側面には砥石軸
８を貫通して砥石軸８の回転と前後動を許容するように
密封するシーリング１２を固定する。
は、素材２の上方と前後及び砥石７の手前とを閉鎖して
覆い且つ下方と左右側面を開放した砥石カバー１１の前
側部の下方を固定し、前後側部の下端を桶体３の前後側
部の上端よりも下の内側に位置させ、前側面には砥石軸
８を貫通して砥石軸８の回転と前後動を許容するように
密封するシーリング１２を固定する。
【０００９】砥石カバー１１の上面部には、垂直軸線を
中心に正逆方向へ回転するモータ１３を固定し、モータ
１３の回転軸に水平に固定する平歯車１４には、基盤１
の左右に離れてそれぞれ垂直軸を中心に回動可能に支持
した滑車１５Ａと１５Ｂとにけさがけにかけ渡した無端
環状のチェーン１６の一方側をかみ合はせる。そして、
右端を支持台４の右側面に固定しそれと上方と前後側と
を閉鎖し下方を開放し左端を砥石カバー１１の右側に合
致し左右方向に伸縮可能とした右蛇腹１７Ａを支持台４
の左側面と砥石カバー１１の右側面との間に介在させ、
右端と左端とを砥石カバー１１の左側と支持台４の左側
面に固定しそれらと上方と前後側とを閉鎖し下方を開放
し左右方向に伸縮可能とした左蛇腹１７Ｂを設け、右蛇
腹１７Ａをして、その左端上方に係止体１８を固定して
チェーン１６の平歯車１４にかみ合う側の一部を係止
し、その左端上方の手前と後方とに円筒の案内体１９Ａ
と１９Ｂとを固定し、両円筒内には左右両端を基盤１に
固定して樋体３の長手方向に平行する丸棒状の前後の案
内バー２０Ａと２０Ｂとをそれぞれ各別に遊嵌する。
中心に正逆方向へ回転するモータ１３を固定し、モータ
１３の回転軸に水平に固定する平歯車１４には、基盤１
の左右に離れてそれぞれ垂直軸を中心に回動可能に支持
した滑車１５Ａと１５Ｂとにけさがけにかけ渡した無端
環状のチェーン１６の一方側をかみ合はせる。そして、
右端を支持台４の右側面に固定しそれと上方と前後側と
を閉鎖し下方を開放し左端を砥石カバー１１の右側に合
致し左右方向に伸縮可能とした右蛇腹１７Ａを支持台４
の左側面と砥石カバー１１の右側面との間に介在させ、
右端と左端とを砥石カバー１１の左側と支持台４の左側
面に固定しそれらと上方と前後側とを閉鎖し下方を開放
し左右方向に伸縮可能とした左蛇腹１７Ｂを設け、右蛇
腹１７Ａをして、その左端上方に係止体１８を固定して
チェーン１６の平歯車１４にかみ合う側の一部を係止
し、その左端上方の手前と後方とに円筒の案内体１９Ａ
と１９Ｂとを固定し、両円筒内には左右両端を基盤１に
固定して樋体３の長手方向に平行する丸棒状の前後の案
内バー２０Ａと２０Ｂとをそれぞれ各別に遊嵌する。
【００１０】本願考案は、マイクロコンピュータやタイ
ムスイッチなどを含む制御回路により前記の構造が下記
の順序によつて作用するように構成する。 １．全部のモータを停止し、右蛇腹１７Ａは右へ移動し
収縮して砥石カバー１１との間を開放している。 ２．素材２を前記の開放部から挿入して支持台４に装着
する。 ３．その時よりも以前に、移動台５を移動するモータが
一方向へ回動した後に停止することにより、移動台５
は、砥石７が素材２の長手方向の右端に対向する基準位
置に停止している。 ４．砥石カバー１１の上のモータ１３を時計方向へ回動
し、同方向へ回動する平歯車１４とチェーン１６によ
り、係止体１８を介して、右蛇腹１７Ａは前後案内バー
２０ＡＢんに案内されて右から左へ伸長してその左側面
が砥石カバー１１の右側に密着した後に、モータ１３の
回動を停止する。 ５．支持台４のモータを回動して素材２を中心軸線を中
心に回動し、軸台１０の上のモータ９を回動してそれに
連動し砥石軸８の中心軸線を中心に砥石７を回動し、砥
石台６のモータを一方向へ回動して砥石７を素材２の外
周面に必要とする直径になるように喰い込ませた後に停
止する。 ６．移動台５のモータを逆方向へ回動し、移動台５は砥
石台６，軸台１０，砥石軸８，砥石７，砥石カバー１１
を伴って、砥石７により素材２の外周面を必要直径にま
で研削しながら素材２の左端にまで移動し、その際にモ
ータ１３は、動力供給がなくて回転を停止しているが、
砥石カバー１１の左への移動により、チェーン１６とか
み合っている平歯車１４の時計方向への回動に連動し
て、モータ軸が電気ブレーキがかかった状態で反時計方
向へ回動し、右蛇腹１７Ａはチェーン１６の時計方向回
転によりその左端面が砥石カバー１１の右端面に密着し
た状態を維持して左へ伸長し、左蛇腹１７Ｂは砥石カバ
ー１１の左への移動に押され伴はれて左へ収縮し、砥石
７による素材２の研削の終了後にはすべてのモータを停
止して前記の各部の作動が停止するが、その時までは、
前記の研削によって生じ飛散する研削屑とそれを排除し
且つ砥石７と素材２を冷却するように図示しない供給管
からそれらに噴出して供給する真水とは、砥石カバー１
１と左右蛇腹１７Ｂ，Ａと樋体３との内面に衝突して下
方へ落下して樋体３の排出口から外部へと排出される。 ７．砥石台６のモータを逆方向へ回動し砥石７を素材２
の外周面から離した後に停止する。 ８．移動台５のモータを一方向へ回動した後に停止する
ことに連動して、移動台５は砥石台６，軸台１０，砥石
軸８，砥石７，砥石カバー１１を伴って、素材２の右端
にまで移動して基準位置へ復帰して停止し、その際にモ
ータ１３は、動力供給がなくて回転を停止しているが、
砥石カバー１１の右への移動により、チェーン１６とか
み合っている平歯車１４の時計方向への回動に連動し
て、モータ軸が電気ブレーキがかかった状態で反時計方
向へ回動し、右蛇腹１７Ａはチェーン１６の反時計方向
回動によりその左端面が砥石カバー１１の右端面に密着
した状態を維持して右へ収縮し、左蛇腹１７Ｂは砥石カ
バー１１の右への移動に伴はれて右へ伸長した後に、各
部は停止する。 ９．砥石カバー１１のモータ１３を反時計方向へ回動
し、同方向へ回動する平歯車１４とチェーン１６によ
り、係止体１８を介して、右蛇腹１７Ａは前後案内レバ
ー２０ＡＢに案内されて左から右へ収縮してその左端面
が砥石カバー１１の右側面から離れて両者間を開放す
る。 １０．素材２を前記の開放部を通して支持台４から離脱
してとり出す。
ムスイッチなどを含む制御回路により前記の構造が下記
の順序によつて作用するように構成する。 １．全部のモータを停止し、右蛇腹１７Ａは右へ移動し
収縮して砥石カバー１１との間を開放している。 ２．素材２を前記の開放部から挿入して支持台４に装着
する。 ３．その時よりも以前に、移動台５を移動するモータが
一方向へ回動した後に停止することにより、移動台５
は、砥石７が素材２の長手方向の右端に対向する基準位
置に停止している。 ４．砥石カバー１１の上のモータ１３を時計方向へ回動
し、同方向へ回動する平歯車１４とチェーン１６によ
り、係止体１８を介して、右蛇腹１７Ａは前後案内バー
２０ＡＢんに案内されて右から左へ伸長してその左側面
が砥石カバー１１の右側に密着した後に、モータ１３の
回動を停止する。 ５．支持台４のモータを回動して素材２を中心軸線を中
心に回動し、軸台１０の上のモータ９を回動してそれに
連動し砥石軸８の中心軸線を中心に砥石７を回動し、砥
石台６のモータを一方向へ回動して砥石７を素材２の外
周面に必要とする直径になるように喰い込ませた後に停
止する。 ６．移動台５のモータを逆方向へ回動し、移動台５は砥
石台６，軸台１０，砥石軸８，砥石７，砥石カバー１１
を伴って、砥石７により素材２の外周面を必要直径にま
で研削しながら素材２の左端にまで移動し、その際にモ
ータ１３は、動力供給がなくて回転を停止しているが、
砥石カバー１１の左への移動により、チェーン１６とか
み合っている平歯車１４の時計方向への回動に連動し
て、モータ軸が電気ブレーキがかかった状態で反時計方
向へ回動し、右蛇腹１７Ａはチェーン１６の時計方向回
転によりその左端面が砥石カバー１１の右端面に密着し
た状態を維持して左へ伸長し、左蛇腹１７Ｂは砥石カバ
ー１１の左への移動に押され伴はれて左へ収縮し、砥石
７による素材２の研削の終了後にはすべてのモータを停
止して前記の各部の作動が停止するが、その時までは、
前記の研削によって生じ飛散する研削屑とそれを排除し
且つ砥石７と素材２を冷却するように図示しない供給管
からそれらに噴出して供給する真水とは、砥石カバー１
１と左右蛇腹１７Ｂ，Ａと樋体３との内面に衝突して下
方へ落下して樋体３の排出口から外部へと排出される。 ７．砥石台６のモータを逆方向へ回動し砥石７を素材２
の外周面から離した後に停止する。 ８．移動台５のモータを一方向へ回動した後に停止する
ことに連動して、移動台５は砥石台６，軸台１０，砥石
軸８，砥石７，砥石カバー１１を伴って、素材２の右端
にまで移動して基準位置へ復帰して停止し、その際にモ
ータ１３は、動力供給がなくて回転を停止しているが、
砥石カバー１１の右への移動により、チェーン１６とか
み合っている平歯車１４の時計方向への回動に連動し
て、モータ軸が電気ブレーキがかかった状態で反時計方
向へ回動し、右蛇腹１７Ａはチェーン１６の反時計方向
回動によりその左端面が砥石カバー１１の右端面に密着
した状態を維持して右へ収縮し、左蛇腹１７Ｂは砥石カ
バー１１の右への移動に伴はれて右へ伸長した後に、各
部は停止する。 ９．砥石カバー１１のモータ１３を反時計方向へ回動
し、同方向へ回動する平歯車１４とチェーン１６によ
り、係止体１８を介して、右蛇腹１７Ａは前後案内レバ
ー２０ＡＢに案内されて左から右へ収縮してその左端面
が砥石カバー１１の右側面から離れて両者間を開放す
る。 １０．素材２を前記の開放部を通して支持台４から離脱
してとり出す。
【００１１】砥石カバー１１は、移動台５に固定するほ
かに、砥石台６または軸台１０に固定してもよい。
かに、砥石台６または軸台１０に固定してもよい。
【００１２】
【考案の効果】本願考案は、前記を構造を備えて前記の
作用を生ずるように構成したので、下記の効果を奏す
る。格別に縦長で大直径を有し且つ結晶成長により円柱
塊に形成したために縦長方向の直径差が大きいので外径
の研削量が多いシリコン円柱塊の外周面を研削する金属
研磨機において、素材の支持台４をして、特に、素材の
中心軸線に平行には移動させずに静止し、且つ素材を中
心軸線を中心に回転するのみとし、砥石台６または軸台
１０をして、砥石軸を回転しながら、砥石７を素材の外
周面に接触し離脱するように素材の中心軸線に直交して
往復動し、特に、素材の中心軸線に平行して素材の全縦
長範囲を往復動するように構成し、また、砥石７と素材
２の前後と上を覆う砥石カバー１１をして、軸台１０ま
たは砥石台６または移動台５に固定し、素材２の全縦長
範囲にわたって前後と上を覆う左右蛇腹１７ＢＡをし
て、砥石カバー１１と支持台４に支持し、移動台５等の
移動に伴はれてそれらの移動方向に伸縮し、左右いずれ
か一方または両方を砥石カバー１１と支持台４との間に
おいて素材２の中心軸線の方向に開閉可能とし、砥石カ
バー１１と左右蛇腹１７ＢＡの下方と前後を覆って排出
口を設けた樋体３を基盤１に固定したことにより、
（Ａ）素材２の中心軸線との平行方向における素材２の
支持台４の長さが短小化して、研磨機全体も短小とな
り、その設置面積も短小となり、（Ｂ）多量の研削屑と
供給水が飛散しても研磨機の摺動摩擦部が磨耗し発錆す
ることがなく、（Ｃ）支持台４への素材２の着脱が容易
となる。
作用を生ずるように構成したので、下記の効果を奏す
る。格別に縦長で大直径を有し且つ結晶成長により円柱
塊に形成したために縦長方向の直径差が大きいので外径
の研削量が多いシリコン円柱塊の外周面を研削する金属
研磨機において、素材の支持台４をして、特に、素材の
中心軸線に平行には移動させずに静止し、且つ素材を中
心軸線を中心に回転するのみとし、砥石台６または軸台
１０をして、砥石軸を回転しながら、砥石７を素材の外
周面に接触し離脱するように素材の中心軸線に直交して
往復動し、特に、素材の中心軸線に平行して素材の全縦
長範囲を往復動するように構成し、また、砥石７と素材
２の前後と上を覆う砥石カバー１１をして、軸台１０ま
たは砥石台６または移動台５に固定し、素材２の全縦長
範囲にわたって前後と上を覆う左右蛇腹１７ＢＡをし
て、砥石カバー１１と支持台４に支持し、移動台５等の
移動に伴はれてそれらの移動方向に伸縮し、左右いずれ
か一方または両方を砥石カバー１１と支持台４との間に
おいて素材２の中心軸線の方向に開閉可能とし、砥石カ
バー１１と左右蛇腹１７ＢＡの下方と前後を覆って排出
口を設けた樋体３を基盤１に固定したことにより、
（Ａ）素材２の中心軸線との平行方向における素材２の
支持台４の長さが短小化して、研磨機全体も短小とな
り、その設置面積も短小となり、（Ｂ）多量の研削屑と
供給水が飛散しても研磨機の摺動摩擦部が磨耗し発錆す
ることがなく、（Ｃ）支持台４への素材２の着脱が容易
となる。
【図１】装置の一部を省略した右上斜視図である。
【図２】装置の一部を省略した右側面図である。
１ 基 盤 ２ 素 材 ３ 樋 体 ４ 支持台 ５ 移動台 ６ 砥石台 ７ 砥 石 ８ 砥石軸 １０ 軸 台 １１ 砥石カバー １３ モータ １７Ａ 右蛇腹 １７Ｂ 左蛇腹
Claims (1)
- 【請求項１】大径且つ縦長で円柱状の素材２をして、そ
の中心軸線に対して、それを中心に回動可能に水平に支
持し且つ平行方向には移動不能に支持可能に基盤１に固
定した支持台４と、砥石７をして、その中心軸線を中心
に回動しながら、素材２の中心軸線に対して、水平直交
方向と平行方向の全縦長範囲とに往復動可能に基盤１に
支持した砥石台６と、砥石７とそれに対向する箇所付近
の素材２の前後と上とを覆い、素材２の中心軸線に平行
して水平に往復動可能に基盤１に支持した移動台５また
は砥石台６または砥石７をその中心軸線を中心に回動可
能に支持した軸台１０に固定した砥石カバー１１と、素
材２の前後と上とを覆うように、左部分の左右を支持台
４の左と砥石カバー１１の左とに固定し、右部分の右を
支持台４の右に固定し且つ左を砥石カバー１１の右に接
触と離脱可能に支持し、砥石カバー１１の停止時にはそ
れに固定したモータ１３の正逆方向の回動に連動して右
部分のみを収縮または伸張して砥石カバー１１との間を
開閉可能とし、砥石カバー１１の往復動時には停止した
モータ１３を電気制御しながら左部分を収縮または伸張
し右部分を伸張または収縮可能とした左蛇腹１７Ｂ及び
右蛇腹１７Ａと、砥石カバー１１と左右蛇腹１７Ｂ，Ａ
との下方の前後を覆い且つ下方に排出口を設けて基盤１
に固定した樋体３、とを備えたことを特徴とする、金属
研磨機の防護カバー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991031294U JPH0644596Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | 金属研磨機の防護カバー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991031294U JPH0644596Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | 金属研磨機の防護カバー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04102773U JPH04102773U (ja) | 1992-09-04 |
| JPH0644596Y2 true JPH0644596Y2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=31766359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991031294U Expired - Fee Related JPH0644596Y2 (ja) | 1991-02-07 | 1991-02-07 | 金属研磨機の防護カバー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644596Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101415372B1 (ko) * | 2007-11-08 | 2014-07-07 | 두산인프라코어 주식회사 | 공작기계의 윤활유 회수장치 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5355916B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-11-27 | 新日本工機株式会社 | 研削装置 |
| CN104942706A (zh) * | 2014-03-25 | 2015-09-30 | 昆山艾思迪机械科技有限公司 | 密封性好的物料安装组件及包含其的磨床 |
| JP6457450B2 (ja) | 2016-09-05 | 2019-01-23 | ファナック株式会社 | スライドテーブル装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59105341U (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-16 | 日産自動車株式会社 | ジヤバラ防塵構造 |
-
1991
- 1991-02-07 JP JP1991031294U patent/JPH0644596Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101415372B1 (ko) * | 2007-11-08 | 2014-07-07 | 두산인프라코어 주식회사 | 공작기계의 윤활유 회수장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04102773U (ja) | 1992-09-04 |
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|---|---|---|---|
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